JP4073175B2 - ボンディング装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイスの組立工程において、被ボンディング部品となるICチップ上のパッド(電極)と、このICチップが貼着されている被ボンディング部品となるリードフレーム等に形成された外部リードとをボンディングワイヤ等で接続するボンディング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ICチップ上のパッド(電極)と外部リードとを接続するボンディング装置としては、図9に示すようなワイヤボンディング装置が知られている。
【0003】
図9に示すように、ワイヤボンディング装置は、カメラヘッド1a、光学レンズ1b(以下レンズという)等を備えた撮像手段としてのカメラ1と、キャピラリ2aが先端に装着されたボンディングアーム2と、ボンディングアーム2を上下に駆動するボンディングヘッド3と、ボンディングアーム2及びボンディングヘッド3からなるボンディング手段及び撮像手段を搭載してX方向及びY方向に二次元的に移動させて位置決めする位置決め手段としてのXYテーブル4と、キャピラリ2a及びボンディングアーム2等からなるボンディングヘッド3によるボンディング作業が行なわれるボンディングステージ7を有する搬送装置5とを備えており、ボンディングステージ7は、複数のICチップ6が長手方向に並べて貼着されたリードフレームL/F等を加熱するヒータ7aを有している。
【0004】
また、図9に示すように、ワイヤボンディング装置は、カメラ1からの撮像信号を受ける画像処理装置30と、画像処理装置30からの出力を受けるモニタ9と、マイクロプロセッサを含む制御装置10と、XYテーブル4を手動にて移動させるための信号を制御装置10に出力するマニピュレータ17と、制御装置10からの指令信号に応じてボンディングヘッド3及びXYテーブル4への駆動信号を発する駆動装置11とが設けられている。また、制御装置10には操作スイッチ18が接続されている。
【0005】
図9及び図10に示すように、ワイヤボンディング装置は、作業開始に際して加熱されているボンディングステージ7上に搬送装置5によりリードフレームL\Fが搬入され、且つ、最先のICチップ6がボンディング作業位置に位置決めされる。この状態で、上記ボンディングアーム2及びXYテーブル4を作動させて最先のICチップ6に関するボンディング作業が行われる。ICチップ6は、例えば、正方形にしてその上面外周に沿って多数のパッド6aが並設され、リードフレームL\Fに形成されたランド部14に貼着されている。そして、リードフレームL\Fには、これらパッド6a各々に対応するリード20が設けられている。
【0006】
次に、ボンディング作業に先立ち予め行われるセルフティーチに関して説明する。セルフティーチは、ボンディング対象たるパッド6a及びリード20上の各ボンディング位置等に関する各種条件の設定を行うものである。
【0007】
図9に示すように、オペレータは、カメラ1からの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させて、モニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点OをICチップ6上の少なくとも1個所の定点に合わせ、また、2点で目合わせを行う場合は、図9及び図10に示すように、クロスライン9aの交点Oをセルフティーチにより設定するICチップ6上の2個所の定点に合わせ、このときのXYテーブル4の位置を第1基準点a及び第2基準点bとする。なお、オペレータがマニピュレータ17を操作してXYテーブル4上のカメラ1を移動させて、モニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点OをICチップ上の定点、パッドの中心点、リードの中心点等に合わせる操作を、以後、目合わせと称する。図9から明らかなように、カメラ1の光学レンズ1bの位置とXYテーブルの座標の位置とは異なるものであり、モニタ9の画面上からみた場合が目合わせであり、そのときのXYテーブルの位置座標が第1基準点a又は第2基準点bである。
【0008】
そして、ICチップ6上の定点におけるXYテーブル4の第1基準点a及び第2基準点bの位置座標が制御装置10内のメモリ(記憶装置)に記憶され、また、XYテーブル4の第1基準点a及び第2基準点bでのモニタ9上のウインド9b内のICチップ6の定点を中心とする画像が基準パターン(図9で示すモニタ9上のウインド9b)として画像処理装置30のメモリ(記憶装置)に記憶される。
【0009】
次に、前述した第1基準点a及び第2基準点bにおける目合わせは、ICチップ6の目合わせであるが、それに加えてリードフレームL/F上の0個所又は1個所以上に目合わせを行う必要がある。図10に示すように、パッドが2点、リードが1点の場合、セルフティーチによりリードフレームL/F上の1個所の定点に合わせ、このときのXYテーブル4の位置を第3基準点cとする。
【0010】
