JP4050086B2 - Conductive particles, conductive materials, and anisotropic conductive films - Google Patents

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【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性粒子、導電性材料および異方性導電膜に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
異方性導電部材に適した、樹脂を基材とする導電性粒子が知られている。以下に特許文献を列挙する。
特開昭62-115679 号公報や特開昭62-188184 号公報においては、架橋重合体樹脂粒子に金属被覆を施して導電性粒子を得、異方性導電接続構造に適用することが開示されている。
特開平9−115335号公報においては、架橋ポリスチレン粒子にニッケル/金メッキを施した導電性粒子をエポキシ樹脂に分散した異方性導電接着フィルムが開示されている。
特開昭63−18096号公報においては、樹脂粒子の周囲に無電解メッキ法によって金属被覆を行う手法が開示されている。
特開平1−242782号公報、特開平8−311655公報に記載された発明では、無電解メッキ法により樹脂粒子に金属被覆を行う手法が開示されている。
【0003】
このような樹脂粒子に金属皮膜を形成した導電性粒子においては、接着樹脂中の導電性粒子の含有量が多くなる場合、導電性粒子の多重粒子が発生しやすく、異方性導電接続構造において、隣接する端子間でリークが発生しやすいという問題があった。このため、以下のように、導電性粒子表面を樹脂によって被覆する技術が知られている。
【0004】
(1)特開昭62−176139号公報においては、樹脂からなる基材粒子の表面に導電性中間層を形成し、この導電性皮膜を熱可塑性樹脂によって被覆している。そして、熱圧着時に表面の熱可塑性樹脂層が破れ、導電性中間層を露出させ、電気的接続を確保している。
(2)特開平7−105716号公報においては、絶縁性芯材上に導電性層を形成し、導電性層上に、導電性層の0.1〜99.9%を被覆する絶縁樹脂層を形成している。
(3)特開2001−252553号公報においては、溶媒に樹脂を溶解させ、この溶媒中に導電性粒子を投入し、溶媒を揮発させながら導電性粒子に樹脂を被覆している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
(1)特開昭62−176139号公報に記載される異方導電接続材料に用いられる粒子は、絶縁被覆層が熱可塑性樹脂であるため、高温多湿下において樹脂が流動し、接続端子間に入り込み、接続不良を起こす。また、異方導電接続材料の成型時に、粒子表面の熱可塑性樹脂から接着樹脂への溶出が起こり、接着不良を起こす可能性がある。さらに、粒子から絶縁樹脂が剥離し、導電性粒子同士の接触が発生する。
(2)特開平7−105716号公報に開示される粒子においても、絶縁被覆樹脂層が多い場合には上記と同様の問題を含んでおり、根本的に絶縁樹脂が導電性粒子から剥離しやすいという問題を含んでいる。
(3)特開2001−252553号公報に記載された発明では、導電性粒子同士の重なりを防ぐため、絶縁性樹脂を溶媒に溶解させ、導電性粒子に樹脂被覆を行っている。しかしながら、導電接続部材において、粒子を接着樹脂と混練する際に、溶媒に溶解するような非架橋の樹脂は、接着性樹脂に溶解、混入し、接着樹脂の硬化を阻害し、導電接続の信頼性を落とす。
特開平1−242782号公報、特開平8−311655号公報に記載された発明では、樹脂粒子と金属層との間に物理的な密着向上の手段が無い。このため、メッキ時に発生した凝集を解砕する際に粒子にせん断力がかかると、粒子からの金属層の剥離が起こるという問題があった。通常の樹脂層であれば、密着を向上のためエッチングを行い、アンカー効果により金属層と樹脂層の密着を高めることができるが、微粒子に対してはエッチングは困難であり、エッチングにより樹脂粒子の物性を損なう。
【0006】
さらに、ヒートサイクルによる接続信頼性試験において、接続端子間の間隙の変化による導電接続不良を防ぐため、一般に復元性をもった樹脂粒子に金属被覆を施した導電性粒子を使用し、接着樹脂としては硬化収縮性の接着剤を使用している。しかし、このような組み合わせにおいても、樹脂粒子には圧縮履歴が存在するため、復元量には限界があり、長期的な信頼性試験においては間隙の変化に導電性粒子が追従しきれず、接続不良となるケースがあった。
【0007】
本発明の課題は、導電性粒子を用いて端子間の電気的接続を行った場合に、端子間の間隙寸法の変化に追従でき、かつ粒子を混練したときに粒子からの樹脂の剥離や溶出の少ない導電性粒子を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、芯材粒子、この芯材粒子上に形成されている金属被覆層、およびこの金属被覆層上に形成されている絶縁樹脂層を有しており、この絶縁樹脂層がグラフト樹脂からなり、かつ芯材粒子と化学結合していることを特徴とする、導電性粒子に係るものである。
【0009】
好適な実施形態においては、芯材粒子、この芯材粒子上に形成されている金属被覆層、およびこの金属被覆層上に形成されている絶縁樹脂層を有しており、この絶縁樹脂層を構成する絶縁樹脂が溶解可能な溶媒による溶出試験において、溶出量が2.0%以下である。
【0010】
また、本発明は、前記導電性粒子と、この導電性粒子を結着する結着剤とを備えていることを特徴とする、導電性材料に係るものであり、この導電性材料からなる異方性導電膜に係るものである。
【0011】
本発明者は、芯材樹脂粒子上に金属被覆層を形成した後、金属被覆層上に、芯材樹脂粒子にグラフトした、外部材料、例えば接続端子への接着能を有する絶縁性樹脂を金属被覆層上に形成させることを想到した。
【0012】
本発明の導電性粒子は、金属被覆層上に絶縁樹脂が形成されているために、絶縁樹脂を接着樹脂と混和しやすい材質とすることができ、これによって接着樹脂に容易に混和することができる。従って、導電性粒子を接着樹脂中に均一に分散し、多重粒子の無い導電性材料を製造可能である。特に、本発明の粒子を異方性導電構造に使用した場合には、隣接する接続端子間での電流リークを防止できる。
【0013】
また、金属被覆層が絶縁樹脂によって被覆されているので、絶縁樹脂が端子に対して密着しやすく、さらに絶縁樹脂が芯材粒子と化学結合しているため、本発明の導電性粒子は端子間の間隙寸法変化に対して追従しやすい。従って、本発明の導電性材料は接続安定性に優れている。
【0014】
しかも、本発明の導電性粒子は、芯材粒子と金属被覆層との密着性が優れている。これは、金属被覆層が、芯材粒子と絶縁樹脂との間に挟まれ、芯材粒子と結合した絶縁樹脂によって固定されているからである。また、絶縁樹脂層が、金属被覆層に付着しているだけでなく、金属被覆層の下地である芯材粒子に化学結合している。したがって、絶縁樹脂層のガラス転移点以上の温度で使用しても剥離しない。
【0015】
また、本発明においては、絶縁樹脂層を構成する絶縁樹脂が溶解可能な溶媒による溶出試験において溶出量が2.0%以下であるような導電性粒子を提供でき、このような導電性粒子を用いると、剪断力が加わった場合にも粒子からのグラフト樹脂の剥離が少なく、また端子への接着力を高く保持できる。
【0016】
絶縁樹脂が溶解可能な溶媒は、絶縁樹脂の種類によって異なる。しかし、絶縁樹脂は、少なくともトルエン、テトラヒドロフラン、酢酸エチル、ジメチルホルムアミド、メタノールのいずれかには溶解する。従って、トルエン、テトラヒドロフラン、酢酸エチル、ジメチルホルムアミド、メタノールのいずれを使用した場合にも溶出量が2.0%以下であれば、本発明の要件を満足する。ただし、トルエン、テトラヒドロフラン、酢酸エチル、ジメチルホルムアミド、メタノールのうち、一部の溶媒について絶縁樹脂が不溶性である場合には、その溶媒については絶縁樹脂が2%を超えて溶出するおそれはないので、測定の必要はない。
【0017】
本発明の観点からは、前記溶出量は1.5%以下であることが更に好ましい。また、溶出量の測定条件は、実施例の項目において詳述する。
【0018】
また、グラフト樹脂と芯材粒子との化学結合の種類は限定されないが、共有結合が好ましく、また、ラジカル反応における水素引き抜きによる共有結合、カルボン酸とアミノ基、イミノ基との反応によるアミド結合、カルボン酸とアルコール性水酸基との反応によるエステル結合,イソシアネートと水酸基との反応によるウレタン結合、イソシアネートとアミノ基、イミノ基との反応による尿素結合、シランカップリング剤等によるシロキサン結合、等が挙げられる。
【0019】
【発明の実施の形態】
本発明の導電性粒子を製造するためには、好ましくは、以下の方法による。図1(a)、(b)に示すように、芯材粒子4を準備する。芯材粒子4の表面4aに官能基を導入し、次いで芯材粒子4上に金属被覆層2を形成する。この際、金属被覆層2に隙間3を生じさせ、金属被覆粒子1を得る。この段階では、金属被覆層2の隙間3において、芯材粒子4の表面4aに官能基が残留している。
【0020】
次いで、芯材粒子4の表面4aの官能基と反応可能な反応分子を起点とし、金属被覆層2上にグラフト樹脂を生成させる。これによって、図2(a)、(b)に示す導電性粒子5が得られる。粒子5においては、隙間3を起点として、グラフト樹脂からなる絶縁樹脂層6が生成している。
【0021】
