JP2004101298A - 液晶パネルの検査装置及びその検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】検査に悪影響を及ぼすことなく投影した検査画像の視認性を向上することのできる液晶パネルの検査装置を提供する。
【解決手段】検査画像をスクリーンに投影する検査光路上に液晶パネルモジュール100を保持するステージ6と、ステージ6によって検査光路上に保持された液晶パネルモジュール100に所定の検査画像を表示するための検査信号を伝達するプローブユニット7とを、検査画像の投影時に検査光に対して一体的に相対移動させるパネル移動機構部8を設ける。ステージ6を検査光に対して相対移動させることにより、投影された検査画像を移動させ、検査画像の移動による残像効果によって点欠陥等の視認性を向上させる。
【選択図】 図1
【解決手段】検査画像をスクリーンに投影する検査光路上に液晶パネルモジュール100を保持するステージ6と、ステージ6によって検査光路上に保持された液晶パネルモジュール100に所定の検査画像を表示するための検査信号を伝達するプローブユニット7とを、検査画像の投影時に検査光に対して一体的に相対移動させるパネル移動機構部8を設ける。ステージ6を検査光に対して相対移動させることにより、投影された検査画像を移動させ、検査画像の移動による残像効果によって点欠陥等の視認性を向上させる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルの検査装置及びその検査方法に関し、特に投写型表示装置等のライトバルブに用いられる液晶パネルの検査装置及びその検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、液晶パネルは、製造工程において、TFT(Thin Film Transistor)素子等のスイッチング素子の不良や液晶層への異物の混入等による点欠陥等の発生状況の検査が行われる。
【0003】
この種の検査を行うための検査装置として、例えば本出願人による特許文献1には、液晶パネルに検査光を照射するランプと、液晶パネルの透過光をスクリーン上に投影する投影光学系とを有し、液晶パネルを所定の検査パターンで駆動した際のスクリーン上の輝度分布をCCDカメラで撮像し、その撮像結果から液晶パネル上の点欠陥等を自動検出する技術が開示されている。
【0004】
また、点欠陥等の検査は作業者の目視によっても並行して行われることが一般的であり、目視による液晶パネルの検査装置として、液晶パネルを所定の検査パターンで駆動し、その検査画像をスクリーン上に投影する検査装置が従来より広く知られている。
【0005】
【特許文献1】
特開平11−174398号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のような目視による液晶パネルの検査は、人為的なものであるため、検査を行う作業者の熟練度等によって検査結果に格差が生じる場合がある。このような検査結果の格差を是正するための対策として、例えば、検査画像の投影時に液晶パネルに照射する検査光の照度を高めて、点欠陥等を目立ちやすくすることが考えられる。
【0007】
しかしながら、液晶パネルに照射する検査光の照度を必要以上に高めることは、液晶パネルに熱害を発生させたり、作業者の目への疲労度を促進させる等、検査に悪影響を及ぼす虞がある。
【0008】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、検査に悪影響を及ぼすことなく投影した検査画像の視認性を向上することのできる液晶パネルの検査装置及びその検査方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る液晶パネルの検査装置は、液晶パネルに表示した検査画像を投影する検査光路上で、上記液晶パネルを検査光に対して相対移動させるパネル移動手段を備えたことを特徴とする。
【0010】
このような構成によれば、検査光路上で液晶パネルを検査光に対して相対移動させることにより、投影された検査画像が移動される。そして、投影された検査画像の移動による残像効果によって液晶パネルの点欠陥等の検出精度を向上することができる。
【0011】
上記パネル移動手段は、上記液晶パネルを上記検査光に対して垂直方向に移動させることを特徴する。
【0012】
このような構成によれば、投射された検査画像が移動する際の形状を一定に保持することができ、視認性を向上することができる。
【0013】
上記液晶パネルに上記検査画像を表示するための表示信号を伝達する信号伝達手段を有し、上記パネル移動手段は、上記信号伝達手段を上記液晶パネルと一体的に移動させることを特徴とする。
【0014】
このような構成によれば、液晶パネルを移動させる際にも、液晶パネルに安定した検査画像を表示することができる。
【0015】
本発明に係る液晶パネルの検査方法は、液晶パネルに表示した検査画像を投影する手順と、上記検査画像を表示した液晶パネルを検査光に対して相対移動させる手順とを備えたことを特徴とする。