そして、XYテーブル4の第3基準点cの位置座標が制御装置10内のメモリに記憶され、また、XYテーブル4の第3基準点cでのモニタ9上のウインド9b内のリードフレームL/F上の定点を中心とする画像が基準パターンとして画像処理装置30のメモリに記憶される。
【0011】
前述したように、全てのパッド6a及びリード20の目合わせを行い、ボンディング点の位置座標を制御装置10内のメモリに記憶する。
【0012】
次に、ボンディング装置によるワイヤボンディングの動作について説明する。
【0013】
ワイヤボンディング作業では、最初に、ICチップ6、リード20のずれ量の検出が行われる。
【0014】
図10に示すように、リードフレームL/F上に複数のICチップ6が長手方向に導電性の接合材で並べて貼着されたICチップ6の位置は、貼着されるべき所定の位置に対してずれた位置となっている場合がある(図10の破線で示す6’がICチップ6の所定の位置であり、前述した第1基準点a及び第2基準点bもセルフティーチで予め設定された定点として存在する)。また、搬送装置5でリードフレームL/Fをボンディングステージ7上に搬送したとき、ボンディングステージ7上でのリードフレームL/Fの位置が、X方向にばらつくことがある。
【0015】
このためワイヤボンディング作業を行う前に、セルフティーチで設定されたICチップ6上の2個所の定点の位置を検出して、ICチップ6の所定の位置に対するずれ量を算出する。
【0016】
ICチップ6のずれ量の算出は、XYテーブル4上に搭載されたカメラ1を第1基準点a及び第2基準点bに移動して、XYテーブル4の移動完了後カメラ1でICチップ6を撮像し、その撮像信号を画像処理装置30に入力して画像認識を行い、第1基準点a及び第2基準点bからのICチップ6上の定点(図10に示す、a’、b’)までの各ずれ量(図10のΔXa、ΔYa及びΔXb、ΔYb)を求める。前記ずれ量のデータに基づき予め記憶された各パッド6aのボンディング位置座標を演算して、ICチップ6のボンディングすべきパッド6aの位置を算出する。
【0017】
また、第2ボンディング点となるリード20の位置もリードフレームL/F上の1個所の定点であるc’の位置を検出して、リードフレームL/F上の所定の位置に対するずれ量を算出する。すなわち、リードフレームL/Fのずれ量は、XYテーブル4上に搭載されたカメラ1をセルフティーチで予め設定された第3基準点cに移動して、第3基準点cからリードフレームL/F上の定点であるc’までのずれ量を求める。このずれ量に基づき予め記憶されたリード20のボンディング位置座標を演算してリード20の位置を求める。
【0018】
以上説明したICチップ6のパッド6a及びリード20の各位置を検出後、XYテーブル4を作動してボンディングアーム2の先端にボールが形成されたワイヤが挿通されたキャピラリ2aをボンディング位置座標に基づきパッド6aの直上に位置決めして、図9に示すボンディングヘッド3によりボンディングアーム2を駆動しキャピラリ2aを下降させ、パッド6a上のボールを押しつぶして熱圧着ボンディングを行う。このとき、図示しない超音波励振手段を用いてキャピラリ2aを励振することも行われる。
【0019】
この第1ボンディング点への接続が終わると、ボンディングアーム2の昇降動作及びXYテーブル4の動作が適時行われ、所定のループコントロールに従ってワイヤが引き出され、第1ボンディング点に対すると同様にしてリード20上の第2ボンディング点へのボンディングが行われ、ワイヤがリード20上に圧接される。その後、ボンディングアーム2を所定の高さまで上昇させる過程でワイヤのカットが行われ、一組のパッド6a及びリード20の接続が完了する。以後、ICチップ6に設けられた各パッド6aとこれらに対応して配設された各リード20について上記の一連の動作が繰り返される。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
以上述べたように、従来のワイヤボンディング装置では、ワイヤボンディングを行う際に、セルフティーチで前もつて設定されている第1基準点a、第2基準点b及び第3基準点cにXYテーブル4上に搭載されたカメラ1を移動してXYテーブル4の移動完了後、カメラ1で被ボンディング部品となるICチップ6及びリードフレームL/Fを撮像し、その撮像信号を画像処理装置30に入力して画像処理を行い、第1基準点a、第2基準点b及び第3基準点cの各基準点からICチップ6上の定点(この場合a’、b’となる)及びリードフレームL/F上の定点(この場合c’となる)までの各ずれ量を求め、前記ずれ量に基づいて予め記憶されているパッド6a及びリード20のボンディング位置座標の補正を行い、補正した各パッドの位置及び各リード20の位置にワイヤをボンディング接続する。
【0021】
しかしながら、ICチップ6上の定点(この場合a’、b’となる)がカメラ1の視野外となった場合や、ICチップ6の表面の定点(この場合a’、b’となる)付近のパターンのコントラストが変化してカメラ1の画像が基準パターン(この場合ウインド9b)と異なる場合には、画像処理装置30によるICチップ6上の定点(この場合a’、b’となる)までのずれ量の検出ができない場合がある。すなわち、ICチップ6の表面の定点付近のパターンのコントラストが著しく変化している場合には、基準パターンとの同一性が失われるので画像処理装置30は、それを認識できないからである。したがって、画像処理装置30がこのようなずれ量を検出できない場合には、ワイヤボンディング装置は、エラー信号を外部に発して動作を停止する。この場合のエラー処理として、オペレータは、マニピュレータ17を操作して検出できなかった定点に目合わせを行う。
