JP4074779B2 - マクロ検査装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マクロ検査装置に係り、例えば液晶基板やＰＤＰ等の製造工程において、その表面のキズ、汚れ等の欠陥を検査するマクロ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶基板やＰＤＰの製造工程において、被検査物表面のキズ汚れ等の欠陥を検査する必要がある。従来、表面のキズ、汚れ等の欠陥を検査する装置としては、一般に被検査物に多色光の照明を投射し、被検査物を任意の角度に移動させながら、目視にて、マクロ検査することが既に知られている。
【０００３】
従来、このような検査装置には、例えば図４のようなマクロ検査装置が用いられていた。図４は従来技術のマクロ検査装置の構造説明図である。
マクロ検査装置１００は、その筺体１００Ｂの上部に二個の反射光源３ａ、３ｂ(図示では重なって見えるので３ａのみが表示されている)と、その筺体１００Ａの底面に垂直に透過光源４が立設されている。なお、前記反射光源３ａ、３ｂ及び透過光源４の取付け機構については図示が省略されている。図示しない制御装置からの電気配線も煩瑣となるので省略する。
【０００４】
前記筺体１００Ｂの底面上に設けられた図示しない制御装置により、回動可能に制御される基台４２と、該基台４２上に所定の固定支持部材４３と、上下方向にそれぞれ伸縮可能な伸縮支持部材４４、４５(図示では重なって見えるので紙面に近い４４のみが表示されている)と、該固定支持部材４３によって軸継手（図示しない）及び伸縮支持部材４４、４５によって自在軸継手（図示しない）を介して変位可能に支持されている被検査物保持部１とからなっている。
【０００５】
伸縮支持部材４４、４５が制御装置により上下の同一方向に伸縮するよう制御された場合には、被検査物保持部１の紙面に垂直な方向の高さを同一に保持したまま俯仰する姿勢をとるようになっている。前記伸縮支持部材４４、４５が制御装置により上下の逆方向に伸縮するように制御された場合には、被検査物保持部１の紙面に垂直な両端の高さが異なるように保持したまま、俯仰する姿勢をとるようになっている。例えば伸縮支持部材４４が伸張し、伸縮支持部材４５が縮小するように制御された場合には、被検査物保持部１は紙面側が高くなり、反対側が低くなる。前記伸縮支持部材４４、４５の伸縮が反対となるよう制御された場合は前記被検査物保持部１の高低が逆になる。
【０００６】
このような構成のマクロ検査装置においては、被検査物保持部１上に被検査物２(図示せず)を搭載し、制御装置により、基台４２及び固定支持部材４３並びに伸縮支持部材４４，４５によって被検査物保持部１を任意の姿勢にし、かつ多色光の反射照明３及び多色光の透過照明４を前記被検査物保持部１の姿勢に応じて切り替えて投射し、目視により前方（紙面左方）から表面のキズ，汚れ等のマクロ検査を行うようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来においては、被検査物の表面のキズ，汚れ等の欠陥検査する際に用いる反射照明、透過照明は、多色光のみの発光である。そのため、その多色光では発見しづらい表面のキズ，汚れ等の欠陥を見逃す可能性がある。さらに、被検査物の膜むら等は検出できないという問題があった。
【０００８】
また、被検査物に直接照明を投射しているため、被検査物の被熱性考慮がなされていないし、さらに、照明をミラーにて折り返していないため、装置が大型化しているという問題があった。
【０００９】
かかる上記従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、本発明の構成によれば、反射光及び透過光にプロジェクタ装置と瞬間調光フィルターとフレネルレンズを用いることにより、ランプを点滅することなく、任意の投射光を選択する共に、ランプ特性を安定させることにより、被検査物の表面のキズ，汚れ等の欠陥を見つける迅速、且つ精度を向上させることをその第一の目的とするものである。
