JP4031704B2 - 成膜方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は一般に半導体装置の製造に係り、特に金属カルボニル原料を使ったCVD法による金属膜の成膜方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
化学気相堆積(CVD法)は、基本的な半導体装置の製造プロセスであり、アスペクト比の大きい複雑な構造上においても良好なカバレッジで成膜できるため、半導体装置や液晶表示装置などの表示装置の製造工程において、絶縁膜や半導体膜、あるいは金属膜の堆積に広く使われている。
【0003】
特に金属カルボニル原料を使った金属膜の熱CVD技術は、Wなどの高融点金属膜を低い比抵抗で、しかもSiO2膜などの絶縁膜上にも直接に形成できるため、多層配線構造の技術において重要である。(例えば特許文献1および特許文献2参照)。
【0004】
従来より熱CVD法によるW膜の堆積は、従来はWF6あるいはWCl6等の原料を使い、これをH2やSiH4、あるいはNH3により還元することにより行われているが、これらの方法では、SiO2膜などの絶縁膜上へのW膜の堆積が困難である課題を有している。
【0005】
これに対し、例えばW(CO)6を気相原料として使い、熱分解反応
W(CO)6→W+6CO
により、SiO2膜上にW膜を形成する技術が提案されている。
【0006】
このようなW(CO)6を原料としたCVD法によるW膜の堆積は、典型的には約7Pa(0.5Torr)以下の圧力下、約500℃の温度領域において行われているが、このような条件下においてはW膜の堆積はSiO2膜上においても堆積開始と共に直ちに生じ、高品質なW膜を効率的に、すなわち高いスループットで成膜することが可能である。
【0007】
【特許文献1】
特開平10−135452号公報
【特許文献2】
特開2002−124488号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
図1は本発明の発明者が、本発明の基礎となる実験的研究において、W(CO)6を気相原料としてW膜の堆積を500℃以下の低い基板温度において行った際に見出した、堆積時間と形成されたW膜の膜厚との間の関係を示す。ただし図1の実験ではW膜の堆積は、約8Pa(0.06Torr)の圧力下、413℃の基板温度において、25℃に保持された原料容器からW(CO)6を、バブリングにより、50SCCMの流量のArガスとともに反応容器に供給することにより、行っている。
【0009】
図1を参照するに、基板上におけるW膜の堆積は堆積開始後直ちには生じず、約300秒間、すなわち約5分間のインキュベーション時間が経過した後で、始めて開始されることがわかる。インキュベーション時間経過後は、堆積時間と共にW膜の膜厚が直線的に増加する。
【0010】
図1の関係は、このような低温においてもSiO2膜上にW膜を、堆積時間を制御することにより精度良く形成できることを示しているが、堆積開始時にこのようなインキュベーション時間が存在すると、W膜成膜プロセスのスループットは当然ながら低下してしまう。特に大口径基板を一枚ずつ処理する枚葉式の成膜プロセスでは、基板ごとにインキュベーション時間に対応する待ち時間が生じ、半導体装置の製造工程全体において深刻なスループットの低下を招いてしまう。このインキュベーション時間は、堆積時の基板温度をさらに低下させるとさらに大きくなり、600秒、あるいはそれ以上に達することもある。例えばW膜をW(CO)6の熱分解反応により、338℃の基板温度、0.1Torrの圧力下、バブラ温度を30℃、W(CO)6を含む気相原料の流量を50SCCMに設定して形成した場合、堆積速度自体は毎分約6.6nmの望ましい値が実現されていても、618秒、すなわち10分を超えるインキュベーション時間が生じることが本発明の発明者により見出されている。
【0011】
そこで本発明は上記の課題を解決した、新規で有用な成膜方法を提供することを概括的課題とする。
【0012】
本発明のより具体的な課題は、金属カルボニル原料を使ったCVD法による金属膜の成膜方法において、反応性ガスを被処理基板表面近傍の空間に導入することにより、成膜時のインキュベーションタイムを減少させて基板処理の効率を向上させる成膜方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の課題を解決するために、
請求項1に記載したように、
金属カルボニル化合物を原料とする金属膜の成膜方法であって、
有機Tiガスを被処理基板表面近傍の空間に導入する第1の工程と、
前記第1の工程の後、前記金属カルボニル化合物を含む気相原料を前記被処理基板表面近傍の空間に導入し、前記被処理基板表面に金属膜を堆積する第2の工程とを有し、
前記第1の工程は、前記被処理基板上に膜の実質的な堆積が生じないように実行されることを特徴とする成膜方法により、
また、請求項2に記載したように、
前記有機TiガスはTDEAT(Ti[N(C 2 H 5 ) 2 ] 4 )、TDMAT(Ti[N(CH 3 ) 2 ] 4 )のいずれかを含むことを特徴とする請求項1記載の成膜方法により、
また、請求項3に記載したように、
金属カルボニル化合物を原料とする金属膜の成膜方法であって、
プラズマ励起された有機金属ガスを含む反応性ガスを被処理基板表面近傍の空間に導入する第1の工程と、
前記第1の工程の後、前記金属カルボニル化合物を含む気相原料を前記被処理基板表面近傍の空間に導入し、前記被処理基板表面に金属膜を堆積する第2の工程とを有し、
前記第1の工程は、前記被処理基板上に膜の実質的な堆積が生じないように実行されることを特徴とする成膜方法により、
また、請求項4に記載したように、
前記反応性ガスはH 2 もしくは不活性ガスを含むことを特徴とする請求項3記載の成膜方法により、
また、請求項5に記載したように、
前記不活性ガスはN 2 ,He,Ar,Kr,Xeのいずれかであることを特徴とする請求項4記載の成膜方法により、
また、請求項6に記載したように、
前記有機金属ガスは有機Tiガスであることを特徴とする請求項3記載の成膜方法により、
また、請求項7に記載したように、
前記有機TiガスはTDEAT(Ti[N(C 2 H 5 ) 2 ] 4 )、TDMAT(Ti[N(CH 3 ) 2 ] 4 )のいずれかを含むことを特徴とする請求項6記載の成膜方法により、
また、請求項8に記載したように、
前記有機金属ガスは前記金属カルボニル化合物を含むことを特徴とする請求項3記載の成膜方法により、
また、請求項9に記載したように、
前記プラズマ励起は前記被処理基板が処理される処理室において行われることを特徴とする請求項3乃至8のうち、いずれか1項記載の成膜方法により、
また、請求項10に記載したように、
前記プラズマ励起は前記被処理基板が処理される処理室と離間された空間で行われることを特徴とする請求項3乃至8のうち、いずれか1項記載の成膜方法により、
また、請求項11に記載したように、