芯材粒子4の材質は特に限定されないが、重合体、有機・無機ハイブリット材料が好ましい。重合体としては、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリスルホン、ポリカーボネート、ポリアミド等の線状重合体;ジビニルベンゼン、ヘキサトリエン、ジビニルエーテル、ジビニルスルホン、ジアリルカルビノール、アルキレンジアクリレート、オリゴ又はポリアルキレングリコールジアクリレート、オリゴ又はポリアルキレングリコールジメタクリレート、アルキレントリアクリレート、アルキレンテトラアクリレート、アルキレントリメタクリレート、アルキレンテトラメタクリレート、アルキレンビスアクリルアミド、アルキレンビスメタクリルアミド、両末端アクリル変性ポリブタジエンオリゴマー等を単独又は他の重合性モノマーと重合させて得られる網状重合体;フェノールホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂等の熱硬化性樹脂が挙げられる。
【0022】
重合体の重合法は限定されず、懸濁重合法、シード重合法、分散重合法、乳化重合法であってよい。
【0023】
有機・無機ハイブリット材料としては、側鎖にシリル基を有する(メタ)アクリレートとスチレン、メチルメタクリレート等のビニルモノマーとの共重合体を作製した後、上記シリル基を縮合反応させたもの;有機重合体共存下でテトラエトキシシラン、トリエトキシシラン、ジエトキシシラン等をゾル−ゲル反応させたもの;テトラエトキシシラン、トリエトキシシラン、ジエトキシシラン等をゾル−ゲル反応させた後、低温で焼成を行うことにより有機成分を残留させたものが挙げられる。
【0024】
芯材粒子4の形状は限定されず、真球形状、回転楕円体、多面体、針状、ファイバー状、ウイスカー、柱状、筒状、不定形であってよい。
【0025】
芯材粒子4の平均粒子径は、1〜1000μmが好ましく、2〜500μmがより好ましい。なお、芯材粒子4の平均粒子径は、芯材粒子が球状の場合は直径であり、回転楕円体状である場合は長径である。また、前記平均粒子径は、任意の芯材粒子300個を電子顕微鏡で観察・測定することにより得られる値である。
【0026】
芯材粒子の粒子径分布の変動係数(CV値)は、5%以下であることが好ましく、3%以下であることが一層好ましい。CV値が5%を超えると、芯材粒子の粒子径が不揃いとなるため、この芯材粒子を用いて製造した導電性粒子によって電気接続を図る際に、接続に関与しない導電性微粒子が発生し、隣接電極間でのリーク現象が生じる場合がある。
【0027】
上記CV値とは、下記の式(1);
CV値(%)=(σ/Dn)×100・・・・(1)
(式中、σは、粒子径の標準偏差を表し、Dnは、数平均粒子径を表す)で表される値である。上記標準偏差及び上記数平均粒子径は、任意の樹脂基材粒子300個を電子顕微鏡で観察・測定することにより得られる値である。
【0028】
金属被覆層の形成手段は特に限定されない。しかし、金属結晶が粒状で成長するような方法が好ましく、無電解メッキ法、電気メッキ法が特に好ましい。
【0029】
金属被覆層2の厚さは、導電性粒子の抵抗値を低くするという観点からは、0.025μm以上が好ましく、0.05μm以上がさらに好ましい。また、製造コストの面からは、10μm以下であることが好ましく、1μm以下であることがさらに好ましい。
【0030】
金属被覆層2は、単層構造であってもよいし、2層以上の積層構造であってもよい。
【0031】
金属被覆層2を構成する金属としては、周期律表におけるIB族、VIII族、IIB族、IIIB族、IVB族、VB族等に属する金属が挙げられる。IB族としては、銅、銀、金およびこれらの合金が好ましい。VIII族としては、ニッケル、パラジウム、白金およびこれらの合金が好ましい。IIB族としては、亜鉛および亜鉛合金が好ましい。IIIB族としては、ガリウム、アルミニウム、インジウムおよびこれらの合金が好ましい。IVB族としては、錫、鉛およびこれらの合金が好ましい。VB族としては、ビスマスおよびビスマス合金が好ましい。
【0032】
以下に、金属被覆層の一例であるニッケル−金メッキについて説明する。ニッケル−金メッキでは、芯材粒子の表面に、無電解ニッケルメッキを行った後、その表面部分に置換メッキにより金メッキ層を形成する。上記無電解ニッケルメッキは触媒付与工程とニッケル還元メッキ工程とからなる。
【0033】
上記触媒付与工程においては、芯材粒子の表面に、メッキの核となる触媒を析出又は吸着させるが、この際、白金族の金属化合物を用いることが好ましい。具体的には塩化第一錫の塩酸溶液に芯材粒子を浸漬した後、更に、塩化パラジウムの塩酸溶液に浸漬加熱し、水洗する。このようにして得た粒子では、パラジウムが粒径50nm以下の微粒子として析出している。
【0034】
また、塩化錫と塩化パラジウムとの混合溶液に芯材粒子を浸漬し、その後、塩酸又は硫酸水溶液を用いて錫を溶出、除去してもよい。この場合も上記と同様、粒子表面にパラジウム微粒子が析出している。
【0035】
更に、塩化パラジウムと、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、ポリビニルピリジン等の水溶性モノマーと、アスコルビン酸との混合水溶液にグラフト重合層を有する芯材粒子を浸漬してもよい(特開昭61−166977号公報参照)。この場合も上記と同様、粒子表面にパラジウム微粒子が析出している。
【0036】
次に、上記の方法により触媒の付与された芯材粒子を用いて、ニッケル還元メッキを行う。上記ニッケル還元メッキを行う方法としては、公知の方法(「最新無電解めっき技術」発行;総合技術センター、1986年、43頁等)を用いることができ、酸性メッキ、アルカリ性メッキのいずれをも用いることができる。上記ニッケル還元メッキとして、酸性メッキを用いる場合には、塩化ニッケル又は硫酸ニッケル溶液に触媒処理された粒子を浸漬し、pH4〜6の条件下で次亜リン酸ナトリウム溶液を滴下しながらニッケルの還元を行うことにより、粒子表面にニッケルメッキ層を形成することができる。
【0037】
また、アルカリ性メッキを用いる場合には、pH8〜10の条件下でホウ酸又はホウ砂溶液を滴下しながらニッケルの還元を行うことにより、粒子表面にニッケルメッキ層を形成することができる。これらのニッケル還元メッキにおけるニッケル還元反応は、芯材粒子表面に存在するパラジウムの超微粒子上で進行し、これによりニッケルメッキ層が形成される。
【0038】
次に、ニッケルメッキ層の形成された粒子に、置換メッキにより金メッキ層を形成する。上記金メッキは、ニッケルを部分的に溶出させると同時に金をニッケルメッキ層の表面部に析出させることにより行う。具体的には、シアン化合金カリウム、EDTA及び塩化アンモニウムからなる溶液にニッケルメッキ層が形成された粒子を投入し、加熱することにより行う。
【0039】
金属被覆層2には、グラフト樹脂の原料となるモノマーが進入可能な隙間3がある。隙間3の大きさは、モノマー分子の進入を促進するという観点からからは、1nm以上であることが好ましく、2nm以上であることがさらに好ましい。また、隙間2が大きすぎると、粒子の圧縮変形時に金属被覆層に負荷がかかる際、金属被覆層に欠陥が生じやすくなる。従って、この観点からは、隙間3の大きさは1μm以下であることが好ましく、0.5μm以下であることがさらに好ましい。
【0040】
また、隙間3の面積は、絶縁樹脂層によって金属被覆全体を被覆するという観点からは、芯材粒子の表面積の0.10%以上を占めていることが好ましく、0.12%以上を占めていることがさらに好ましい。また、隙間3の面積が大きくなりすぎると、粒子の圧縮変形時に金属被覆層に負荷がかかる際、金属被覆層に欠陥が生じやすくなる。この観点からは、5.0%以下であることが好ましく、1.0%以下であることが更に好ましい。
【0041】
グラフト樹脂からなる絶縁樹脂層6の厚さは、外部部材への接着性の観点からは、0.002μm以上が好ましく、0.01μm以上が更に好ましい。しかし、絶縁樹脂層6が厚くなると、導電性接続時に粒子と端子間に樹脂が残りやすくなり、接続不良の原因となりやすいことから、絶縁樹脂層6の厚さは、1μm以下が好ましく、0.5μm以下が更に好ましい。
【0042】
粒子表面におけるグラフト重合については、以下の文献記載の方法を例示できる。
「最新粉体の材料設計」(株式会社テクノシステム)第203 頁
「グラフト重合とその応用」井出文雄著、高分子刊行会、1984
特開平9−244034号公報
【0043】
また、以下の方法を例示できる。
芯材粒子の表面に存在する二重結合等の不飽和結合をラジカル重合開始剤を用いて開裂させ、ビニルモノマーをグラフト重合させる。
セリウム塩(IV)、過ヨウ素酸塩等の酸化剤により、アルコール性水酸基等の還元性基を表面に持つ芯材粒子の表面にラジカルを発生させ、これを起点としてビニルモノマーをグラフト重合させる。
過硫酸塩−ハロゲン化リチウム系、過硫酸塩−酸性亜硫酸塩系、過硫酸塩−Ag系、過硫酸塩−水酸基系、過酸化水素−金属塩系等のレドックス系触媒を用いてグラフト重合させる。
パーエステル基、メルカプト基、ジアゾ基等の官能基を起点としてグラフト重合させる。
低温プラズマ、電子線、ガンマー線照射等の物理的手段で芯材粒子の表面を活性化した後、重合性モノマーをグラフト重合させる。
芯材粒子の表面に存在するアミノ基、水酸基等の反応性基に高分子反応によりグラフトポリマーを結合させる。
【0044】
特に好適な実施形態においては、グラフト重合体が、単量体のグラフト重合によって生成しており、単量体のグラフト重合が、粒子本体の表面に存在するビニル基または重合開始剤を起点として進行する。本出願人は、粒子表面にビニル基を導入する手法、ラジカル活性点を導入する手法を開発し、ビニル基やラジカル活性点を基点としてグラフト鎖を形成する方法を開示した(特開平5−232480号公報、特開平7−300587号公報、特開平7−301810号公報、特開平7−300586号公報)。これらの文献に記載の方法は本発明において転用可能である。
【0045】