【００１０】
さらに、発明者の実験により、キズ，汚れ等の欠陥を見つける人間の視覚がもっとも鋭敏な波長が黄色、緑色であることの知見に従い、黄色及び緑色の単色光を用い、感度のよりよくすることをその第二の目的とするものである。
【００１１】
さらにまた、投射光をミラーにて折り返したのち、被検査物に投射することにより、被検査物の被熱性考慮がなされ、かつ、装置の小型化が実現することをその第三の目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係わるマクロ検査装置の構成は、被検査物に反射光を投射し、該投射されている反射光を透過、遮断する第一の切り替え手段を具備する第一の光源と、被検査物に透過光を投射し、該投射されている透過光を透過、遮断する第二の切り替え手段を具備する第二の光源と、前記被検査物を保持する被検査物保持部と、該被検査物保持部を支持する支持部材と、前記支持部材を駆動し前記被検査物保持部の姿勢を制御し、該姿勢に応じて前記第一、第二の切り替え手段を制御する制御手段とを備え、
前記反射光を前記被検査物の表面に投射したりまたは前記透過光を前記被検査物の背面に投射して該被検査物の欠陥を目視で観察するようにしたことを特徴とするものである。
【００１３】
本発明に係わるマクロ検査装置の他の構成は、前項に記載のマクロ検査装置において、前記反射光系は、反射光を投射する第一のランプ部と、前記反射光の光路中に挿入され、該反射光を透過、遮断する第一の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかと、前記第一の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかを透過した光を平行光にする第一のフレネルレンズと、からなり、前記透過光系は、透過光を投射する第二のランプ部と、前記透過光の光路中に挿入され、該透過光を透過、遮断する第二の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかと、前記第二の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかを透過した光を平行光にする第二のフレネルレンズと、からなることを特徴とするものである。
【００１４】
前項に記載のマクロ検査装置において、前記支持部材は、前記被検査物保持部を軸継手を介して支持する固定支持部材及び自在軸継手を介して支持する伸縮自在な伸縮支持部材と、前記固定支持部材及び伸縮支持部材が取付けられ、且つ水平方向に回動する基台とからなり、
前記制御手段は、伸縮支持部材及び基台を駆動して前記被検査物保持部の姿勢及び該姿勢に応じて、前記第一の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかを光の透過もしくは遮断となし、該光の透過もしくは遮断に対して前記第二の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかを光の遮断もしくは透過の状態となるように、制御するように構成したことを特徴とするものである。
【００１５】
前項いずれかに記載のマクロ検査装置において、前記第一のランプ部及び第二のランプ部は、それぞれ投射光を投射するランプと該投射光を均一光にするホモナイザとからなり、前記ランプとホモナイザ間に黄色もしくは緑色光を透過するフィルターを切り替え可能に配設したプロジェクタ装置であることを特徴とするものである。
【００１６】
前項いずれかに記載のマクロ検査装置において、前記目視位置にCCDカメラを配設したことを特徴とするものである。
【００１７】