【0016】
このような構成によれば、投影された検査画像の移動による残像効果によって液晶パネルの検査精度を向上することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図面は本発明の実施の一形態に係わり、図1はパネル移動機構部の概略構成図、図2は液晶パネルの検査装置の概略構成図、図3はパネル移動機構部の変形例を示す概略構成図である。
【0018】
図2において、符号1は液晶パネルの検査装置を示す。ここで、本実施の形態では、モジュール化された液晶パネル、すなわち、FPC(フレキシブルプリント基板)101等が取り付けられ防塵ガラス(図示せず)等とともにケース内に収容された液晶パネル(液晶パネルモジュール)100の点欠陥等を検査する検査装置の一例について説明する。
【0019】
検査装置1は、検査画像をスクリーン(図示せず)に投影するための検査光路を構成する検査光学系5と、検査光路上に液晶パネルモジュール100を保持するステージ6と、検査光路上に保持された液晶パネルモジュール100に所定の検査画像を表示するための検査信号を伝達する信号伝達手段としてのプローブユニット7と、検査画像の投影時にステージ6及びプローブユニット7を検査光に対して相対移動させるパネル移動手段としてのパネル移動機構部8(図1参照)と、検査光路上に任意のフィルタ手段を選択的に挿入して保持するフィルタ挿脱機構部9と、検査光路上に保持された液晶パネルモジュール100を加熱或いは冷却して液晶パネルモジュール100の温度調節を行う温度調節装置10とを筐体2内に有して要部が構成されている。
【0020】
検査光学系5は、筐体2の下部で白色光等の検査光を水平方向に出射するランプ15と、このランプ15から出射された検査光を鉛直方向上方に反射する第1の反射鏡16と、第1の反射鏡16で反射された鉛直方向の検査光を筐体2の上部で水平方向に反射する第2の反射鏡17と、第1,第2の反射鏡16,17の間の検査光路上に介装された投射レンズ18とを有して構成され、第2の反射鏡17で反射後の検査光が、筐体2に開口された投射口19から出射されて図示しないスクリーンに投影されるようになっている。
【0021】
ステージ6は、ステージ動作機構部25(後述する)を介して筐体2内に水平に支持される矩形の板状部材で構成され、ステージ6の上面には検査対象となる液晶パネルモジュール100を載置するための凹部20が形成されている。
【0022】
この場合、凹部20は、液晶パネルモジュール100の外観形状に略沿う形状をなし、さらに、図示しないピン等の位置決め部材を要部に有することにより、載置された液晶パネルモジュール100を所定に位置決めした状態で水平に保持するようになっている。
【0023】
また、ステージ6には、凹部20に載置された液晶パネルモジュール100の表示部(図示せず)に検査光を導くための開口部21が開口されている。
【0024】
また、ステージ6の基部には、当該ステージ6をステージ動作機構部25に着脱自在に装着するためのフランジ部23が設けられている。
【0025】
ステージ動作機構部25は、筐体2内に水平に支持されたエアシリンダ26を有して構成されている。エアシリンダ26には、図示しない空気圧制御装置が接続されており、この空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって、エアシリンダ26のピストンロッド27が筐体2内を水平方向に伸縮移動するようになっている。
【0026】
また、ピストンロッド27の先端には、ステージ装着部28が固設されており、このステージ装着部28に、フランジ部23を介してステージ6が装脱自在に締結固定されている。
【0027】
この場合、ステージ6は、図2に実線で示すように、ピストンロッド27が収縮位置にあるとき、第1の反射鏡16と投射レンズ18との間に挿入されて液晶パネルモジュール100の表示部を検査光路上に保持し、一方で、図2に2点鎖線で示すように、ピストンロッド27が伸長位置にあるとき液晶パネルモジュール100の表示部を検査光路から退避させるよう、各部の諸元が設定されている。なお、図示のように、検査開始前や検査終了後等におけるピストンロッド27の伸長時には、ステージ6が筐体2に設けられた開閉窓29を押し開けることで、液晶パネルモジュール100が筐体2の外部に露呈されて交換可能となる。
【0028】
プローブユニット7は、プローブ動作機構部33(後述する)を介して筐体2内に支持されるもので、液晶パネルモジュール100のFPC101上に配列された各端子(図示せず)に対応する複数のプローブ30を有して構成されている。
【0029】
そして、プローブユニット7は、各プローブ30がFPC101上の各端子と電気的に接続された際に、パネル駆動装置32で生成された所定の駆動信号を液晶パネルモジュール100に伝達するようになっている。
【0030】
