JP4053666B2 - 半導体デバイスのハンドリング方法および装置 - Google Patents
半導体デバイスのハンドリング方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4053666B2 JP4053666B2 JP25389998A JP25389998A JP4053666B2 JP 4053666 B2 JP4053666 B2 JP 4053666B2 JP 25389998 A JP25389998 A JP 25389998A JP 25389998 A JP25389998 A JP 25389998A JP 4053666 B2 JP4053666 B2 JP 4053666B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- pick
- handling
- tray
- tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイスの実装工程においてその表面の電極にバンプを形成する際、導電性ボール(半田ボール)が仮固定された半導体デバイスを工程間で移動もしくは移載するためのハンドリング方法とその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造工程において、半導体デバイスの電極(電極パッド)と、プリント配線板等の電極部あるいはTABテープのインナーリード等とを接続するための方法として、微小導電性ボールで形成されたバンプを介して両者を接合する方法が知られている(所謂ボールバンプ法)。このバンプを形成する際に、半導体デバイスの電極に対応する多数の配列孔を有し、各配列孔に微小導電性ボールを列設配置するようにした配列用基板が使用される。
【0003】
このバンプ形成において、たとえば半導体デバイスの電極パッドにバンプを形成する場合、電極のある表面に予めフラックスを供給しておき、微小導電性ボールを電極に仮配列した後リフローする方法が一般的である。
【0004】
ここで半田バンプの形成方法の1例を概略説明する。
図6は、この種の半田バンプの形成方法の主要工程を示している。図6(A)において、半導体デバイス1にフラックス2を供給する。フラックス2の供給方法としては、たとえば印刷あるいはディスペンサを用いて電極部分のみ、または電極がある表面全体に供給する。フラックス2を供給された半導体デバイス1は所定のトレーに配置される。
【0005】
つぎに、トレーから半導体デバイス1をピックアップして、バンプ用半田ボール搭載ステージに移載する。この半田ボール搭載ステージにおいて、図6(B)のようにフラックス2の粘着力で表面の電極に半田ボール3を仮固定する。半田ボール3が仮固定された半導体デバイス1は、もとのトレーの所定位置に戻される。
【0006】
つぎに、半田ボール3が仮固定された半導体デバイス1は、リフロー炉に搬送され、半田の融点以上の温度に加熱される。このリフロー炉で溶融した半田ボール3は、図6(C)のように電極に接合される。なお、このリフロー工程は、トレーごと一緒に行ってもよい。その後、余分なフラックスを洗浄除去することで図6(D)のように半田バンプ4が形成される。なお、この洗浄工程は、トレーごと一緒に洗浄槽に入れて行ってもよい。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のバンプ形成方法において特に半田ボール3が仮固定された半導体デバイス1をピックアップする際、たとえば図7に示したようにコレット100を用いて、矢印のように吸引することで半導体デバイス1をピックアップしていた。この場合、図示のようにコレット100の開口部100aを半導体デバイス1の周縁部にあててバキュームをかけるが、このバキュームによる吸引力で半田ボール3が脱落し、あるいは半導体デバイス1の表面に供給されているフラックス2が吸引口100aあるいは100b付近に付着する等の問題があった。
【0008】
また、半導体デバイスの表面中心部を吸引することでピックアップする方法もある。ところが、この方法では表面中心部にも電極が配置されている所謂エリア配置の半導体デバイスに対しては、実質的に適用不可能となる。
このように半導体デバイスを工程間で移動もしくは移載させるハンドリングの際に、上記のように半田ボールの脱落をはじめ種々の不都合があった。
【0009】
本発明はかかる実情に鑑み、半導体デバイスの実装工程において特に円滑かつ安定して半導体デバイスを搬送可能な半導体デバイスのハンドリング方法および装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明による半導体デバイスのハンドリング方法は、半導体デバイスの表面にフラックスを供給し、その粘着力で前記表面の電極に導電性ボールを仮固定し、この表面以外の部位であって、前記半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部を有するリフロートレーに移動する際に干渉しない、前記半導体デバイスのボール搭載面に対する側面若しくは底面の部位を機械的に支持してピックアップするようにしたことを特徴とする。
【0011】
また、本発明による半導体デバイスのハンドリング方法において、前記半導体デバイスの側面の上部をクランプしてピックアップすることを特徴とする。
【0012】
また、本発明による半導体デバイスのハンドリング方法において、前記半導体デバイスの底面を、該半導体デバイスを上下動可能にするリフタ又はピックアップツールを挿入可能にする溝と、前記半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部と、を有するデバイス収容部と干渉しないように構成された、支持部面が半導体デバイス底面よりも小さいフォーク状又はアーム状ピックアップツールで支持してピックアップすることを特徴とする。