前項いずれかに記載のマクロ検査装置において、前記プロジェクタ装置と被検査物との間に光軸を変更する反射ミラーを配設したことを特徴とするものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下，本発明にかかわるマクロ検査装置の一実施形態について、図１乃至図３を参照して説明する。図１は、本発明に係わるマクロ検査装置の一実施形態の説明図、図２は図１のマクロ検査装置の正面部分説明図、図３は、図１のマクロ検査装置に用いられる光源部の説明図である。なお、従来技術のマクロ検査装置を示す図4と同一機能、同一部材は同一符号を用いて説明する。また、制御装置６０（後述）と各部材との電気配線は図１、２、３が煩瑣となることをさけるため、図示を省略する。
【００１９】
図１に示すように、マクロ検査装置１００は、被検査物２を載置する検査物保持部１と、該検査物保持部１に反射光を投射する反射光系Ｒと、前記検査物保持部１に透過光を投射する透過光系Ｔと、前記検査物保持部１を軸継手を介して支持する固定支持部材４３、自在軸継手を介して支持する複数の伸縮支持部材４４，４５と、前記固定支持部材４３、伸縮支持部材４４，４５が取付けられている基台４２と、前記反射光系Ｒ及び透過光系Ｔ並びに前記基台４２、伸縮支持部材４４，４５等を制御する制御部６０から構成されており、前記の各部材が遮光ケースを兼ねた筺体１００Ａ内に配設されている。前記筺体１００Ａの上部は測定時においては、前方の監視窓(図示左方)を除いて瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルター（符号なし）のいずれかを張設して遮光するようになっている。
【００２０】
ここに、瞬間調光ガラスとは、二枚のガラス板の内側表面にそれぞれ形成された透明電極と、ポリママトリックスの中に液晶の球状小滴が分散されているものであり、透明電極に電圧を印加することで、液晶の球状小滴の光軸を制御し、光の透過状態にしたり、遮断状態にするものである。
また、瞬間調光フィルターとは、光の透過状態と遮断状態を電源の状態で切り替わるようになっており、通常液晶フィルター等で構成されている。以下の実施形態では、瞬間調光フィルターが使用されている場合を説明する。
【００２１】
反射光系Ｒは、投射光Ｌ1を投射するための光源系１０と、投射光Ｌ1を検査可能な投射光Ｌ2とする共に、該投射光Ｌ2を被検査物２に投射する光学系２０とからなっている。
図３に示すように、前記光源系１０は、投射光を投射するための一個のランプＬｐと、該ランプＬｐからの投射光を所定波長の単一色の波長光（単波長光という）、例えば人の視覚に最も鋭敏な黄色若しくは緑色の単色光とする色フィルターＦと、該色フィルターＦからの単色光を均一な強さの光Ｌ1にするホモナイザＨからなっている。これを以下、プロジェクタ装置３という。
【００２２】
プロジェクタ装置３は筺体１００Ａの上部壁面の所定位置に適宜な手段で取付けられている。また、色フィルターＦは、図示では該色フィルターＦ、例えば、緑色若しくは黄色の色フィルターＦを駆動部Ｆｄにより前後に移動して交換する平行移動式が示されているが、該色フィルターＦを回転させる回転式でも差し支えない。詳細な図示を省略するが、回転式は複数の狭帯式フィルターが円板状容器の収められており、この円板状容器がモータ等で回転する。このようにして、平行移動式及び回転式共に、所望の色フィルターＦを投射光内に挿入することができる。
【００２３】
光学系２０は、制御装置６０により制御される検査物保持部１の姿勢に応じて（これら姿勢の制御については後述）ホモナイザＨからの均一強さの単波長光Ｌ1を透過、遮光する、例えば瞬間調光フィルター５０ａと、該瞬間調光フィルター５０ａを透過したホモナイザＨからの均一強さの単波長光Ｌ1を設定された角度、図示では下方側に光軸を変更する反射ミラー６と、該反射ミラー６からの反射光を平行光Ｌ2にして被検査物２を投射するフレネルレンズ５とからなっている。
このようにして、光源系１０と光学系２０により反射光系Ｒである第一の光源を構成している。前記平行光Ｌ2は、被検査物保持部１に載置された前記被検査物２を上方から垂直に投射するようになっている。なお、前記瞬間調光フィルター５０ａは、遮光時においては、前記単波長光Ｌ1の漏れがないように、十分な大きさを有しており、筺体１００Ａに適宜な手段で取付けられている。
【００２４】