前記被処理基板を処理する第1の処理室において前記第1の工程が行われ、前記第1の処理室と隔絶した第2の処理室において前記第2の工程が行われることを特徴とする請求項1乃至10のうち、いずれか1項記載の成膜方法により、
また、請求項12に記載したように、
前記第1の工程および第2の工程は同一の処理室において、連続して実行されることを特徴とする請求項1乃至10のうち、いずれか1項記載の成膜方法により、
また、請求項13に記載したように、
前記金属カルボニル化合物はW(CO) 6 ,Co(CO) 6 ,Mo(CO) 6 ,[Rh(CO) 4 ] 4 のいずれかを含むことを特徴とする請求項1乃至12のうち、いずれか1項記載の成膜方法により、解決する。
[作用]
本発明によれば、金属カルボニル原料を使ったCVD法による金属膜の成膜方法において、反応性ガスを被処理基板表面近傍の空間に導入することにより、成膜時のインキュベーションタイムを減少させて基板処理の効率を向上させることが可能となり、さらに形成される金属膜と下地膜の密着性を向上させることが可能となる。
【0014】
【発明の実施の形態】
次に、図面に基づいて以下に本発明の実施の形態を説明する。
[原理]
図2は、従来例と本発明の場合の基板処理時間を示したものである。
【0015】
図2を参照するに、まず従来例の場合、基板処理時間は成膜時間1とインキュベーションタイム2からなる。前記したように、成膜開始直後はW膜の堆積がおこらないインキュベーションタイムが存在し、それが基板処理時間を長くして生産性を低下させる要因となっていた。一方、本発明における基板処理時間は、成膜時間1と前処理時間3からなる。本発明においてはW膜の堆積が開始されるにあたって基板前処理を行うことでインキュベーションタイムを短縮して、基板処理時間を短縮し、生産性を向上させている。
【0016】
次に、前記W膜の堆積をおこなうCVD装置と、前記基板前処理を行う基板処理装置の説明を行う。
[第1実施例]
図3は、本発明の第1実施例で使われるCVD装置10の構成を示す。
【0017】
図3を参照するに、CVD装置10はターボ分子ポンプ(TMP)12およびドライポンプ(DP)13により排気される処理容器11を備え、前記処理容器11中には被処理基板Wfを保持する基板保持台11Aが設けられている。前記基板保持台11Aにはヒータ11aが埋設されており、前記被処理基板Wfを所望の温度に加熱することが可能な構造となっている。
【0018】
さらに前記処理容器11上には処理ガスを導入するシャワーヘッド11Bが設けられており、前記シャワーヘッド11Bには、固体原料であるW(CO)6を保持するバブラ14から前記W(CO)6が、Arなどのキャリアガスと共に、気相原料として、バルブ14Aおよびライン14B、さらに前記ライン14Bに設けられたバルブ14Cを介して供給される。このようにして供給されたW(CO)6は、前記シャワーヘッド11Bから処理容器11に、図中に矢印で示すように供給され、前記被処理基板表面において熱分解反応を生じ、その結果、前記被処理基板Wfの表面に形成された絶縁膜上に、分解されたW膜が堆積する。
【0019】
さらに、前記シャワーヘッド11Bにはバルブ14dが設けられたガスライン14Dが接続されている。前記ガスライン14Dは図示しないガス供給源に接続されており、不活性ガスであるAr,He,N2などが供給されて前記処理容器11を不活性ガスで満たすことが可能であり、また必要に応じて前記不活性ガスを用いて前記処理容器11内の圧力を調整することが可能となっている。
【0020】
また図3のCVD装置10には前記ライン14Bを、バルブ13Aを介してドライポンプに接続するバイパスライン13Bが設けられている。前記バルブ13Aは通常の成膜ステップでは閉じられているが、例えば成膜前に原料を含むキャリアガスを処理容器11の外に流して流量を安定させるような場合に、あるいは前記処理容器11をパージするような場合に開放され、同時に前記バルブ14Cが閉じられる。その結果、このような流量安定作業中には、前記バブラ14で形成された気相原料が直接にドライポンプ13に排出される。これにより、前記バブラ14の状態を、堆積工程中においても、また流量安定作業中においても、またパージ工程中においても一定に維持することが可能になる。
【0021】
本実施例では前記バブラ14にはArなどよりなるキャリアガスが、質量流量コントローラ15およびバルブ15Aを介して供給され、バブリングを生じる。その際、質量流量コントローラ15をシステムコントローラ16により制御することにより、前記処理容器11中に供給される気相原料中におけるW(CO)6の濃度を制御することができる。
【0022】
次に、前記基板前処理をおこなう基板処理装置の1例である基板処理装置20を図4に示す。
【0023】
図4を参照するに、基板処理装置20は、ドライポンプ(DP)23により排気される処理容器21を備え、前記処理容器21中には被処理基板Wfを保持する基板保持台21Aが設けられている。前記基板保持台21Aにはヒータ21aが埋設されており、前記被処理基板Wfを所望の温度に加熱することが可能な構造となっている。
【0024】
さらに前記処理容器21上には処理ガスを導入するシャワーヘッド21Bが設けられており、前記シャワーヘッド21Bには、バルブ26を付したライン25が接続されて、基板前処理に必要なガスが供給される。
【0025】
また、実際に基板を処理する際は、前記基板処理装置20において基板前処理を行い、その後前記CVD装置10においてW膜の堆積をおこなうが、その際に被処理基板Wfは減圧下で搬送さ、例えば図示しないクラスターツール装置などを用いて真空中を搬送される。
【0026】
次に、前記基板処理装置20およびCVD装置10を用いておこなわれる基板処理の具体的な方法に関して図5のプロセスフロー図を用いて説明する。
【0027】
図5を参照するに、図5に示す基板処理はステップ101(図中S101と表記、以下同じ)〜ステップ106からなる。
【0028】
まず、ステップ101で表面にシリコン酸化膜が形成された前記被処理基板Wfが前記基板処理装置20の基板保持台21Aに載置され、前記ヒータにより前記被処理基板Wfの温度が380℃に保持され、基板処理がスタートする。
【0029】
次にステップ102において前記基板処理装置20のバルブ26を開放して基板前処理ガスである有機Tiガス、例えばTDEAT(Ti[N(C2H5)2]4)を30sccmを希釈Arガスとともに導入し、ステップ103において圧力1Torrで60秒保持して基板前処理を行う。この場合、Tiが下地であるシリコン酸化膜と反応しやすいため、前記TDEATが前記シリコン酸化膜表面に吸着・分解し、次の工程で行われるW膜形成の際の核が形成されてW膜の堆積を容易にする効果がある。また、Tiはシリコン酸化膜と反応するために密着性向上にもつながり、抵抗値も低いために形成された膜の比抵抗を低く抑えることができる。 このようにして基板前処理が完了すると、前記被処理基板Wfは前記CVD装置10に搬送され、前記基板保持台11Aに載置されて前記ヒータ11aによって前記被処理基板Wfは415℃に保持される。
【0030】