プローブ動作機構部33は、筐体2内に垂直に支持されたエアシリンダ34を有して構成されている。エアシリンダ34には、図示しない空気圧制御装置が接続されており、この空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって、エアシリンダ34のピストンロッド35が筐体2内を垂直方向に伸縮移動するようになっている。
【0031】
また、ピストンロッド35の先端には、プローブユニット装着部36が固設されており、このプローブユニット装着部36に、プローブユニット7が装脱自在に締結固定されている。
【0032】
この場合、プローブユニット7は、各プローブ30が検査光路上に保持された液晶パネルモジュール100のFPC101上の各端子に夫々対向され、且つ、ピストンロッド35が伸長位置(下降位置)にあるときFPC101上の各端子に各プローブ30が電気的に接続されるとともに(図2参照)、ピストンロッド35が収縮位置(上昇位置)にあるとき各端子から各プローブ30が離間されるよう(図示せず)、各部の諸元が設定されている。
【0033】
図1に示すように、パネル移動機構部8は、ラックギヤ61が一体形成された台座60と、台座60をキー嵌合して筐体2内で水平移動自在に支持するガイドレール62と、エアシリンダ26,34を台座60に一体的に固設するアーム部63と、ラックギヤ61に噛合するピニオンギヤ64と、筐体2に固設され、ピニオンギヤ64を軸支するモータ65とを有して構成されている。
【0034】
そして、パネル移動機構部8は、例えば、モータ65が所定回動角毎に反転しながら回動するよう駆動制御されることにより、ステージ6及びプローブユニット7を水平後方に揺動させるようになっている。これにより、液晶パネルモジュール100は、検査光に対して垂直方向に揺動(移動)される。
【0035】
フィルタ挿脱機構部9は、例えば投射レンズ18と第2の反射鏡17との間の検査光路上に任意のフィルタ手段40を選択的に挿入して保持するためのもので、検査光路に平行となるよう筐体2内に立設された軸部41と、軸部41に夫々回動自在に軸支された複数(本実施の形態では4枚)のトレイ42とを有して構成されている。
【0036】
各トレイ42の上面にはフィルタ手段40を載置して保持するための凹部43が設けられ、さらに各凹部43の底部には、各凹部43に夫々載置されたフィルタ手段40に検査光を導くための開口部44が設けられている。
【0037】
フィルタ挿脱機構部9は、通常時には、各トレイ42を検査光路からの退避位置に保持するようになっており、作業者等によって所定のトレイ42が選択されて退避位置から所定の回動角だけ回動されることにより、当該トレイに保持したフィルタ手段40を検査光路に露呈するようになっている。
【0038】
本実施の形態において、各トレイ42には、フィルタ手段40として、例えば、液晶パネルモジュール100を通過後の検査光のコントラストを強調するコントラスト強調フィルタとしての視角補償フィルタや、緑(G),青(B),赤(R)等の所定の波長領域の検査光を透過する色フィルタ、光量調節フィルタとしてのND(neutral density)フィルタ等が載置される。ここで、各フィルタ手段40は、検査対象である液晶パネルモジュールを実際に搭載する液晶プロジェクター装置の各種フィルタやダイクロイックミラー等に相当する光学特性を有することが望ましい。
【0039】
温度調節装置10は、検査光路上に保持された液晶パネルモジュール100に温風或いは冷風を送風することにより液晶パネルモジュール100の温度調節を行うもので、ブロア装置45と、このブロア装置45の駆動制御を行う制御部(図示せず)と、液晶パネルモジュール100の近傍でステージ6に埋設された温度センサ(図示せず)とを有して構成されている。制御部には温度設定等を行うための図示しないコントロールパネルが設けられており、制御部は、温度センサからの検出温度に基づいて、ブロア装置45から送風する温風或いは冷風の風量及びその温度をフィードバック制御することで、液晶パネルモジュール100を所望の設定温度に制御するようになっている。
【0040】
次に、上述の構成による検査装置1の作用について説明する。
【0041】
先ず、作業者は、図示しない空気圧制御装置を介してエアシリンダ26を動作させてステージ6を検査光路からの退避位置まで移動させる。そして、この状態で、ステージ6の凹部20上に検査対象となる液晶パネルモジュール100を位置決めして載置する。
【0042】
その後、作業者は、空気圧制御装置を介してエアシリンダ26を動作させ、ステージ6を第1の反射鏡16と投射レンズ18との間の挿入位置まで移動させる。これにより、ステージ6上に載置された液晶パネルモジュール100の表示部が検査光路上に所定に保持される。
【0043】
その後、作業者は、空気圧制御装置を介してエアシリンダ34を動作させることでプローブユニット7を下降させ、当該プローブユニット7のプローブ30を、液晶パネルモジュール100のFPC101上に配列された各端子に電気的に接続させる。
【0044】