透過光系Ｔは、反射光系Ｒと同様の構成であるので、図示を省略すると共に、詳細な説明は煩瑣となるので、簡単に説明する。
前記透過光系Ｔは、投射光Ｌ3を投射するための光源系３０と、該投射光Ｌ3を被検査物２に反射すると共に、投射光Ｌ3を検査可能な投射光Ｌ4とするため光学系４０とからなっている。図３に示す光源系１０と同様に、前記光源系３０は、投射光を投射するための一個のランプＬｐと、該ランプＬｐからの投射光を所定波長の単波長光とする色フィルターＦと、前記単波長光を均一な強さの光Ｌ3にするホモナイザＨからなっている。これを以下、プロジェクタ装置４という。
該プロジェクタ装置４は筺体１００Ａの上部壁面の所要位置に適宜な手段で取付けられている。なお、プロジェクタ装置３、４の筺体１００Ａへの適宜な取付け手段については、煩瑣となるので、図示および説明を省略する。また、色フィルターＦは、図示では駆動部Ｆｄによる平行移動式が示されているが、回転式でも差し支えない。
【００２５】
光学系４０は、制御装置６０により制御される検査物保持部１の姿勢に応じて（これら姿勢の制御については後述）ホモナイザＨからの均一強さの単波長光Ｌ3を透過、遮断する例えば瞬間調光フィルター５０ｂと、該瞬間調光フィルター５０ｂを透過したホモナイザＨからの均一強さの単波長光Ｌ3を設定された角度に光軸を変更する反射ミラー７と、該反射ミラー７からの反射光を平行光Ｌ4にして被検査物２を投射するフレネルレンズ８からなっている。このようにして、光源系３０と光学系４０により透過光系Ｔである第二の光源を構成している。前記瞬間調光フィルター５０ｂは、瞬間調光フィルター５０ａと同様であるので説明を省略する。
【００２６】
このように瞬間調光フィルター５０ａ及び瞬間調光フィルター５０ｂを設置することにより、ランプＬｐを点滅する必要がないので、該ランプＬｐの特性を安定させ、検出精度が向上する。
また、このように反射ミラー６、７の設置により、投射光Ｌ1、Ｌ2をそれぞれ該反射ミラー６、７にて折り返したのちに、被検査物２に投射できるため、被熱性考慮がなされ、且つマクロ検査装置の小型化が実現することができる。
【００２７】
平行光Ｌ4は、被検査物保持部１に載置された被検査物２を背面から水平に投射するようになっている。このため、被検査物２を載置する被検査物保持部１には、詳細な図示を省略するが裏面に瞬間調光フィルターが張設されているガラス板が設けられている。該ガラス板の機能については後述する。
【００２８】
次に、被検査物保持部１を支持する支持部材について説明する。
図1に示すごとく、筺体１００Ａの底面上に設けられ、制御装置６０により、水平面を回動可能に制御される基台４２、該基台４２に設けられ、且つ該基台４２に対してそれぞれ伸縮可能に制御される伸縮支持部材４４、４５及び該基台４２上に所定の高さを有し、所定位置に設けられた固定支持部材４３と、前記固定支持部材４３は上方部（基台４２とは反対側）先端で軸受けを介し、また、伸縮支持部材４４、４５の上方部（基台４２とは反対側）先端で自在軸継手８０a,８０ｂ、例えば球面軸受けを介してそれぞれ変位可能に支持されている被検査物保持部１とからなっている。前記伸縮支持部材４４、４５は、それぞれ筒状体の中から該筒状体の中に設けられたモータ（図示せず）で駆動されて伸縮する伸縮棒材４４ａ、４５ｂが前記自在軸継手８０a,８０ｂと連結されている。
【００２９】
図２の矢印に示すように、伸縮支持部材４４、４５がそれぞれ制御装置６０により上下同一方向に伸縮した場合には、被検査物保持部１の紙面に垂直な方向の高さを同一に保持したまま、俯仰するようになっている。前記伸縮支持部材４４、４５がそれぞれ制御装置６０により上下逆方向に伸縮した場合には、被検査物保持部１の紙面に垂直な方向（図２では左右の方向、以下も同様）の両端の高さが異なるように保持したまま、俯仰するようになっている。例えば、伸縮支持部材４４が伸張し、伸縮支持部材４５が縮小した場合には被検査物保持部１は紙面側（図２では右側）が高くなり、反対側が低くなる。前記伸縮支持部材４４、４５の伸縮が反対の場合は前記被検査物保持部１の高低が逆になる。これらの場合において、自在軸継手８０a,８０ｂは、被検査物保持部１を自在に調節する働きをするようになっている。