次にステップ104において、前記質量流量コントローラ15を前記システムコントローラ16により制御し、40℃の温度で保持された前記バブラ14にArキャリアガスを300SCCMの流量で供給する。
【0031】
その結果、前記被処理基板Wfの表面に作成されたシリコン酸化膜近傍の空間には、通常の熱CVD法の場合と同様なW(CO)6分子の過飽和状態が生じ、ステップ105において前記基板Wf上にW膜がシリコン酸化膜を覆うように成膜速度3.2nm/minで成長する。
【0032】
そこで所望のW膜の堆積終了後にステップ106において基板処理が完了する。
【0033】
このようにして形成されたW膜は前記したようにTiを含む核が形成されて、当該核を基点にしてW膜の堆積が起こるため、前記したようなインキュベーションタイムがなくなり、W(CO)6の供給と同時にW膜の堆積が開始され、基板処理時間が短縮されて生産性が向上する。また、当該核の形成により、前記シリコン酸化膜と形成されるW膜の密着性が向上する。密着性の試験は以下図6および図7に示すテープテスト法で行われる。
【0034】
図6には、W膜が形成された被処理基板Wfの試験部Wf1を示す。前記試験部Wf1の拡大図が図7である。図7を参照するに、図7にはXで示す水平方向の切り欠き線が10本描画してある。前記切り欠き線は、例えばケガキ針やダイヤモンドカッターなどを用いて前記W膜にキズをつけたものである。同様にして、前記切り欠き線Xに直行するように、垂直方向に切り欠き線Yを10本描画すると、XYで示されるテスト片が100個形成される。この前記テスト片XY100個を含む領域に粘着テープを貼付し、剥離するテストを行って、W膜からなる前記テスト片XYが前記粘着テープ側に貼着して前記被処理基板または前記シリコン酸化膜より剥離する個数によりW膜の密着性を評価する。このような密着性評価の方法をテープテスト法と呼ぶことがある。
【0035】
前記第1実施例の方法で形成したW膜の密着性の評価を前記テープテスト法にて行ったところ、前記被処理基板Wfおよび前記シリコン酸化膜より剥離した前記テスト片XYは無く、良好な密着性を確認することができた。
【0036】
なお、本実施例では有機TiガスとしてTDEAT(Ti[N(C2H5)2]4)を用いたが、このガスに限定されるものではなく、例えばTDMAT(Ti[N(CH3)2]4)などを用いても、同様の効果を得ることができる。
【0037】
また、基板前処理ガスとしては有機Tiガスのほかにホウ素化合物のガスを用いることが可能である。前記ホウ素化合物のガスは、W膜堆積の際に、堆積の起点となる核の形成がされやすく、また膜中に残留しても比抵抗が小さいため、基板前処理ガスとして有用である。本実施において、有機Tiガスの換わりに、例えばBF3、B2H6などを用いた場合も有機Tiガスを用いた場合と同様の結果を得ることができる。
[第2実施例]
また、図5に示した基板処理方法は、以下図8に示す基板処理装置10Aにおいて、基板前処理およびW膜の堆積を連続的に行う事が可能となる。
【0038】
図8は、図5に示した基板前処理およびW膜の堆積を連続的に行う事が可能な基板処理装置10Aを示したものである。ただし図中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【0039】
図8を参照するに、前記基板処理装置10Aは、前記CVD装置10のシャワーヘッド11Bに、バルブ17Aを付したライン17を接続したものである。前記ライン17は図示しないガス供給源に接続され、基板前処理に必要なガスを前記基板処理装置10Aに、前記シャワーヘッド11Bを介して供給する。
【0040】
次に、前記基板処理装置10Aを用いた、図5に示す基板処理の方法を具体的に以下に示す。
【0041】
まず、ステップ101で表面にシリコン酸化膜が形成された前記被処理基板Wfが前記基板処理装置10Aの基板保持台11Aに載置され、前記ヒータにより前記被処理基板Wfの温度が380℃に保持され、基板処理がスタートする。
【0042】
次にステップ102において前記基板処理装置10Aのバルブ17Aを開放して基板前処理に用いる有機Tiガス、例えばTDEAT(Ti[N(C2H5)2]4)を30sccm、希釈Arガスとともに導入し、ステップ103において圧力1Torrで60秒保持して基板前処理を行う。この場合、Tiが下地であるシリコン酸化膜と反応しやすいため、前記TDEATが前記シリコン酸化膜表面に吸着・分解し、次の工程で行われるW膜形成の際の核が形成されてW膜の堆積を容易にする効果がある。また、Tiはシリコン酸化膜と反応するために密着性向上にもつながり、抵抗値も低いために形成された膜の比抵抗を低く抑えることができる。
【0043】
このようにして基板前処理が完了すると、希釈Arガスを含む前記基板前処理ガスの供給が停止され、前記処理容器11内は真空排気され、また前記ヒータ11aによって前記被処理基板Wfは415℃に保持される。
【0044】
次にステップ104において、前記質量流量コントローラ15を前記システムコントローラ16により制御し、40℃の温度で保持された前記バブラ14にArキャリアガスを300SCCMの流量で供給する。
【0045】
その結果、前記被処理基板Wfの表面に作成されたシリコン酸化膜近傍の空間には、通常の熱CVD法の場合と同様なW(CO)6分子の過飽和状態が生じ、ステップ105において前記基板Wf上にW膜がシリコン酸化膜を覆うように成膜速度3.2nm/minで成長する。
【0046】
そこで所望のW膜の堆積終了後にステップ106において基板処理が完了する。
【0047】
このようにして形成されたW膜は第1実施例の場合と同様に、インキュベーションタイムがなくなり、W(CO)6の供給と同時にW膜の堆積が開始され、また、前記シリコン酸化膜と形成されるW膜の良好な密着性が得られ、前記テープテストにおいても前記被処理基板Wfおよび前記シリコン酸化膜より剥離した前記テスト片XYは無く、良好な密着性を確認することができた。
【0048】
また、本実施例においても、基板前処理ガスとしては有機Tiガスとしては、例えばTDMAT(Ti[N(CH3)2]4)などを用いても、同様の効果を得ることができる。
【0049】
また、基板前処理ガスとしては有機Tiガスのほかにホウ素化合物のガスを用いることが可能である。前記ホウ素化合物のガスは、W膜堆積の際に、堆積の起点となる核の形成がされやすく、また膜中に残留しても比抵抗が小さいため、基板前処理ガスとして有用である。本実施において、有機Tiガスの換わりに、例えばBF3、B2H6などを用いた場合も有機Tiガスを用いた場合と同様の結果を得ることができる。
[第3参考例]
次に第3実施例として、基板前処理を行う基板処理装置の例として基板処理装置30を図9に示す。ただし図中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【0050】
図9を参照するに、基板処理装置30は、前記基板処理装置20の前記シャワーヘッド21Bに高周波印加装置27が接続され、高周波の印加が可能な構造となっている。
【0051】
