JP3982913B2 - 荷電粒子ビーム露光装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子ビーム等の荷電粒子ビームを用いた露光装置に係り、特に、露光パターンデータに応じて被露光試料(特定的にはウエハ)上で電子ビームを偏向・走査してウエハ上にパターンを描画していくコラムを複数個備えたマルチコラム電子ビーム露光装置において主偏向器用のアンプ部の整定待ち時間を制御する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、集積回路の高密度化に伴い、長年微細パターン形成の主流であったフォトリソグラフィ技術に代わって、電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子ビームを用いた露光法、或いはX線を用いる新しい露光法が検討され、実現化されてきている。このうち、電子ビームを用いてパターンを形成する電子ビーム露光は、電子ビームの断面を数十nmにまで絞ることができ、1μm以下の微細なパターンを形成できることに大きな特徴がある。ところが、電子ビームを用いた露光はいわゆる「一筆書き」の描画方法であるため、微細なパターンになればなるほど小さなビームで露光しなければならなくなり、そのために露光時間が莫大に長くなってしまう。そこで、かかる不都合を解消するため、ブロック露光法が考案され、実用化されている。
【0003】
ブロック露光法とは、繰り返し図形の単位となる基本の幾つかのパターンに応じた開口部が形成されたブロックマスクを備え、このブロックマスクの所望の開口部にビームを透過させることで単位パターンを一度に発生し、これを被露光試料上に描画し、更にこれを繋いで繰り返し図形を露光する方法である。従って、かかるブロック露光法は、1Gb(ギガビット)DRAMや4GbDRAMのように微細ではあるが露光する殆どの面積がある基本パターンの繰り返しであるようなパターンを露光する場合に、極めて有効な方法である。
【0004】
図1にはブロック露光方式を用いた電子ビーム露光装置の典型的な一構成例が一部模式的に示される。
図示のように、電子ビーム露光装置は、露光部10と制御部40によって構成されている。露光部10において、一点鎖線で囲まれた部分CLMは「コラム」と呼ばれている。このコラムCLMにおいて、11は電子ビームを放出する電子銃、12は放出された電子ビームを平行光にするレンズ、13は電子ビームの断面を矩形状に成形するアパーチャを有するマスク、14は成形された電子ビームを収束させるレンズ、15は成形された電子ビームのブロックマスク(後述の18で示す部分)上での照射位置を偏向するための偏向器、16及び17は電子ビームの流れの方向に沿って互いに対向配置されたレンズ、18はレンズ16及び17間で水平方向に移動可能に配置され、電子ビームの断面を所望の形状に成形するための開口部(透過パターン)が形成されたブロックマスク、19〜22はブロックマスク18上で電子ビームを偏向させて所望の透過パターンを選択すると共に、所望の透過パターンを透過した電子ビームを元の光軸上に戻すためのマスク偏向器、23及び24はそれぞれ電子ビームを偏向補正するためのダイナミックフォーカスコイル及びダイナミックスティグコイル、25は電子ビームを遮断し或いは透過させるためのブランキング偏向器、26は電子ビームの断面を縮小するレンズ、27は電子ビームの断面を円形状に成形するアパーチャを有するマスク、28及び29は成形された電子ビームを被露光試料(後述のウエハW)上に照射するための投影レンズ、30及び31はそれぞれウエハW上でのビーム位置決めを行うための主偏向器及び副偏向器を示す。
【0005】
また、32はブロックマスク18を保持して水平方向に移動させるためのマスクステージ、33はウエハWを搭載して水平方向に移動可能なウエハステージを示す。このウエハステージ33は、特に図示はしないが、コラムCLMとの間に真空状態を保って結合されたチャンバ内に配設されており、当該ステージの水平方向の座標位置を検出する手段(レーザ干渉計等)と、その検出結果に基づいて当該ステージを移動させるステージ移動機構に接続されている。
【0006】