その後、作業者は、パネル駆動装置32を動作させ、所定の駆動信号を液晶パネルモジュール100に印加する。これにより、図示しないスクリーン上には、所定の検査画像が投影される。
【0045】
その後、作業者は、パネル移動機構部8を動作させ、ステージ6(すなわち、液晶パネルモジュール100)及びプローブユニット7を一体的に揺動させる。これによりスクリーン上に投影された検査画像が揺動される。検査画像が揺動されると、その残像効果により、作業者の点欠陥等の視認性が向上する。
【0046】
従って、作業者の熟練度等に関係なく、点欠陥等の検出精度を所定以上に維持することができる。また、検査光の照度を必要以上に高めることなく点欠陥等の検出精度を向上することができるので、検査光による液晶パネルモジュール100への熱害や作業者の目への疲労等を低減することができる。
【0047】
また、液晶パネルモジュール100を検査光に対して垂直方向に移動させるようパネル移動機構部8を構成することにより、移動する投射光の形状を一定に保持することができ、より良好な視認性を得ることができる。
【0048】
また、プローブユニット7を液晶パネルモジュール100と一体的に移動させるようパネル移動機構部8を構成することにより、液晶パネルモジュール100に安定した検査画像を表示させることができる。
【0049】
ここで、このような検査時に、作業者が、フィルタ挿脱機構部9の各トレイ42を選択的に検査光路上に移動させて、液晶パネルモジュール100からの出射光に各フィルタ手段40を作用させることにより、検査光の特性が任意に制御された検査画像を観察することができる。
【0050】
例えば、検査光路上に視角補償フィルタを挿入することにより、コントラストが強調された検査画像を観察することができ、点欠陥の検出等を容易なものとすることができる。
【0051】
また、検査光路上に所定の色フィルタを挿入することにより、G,B,R等の各色の波長領域に制限された検査画像を観察することができ、実際の液晶プロジェクター装置等の各色光路に最適な条件下での検査を行うことができる。
【0052】
また、NDフィルタを検査光路上に挿脱すれば、高い照度が必要なパネルの輝点検査と高い照度を必要としないそれ以外の検査とをランプ15の出射光量を変化させることなく行うことができる。
【0053】
また、各フィルタ手段40の挿脱位置を、投射レンズ18後に設定することにより、フィルタ手段40の挿脱による光路長の増減に起因する焦点位置のズレを投射レンズ18の僅かなフォーカス移動のみで補正することができる。
【0054】
また、作業者は、温度調節装置10を作動させて、液晶パネルモジュール100の温度管理を行うことで、所定の高温条件下或いは低温条件下での検査画像を観察することができる。
【0055】
ここで、検査装置1に用いられるパネル移動手段としては、上述のパネル移動機構部8に代えて、例えば図3に示すパネル移動機構部70を採用することも可能である。なお、このパネル移動機構部70は、台座60に動力を伝達する機構が上述のパネル移動機構部8と異なる。その他、同様の構成については同符号を付して説明を省略する。すなわち、パネル移動機構部70は、ラックギヤ61に代えて、雌ネジ貫通孔71が台座60に設けられ、この雌ネジ貫通孔71には、雄ネジ部72が螺合されている。また、雄ネジ部72には、筐体2に固設されたモータ73の軸部が連結されている。そして、パネル移動機構部70は、例えば、モータ72が所定回動角毎に反転しながら回動するよう駆動制御されることにより、ステージ6及びプローブユニット7を水平後方に揺動させるようになっている。このような構成によれば、上述のパネル移動機構部8と同様に、液晶パネルモジュール100を、検査光に対して垂直方向に揺動(移動)させることができる。
【0056】
また、パネル移動手段としては、上述のパネル移動機構部8から、ラックギヤ61、ピニオンギヤ64、及び、モータ65を省略し、台座60を手動によって移動させるよう構成することも可能である。
【0057】
なお、上述の実施の形態では、検査装置をモジュール化された液晶パネル(液晶パネルモジュール)に適応した一例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、モジュール化される前の液晶パネル等に対しても適用が可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【図1】パネル移動機構部の概略構成図
【図2】液晶パネルの検査装置の概略構成図
【図3】パネル移動機構部の変形例を示す概略構成図
【符号の説明】
1…検査装置
7…プローブユニット(信号伝達手段)
8…パネル移動機構部(パネル移動手段)
70…パネル移動機構部(パネル移動手段)
100…液晶パネルモジュール(液晶パネル)
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルの検査装置及びその検査方法に関し、特に投写型表示装置等のライトバルブに用いられる液晶パネルの検査装置及びその検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、液晶パネルは、製造工程において、TFT(Thin Film Transistor)素子等のスイッチング素子の不良や液晶層への異物の混入等による点欠陥等の発生状況の検査が行われる。