【００３０】
制御装置６０は、筺体１００Ａの前方（図示では左方）の傾斜部７０に設けられている。その表面部には操作部６０aが設けられおり、この操作部６０aに種々の操作ボタンが設けられ、これらを操作することにより、検査物保持部１の姿勢に応じて（これらについては後述）、例えば瞬間調光フィルター５０ａ、ｂが動作し、それぞれホモナイザＨからの均一強さの光Ｌ1、Ｌ2を透過、遮断する。さらに、基台４２を伸縮支持部材４４（図示），４５もしくは固定支持部材４３の基部が中心となり、水平に回転すると共に、固定支持部材４３をそのままの状態にして、伸縮支持部材４４，４５を同方向にまたは反対方向に伸縮させるようになっている。
【００３１】
また、色フイルターＦは、駆動装置Ｆｄが駆動され、光源Ｌｐの光路中に入れられ、人間の視覚に鋭敏な黄色光もしくは緑色光の単波長光になるように制御されるようになっている。このように制御することにより、黄色光もしくは緑色光の単波長光となり、検査物保持部１を所望の姿勢に制御し、該所望の姿勢に応じて、反射光系Ｒ及び透過光系Ｔを点灯したまま、シャッタ５０ａ、ｂがそれぞれ開閉され、反射光系Ｒまたは透過光系Ｔを切り替えて、被検査物２に投射するようになっている。
【００３２】
さらに、制御装置６０は、詳細な図示を省略するが、反射光系Ｒ及び透過光系Ｔの切り替えに応じて、上述の如く、検査物保持部１に設けられた瞬間調光フィルターが張設されたガラス板５０を設け、前記反射光Ｒが投射された場合はガラス板５０が遮光状態となり、透過光が投射された場合は、前記ガラス板５０が光の透過状態となるように制御されるようになっている。なお、伸縮支持部材４４、４５が制御装置６０により上下同一方向にのみ伸縮させ、被検査物保持部１の紙面に垂直な方向の高さを同一に保持したまま俯仰させる場合は、固定支持部材４３及び伸縮支持部材４４、４５の上方部（基台４２側とは反対側）先端は通常の軸継手で十分である。また、伸縮支持部材４４、４５は、両者の中間位置上に一本設けただけでも差し支えない。
【００３３】
前記構成のマクロ検査装置１００の動作について説明する。
被検査物保持部１上に被検査物２を搭載する。反射光系Ｒ、透過系Ｔのプロジェクタ装置３及び４それぞれのランプＬｐを点灯する（以下、反射光系Ｒを点灯するという。また、透過光系Ｔを点灯するという）。制御装置６０は、反射光系Ｒの色フイルターＦを、例えば黄色にして単波長光を選択する。ホモナイザＨにより均一な強さの単波長光Ｌ1にする。
【００３４】
次いで、制御部６０が瞬間調光フィルター５０ａを光の透過状態となるように制御し、単波長光Ｌ1を透過させる。反射ミラー６により前記単波長光Ｌ1の光軸を変え、フレネルレンズ５により平行光Ｌ2にする。
この場合、透過系Ｔの瞬間調光フィルター５０ｂは遮光状態となり、プロジェクタ装置４の単波長光Ｌ3は遮断される。
【００３５】
次に、伸縮支持部材４４，４５の筒状体の内部から伸縮棒材４４a，４５bを伸縮させて制御し（以下、伸縮支持部材４４，４５を伸縮するように制御し、という）、マクロ試験装置１００の検査物保持部１が水平となるようにし、このとき、検査物保持部１は、マクロ試験装置１００の基台４２に平行になっている。
次に、制御部６０は検査物保持部１のガラス板を遮光状態にして、フレネルレンズ５からの平行光Ｌ2が十分に反射するようにする。検査者Ｍは前記反射光Ｌ2の反射により被検査物２の欠陥を検査する。
【００３６】
次に、制御装置６０により伸縮支持部材４４，４５を同方向に伸縮するように制御し、被検査物保持部１を俯仰させる。仰向く姿勢の場合は、そのまま検査者Ｍが被検査物２の欠陥を検査する。俯向く姿勢の場合は、そのままでは検査者Ｍが被検査物２の欠陥を検査することができないので、制御装置６０が基台４２を水平方向に回動させ、被検査物２の前方側（図示左方側）が低くなるようにし、検査者Ｍが被検査物２の欠陥を検査しやすいようにする。
【００３７】