一方、制御部40において、41は電子ビーム露光装置全体を制御する中央処理装置(CPU)、42はCPU41にシステムバスBUSを介して接続され、集積回路装置の設計データ等を格納する記憶媒体、43はシステムバスBUSを介してCPU41に接続されたインタフェース、44はインタフェース43から転送された露光開始/終了情報に基づいて露光処理一般のシーケンスを制御する露光シーケンスコントローラ、45はインタフェース43から転送された描画パターンのデータやブロックマスク18に関するデータ等を格納し、当該データの出力が露光シーケンスコントローラ44によって制御されるデータメモリ、46は露光シーケンスコントローラ44の制御の下に、データメモリ45からの主偏向器用偏向データに基づいて主偏向器30に対する偏向量補正値を演算する処理等を行う主偏向器用補正回路、47は露光シーケンスコントローラ44の制御の下に、後述のパターン発生部及びパターン補正部から送られてくる1ショット毎の露光時間データ、露光時間補正データ及び整定待ち時間データに基づいて本露光装置全体が機能する演算処理クロック及びブランキングクロックを発生するクロック発生部、48はクロック発生部47からの演算処理クロックに応答し、データメモリ45に格納されたデータに基づいてブロックマスク18の透過パターンの1つを指定しその指定パターンのブロックマスク18上での位置を示すマスク照射位置データ(つまり、どの透過パターンを使って所望の描画パターンを露光するかを示すパターンデータコードPDC)を発生すると共に、その描画パターンを露光するウエハW上の位置を示すウエハ露光位置データ(つまり、1回のビーム照射に対応するショットパターンデータSPD)を発生する処理等を行うパターン発生部、49はブロックマスク18上の各パターンの位置(パターンデータコードPDC)とそれに対応する各偏向データの関係が予め測定され(インタフェース43を介して)取り込まれているマスクメモリ、50はクロック発生部47からの演算処理クロックに応答し、マスクメモリ49からの偏向データとパターン発生部48からのショットパターンデータSPDに基づいて描画パターンの形状と指定パターンの形状との差に応じた補正値を演算する処理等を行うパターン補正部、51はパターン補正部50からの補正値をアナログ変換して適宜増幅し、補正偏向データとして偏向器15に出力するDAC&AMP(以下、便宜上「アンプ部」という。)、52及び53はそれぞれマスクメモリ49からの偏向データをアナログ変換して適宜増幅し、ダイナミックフォーカスコイル23及びダイナミックスティグコイル24と各マスク偏向器19〜22にそれぞれ出力するアンプ部、54はクロック発生部47からのブランキングクロックをアナログ変換して適宜増幅し、ブランキング信号としてブランキング偏向器25に出力するアンプ部、55及び56はそれぞれパターン補正部50及び主偏向器用補正回路46からの補正値をアナログ変換して適宜増幅し、それぞれ補正偏向データとして副偏向器31及び主偏向器30に出力するアンプ部を示す。
【0007】
以上の構成において、露光処理は以下のように行われる。
先ず、露光処理の対象となるデータが、CPU41によって記憶媒体42から読み出されてデータメモリ45に格納される。CPU41から露光シーケンスコントローラ44に起動信号を与えて露光が開始されると、先ず、データメモリ45に格納されている主偏向器用偏向データが主偏向器用補正回路46に送られてその補正値が演算され、アンプ部56を介して補正偏向データとして主偏向器30に与えられる。次いで、出力値が安定化された後、露光シーケンスコントローラ44は、クロック発生部47に対し演算処理クロック及びブランキングクロックを発生するよう制御する。この演算処理クロックに応答してパターン発生部48は、データメモリ45に格納されているブロックデータ及びパターンデータを読み込み、各データに基づいてそれぞれパターンデータコードPDC及びショットパターンデータSPDを発生する。次いで、パターンデータコードPDCに対応する偏向データがマスクメモリ49から読み出され、パターン補正部50に入力される。パターン補正部50では、演算処理クロックに応答して、この偏向データとパターン発生部48からのショットパターンデータSPDに基づいて補正値演算処理を行う。そして、パターン補正部50から出力されたデータ、マスクメモリ49から読み出されたデータ、及びクロック発生部47から発生されたブランキングクロックは、それぞれ対応するアンプ部51〜55に入力されてアナログ変換され、適宜増幅された後、各偏向器又はコイルに印加される。