芯材粒子表面にビニル基やラジカル活性点を導入する際の手法は限定されず、前述の各公報記載の手法を利用できる。例えば、図3(a)に示すように、芯材粒子4の表面に水酸基を導入し、次いで金属被覆層2を設ける。次いで、図3(b)に示すように、水酸基と反応活性を有する官能基Xを有するモノマーXB−Dを水酸基と反応させる。ここで、Bはモノマーの本体部分であり、Dはビニル基あるいはラジカル活性点である。モノマーの活性水素と水酸基との反応によって、図3(c)に示すようにD基が粒子表面に導入される。
【0046】
粒子表面に水酸基を導入する際には、好ましくは芯材粒子に相互侵入高分子網目構造を形成し得る化合物を含浸させ、反応させる。このような処理を施すことにより、絶縁樹脂層の芯材粒子への結合を一層強化でき、粒子の剪断力に対する抵抗力が一層向上する。
【0047】
「相互侵入高分子網目構造を形成し得る化合物」は、粒子に含浸させることが可能であって、更に粒子内部において加熱によって相互侵入高分子網目構造を生成することができるような化合物であれば、限定されない。好適な実施形態においては、本化合物は、相互に架橋反応し得る官能基を複数有する。このように、本化合物が複数の官能基を有し、各官能基において架橋反応が進行することによって、相互侵入高分子網目構造が生成する。このような官能基としては、以下を例示できる。これらの官能基は、1つの化合物に一種類または二種類以上包含されている。
エポキシ基、加水分解性シリル基、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、イミノ基
【0048】
エポキシ基を有する前記化合物としては、以下を例示できる。
エチレングリコールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、トリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリンジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ソルビタンポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、3−グリシジドキシプロピルトリメトキシシラン、3,4−エポキシブチルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル) エチルトリメトキシシラン
【0049】
加水分解性シリル基を有する化合物としては、以下を例示できる。
テトラエトキシシラン、2−トリメトキシシリルエチルトリメトキシシラン、6−トリメトキシシリルヘキサメチレントリメトキシシラン、p−ジメトキシシリルエチルベンゼン、テレフタル酸ジ−3−トリメトキシシリルプロピル、アジピン酸ジ−3−トリメトキシシリルプロピル、イソシアヌル酸トリ−3−メチルジメトキシシリルプロピル
【0050】
また、相互侵入高分子網目構造を形成する結合としては、エーテル結合、シロキサン結合、エーテル結合とシロキサン結合との組み合わせを例示できる。
【0051】
グラフト樹脂を生成する際に用いる単量体としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸イソブチル、アクリロニトリル、ビニルピロリドン、グリシジルメタクリレート、ラウリルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、酢酸ビニル、塩化ビニル、エチレン、プロピレン、ブタジエン、イソプレン、アリルフタレート、メタクリロキシメチルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等の重合性ビニル単量体を例示できる。更に、以下を例示できる。
ジメチルアクリルアミド、ジメチルアミノエチルアクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド、アクリロイルモルホリン、N−イソプロピルアクリルアミド、ジエチルアクリルアミド、メタクリロイロキシエチルトリメチルアンモニウムクロライド、メタクリロイロキシエチルベンジルジメチルアンモニウムクロライド、アクリロイロキシエチルトリメチルアンモニウムクロライド、アクリロイロキシエチルベンジルジメチルアンモニウムクロライド、アクリルアミドプロピルトリメチルアンモニウムクロライド等の含窒素系カチオン性モノマー;アンモニウム α−スルホナート−ω−1−(アリルオキシメチル)アルキルオキシポリオキシエチレン、ソジウム p−スチレンスルホナート、ソジウムビニルスルホナート、ソジウム 2−メタクリロイルエチルスルホナート、アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸ナトリウム等のスルホン酸系アニオン性ビニル単量体;2−アクリロイルオキシエチルアシッドホスフェート、2−メタクリロイロキシエチルアシッドホスフェート、ジフェニル−2−アクリロイルオキシエチルホスフェート、ジフェニル−2−メタクリロイルオキシエチルホスフェート等の燐酸系アニオン性ビニル単量体;アクリックアシッド、メタクリックアシッド、メタクリル酸ダイマー等のカルボン酸系アニオン性ビニル単量体。
【0052】
更に、例えば以下のような親水性の官能基を有するビニル単量体を例示できる。2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノメタクリレート等の水酸基含有単量体;ポリエチレングリコールモノメタクリレート、ポリエチレングリコールモノアクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールモノメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールモノアクリレート等のポリエーテル含有単量体;グリシジルメタクリレート、グリシジルアクリレート等のエポキシ含有単量体。
上記した単量体の例示は、本発明を限定するものではない。単量体は二種以上混合されても良い。
【0053】
本発明による導電性粒子は、優れた導電性を有していることから、樹脂などの結着材に混入することにより、優れた導電性を有する導電性材料が得られる。このような導電性材料は、フィルム状の帯電防止膜や、電子回路において電気的接合を行う部分に使用可能な異方性導電膜として好適に利用できる。
【0054】
こうした導電性材料を構成する結着材(接着剤)としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリウレタン、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シリコン樹脂、フッ素樹脂、ナイロン樹脂、エチレン・酢酸ビニル樹脂、スチレン・アクリロニトリル樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂を例示できる。
【0055】
また、本発明の導電性粒子を、絶縁性粒子と混合し、加圧成形することより、導電性材料を製造可能である。こうした絶縁性粒子としては、前述した芯材粒子の項目で列挙した粒子を例示でき、特にプラスチック粒子、更には熱可塑性プラスチック粒子が好ましい。
【0056】
本発明の導電性粒子を異方性導電膜に対して適用した場合について更に説明する。異方性導電構造を製造する際には、図4に示すように、所定パターンの端子13A、13Bが設けられた一対の基板12A、12Bを準備する。そして、一対の基板の間に異方性導電膜19をはさみ、加熱下に圧力を加えて圧着する。異方性導電膜19は、結着材14と、結着材14中に分散された導電性粒子15とからなる。ここで、導電性粒子15の表面が金属被覆層からなっている場合には、基板12Aと12Bとの間隔が変動すると、粒子15と端子13A、13Bとの間に隙間16が発生し、接続不良が生ずる。
【0057】
これに対して、図5、図6に示すように、本発明の導電性粒子5を使用した異方性導電構造11Aの場合には、導電性粒子5の表面がグラフト樹脂6によって被覆されており、導電性粒子5が端子13A、13Bに対して接着する。これによって、基板12Aと12Bとの間隔が変動したときに、粒子15と端子13A、13Bとの間に隙間16が発生しにくい。
【0058】
【実施例】
以下、具体的な実験結果を例示するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
【0059】
(架橋重合体粒子Bの製造)
2L セパラブルフラスコにポリビニルピロリドン3.5%メタノール溶液400g、スチレン42g、p−トリメトキシシリルスチレン63gを充填し、窒素気流下において緩やかに攪拌しつつ60℃に加温する。アゾビスイソブチロニトリル4gを加え、12時間反応させる。反応終了後室温に冷却した後、水酸化カリウムの5%水溶液200gを追加し、2時間60℃で攪拌して加水分解及び架橋反応せしめた。得られた粒子を洗浄し、粒子Aを得た。粒子A20gに対して、相互侵入高分子網目形成化合物(2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン)10gを溶解させたトルエン溶液20gを加えてエポキシを含浸させた。次いで、該エポキシ含浸粒子を200℃で16時間加熱した後、洗浄することにより、粒子表面4aにエポキシ基由来の水酸基を有する架橋重合体粒子Bを得た。粒子Bの平均粒子径は5.20μmであり、変動係数は3%であった。
【0060】
(金属被覆粒子Cの作製)
粒子Bを公知の手法により無電解銅メッキを行い、平均粒径5.40μm、メッキ膜厚0.10μmの金属被覆粒子Cを得た。粒子Cは、図3(a)の段階に該当する。SEMにより、金属被覆粒子Cの表面には無数の1〜100nmの穴が確認され、隙間の面積は0.13%であった。
【0061】
(表面にビニル基を導入した金属被覆粒子Dの作製)
