JP4001599B2 - Adsorbent, air cleaning device and concentration sensor - Google Patents

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本発明は吸着剤、空気清浄装置および濃度センサに関し、特に吸着性能に優れた吸着剤、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサに関する。   The present invention relates to an adsorbent, an air cleaning device, and a concentration sensor, and more particularly to an adsorbent excellent in adsorption performance, an air cleaning device and a concentration sensor using the adsorbent.

近年では、工場やクリーンルームなどで工業的に発生する悪臭、汚染物質または有害化学物質などによる従来からの環境汚染の問題に加えて、最近のアメニティ志向の高まりに伴い、一般生活空間、たとえば室内や自動車内などにおける悪臭、有害化学物質、花粉、浮遊塵または浮遊細菌などの有害物質による室内環境汚染の問題が注目されており、これらの有害物質の除去に対するニーズが急速に高まっている。その代表的な理由としては、化学物質過敏症にかかる人口が年々増加しており、現時点では10人に1人の割合となっていることが挙げられる。   In recent years, in addition to the conventional environmental pollution problems caused by foul odors, pollutants or toxic chemicals that are industrially produced in factories and clean rooms, etc., along with the recent increase in the amenity orientation, general living spaces such as indoors and The problem of indoor environmental pollution caused by harmful substances such as bad odors, harmful chemical substances, pollen, airborne dust or airborne bacteria in automobiles has attracted attention, and the need for removal of these harmful substances is rapidly increasing. A typical reason for this is that the population of chemical hypersensitivity is increasing year by year, and at present, the ratio is one in ten.

環境中の悪臭や有害化学物質などの有害物質の除去方法としては、活性炭やゼオライトなどの多孔性物質からなる吸着剤による吸着除去が一般的である。しかしながら、従来の活性炭は、比表面積が100〜数100m2/g程度と小さいため、一定量の有害物質を吸着すると除去性能が著しく低下する、あるいは、周囲の温度や有害物質の濃度如何では一度吸着した有害物質が離脱してしまうという問題があった。そのため、繊維状にして比表面積を増加した活性炭(一般的に比表面積が1500〜1700m2/g)が開発されている(たとえば、特許文献1および特許文献2参照)。
特開2002−212838号公報 特開2001−164430号公報
As a method for removing harmful substances such as bad odors and harmful chemical substances in the environment, adsorption removal using an adsorbent composed of a porous substance such as activated carbon or zeolite is generally used. However, since the conventional activated carbon has a small specific surface area of about 100 to several hundred m 2 / g, the removal performance is remarkably lowered when a certain amount of harmful substances are adsorbed, or once depending on the ambient temperature and the concentration of harmful substances. There was a problem that the adsorbed harmful substances were separated. Therefore, activated carbon (generally having a specific surface area of 1500 to 1700 m 2 / g) having a fibrous shape and an increased specific surface area has been developed (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).
JP 2002-212838 A JP 2001-164430 A

繊維状の活性炭を吸着剤として有害物質の除去に用いる場合、従来の活性炭に比べて吸着速度は改善されているものの、化学物質過敏症が問題となるppbオーダでの有害化学物質濃度領域では、その除去能力は満足できるものではなかった。すなわち、1000m2/gを超える比表面積のうち、単位質量当たりに吸着することができるホルムアルデヒドの質量は数mg以下であることから、有害化学物質の吸着に利用することができる面積は非常に小さい。また吸着速度も、吸着剤1g当たり有害物質を毎分0.2〜0.001mg程度しか捕集できず、この時の有害化学物質の濃度は数10〜数ppmまでしか低下しない。 When fibrous activated carbon is used as an adsorbent for removal of harmful substances, the adsorption rate is improved compared to conventional activated carbon, but in the hazardous chemical substance concentration range in the ppb order where chemical sensitivity is a problem, Its removal ability was not satisfactory. That is, among the specific surface areas exceeding 1000 m 2 / g, the mass of formaldehyde that can be adsorbed per unit mass is several mg or less, so the area that can be used for adsorption of harmful chemical substances is very small. . Also, the adsorption rate can collect only about 0.2 to 0.001 mg of harmful substances per gram of adsorbent per minute, and the concentration of harmful chemical substances at this time is only reduced to several tens to several ppm.

また、繊維状の活性炭の寿命は一年以下と著しく短いため、頻繁な取替えが必要であった。また、繊維状の活性炭は再生することができず、さらにコストも高いという問題があった。   Moreover, since the life of fibrous activated carbon is remarkably short, less than one year, frequent replacement was necessary. In addition, fibrous activated carbon cannot be regenerated and has a problem of high cost.

また、吸着剤の比表面積の増加により、有害物質の吸着性能の向上に繋がることが期待されるが、比表面積が2500m2/gを超えた場合には吸着剤自体の強度が低下してしまい、吸着剤自体からダストなどの有害物質が発生することが問題となってくる。また、吸着剤を有害物質を除去するためのフィルタとして用いた空気清浄装置などにおいては、吸着剤の比表面積の増加は圧力損失を招くため、空気清浄装置の消費電力の上昇や空気清浄装置から発生する騒音の増大という新たな問題も生じてくる。 In addition, an increase in the specific surface area of the adsorbent is expected to lead to an improvement in the adsorption performance of harmful substances. However, when the specific surface area exceeds 2500 m 2 / g, the strength of the adsorbent itself decreases. The problem is that harmful substances such as dust are generated from the adsorbent itself. In addition, in an air purifier that uses an adsorbent as a filter for removing harmful substances, an increase in the specific surface area of the adsorbent causes a pressure loss. There is also a new problem of increased noise generated.

また、活性炭の数nm程度の細孔を化学修飾することは、その注入圧力を考慮すると非常に困難であり、たとえば、水銀細孔計での測定では、細孔直径が20nmの場合には水銀の注入圧力は700atm程度必要となり、さらに細孔直径が4nmの場合には水銀の注入圧力は3500atm程度必要となる。したがって、これだけの高い注入圧力が必要となるので、基材である活性炭の機械的強度は高くなくてはならず、ここからも比表面積を大きくすることへの課題が生じている。   In addition, it is very difficult to chemically modify pores of about several nm of activated carbon in consideration of the injection pressure. For example, when the pore diameter is 20 nm, mercury is measured in a mercury porosimeter. The injection pressure of about 700 atm is required, and when the pore diameter is 4 nm, the mercury injection pressure is about 3500 atm. Therefore, since such a high injection pressure is required, the mechanical strength of the activated carbon that is the base material must be high, and the problem of increasing the specific surface area arises from here as well.

上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、吸着性能に優れた吸着剤、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサを提供することにある。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide an adsorbent excellent in adsorption performance, an air cleaning device and a concentration sensor using the adsorbent.

本発明は、複数の孔を有する多孔質部材と、多孔質部材の表面の少なくとも一部に形成されたカーボンナノチューブ、カーボンナノワイヤおよびカーボンファイバーからなる群から選択された少なくとも1種からなるナノ構造体と、を含み、ナノ構造体はナノ構造体の多孔質部材側とは反対側の先端および外表面の少なくとも一方にNi粒子を保持しながら成長して形成されたものであり、ナノ構造体の表面にはCOOC 6 4 CONH(CH 2 17 NH 2 基が化学修飾されており、多孔質部材の表面の少なくとも一部にNiがコーティングされている吸着剤である。ここで、本発明において多孔質部材の表面には、多孔質部材の外面だけでなく多孔質部材に形成されている孔の内面も含まれる。 The present invention relates to a porous structure having a plurality of pores, and a nanostructure made of at least one selected from the group consisting of carbon nanotubes, carbon nanowires, and carbon fibers formed on at least part of the surface of the porous material When, only contains are those nanostructures formed by growing while maintaining at least one of Ni particles of the opposite side of the tip and the outer surface of the porous member side of the nanostructure, the nanostructure COOC 6 H 4 CONH (CH 2 ) 17 NH 2 group is chemically modified on the surface of the adsorbent, and at least a part of the surface of the porous member is coated with Ni . Here, in the present invention, the surface of the porous member includes not only the outer surface of the porous member but also the inner surface of the holes formed in the porous member.