【0008】
一方、電子銃11から放出された電子ビームは、レンズ12で平行光とされ、マスク13の矩形状のアパーチャを通過した後、レンズ14及び16で収束されてブロックマスク18上に照射される。照射された電子ビームはブロックマスク18上で適宜偏向される。具体的には、ブロックマスク18上での比較的大きい範囲(約5mm程度)の偏向は、マスク偏向器19及び20によって行われ、これら偏向器によってマスク18上の所望の透過パターンが選択された後の比較的小さい範囲(約500μm程度)の偏向は、偏向器15によって行われる。次いで、ブロックマスク18上の所望の透過パターンを通過した電子ビームは、マスク偏向器21及び22によって元の光軸上に戻され、レンズ17によって収束された後、ビーム補正コイル(ダイナミックフォーカスコイル23及びダイナミックスティグコイル24)によって偏向補正され、更にブランキング偏向器25の間を通過した後、レンズ26によって断面が縮小され、マスク27の円形状のアパーチャを通過した後、投影レンズ28,29を通してウエハW上に照射される(つまり露光される)。ウエハW上に照射された電子ビームは、主偏向器30によって2mm程度の大偏向領域で偏向され、更に副偏向器31によって100μm程度の小偏向領域で偏向される。この際に、電子ビームをブランキング偏向器25でオン/オフさせ、ウエハW上にパターンを描画していく。
【0009】
以上、ブロック露光方式の電子ビーム露光装置について説明したが、他の露光方式(例えば可変矩形露光方式やブランキング・アパーチャ・アレイ(BAA)露光方式)を用いた電子ビーム露光装置についても、基本的な構成とその作用はブロック露光方式の場合と同じである。
近年の集積回路の高密度化に伴い、ビームの照射回数は、10メガショット/チップ或いは1ギガショット/ウエハにも達している。ここにビームの照射周期は10MHz程度であり、この膨大な量のショットを高速に繰り返しても、スループットの向上には限界がある。これに鑑み、コラムを制御する制御部についてはその処理動作の更なる高速化が要求され、また露光部におけるウエハに塗布されるレジストについては高感度レジストの開発等が急務となっている。
【0010】
電子ビーム露光装置は、フォトリソグラフィ装置に比べて分解能が良いという特徴を有するが、その反面、スループットが低いという問題がある。そこで、スループットを高めるために、前述のマルチコラム電子ビーム露光装置が有効であると考えられている。この場合、単純にコラムの個数を増加させただけでは、従来の単一コラムの電子ビーム露光装置(例えば図1に示すような電子ビーム露光装置)を複数個近接して配置した場合と比べて、スペース的に有利であるが十分なメリットとは言えない。従って、制御部を共通化して複数のコラムで同じパターンを露光させるようにすることが有効である。
【0011】
図2には従来技術に係るマルチコラム電子ビーム露光装置の要部、すなわち主偏向器用のアンプ部に対する整定待ち時間制御部、の構成が示される。
図中、MDD1 〜MDDn は、それぞれ対応するコラムの主偏向器用補正回路(図1の主偏向器用補正回路46参照)から出力される主偏向器用偏向データを示す。また、611 〜61n はそれぞれ対応する主偏向器用偏向データMDD1 〜MDDn に応答する待ち時間決定部、621 〜62n はそれぞれ対応する待ち時間決定部611 〜61n の出力(時間データt1 〜tn )に応答する待ち時間カウンタ、63は待ち時間カウンタ621 〜62n の各出力に応答する露光シーケンスコントローラを示す。この露光シーケンスコントローラ63の機能は、基本的には図1に示す露光シーケンスコントローラ44と同じである。
【0012】