金属被覆粒子C10gに対し、メタクリロイルイソシアナート(図3(b)のHB−D)の30%トルエン溶液3g、メチルエチルケトン20gを一括に仕込み、室温で30分反応させ、金属層の穴部の芯材粒子表面にビニル基を導入した金属被覆粒子Dを得た。粒子Dは、図3(c)に該当する。
【0062】
(本発明例:樹脂被覆された導電性粒子Eの作製)
金属被覆粒子D10gに対し、メチルエチルケトン100g、重合開始剤ベンゾイルパーオキサイド1g、メチルメタクリレート30g、ラウリルメタクリレート10g、2−ヒドロキシエチルメタクリレート10g、(共重合ポリマーのTgは44℃)を一括に仕込み、窒素気流下80℃で2時間反応させた後、メチルエチルケトンで洗浄し乾燥することにより、グラフト重合鎖が該ビニル基を起点として形成された粒子Eが得られた。得られた粒子Eの平均粒径は5.44μmであり、金属被覆層2上の樹脂層6の厚みは0.02μmであることが確認された。得られた粒子Eは均一に被覆されており、多重粒子は観察されなかった。
【0063】
(本発明例:樹脂被覆された導電性粒子Gの作製)
得られた粒子E10gに対し、再度メタクリロイルイソシアナート30%トルエン溶液3g、メチルエチルケトン20gを一括に仕込み、室温で30分反応させ、該グラフト重合鎖の一次側鎖ビニル基が導入された粒子Fを得た。該粒子F10gに対し、メチルエチルケトン100g、重合開始剤ベンゾイルパーオキサイド1g、メチルメタクリレート30g、ラウリルメタクリレート10g、2−ヒドロキシエチルメタクリレート10g(共重合ポリマーのTgは44℃)を一括に仕込み、窒素気流下80℃で2時間反応させると、グラフト重合鎖が該ビニル基を起点として形成された粒子Gが得られた。得られた粒子Gの平均粒径は5.52μmであり、金属被覆層上の樹脂層の厚みは0.06μmであることが確認された。得られた粒子Gは均一に被覆されており、多重粒子は観察されなかった。
【0064】
(本発明例:樹脂被覆された導電性粒子Hの作製)
金属被覆粒子D 10gに対し、メチルエチルケトン100g、重合開始剤ベンゾイルパーオキサイド1g、メチルメタクリレート25g、ラウリルメタクリレート10g、2−ヒドロキシエチルメタクリレート10g、グリシジルメタクリレート5g(共重合ポリマーのTgは38℃)を一括に仕込み、窒素気流下80℃で2時間反応させた後、メチルエチルケトンで洗浄し乾燥することにより、グラフト重合鎖が該ビニル基を起点として形成された粒子Hが得られた。得られた粒子Hの平均粒径は5.44μmであり、金属被覆層上の樹脂層の厚みは0.02μmであることが確認された。得られた粒子Hは均一に被覆されており、多重粒子は観察されなかった。
【0065】
(比較例:樹脂被覆された導電性粒子Iの作製)
金属被覆粒子C10gに対し、粒子H の被覆層と同じ組成のメタクリル酸エステル共重合体( 重量平均分子量1万) 0.25gの酢酸ブチル溶液5gを加え、粒子を分散させた後、分散媒の酢酸ブチルを徐々に蒸発させ被覆導電性粒子I を得た。粒子I を光学顕微鏡およびSEM で観察したところ、粒子は均一に被覆されていたが、一部多重粒子が観察された。
【0066】
(絶縁樹脂層の溶出試験)
各粒子E,G,H,Iを、表1に示す各溶媒に分散させた。超音波を30分印加した後、粒子を溶媒から取り出し、濾過・乾燥した。粒子の初期重量と試験後の重量との差を測定し、重量変化量を絶縁樹脂の溶出量とした。この結果を表1に示す。
【0067】
【表1】

Figure 0004050086
【0068】
この結果から、本発明の導電性粒子は、絶縁樹脂層の溶出がほとんど無く、被覆樹脂層が芯材粒子に結合していることが確認された。粒子Iは、溶剤に可溶な樹脂を粒子に被覆しただけであり、溶剤により容易に溶出されることが確認された。
【0069】
(ITO付ガラス基板に対する導電性粒子の固着性能)
得られた粒子C,E,G,H,I を、それぞれイソプロピルアルコールに分散させ、ITO付ガラス基板上に粒子を散布する。イソプロピルアルコールを室温にて蒸発させた後、この基板を絶縁樹脂層のガラス転移温度Tg以上の温度(120℃)に加熱し、120℃で60秒静置する。この基板を室温まで冷却後、この基板上の粒子の確認を行い、基板上部6mmの所から窒素ガスを1kg/cmにて10秒間ブローさせる。窒素ブロー後に基板上に残っている粒子数をパーセンテージであらわす。
【0070】
【表2】
Figure 0004050086
【0071】
(導通信頼性試験)
得られた各例の導電性粒子5 gを、エポキシ樹脂( 三井化学製、「ストラクトボンドXN-5A」)100 gに混ぜ合わせ、ペーストを作成した。 該ペースト0.1 mgを、ITO膜が内面に形成された幅10mmの2枚のガラス基盤上を交差するように挟み、プレス機にて35kg/cmの圧力において80℃、30分仮圧着を行なった。この試験片を顕微鏡で観察し、粒子濃度の測定を行った後、この試験片に対し、粒子1 個あたり1gf の荷重となる様圧力を加え、1 50℃、45分間熱圧着した。この試験片を顕微鏡で観察し、凝集粒子( 多重粒子) の有無を観察し、更に電気抵抗値を測定した。この試験片を高温側が80℃、2時間、低温側が−20℃、2時間を1サイクルとし、200サイクル行なった後、再度この試験片の電気抵抗値の測定を行った。このときの電気抵抗値の変化を表2に示す。
【0072】
本発明の導電性粒子E、G、Hは、粒子残存率が高く、基板に対する固着性の高いものであった。また、導通試験後の抵抗値の上昇が少なかった。
【0073】
粒子Cは、導電性粒子の表面に金属被覆層が露出しているものであるが、基板に対する固着性が低く、かつ多重粒子が見られた。また、導通試験後に抵抗値が上昇した。比較例の粒子Iは、溶剤に可溶な樹脂を粒子に被覆しただけであり、粒子の基板への固着性は高かった。しかし、多重粒子が見られた。また、導通試験後に抵抗値が著しく上昇した。
【0074】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、導電性粒子を用いて端子間の電気的接続を行った場合に、端子間の間隙寸法の変化に追従でき、かつ粒子を混練したときに粒子からの樹脂の剥離や溶出の少ない導電性粒子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、芯材粒子4および金属被覆層2を模式的に示す正面図であり、(b)は、芯材粒子4および金属被覆層2を模式的に示す断面図である。
【図2】(a)は、導電性粒子5を模式的に示す正面図であり、(b)は、導電性粒子5を模式的に示す断面図である。
【図3】(a)は、芯材粒子4の表面4aに水酸基が付着している状態を模式的に示し、(b)は、モノマーHB−Dと水酸基との反応を示し、(c)は、モノマーと水酸基との反応後の状態を模式的に示す。
【図4】比較例の異方性導電構造11を模式的に示す断面図である。
【図5】本発明例の異方性導電構造11Aを模式的に示す断面図である。
【図6】図5の構造11Aの要部拡大図である。
【符号の説明】
1 金属被覆粒子 2 金属被覆層 3 隙間
4 芯材粒子 4a 芯材粒子4の表面 5 導電性粒子
6 絶縁樹脂層 7 絶縁樹脂層6と芯材粒子4との反応界面
11 比較例の異方性導電構造 11A 本発明例の異方性導電構造
12A、12B 基板 13A,13B 端子 14 結着材 15 比較例の導電性粒子 19 比較例の異方性導電膜
19A 本発明例の異方性導電膜[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to conductive particles, a conductive material, and an anisotropic conductive film.
[0002]
[Prior art]
Conductive particles based on resin suitable for anisotropic conductive members are known. The patent documents are listed below.
In Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 62-115679 and 62-188184, it is disclosed that a crosslinked polymer resin particle is coated with a metal to obtain conductive particles and applied to an anisotropic conductive connection structure. ing.
JP-A-9-115335 discloses an anisotropic conductive adhesive film in which conductive particles obtained by applying nickel / gold plating to crosslinked polystyrene particles are dispersed in an epoxy resin.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-18096 discloses a technique for coating metal particles around a resin particle by an electroless plating method.
In the inventions described in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 1-224282 and 8-311655, a method of performing metal coating on resin particles by an electroless plating method is disclosed.
