JP4033468B2 - ノズル先端位置計測装置とそれを用いたスポッティング装置 - Google Patents
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Description
・X、Y軸(水平方向)については実際にチップに試し打ちを行ない、目的の位置に対する実際のスポット位置のズレを補正する方法。
・Z軸(上下方向)については目視でノズルをチップ付近まで下ろし、微調整でノズルをチップに接触させゼロ点調整する方法。
その他
・マイクロマニピュレータでは目視で大まかに位置合わせを行ない、顕微鏡視野内に入るように手動で微細な位置調整を行なう方法。
・半導体製造装置では、基板を撮影するカメラとは別にツール先端を撮影するための赤外線カメラなどを設置してツール先端位置情報を取得する方法。
・マイクロメートルオーダーの正確な位置情報が得られない。
・物理的にノズル先端を接触させる場合、ノズル先端を破損する危険性があり、異物混入が発生する原因となる。
・手作業で行なう場合、時間がかかったり、位置データにばらつきが出たりする可能性が高い。
・別置きのカメラシステムを使用する場合、ノズル先端位置測定用のカメラはその用途のためにしか使用しないため、コスト的に問題がある。
・レーザ計測器などでノズル先端の位置を計測する場合、使用する計測器によってはレーザスポット径がノズル先端よりも大きいと計測できない、あるいは計測精度が悪くなる。
前記移動手段に備えられたノズルと、
前記基台上を撮影する撮像手段とを備えたスポッティング装置におけるノズル先端の位置を計測するノズル先端位置計測装置であって、
前記基台上に設置されたノズル先端位置測定用の光学システムと、前記ノズル先端の基準位置からの位置ズレを計測する位置計測手段とを備え、
前記光学システムは、基準プレートに形成された基準エリア孔と、この基準エリア孔の基準プレートの底面方向からの像を前記撮像手段に導く光学経路と、この光学経路中に配された前記撮像手段の固定された焦点距離で前記基準エリア孔が形成された基準プレートの底面位置にフォーカスを合わせるためのレンズとを備え、
前記位置計測手段は、ノズル先端を基準エリア孔に挿入して、基準エリア孔を含む撮影画像上で、ノズル先端のZ軸方向の移動を行ってフォーカスを合わせることによりノズル先端のZ軸方向の基準位置を取得し、そのZ軸方向の基準位置における基準エリア孔の中心に対するノズル先端のX軸、Y軸方向の位置ズレを計測するものであることを特徴とするものである。
前記マイクロウェル集積体を載置したXY平面の基台に対して互いに直交するXYZ3軸方向に相対移動可能な移動手段と、
前記移動手段に備えられ、前記個々のマイクロウェル内に試薬を配置又は個々のマイクロウェル内から試薬を採取するスポッティングノズルと、
前記複数のマイクロウェルの配列を上方より撮影する撮像手段と、
前記撮像手段で得た画像情報から個々のマイクロウェル像の位置情報を算出する演算手段と、
前記演算手段によって算出された位置情報に基づいて前記移動手段及びスポッティングノズル手段を制御する制御手段とを備えたスポッティング装置において、、
前記基台上に設置されたノズル先端位置測定用の光学システムと、前記ノズル先端の基準位置からの位置ズレを計測する位置計測手段とを更に備え、
前記光学システムは、基準プレートに形成された基準エリア孔と、この基準エリア孔の基準プレートの底面方向からの像を前記撮像手段に導く光学経路と、この光学経路中に配された前記撮像手段の固定された焦点距離で前記基準エリア孔が形成された基準プレートの底面位置にフォーカスを合わせるためのレンズとを備え、
前記位置計測手段は、ノズル先端を基準エリア孔に挿入して、基準エリア孔を含む撮影画像上で、ノズル先端のZ軸方向の移動を行ってフォーカスを合わせることによりノズル先端のZ軸方向の基準位置を取得し、そのZ軸方向の基準位置における基準エリア孔の中心に対するノズル先端のX軸、Y軸方向の位置ズレを計測して前記制御手段の校正情報として用いるものであることを特徴とするものである。