前記処理容器21上には処理ガスを導入するシャワーヘッド21Bが設けられており、前記シャワーヘッド21Bには、バルブ26を付したライン25が接続されて、基板前処理に必要なガスが供給される構造は前記基板処理装置20と同一である。
【0052】
本基板処理装置30では、基板前処理に必要なガスを導入後に前記シャワーヘッド21Bに高周波を印加してプラズマを励起し、基板前処理を行うことが可能な構造となっている。
【0053】
また、実際に基板を処理する際は、前記基板処理装置30において基板前処理を行い、その後前記CVD装置10においてW膜の堆積をおこなうが、その際に被処理基板Wfは減圧下で搬送され、例えば図示しないクラスターツール装置などを用いて真空中を搬送される。
【0054】
前記基板処理装置30および前記CVD装置10を用いて実際に行われる具体的な基板処理方法を図10に示す。
【0055】
図10を参照するに、図10に示す基板処理はステップ201(図中S201と表記、以下同じ)〜ステップ206からなる。
【0056】
まず、ステップ201で表面にシリコン酸化膜が形成された前記被処理基板Wfが前記基板処理装置30の基板保持台21Aに載置され、前記ヒータにより前記被処理基板Wfの温度が395℃に保持され、基板処理がスタートする。
【0057】
次にステップ202において前記基板処理装置30のバルブ26を開放して基板前処理に用いる不活性ガス、例えばArを500sccm導入し、圧力0.5Torrで、ステップ203で前記高周波印加装置より高周波を印加してプラズマを励起する。このプラズマが励起された状態を120秒保持して基板前処理を行う。この場合、プラズマにより生成されたAr+(Arイオン)が、前記被処理基板Wfの表面に形成されたシリコン酸化膜に衝突し、一部Si−O結合が切断される部分が生じる。その部分でSiのダングリングボンドが形成され、当該ダングリングボンドがこの後でW膜を堆積する際の開始点となり、W膜を堆積する際のインキュベーションタイムを短縮することができる。また、Siとの結合を強化するためにW膜とシリコン酸化膜の密着性も向上させることができる。
【0058】
このようにして基板前処理が完了すると、前記被処理基板Wfは前記CVD装置10に搬送され、前記基板保持台11Aに載置されて前記ヒータ11aによって前記被処理基板Wfは420℃に保持される。
【0059】
次にステップ204において、前記質量流量コントローラ15を前記システムコントローラ16により制御し、35℃の温度で保持された前記バブラ14にArキャリアガスを300SCCMの流量で供給する。
【0060】
その結果、前記被処理基板Wfの表面に作成されたシリコン酸化膜近傍の空間には、通常の熱CVD法の場合と同様なW(CO)6分子の過飽和状態が生じ、ステップ205において前記基板Wf上にW膜がシリコン酸化膜を覆うように成膜速度2.4nm/minで成長する。
【0061】
そこで所望のW膜の堆積終了後にステップ206で基板処理が完了する。
【0062】
このようにして形成されたW膜は前記したようにSiのダングリングボンドを含むシリコン酸化膜上に形成されるため、当該ダングリングボンドを基点にしてW膜の堆積が起こり、前記したようなインキュベーションタイムがなくなり、W(CO)6の供給と同時にW膜の堆積が開始され、基板処理時間が短縮されて生産性が向上する。また、前記シリコン酸化膜と形成されるW膜の密着性が向上する効果があり、前記テープテストにおいても前記被処理基板Wfおよび前記シリコン酸化膜より剥離した前記テスト片XYは無く、良好な密着性を確認することができた。
[第4参考例]
また、基板前処理の際のプラズマを励起する不活性ガスとして前記したAr以外に、例えばN2を用いることができる。N2を用いた場合も同様に、図10に示すフローにしたがって基板処理を行うことが可能である。
【0063】
まず、ステップ201で表面にシリコン酸化膜が形成された前記被処理基板Wfが前記基板処理装置30の基板保持台21Aに載置され、前記ヒータにより前記被処理基板Wfの温度が400℃に保持され、基板処理がスタートする。
【0064】
次にステップ202において前記基板処理装置30のバルブ26を開放して基板前処理に用いる不活性ガス、例えばN2を50sccm導入し、圧力1.5Torrで、ステップ203で前記高周波印加装置より高周波を印加してプラズマを励起する。このプラズマが励起された状態を60秒保持して基板前処理を行う。この場合、プラズマにより生成された窒素イオンが、前記被処理基板Wfの表面に形成されたシリコン酸化膜に衝突し、一部Si−O結合が切断される部分が生じる。その部分でSiのダングリングボンドが形成され、当該ダングリングボンドがこの後でW膜を堆積する際の開始点となり、W膜を堆積する際のインキュベーションタイムを短縮することができる。また、Siとの結合を強化するためにW膜とシリコン酸化膜の密着性も向上させることができる。
【0065】
このようにして基板前処理が完了すると、前記被処理基板Wfは前記CVD装置10に搬送され、前記基板保持台11Aに載置されて前記ヒータ11aによって前記被処理基板Wfは420℃に保持される。
【0066】
次にステップ204において、前記質量流量コントローラ15を前記システムコントローラ16により制御し、45℃の温度で保持された前記バブラ14にArキャリアガスを300SCCMの流量で供給する。
【0067】
その結果、前記被処理基板Wfの表面に作成されたシリコン酸化膜近傍の空間には、通常の熱CVD法の場合と同様なW(CO)6分子の過飽和状態が生じ、ステップ205において前記基板Wf上にW膜がシリコン酸化膜を覆うように成膜速度2.8nm/minで成長する。
【0068】
そこで所望のW膜の堆積終了後にステップ206で基板処理が完了する。
【0069】
本参考例においても同様に、W膜堆積の際のインキュベーションタイムがなくなり、W(CO)6の供給と同時にW膜の堆積が開始され、基板処理時間が短縮されて生産性が向上する。また、前記シリコン酸化膜と形成されるW膜の密着性が向上する効果があり、前記テープテストにおいても前記被処理基板Wfおよび前記シリコン酸化膜より剥離した前記テスト片XYは無く、良好な密着性を確認することができた。
[第5参考例]
また、基板前処理ガスとしては、例えばこれまで示したArとN2を混合して用いることも可能であり、同様に図10に示す基板処理を行うことができる。
【0070】
まず、ステップ201で表面にシリコン酸化膜が形成された前記被処理基板Wfが前記基板処理装置30の基板保持台21Aに載置され、前記ヒータにより前記被処理基板Wfの温度が390℃に保持され、基板処理がスタートする。
【0071】
次にステップ202において前記基板処理装置30のバルブ26を開放して基板前処理に用いる不活性ガス、例えばArを100sccm、N2を50sccm導入し、圧力1Torrで、ステップ203で前記高周波印加装置より高周波を印加してプラズマを励起する。このプラズマが励起された状態を60秒保持して基板前処理を行う。この場合、プラズマにより生成された窒素イオンが、前記被処理基板Wfの表面に形成されたシリコン酸化膜に衝突し、一部Si−O結合が切断される部分が生じる。その部分でSiのダングリングボンドが形成され、当該ダングリングボンドがこの後でW膜を堆積する際の開始点となり、W膜を堆積する際のインキュベーションタイムを短縮することができる。また、Siとの結合を強化するためにW膜とシリコン酸化膜の密着性も向上させることができる。