次に、制御装置６０により反射光系Ｒの色フイルターを選択して緑色単波長光にして、黄色単波長光の場合と同様のマクロ検査を実施する。このようにして、被検査物保持部１が任意の位置において被検査物２を自由に視覚に鋭敏な黄色単波長光または緑色単波長光の反射光で表面のキズ，汚れ等をマクロ検査することができる。
【００３８】
次に、制御装置６０は、被検査物保持部１上に被検査物２を搭載したまま、反射光系Ｒの瞬間調光フィルター５０ａを遮光状態にし、単波長光Ｌ1を遮断する。この場合、透過系Ｔの瞬間調光フィルター５０ｂは光の透過状態にする。
次に、制御装置６０は、透過光系Ｔの色フイルターＦを、例えば黄色にして単波長光を選択する。ホモナイザＨにより均一な強さの単波長光Ｌ3にする。反射ミラー６により単波長光Ｌ3の光軸を変え、フレネルレンズ５により平行光Ｌ4にする。
【００３９】
次に、制御装置６０により、検査物保持部１の開口面部５０を開き、フレネルレンズ５からの透過光Ｌ4が十分に透過するようにする。さらに、伸縮支持部材４４，４５を同方向に伸縮し、被検査物保持部１を俯仰させる。仰向く姿勢の場合は、その仰角が所定以上の場合は、被検査物２の背面（図示右方）から透過光Ｌ4を投射し、前方（図示左方）から欠陥を検査する。俯向く姿勢の場合は検査者Ｍが被検査物２の欠陥を検査することができない。
【００４０】
次に、透過光系Ｔの色フイルターを選択して緑色単波長光にして、黄色単波長光の場合と同様のマクロ検査を実施する。このようにして、被検査物保持部１が任意の位置において被検査物２を自由に視覚に鋭敏な黄色単波長光または黄色単波長光の透過光で表面のキズ，汚れ等をマクロ検査することができる。
【００４１】
制御装置６０により、伸縮支持部材４４、４５が上下逆方向に伸縮した場合には、被検査物保持部１の紙面に垂直な方向の両端の高さが異なるように保持したまま、俯仰させた場合については、詳細な説明を省略するが、反射光系Ｒ、透過光系Ｔを瞬間調光フィルター５０ａ、５０ｂを切り替えることにより反射光、透過光で検査することができる。
【００４２】
このようにして、基台４２、固定支持部材４３、伸縮支持部材４４、４５及び自在軸継手８０ａ、８０ｂにより被検査物保持部１が任意の位置にすることができ、該被検査物保持部１上に載置した被検査物２を自由に表面のキズ，汚れ等をマクロ検査することができる。さらに、目視の位置にＣＣＤカメラを配設して映像記録するようにしても差し支えない。
また、本実施形態においては、瞬間調光フィルター５０ａ、５０ｂを用いた場合を説明したが、瞬間調光ガラスを用いても同様の効果が得られる。
【００４３】
【発明の効果】
以上の詳細な説明で明らかな如く、本発明に係わるマクロ検査装置の構成によれば、反射光系及び透過光系に、プロジェクタ装置と瞬間調光フィルターとフレネルレンズを用いることにより、ランプを点滅することなく、任意の投射光を選択する共に、ランプ特性を安定させることにより、被検査物の表面のキズ，汚れ等の欠陥を見つける迅速、且つ精度を向上させたマクロ検査装置を提供することができる。さらに、キズ，汚れ等の欠陥を見つける人間の視覚がもっとも鋭敏な波長が黄色、緑色であることにより、黄色及び緑色の単色光を用い、感度のよりマクロ検査装置を提供することができる。さらにまた、投射光をミラーにて折り返したのち、被検査物に投射することにより、被検査物の被熱性考慮がなされ、かつ、装置の小型化が実現したマクロ検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わるマクロ検査装置の一実施形態に説明図である。
【図２】図１のマクロ検査装置の正面部分説明図である。
【図３】図１のマクロ検査装置に用いられる光源部の説明図である。
【図４】従来技術のマクロ検査装置の構造説明図である。
【符号の説明】
１ 被検査物保持部
２ 被検査物
Ｒ 反射光系
Ｔ 透過光系
３ 反射光系のプロジェクタ装置
４ 透過光系のプロジェクタ装置
５ 反射光系のフレネルレンズ
６ 反射光系の反射ミラー
７ 透過光系の反射ミラー