また、本発明は、複数の孔を有する多孔質部材と、多孔質部材の表面の少なくとも一部に形成されたカーボンナノチューブ、カーボンナノワイヤおよびカーボンファイバーからなる群から選択された少なくとも1種からなるナノ構造体と、を含み、ナノ構造体の多孔質部材側とは反対側の先端および外表面の少なくとも一方にNi粒子が付着しており、ナノ構造体の表面にはCOOC 6 4 CONH(CH 2 17 NH 2 基が化学修飾されており、多孔質部材の表面の少なくとも一部にNiがコーティングされている吸着剤であるFurther, the present invention provides a porous member having a plurality of pores, and at least one nano selected from the group consisting of carbon nanotubes, carbon nanowires, and carbon fibers formed on at least part of the surface of the porous member. Ni particles are attached to at least one of the tip and the outer surface opposite to the porous member side of the nanostructure, and COOC 6 H 4 CONH (CH 2 ) An adsorbent in which 17 NH 2 groups are chemically modified and Ni is coated on at least a part of the surface of the porous member .

また、本発明の吸着剤において、多孔質部材は200℃以上の耐熱性を有することが好ましい。   In the adsorbent of the present invention, the porous member preferably has a heat resistance of 200 ° C. or higher.

また、本発明の吸着剤においては、吸着剤の設置位置が磁界によって制御され得る。   Moreover, in the adsorbent of this invention, the installation position of adsorbent can be controlled by a magnetic field.

また、本発明は、上記のいずれかに記載の吸着剤を含む、空気清浄装置である。   Moreover, this invention is an air cleaning apparatus containing the adsorption agent in any one of said.

さらに、本発明は、上記のいずれかに記載の吸着剤を含む、濃度センサである。   Furthermore, this invention is a density | concentration sensor containing the adsorption agent in any one of said.

本発明によれば、吸着性能に優れた吸着剤、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adsorbent excellent in adsorption | suction performance, the air purifying apparatus and density | concentration sensor using this adsorbent can be provided.

以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本願の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。   Embodiments of the present invention will be described below. In the drawings of the present application, the same reference numerals denote the same or corresponding parts.

図1に、本発明の吸着剤の好ましい一例の模式的な拡大斜視図を示す。この本発明の吸着剤は、複数の孔3aを有する多孔質部材3と、その多孔質部材3の外面および孔3aの内部に設置され多孔質部材3の外部に突出している繊維状のナノ構造体1と、多孔質部材3の表面(多孔質部材3の外面および孔3aの内面)にコーティングされるとともにナノ構造体1の先端に保持されている触媒粒子2とを含む。   FIG. 1 shows a schematic enlarged perspective view of a preferred example of the adsorbent of the present invention. The adsorbent of the present invention includes a porous member 3 having a plurality of pores 3a, and a fibrous nanostructure that is disposed on the outer surface of the porous member 3 and on the inside of the hole 3a and protrudes outside the porous member 3. And a catalyst particle 2 coated on the surface of the porous member 3 (the outer surface of the porous member 3 and the inner surface of the hole 3a) and held at the tip of the nanostructure 1.

ここで、ナノ構造体1は内部が中空であってもよく、中空でなくてもよい。ナノ構造体1を構成する材料としては、たとえば内部が中空のカーボンナノチューブ、内部が中空でないカーボンファイバー若しくはカーボンナノワイヤ(カーボンファイバーよりも微細な繊維状のもの)などの炭素系材料、Au、Ag若しくはNiなどの金属系材料、TiO2またはSiなどの材料を用いることができる。また、本発明において、ナノ構造体は、幅、長さまたは直径などの全体の寸法の少なくとも1つが1nm以上1000nm未満である構造体のことをいう。 Here, the nanostructure 1 may be hollow inside or not hollow. Examples of the material constituting the nanostructure 1 include carbon-based materials such as carbon nanotubes that are hollow inside, carbon fibers that are not hollow inside, or carbon nanowires (fibers finer than carbon fibers), Au, Ag, or the like. A metal-based material such as Ni, or a material such as TiO 2 or Si can be used. In the present invention, a nanostructure refers to a structure in which at least one of the overall dimensions such as width, length, or diameter is 1 nm or more and less than 1000 nm.

多孔質部材3を構成する材料としては、たとえばAl23、TiO2、ZrO2、Nb25、SnO2、HfO2若しくはAlPO4などの金属酸化物系材料、SiO2・Al23、SiO2・TiO2、SiO2・V25、SiO2・B23若しくはSiO2・Fe23などのシリケート系材料、Pt、Ag若しくはAuなどからなる金属系材料、Siなどからなる半導体系材料、活性炭若しくは有機高分子などからなる炭素系材料、珪藻土若しくはホタテ貝殻などの生体由来系材料またはSiO2などを用いることができる。ここで、多孔質部材3の表面にナノ構造体1を形成する際には多孔質部材3の温度が200℃以上に加熱されることが多いため、多孔質部材3は200℃以上の耐熱性を有していることが好ましい。なお、本発明において「200℃以上の耐熱性を有している」とは、1気圧下で多孔質部材3の温度が200℃以上になるように多孔質部材3を加熱したときに多孔質部材3の形状が変形しないことをいう。 Examples of the material constituting the porous member 3 include metal oxide materials such as Al 2 O 3 , TiO 2 , ZrO 2 , Nb 2 O 5 , SnO 2 , HfO 2, or AlPO 4 , and SiO 2 · Al 2 O. 3 , silicate materials such as SiO 2 · TiO 2 , SiO 2 · V 2 O 5 , SiO 2 · B 2 O 3 or SiO 2 · Fe 2 O 3 , metal materials such as Pt, Ag or Au, Si Or the like, carbon-based materials such as activated carbon or organic polymers, biological materials such as diatomaceous earth or scallop shells, or SiO 2 can be used. Here, since the temperature of the porous member 3 is often heated to 200 ° C. or higher when the nanostructure 1 is formed on the surface of the porous member 3, the porous member 3 has a heat resistance of 200 ° C. or higher. It is preferable to have. In the present invention, “having a heat resistance of 200 ° C. or higher” means that when the porous member 3 is heated so that the temperature of the porous member 3 is 200 ° C. or higher under 1 atm. It means that the shape of the member 3 is not deformed.

また、多孔質部材3に形成されている孔3aの口径は多孔質部材3を構成する材料によって異なるが、多孔質部材3がたとえば粒径2μm〜500μm程度の珪藻土からなる場合にはたとえば0.1μm〜100μm程度の口径となり得る。   Further, the diameter of the hole 3a formed in the porous member 3 varies depending on the material constituting the porous member 3, but when the porous member 3 is made of diatomaceous earth having a particle size of about 2 μm to 500 μm, for example, 0. The aperture can be about 1 μm to 100 μm.

また、触媒粒子2を構成する材料としては、ナノ構造体1が上記の炭素系材料からなる場合にはたとえばFe、Ni、Co、Cr、Mo、W、Ti、Au、Ag、Cu、Pt、Ta、Al、Pd、Gd、Sm、NdまたはDyなどの金属を用いることができる。なお、触媒粒子2の直径は繊維状のナノ構造体1の直径を制御する傾向にあり、触媒粒子2の直径が小さいほど直径の小さい繊維状のナノ構造体1をプラズマCVD法などの気相成長法によって形成することができる傾向にある。ここで、触媒粒子2は、プラズマCVD法などの気相成長法による繊維状のナノ構造体1の形成において、ナノ構造体1の成長を促進する機能を有する。   In addition, as a material constituting the catalyst particle 2, when the nanostructure 1 is made of the above carbon-based material, for example, Fe, Ni, Co, Cr, Mo, W, Ti, Au, Ag, Cu, Pt, A metal such as Ta, Al, Pd, Gd, Sm, Nd, or Dy can be used. The diameter of the catalyst particles 2 tends to control the diameter of the fibrous nanostructure 1. The smaller the diameter of the catalyst particles 2, the smaller the diameter of the fibrous nanostructure 1 is in the gas phase such as plasma CVD. It tends to be formed by a growth method. Here, the catalyst particle 2 has a function of promoting the growth of the nanostructure 1 in the formation of the fibrous nanostructure 1 by a vapor phase growth method such as a plasma CVD method.

このような本発明の吸着剤は吸着性能に優れているものと考えられる。すなわち、従来から用いられている活性炭はその内部に形成された微細な細孔内に分子を取り込む必要があるため、たとえば有害物質を含む気体がある一定の速度で循環された場合には、流速を持つ気体と単位時間当たりで接触して反応を起こす表面積は限りなく小さい。これに対し、本発明の吸着剤に形成されているナノ構造体の表面はほとんど、有害物質を含む気体と直接接触可能であるため、有害物質をより多く吸着でき、吸着速度も著しく速くなる。   Such an adsorbent of the present invention is considered to be excellent in adsorption performance. In other words, since activated carbon used in the past needs to take molecules into fine pores formed inside, for example, when a gas containing harmful substances is circulated at a certain rate, the flow rate The surface area that causes a reaction by contacting with a gas having a per unit time is extremely small. On the other hand, since the surface of the nanostructure formed in the adsorbent of the present invention can be directly contacted with a gas containing harmful substances, more harmful substances can be adsorbed and the adsorption speed is remarkably increased.