【0072】
次にステップ204において、前記質量流量コントローラ15を前記システムコントローラ16により制御し、40℃の温度で保持された前記バブラ14にArキャリアガスを300SCCMの流量で供給する。
【0073】
その結果、前記被処理基板Wfの表面に作成されたシリコン酸化膜近傍の空間には、通常の熱CVD法の場合と同様なW(CO)6分子の過飽和状態が生じ、ステップ205において前記基板Wf上にW膜がシリコン酸化膜を覆うように成膜速度2.6nm/minで成長する。
【0074】
そこで所望のW膜の堆積終了後にステップ206で基板処理が完了する。
【0075】
本参考例においても同様に、W膜堆積の際のインキュベーションタイムがなくなり、W(CO)6の供給と同時にW膜の堆積が開始され、基板処理時間が短縮されて生産性が向上する。また、前記シリコン酸化膜と形成されるW膜の密着性が向上する効果があり、前記テープテストにおいても前記被処理基板Wfおよび前記シリコン酸化膜より剥離した前記テスト片XYは無く、良好な密着性を確認することができた。
【0076】
このように、基板前処理に使用可能な不活性ガスとしては前記したAr,N2の他、He、Xe,Krが使用可能であり、前記したようなインキュベーションタイムの短縮と密着性向上の効果がある。また、不活性ガス以外ではH2を用いた場合も、前記した不活性ガスを用いた場合と同様の効果を得ることが可能である。
[第6実施例]
また、前記したようなプラズマ処理を行う場合、不活性ガスおよびH2以外に、例えば有機金属ガスを用いたプラズマ処理を基板前処理に行う方法がある。有機金属ガスを用いたプラズマ処理を行うと、プラズマを印加しない場合と比べて当該有機金属ガスが効率的に吸着・分解してW膜堆積の基点となる核形成が生じやすくなる。
【0077】
以下に有機金属ガスのプラズマを用いた、図10に基づく基板処理方法を示す。まず、ステップ201で表面にシリコン酸化膜が形成された前記被処理基板Wfが前記基板処理装置30の基板保持台21Aに載置され、前記ヒータにより前記被処理基板Wfの温度が380℃に保持され、基板処理がスタートする。
【0078】
次にステップ202において前記基板処理装置30のバルブ26を開放して基板前処理に用いる有機金属ガス、例えばTDMAT(Ti[N(CH3)2]4)ガスを30sccm、希釈ガスであるArと共に導入し、圧力1Torrで、ステップ203で前記高周波印加装置より高周波を印加してプラズマを励起する。このプラズマが励起された状態を60秒保持して基板前処理を行う。この場合、Tiが下地であるシリコン酸化膜と反応しやすいため、前記TDMATが前記シリコン酸化膜表面に吸着・分解し、次の工程で行われるW膜形成の際の核が形成されてW膜の堆積を容易にする効果がある。また、Tiはシリコン酸化膜と反応するために密着性向上にもつながり、抵抗値も低いために形成された膜の比抵抗を低く抑えることができる。
【0079】
このようにして基板前処理が完了すると、前記被処理基板Wfは前記CVD装置10に搬送され、前記基板保持台11Aに載置されて前記ヒータ11aによって前記被処理基板Wfは420℃に保持される。
【0080】
次にステップ204において、前記質量流量コントローラ15を前記システムコントローラ16により制御し、45℃の温度で保持された前記バブラ14にArキャリアガスを300SCCMの流量で供給する。
【0081】
その結果、前記被処理基板Wfの表面に作成されたシリコン酸化膜近傍の空間には、通常の熱CVD法の場合と同様なW(CO)6分子の過飽和状態が生じ、ステップ205において前記基板Wf上にW膜がシリコン酸化膜を覆うように成膜速度3.3nm/minで成長する。
【0082】
そこで所望のW膜の堆積終了後にステップ206で基板処理が完了する。
【0083】
このようにして形成されたW膜は前記したようにTiを含む核が形成されて、当該核を基点にしてW膜の堆積が起こるため、前記したようなインキュベーションタイムがなくなり、W(CO)6の供給と同時にW膜の堆積が開始され、基板処理時間が短縮されて生産性が向上する。また、当該核の形成により、前記シリコン酸化膜と形成されるW膜の密着性が向上する効果があり、前記テープテストにおいても前記被処理基板Wfおよび前記シリコン酸化膜より剥離した前記テスト片XYは無く、良好な密着性を確認することができた。
【0084】
なお、本実施例においては有機金属ガスの例としてTDMAT(Ti[N(CH3)2]4)を用いたが、その他の有機金属ガスが利用可能であり、例えば有機TiガスとしてはTDEAT(Ti[N(C2H5)2]4)を用いることが可能であり、本実施例と同様の効果を得ることができる。また、金属カルボニル化合物のガス、例えば、W(CO)6,Co(CO)6,Mo(CO)6,[Rh(CO)4]4を用いた場合も本実施例の場合と同様にインキュベーションタイムの短縮、密着性の向上の効果を得ることができる。例えば本実施例のように、W(CO)6を用いたW膜の堆積を行う場合はW(CO)6自身を用いてW膜の堆積開始前にプラズマ処理をしても同様の効果が得られる。
[第7実施例]
また、第3参考例から第6実施例で示した基板処理方法は、以下図11に示す基板処理装置10Bにおいて、基板前処理およびW膜の堆積を連続的に行う事が可能となる。
【0085】
図11は、図10に示した基板前処理およびW膜の堆積を連続的に行う事が可能な基板処理装置10Bを示したものである。ただし図中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【0086】
図11を参照するに、前記基板処理装置10Bは、前記基板処理装置10Aのシャワーヘッド11Bに、高周波印加装置18を接続したものである。前記ライン17は図示しないガス供給源に接続され、基板前処理に必要なガスを前記基板処理装置10Bに、前記シャワーヘッド11Bを介して供給する構造は前記基板処理装置10Aと同一である。
【0087】
次に、前記基板処理装置10Bを用いて、図10に示した基板処理方法を行う具体的な例を以下に示す。
【0088】
まず、ステップ201で表面にシリコン酸化膜が形成された前記被処理基板Wfが前記基板処理装置10Bの基板保持台11Aに載置され、前記ヒータにより前記被処理基板Wfの温度が395℃に保持され、基板処理がスタートする。
【0089】
次にステップ202において前記基板処理装置10Bのバルブ17Aを開放して基板前処理に用いる不活性ガス、例えばArを500sccm導入し、圧力0.5Torrで、ステップ203で前記高周波印加装置より高周波を印加してプラズマを励起する。このプラズマが励起された状態を120秒保持して基板前処理を行う。この場合、プラズマにより生成されたAr+(Arイオン)が、前記被処理基板Wfの表面に形成されたシリコン酸化膜に衝突し、一部Si−O結合が切断される部分が生じる。その部分でSiのダングリングボンドが形成され、当該ダングリングボンドがこの後でW膜を堆積する際の開始点となり、W膜を堆積する際のインキュベーションタイムを短縮することができる。また、Siとの結合を強化するためにW膜とシリコン酸化膜の密着性も向上させることができる。