【0022】
しかしながら、オペレータは、例えば、ICチップ6上の定点とされているパッドの目合わせ位置を忘れたり、指定のパッドでなく、他のパッドに目合わせしてしまう場合がある。特に、オペレータが交代したときには、そのような事態が生じやすく、オペレータが指定以外のパッドに目合わせすると、間違ったずれ量が検出され、パッドの位置が正確に算出されないため、ボンディング動作でボールの位置がパッド中心よりずれてしまい、ボールとICチップ6の配線パターンとがショートして、ICチップの不良を誘発するおそれがある。
【0023】
そこで、本発明は、目合わせ時に前もって記憶されたICチップ上の定点の画像を参照画像としてモニタに表示することにより、オペレータが参照画像を見ながら正確な位置に目合わせを行うことができるボンディング装置を提供することを目的とする。
【0024】
【課題を解決するための手段】
本発明によるボンディング装置は、被ボンディング部品に対してボンディングを行うボンディング手段と、前記ボンディング手段を前記被ボンディング部品に対して二次元的に相対移動させて位置決めを行う位置決め手段と、前記位置決め手段に搭載されて前記被ボンディング部品を撮像する撮像手段と、前記撮像手段からの撮像信号を画像データとして切り出す画像切り出し手段と、前記画像切り出し手段からの画像データを受けて前記被ボンディング部品の画像を記憶する画像記憶手段と、前記撮像手段からの撮像信号に前記画像記憶手段から読み出した画像データを重畳する画像重畳手段と、前記画像重畳手段からの映像信号を表示する表示手段とからなるボンディング装置であって、セルフティーチ時に、前記位置決め手段は、被ボンディング部品のずれ量を検出するために被ボンディング部品上に設定した目合わせ点の位置を基準点として記憶し、前記画像記憶手段は、前記基準点での前記撮像手段の前記撮像信号から前記画像切り出し手段で切り出された画像データを参照画像として記憶し、前記画像記憶手段に記憶された参照画像と同種の被ボンディング部品のボンディング時に、前記位置決め手段が前記基準点に移動した後、前記画像重畳手段は、前記撮像手段からの撮像信号に前記画像記憶手段に記憶した参照画像を重畳して前記表示手段に出力するものである。
【0025】
また、本発明によるボンディング装置の前記画像切り出し手段は、前記撮像手段からの被ボンディング部品上の前記目合わせ点を含んだ撮像信号より指定範囲内を画像データとして切り出しするものである。
【0026】
また、本発明によるボンディング装置の前記画像記憶手段は、セルフティーチ時に前記位置決め手段の前記基準点での前記撮像手段の前記撮像信号から前記画像切り出し手段で切り出された画像データに目合わせ用マークを付して参照画像として記憶するものである。
【0027】
また、本発明によるボンディング装置の前記画像重畳手段は、前記画像記憶手段に記憶した参照画像を前記表示手段の指定の位置に表示するものである。
【0028】
また、本発明によるボンディング装置は、ボンディング時に被ボンディング部品上の前記目合わせ点に目合わせした位置での前記撮像手段からの撮像信号を画像データに変換して該変換された画像データと、前記画像記憶手段に記憶された前記参照画像との一致度を検出する一致度検出手段を有するものである。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明によるボンディング装置の実施の形態について説明する。なお、図9及び図10に示す従来のワイヤボンディング装置と同一の構成及び機能を有する部分については、同じ符号を用いて説明する。図1は、本発明によるボンディング装置の構成を示すブロック図、図2は、図1に示す画像認識装置の回路構成をブロック図、図3は、画像重畳回路の構成をブロック図、図4は、モニタのモニタ表示エリア上での画像重畳回路のスイッチ回路を制御する制御信号と、モニタ上に表示されるD/Aコンバータのアナログ信号との関係を示す図である。
【0030】
図1に示すように、本発明によるボンディング装置は、先端に取り付けられたレンズ1b及び撮像素子が内蔵されたカメラヘッド1aを有して、被ボンディング部品の撮像を行う撮像手段としてのカメラ1と、ボンディングアーム2の先端に取り付けられたキャピラリ2a等を含むボンディング手段としてのボンディングヘッド3と、カメラ1及びボンディングヘッド3をX方向及びY方向の二次元方向に移動可能な位置決め手段としてのXYテーブル4と、カメラ1によって撮像される被ボンディング部品としてのICチップ6を搭載したリードフレームL/Fをボンディングステージ7へ搬送する搬送装置5と、カメラ1からの出力を受けて画像認識を行う画像認識手段としての画像認識装置8と、この画像認識装置8からの出力を受ける表示手段としてのモニタ9と、駆動手段としての駆動装置11への制御信号を生成するマイクロプロセッサ及び情報を記憶するメモリ(記憶装置)を含む制御装置10と、XYテーブル4を手動にて移動させるための信号を制御装置10に出力するマニピュレータ17と、制御装置10からの指令信号に応じてボンディングヘッド3及びXYテーブル4への駆動信号を発する駆動手段としての駆動装置11とが設けられており、制御装置10には、操作スイッチ18が接続されている。