【0013】
また、本発明による半導体デバイスのハンドリング方法において、前記半導体デバイスは、該半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部を有する受け台に載置され、前記受け台の上表面の空きスペースを吸引してピックアップするようにしたことを特徴とする。
【0014】
また、本発明による半導体デバイスのハンドリング装置は、表面に供給されたフラックスの粘着力で前記表面の電極に導電性ボールが仮固定された半導体デバイスをハンドリングする装置であって、前記表面以外の部位であって、前記半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部を有するリフロートレーに移動する際に干渉しない、前記半導体デバイスのボール搭載面に対する側面若しくは底面の部位を機械的に支持して前記半導体デバイスをピックアップするピックアップ手段を備えたことを特徴とする。
【0015】
また、本発明による半導体デバイスのハンドリング装置において、前記ピックアップ手段として、前記半導体デバイスの側面の上部をクランプしてピックアップするように構成された手段を含んでいることを特徴とする。
【0016】
また、本発明による半導体デバイスのハンドリング装置において、前記ピックアップ手段として、前記半導体デバイスの底面を、該半導体デバイスを上下動可能にするリフタ又はピックアップツールを挿入可能にする溝と、前記半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部と、を有するデバイス収容部と干渉しないように構成された、支持部面が半導体デバイス底面よりも小さいフォーク状又はアーム状ピックアップツールで支持してピックアップするように構成された手段を含んでいることを特徴とする。
【0017】
また、本発明による半導体デバイスのハンドリング装置において、前記ピックアップ手段として、前記半導体デバイスを載置する、該半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部を有する受け台の上表面の空きスペースを吸引してピックアップするように構成された手段を含んでいることを特徴とする。
【0018】
本発明によれば、特に導電性ボールを用いてバンプ形成する方法において、半導体デバイスを工程間でハンドリングすべく、半田ボールが仮固定された半導体デバイスをピックアップする際、電極のある表面以外の部位であって、リフロートレーに移動する際に干渉しない部位に機械的に作用してピックアップする。つまり典型的には半導体デバイスの側面の上部をクランプし、あるいは半導体デバイスの底面を、デバイス収容部と干渉しないように構成された、フォーク状又はアーム状ピックアップツールで支持してピックアップするというものである。
【0019】
このように導電性ボールが仮固定状態で搭載されている半導体デバイスの表面に対しては、吸引力等何ら機械的力を作用させない。したがって、ハンドリング中に導電性ボールが脱落する等の危険が全くなく、導電性ボールの仮固定状態を適正に維持しながら、半導体デバイスを工程間で移動もしくは移載することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき従来例と実質的に同一または対応する部材には同一符号を用いて、本発明による半導体デバイスのハンドリング方法および装置の好適な実施の形態を説明する。
【0021】
この実施形態では半導体デバイスの実装工程において、半田ボール(導電性ボール)を用いて表面の電極にバンプを形成するものとする。また、前述したようにこの半田バンプの形成方法において、半導体デバイス1にフラックス2を供給し、フラックス2を供給された半導体デバイス1は所定のトレーに配置される。トレーから半導体デバイス1をピックアップして、半田ボール搭載ステージに移載し、フラックス2の粘着力で表面の電極に半田ボール3を仮固定する。半田ボール3が仮固定された半導体デバイス1を、もとのトレーの所定位置に戻し、リフロー炉に搬送して、リフロー炉で溶融した半田ボール3が電極に接合されるものとする。
【0022】
本発明は、表面の電極に半田ボール3が仮固定された半導体デバイス1をハンドリングする際、その表面以外の部位に機械的に作用して半導体デバイス1をピックアップするというものである。
【0023】
図1は、本発明の第1の実施形態におけるハンドリング装置10の要部構成と主要工程を順に示している。
図1(A)において、半導体デバイス1の電極がある表面全体にフラックス2を供給され、半田ボール搭載ステージで半田ボール3が仮固定される。半田ボール3が仮固定された半導体デバイス1は、半田ボール搭載ステージのトレー20上に置かれている。
【0024】
図1(B)において、トレー20上に置かれた半導体デバイス1はつぎに、もとのトレーの所定位置に戻され、あるいは後述するリフロー用トレーに移載される。この場合、半導体デバイス1をピックアップするピックアップ手段として、半導体デバイス1の側面をクランプしてピックアップするように構成されたクランプ式ピックアップツール11を含んでいる。
【0025】
このクランプ式ピックアップツール11は、半導体デバイス1をその両側面にて挟持するように構成された一対の爪11a,11aを有している。また、図示しない駆動機構によって上下動および水平移動可能に支持されている。この例では半導体デバイス1の側面の上部を挟持し、リフロー用トレーに移載する際に干渉しないようにする。
【0026】
図1(C)において、半導体デバイス1はピックアップツール11により、たとえばこの例のようにリフロー用トレー21まで搬送され、トレー21に移載される。このようにフラックス2の供給から半田ボール搭載ステージを経て、リフロー用トレー21に移載する間にバキューム等の吸引手段を用いずに、半導体デバイス1の側面をクランプしてハンドリングすることで半田ボール3の脱落等を完全になくすることができる。