【0003】
この種の検査を行うための検査装置として、例えば本出願人による特許文献1には、液晶パネルに検査光を照射するランプと、液晶パネルの透過光をスクリーン上に投影する投影光学系とを有し、液晶パネルを所定の検査パターンで駆動した際のスクリーン上の輝度分布をCCDカメラで撮像し、その撮像結果から液晶パネル上の点欠陥等を自動検出する技術が開示されている。
【0004】
また、点欠陥等の検査は作業者の目視によっても並行して行われることが一般的であり、目視による液晶パネルの検査装置として、液晶パネルを所定の検査パターンで駆動し、その検査画像をスクリーン上に投影する検査装置が従来より広く知られている。
【0005】
【特許文献1】
特開平11−174398号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のような目視による液晶パネルの検査は、人為的なものであるため、検査を行う作業者の熟練度等によって検査結果に格差が生じる場合がある。このような検査結果の格差を是正するための対策として、例えば、検査画像の投影時に液晶パネルに照射する検査光の照度を高めて、点欠陥等を目立ちやすくすることが考えられる。
【0007】
しかしながら、液晶パネルに照射する検査光の照度を必要以上に高めることは、液晶パネルに熱害を発生させたり、作業者の目への疲労度を促進させる等、検査に悪影響を及ぼす虞がある。
【0008】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、検査に悪影響を及ぼすことなく投影した検査画像の視認性を向上することのできる液晶パネルの検査装置及びその検査方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る液晶パネルの検査装置は、液晶パネルに表示した検査画像を投影する検査光路上で、上記液晶パネルを検査光に対して相対移動させるパネル移動手段を備えたことを特徴とする。
【0010】
このような構成によれば、検査光路上で液晶パネルを検査光に対して相対移動させることにより、投影された検査画像が移動される。そして、投影された検査画像の移動による残像効果によって液晶パネルの点欠陥等の検出精度を向上することができる。
【0011】
上記パネル移動手段は、上記液晶パネルを上記検査光に対して垂直方向に移動させることを特徴する。
【0012】
このような構成によれば、投射された検査画像が移動する際の形状を一定に保持することができ、視認性を向上することができる。
【0013】
上記液晶パネルに上記検査画像を表示するための表示信号を伝達する信号伝達手段を有し、上記パネル移動手段は、上記信号伝達手段を上記液晶パネルと一体的に移動させることを特徴とする。
【0014】
このような構成によれば、液晶パネルを移動させる際にも、液晶パネルに安定した検査画像を表示することができる。
【0015】
本発明に係る液晶パネルの検査方法は、液晶パネルに表示した検査画像を投影する手順と、上記検査画像を表示した液晶パネルを検査光に対して相対移動させる手順とを備えたことを特徴とする。
【0016】
このような構成によれば、投影された検査画像の移動による残像効果によって液晶パネルの検査精度を向上することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図面は本発明の実施の一形態に係わり、図1はパネル移動機構部の概略構成図、図2は液晶パネルの検査装置の概略構成図、図3はパネル移動機構部の変形例を示す概略構成図である。
【0018】
図2において、符号1は液晶パネルの検査装置を示す。ここで、本実施の形態では、モジュール化された液晶パネル、すなわち、FPC(フレキシブルプリント基板)101等が取り付けられ防塵ガラス(図示せず)等とともにケース内に収容された液晶パネル(液晶パネルモジュール)100の点欠陥等を検査する検査装置の一例について説明する。
【0019】
検査装置1は、検査画像をスクリーン(図示せず)に投影するための検査光路を構成する検査光学系5と、検査光路上に液晶パネルモジュール100を保持するステージ6と、検査光路上に保持された液晶パネルモジュール100に所定の検査画像を表示するための検査信号を伝達する信号伝達手段としてのプローブユニット7と、検査画像の投影時にステージ6及びプローブユニット7を検査光に対して相対移動させるパネル移動手段としてのパネル移動機構部8(図1参照)と、検査光路上に任意のフィルタ手段を選択的に挿入して保持するフィルタ挿脱機構部9と、検査光路上に保持された液晶パネルモジュール100を加熱或いは冷却して液晶パネルモジュール100の温度調節を行う温度調節装置10とを筐体2内に有して要部が構成されている。
【0020】