８ 透過光系のフレネルレンズ
４２ 基台
４３ 固定支持部材
４４ ４５ 伸縮支持部材
４４ａ、４５ｂ 伸縮棒材
５０ ガラス板
５０ａ、ｂ 瞬間調光フィルター
６０ 制御装置
８０ａ，８０ｂ 自在軸継手
Ｌｐ 光源
Ｈ ホモナイザ
Ｆ 色フィルター
Ｆｄ フィルターの駆動装置
Ｍ 検査者
１００ マクロ検査装置
１００Ａ マクロ検査装置の筺体

Claims (3)

1. 第一のランプ部から被検査物に光を投射し、該投射されている光を透過、遮断する第一の切り替え手段を具備する反射光系と、第二のランプ部から被検査物に光を投射し、該投射されている光を透過、遮断する第二の切り替え手段を具備する透過光系と、前記被検査物を保持する被検査物保持部と、該被検査物保持部を支持する支持部材と、前記被検査物保持部に設けられた第一の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルタ及び第二の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルタと、前記第一の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルタ、又は前記第二の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルタを遮光状態又は透過状態に制御し、前記支持部材を駆動し前記被検査物保持部の姿勢を制御し、該姿勢に応じて前記第一、第二の切り替え手段を制御する制御手段とを備え、
   前記第一のランプ部からの光を前記被検査物の表面に投射する場合には、前記ガラス板を遮光状態にし、前記第二のランプ部からの光を前記被検査物の背面に投射する場合には前記ガラス板を透過状態にすることを特徴とするマクロ検査装置であって、
   前記支持部材は、前記被検査物保持部を軸継手を介して支持する固定支持部材及び自在軸継手を介して支持する伸縮自在な伸縮支持部材と、前記固定支持部材及び伸縮支持部材が取付けられ、且つ水平方向に回動する基台とからなり、
   前記制御手段は、伸縮支持部材及び基台を駆動して前記被検査物保持部の姿勢及び該姿勢に応じて、前記第一の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかを光の透過もしくは遮断となし、該光の透過もしくは遮断に対して前記第二の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかを光の遮断もしくは透過の状態となるように、制御するように構成したことを特徴とするマクロ検査装置。
2. 請求項１に記載のマクロ検査装置において、
   前記反射光系は、光を投射する第一のランプ部と、前記光の光路中に挿入され、該光を透過、遮断する第一の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかと、前記第一の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかを透過した光を平行光にする第一のフレネルレンズと、からなり、
   前記透過光系は、光を投射する第二のランプ部と、前記光の光路中に挿入され、該光を透過、遮断する第二の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかと、前記第二の瞬間調光ガラスもしくは瞬間調光フィルターのいずれかを透過した光を平行光にする第二のフレネルレンズと、からなることを特徴とするマクロ検査装置。
3. 請求項１、２のいずれかに記載のマクロ検査装置において、
   前記第一のランプ部及び第二のランプ部は、それぞれ投射光を投射するランプと該投射光を均一光にするホモナイザとからなり、前記ランプとホモナイザ間に黄色もしくは緑色光を透過するフィルターを切り替え可能に配設したプロジェクタ装置であることを特徴とするマクロ検査装置。

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