【0031】
図2に示すように、画像認識装置8は、クロック信号生成回路8aと、クロック信号生成回路8aからのクロック及び制御回路8fからの信号によりカメラ1に水平及び垂直同期信号などのカメラ制御信号を出力するカメラ制御信号生成回路8bと、カメラ1からの撮像信号を増幅する増幅器8cと、増幅器8cから出力される信号をサンプリングして多値化のデジタル値(画像データ)に変換する変換器8eと、変換器8eから出力される画像データから指定された範囲(例えば、本発明による実施の形態によれば、制御回路8fで指定された水平方向及び垂直方向の切り出し開始時間及び切り出し終了時間により変換器8eから出力される画像データの切り出しを行う。)の画像データを切り出す画像切り出し手段としての画像切り出し回路8kと、変換器8eから出力される画像データと基準パターンとのマッチング等の画像認識を行ってずれ量を検出する画像処理回路8dと、画像切り出し回路で切り出された参照画像のデータ及びICチップ6等の定点のずれ量検出用の基準パターン等を記憶する画像記憶手段としての画像メモリ8gと、画像メモリ8gの書き込み、読み出し等の制御を行う画像メモリ制御回路8qと、画像処理回路8d、カメラ制御信号生成回路8b、画像メモリ8g等の制御を行うマイクロコンピュータを内蔵した制御回路8fと、増幅器8cからの映像信号に画像メモリ8gより読み出した画像データの重畳を行う画像重畳手段としての画像重畳回路8pと、制御回路8fからの制御信号によりモニタ9への表示信号を切り替え制御する表示制御回路8mと、制御装置10との通信を行う入出力回路8hよりなる。
【0032】
図3に示すように、画像重畳回路8pは、スイッチ回路及びD/Aコンバータとからなり、D/Aコンバータは、画像メモリ8gより読み出した画像データをアナログ信号に変換して、スイッチ回路の入力端子(B)に出力する。また、スイッチ回路の一方の入力端子(A)には増幅器8cからの映像信号が入力される。スイッチ回路は、画像メモリ制御回路8qから入力端子(C)に入力される制御信号により、入力端子(A)、(B)の入力信号を選択して出力端子(O)に信号を出力するように構成されている。
【0033】
また、図4には、モニタ9のモニタ表示エリア上での前記画像重畳回路8pのスイッチ回路を制御する制御信号と、モニタ9上に表示されるD/Aコンバータのアナログ信号との関係が示されており、図4に示すように、制御信号としての水平制御信号における時間ThsよりThe間、及び垂直制御信号での時間TvsよりTve間をハイレベル信号‘1’をスイッチ回路の入力端子(C)に入力することにより、画像メモリ8g上の参照画像のアナログ信号がスイッチ回路より出力される。
【0034】
また、水平制御信号におけるThsからTheまでの時間及び垂直制御信号でのTvsからTveまでの時間を変えることにより、画像メモリ8gより読み出した参照画像をモニタ表示エリアの任意の位置に表示することができる。なお、参照画像をモニタ9のモニタ表示エリア上の任意の位置に表示する制御は、操作スイッチ18の操作により制御装置10からの制御信号を画像認識装置8の制御回路8fが受けて、制御回路8fより制御信号が画像メモリ制御回路8qに出力されて画像メモリ制御回路8qにより行われる。
【0035】
また、図2に示すように、画像認識装置8の画像処理回路8dは、変換器8eから出力される画像データと画像メモリ8gに記憶した参照画像のデータとのマッチングを行うことができる。したがって、この画像処理回路8dによりカメラ1からの撮像信号の画像データと、画像メモリ8gに記憶した参照画像のデータとのマッチング処理により一致度を検出することができる。
【0036】
また、図1に示す制御装置10のメモリは、以下に説明するセルフティーチ、ずれ量の検出等の各動作をつかさどる制御プログラムを内蔵している。
【0037】
以下に、本発明によるボンディング装置におけるICチップ6等の定点のずれ量を検出するための、各種の条件を設定するセルフティーチについて説明する。図5は、ICチップの定点のずれ量を検出するための条件を設定するセルフティーチの流れを示すフローチャートである。なお、本発明によるボンディング装置のICチップ6等の定点のずれ量の検出は、画像認識装置8により自動でずれ量の検出を行うフルオートモード又は、オペレータがマニピュレータ17を操作してずれ量の検出を行うセミオートモードにより行うことが可能となっている。以後、画像認識装置8により自動でずれ量の検出を行うことをフルオートモードと称し、また、オペレータがマニピュレータ17を操作してずれ量の検出を行うことをセミオートモードと称する。
【0038】