検査光学系5は、筐体2の下部で白色光等の検査光を水平方向に出射するランプ15と、このランプ15から出射された検査光を鉛直方向上方に反射する第1の反射鏡16と、第1の反射鏡16で反射された鉛直方向の検査光を筐体2の上部で水平方向に反射する第2の反射鏡17と、第1,第2の反射鏡16,17の間の検査光路上に介装された投射レンズ18とを有して構成され、第2の反射鏡17で反射後の検査光が、筐体2に開口された投射口19から出射されて図示しないスクリーンに投影されるようになっている。
【0021】
ステージ6は、ステージ動作機構部25(後述する)を介して筐体2内に水平に支持される矩形の板状部材で構成され、ステージ6の上面には検査対象となる液晶パネルモジュール100を載置するための凹部20が形成されている。
【0022】
この場合、凹部20は、液晶パネルモジュール100の外観形状に略沿う形状をなし、さらに、図示しないピン等の位置決め部材を要部に有することにより、載置された液晶パネルモジュール100を所定に位置決めした状態で水平に保持するようになっている。
【0023】
また、ステージ6には、凹部20に載置された液晶パネルモジュール100の表示部(図示せず)に検査光を導くための開口部21が開口されている。
【0024】
また、ステージ6の基部には、当該ステージ6をステージ動作機構部25に着脱自在に装着するためのフランジ部23が設けられている。
【0025】
ステージ動作機構部25は、筐体2内に水平に支持されたエアシリンダ26を有して構成されている。エアシリンダ26には、図示しない空気圧制御装置が接続されており、この空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって、エアシリンダ26のピストンロッド27が筐体2内を水平方向に伸縮移動するようになっている。
【0026】
また、ピストンロッド27の先端には、ステージ装着部28が固設されており、このステージ装着部28に、フランジ部23を介してステージ6が装脱自在に締結固定されている。
【0027】
この場合、ステージ6は、図2に実線で示すように、ピストンロッド27が収縮位置にあるとき、第1の反射鏡16と投射レンズ18との間に挿入されて液晶パネルモジュール100の表示部を検査光路上に保持し、一方で、図2に2点鎖線で示すように、ピストンロッド27が伸長位置にあるとき液晶パネルモジュール100の表示部を検査光路から退避させるよう、各部の諸元が設定されている。なお、図示のように、検査開始前や検査終了後等におけるピストンロッド27の伸長時には、ステージ6が筐体2に設けられた開閉窓29を押し開けることで、液晶パネルモジュール100が筐体2の外部に露呈されて交換可能となる。
【0028】
プローブユニット7は、プローブ動作機構部33(後述する)を介して筐体2内に支持されるもので、液晶パネルモジュール100のFPC101上に配列された各端子(図示せず)に対応する複数のプローブ30を有して構成されている。
【0029】
そして、プローブユニット7は、各プローブ30がFPC101上の各端子と電気的に接続された際に、パネル駆動装置32で生成された所定の駆動信号を液晶パネルモジュール100に伝達するようになっている。
【0030】
プローブ動作機構部33は、筐体2内に垂直に支持されたエアシリンダ34を有して構成されている。エアシリンダ34には、図示しない空気圧制御装置が接続されており、この空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって、エアシリンダ34のピストンロッド35が筐体2内を垂直方向に伸縮移動するようになっている。
【0031】
また、ピストンロッド35の先端には、プローブユニット装着部36が固設されており、このプローブユニット装着部36に、プローブユニット7が装脱自在に締結固定されている。
【0032】
この場合、プローブユニット7は、各プローブ30が検査光路上に保持された液晶パネルモジュール100のFPC101上の各端子に夫々対向され、且つ、ピストンロッド35が伸長位置(下降位置)にあるときFPC101上の各端子に各プローブ30が電気的に接続されるとともに(図2参照)、ピストンロッド35が収縮位置(上昇位置)にあるとき各端子から各プローブ30が離間されるよう(図示せず)、各部の諸元が設定されている。
【0033】
図1に示すように、パネル移動機構部8は、ラックギヤ61が一体形成された台座60と、台座60をキー嵌合して筐体2内で水平移動自在に支持するガイドレール62と、エアシリンダ26,34を台座60に一体的に固設するアーム部63と、ラックギヤ61に噛合するピニオンギヤ64と、筐体2に固設され、ピニオンギヤ64を軸支するモータ65とを有して構成されている。
【0034】
そして、パネル移動機構部8は、例えば、モータ65が所定回動角毎に反転しながら回動するよう駆動制御されることにより、ステージ6及びプローブユニット7を水平後方に揺動させるようになっている。これにより、液晶パネルモジュール100は、検査光に対して垂直方向に揺動(移動)される。