(1) 光学システムの基準孔の位置にノズルの位置を合わせるように、リニアステージの基準位置を位置決めしておく。又は、直接目視で、ノズル先端を基準孔に挿入する。
3…乾燥ユニット、
5…試薬入れ、
11…基台、
12…レール、
13…レール、
14…yステージ、
15…xアーム部、
16…xステージ、
17…zアーム部、
18…zステージ、
19…マイクロウェル集積体、
20…ノズル先端位置測定用の光学システム、
21…スポッティングノズル、
22…エリアカメラ、
23…基準孔、
24…フォーカス孔、
25…ミラー、
26…ミラー、
27…レンズ、
28…レンズ、
Claims (2)
- 基台のXY平面に対して互いに直交するXYZ3軸方向に相対移動可能な移動手段と、
前記移動手段に備えられたノズルと、
前記基台上を撮影する撮像手段とを備えたスポッティング装置におけるノズル先端の位置を計測するノズル先端位置計測装置であって、
前記基台上に設置されたノズル先端位置測定用の光学システムと、前記ノズル先端の基準位置からの位置ズレを計測する位置計測手段とを備え、
前記光学システムは、基準プレートに形成された基準エリア孔と、この基準エリア孔の基準プレートの底面方向からの像を前記撮像手段に導く光学経路と、この光学経路中に配された前記撮像手段の固定された焦点距離で前記基準エリア孔が形成された基準プレートの底面位置にフォーカスを合わせるためのレンズとを備え、
前記位置計測手段は、ノズル先端を基準エリア孔に挿入して、基準エリア孔を含む撮影画像上で、ノズル先端のZ軸方向の移動を行ってフォーカスを合わせることによりノズル先端のZ軸方向の基準位置を取得し、そのZ軸方向の基準位置における基準エリア孔の中心に対するノズル先端のX軸、Y軸方向の位置ズレを計測するものであることを特徴とするノズル先端位置計測装置。 - 基板上に複数のマイクロウェルが集積化されたマイクロウェル集積体の個々のマイクロウェル内への試薬の配置又は個々のマイクロウェル内からの試薬の採取を行うスポッティング装置であって、
前記マイクロウェル集積体を載置したXY平面の基台に対して互いに直交するXYZ3軸方向に相対移動可能な移動手段と、
前記移動手段に備えられ、前記個々のマイクロウェル内に試薬を配置又は個々のマイクロウェル内から試薬を採取するスポッティングノズルと、
前記複数のマイクロウェルの配列を上方より撮影する撮像手段と、
前記撮像手段で得た画像情報から個々のマイクロウェル像の位置情報を算出する演算手段と、
前記演算手段によって算出された位置情報に基づいて前記移動手段及びスポッティングノズル手段を制御する制御手段とを備えたスポッティング装置において、、
前記基台上に設置されたノズル先端位置測定用の光学システムと、前記ノズル先端の基準位置からの位置ズレを計測する位置計測手段とを更に備え、
前記光学システムは、基準プレートに形成された基準エリア孔と、この基準エリア孔の基準プレートの底面方向からの像を前記撮像手段に導く光学経路と、この光学経路中に配された前記撮像手段の固定された焦点距離で前記基準エリア孔が形成された基準プレートの底面位置にフォーカスを合わせるためのレンズとを備え、
前記位置計測手段は、ノズル先端を基準エリア孔に挿入して、基準エリア孔を含む撮影画像上で、ノズル先端のZ軸方向の移動を行ってフォーカスを合わせることによりノズル先端のZ軸方向の基準位置を取得し、そのZ軸方向の基準位置における基準エリア孔の中心に対するノズル先端のX軸、Y軸方向の位置ズレを計測して前記制御手段の校正情報として用いるものであることを特徴とするスポッティング装置。
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