【0090】
このようにして基板前処理が完了すると、基板前処理ガスであるArの供給が停止され、前記処理容器11内は真空排気され、また前記ヒータ11aによって前記被処理基板Wfは415℃に保持される。
【0091】
次にステップ204において、前記質量流量コントローラ15を前記システムコントローラ16により制御し、25℃の温度で保持された前記バブラ14にArキャリアガスを300SCCMの流量で供給する。
【0092】
その結果、前記被処理基板Wfの表面に作成されたシリコン酸化膜近傍の空間には、通常の熱CVD法の場合と同様なW(CO)6分子の過飽和状態が生じ、ステップ205において前記基板Wf上にW膜がシリコン酸化膜を覆うように成膜速度2.4nm/minで成長する。
【0093】
そこで所望のW膜の堆積終了後にステップ206で基板処理が完了する。
【0094】
このように、前記基板処理装置10Bにおいて基板前処理からW膜の堆積までを連続的に行った場合も、インキュベーションタイムの短縮、密着性の向上の効果が同様に得られる。また、実施例3〜6で前記したように、基板前処理ガスとしてAr以外の不活性ガスである、He、N2、Xe、Kr、またはH2などを用いることが可能である。さらに、有機金属ガスとしては例えば有機TiガスであるTDEAT(Ti[N(C2H5)2]4)、TDMAT(Ti[N(CH3)2]4)を用いることが可能であり、また金属カルボニル化合物のガス、例えば、W(CO)6,Co(CO)6,Mo(CO)6,[Rh(CO)4]4を用いた場合も本実施例の場合と同様にインキュベーションタイムの短縮、密着性の向上の効果を得ることができる。例えば本実施例のように、W(CO)6を用いたW膜の堆積を行う場合はW(CO)6自身を用いてW膜の堆積開始前にプラズマ処理をしても同様の効果が得られる。
[第8参考例]
次に第8参考例として、基板前処理を行う基板処理装置の例として基板処理装置40を図12に示す。ただし図中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【0095】
図12を参照するに、前記基板処理装置40は、前記基板処理装置20の前記シャワーヘッド21Bに、バルブ29を付したライン28を儲け、さらに前記ライン28にリモートプラズマ発生源30を接続したものである。前記リモートプラズマ発生源30は、ライン28が接続する図示しない基板前処理ガス供給源から供給されるガスを導入して、高周波を印加されることにより、前記リモートプラズマ発生源30内でプラズマを励起して、基板前処理ガスより生成したラジカルをライン28から前記シャワーヘッド21Bを介して前記処理容器21内に供給する構造となっている。
【0096】
次に、前記基板処理装置40および前記CVD装置10を用いた具体的な基板処理方法を、以下図13に示す。
【0097】
まず、ステップ301で表面にシリコン酸化膜が形成された前記被処理基板Wfが前記基板処理装置40の基板保持台21Aに載置され、前記ヒータにより前記被処理基板Wfの温度が385℃に保持され、基板処理がスタートする。
【0098】
次にステップ302においてライン28のバルブ29を開放し、基板前処理ガスである例えばXeを500sccm、前記リモートプラズマ発生源30を介して供給する。その際に前記リモートプラズマ発生源30でプラズマ励起し、プラズマ励起されたXeが前記処理容器21に供給され、前記処理容器21内は圧力0.5Torrとなる。
【0099】
次にステップ303において、このプラズマ励起されたXeが供給された状態を60秒保持して基板前処理を行う。この場合、プラズマ励起されたXeにより、前記被処理基板Wfの表面に形成されたシリコン酸化膜の有機汚染などを除去し、W膜を堆積する際のインキュベーションタイムを短縮することができる。また、Siとの結合を強化するためにW膜とシリコン酸化膜の密着性も向上させることができる。
【0100】
このようにして基板前処理が完了すると、前記被処理基板Wfは前記CVD装置10に搬送され、前記基板保持台11Aに載置されて前記ヒータ11aによって前記被処理基板Wfは412℃に保持される。
【0101】
次にステップ304において、前記質量流量コントローラ15を前記システムコントローラ16により制御し、40℃の温度で保持された前記バブラ14にArキャリアガスを300SCCMの流量で供給する。
【0102】
その結果、前記被処理基板Wfの表面に作成されたシリコン酸化膜近傍の空間には、通常の熱CVD法の場合と同様なW(CO)6分子の過飽和状態が生じ、ステップ305において、前記基板Wf上にW膜がシリコン酸化膜を覆うように成膜速度2.7nm/minで成長する。
【0103】
そこで所望のW膜の堆積終了後にステップ306で基板処理が完了する。
【0104】
本参考例においても同様に、W膜堆積の際のインキュベーションタイムがなくなり、W(CO)6の供給と同時にW膜の堆積が開始され、基板処理時間が短縮されて生産性が向上する。また、前記シリコン酸化膜と形成されるW膜の密着性が向上する効果があり、前記テープテストにおいても前記被処理基板Wfおよび前記シリコン酸化膜より剥離した前記テスト片XYは無く、良好な密着性を確認することができた。
[第9参考例]
また、同様にして、基板前処理ガスにH2を用いた場合の実施例を以下に示す。
【0105】
まず、ステップ301で表面にシリコン酸化膜が形成された前記被処理基板Wfが前記基板処理装置40の基板保持台21Aに載置され、前記ヒータにより前記被処理基板Wfの温度が390℃に保持され、基板処理がスタートする。
【0106】
次にステップ302においてライン28のバルブ29を開放し、基板前処理ガスである例えばH2を500sccm、前記リモートプラズマ発生源30を介して供給する。その際に前記リモートプラズマ発生源30でプラズマ励起し、前記基板前処理ガスであるH2がプラズマ励起されて前記処理容器21に供給され、処理容器内は圧力0.5Torrとなる。
【0107】
次に、ステップ303において、このプラズマ励起されたH2が供給された状態を60秒保持して基板前処理を行う。この場合、プラズマ励起されたH2により、前記被処理基板Wfの表面に形成されたシリコン酸化膜の有機汚染などを除去し、W膜を堆積する際のインキュベーションタイムを短縮することができる。また、Siとの結合を強化するためにW膜とシリコン酸化膜の密着性も向上させることができる。
【0108】
このようにして基板前処理が完了すると、前記被処理基板Wfは前記CVD装置10に搬送され、前記基板保持台11Aに載置されて前記ヒータ11aによって前記被処理基板Wfは420℃に保持される。
【0109】