最初に、オペレータは、カメラ1からの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させてモニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点Oをセミオートモード用のICチップ6上の定点としての第1目合わせ点(図8に示すa)に目合わせをする(図5のステップS1)。
【0039】
図8に示すように、図1に示すXYテーブル4の位置におけるセミオートモード用の第1基準点をaとすると、これにICチップ6上の定点としての第1目合わせ点が相当し、また、セミオートモード用の第2基準点bは、ICチップ6上の定点としての第2目合わせ点に相当する。セミオートモード用の第1基準点a及び第2基準点bは、XYテーブル4上の位置座標としてのものであって、図1に示すモニタ9のウインド9bに示す基準パターンとは異なるものである。
【0040】
図5に示すように、第1目合わせ点(図8に示すa)の目合わせ完了後に図1に示す操作スイッチ18を押して制御装置10に目合わせ完了を通知する。制御装置10は、操作スイッチ18が押されたことを確認後、XYテーブル4の位置座標をセミオート用第1基準点(図8に示すa)として制御装置10内のメモリに記憶する。また、セミオート用第1基準点(図8に示すa)のモニタ9上のウインド9b内の画像が第1目合わせ点(図8に示すa)の参照画像として画像認識装置8の画像メモリ8gに記憶される(ステップS2)。そして、図2に示す制御回路8fは、画像メモリ8gに記憶された参照画像のクロスライン9aの交点Oに相当する位置を中心に目合わせマーク用のデータを画像メモリ8gに書き込む(ステップS3)。
【0041】
次に、カメラ1からの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させてモニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点Oをフルオートモード用のICチップ6上の定点としての第1検出点(図8に示すD)に目合わせをする(ステップS4)。
【0042】
フルオートモードでは、図8に示すように、ICチップ6の外周を囲む各辺の枠内にXYテーブル4の移動によりモニタ9の画面上のウインド9bを位置させてそのウインド9bのクロスライン9aの交点OのXYテーブル4の位置をフルオートモード用の第1基準点とし、クロスライン9aの交点OのICチップ6の位置をICチップ上の定点としての第1検出点Dとしている。また、図8に示すように、ICチップ6の外周を囲む各辺の枠内にXYテーブル4の移動によりモニタ9の画面上のウインド9bを位置させてそのウインド9bのクロスライン9aの交点OのXYテーブル4の位置をフルオートモード用の第2基準点とし、クロスライン9aの交点OのICチップ6の位置をICチップ上の定点としての第2検出点Eとしている。すなわち、セミオートモード用の定点としての目合わせ点との相違は、フルオートモード用の定点としての検出点が、図8に示すように、ウインド9bの枠がICチップ6の外周を囲む各辺の枠内になるように設定されていることである。これは、ウインド9bの一部又は全部が、ICチップ6の外周を囲む各辺の枠をはみ出すように設定される場合には、ICチップ6が貼着されている接着剤などの影響によって検出精度に影響を及ぼすことを避けるためである。
【0043】
次に、図5に示すように、第1検出点(図8に示すD)の目合わせ完了後に操作スイッチ18を押して制御装置10に目合わせ完了を通知する。制御装置10は、操作スイッチ18が押されたことを確認後、XYテーブル4の位置座標をフルオートモード用第1基準点(図8に示すD)として制御装置10内のメモリに、また、フルオートモード用第1基準点(図8に示すD)のモニタ9上のウインド9b内の画像が基準パターンとして画像認識装置8の画像メモリ8gにそれぞれ記憶される(ステップS5)。なお、図8に示すように、セミオートモード用の第1目合わせ点aとフルオートモード用の第1検出点Dとは、異なる位置で設定されているが、これをICチップ6上の同じ点(位置)に設定することも可能である。セミオートモード用の第2目合わせ点bとフルオートモード用の第2検出点Eについても同様である。
【0044】
次に、オペレータは、カメラ1からの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させてモニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点Oをセミオートモード用のICチップ6上の定点としての第2目合わせ点(図8に示すb)に目合わせをする(ステップS6)。第2目合わせ点(図8に示すb)の目合わせ完了後に操作スイッチ18を押して、制御装置10に目合わせ完了を通知する。制御装置10は、操作スイッチ18が押されたことを確認後、XYテーブル4の位置座標をセミオート用第2基準点(図8に示すb)として制御装置10内のメモリに記憶する。また、セミオート用第2基準点(図8に示すb)のモニタ9上のウインド9b内の画像が第2目合わせ点(図8に示すb)の参照画像として画像認識装置8の画像メモリ8gに記憶される(ステップS7)。そして、図2に示す制御回路8fは、画像メモリ8gに記憶された参照画像のクロスライン9aの交点Oに相当する位置を中心に目合わせマーク用のデータを画像メモリ8gに書き込む(ステップS8)。