この構成において、待ち時間決定部611 〜61n では、それぞれ対応するコラム毎に各々の主偏向器用偏向データMDD1 〜MDDn とその1個前の主偏向器用偏向データとの差分に基づいて、それぞれ対応する主偏向器用のアンプ部の整定待ち時間(時間データt1 〜tn )を決定し、待ち時間カウンタ621 〜62n では、それぞれ対応する時間データt1 〜tn に基づいてカウント動作を行い、カウントの終了を確認してそれぞれ終了フラグを露光シーケンスコントローラ63に出力し、「待ち時間終了」としていた。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来のマルチコラム電子ビーム露光装置における主偏向器用のアンプ部に対する整定待ち時間制御部の構成では、各コラムに対応してそれぞれ待ち時間決定部611 〜61n 及び待ち時間カウンタ621 〜62n が設けられていたため、回路規模が増大するといった問題があった。
【0014】
また、待ち時間決定部611 〜61n で決定される整定待ち時間は、それぞれ対応する主偏向器用偏向データの差分に基づいているので、例えば第1コラムと第2コラムにおいて同じ差分量の場合には、それぞれ対応する待ち時間カウンタ621 及び622 において同じ時間カウント動作を行うことになる。つまり、二重カウントとなるため、待ち時間カウンタ1個分が無駄になる。
【0015】
本発明は、かかる従来技術における課題に鑑み創作されたもので、各コラム間で同期露光を実現するために必要な主偏向器用のアンプ部に対する整定待ち時間制御部の回路構成を簡素化し、ひいては整定待ち時間制御の効率化に寄与することができる荷電粒子ビーム露光装置を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上述した従来技術の課題を解決するため、本発明によれば、露光パターンデータに応じて被露光試料上で荷電粒子ビームを偏向・走査して該被露光試料上にパターンを描画していくコラムを複数個備えた荷電粒子ビーム露光装置において、各コラム間で同期露光を実現するために必要な主偏向器用のアンプ部の整定待ち時間を制御する制御部を備え、該制御部が、各コラム毎に各々の主偏向器用補正回路から出力される偏向データの変化量を比較してそのうちの最大値を選択する回路と、該選択された最大値の変化量に基づいて全てのコラムに対する整定待ち時間を決定する回路を有することを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置が提供される。
【0017】
本発明に係る荷電粒子ビーム露光装置の構成によれば、偏向データの変化量の最大値を選択した後、その選択された最大値の変化量に基づいて全てのコラムに対する整定待ち時間を決定するようにしているので、従来技術に見られたような「二重カウント」といった無駄なカウント動作を防ぐことができる。また、整定待ち時間を決定する回路(待ち時間決定部)は各コラムに対して1個設けられているのみであるので、回路構成を簡素化することができる。これは、整定待ち時間制御の効率化に大いに寄与するものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
図3は本発明の一実施形態に係るマルチコラム電子ビーム露光装置の要部、すなわち主偏向器用のアンプ部に対する整定待ち時間制御部、の構成を示す。
図中、MDD1 〜MDDn は、各コラムの主偏向器用補正回路(図1の主偏向器用補正回路46参照)から出力される主偏向器用偏向データを示す。また、70は本発明の特徴をなす最大値選択回路を示し、この回路70では、各コラム毎に各々の主偏向器用偏向データMDD1 〜MDDn とその1個前の主偏向器用偏向データとの差分(それぞれΔD1 〜ΔDn とする)を求め、そのうちの最大値ΔDMAX を選択する。差分データΔD1 〜ΔDn は、各コラム毎に、ある時点で出力されるデータをd1、その次に出力されるデータをd2とすると、|d1−d2|=ΔDとして求められる。
【0019】
また、71は待ち時間決定部を示し、最大値選択回路70から選択出力された最大値の差分データΔDMAX に基づいて全てのコラムに対する整定待ち時間(時間データtWT)を決定する回路である。この待ち時間決定部71にはメモリ(図示せず)が内蔵されており、このメモリには、各コラムの主偏向器用のアンプ部の特性に応じてそれぞれ予め設定された整定待ち時間と差分量の関係を示すデータが格納されている。
【0020】