[0003]
In such conductive particles in which a metal film is formed on the resin particles, when the content of the conductive particles in the adhesive resin increases, multiple particles of the conductive particles are likely to be generated. There is a problem that leakage is likely to occur between adjacent terminals. For this reason, the technique which coat | covers the surface of electroconductive particle with resin as follows is known.
[0004]
(1) In Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-176139, a conductive intermediate layer is formed on the surface of base particles made of resin, and this conductive film is covered with a thermoplastic resin. And the thermoplastic resin layer of the surface is torn at the time of thermocompression bonding, the conductive intermediate layer is exposed, and electrical connection is ensured.
(2) In Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-105716, an insulating resin layer is formed by forming a conductive layer on an insulating core and covering 0.1 to 99.9% of the conductive layer on the conductive layer. Is forming.
(3) In Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-252553, a resin is dissolved in a solvent, conductive particles are introduced into the solvent, and the resin is coated on the conductive particles while volatilizing the solvent.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
(1) Since the insulating coating layer of the particles used in the anisotropic conductive connection material described in JP-A-62-176139 is a thermoplastic resin, the resin flows under high temperature and high humidity, and the connection terminals It enters and causes poor connection. Further, when the anisotropic conductive connecting material is molded, elution from the thermoplastic resin on the particle surface to the adhesive resin may occur, which may cause poor adhesion. Furthermore, the insulating resin is peeled off from the particles, and contact between the conductive particles occurs.
(2) The particles disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-105716 also have the same problem as described above when there are many insulating coating resin layers, and the insulating resin is fundamentally easily separated from the conductive particles. It includes the problem.
(3) In the invention described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-252553, in order to prevent the conductive particles from overlapping each other, the insulating resin is dissolved in a solvent and the conductive particles are coated with the resin. However, in the conductive connecting member, when the particles are kneaded with the adhesive resin, the non-crosslinked resin that dissolves in the solvent dissolves and mixes in the adhesive resin, and inhibits the curing of the adhesive resin, thereby ensuring the reliability of the conductive connection. Drop sex.
In the inventions described in JP-A-1-2422782 and JP-A-8-31655, there is no means for improving physical adhesion between the resin particles and the metal layer. For this reason, there has been a problem that the metal layer is peeled off from the particles when a shearing force is applied to the particles when the agglomeration generated during plating is crushed. If it is a normal resin layer, etching can be performed to improve adhesion, and the adhesion between the metal layer and the resin layer can be enhanced by the anchor effect. However, etching is difficult for fine particles, and the etching of the resin particles is difficult. Impairs physical properties.
[0006]
Furthermore, in connection reliability tests by heat cycle, in order to prevent conductive connection failure due to the change in the gap between the connection terminals, generally use conductive particles with metal coating on resin particles with resilience, and as adhesive resin Uses a curing shrinkable adhesive. However, even in such a combination, the resin particles have a compression history, so there is a limit in the amount of restoration, and in long-term reliability tests, the conductive particles cannot follow the change in the gap, resulting in poor connection. There was a case.
[0007]
The problem of the present invention is that when conducting electrical connection between terminals using conductive particles, it is possible to follow the change in the gap size between the terminals, and when the particles are kneaded, the resin is peeled off or eluted. It is an object of the present invention to provide conductive particles having a low content.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The present invention includes a core material particle, a metal coating layer formed on the core material particle, and an insulating resin layer formed on the metal coating layer. The insulating resin layer is made of a graft resin. In addition, the present invention relates to conductive particles characterized by being chemically bonded to core particles.
[0009]
In a preferred embodiment, It has a core particle, a metal coating layer formed on the core particle, and an insulating resin layer formed on the metal coating layer, and the insulating resin constituting the insulating resin layer can be dissolved. In an elution test using a simple solvent, the elution amount is 2.0% or less.
[0010]
The present invention also relates to a conductive material comprising the conductive particles and a binder that binds the conductive particles. The conductive material is a different material made of the conductive material. This relates to the isotropic conductive film.
[0011]
The present inventor has formed an insulating resin having an adhesive ability to an external material, for example, a connection terminal, after forming a metal coating layer on the core resin particles and then grafting the core coating resin particles on the metal coating layer. It was conceived to form on a coating layer.
[0012]
In the conductive particles of the present invention, since the insulating resin is formed on the metal coating layer, the insulating resin can be easily mixed with the adhesive resin, and can be easily mixed with the adhesive resin. it can. Therefore, the conductive particles can be uniformly dispersed in the adhesive resin, and a conductive material without multiple particles can be produced. In particular, when the particles of the present invention are used in an anisotropic conductive structure, current leakage between adjacent connection terminals can be prevented.
[0013]
In addition, since the metal coating layer is covered with the insulating resin, the insulating resin easily adheres to the terminals, and the insulating resin is chemically bonded to the core particles. It is easy to follow changes in the gap size. Therefore, the conductive material of the present invention is excellent in connection stability.
[0014]
And the electroconductive particle of this invention is excellent in the adhesiveness of a core material particle and a metal coating layer. This is because the metal coating layer is sandwiched between the core material particles and the insulating resin and fixed by the insulating resin bonded to the core material particles. In addition, the insulating resin layer is not only attached to the metal coating layer but also chemically bonded to the core material particles that are the base of the metal coating layer. Therefore, even if it uses at the temperature more than the glass transition point of an insulating resin layer, it does not peel.
[0015]
In the present invention, it is possible to provide conductive particles having an elution amount of 2.0% or less in an elution test using a solvent capable of dissolving the insulating resin constituting the insulating resin layer. When used, even when a shearing force is applied, the graft resin is hardly peeled off from the particles, and the adhesive strength to the terminal can be kept high.
[0016]
The solvent in which the insulating resin can be dissolved varies depending on the type of the insulating resin. However, the insulating resin is soluble in at least one of toluene, tetrahydrofuran, ethyl acetate, dimethylformamide, and methanol. Therefore, when any of toluene, tetrahydrofuran, ethyl acetate, dimethylformamide, and methanol is used, if the elution amount is 2.0% or less, the requirement of the present invention is satisfied. However, when the insulating resin is insoluble in some solvents among toluene, tetrahydrofuran, ethyl acetate, dimethylformamide, and methanol, the insulating resin is not likely to elute above 2% for the solvent. There is no need for measurement.
[0017]
From the viewpoint of the present invention, the elution amount is more preferably 1.5% or less. The measurement conditions for the elution amount will be described in detail in the items of the examples.
[0018]
In addition, the type of chemical bond between the graft resin and the core particle is not limited, but a covalent bond is preferable, a covalent bond by hydrogen abstraction in a radical reaction, an amide bond by a reaction between a carboxylic acid and an amino group, an imino group, Examples include ester bonds resulting from the reaction between carboxylic acids and alcoholic hydroxyl groups, urethane bonds resulting from reactions between isocyanates and hydroxyl groups, urea bonds resulting from reactions between isocyanates and amino groups, and imino groups, and siloxane bonds resulting from silane coupling agents. .
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
In order to manufacture the electroconductive particle of this invention, Preferably, it is based on the following method. As shown in FIGS. 1A and 1B, core material particles 4 are prepared. Functional groups are introduced into the surface 4 a of the core material particles 4, and then the metal coating layer 2 is formed on the core material particles 4. At this time, gaps 3 are generated in the metal coating layer 2 to obtain metal-coated particles 1. At this stage, functional groups remain on the surfaces 4 a of the core material particles 4 in the gaps 3 of the metal coating layer 2.
[0020]
Next, a graft resin is generated on the metal coating layer 2 using a reactive molecule capable of reacting with a functional group on the surface 4 a of the core particle 4 as a starting point. Thereby, the electroconductive particle 5 shown to Fig.2 (a), (b) is obtained. In the particles 5, an insulating resin layer 6 made of a graft resin is generated starting from the gap 3.
[0021]
The material of the core particle 4 is not particularly limited, but a polymer and an organic / inorganic hybrid material are preferable. Examples of polymers include linear polymers such as polystyrene, polymethyl methacrylate, polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polysulfone, polycarbonate, and polyamide; divinylbenzene, hexatriene, divinyl ether, divinylsulfone, diallylcarbinol, Alkylene diacrylate, oligo or polyalkylene glycol diacrylate, oligo or polyalkylene glycol dimethacrylate, alkylene triacrylate, alkylene tetraacrylate, alkylene trimethacrylate, alkylene tetramethacrylate, alkylene bisacrylamide, alkylene bismethacrylamide, both end acrylic modified polybutadiene Oligomer alone or other polymerizable Reticulated polymer obtained by polymerizing a Nomar; phenol-formaldehyde resins, melamine formaldehyde resins, benzoguanamine-formaldehyde resins, and thermosetting resins such as urea-formaldehyde resins.
[0022]
The polymerization method of the polymer is not limited, and may be a suspension polymerization method, a seed polymerization method, a dispersion polymerization method, or an emulsion polymerization method.
[0023]
Organic / inorganic hybrid materials include a copolymer of (meth) acrylate having a silyl group in the side chain and a vinyl monomer such as styrene or methyl methacrylate, and then condensation reaction of the silyl group; A sol-gel reaction of tetraethoxysilane, triethoxysilane, diethoxysilane, etc. in the presence of coalescence; a sol-gel reaction of tetraethoxysilane, triethoxysilane, diethoxysilane, etc., followed by firing at a low temperature What left the organic component by performing is mentioned.