次にステップ304において、前記質量流量コントローラ15を前記システムコントローラ16により制御し、40℃の温度で保持された前記バブラ14にArキャリアガスを300SCCMの流量で供給する。
【0110】
その結果、前記被処理基板Wfの表面に作成されたシリコン酸化膜近傍の空間には、通常の熱CVD法の場合と同様なW(CO)6分子の過飽和状態が生じ、ステップ305において前記基板Wf上にW膜がシリコン酸化膜を覆うように成膜速度2.9nm/minで成長する。
【0111】
そこで所望のW膜の堆積終了後にステップ306で基板処理が完了する。
【0112】
本参考例においても同様に、W膜堆積の際のインキュベーションタイムがなくなり、W(CO)6の供給と同時にW膜の堆積が開始され、基板処理時間が短縮されて生産性が向上する。また、前記シリコン酸化膜と形成されるW膜の密着性が向上する効果があり、前記テープテストにおいても前記被処理基板Wfおよび前記シリコン酸化膜より剥離した前記テスト片XYは無く、良好な密着性を確認することができた。
【0113】
また、本参考例においては、XeおよびH2を基板前処理ガスに用いた場合の実施例に関して示したが、その他の希ガス、たとえばHe、Ar、N2、Krを用いた場合も同様の結果を得ることが可能である。
[第10実施例]
また、前記したようなリモートプラズマ発生源を用いた処理を行う場合、不活性ガスおよびH2以外に、例えば有機金属ガスを用いたプラズマ処理を基板前処理に行う方法がある。有機金属ガスを用いたプラズマ処理を行うと、プラズマを印加しない場合と比べて当該有機金属ガスが効率的に吸着・分解してW膜堆積の基点となる核形成が生じやすくなる。
【0114】
以下に有機金属ガスのプラズマを用いた、図13に基づく基板処理方法を示す。
【0115】
まず、ステップ301で表面にシリコン酸化膜が形成された前記被処理基板Wfが前記基板処理装置40の基板保持台21Aに載置され、前記ヒータにより前記被処理基板Wfの温度が390℃に保持され、基板処理がスタートする。
【0116】
次にステップ302においてライン28のバルブ29を開放し、基板前処理ガスである有機金属ガス、例えばMo(CO)6を500sccmとキャリアガスであるArを前記リモートプラズマ発生源30を介して供給する。その際に前記リモートプラズマ発生源30でプラズマ励起し、前記基板前処理ガスであるMo(CO)6がプラズマ励起された基板前処理ガスが前記処理容器21に供給され、処理容器内は圧力0.8Torrとなる。
【0117】
次に、ステップ303において、このプラズマが励起されたMo(CO)6が供給された状態を60秒保持して基板前処理を行う。この場合、プラズマ励起されたMo(CO)6が前記シリコン酸化膜表面に吸着・分解し、次の工程で行われるW膜形成の際の核が形成されてW膜の堆積を容易にし、さらにW膜と下地のシリコン酸化膜との密着性を向上させる効果がある。
【0118】
このようにして基板前処理が完了すると、前記被処理基板Wfは前記CVD装置10に搬送され、前記基板保持台11Aに載置されて前記ヒータ11aによって前記被処理基板Wfは420℃に保持される。
【0119】
次にステップ304において、前記質量流量コントローラ15を前記システムコントローラ16により制御し、45℃の温度で保持された前記バブラ14にArキャリアガスを300SCCMの流量で供給する。
【0120】
その結果、前記被処理基板Wfの表面に作成されたシリコン酸化膜近傍の空間には、通常の熱CVD法の場合と同様なW(CO)6分子の過飽和状態が生じ、ステップ305において前記基板Wf上にW膜がシリコン酸化膜を覆うように成膜速度3.4nm/minで成長する。
【0121】
そこで所望のW膜の堆積終了後にステップ306で基板処理が完了する。
【0122】
このようにして形成されたW膜は、Mo(CO)6が前記シリコン酸化膜表面に吸着・分解して形成された核を基点にして堆積が起こるため、前記したようなインキュベーションタイムがなくなり、W(CO)6の供給と同時にW膜の堆積が開始され、基板処理時間が短縮されて生産性が向上する。また、当該核の形成により、前記シリコン酸化膜と形成されるW膜の密着性が向上する効果があり、前記テープテストにおいても前記被処理基板Wfおよび前記シリコン酸化膜より剥離した前記テスト片XYは無く、良好な密着性を確認することができた。
【0123】
なお、本実施例においては有機金属ガスの例としてMo(CO)6を用いたが、他にもカルボニル化合物ガスの例としては、例えば、W(CO)6,Co(CO)6,[Rh(CO)4]4を用いた場合も本実施例の場合と同様にインキュベーションタイムの短縮、密着性の向上の効果を得ることができる。例えば本実施例のように、W(CO)6を用いたW膜の堆積を行う場合はW(CO)6自身を用いてW膜の堆積開始前にプラズマ処理をしても同様の効果が得られる。また、基板前処理ガスとしては有機Tiガス、例えばTDEAT(Ti[N(C2H5)2]4)、TDMAT(Ti[N(CH3)2]4)なども用いることが可能である。
[第11実施例]
また、第8参考例から第10実施例で示した基板処理方法は、以下図14に示すCVD装置10Cにおいて、基板前処理およびW膜の堆積を連続的に行う事が可能となる。
【0124】
図14は、図13に示した基板前処理およびW膜の堆積を連続的に行う事が可能な基板処理装置10Cを示したものである。ただし図中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【0125】
図14を参照するに、前記基板処理装置10Cは、前記基板処理装置10Aのガスライン17に、リモートプラズマ発生源19を設置したものである。前記リモートプラズマ発生源は、図示しないガス供給源から、前記ライン17へ供給される基板前処理ガスを高周波により、プラズマ励起して、前記処理容器11に導入する。
【0126】
前記基板処理装置10Cおよび前記CVD装置10を用いて、図13に示した基板処理方法を行う具体的な例を以下に示す。
【0127】
まず、ステップ301で表面にシリコン酸化膜が形成された前記被処理基板Wfが前記基板処理装置10Cの基板保持台11Aに載置され、前記ヒータにより前記被処理基板Wfの温度が385℃に保持され、基板処理がスタートする。
【0128】
次にステップ302においてライン17のバルブ17Aを開放し、基板前処理ガスである例えばXeを500sccm、前記リモートプラズマ発生源19を介して供給する。その際に前記リモートプラズマ発生源19でプラズマ励起し、プラズマ励起されたXeが前記処理容器11に供給され、前記処理容器11内は圧力0.5Torrとなる。
【0129】
次に、ステップ303において、このプラズマが励起されたXeが供給された状態を60秒保持して基板前処理を行う。この場合、プラズマ励起されたXeにより、前記被処理基板Wfの表面に形成されたシリコン酸化膜の有機汚染などを除去し、W膜を堆積する際のインキュベーションタイムを短縮することができる。また、Siとの結合を強化するためにW膜とシリコン酸化膜の密着性も向上させることができる。
【0130】