【0045】
次に、カメラ1からの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させてモニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点Oをフルオートモード用のICチップ6上の定点としての第2検出点(図8に示すE)に目合わせをする(ステップS9)。フルオートモード用の第2検出点(図8に示すE)の目合わせ完了後に操作スイッチ18を押して制御装置10に目合わせ完了を通知する。制御装置10は、操作スイッチ18が押されたことを確認後、XYテーブル4の位置座標をフルオート用第2基準点(図8に示すE)として制御装置10内のメモリに、また、フルオートモード用の第2基準点(図8に示すE)のモニタ9上のウインド9b内の画像が基準パターンとして画像認識装置8の画像メモリ8gにそれぞれ記憶する(ステップS10)。
【0046】
以上の操作により、セミオートモード及びフルオートモードによるICチップ6の定点の検出用データ等の設定に関するセルフティーチが終了する。
【0047】
次に、オペレータは、カメラ1からの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させてモニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点Oをセミオートモード用のリード上の定点としての第3目合わせ点(図8に示すc)に目合わせをする。第3目合わせ点(図8に示すc)の目合わせ完了後に操作スイッチ18を押して、制御装置10に目合わせ完了を通知する。制御装置10は、操作スイッチ18が押されたことを確認後、XYテーブル4の位置座標をセミオート用第3基準点(図8に示すc)として制御装置10内のメモリに記憶する。また、セミオート用第3基準点(図8に示すc)のモニタ9上のウインド9b内の画像が第3目合わせ点(図8に示すc)の参照画像として画像認識装置8の画像メモリ8gに記憶される。そして、制御回路は画像メモリ8gに記憶された参照画像のクロスライン9aの交点Oに相当する位置を中心に目合わせマーク用のデータを画像メモリ8gに書き込む。
【0048】
次に、カメラ1からの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させてモニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点Oをフルオートモード用のリード上の定点としての第3検出点(図8に示すF)に合わせる。第3検出点(図8に示すF)の目合わせ完了後に操作スイッチ18を押して制御装置10に目合わせ完了を通知する。なお、フルオートモード用のリード上の定点としての第3検出点(図8に示すF)についても、図8に示すように、ウインド9b内の画像が基準パターンとして記憶される。
【0049】
制御装置10は、操作スイッチ18が押されたことを確認後、XYテーブル4の位置座標をフルオートモード用第3基準点(図8に示すF)として制御装置10内のメモリに、また、フルオートモード用第3基準点(図8に示すF)のモニタ9上のウインド9b内の画像が基準パターンとして画像認識装置8の画像メモリ8gにそれぞれ記憶される。
【0050】
次に、モニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点Oにマニピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させてリード20又はパッド6a上の所定位置、すなわちボンディングを行うべき位置に可能な限り正確に合わせ、この目合わせが完了した時点で、XYテーブル4の位置をボンディング点の位置座標として制御装置10内のメモリに記憶する。
【0051】
以下、予め設定された数又は全てのパッド6a及びリード20の目合わせを行い、ボンディング点の位置座標を制御装置10内のメモリに記憶する。
【0052】
以上で、ワイヤボンディング動作を行うための、位置座標の設定、画像データの設定等のセルフティーチが終了する。
【0053】
次に、ボンディング装置によるワイヤボンディングの動作におけるフルオートモードのずれ量の検出でのエラー停止時のオペレータによるずれ量の検出について図6に示すフローチャートを参照して説明する。
【0054】
図6に示すように、ICチップ6のずれ量の検出は、XYテーブル4上に搭載されたカメラ1をフルオートモード用第1基準点(図8に示すD)に移動し(ステップS20)、XYテーブル4の移動完了後、カメラ1でICチップ6を撮像してその撮像信号を画像認識装置8に入力する(ステップS21)。画像認識装置8は、カメラ1からの撮像信号を画像データに変換し、変換した画像データと、フルオートモード用第1基準点(図8に示すD)の基準パターンとのマッチング処理を画像処理回路8d(図2に図示)で行って、フルオートモード用第1基準点(図8に示すD)からのずれ量を算出する(ステップS22)。この場合のずれの現象は、図10に示すように、ICチップ6’からICチップ6のようにずれている場合であり、このずれている場合のずれ量を算出するものである。