【0027】
つぎに図2は、本発明の第2の実施形態を示している。
図2(A)において、半導体デバイス1の電極がある表面全体にフラックス2を供給され、半田ボール搭載ステージで半田ボール3が仮固定される。半田ボール3が仮固定された半導体デバイス1は、半田ボール搭載ステージのトレー20上に置かれている。この例ではトレー20にリフタ22が装着されている。このリフタ22は、図示しない駆動機構によって所定タイミングで上下動可能に構成される。半導体デバイス1は図示のように、リフタ22によって一旦持ち上げられる。
【0028】
図2(B)において、リフタ22によって持ち上げられた半導体デバイス1はつぎに、もとのトレーの所定位置に戻され、あるいは後述するリフロー用トレー21に移載される。この場合、半導体デバイス1をピックアップするピックアップ手段として、半導体デバイス1の底面を支持してピックアップするように構成されたフォーク状ピックアップツール12を含んでいる。
【0029】
このフォーク状ピックアップツール12は、リフタ22と干渉しないように構成されたフォーク状の支持部12aを有している。また、図示しない駆動機構によって上下動および水平移動可能に支持されている。半導体デバイス1は図示のように、その底面を支持される。ここで底面の支持は、吸引や溝等によるチップの固定手段を含んでもよい。
【0030】
図2(C)において、半導体デバイス1はピックアップツール12により、たとえばリフロー用トレー21まで搬送され、トレー21に移載される。この例ではまた、トレー21にリフタ23が装着されている。このリフタ23は、図示しない駆動機構によって所定タイミングで上下動可能に構成される。半導体デバイス1はトレー21に移載される際、上昇位置で待機しているリフタ23上に置かれる。そして図2(D)のようにリフタ23を下降させることで、図示のように半導体デバイス1を移載することができる。
【0031】
この例でもフラックス2の供給から半田ボール搭載ステージを経て、リフロー用トレー21に移載する間に、半導体デバイス1の底面を支持してハンドリングすることで半田ボール3の脱落等を完全になくすることができる。
【0032】
つぎに図3および図4は、本発明の第3の実施形態を示している。
この第3の実施形態において半導体デバイス1は、たとえば半田ボール搭載ステージのトレー20上に置かれる。第3の実施形態に係るトレー20には図示のように、後述するピックアップツール13が適度な隙間で挿入し得るように形成された溝24が設けられている。溝24は図3(A)に示されるように、トレー20のデバイス収容部20aをさらに堀り下げることで形成することができる。また、図3(B)の例に示すように4個どりのトレー20の場合、トレー20の一方向に沿って形成するとよい。
なお、デバイス収容部20aは複数でもよく、たとえばトレー20の周辺部に沿って縦・横それぞれ3列とし、この場合ピックアップツール13によってピックアップし得るためにトレー20の内部領域にはデバイス収容部20aを設けないのが好ましい。また、縦2列で横3列以上の複数のデバイス収容部20aを設けることもできる。
【0033】
第3の実施形態においてまた、半導体デバイス1をピックアップするピックアップ手段として、図4に示すように半導体デバイス1の底面を支持してピックアップするように構成されたアーム状ピックアップツール13を含んでいる。
【0034】
ピックアップツール13は、トレー20のデバイス収容部20aと干渉しないように構成されたアームの支持部13aを有している。ピックアップツール13は、図示しない駆動機構によって上下動および水平移動可能に支持されている。半導体デバイス1はピックアップツール13によって、図3のようにその底面を支持される。
【0035】
半導体デバイス1はピックアップツール13により、たとえばリフロー用トレー21まで搬送され、トレー21に移載される。第3の実施形態においては、リフロー用トレー21のデバイス収容部21aにも、トレー20の場合と同様にピックアップツール13が適度な隙間で挿入し得るように形成された溝25が設けられる。この例でも半導体デバイス1のハンドリング中に半田ボール3の脱落等を完全になくすることができるが、たとえば第2の実施形態に係るリフタ22およびリフタ23やそれらの駆動機構等が省略されるため構成の簡素化を図ることができる。
【0036】
つぎに図5は、本発明の第4の実施形態を示している。
この第4の実施形態において半導体デバイス1は、たとえば半田ボール搭載ステージのトレー20上に置かれる。第4の実施形態に係るトレー20において、図示のように半導体デバイス1を載置する受け台26を備えている。半導体デバイス1はこの受け台26を介して、たとえばトレー20のデバイス収容部20aに収容される。
【0037】
なお、受け台26に半導体デバイス1を固定する場合、図5に示すように凹部26aを設けて、この凹部26aに半導体デバイス1を収容することで固定することができる。あるいはまた、このような凹部26aを設ける代わりに、たとえば受け台26上の所定部位にゲル状の粘着物を塗布しておき、この粘着物によって半導体デバイス1を固定するようにしてもよい。
【0038】
第4の実施形態においてまた、ピックアップ手段として、たとえば図5(B)に示すように半導体デバイス1を載置する受け台26の所定部位を吸引してピックアップするように構成された吸引式ピックアップツール14を含んでいる。このピックアップツール14は、受け台26の上表面の空きスペースに吸着する吸着パッド14aを有している。ピックアップツール14はまた、図示しない駆動機構によって上下動および水平移動可能に支持されている。半導体デバイス1はピックアップツール14によって、受け台26を介して支持される。
【0039】