[0024]
The shape of the core particle 4 is not limited, and may be a true spherical shape, a spheroid, a polyhedron, a needle shape, a fiber shape, a whisker, a columnar shape, a cylindrical shape, or an indefinite shape.
[0025]
The average particle diameter of the core particle 4 is preferably 1 to 1000 μm, and more preferably 2 to 500 μm. The average particle diameter of the core material particles 4 is a diameter when the core material particles are spherical, and a long diameter when the core material particles are spheroidal. The average particle diameter is a value obtained by observing and measuring 300 arbitrary core material particles with an electron microscope.
[0026]
The coefficient of variation (CV value) in the particle size distribution of the core particles is preferably 5% or less, and more preferably 3% or less. When the CV value exceeds 5%, the particle diameters of the core material particles are not uniform. Therefore, when the electrical connection is made by the conductive particles produced using the core material particles, conductive fine particles that are not involved in the connection are generated. In addition, a leak phenomenon may occur between adjacent electrodes.
[0027]
The CV value is the following formula (1);
CV value (%) = (σ / Dn) × 100 (1)
(In the formula, σ represents a standard deviation of the particle diameter, and Dn represents a number average particle diameter). The standard deviation and the number average particle diameter are values obtained by observing and measuring 300 arbitrary resin base particles with an electron microscope.
[0028]
The means for forming the metal coating layer is not particularly limited. However, a method in which the metal crystal grows in a granular form is preferable, and an electroless plating method and an electroplating method are particularly preferable.
[0029]
The thickness of the metal coating layer 2 is preferably 0.025 μm or more, more preferably 0.05 μm or more, from the viewpoint of reducing the resistance value of the conductive particles. Further, from the viewpoint of production cost, it is preferably 10 μm or less, and more preferably 1 μm or less.
[0030]
The metal coating layer 2 may have a single layer structure or a laminated structure of two or more layers.
[0031]
As a metal which comprises the metal coating layer 2, the metal which belongs to IB group, VIII group, IIB group, IIIB group, IVB group, VB group etc. in a periodic table is mentioned. As the group IB, copper, silver, gold and alloys thereof are preferable. As the group VIII, nickel, palladium, platinum and alloys thereof are preferable. As group IIB, zinc and zinc alloys are preferred. As the group IIIB, gallium, aluminum, indium and alloys thereof are preferable. As the IVB group, tin, lead and alloys thereof are preferable. As the group VB, bismuth and bismuth alloys are preferable.
[0032]
Below, nickel-gold plating which is an example of a metal coating layer is demonstrated. In nickel-gold plating, after electroless nickel plating is performed on the surface of the core material particles, a gold plating layer is formed on the surface portion by substitution plating. The electroless nickel plating includes a catalyst application step and a nickel reduction plating step.
[0033]
In the catalyst application step, a catalyst serving as a nucleus of plating is deposited or adsorbed on the surface of the core material particles. In this case, it is preferable to use a platinum group metal compound. Specifically, after the core particles are immersed in a hydrochloric acid solution of stannous chloride, they are further immersed and heated in a hydrochloric acid solution of palladium chloride and washed with water. In the particles thus obtained, palladium is precipitated as fine particles having a particle size of 50 nm or less.
[0034]
Alternatively, the core particles may be immersed in a mixed solution of tin chloride and palladium chloride, and then tin may be eluted and removed using hydrochloric acid or a sulfuric acid aqueous solution. Also in this case, palladium fine particles are deposited on the particle surfaces as described above.
[0035]
Furthermore, core particles having a graft polymerization layer may be immersed in a mixed aqueous solution of palladium chloride, a water-soluble monomer such as polyvinyl pyrrolidone, polyacrylamide, and polyvinyl pyridine, and ascorbic acid (Japanese Patent Laid-Open No. 61-166777). See the official gazette). Also in this case, palladium fine particles are deposited on the particle surfaces as described above.
[0036]
Next, nickel reduction plating is performed using the core material particles provided with the catalyst by the above method. As a method for performing the nickel reduction plating, a known method (“Latest Electroless Plating Technology” issued; General Technology Center, 1986, page 43, etc.) can be used, and both acidic plating and alkaline plating are used. be able to. When acidic plating is used as the nickel reduction plating, the nickel reduction is performed while immersing the catalyst-treated particles in a nickel chloride or nickel sulfate solution and dropping the sodium hypophosphite solution under pH 4-6 conditions. By performing the above, a nickel plating layer can be formed on the particle surface.
[0037]
When alkaline plating is used, a nickel plating layer can be formed on the particle surface by reducing nickel while dropping boric acid or a borax solution under conditions of pH 8-10. The nickel reduction reaction in the nickel reduction plating proceeds on the ultrafine palladium particles existing on the surface of the core material particles, thereby forming a nickel plating layer.
[0038]
Next, a gold plating layer is formed on the particles on which the nickel plating layer is formed by displacement plating. The gold plating is performed by partially eluting nickel and depositing gold on the surface of the nickel plating layer. Specifically, it is performed by putting particles having a nickel plating layer into a solution composed of potassium cyanide alloy, EDTA and ammonium chloride and heating them.
[0039]
The metal coating layer 2 has a gap 3 through which a monomer as a raw material for the graft resin can enter. The size of the gap 3 is preferably 1 nm or more, and more preferably 2 nm or more, from the viewpoint of promoting the entry of monomer molecules. On the other hand, if the gap 2 is too large, defects are likely to occur in the metal coating layer when a load is applied to the metal coating layer during the compression deformation of the particles. Therefore, from this viewpoint, the size of the gap 3 is preferably 1 μm or less, and more preferably 0.5 μm or less.
[0040]
Further, the area of the gap 3 preferably accounts for 0.10% or more of the surface area of the core particles from the viewpoint of covering the entire metal coating with the insulating resin layer, and accounts for 0.12% or more. More preferably. Moreover, when the area of the gap 3 becomes too large, defects are likely to occur in the metal coating layer when a load is applied to the metal coating layer during particle compression deformation. From this viewpoint, it is preferably 5.0% or less, and more preferably 1.0% or less.
[0041]
The thickness of the insulating resin layer 6 made of the graft resin is preferably 0.002 μm or more, and more preferably 0.01 μm or more, from the viewpoint of adhesion to an external member. However, if the insulating resin layer 6 is thick, the resin tends to remain between the particles and the terminals at the time of conductive connection, which may cause a connection failure. Therefore, the thickness of the insulating resin layer 6 is preferably 1 μm or less. 5 μm or less is more preferable.
[0042]
Examples of the graft polymerization on the particle surface include the methods described in the following documents.
"The latest powder material design" (Techno System Co., Ltd.), page 203
“Graft Polymerization and its Applications”, Fumio Ide, Polymer Publishing Society, 1984
Japanese Patent Laid-Open No. 9-244034
[0043]
Moreover, the following method can be illustrated.
Unsaturated bonds such as double bonds existing on the surface of the core particles are cleaved using a radical polymerization initiator, and a vinyl monomer is graft polymerized.
A radical is generated on the surface of the core material particle having a reducing group such as an alcoholic hydroxyl group on the surface by an oxidizing agent such as cerium salt (IV) or periodate, and the vinyl monomer is graft-polymerized starting from the radical.
Graft polymerization using redox catalysts such as persulfate-lithium halide, persulfate-acid sulfite, persulfate-Ag, persulfate-hydroxyl, hydrogen peroxide-metal salt .
Graft polymerization is performed starting from a functional group such as a perester group, a mercapto group, or a diazo group.
The surface of the core material particles is activated by physical means such as low-temperature plasma, electron beam, or gamma ray irradiation, and then the polymerizable monomer is graft polymerized.
The graft polymer is bonded to a reactive group such as an amino group or a hydroxyl group present on the surface of the core particle by a polymer reaction.
[0044]
In a particularly preferred embodiment, the graft polymer is produced by monomer graft polymerization, and the monomer graft polymerization proceeds from a vinyl group or a polymerization initiator present on the surface of the particle body. To do. The present applicant has developed a method for introducing a vinyl group on the particle surface and a method for introducing a radical active site, and disclosed a method for forming a graft chain based on a vinyl group or a radical active site (Japanese Patent Laid-Open No. 5-232480). No. 7, JP-A-7-300587, JP-A-7-301810, JP-A-7-300586). The methods described in these documents can be used in the present invention.
[0045]
A method for introducing a vinyl group or a radical active site on the surface of the core particle is not limited, and the methods described in the above-mentioned publications can be used. For example, as shown in FIG. 3A, a hydroxyl group is introduced into the surface of the core material particle 4 and then the metal coating layer 2 is provided. Next, as shown in FIG. 3B, a monomer XB-D having a functional group X having a reactive activity with a hydroxyl group is reacted with the hydroxyl group. Here, B is a main body part of the monomer, and D is a vinyl group or a radical active point. By reaction between the active hydrogen of the monomer and the hydroxyl group, the D group is introduced to the particle surface as shown in FIG.
