JP4055764B2 - 電気光学装置及び電子機器 - Google Patents
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Description
液晶装置は、図2及び図3に示すように、素子基板であるTFT基板10と対向基板20との間に液晶50を封入して構成される。TFT基板10上には画素を構成する画素電極(ITO)9a等がマトリクス状に配置される。また、対向基板20上には全面に対向電極(ITO)21が設けられる。図4は画素を構成するTFT基板10上の素子の等価回路を示している。
次に、本実施の形態に係る電気光学装置である液晶装置の製造方法を図6及び図7を参照して説明する。図6は第5層及び第6層の製造方法を示すフローチャートであり、図7は第5層及び第6層の製造方法を工程順に示す工程図である。
次に、以上詳細に説明した電気光学装置をライトバルブとして用いた電子機器の一例たる投射型カラー表示装置の実施形態について、その全体構成、特に光学的な構成について説明する。ここに、図10は、投射型カラー表示装置の図式的断面図である。
図10において、本実施形態における投射型カラー表示装置の一例たる液晶プロジェクタ1100は、駆動回路がTFTアレイ基板上に搭載された液晶装置を含む液晶モジュールを3個用意し、それぞれRGB用のライトパルブ100R、100G及び100Bとして用いたプロジェクタとして構成されている。液晶プロジェクタ1100では、メタルハライドランプ等の白色光源のランプユニット1102から投射光が発せられると、3枚のミラー1106及び2枚のダイクロックミラー1108によって、RGBの三原色に対応する光成分R、G及びBに分けられ、各色に対応するライトバルブ100R、100G及び100Bにそれぞれ導かれる。この際特に、B光は、長い光路による光損失を防ぐために、入射レンズ1122、リレーレンズ1123及び出射レンズ1124からなるリレーレンズ系1121を介して導かれる。そして、ライトバルブ100R、100G及び100Bによりそれぞれ変調された三原色に対応する光成分は、ダイクロックプリズム1112により再度合成された後、投射レンズ1114を介してスクリーン1120にカラー画像として投射される。
Claims (6)
- 基板上に、
データ線と、
前記データ線に電気的に接続されるトランジスタと、
前記トランジスタに対応して設けられる画素電極と、
前記データ線と前記画素電極との間に設けられるシールド層とを具備し、
前記シールド層は、前記データ線が延在する方向及び前記データ線と交差する方向に格子状に設けられると共に前記データ線を覆うように形成されており、
前記データ線の下方に前記トランジスタの半導体層が設けられてなり、
前記トランジスタ及び前記画素電極は、前記トランジスタと離間して設けられる島状の第1中継電極と、前記第1中継電極の上方に設けられ前記第1中継電極と接続される島状の第2中継電極と、前記第2中継電極の上方に設けられ前記第2中継電極と接続される島状の第3中継電極とを介して接続されており、
前記シールド層は、前記画素電極と接続する前記第3中継電極を設けるための切り欠き部を有し、該第3中継電極及び前記シールド層は同一層として形成されており、
前記シールド層は、アルミニウム膜のみからなる単層構造からなり、前記第3中継電極は、アルミニウム膜からなる導電膜と、該導電膜上に積層される窒化チタン膜又はチタン膜からなる電蝕防止膜との積層構造からなることを特徴とする電気光学装置。 - 前記切り欠き部は、前記データ線と該データ線に隣接する他のデータ線との間に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
- 前記画素電極と前記第3中継電極とは、コンタクトホールを介して電気的に接続されており、
前記電蝕防止膜は、前記第3中継電極の前記コンタクトホールと重なる一部の領域にのみ設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電気光学装置。 - 前記第2中継電極は、前記データ線と同一層からなり、
前記データ線は、アルミニウム膜のみからなる単層構造を有し、前記第2中継電極は、下層から窒化チタン膜からなる第1の酸化防止膜と、アルミニウムからなる導電膜と、窒化チタン膜からなる第2の酸化防止膜との積層構造を有していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一つに記載の電気光学装置。 - 前記第1中継電極は、前記トランジスタのゲート電極と同一層からなり、
前記第2中継電極と前記第1中継電極とは、前記第1の酸化防止膜を介して接続されており、
前記第3中継電極と前記第2中継電極とは、前記第2の酸化防止膜を介して接続されていることを特徴とする請求項4に記載の電気光学装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一つに記載の電気光学装置を用いて構成したことを特徴とする電子機器。
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