JP4015626B2 - 荷電粒子ビーム露光装置 - Google Patents
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Description
荷電粒子ビーム露光技術を提供することを目的とする。
Claims (5)
- 荷電粒子源から放射される荷電粒子ビームを複数の荷電粒子ビームに分割するための複数の開口を有する絞り板と、
前記複数の開口のそれぞれを通過した前記複数の荷電粒子ビームを個別に収束する個別収束手段と、
前記個別収束手段で収束した前記複数の荷電粒子ビームのそれぞれを個別に偏向する個別偏向手段とで構成されるマルチビーム形成手段を有し、
前記複数の荷電粒子ビームを被露光基板に露光するための縮小光学系を有する荷電粒子ビーム露光装置において、
前記マルチビーム形成手段が、前記絞り板と前記個別収束手段との間および前記個別収束手段と前記個別偏向手段との間における前記複数の荷電粒子ビームの角度を調整する角度調整手段と、
前記絞り板と前記個別収束手段との間および前記個別収束手段と前記個別偏向手段との間における前記複数の荷電粒子ビームの像回転を調整する回転調整手段と、
前記絞り板と前記個別収束手段との間および前記個別収束手段と前記個別偏向手段との間で荷電粒子ビームを検出する検出手段とを備え、
前記角度調整手段を非点補正器として動作させることにより、少なくとも前記縮小光学系で生じる像歪を補正するよう構成したことを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。 - 前記角度調整手段が、前記絞り板と前記個別収束手段との間における前記複数の荷電粒子ビームの角度を調整する第1の静電偏向器と、前記個別収束手段と前記個別偏向手段との間における前記複数の荷電粒子ビームの角度を調整する第2の静電偏向器とで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子ビーム露光装置。
- 前記回転調整手段が、前記絞り板と前記個別収束手段との間における前記複数の荷電粒子ビームの像回転を調整する第1の像回転レンズと、前記個別収束手段と前記個別偏向手段との間における前記複数の荷電粒子ビームの像回転を調整する第2の像回転レンズとで構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の荷電粒子ビーム露光装置。
- 荷電粒子源を有する照射光学系から放射される荷電粒子ビームを複数の荷電粒子ビームに分割するための複数の開口を有する絞り板と、
前記複数の開口のそれぞれを通過した前記複数の荷電粒子ビームを個別に収束する個別収束手段と、
前記複数の荷電粒子ビームの内、所望の荷電粒子ビームを遮蔽する遮蔽手段と、
前記絞り板と前記個別収束手段との間における前記複数の荷電粒子ビームの角度を調整する第1の静電偏向器と、
前記個別収束手段と前記遮蔽手段との間における前記複数の荷電粒子ビームの角度を調整する第2の静電偏向器とを少なくとも有するマルチビーム形成手段と、
前記マルチビーム形成手段により形成された複数の荷電粒子ビームを縮小し、被露光基板に露光するための縮小光学系とを有する荷電粒子ビーム露光装置において、
前記照射光学系または/及び前記縮小光学系で生じる像歪を相殺するような電圧を前記第1の静電偏向器及び第2の静電偏向器に印加する手段を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。 - 前記第1の静電偏向器及び前記第2の静電偏向器に非点補正器として動作する電圧と偏向器として動作できる電圧を重畳して印加することが可能であることを特徴とする請求項4に記載の荷電粒子ビーム露光装置。
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