[0046]
When introducing a hydroxyl group into the particle surface, the core material particles are preferably impregnated with a compound capable of forming an interpenetrating polymer network and reacted. By performing such treatment, the bonding of the insulating resin layer to the core material particles can be further strengthened, and the resistance to the shearing force of the particles can be further improved.
[0047]
The “compound capable of forming an interpenetrating polymer network” is a compound that can be impregnated into particles and can form an interpenetrating polymer network by heating inside the particles. , Not limited. In a preferred embodiment, the compound has a plurality of functional groups that can cross-link with each other. As described above, the compound has a plurality of functional groups, and a cross-linking reaction proceeds in each functional group, thereby generating an interpenetrating polymer network structure. Examples of such functional groups include the following. One type or two or more types of these functional groups are included in one compound.
Epoxy group, hydrolyzable silyl group, carboxyl group, hydroxyl group, amino group, imino group
[0048]
Examples of the compound having an epoxy group include the following.
Ethylene glycol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, tripropylene glycol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, glycerin diglycidyl Ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, triglycidyl tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, sorbitol polyglycidyl ether, sorbitan polyglycidyl ether, pentaerythritol polyglycidyl ether, 3-glycididoxypropyltrimethoxysilane, 3, 4 -Epoxybutyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxy Cyclohexyl) ethyltrimethoxysilane
[0049]
Examples of the compound having a hydrolyzable silyl group include the following.
Tetraethoxysilane, 2-trimethoxysilylethyltrimethoxysilane, 6-trimethoxysilylhexamethylenetrimethoxysilane, p-dimethoxysilylethylbenzene, di-3-trimethoxysilylpropyl terephthalate, di-3-trimethoxy adipate Silylpropyl, tri-3-methyldimethoxysilylpropyl isocyanurate
[0050]
Examples of the bond forming the interpenetrating polymer network structure include an ether bond, a siloxane bond, and a combination of an ether bond and a siloxane bond.
[0051]
Examples of the monomer used for producing the graft resin include styrene, α-methylstyrene, methyl acrylate, methyl methacrylate, isobutyl methacrylate, acrylonitrile, vinyl pyrrolidone, glycidyl methacrylate, lauryl methacrylate, stearyl methacrylate, and acetic acid. Examples thereof include polymerizable vinyl monomers such as vinyl, vinyl chloride, ethylene, propylene, butadiene, isoprene, allyl phthalate, methacryloxymethyltrimethoxysilane, and methacryloxypropyltriethoxysilane. Furthermore, the following can be illustrated.
Dimethylacrylamide, dimethylaminoethyl acrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminopropyl acrylamide, dimethylaminopropyl methacrylamide, acryloylmorpholine, N-isopropylacrylamide, diethylacrylamide, methacryloyloxyethyltrimethylammonium chloride, methacryloyloxyethylbenzyldimethylammonium Nitrogen-containing cationic monomers such as chloride, acryloyloxyethyltrimethylammonium chloride, acryloyloxyethylbenzyldimethylammonium chloride, acrylamidopropyltrimethylammonium chloride; ammonium α-sulfonate-ω-1- (allyloxymethyl) alkyloxypoly Oxyeth Sulfonic acid anionic vinyl monomers such as sodium, sodium p-styrene sulfonate, sodium vinyl sulfonate, sodium 2-methacryloyl ethyl sulfonate, sodium acrylamido-2-methylpropane sulfonate; 2-acryloyloxyethyl acid Phosphoric acid-based anionic vinyl monomers such as phosphate, 2-methacryloyloxyethyl acid phosphate, diphenyl-2-acryloyloxyethyl phosphate, diphenyl-2-methacryloyloxyethyl phosphate; click acid, methacrylate acid, methacrylic acid dimer Carboxylic acid type anionic vinyl monomers such as
[0052]
Furthermore, the vinyl monomer which has the following hydrophilic functional groups can be illustrated, for example. Hydroxyl group-containing monomers such as 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, glycerol monomethacrylate; polyethylene glycol monomethacrylate, polyethylene glycol monoacrylate, polypropylene glycol monomethacrylate, methoxypolyethylene glycol monomethacrylate, Polyether-containing monomers such as methoxypolyethylene glycol monoacrylate; Epoxy-containing monomers such as glycidyl methacrylate and glycidyl acrylate.
The above examples of the monomers do not limit the present invention. Two or more types of monomers may be mixed.
[0053]
Since the electroconductive particle by this invention has the outstanding electroconductivity, the electroconductive material which has the outstanding electroconductivity is obtained by mixing in binders, such as resin. Such a conductive material can be suitably used as a film-like antistatic film or an anisotropic conductive film that can be used in a portion where electrical bonding is performed in an electronic circuit.
[0054]
Binders (adhesives) constituting such conductive materials include polyethylene, polypropylene, polystyrene, polycarbonate, polyurethane, polyester, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl acetate, polyamide, polyimide, acrylic resin, and methacrylic resin. And epoxy resin, phenol resin, silicon resin, fluorine resin, nylon resin, ethylene / vinyl acetate resin, styrene / acrylonitrile resin, acrylonitrile / butadiene / styrene resin.
[0055]
Moreover, a conductive material can be produced by mixing the conductive particles of the present invention with insulating particles and press-molding them. Examples of such insulating particles include the particles listed in the above-mentioned item of core material particles, and plastic particles, and further, thermoplastic plastic particles are particularly preferable.
[0056]
The case where the conductive particles of the present invention are applied to an anisotropic conductive film will be further described. When the anisotropic conductive structure is manufactured, as shown in FIG. 4, a pair of substrates 12A and 12B provided with terminals 13A and 13B having a predetermined pattern are prepared. Then, an anisotropic conductive film 19 is sandwiched between a pair of substrates, and pressure is applied under heat to perform pressure bonding. The anisotropic conductive film 19 includes a binder 14 and conductive particles 15 dispersed in the binder 14. Here, when the surface of the conductive particles 15 is made of a metal coating layer, if the distance between the substrates 12A and 12B varies, a gap 16 is generated between the particles 15 and the terminals 13A and 13B. Defects occur.
[0057]
On the other hand, as shown in FIGS. 5 and 6, in the case of the anisotropic conductive structure 11A using the conductive particles 5 of the present invention, the surface of the conductive particles 5 is coated with the graft resin 6. The conductive particles 5 adhere to the terminals 13A and 13B. Thus, when the distance between the substrates 12A and 12B varies, the gap 16 is unlikely to occur between the particles 15 and the terminals 13A and 13B.
[0058]
【Example】
Hereinafter, although a specific experimental result is illustrated, this invention is not limited to this Example.
[0059]
(Production of crosslinked polymer particle B)
A 2 L separable flask is charged with 400 g of a 3.5% polyvinylpyrrolidone methanol solution, 42 g of styrene, and 63 g of p-trimethoxysilylstyrene, and heated to 60 ° C. with gentle stirring under a nitrogen stream. Add 4 g of azobisisobutyronitrile and allow to react for 12 hours. After cooling to room temperature after completion of the reaction, 200 g of a 5% aqueous solution of potassium hydroxide was added, followed by stirring at 60 ° C. for 2 hours for hydrolysis and crosslinking reaction. The obtained particles were washed to obtain particles A. To 20 g of particles A, 20 g of a toluene solution in which 10 g of an interpenetrating polymer network forming compound (2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane) was dissolved was added and impregnated with epoxy. Next, the epoxy-impregnated particles were heated at 200 ° C. for 16 hours and then washed to obtain crosslinked polymer particles B having a hydroxyl group derived from an epoxy group on the particle surface 4a. The average particle size of the particles B was 5.20 μm, and the coefficient of variation was 3%.
[0060]
(Production of metal-coated particles C)
The particles B were electrolessly copper-plated by a known method to obtain metal-coated particles C having an average particle size of 5.40 μm and a plating film thickness of 0.10 μm. The particle C corresponds to the stage of FIG. By SEM, countless 1-100 nm holes were confirmed on the surface of the metal-coated particles C, and the area of the gap was 0.13%.
[0061]
(Preparation of metal-coated particles D with vinyl groups introduced on the surface)
3 g of a 30% toluene solution of methacryloyl isocyanate (HB-D in FIG. 3 (b)) and 20 g of methyl ethyl ketone are charged all at once to 10 g of the metal-coated particle C, and reacted at room temperature for 30 minutes to form a core material for the hole in the metal layer Metal-coated particles D having vinyl groups introduced on the particle surfaces were obtained. The particle D corresponds to FIG.
[0062]
(Example of the present invention: Production of resin-coated conductive particles E)
100 g of methyl ethyl ketone, 1 g of polymerization initiator benzoyl peroxide, 30 g of methyl methacrylate, 10 g of lauryl methacrylate, 10 g of 2-hydroxyethyl methacrylate (Tg of copolymer polymer is 44 ° C.) are collectively charged into 10 g of metal-coated particles D, and a nitrogen stream The mixture was reacted at 80 ° C. for 2 hours, washed with methyl ethyl ketone, and dried to obtain particles E in which a graft polymerization chain was formed starting from the vinyl group. It was confirmed that the average particle diameter of the obtained particles E was 5.44 μm, and the thickness of the resin layer 6 on the metal coating layer 2 was 0.02 μm. The obtained particles E were uniformly coated, and multiple particles were not observed.