【0055】
次に、ステップS22によるマッチング処理でのマッチング率が所定の基準値以上であるか否かを判定する(ステップS23)。マッチング率が所定の基準値以上の場合は、ずれ量の検出は正常であると判断して、検出したずれ量を記憶して(ステップS24)、XYテーブル4上に搭載されたカメラ1をステップS32のフルオートモード用第2基準点(図8に示すE)に移動する。マッチング率が所定の基準値未満の場合は、ずれ量の検出は異常であると判断して、エラー信号を出力して動作を停止する(ステップS25)。
【0056】
次に、オペレータは、ボンディング装置から出力されているエラー信号を解除して、操作スイッチ18を操作して検出モードをフルオートモードよりセミオートモードに切り替える(ステップS26)。
【0057】
ボンディング装置がセミオートモードに切り替えられると、XYテーブル4上に搭載されたカメラ1はフルオートモード用第1基準点(図8に示すD)よりセミオート用第1基準点(図8に示すa)に移動する(ステップS27)。XYテーブル4が移動完了後、画像認識装置8は画像メモリ8gに記憶された第1目合わせ点(図8に示すa)の参照画像を読み出して、画像重畳回路8pでカメラ1からの映像信号に重畳して表示制御回路8mに出力し、モニタ9に参照画像を重畳した画像を表示する(ステップS28)。図7は、参照画像を重畳した画像をモニタに表示した一例を示す図である。なお、操作スイッチ18を操作して参照画像をモニタ9上の任意の位置に表示することができる。
【0058】
次に、オペレータは、モニタ9上の参照画像を見ながらマニピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させてモニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点Oを第1目合わせ点(図8に示すa)に目合わせをする(ステップS29)。オペレータは、操作スイッチ18を操作して目合わせ完了スイッチを押し、このスイッチが押された後に画像認識装置8の画像処理回路8dは変換器8eから出力される画像データと画像メモリ8gに記憶したセミオートモード用第1基準点(図8に示すa)の参照画像の画像データとのマッチングを行い、カメラ1からの撮像信号の画像データと、画像メモリ8gに記憶したセミオートモード用第1基準点(図8に示すa)における参照画像の画像データとの一致度を検出する。検出した一致度は、モニタ9上に表示される(ステップS30)。この時、一致度を制御装置10に出力して、一致度が基準値以上であるかを判定して、基準値以下の場合は、オペレータに警告するようにしてもよい。
【0059】
制御装置10は、セミオートモード用第1基準点(図8に示すa)からのXYテーブル4の移動量をずれ量として記憶する(ステップS31)。
【0060】
次に、XYテーブル4上に搭載されたカメラ1は、セミオートモード用第2基準点(図8に示すb)に移動する。なお、ステップS24からの移行の場合は、フルオートモード用第2基準点(図8に示すE)に移動する(ステップS32)。XYテーブル4の移動後に操作スイッチ18によりフルオートモードに切り替えて、フルオートモードによるずれ量検出動作を再開する。また、セミオートモードによりオペレータがモニタ9上の参照画像を見ながらマニピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させてモニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点を第2目合わせ点(図8に示すb)に合わせるようにしてもよい。
【0061】
前記ずれ量のデータに基づき予め記憶された各パッド6aのボンディング位置座標を演算して、ICチップ6のボンディングすべきパッド6aの位置を算出する。
【0062】
また、第2ボンディング点となるリード20の位置もリードフレームL/F上の1個所の定点の位置を検出して、リードフレームL/F上の所定の位置に対するずれ量を算出する。算出したずれ量に基づき予め記憶されたリード20のボンディング位置座標を演算して、リード20の位置を求める。
【0063】
算出されたパッド6a及びリード20の位置座標より、ICチップ6に設けられた各パッド6aとこれらに対応して配設された各リード20についてのワイヤボンディングの動作を行う。
【0064】
以上により、フルオートモードで検出できなかった場合にセミオートモードに切り替えることにより、オペレータが参照画像を見ながら目合わせをして正しい位置に目合わせをすることができる。
【0065】
なお、本発明によるボンディング装置は、ワイヤボンディング装置について述べたが、テープボンディング装置におけるICチップ、テープキャリア上のリードの位置検出等にも適用できる。