このようにして基板前処理が完了すると、基板前処理ガスであるXeの供給が停止され、前記処理容器11内は真空排気され、また前記ヒータ11aによって前記被処理基板Wfは412℃に保持される。
【0131】
次にステップ304において、前記質量流量コントローラ15を前記システムコントローラ16により制御し、40℃の温度で保持された前記バブラ14にArキャリアガスを300SCCMの流量で供給する。
【0132】
その結果、前記被処理基板Wfの表面に作成されたシリコン酸化膜近傍の空間には、通常の熱CVD法の場合と同様なW(CO)6分子の過飽和状態が生じ、ステップ305において前記基板Wf上にW膜がシリコン酸化膜を覆うように成膜速度2.7nm/minで成長する。
【0133】
そこで所望のW膜の堆積終了後にステップ306で基板処理が完了する。
【0134】
本実施例においても同様に、W膜堆積の際のインキュベーションタイムがなくなり、W(CO)6の供給と同時にW膜の堆積が開始され、基板処理時間が短縮されて生産性が向上する。また、前記シリコン酸化膜と形成されるW膜の密着性が向上する効果があり、前記テープテストにおいても前記被処理基板Wfおよび前記シリコン酸化膜より剥離した前記テスト片XYは無く、良好な密着性を確認することができた。
【0135】
本実施例においては基板前処理ガスにXeを用いた例を示したが、他の不活性ガス、例えばHe、Ar、N2、Kr、またはH2用いた場合も本実施例と同様の効果を得ることができる。
【0136】
また、基板前処理ガスに有機金属ガスとして、例えば有機TiガスであるTDEAT(Ti[N(C2H5)2]4)、TDMAT(Ti[N(CH3)2]4)を用いることが可能であり、また金属カルボニル化合物のガス、例えば、W(CO)6,Co(CO)6,Mo(CO)6,[Rh(CO)4]4を用いた場合も本実施例の場合と同様にインキュベーションタイムの短縮、密着性の向上の効果を得ることができる。例えば本実施例のように、W(CO)6を用いたW膜の堆積を行う場合はW(CO)6自身を用いてW膜の堆積開始前にプラズマ処理をしても同様の効果が得られる。
【0137】
また、ここまでW(CO)6を用いたW膜の形成の際の基板処理方法について、説明したが、本発明は原料ガスおよび形成される膜をこれに限定されるものではない。例えば原料ガスとして、Co(CO)6,Mo(CO)6,[Rh(CO)4]4を用いて、それぞれCo膜、Mo膜、Rh膜を形成する場合にも、前記したW膜を形成する際と同様に本発明を適用することが可能である。
【0138】
以上、本発明を好ましい実施例について説明したが、本発明は上記の特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した要旨内において様々な変形・変更が可能である。
【0139】
【発明の効果】
本発明によれば、金属カルボニル原料を使ったCVD法による金属膜の成膜方法において、反応性ガスを被処理基板表面近傍の空間に導入することにより、成膜時のインキュベーションタイムを減少させて基板処理の効率を向上させることが可能となり、さらに形成される金属膜と下地膜の密着性が向上した。
【図面の簡単な説明】
【図1】 絶縁膜上にW膜を直接CVD法により堆積した場合の、W膜の膜厚と堆積時間との関係を示す図である。
【図2】 本発明と従来例の基板処理時間を示す図である。
【図3】 本発明による基板処理を行うCVD装置の構成を示す図である。
【図4】 本発明による基板処理を行う基板処理装置の構成を示す図(その1)である。
【図5】 本発明による基板処理方法を示す図(その1)である。
【図6】 密着性試験であるテープテスト法を示す図(その1)である。
【図7】 密着性試験であるテープテスト法を示す図(その2)である。
【図8】 本発明による基板処理を行う基板処理装置の構成を示す図(その2)である。
【図9】 第3参考例による基板処理を行う基板処理装置の構成を示す図(その3)である。
【図10】 本発明による基板処理方法を示す図(その2)である。
【図11】 本発明による基板処理を行う基板処理装置の構成を示す図(その4)である。
【図12】 本発明による基板処理を行う基板処理装置の構成を示す図(その5)である。
【図13】 本発明による基板処理方法を示す図(その3)である。
【図14】 本発明による基板処理を行う基板処理装置の構成を示す図(その6)である。
Claims (13)
- 金属カルボニル化合物を原料とする金属膜の成膜方法であって、
有機Tiガスを被処理基板表面近傍の空間に導入する第1の工程と、
前記第1の工程の後、前記金属カルボニル化合物を含む気相原料を前記被処理基板表面近傍の空間に導入し、前記被処理基板表面に金属膜を堆積する第2の工程とを有し、
前記第1の工程は、前記被処理基板上に膜の実質的な堆積が生じないように実行されることを特徴とする成膜方法。 - 前記有機TiガスはTDEAT(Ti[N(C2H5)2]4)、TDMAT(Ti[N(CH3)2]4)のいずれかを含むことを特徴とする請求項1記載の成膜方法。
- 金属カルボニル化合物を原料とする金属膜の成膜方法であって、
プラズマ励起された有機金属ガスを含む反応性ガスを被処理基板表面近傍の空間に導入する第1の工程と、
前記第1の工程の後、前記金属カルボニル化合物を含む気相原料を前記被処理基板表面近傍の空間に導入し、前記被処理基板表面に金属膜を堆積する第2の工程とを有し、
前記第1の工程は、前記被処理基板上に膜の実質的な堆積が生じないように実行されることを特徴とする成膜方法。 - 前記反応性ガスはH2もしくは不活性ガスを含むことを特徴とする請求項3記載の成膜方法。
- 前記不活性ガスはN2,He,Ar,Kr,Xeのいずれかであることを特徴とする請求項4記載の成膜方法。
- 前記有機金属ガスは有機Tiガスであることを特徴とする請求項3記載の成膜方法。
- 前記有機TiガスはTDEAT(Ti[N(C2H5)2]4)、TDMAT(Ti[N(CH3)2]4)のいずれかを含むことを特徴とする請求項6記載の成膜方法。
- 前記有機金属ガスは前記金属カルボニル化合物を含むことを特徴とする請求項3記載の成膜方法。
- 前記プラズマ励起は前記被処理基板が処理される処理室において行われることを特徴とする請求項3乃至8のうち、いずれか1項記載の成膜方法。
- 前記プラズマ励起は前記被処理基板が処理される処理室と離間された空間で行われることを特徴とする請求項3乃至8のうち、いずれか1項記載の成膜方法。
- 前記被処理基板を処理する第1の処理室において前記第1の工程が行われ、前記第1の処理室と隔絶した第2の処理室において前記第2の工程が行われることを特徴とする請求項1乃至10のうち、いずれか1項記載の成膜方法。
- 前記第1の工程および第2の工程は同一の処理室において、連続して実行されることを特徴とする請求項1乃至10のうち、いずれか1項記載の成膜方法。
- 前記金属カルボニル化合物はW(CO)6,Co(CO)6,Mo(CO)6,[Rh(CO)4]4のいずれかを含むことを特徴とする請求項1乃至12のうち、いずれか1項記載の成膜方法。
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