[0063]
(Example of the present invention: Production of resin-coated conductive particles G)
3 g of a 30% toluene solution of methacryloyl isocyanate and 20 g of methyl ethyl ketone are added all at once to the obtained particle E10 g and reacted at room temperature for 30 minutes to obtain particles F in which the primary side chain vinyl group of the graft polymerization chain is introduced. It was. 100 g of methyl ethyl ketone, 1 g of polymerization initiator benzoyl peroxide, 30 g of methyl methacrylate, 10 g of lauryl methacrylate, and 10 g of 2-hydroxyethyl methacrylate (Tg of the copolymerized polymer is 44 ° C.) are charged all at once to the particle F10 g. When the reaction was carried out at 2 ° C. for 2 hours, particles G in which the graft polymer chain was formed starting from the vinyl group were obtained. It was confirmed that the average particle diameter of the obtained particles G was 5.52 μm, and the thickness of the resin layer on the metal coating layer was 0.06 μm. The obtained particles G were uniformly coated, and multiple particles were not observed.
[0064]
(Example of the present invention: Production of resin-coated conductive particles H)
100 g of methyl ethyl ketone, 1 g of polymerization initiator benzoyl peroxide, 25 g of methyl methacrylate, 10 g of lauryl methacrylate, 10 g of 2-hydroxyethyl methacrylate, 5 g of glycidyl methacrylate (copolymer polymer Tg is 38 ° C.) per 10 g of the metal-coated particles D After charging and reacting at 80 ° C. for 2 hours under a nitrogen stream, particles H in which a graft polymerization chain was formed starting from the vinyl group were obtained by washing with methyl ethyl ketone and drying. The average particle diameter of the obtained particles H was 5.44 μm, and the thickness of the resin layer on the metal coating layer was confirmed to be 0.02 μm. The obtained particles H were uniformly coated, and multiple particles were not observed.
[0065]
(Comparative Example: Production of resin-coated conductive particles I)
After adding 5 g of butyl acetate solution of 0.25 g of methacrylic acid ester copolymer (weight average molecular weight 10,000) having the same composition as the coating layer of particle H to the metal-coated particles C10 g, and dispersing the particles, Butyl acetate was gradually evaporated to obtain coated conductive particles I. When the particles I were observed with an optical microscope and SEM, the particles were uniformly coated, but some of the particles were observed.
[0066]
(Elution test of insulating resin layer)
Each particle E, G, H, I was dispersed in each solvent shown in Table 1. After applying ultrasonic waves for 30 minutes, the particles were removed from the solvent, filtered and dried. The difference between the initial weight of the particles and the weight after the test was measured, and the amount of change in weight was taken as the elution amount of insulating resin. The results are shown in Table 1.
[0067]
[Table 1]
Figure 0004050086
[0068]
From this result, it was confirmed that the conductive particles of the present invention hardly had the elution of the insulating resin layer, and the coating resin layer was bonded to the core material particles. It was confirmed that the particles I were simply coated with a resin soluble in a solvent and were easily eluted by the solvent.
[0069]
(Fixing performance of conductive particles to glass substrate with ITO)
The obtained particles C, E, G, H, I are each dispersed in isopropyl alcohol, and the particles are dispersed on a glass substrate with ITO. After evaporating isopropyl alcohol at room temperature, the substrate is heated to a temperature (120 ° C.) equal to or higher than the glass transition temperature Tg of the insulating resin layer, and left at 120 ° C. for 60 seconds. After cooling the substrate to room temperature, the particles on the substrate are confirmed, and nitrogen gas is supplied at 1 kg / cm from the upper 6 mm of the substrate. 2 For 10 seconds. The number of particles remaining on the substrate after nitrogen blowing is expressed as a percentage.
[0070]
[Table 2]
Figure 0004050086
[0071]
(Continuity reliability test)
5 g of the conductive particles obtained in each example were mixed with 100 g of an epoxy resin (manufactured by Mitsui Chemicals, “Struct Bond XN-5A”) to prepare a paste. The paste 0.1 mg was sandwiched between two glass substrates 10 mm wide with an ITO film formed on the inner surface, and 35 kg / cm by a press. 2 Temporary pressure bonding was carried out at 80 ° C. for 30 minutes at the pressure of After observing the test piece with a microscope and measuring the particle concentration, a pressure was applied to the test piece so that a load of 1 gf per particle was applied, and thermocompression bonding was performed at 150 ° C. for 45 minutes. This test piece was observed with a microscope, the presence or absence of aggregated particles (multiple particles) was observed, and the electrical resistance value was further measured. The test piece was subjected to 200 cycles with the high temperature side at 80 ° C. for 2 hours and the low temperature side at −20 ° C. for 2 hours for 200 cycles, and then the electrical resistance value of the test piece was measured again. Table 2 shows changes in the electric resistance value at this time.
[0072]
The conductive particles E, G, and H of the present invention had a high particle residual rate and high adhesion to the substrate. Moreover, there was little increase in the resistance value after the continuity test.
[0073]
The particles C were those in which the metal coating layer was exposed on the surfaces of the conductive particles, but the adhesion to the substrate was low, and multiple particles were observed. Further, the resistance value increased after the continuity test. The particles I of the comparative example were only coated with a resin soluble in a solvent, and the adhesion of the particles to the substrate was high. However, multiple particles were seen. Further, the resistance value significantly increased after the continuity test.
[0074]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, when electrical connection between terminals is performed using conductive particles, it is possible to follow the change in the gap dimension between the terminals, and from the particles when the particles are kneaded. It is possible to provide conductive particles with less peeling and elution of the resin.
[Brief description of the drawings]
1A is a front view schematically showing core material particles 4 and a metal coating layer 2, and FIG. 1B is a cross-sectional view schematically showing core material particles 4 and the metal coating layer 2; is there.
2A is a front view schematically showing conductive particles 5, and FIG. 2B is a cross-sectional view schematically showing conductive particles 5. FIG.
3A schematically shows a state in which a hydroxyl group is attached to the surface 4a of the core particle 4, FIG. 3B shows a reaction between the monomer HB-D and the hydroxyl group, and FIG. Schematically shows the state after the reaction between the monomer and the hydroxyl group.
FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing an anisotropic conductive structure 11 of a comparative example.
FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing an anisotropic conductive structure 11A of an example of the present invention.
6 is an enlarged view of a main part of the structure 11A in FIG. 5;
[Explanation of symbols]
1 Metal-coated particle 2 Metal-coated layer 3 Gap
4 Core particle 4a Surface of core particle 4 5 Conductive particle
6 Insulating resin layer 7 Reaction interface between insulating resin layer 6 and core particle 4
11 Anisotropic Conductive Structure of Comparative Example 11A Anisotropic Conductive Structure of Inventive Example
12A, 12B Substrate 13A, 13B Terminal 14 Binder 15 Comparative Example Conductive Particles 19 Comparative Example Anisotropic Conductive Film
19A Anisotropic conductive film of inventive example

Claims (6)

芯材粒子、この芯材粒子上に形成されている金属被覆層、およびこの金属被覆層上に形成されている絶縁樹脂層を有しており、この絶縁樹脂層がグラフト樹脂からなり、かつ前記芯材粒子と化学結合していることを特徴とする、導電性粒子。  Core material particles, a metal coating layer formed on the core material particles, and an insulating resin layer formed on the metal coating layer, the insulating resin layer is made of a graft resin, and Conductive particles characterized by being chemically bonded to core particles. 前記グラフト樹脂が溶解可能な溶媒による溶出試験において、溶出量が2.0%以下であることを特徴とする、請求項1記載の導電性粒子。  The electroconductive particle according to claim 1, wherein an elution amount is 2.0% or less in an elution test using a solvent in which the graft resin can be dissolved. 前記芯材粒子の表面に、前記金属被覆層によって被覆されていない隙間が、前記芯材粒子の総面積の0.1%以上、5.0%以下存在することを特徴とする、請求項1または2記載の導電性粒子。2. The gap between the surface of the core material particles that is not covered with the metal coating layer is 0.1% or more and 5.0% or less of the total area of the core material particles. Or the electroconductive particle of 2. 前記芯材粒子にビニル基を導入し、このビニル基を起点として重合性ビニル単量体をグラフト重合させることによって前記絶縁樹脂層が形成されていることを特徴とする、請求項1〜のいずれか一つの請求項に記載の導電性粒子。Introducing a vinyl group into the core material particles, wherein the insulating resin layer is formed of the vinyl group by graft polymerizing a polymerizable vinyl monomer as a starting point, according to claim 1 to 3 The electroconductive particle as described in any one claim. 請求項1〜のいずれか一つの請求項に記載の導電性粒子と、この導電性粒子を結着する結着剤とを備えていることを特徴とする、導電性材料。A conductive material comprising the conductive particles according to any one of claims 1 to 4 and a binder for binding the conductive particles. 請求項記載の導電性材料からなることを特徴とする、異方性導電膜。An anisotropic conductive film comprising the conductive material according to claim 5 .
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