なお、第4の実施形態において、吸引式ピックアップツール14の代わりに、前述の第2の実施形態あるいは第3の実施形態でそれぞれ説明したフォーク状ピックアップツール12またはアーム状ピックアップツール13と実質的に同等な手段を用い、これらのピックアップ手段によって受け台26をピックアップすることも可能である。
【0040】
上記実施形態において、基本的には単一の半導体デバイス1をピックアップする例を説明したが、その他たとえば図3(B)に示したような複数個どりのトレーに対しても本発明を適用可能である。つまりそのようなトレーを一括でピックアップすることで生産効率を高めることができる。
【0041】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、この種のバンプ形成において半田ボールが仮固定状態で搭載されている半導体デバイスの表面を吸引する必要がなく、ハンドリング中の半田ボールの脱落をなくすることができる。このように半田ボールの仮固定状態を適正に維持しながら、半導体デバイスを工程間で移動もしくは移載することができるため、半導体デバイスの実装工程を大幅に効率化することができる等の利点を有している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態におけるハンドリング装置の要部構成と主要工程を順に示すそれぞれ断面図である。
【図2】本発明の第2の実施形態におけるハンドリング装置の要部構成と主要工程を順に示すそれぞれ断面図である。
【図3】本発明の第3の実施形態における半導体デバイス収容トレーの構成例を示す断面図および平面図である。
【図4】本発明の第3の実施形態におけるピックアップツールの構成例を示す斜視図である。
【図5】本発明の第4の実施形態におけるハンドリング装置の要部構成と主要工程を順に示すそれぞれ断面図である。
【図6】半田バンプの形成方法の主要工程を示すそれぞれ断面図である。
【図7】従来の半導体デバイスのピックアップツールの構成例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 半導体デバイス
2 フラックス
3 半田ボール
10 ハンドリング装置
11 クランプ式ピックアップツール
11a 爪
12 フォーク状ピックアップツール
13 アーム状ピックアップツール
13a 支持部
14 吸引式ピックアップツール
20 トレー
21 リフロー用トレー
22,23 リフタ
24,25 溝
26 受け台
Claims (8)
- 半導体デバイスの表面にフラックスを供給し、その粘着力で前記表面の電極に導電性ボールを仮固定し、この表面以外の部位であって、前記半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部を有するリフロートレーに移動する際に干渉しない、前記半導体デバイスのボール搭載面に対する側面若しくは底面の部位を機械的に支持してピックアップするようにしたことを特徴とする半導体デバイスのハンドリング方法。
- 前記半導体デバイスの側面の上部をクランプしてピックアップすることを特徴とする請求項1に記載の半導体デバイスのハンドリング方法。
- 前記半導体デバイスの底面を、
該半導体デバイスを上下動可能にするリフタ又はピックアップツールを挿入可能にする溝と、前記半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部と、を有するデバイス収容部と干渉しないように構成された、
支持部面が半導体デバイス底面よりも小さいフォーク状又はアーム状ピックアップツールで支持してピックアップすることを特徴とする請求項1に記載の半導体デバイスのハンドリング方法。 - 前記半導体デバイスは、該半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部を有する受け台に載置され、前記受け台の上表面の空きスペースを吸引してピックアップするようにしたことを特徴とする請求項1に記載の半導体デバイスのハンドリング方法。
- 表面に供給されたフラックスの粘着力で前記表面の電極に導電性ボールが仮固定された半導体デバイスをハンドリングする装置であって、
前記表面以外の部位であって、前記半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部を有するリフロートレーに移動する際に干渉しない、前記半導体デバイスのボール搭載面に対する側面若しくは底面の部位を機械的に支持して前記半導体デバイスをピックアップするピックアップ手段を備えたことを特徴とする半導体デバイスのハンドリング装置。 - 請求項5に記載の半導体デバイスのハンドリング装置において、
前記ピックアップ手段として、前記半導体デバイスの側面の上部をクランプしてピックアップするように構成された手段を含んでいることを特徴とする半導体デバイスのハンドリング装置。 - 請求項5に記載の半導体デバイスのハンドリング装置において、
前記ピックアップ手段として、前記半導体デバイスの底面を、
該半導体デバイスを上下動可能にするリフタ又はピックアップツールを挿入可能にする溝と、前記半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部と、を有するデバイス収容部と干渉しないように構成された、
支持部面が半導体デバイス底面よりも小さいフォーク状又はアーム状ピックアップツールで支持してピックアップするように構成された手段を含んでいることを特徴とする半導体デバイスのハンドリング装置。 - 請求項5に記載の半導体デバイスのハンドリング装置において、