【0035】
フィルタ挿脱機構部9は、例えば投射レンズ18と第2の反射鏡17との間の検査光路上に任意のフィルタ手段40を選択的に挿入して保持するためのもので、検査光路に平行となるよう筐体2内に立設された軸部41と、軸部41に夫々回動自在に軸支された複数(本実施の形態では4枚)のトレイ42とを有して構成されている。
【0036】
各トレイ42の上面にはフィルタ手段40を載置して保持するための凹部43が設けられ、さらに各凹部43の底部には、各凹部43に夫々載置されたフィルタ手段40に検査光を導くための開口部44が設けられている。
【0037】
フィルタ挿脱機構部9は、通常時には、各トレイ42を検査光路からの退避位置に保持するようになっており、作業者等によって所定のトレイ42が選択されて退避位置から所定の回動角だけ回動されることにより、当該トレイに保持したフィルタ手段40を検査光路に露呈するようになっている。
【0038】
本実施の形態において、各トレイ42には、フィルタ手段40として、例えば、液晶パネルモジュール100を通過後の検査光のコントラストを強調するコントラスト強調フィルタとしての視角補償フィルタや、緑(G),青(B),赤(R)等の所定の波長領域の検査光を透過する色フィルタ、光量調節フィルタとしてのND(neutral density)フィルタ等が載置される。ここで、各フィルタ手段40は、検査対象である液晶パネルモジュールを実際に搭載する液晶プロジェクター装置の各種フィルタやダイクロイックミラー等に相当する光学特性を有することが望ましい。
【0039】
温度調節装置10は、検査光路上に保持された液晶パネルモジュール100に温風或いは冷風を送風することにより液晶パネルモジュール100の温度調節を行うもので、ブロア装置45と、このブロア装置45の駆動制御を行う制御部(図示せず)と、液晶パネルモジュール100の近傍でステージ6に埋設された温度センサ(図示せず)とを有して構成されている。制御部には温度設定等を行うための図示しないコントロールパネルが設けられており、制御部は、温度センサからの検出温度に基づいて、ブロア装置45から送風する温風或いは冷風の風量及びその温度をフィードバック制御することで、液晶パネルモジュール100を所望の設定温度に制御するようになっている。
【0040】
次に、上述の構成による検査装置1の作用について説明する。
【0041】
先ず、作業者は、図示しない空気圧制御装置を介してエアシリンダ26を動作させてステージ6を検査光路からの退避位置まで移動させる。そして、この状態で、ステージ6の凹部20上に検査対象となる液晶パネルモジュール100を位置決めして載置する。
【0042】
その後、作業者は、空気圧制御装置を介してエアシリンダ26を動作させ、ステージ6を第1の反射鏡16と投射レンズ18との間の挿入位置まで移動させる。これにより、ステージ6上に載置された液晶パネルモジュール100の表示部が検査光路上に所定に保持される。
【0043】
その後、作業者は、空気圧制御装置を介してエアシリンダ34を動作させることでプローブユニット7を下降させ、当該プローブユニット7のプローブ30を、液晶パネルモジュール100のFPC101上に配列された各端子に電気的に接続させる。
【0044】
その後、作業者は、パネル駆動装置32を動作させ、所定の駆動信号を液晶パネルモジュール100に印加する。これにより、図示しないスクリーン上には、所定の検査画像が投影される。
【0045】
その後、作業者は、パネル移動機構部8を動作させ、ステージ6(すなわち、液晶パネルモジュール100)及びプローブユニット7を一体的に揺動させる。これによりスクリーン上に投影された検査画像が揺動される。検査画像が揺動されると、その残像効果により、作業者の点欠陥等の視認性が向上する。
【0046】
従って、作業者の熟練度等に関係なく、点欠陥等の検出精度を所定以上に維持することができる。また、検査光の照度を必要以上に高めることなく点欠陥等の検出精度を向上することができるので、検査光による液晶パネルモジュール100への熱害や作業者の目への疲労等を低減することができる。
【0047】
また、液晶パネルモジュール100を検査光に対して垂直方向に移動させるようパネル移動機構部8を構成することにより、移動する投射光の形状を一定に保持することができ、より良好な視認性を得ることができる。
【0048】
また、プローブユニット7を液晶パネルモジュール100と一体的に移動させるようパネル移動機構部8を構成することにより、液晶パネルモジュール100に安定した検査画像を表示させることができる。
【0049】
ここで、このような検査時に、作業者が、フィルタ挿脱機構部9の各トレイ42を選択的に検査光路上に移動させて、液晶パネルモジュール100からの出射光に各フィルタ手段40を作用させることにより、検査光の特性が任意に制御された検査画像を観察することができる。
【0050】
例えば、検査光路上に視角補償フィルタを挿入することにより、コントラストが強調された検査画像を観察することができ、点欠陥の検出等を容易なものとすることができる。