【0066】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によるボンディング装置によれば、予め、被ボンディング部品の目合わせすべき定点の近傍の画像を画像情報として登録し、前記画像情報を用いて被ボンディング部品の定点の目合わせ時に、登録した画像情報をモニタ上に表示することにより、オペレータは表示された画像を参照して正確に目合わせを行うことができるため、ボンディング不良の発生を防止することができる。
【0067】
また、本発明によるボンディング装置によれば、オペレータが交代しても表示された画像を参照して正確に目合わせを行うことができるため、ボンディング装置の稼働率が向上し、ボンディング工程における半導体デバイスの生産数を増やすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるボンディング装置の構成を示すブロック図である。
【図2】 図1に示す画像認識装置の回路構成を示すブロック図である。
【図3】 画像認識装置の画像重畳回路の構成を示すブロック図である。
【図4】 画像重畳回路のスイッチ回路を制御する制御信号とモニタ上に表示されるD/Aコンバータのアナログ信号との関係を示す図である。
【図5】 ICチップの定点のずれ量を検出するための条件を設定するセルフティーチのフローチャートを示す図である。
【図6】 フルオートモードのずれ量の検出でのエラー停止時のオペレータによるずれ量の検出のフローチャートを示す図である。
【図7】 参照画像を重畳した画像をモニタに表示した一例を示す図である。
【図8】 リードフレームに貼着されたICチップの位置を示し、セルフティーチにおける目合わせ点、検出点を示す図である。
【図9】 従来のワイヤボンディング装置の構成を示すブロック図である。
【図10】 リードフレームに貼着されたICチップの位置を示し、基準点からのICチップの定点のずれ量を示す図である。
【符号の説明】
L/F リードフレーム
1 カメラ
1a カメラヘッド
1b 光学レンズ(レンズ)
2 ボンディングアーム
2a キャピラリ
3 ボンディングヘッド
4 XYテーブル
5 搬送装置
6 ICチップ
6a パッド
7 ボンディングステージ
7a ヒータ
8 画像認識装置
8a クロック信号生成回路
8b カメラ制御信号生成回路
8c 増幅器
8d 画像処理回路
8e 変換器
8f 制御回路
8g 画像メモリ
8h 入出力回路
8k 画像切り出し回路
8m 表示制御回路
8p 画像重畳回路
8q 画像メモリ制御回路
9 モニタ
9a クロスライン
9b ウインド
10 制御装置
11 駆動装置
14 ランド部
17 マニピュレータ
18 操作スイッチ
20 リード
30 画像処理装置
Claims (5)
- 被ボンディング部品に対してボンディングを行うボンディング手段と、
前記ボンディング手段を前記被ボンディング部品に対して二次元的に相対移動させて位置決めを行う位置決め手段と、
前記位置決め手段に搭載されて前記被ボンディング部品を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段からの撮像信号を画像データとして切り出す画像切り出し手段と、
前記画像切り出し手段からの画像データを受けて前記被ボンディング部品の画像を記憶する画像記憶手段と、
前記撮像手段からの撮像信号に前記画像記憶手段から読み出した画像データを重畳する画像重畳手段と、
前記画像重畳手段からの映像信号を表示する表示手段とからなるボンディング装置であって、
セルフティーチ時に、前記位置決め手段は、被ボンディング部品のずれ量を検出するために被ボンディング部品上に設定した目合わせ点の位置を基準点として記憶し、前記画像記憶手段は、前記基準点での前記撮像手段の前記撮像信号から前記画像切り出し手段で切り出された画像データを参照画像として記憶し、
前記画像記憶手段に記憶された参照画像と同種の被ボンディング部品のボンディング時に、前記位置決め手段が前記基準点に移動した後、前記画像重畳手段は、前記撮像手段からの撮像信号に前記画像記憶手段に記憶した参照画像を重畳して前記表示手段に出力すること
を特徴とするボンディング装置。 - 前記画像切り出し手段は、前記撮像手段からの被ボンディング部品上の前記目合わせ点を含んだ撮像信号より指定範囲内を画像データとして切り出しすることを特徴とする請求項1記載のボンディング装置。
- 前記画像記憶手段は、セルフティーチ時に前記位置決め手段の前記基準点での前記撮像手段の前記撮像信号から前記画像切り出し手段で切り出された画像データに目合わせ用マークを付して参照画像として記憶することを特徴とする請求項1記載のボンディング装置。
- 前記画像重畳手段は、前記画像記憶手段に記憶した参照画像を前記表示手段の指定の位置に表示することを特徴とする請求項1記載のボンディング装置。
- ボンディング時に被ボンディング部品上の前記目合わせ点に目合わせした位置での前記撮像手段からの撮像信号を画像データに変換して該変換された画像データと、前記画像記憶手段に記憶された前記参照画像との一致度を検出する一致度検出手段を有することを特徴とする請求項1記載のボンディング装置。
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