さらに、本発明の吸着剤に形成されているナノ構造体は、活性炭の細孔のように気体の流路を遮る形状に形成されていないため、本発明の吸着剤を空気清浄装置などのデバイスに用いた場合には圧力損失が大きく低減する。   Furthermore, since the nanostructure formed in the adsorbent of the present invention is not formed in a shape that blocks the gas flow path like the pores of activated carbon, the adsorbent of the present invention is used as a device such as an air purifier. When used in the above, pressure loss is greatly reduced.

また、本発明の吸着剤に形成されているナノ構造体はそれ自体強固であり、多孔質部材とも強固に結合しているため、比表面積を大きくした活性炭のように強度が問題にならず、吸着剤自身の破壊によるダストの発生などの二次汚染も発生しにくい。   In addition, since the nanostructure formed in the adsorbent of the present invention is itself strong and is also firmly bonded to the porous member, the strength does not become a problem like activated carbon having a large specific surface area, Secondary contamination such as generation of dust due to destruction of the adsorbent itself is less likely to occur.

このように、本発明の吸着剤においては、単位体積(質量)当たりの有害物質の吸着量が飛躍的に増大するため吸着剤のサイズを小型化することができ、ひいてはこの吸着剤を含む空気清浄装置や濃度センサなどのデバイスのサイズを小さくできる。また、吸着剤の再生が可能である場合には、省エネルギ、低コストの面から見ても、高機能のデバイスの創出が可能となる。   As described above, in the adsorbent of the present invention, the amount of harmful substances adsorbed per unit volume (mass) increases dramatically, so that the size of the adsorbent can be reduced. The size of devices such as cleaning devices and concentration sensors can be reduced. Further, when the adsorbent can be regenerated, it is possible to create a highly functional device from the viewpoint of energy saving and low cost.

このような本発明の吸着剤はたとえば以下のようにして作製される。まず、図2に示すように、触媒粒子を含む液状の試薬4を容器5内に収容した後に、多孔質部材3をこの容器5内に収容する。そして、これらを容器5内で攪拌することにより、多孔質部材3の外面および孔3aの内面に触媒粒子がコーティングされる。   Such an adsorbent of the present invention is produced, for example, as follows. First, as shown in FIG. 2, after the liquid reagent 4 containing the catalyst particles is accommodated in the container 5, the porous member 3 is accommodated in the container 5. And by stirring these in the container 5, catalyst particles are coated on the outer surface of the porous member 3 and the inner surface of the hole 3a.

ここで、たとえば超音波などを用いて多孔質部材3と試薬4とを容器5内で攪拌することによって、多孔質部材3の外面だけでなく孔3aの内面にも触媒粒子をコーティングすることが可能になる。なお、触媒粒子のコーティング方法としては、たとえば真空蒸着法、電子ビーム蒸着法または無電解メッキ法などを用いることができるが、簡便的には上記の攪拌による方法を用いることが好ましい。   Here, for example, by stirring the porous member 3 and the reagent 4 in the container 5 using ultrasonic waves, the catalyst particles can be coated not only on the outer surface of the porous member 3 but also on the inner surface of the hole 3a. It becomes possible. As a method for coating the catalyst particles, for example, a vacuum vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, an electroless plating method, or the like can be used. For simplicity, it is preferable to use the above stirring method.

また、多孔質部材3を試薬4を収容している容器5内に浸漬させる前に多孔質部材3を紫外線にて洗浄し、多孔質部材3の表面に付着している不純物を除去する工程を含んでいてもよい。この場合、紫外線の光源としてたとえばXe2誘電体バリア放電エキシマランプ装置を用い、中心波長146nmの紫外光を放射照度10mW/cm2で1時間程度照射することが好ましい。 Further, the step of washing the porous member 3 with ultraviolet rays before immersing the porous member 3 in the container 5 containing the reagent 4 to remove impurities adhering to the surface of the porous member 3 is performed. May be included. In this case, it is preferable to use, for example, a Xe 2 dielectric barrier discharge excimer lamp device as an ultraviolet light source and irradiate ultraviolet light having a central wavelength of 146 nm at an irradiance of 10 mW / cm 2 for about 1 hour.

次に、上記のようにして触媒粒子がコーティングされた多孔質部材3をたとえばプラズマCVD装置内に設置し、ナノ構造体の原料となるガスをこの装置内に流入し、装置内に流入したガスのプラズマを生成させることによって、多孔質部材3の外面および孔3aの内面にナノ構造体を成長させる。また、上記したプラズマCVD法だけでなく熱CVD法などによってもナノ構造体1の形成は可能である。このようにして形成されるナノ構造体1は触媒粒子をその先端に保持して成長する傾向にある。これにより、図1に示す本発明の吸着剤が作製される。   Next, the porous member 3 coated with the catalyst particles as described above is installed in, for example, a plasma CVD apparatus, and a gas serving as a raw material for the nanostructure flows into the apparatus, and the gas that flows into the apparatus By generating the plasma, nanostructures are grown on the outer surface of the porous member 3 and the inner surface of the hole 3a. Further, the nanostructure 1 can be formed not only by the above-described plasma CVD method but also by a thermal CVD method or the like. The nanostructure 1 formed in this manner tends to grow while holding the catalyst particles at their tips. Thereby, the adsorbent of this invention shown in FIG. 1 is produced.

図3に、本発明の吸着剤の設置位置を磁界によって制御することができる装置の一例を示す。ここで、本発明の吸着剤の設置位置を制御することによって、たとえば吸着剤同士が重なることによる無駄な空間の形成を回避し、吸着剤の単位体積当たりに吸着する有害物質の吸着量の向上などのメリットが考えられる。   FIG. 3 shows an example of an apparatus that can control the installation position of the adsorbent of the present invention by a magnetic field. Here, by controlling the installation position of the adsorbent of the present invention, for example, it is possible to avoid the formation of a useless space due to the overlap of the adsorbents, and to improve the adsorption amount of harmful substances adsorbed per unit volume of the adsorbent The merit such as can be considered.

図3において、導電性ナノワイヤ7は固体基板8上に設置された絶縁膜9上の任意の位置に形成されたパターン電極10を結線しており、外部電源11から電力を供給できるように形成されている。ここで、導電性ナノワイヤ7に所定の電流Iが流されると、磁界の大きさHは導電性ナノワイヤ7の単位断面積当りに通過する電気量である電流密度J(A/m2)に比例して誘起される。この磁界を利用して、たとえば磁力線に沿って本発明の吸着剤の設置位置を制御することで、上記のメリットを得ることができる。磁界を利用して吸着剤6の設置位置を制御するために、吸着剤6を構成する多孔質部材3の表面には磁性材料をコーティングすることができる。磁性材料としてはたとえばNi、Feや希土類元素などを用いることができる。また、これらの磁性材料は触媒としてナノ構造体1の成長を促進し得る。また、磁性材料がナノ構造体1の成長の促進に寄与しなかった場合でも、磁性材料は多孔質部材3の表面にコーティングされているため、磁界により吸着剤6の設置位置を制御することが可能である。なお、上記においては、固体基板8および絶縁膜9の全体を覆うようなコイルを準備し、そのコイルから発生される磁界の中に吸着剤6を設置してもよい。 In FIG. 3, a conductive nanowire 7 connects a pattern electrode 10 formed at an arbitrary position on an insulating film 9 placed on a solid substrate 8 and is formed so that power can be supplied from an external power source 11. ing. Here, when a predetermined current I flows through the conductive nanowire 7, the magnitude H of the magnetic field is proportional to the current density J (A / m 2 ) that is the amount of electricity that passes per unit cross-sectional area of the conductive nanowire 7. Induced. By using this magnetic field, for example, by controlling the installation position of the adsorbent of the present invention along the lines of magnetic force, the above-mentioned merit can be obtained. In order to control the installation position of the adsorbent 6 using a magnetic field, the surface of the porous member 3 constituting the adsorbent 6 can be coated with a magnetic material. As the magnetic material, for example, Ni, Fe, rare earth elements, etc. can be used. In addition, these magnetic materials can promote the growth of the nanostructure 1 as a catalyst. Even when the magnetic material does not contribute to the promotion of the growth of the nanostructure 1, since the magnetic material is coated on the surface of the porous member 3, the installation position of the adsorbent 6 can be controlled by a magnetic field. Is possible. In the above, a coil that covers the entire solid substrate 8 and the insulating film 9 may be prepared, and the adsorbent 6 may be installed in a magnetic field generated from the coil.

図4に、本発明の吸着剤のナノ構造体の表面に化学修飾をする工程の一例のフローチャートを示す。まず、S1に示すように、多孔質部材にたとえば炭素を主成分とする繊維状のナノ構造体を形成し、このナノ構造体に紫外線を照射する。ここで、紫外線の照射にはXe2誘電体バリア放電エキシマランプ装置が用いられ、中心波長146nmの紫外線が放射照度10mW/cm2で1時間ナノ構造体に照射される。次に、S2に示すように、紫外線照射後の吸着剤をp−フタル酸水溶液中に浸漬させる。これにより、吸着剤のナノ構造体の表面にCOOC64COOH基が化学修飾する。続いて、S3に示すように、SOCl2などを用いて、COOC64COOH基中のカルボキシ基のOH基をCl基に置換する。そして、S4に示すように、Cl基に置換後の吸着剤をNH2(CH217NH2溶液中に浸漬させる。これにより、S5に示すように、ナノ構造体の表面にCOOC64CONH(CH217NH2基が化学修飾し、化学修飾されたナノ構造体の表面は水に不溶となる。そして、ナノ構造体の表面に露出したNH2基はホルムアルデヒドやアセトアルデヒドなどのアルデヒド類と反応してシッフ塩基を生成するなどして、本発明の吸着剤はアルデヒド類をナノ構造体に化学吸着することができる。 FIG. 4 shows a flowchart of an example of a process for chemically modifying the surface of the adsorbent nanostructure of the present invention. First, as shown in S1, a fibrous nanostructure mainly composed of carbon, for example, is formed on the porous member, and the nanostructure is irradiated with ultraviolet rays. Here, an Xe 2 dielectric barrier discharge excimer lamp device is used for ultraviolet irradiation, and the nanostructure is irradiated with ultraviolet light having a central wavelength of 146 nm at an irradiance of 10 mW / cm 2 for 1 hour. Next, as shown in S2, the adsorbent after ultraviolet irradiation is immersed in an aqueous p-phthalic acid solution. Thereby, the COOC 6 H 4 COOH group is chemically modified on the surface of the adsorbent nanostructure. Subsequently, as shown in S3, the OH group of the carboxy group in the COOC 6 H 4 COOH group is replaced with a Cl group using SOCl 2 or the like. Then, as shown in S4, the adsorbent after substitution with Cl groups is immersed in an NH 2 (CH 2 ) 17 NH 2 solution. As a result, as shown in S5, the COOC 6 H 4 CONH (CH 2 ) 17 NH 2 group is chemically modified on the surface of the nanostructure, and the surface of the chemically modified nanostructure becomes insoluble in water. The NH 2 group exposed on the surface of the nanostructure reacts with aldehydes such as formaldehyde and acetaldehyde to generate a Schiff base, and the adsorbent of the present invention chemisorbs the aldehydes onto the nanostructure. be able to.

なお、図5に示すように、本発明の吸着剤6をNH2(CH217NH2溶液12に浸漬させてナノ構造体1の表面にCOOC64CONH(CH217NH2基を化学修飾させた後には、電磁石13などを用いることによって吸着剤6を回収することも可能である。また、上記以外にもアミン、アミド若しくはイミドなどの窒素を含む官能基を含む、たとえば、脂肪族アミン、フェニレンジアミン、2,4−ジニトロフェニルヒドラジン(2,4-Dinitrophenylhydrazin)、キチン・キトサン(キチンとキトサンとの混合物)、ポリグルタミン酸またはアミノベンズアルデヒドなどを化学修飾することもできる。 As shown in FIG. 5, the adsorbent 6 of the present invention is immersed in the NH 2 (CH 2 ) 17 NH 2 solution 12 so that COOC 6 H 4 CONH (CH 2 ) 17 NH 2 is deposited on the surface of the nanostructure 1. After chemically modifying the group, the adsorbent 6 can be recovered by using the electromagnet 13 or the like. In addition to the above, functional groups containing nitrogen such as amine, amide or imide, for example, aliphatic amine, phenylenediamine, 2,4-dinitrophenylhydrazin, chitin / chitosan (chitin) And a mixture of chitosan, polyglutamic acid or aminobenzaldehyde can be chemically modified.

図6(A)および図6(B)を用いて、ナノ構造体の表面が化学修飾された吸着剤を再生する機構について説明する。まず、図6(A)に示す装置において、ナノ構造体の表面が化学修飾された本発明の吸着剤6に有害物質14を吸着させる。次に、有害物質14を吸着した吸着剤6を有害物質除去槽15へ移動させる。ここで、有害物質14がホルムアルデヒドの場合には、有害物質除去槽15内にたとえば水が収容されている。そして、この有害物質除去槽15内の水中に吸着剤6を浸漬させることによってホルムアルデヒドだけが水に溶解して有害物質14の除去が行なわれる。この溶解時においては、有害物質除去槽15は密閉しておいてもよく、紫外線などを別途有害物質除去槽15内に照射してもよい。その後、図6(B)に示すように、有害物質除去槽15から電磁石13などを用いて、再生された本発明の吸着剤6を回収し、再度導電性ナノワイヤ7のような磁界が発生される領域へ移動することが可能となる。このように、本発明の吸着剤においては、有害物質の吸着および除去を繰り返すことができる。なお、長時間の使用により、本発明の吸着剤の吸着能が低下した場合には、ナノ構造体の表面に新たに化学修飾をした吸着剤を図6(A)に示す装置に設置してもよい。   A mechanism for regenerating an adsorbent in which the surface of the nanostructure is chemically modified will be described with reference to FIGS. 6 (A) and 6 (B). First, in the apparatus shown in FIG. 6A, the harmful substance 14 is adsorbed on the adsorbent 6 of the present invention in which the surface of the nanostructure is chemically modified. Next, the adsorbent 6 that has adsorbed the harmful substance 14 is moved to the harmful substance removal tank 15. Here, when the harmful substance 14 is formaldehyde, for example, water is accommodated in the harmful substance removal tank 15. Then, by immersing the adsorbent 6 in the water in the harmful substance removal tank 15, only formaldehyde is dissolved in the water and the harmful substance 14 is removed. At the time of dissolution, the harmful substance removal tank 15 may be sealed, or ultraviolet light or the like may be separately irradiated into the harmful substance removal tank 15. Thereafter, as shown in FIG. 6B, the regenerated adsorbent 6 of the present invention is recovered from the harmful substance removal tank 15 using the electromagnet 13 and the like, and a magnetic field such as the conductive nanowire 7 is generated again. It becomes possible to move to the area. Thus, in the adsorbent of the present invention, adsorption and removal of harmful substances can be repeated. In addition, when the adsorption capacity of the adsorbent of the present invention decreases due to long-term use, an adsorbent that is newly chemically modified on the surface of the nanostructure is installed in the apparatus shown in FIG. Also good.

図7に、本発明の吸着剤を利用した空気清浄装置の一例の模式的な構成図を示す。この空気清浄装置17は、空気導入口19と、本発明の吸着剤6を複数収容したステンレス製のゲージ16と、空気排出口20とを含み、空気導入口19とゲージ16とは中空のガス流路21aで連結されており、ゲージ16と空気排出口20とは中空のガス流路21bで連結されている。ここで、空気導入口19から吸い込まれた空気はガス流路21aを通ってゲージ16内に導かれ、ゲージ16内に収容された吸着剤6によって空気中の有害物質が吸着される。そして、清浄された空気がガス流路21bを通って空気排出口20から外部に排出されることになる。   In FIG. 7, the typical block diagram of an example of the air purifying apparatus using the adsorbent of this invention is shown. The air cleaning device 17 includes an air inlet 19, a stainless steel gauge 16 containing a plurality of the adsorbents 6 of the present invention, and an air outlet 20. The air inlet 19 and the gauge 16 are hollow gases. The gauge 16 and the air outlet 20 are connected by a hollow gas channel 21b. Here, the air sucked from the air introduction port 19 is guided into the gauge 16 through the gas flow path 21 a, and harmful substances in the air are adsorbed by the adsorbent 6 accommodated in the gauge 16. Then, the purified air is discharged to the outside from the air discharge port 20 through the gas flow path 21b.

図8に、本発明の吸着剤を利用した濃度センサの一例の模式的な平面図を示す。この濃度センサは図3に示す装置が図8に示す濃度センサの上部の箇所22に内蔵されたものである。たとえば、図3に示す導電性ナノワイヤ7上に設置された吸着剤6が有害物質を吸着した場合には図3に示す装置の回路のコンダクタンス(A/V)が変化する。このコンダクタンスの変化を検出することができる検出機構(図示せず)からその変化を示す信号が増幅されてたとえば演算機構(図示せず)に送信される。そして、演算機構において、コンダクタンスの変化と有害物質濃度との相関グラフなどから有害物質濃度が演算されて、その結果を示す信号がLEDなどを含む表示装置23に送信される。そして、表示装置23によってLEDなどの発光の有無や発光強度などが制御されて、現在の有害物質濃度が表示される。これにより、その環境における安全性を示すことができる可視化機構付きの濃度センサ18が創出される。なお、上記においては、コンダクタンスの変化により有害物質濃度が演算されているが、有害物質の吸着による質量増加によって有害物質濃度が演算されてもよい。   FIG. 8 shows a schematic plan view of an example of a concentration sensor using the adsorbent of the present invention. This density sensor is a device in which the apparatus shown in FIG. 3 is built in the upper portion 22 of the density sensor shown in FIG. For example, when the adsorbent 6 installed on the conductive nanowire 7 shown in FIG. 3 adsorbs harmful substances, the circuit conductance (A / V) of the apparatus shown in FIG. 3 changes. A signal indicating the change is amplified from a detection mechanism (not shown) capable of detecting this change in conductance and transmitted to, for example, an arithmetic mechanism (not shown). Then, in the calculation mechanism, the harmful substance concentration is calculated from a correlation graph between the change in conductance and the harmful substance concentration, and a signal indicating the result is transmitted to the display device 23 including the LED. And the presence or absence of light emission, such as LED, and light emission intensity are controlled by the display apparatus 23, and the present hazardous | toxic substance density | concentration is displayed. This creates a concentration sensor 18 with a visualization mechanism that can show safety in the environment. In the above description, the harmful substance concentration is calculated based on a change in conductance. However, the harmful substance concentration may be calculated based on an increase in mass due to adsorption of the harmful substance.

(実施例1)
主成分として85質量%以上のSiO2を含む珪藻土(昭和化学工業株式会社製)を多孔質部材として用いた。この多孔質部材の粒径は10μmであって、多孔質部材に形成されている複数の孔の平均の孔径は1μm程度であった。
Example 1
Diatomaceous earth (manufactured by Showa Chemical Industry Co., Ltd.) containing 85% by mass or more of SiO 2 as a main component was used as a porous member. The particle diameter of the porous member was 10 μm, and the average hole diameter of the plurality of holes formed in the porous member was about 1 μm.

まず、Xe2誘電体バリア放電エキシマランプ装置を用い、中心波長146nmの紫外線を放射照度10mW/cm2でこの多孔質部材の表面に1時間照射して多孔質部材の表面の汚染物質を除去した。 First, using a Xe 2 dielectric barrier discharge excimer lamp device, the surface of the porous member was removed by irradiating the surface of the porous member with ultraviolet light having a central wavelength of 146 nm at an irradiance of 10 mW / cm 2 for 1 hour. .

次に、容器内に収容されたアセトン溶媒中に粒径が10nm程度のNi粒子を含むNiペースト(日本ペイント株式会社製)および紫外線照射後の多孔質部材を収容し、その後容器内に超音波を印加することによってこれらを攪拌した。   Next, Ni paste (Nihon Paint Co., Ltd.) containing Ni particles having a particle size of about 10 nm in an acetone solvent accommodated in a container and a porous member after ultraviolet irradiation are accommodated, and then ultrasonic waves are contained in the container. These were stirred by applying.

そして、攪拌後の多孔質部材を取り出し、多孔質部材を真空チャンバ(マイクロ波プラズマCVD;MPCVD装置内)に設置した。そして、真空チャンバ内の圧力が1×10-5Paになるまで真空ポンプを使って排気した後に600℃で30分間多孔質部材の熱処理を行なった。ここで、別途に行なわれた同一条件の実験から、上記熱処理後の断面を透過型電子顕微鏡(TEM)により確認したところ、Ni粒子が多孔質部材の表面を50nmの厚みでほぼ均一にコーティングされていることがわかった。 And the porous member after stirring was taken out and the porous member was installed in the vacuum chamber (microwave plasma CVD; MPCVD apparatus). Then, after evacuating using a vacuum pump until the pressure in the vacuum chamber became 1 × 10 −5 Pa, the porous member was heat-treated at 600 ° C. for 30 minutes. Here, when the cross section after the heat treatment was confirmed by a transmission electron microscope (TEM) from an experiment under the same conditions separately conducted, Ni particles were coated almost uniformly on the surface of the porous member with a thickness of 50 nm. I found out.

次いで、Ni粒子がコーティングされた多孔質部材の表面にナノ構造体を成長させるプロセスを実施した。ここで、MPCVD装置内に設置された基板の温度は600℃に維持され、真空チャンバ内の圧力が15Torr程度になるように圧力コントロールバルブにて調整しながら、マスフローコントローラを通じて真空チャンバ内にH2ガスを80sccm導入し、次に2.45GHzのマイクロ波(350W)を導入することによってH2ガスをプラズマ化し、5分程度、基板上に設置された多孔質部材の表面をクリーニングした。 Next, a process of growing nanostructures on the surface of the porous member coated with Ni particles was performed. Here, the temperature of the substrate placed in the MPCVD apparatus is maintained at 600 ° C., and the pressure in the vacuum chamber is adjusted to about 15 Torr while the pressure in the vacuum chamber is adjusted, and H 2 is introduced into the vacuum chamber through the mass flow controller. Gas was introduced at 80 sccm, and then 2.45 GHz microwave (350 W) was introduced to make H 2 gas into plasma, and the surface of the porous member placed on the substrate was cleaned for about 5 minutes.

続いて、真空チャンバ内にH2ガスを80sccmおよびCH4ガスを20sccm導入し、さらに2.45GHzのマイクロ波(500W)を導入した。これにより、H2ガスおよびCH4ガスからなる原料ガスをプラズマ化して、基板上の多孔質部材をプラズマに10分間曝した。この際、多孔質部材が設置された基板に対して、−100Vのバイアス電圧をかけた。これにより、多孔質部材の外面および多孔質部材に形成されている複数の孔の内部から先端にNi粒子を備えた炭素からなる繊維状のナノ構造体が成長し、本発明の吸着剤が作製された。本発明の吸着剤中のナノ構造体の直径は10〜30nmであって、長さは1〜50μmであった。また、ナノ構造体は、内部が中空でないカーボンファイバーと内部が中空であるカーボンナノチューブとがほぼ1:1の割合で混在して構成されていた。このナノ構造体の様子についてはTEMや走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて確認した。この時に用いたNi粒子の量は5mgで、得られたナノ構造体は1.5mgであった。なお、Niペースト中に含まれるNi粒子の量と、成長するナノ構造体の数には相関がある。したがって、成長させるナノ構造体の数を増やして吸着剤の収率を増加するためにはNi粒子の量を増やすことが好ましい。 Subsequently, 80 sccm of H 2 gas and 20 sccm of CH 4 gas were introduced into the vacuum chamber, and a 2.45 GHz microwave (500 W) was further introduced. Thereby, the raw material gas consisting of H 2 gas and CH 4 gas was turned into plasma, and the porous member on the substrate was exposed to plasma for 10 minutes. At this time, a bias voltage of −100 V was applied to the substrate on which the porous member was installed. As a result, a fibrous nanostructure made of carbon having Ni particles at the tip grows from the outer surface of the porous member and the inside of the plurality of holes formed in the porous member, and the adsorbent of the present invention is produced. It was done. The diameter of the nanostructure in the adsorbent of the present invention was 10 to 30 nm and the length was 1 to 50 μm. In addition, the nanostructure is composed of a mixture of carbon fibers that are not hollow inside and carbon nanotubes that are hollow inside at a ratio of approximately 1: 1. The state of the nanostructure was confirmed using a TEM or a scanning electron microscope (SEM). The amount of Ni particles used at this time was 5 mg, and the resulting nanostructure was 1.5 mg. Note that there is a correlation between the amount of Ni particles contained in the Ni paste and the number of growing nanostructures. Therefore, in order to increase the number of nanostructures to grow and increase the yield of adsorbent, it is preferable to increase the amount of Ni particles.

(実施例2)
30nmの厚みの酸化シリコン膜が形成された(111)Si基板上に、10nmの厚みのSi薄膜を製膜した後、パターン電極として3μm角の正方形状のNi薄膜を100nmの厚みでSi薄膜の両端に製膜したものを基板とした。
(Example 2)
After forming a 10 nm thick Si thin film on a (111) Si substrate on which a 30 nm thick silicon oxide film was formed, a 3 μm square Ni thin film having a thickness of 100 nm was formed as a pattern electrode. A substrate formed on both ends was used as a substrate.

そして、この基板を実施例1で用いたMPCVD装置内に設置した後に基板の温度を800℃で維持した。続いて、真空チャンバ内の圧力を15Torr程度になるように圧力コントロールバルブにて調整した後、マスフローコントローラを通じてH2ガスを80sccm導入し、次に2.45GHzのマイクロ波(350W)を導入することによってH2ガスをプラズマ化して、5分程度、基板の表面をクリーニングした。 And after installing this board | substrate in the MPCVD apparatus used in Example 1, the temperature of the board | substrate was maintained at 800 degreeC. Subsequently, after adjusting the pressure in the vacuum chamber by a pressure control valve so as to be about 15 Torr, 80 sccm of H 2 gas is introduced through a mass flow controller, and then 2.45 GHz microwave (350 W) is introduced. The H 2 gas was turned into plasma by cleaning the substrate surface for about 5 minutes.

続いて、H2ガスを80sccmおよびCH4ガスを20sccm真空チャンバ内に導入し、さらに2.45GHzのマイクロ波(500W)を導入して、H2ガスおよびCH4ガスからなる原料ガスをプラズマ化し、このプラズマに基板表面を15分間曝した。この際、基板に対して−100Vのバイアス電圧をかけた。これにより、幅が10nmであって長さが60μmである図3に示す導電性ナノワイヤ7が作製された。 Subsequently, 80 sccm of H 2 gas and 20 sccm of CH 4 gas are introduced into the vacuum chamber, and a microwave (500 W) of 2.45 GHz is further introduced to convert the source gas composed of H 2 gas and CH 4 gas into plasma. The substrate surface was exposed to this plasma for 15 minutes. At this time, a bias voltage of −100 V was applied to the substrate. Thereby, the conductive nanowire 7 shown in FIG. 3 having a width of 10 nm and a length of 60 μm was produced.

この導電性ナノワイヤの両端をそれぞれ上記パターン電極と電気的に接続し、これらの電極間に0.5Vの電圧を印加し、導電性ナノワイヤに10μAの電流を通電することで、導電性ナノワイヤの表面に磁界を発生させ、この磁界を利用して実施例1の吸着剤の設置位置をすべて導電性ナノワイヤの表面上に配置することに成功した。   Both ends of the conductive nanowire are electrically connected to the pattern electrodes, a voltage of 0.5 V is applied between the electrodes, and a current of 10 μA is applied to the conductive nanowire, thereby providing a surface of the conductive nanowire. A magnetic field was generated on the surface, and using this magnetic field, all the installation positions of the adsorbent of Example 1 were successfully arranged on the surface of the conductive nanowire.

なお、実施例2においては、導電性ナノワイヤ上の吸着剤の配置の測定を単純化するため1本の導電性ナノワイヤのみを電気的に結線したが、この機構をデバイスに応用する場合にはパターン電極間を電気的に結線する導電性ナノワイヤの数が多いほど効果的であると考えられる。   In Example 2, only one conductive nanowire is electrically connected to simplify the measurement of the arrangement of the adsorbent on the conductive nanowire. However, when this mechanism is applied to a device, a pattern is used. The more conductive nanowires that electrically connect the electrodes, the more effective.

(実施例3)
まず、実施例1で作製した吸着剤の表面に紫外線を照射した。ここで、光源としてはXe2誘電体バリア放電エキシマランプ装置を用い、中心波長146nmの紫外線を放射照度10mW/cm2で1時間照射した。
(Example 3)
First, the surface of the adsorbent prepared in Example 1 was irradiated with ultraviolet rays. Here, a Xe 2 dielectric barrier discharge excimer lamp device was used as a light source, and ultraviolet rays having a center wavelength of 146 nm were irradiated for 1 hour at an irradiance of 10 mW / cm 2 .

次に、紫外線照射後の吸着剤をp−フタル酸水溶液中に浸漬すると、ナノ構造体の表面にCOOC64COOH基が化学修飾された。このCOOC64COOH基中のカルボキシ基のOH基をSOCl2を用いてCl基に置換した。次いで、この置換後の吸着剤をNH2(CH217NH2溶液に浸漬させることで、ナノ構造体の表面にCOOC64CONH(CH217NH2基を化学修飾した。 Next, when the adsorbent after ultraviolet irradiation was immersed in an aqueous p-phthalic acid solution, COOC 6 H 4 COOH groups were chemically modified on the surface of the nanostructure. The OH group of the carboxy group in the COOC 6 H 4 COOH group was substituted with a Cl group using SOCl 2 . Subsequently, the COOC 6 H 4 CONH (CH 2 ) 17 NH 2 group was chemically modified on the surface of the nanostructure by immersing the substituted adsorbent in an NH 2 (CH 2 ) 17 NH 2 solution.

なお、各段階におけるプロセスチェック(上記の各段階でナノ構造体の表面にどのような基が化学修飾されているかの確認)は、フーリエ変換赤外吸収装置にて特定の官能基の分子振動数を確認することにより行なった。   In addition, the process check at each stage (confirmation of what group is chemically modified on the surface of the nanostructure at each stage above) is performed by the Fourier transform infrared absorption device with the molecular frequency of a specific functional group. It was performed by confirming.

上記のCOOC64CONH(CH217NH2基が化学修飾されたナノ構造体の表面は水に不溶となった。ここで、表面に露出したNH2基はホルムアルデヒドなどのアルデヒド類とシッフ塩基を生成してナノ構造体に吸着することができるため、アルデヒド類だけ特異的に吸着することが可能である。 The surface of the nanostructure in which the COOC 6 H 4 CONH (CH 2 ) 17 NH 2 group was chemically modified became insoluble in water. Here, since the NH 2 group exposed on the surface can generate an aldehyde such as formaldehyde and a Schiff base and adsorb to the nanostructure, only the aldehyde can be specifically adsorbed.

このNH2基で化学修飾されたナノ構造体を有する吸着剤を実施例2で作製された導電性ナノワイヤを有する基板上に磁場を用いて固定した。ここで、この基板は20mm角の直方体状に切り出され、幅25mm×長さ25mm×高さ10mmの中空の直方体型石英セルの長手方向の内壁に接するように互いに向い合わせにして2個設置した。なお、基板上の導電性ナノワイヤの本数をSEMで確認したところ、1×105本存在していた。また、吸着剤を構成するナノ構造体は、実施例1と同様に、Ni粒子を5mg用いることで1.5mg成長させたものであった。 The adsorbent having nanostructures chemically modified with NH 2 groups was fixed on the substrate having conductive nanowires prepared in Example 2 using a magnetic field. Here, this substrate was cut into a 20 mm square rectangular parallelepiped shape, and two substrates were placed facing each other so as to contact the inner wall in the longitudinal direction of a hollow rectangular parallelepiped quartz cell having a width of 25 mm × length of 25 mm × height of 10 mm. . When the number of conductive nanowires on the substrate was confirmed by SEM, 1 × 10 5 wires were present. Further, the nanostructure constituting the adsorbent was grown by 1.5 mg by using 5 mg of Ni particles, as in Example 1.

これらの基板の間を入口とし、石英セルの後方に容積が1m3のステンレス製チャンバを付け足し、さらにこのチャンバ内に幅25mm×長さ25mm×高さ10mmの中空の直方体型ステンレス製セルからなる出口を取り付け、トータルでほぼ1m3の容積を持った空間を作製した。 A stainless steel chamber having a volume of 1 m 3 is added to the back of the quartz cell as an entrance between these substrates, and further, a hollow rectangular stainless steel cell having a width of 25 mm, a length of 25 mm, and a height of 10 mm is formed in the chamber. An outlet was attached to create a space with a total volume of approximately 1 m 3 .

上記の入口からホルムアルデヒドを0.155ppm含んだドライエアを1cc/minの流速で導入し、出口から排出された気体を10分間捕集管に捕集した。この捕集された気体中のホルムアルデヒド濃度を、DNPH誘導体固相吸着/溶媒抽出−高速液体クロマトグラフィ法を用いて算出した。この方法は、DNPHシリカゲルカラムに上記の捕集された気体を通してそのカラムにホルムアルデヒドを固定し、それをアセトニトリル溶剤により溶出して得られた溶液について高速液体クロマトグラフィを用いて溶液中のホルムアルデヒドの量の分析を行なう方法である。この方法を用いて算出した結果、捕集された気体中のホルムアルデヒド濃度は0.08ppmであった。すなわち、1.5mgのナノ構造体が90μgのホルムアルデヒドを吸着したこととなり、ナノ構造体1g当たりに換算するとホルムアルデヒド60mg/gの吸着が可能であった。また、ホルムアルデヒドの吸着速度は毎分6mg/g程度となり、活性炭を用いた吸着剤に比べて吸着効率の飛躍的な改善が認められた。   Dry air containing 0.155 ppm formaldehyde was introduced from the inlet at a flow rate of 1 cc / min, and the gas discharged from the outlet was collected in a collecting tube for 10 minutes. The formaldehyde concentration in the collected gas was calculated using a DNPH derivative solid phase adsorption / solvent extraction-high performance liquid chromatography method. In this method, formaldehyde is immobilized on a DNPH silica gel column through the collected gas and eluted with an acetonitrile solvent. This is a method of analysis. As a result of calculation using this method, the formaldehyde concentration in the collected gas was 0.08 ppm. That is, 1.5 mg of the nanostructure adsorbed 90 μg of formaldehyde, and it was possible to adsorb 60 mg / g of formaldehyde when converted to 1 g of nanostructure. Further, the adsorption rate of formaldehyde was about 6 mg / g per minute, and a dramatic improvement in the adsorption efficiency was recognized as compared with the adsorbent using activated carbon.

また、別途圧力損失を評価するために、幅25mm×長さ25mm×高さ10mmの中空の直方体型石英セルのみを用い、この石英セルの入口からドライエアを1m/秒で導入し、入口と出口での圧力差を測定したところ、その圧力差は3Pa程度であった。この圧力差も同一条件で測定した繊維状の活性炭が示す50Paという圧力差を大きく低減していた。   In order to separately evaluate the pressure loss, only a hollow rectangular parallelepiped quartz cell having a width of 25 mm, a length of 25 mm and a height of 10 mm is used, and dry air is introduced at 1 m / second from the inlet of the quartz cell, and the inlet and outlet When the pressure difference was measured, the pressure difference was about 3 Pa. This pressure difference also greatly reduced the pressure difference of 50 Pa exhibited by the fibrous activated carbon measured under the same conditions.

(実施例4)
まず、実施例3で用いた吸着剤および導電性ナノワイヤを表面に備えた基板の外部電源を外した。次に、この基板上に別途用意した耐水性のある電磁石を近づけ、ホルムアルデヒドを保持した吸着剤を残らず回収した。
(Example 4)
First, the external power source of the substrate provided with the adsorbent and conductive nanowires used in Example 3 was removed. Next, a separately prepared water-resistant electromagnet was brought close to the substrate, and all the adsorbent holding formaldehyde was collected.

次いで、密閉可能な水槽を別途用意し、この水槽内の水中に吸着剤を浸漬させて水槽を密閉した後15分間静置した。その後、電磁石を用いて清浄した吸着剤を回収し、再度、導電性ナノワイヤを表面に備えた基板上に吸着剤を設置した。そして、外部電源を再度接続し、導電性ナノワイヤに電流を流すことで磁界を発生させて吸着剤を配列した。   Next, a water tank that can be sealed was prepared separately, and the adsorbent was immersed in the water in the water tank to seal the water tank, and then allowed to stand for 15 minutes. Thereafter, the cleaned adsorbent was collected using an electromagnet, and the adsorbent was again placed on a substrate equipped with conductive nanowires. Then, the external power source was connected again, and a magnetic field was generated by passing a current through the conductive nanowires to arrange the adsorbent.

その後、実施例3と全く同一の試験を繰り返したところ1.5mgのナノ構造体が90μgのホルムアルデヒドを吸着できることを確認した。これにより、本発明の吸着剤が再生可能であることが確認された。   Thereafter, the same test as in Example 3 was repeated, and it was confirmed that 1.5 mg of the nanostructure can adsorb 90 μg of formaldehyde. Thereby, it was confirmed that the adsorbent of the present invention can be regenerated.

また、この再生後の吸着剤を図7に示すステンレス製ゲージ16に複数収容して空気清浄装置17内に組み込んだ。そして、この空気清浄装置17を意図的にホルムアルデヒドが10ppmの濃度で空気中に拡散された50m3の室内に設置し、空気導入口19からこの室内の空気を吸い込み、空気排出口20から清浄後の空気を排出した。そして、この室内の空気中のホルムアルデヒド濃度を所定の時間ごとに調査し、時間の経過に対するホルムアルデヒド濃度の変化を評価した。その結果を表1に示す。ここで、表1に示す室内のホルムアルデヒド濃度は、上記のDNPH誘導体固相吸着/溶媒抽出−高速液体クロマトグラフィ法を用いて算出した。 Further, a plurality of the regenerated adsorbents were accommodated in a stainless steel gauge 16 shown in FIG. Then, this air purifier 17 is intentionally installed in a 50 m 3 room where formaldehyde is diffused in the air at a concentration of 10 ppm, and the air in the room is sucked from the air inlet 19 and cleaned from the air outlet 20. The air was exhausted. And the formaldehyde density | concentration in this indoor air was investigated for every predetermined time, and the change of the formaldehyde density with the passage of time was evaluated. The results are shown in Table 1. Here, the indoor formaldehyde concentration shown in Table 1 was calculated using the above-mentioned DNPH derivative solid phase adsorption / solvent extraction-high performance liquid chromatography method.

Figure 0004001599
Figure 0004001599

表1に示すように、本発明の空気清浄装置を用いた場合には時間の経過とともに室内のホルムアルデヒド濃度が低下していることが確認された。   As shown in Table 1, it was confirmed that the formaldehyde concentration in the room decreased with the passage of time when the air purifier of the present invention was used.

また、実施例1の吸着剤を図7に示すステンレス製ゲージ16に0.03g収容して空気清浄装置17内に組み込んだ。そして、この空気清浄装置17を意図的にトルエン10ppmの濃度で拡散した1m3の装置内に設置し、空気導入口19からこの装置内の空気を吸い込み、空気排出口20から清浄後の空気を排出した。そして、この装置内のトルエン濃度を所定の時間ごとに調査し、時間の経過に対するトルエン濃度の変化を評価した。その結果を表2に示す。ここで、表2に示す装置内のトルエン濃度はガスクロマトグラフィを用いて装置内の気体の組成を分析することにより算出した値である。 In addition, 0.03 g of the adsorbent of Example 1 was accommodated in a stainless steel gauge 16 shown in FIG. The air cleaning device 17 is intentionally installed in a 1 m 3 device diffused at a concentration of 10 ppm of toluene, the air in the device is sucked from the air inlet 19, and the cleaned air is discharged from the air outlet 20. Discharged. And the toluene concentration in this apparatus was investigated for every predetermined time, and the change of the toluene concentration with progress of time was evaluated. The results are shown in Table 2. Here, the toluene concentration in the apparatus shown in Table 2 is a value calculated by analyzing the composition of the gas in the apparatus using gas chromatography.

Figure 0004001599
Figure 0004001599

表2に示す結果から、10ppmの濃度中トルエンは0.0376g含まれていることを考慮すると、本発明の吸着剤1g当たりトルエンを約1.25g吸着できることがわかった。従来の繊維状の活性炭では1g当たりトルエン0.1gが吸着されていることを考慮すると、本発明においては高い吸着性能を有する吸着剤が作製されたことになる。   From the results shown in Table 2, it was found that about 1.25 g of toluene can be adsorbed per 1 g of the adsorbent of the present invention, considering that 0.0376 g of toluene is contained in a concentration of 10 ppm. Considering that 0.1 g of toluene is adsorbed per 1 g of conventional fibrous activated carbon, an adsorbent having high adsorption performance is produced in the present invention.

(実施例5)
まず、実施例2の基板の表面の導電性ナノワイヤ上に実施例1の吸着剤を配列したとき、実施例2の導電性ナノワイヤの電気的結線により形成される基板上の回路のコンダクタンス(A/V;Ω-1)は20μΩ-1であった。また、実施例2の基板の表面の導電性ナノワイヤ上に実施例3の吸着剤を配列した場合の上記のコンダクタンスは15μΩ-1であった。この実施例3の吸着剤を窒素雰囲気でパージされた長さ1×10-3mの中空の石英セルの中に放置し、この石英セルの中にホルムアルデヒドを80ppm含むドライ空気を通気したところ、通気直後から上記のコンダクタンスは徐々に低下し10分後には10μΩ-1となった。
(Example 5)
First, when the adsorbent of Example 1 is arranged on the conductive nanowires on the surface of the substrate of Example 2, the conductance of the circuit on the substrate formed by electrical connection of the conductive nanowires of Example 2 (A / V; Ω −1 ) was 20 μΩ −1 . Further, when the adsorbent of Example 3 was arranged on the conductive nanowires on the surface of the substrate of Example 2, the conductance was 15 μΩ −1 . The adsorbent of Example 3 was left in a hollow quartz cell having a length of 1 × 10 −3 m purged in a nitrogen atmosphere, and dry air containing 80 ppm of formaldehyde was passed through the quartz cell. Immediately after ventilation, the above conductance gradually decreased and became 10 μΩ −1 after 10 minutes.

また、上記の石英セルの排気側で10分間排出された気体をすべて捕集した後、この気体のホルムアルデヒドの濃度を測定したところ79.5ppmとなり、実施例3の吸着剤1g当たり約0.6μgのホルムアルデヒドが吸着されたことになった。ここで、ホルムアルデヒド濃度は、上記のDNPH誘導体固相吸着/溶媒抽出−高速液体クロマトグラフィ法を用いて算出した。   Further, after collecting all the gas discharged for 10 minutes on the exhaust side of the quartz cell, the concentration of formaldehyde in this gas was measured to be 79.5 ppm, which was about 0.6 μg per 1 g of the adsorbent of Example 3. Of formaldehyde was adsorbed. Here, the formaldehyde concentration was calculated using the above-mentioned DNPH derivative solid phase adsorption / solvent extraction-high performance liquid chromatography method.

なお、上記のコンダクタンスの変化量を検知し、コンダクタンスの変化量とホルムアルデヒド濃度との相関グラフからホルムアルデヒド濃度を算出して、LEDの強度変化をホルムアルデヒド濃度に対応して表示できる装置(表示装置)を加えた濃度センサは付加価値の高い製品であると考えられる。   A device (display device) that detects the above-described change in conductance, calculates the formaldehyde concentration from a correlation graph between the change in conductance and formaldehyde concentration, and displays the intensity change of the LED corresponding to the formaldehyde concentration. The added concentration sensor is considered to be a product with high added value.

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   It should be understood that the embodiments and examples disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明の吸着剤の好ましい一例の模式的な拡大斜視図である。It is a typical expanded perspective view of a preferable example of the adsorbent of the present invention. 本発明に用いられる多孔質部材に触媒粒子をコーティングする方法を図解する模式的な斜視図である。It is a typical perspective view illustrating the method of coating catalyst particles on the porous member used in the present invention. 本発明の吸着剤が導電性ナノワイヤ上に複数配列された装置の一例の模式的な側面図である。It is a typical side view of an example of the apparatus with which the adsorption agent of this invention was arranged in multiple numbers on electroconductive nanowire. 本発明の吸着剤のナノ構造体の表面に化学修飾させる工程の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the process of chemically modifying the surface of the nanostructure of the adsorbent of this invention. 本発明の吸着剤が電磁石により回収されている状態を図解する模式的な斜視図である。It is a typical perspective view illustrating the state where the adsorbent of the present invention is collected by an electromagnet. (A)は本発明の吸着剤が導電性ナノワイヤ上に複数配置された装置において本発明の吸着剤が有害物質を吸着している状態を図解する模式的な側面図であり、(B)は本発明の吸着剤が再生されて電磁石により回収されている状態を図解する模式的な斜視図である。(A) is a schematic side view illustrating a state in which the adsorbent of the present invention adsorbs harmful substances in an apparatus in which a plurality of adsorbents of the present invention are arranged on conductive nanowires, and (B) is It is a typical perspective view illustrating the state where the adsorbent of the present invention is regenerated and collected by an electromagnet. 本発明の空気清浄装置の好ましい一例の模式的な側面透視図である。It is a typical side perspective view of a preferable example of the air cleaning device of the present invention. 本発明の濃度センサの好ましい一例の模式的な平面図である。It is a typical top view of a desirable example of a concentration sensor of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 ナノ構造体、2 触媒粒子、3 多孔質部材、3a 孔、4 試薬、5 容器、6 吸着剤、7 導電性ナノワイヤ、8 固体基板、9 絶縁膜、10 パターン電極、11 外部電源、12 NH2(CH217NH2溶液、13 電磁石、14 有害物質、15 有害物質除去槽、16 ステンレス製ゲージ、17 空気清浄装置、18 濃度センサ、19 空気導入口、20 空気排出口、21a,21b ガス流路、22 箇所、23 表示装置。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Nano structure 2 Catalyst particle 3 Porous member 3a Hole 4 Reagent 5 Container 6 Adsorbent 7 Conductive nanowire 8 Solid substrate 9 Insulating film 10 Pattern electrode 11 External power supply 12 NH 2 (CH 2 ) 17 NH 2 solution, 13 electromagnet, 14 toxic substance, 15 toxic substance removal tank, 16 stainless steel gauge, 17 air purifier, 18 concentration sensor, 19 air inlet, 20 air outlet, 21a, 21b Gas flow path, 22 locations, 23 display devices.

Claims (6)

複数の孔を有する多孔質部材と、前記多孔質部材の表面の少なくとも一部に形成されたカーボンナノチューブ、カーボンナノワイヤおよびカーボンファイバーからなる群から選択された少なくとも1種からなるナノ構造体と、を含み、前記ナノ構造体は前記ナノ構造体の前記多孔質部材側とは反対側の先端および外表面の少なくとも一方にNi粒子を保持しながら成長して形成されたものであり、前記ナノ構造体の表面にはCOOC 6 4 CONH(CH 2 17 NH 2 基が化学修飾されており、前記多孔質部材の表面の少なくとも一部にNiがコーティングされている、吸着剤。 A porous member having a plurality of pores, and a nanostructure made of at least one selected from the group consisting of carbon nanotubes, carbon nanowires, and carbon fibers formed on at least part of the surface of the porous member. viewed including the nanostructure has been formed by growing while maintaining the Ni particles to at least one of the porous member side opposite to the tip and the outer surface of the nanostructure, the nanostructure An adsorbent in which COOC 6 H 4 CONH (CH 2 ) 17 NH 2 groups are chemically modified on the surface of the body, and Ni is coated on at least a part of the surface of the porous member . 複数の孔を有する多孔質部材と、前記多孔質部材の表面の少なくとも一部に形成されたカーボンナノチューブ、カーボンナノワイヤおよびカーボンファイバーからなる群から選択された少なくとも1種からなるナノ構造体と、を含み、前記ナノ構造体の前記多孔質部材側とは反対側の先端および外表面の少なくとも一方にNi粒子が付着しており、前記ナノ構造体の表面にはCOOCA porous member having a plurality of pores, and a nanostructure made of at least one selected from the group consisting of carbon nanotubes, carbon nanowires, and carbon fibers formed on at least part of the surface of the porous member. Ni particles are attached to at least one of the tip and the outer surface of the nanostructure opposite to the porous member side, and the surface of the nanostructure has COOC 66 H 4Four CONH(CHCONH (CH 22 ) 1717 NHNH 22 基が化学修飾されており、前記多孔質部材の表面の少なくとも一部にNiがコーティングされている、吸着剤。An adsorbent in which a group is chemically modified and Ni is coated on at least a part of the surface of the porous member. 前記多孔質部材は200℃以上の耐熱性を有することを特徴とする、請求項1または2に記載の吸着剤。   The adsorbent according to claim 1, wherein the porous member has a heat resistance of 200 ° C. or more. 前記吸着剤の設置位置が磁界によって制御されることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の吸着剤。 The adsorbent according to any one of claims 1 to 3, wherein an installation position of the adsorbent is controlled by a magnetic field. 請求項1からのいずれかに記載の吸着剤を含む、空気清浄装置。 Claims 1 comprises an adsorbent according to any one of 4, the air cleaning apparatus. 請求項1からのいずれかに記載の吸着剤を含む、濃度センサ。 Claims 1 comprises an adsorbent according to any one of 4, the concentration sensor.
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