【0051】
また、検査光路上に所定の色フィルタを挿入することにより、G,B,R等の各色の波長領域に制限された検査画像を観察することができ、実際の液晶プロジェクター装置等の各色光路に最適な条件下での検査を行うことができる。
【0052】
また、NDフィルタを検査光路上に挿脱すれば、高い照度が必要なパネルの輝点検査と高い照度を必要としないそれ以外の検査とをランプ15の出射光量を変化させることなく行うことができる。
【0053】
また、各フィルタ手段40の挿脱位置を、投射レンズ18後に設定することにより、フィルタ手段40の挿脱による光路長の増減に起因する焦点位置のズレを投射レンズ18の僅かなフォーカス移動のみで補正することができる。
【0054】
また、作業者は、温度調節装置10を作動させて、液晶パネルモジュール100の温度管理を行うことで、所定の高温条件下或いは低温条件下での検査画像を観察することができる。
【0055】
ここで、検査装置1に用いられるパネル移動手段としては、上述のパネル移動機構部8に代えて、例えば図3に示すパネル移動機構部70を採用することも可能である。なお、このパネル移動機構部70は、台座60に動力を伝達する機構が上述のパネル移動機構部8と異なる。その他、同様の構成については同符号を付して説明を省略する。すなわち、パネル移動機構部70は、ラックギヤ61に代えて、雌ネジ貫通孔71が台座60に設けられ、この雌ネジ貫通孔71には、雄ネジ部72が螺合されている。また、雄ネジ部72には、筐体2に固設されたモータ73の軸部が連結されている。そして、パネル移動機構部70は、例えば、モータ72が所定回動角毎に反転しながら回動するよう駆動制御されることにより、ステージ6及びプローブユニット7を水平後方に揺動させるようになっている。このような構成によれば、上述のパネル移動機構部8と同様に、液晶パネルモジュール100を、検査光に対して垂直方向に揺動(移動)させることができる。
【0056】
また、パネル移動手段としては、上述のパネル移動機構部8から、ラックギヤ61、ピニオンギヤ64、及び、モータ65を省略し、台座60を手動によって移動させるよう構成することも可能である。
【0057】
なお、上述の実施の形態では、検査装置をモジュール化された液晶パネル(液晶パネルモジュール)に適応した一例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、モジュール化される前の液晶パネル等に対しても適用が可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【図1】パネル移動機構部の概略構成図
【図2】液晶パネルの検査装置の概略構成図
【図3】パネル移動機構部の変形例を示す概略構成図
【符号の説明】
1…検査装置
7…プローブユニット(信号伝達手段)
8…パネル移動機構部(パネル移動手段)
70…パネル移動機構部(パネル移動手段)
100…液晶パネルモジュール(液晶パネル)
Claims (4)
- 液晶パネルに表示した検査画像を投影する検査光路上で、上記液晶パネルを検査光に対して相対移動させるパネル移動手段を備えたことを特徴とする液晶パネルの検査装置。
- 上記パネル移動手段は、上記液晶パネルを上記検査光に対して垂直方向に移動させることを特徴する請求項1記載の液晶パネルの検査装置。
- 上記液晶パネルに上記検査画像を表示するための表示信号を伝達する信号伝達手段を有し、
上記パネル移動手段は、上記信号伝達手段を上記液晶パネルと一体的に移動させることを特徴とする請求項1または請求項2記載の液晶パネルの検査装置。 - 液晶パネルに表示した検査画像を投影する手順と、
上記検査画像を表示した液晶パネルを検査光に対して相対移動させる手順とを備えたことを特徴とする液晶パネルの検査方法。
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JP2002261817A JP2004101298A (ja) | 2002-09-06 | 2002-09-06 | 液晶パネルの検査装置及びその検査方法 |
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JP2007040747A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Micronics Japan Co Ltd | 表示パネルの電気検査装置 |
CN100529961C (zh) * | 2006-08-30 | 2009-08-19 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镜片偏心检测装置及其旋转平台 |
-
2002
- 2002-09-06 JP JP2002261817A patent/JP2004101298A/ja not_active Withdrawn
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