また、72は待ち時間決定部71の出力(時間データtWT)に応答する待ち時間カウンタ、73は待ち時間カウンタ72の出力に応答する露光シーケンスコントローラを示す。この露光シーケンスコントローラ73についても、基本的には図1に示す露光シーケンスコントローラ44と同じ機能を有している。
本実施形態の構成において、各コラムの主偏向器用補正回路から出力された主偏向器用偏向データMDD1 〜MDDn は最大値選択回路70に入力され、各コラム毎に差分データΔD1 〜ΔDn が求められ、そのうちの最大値ΔDMAX が選択出力される。待ち時間決定部71では、内蔵のメモリに格納されている整定待ち時間と差分量の関係を示すデータから、最大値の差分データΔDMAX に応じた整定待ち時間(時間データtWT)を決定する。待ち時間カウンタ72では、整定待ち時間(時間データtWT)に基づいてカウント動作を行い、カウントの終了を確認して終了フラグを露光シーケンスコントローラ73に出力する。つまり、全てのコラムの主偏向器用のアンプ部に対する整定が完了したことを通知する。
【0021】
このように、本実施形態に係るマルチコラム電子ビーム露光装置における主偏向器用のアンプ部に対する整定待ち時間制御部の構成では、図2に示した従来構成との対比からわかるように、最大値選択回路70が付加されているものの、各コラムに対して1個の待ち時間決定部71及び1個の待ち時間カウンタ72が設けられているのみであり、回路構成を相対的に簡素化することができる。これによって、整定待ち時間制御の効率化を図ることが可能となる。
【0022】
また、最大値選択回路70において予め差分データの最大値ΔDMAX を求め、それを待ち時間決定部71に出力し、更に待ち時間カウンタ72に出力しているので、従来技術に見られたような「二重カウント」といった無駄なカウント動作を防ぐことができる。
なお、上述した実施形態ではブロック露光方式を例にとって説明したが、本発明はその要旨からも明らかなように、露光方式の種類に関係なく、例えば可変矩形露光方式やブランキング・アパーチャ・アレイ(BAA)露光方式にも同様に適用され得ることはもちろんである。
【0023】
また、上述した実施形態では荷電粒子ビームとして電子ビームを用いた場合について説明したが、これは、電子ビームに限定されず、例えばイオンビームを用いてもよいことは明らかであろう。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る荷電粒子ビーム露光装置によれば、各コラム間で同期露光を実現するために必要な主偏向器用のアンプ部に対する整定待ち時間制御部の回路構成を簡素化することができ、ひいては整定待ち時間制御の効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ブロック露光方式を用いた電子ビーム露光装置の典型的な一構成例を一部模式的に示した図である。
【図2】従来技術に係るマルチコラム電子ビーム露光装置の要部の構成を示すブロック図である。
【図3】本発明の一実施形態に係るマルチコラム電子ビーム露光装置の要部の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
70…最大値選択回路
71…待ち時間決定部
72…待ち時間カウンタ
73…露光シーケンスコントローラ
MDD1 〜MDDn …各コラムの主偏向器用偏向データ
ΔDMAX …差分データの最大値
twt…ΔDMAX に応じた整定待ち時間(時間データ)
Claims (1)
- 露光パターンデータに応じて被露光試料上で荷電粒子ビームを偏向・走査して前記被露光試料上にパターンを描画していくコラムを複数個備えた荷電粒子ビーム露光装置において、
各コラム間で同期露光を実現するために必要な主偏向器用のアンプ部の整定待ち時間を制御する制御部を備え、該制御部が、各コラム毎に各々の主偏向器用補正回路から出力される偏向データの変化量を比較してそのうちの最大値を選択する回路と、該選択された最大値の変化量に基づいて全てのコラムに対する整定待ち時間を決定する回路を有することを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。
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