前記ピックアップ手段として、前記半導体デバイスを載置する、該半導体デバイスを収容する略同形状の凹型開口部を有する受け台の上表面の空きスペースを吸引してピックアップするように構成された手段を含んでいることを特徴とする半導体デバイスのハンドリング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25389998A JP4053666B2 (ja) | 1998-09-08 | 1998-09-08 | 半導体デバイスのハンドリング方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25389998A JP4053666B2 (ja) | 1998-09-08 | 1998-09-08 | 半導体デバイスのハンドリング方法および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000091353A JP2000091353A (ja) | 2000-03-31 |
JP4053666B2 true JP4053666B2 (ja) | 2008-02-27 |
Family
ID=17257641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25389998A Expired - Fee Related JP4053666B2 (ja) | 1998-09-08 | 1998-09-08 | 半導体デバイスのハンドリング方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4053666B2 (ja) |
-
1998
- 1998-09-08 JP JP25389998A patent/JP4053666B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000091353A (ja) | 2000-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4759675A (en) | Chip selection in automatic assembly of integrated circuit | |
CN107180772B (zh) | 芯片贴装装置以及半导体器件的制造方法 | |
KR20110108128A (ko) | 반도체 소자 실장 장치 | |
US11189507B2 (en) | Chip packaging apparatus and method thereof | |
US4626167A (en) | Manipulation and handling of integrated circuit dice | |
KR20210116290A (ko) | 턴테이블 방식의 프로브핀 레이저 본딩장치 | |
KR20010062479A (ko) | 멀티칩 본딩 방법 및 장치 | |
JP4846943B2 (ja) | ウエハ搬送具及びウエハ搬送システム | |
KR100639553B1 (ko) | 다이 픽업 장치 | |
JP2001244288A (ja) | バンプ形成システムおよび真空吸着ヘッド | |
JP4053666B2 (ja) | 半導体デバイスのハンドリング方法および装置 | |
JPH0997973A (ja) | キャリア及び電子部品製造方法ならびに電子部品実装方法 | |
JP2000022395A (ja) | 電子部品の実装方法および実装装置 | |
JPH08162502A (ja) | 電子部品実装装置 | |
JPH08139096A (ja) | 電子部品及び電子部品の実装方法並びに電子部品の実装装置 | |
JP2880139B2 (ja) | 3次元積層型パッケージ素子用積層及びソルダリング装置 | |
KR102469435B1 (ko) | 미리 정해진 패턴으로 기판에 솔더볼을 어태치하는 기판 처리 방법 및 이에 사용되는 기판 처리 장치 | |
JPH1197489A (ja) | Icチップ搭載装置 | |
JP2001267797A (ja) | 電子部品実装装置 | |
JP3915477B2 (ja) | 基板搬送キャリアおよび基板下受け装置ならびにボンディング装置 | |
JP2528910B2 (ja) | ハンダバンプの形成方法 | |
JP3549340B2 (ja) | バンプ形成方法及びその装置 | |
JP3552574B2 (ja) | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 | |
JP2000261194A (ja) | 電子部品の実装装置および実装方法ならびに電子部品ピックアップ用のクランプヘッド | |
KR102330661B1 (ko) | 다이 픽업 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041217 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070515 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070712 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070712 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070807 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071005 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071206 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101214 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101214 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |