JP3982567B2 - テープ貼り方法及び装置 - Google Patents
テープ貼り方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3982567B2 JP3982567B2 JP1017397A JP1017397A JP3982567B2 JP 3982567 B2 JP3982567 B2 JP 3982567B2 JP 1017397 A JP1017397 A JP 1017397A JP 1017397 A JP1017397 A JP 1017397A JP 3982567 B2 JP3982567 B2 JP 3982567B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- frame
- cutter
- workpiece
- adhesive tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば被加工物である半導体ウェーハと、それを支持して搬送し加工等に供するためのリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体ウェーハとフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り装置は、例えば、特開平6−177243号に開示されているものが知られている。このテープ貼り装置1は、図8乃至図10に示すように、テープ送り出し部20とテープ巻き取り部30と、これらの中間に存するテープ貼着領域60と、該テープ貼着領域60においてテープカットのために待機位置と作用位置に移動自在に設けられたテープカッター31と、テープ貼着可動ローラ22と、テープ剥離可動ローラ23,24と、前記テープ貼着領域60に粘着テープの送り方向に直角方向に進退するテーブル40とから概ね構成されている。
【0003】
そして、前記テーブル40が作業領域50(引き出された位置)に位置付けられていて、そのフレーム載置領域41にフレーム80が載置されると共に、ウェーハ70がウェーハ載置領域42に載置される。
【0004】
テーブル40のボタンAを押すと、前記フレーム80とウェーハ70とがテーブル40に吸着され、該テーブル40は矢印90の方向に移動してテープ貼着領域60に進出する。
【0005】
そして、テープ貼着領域60に位置付けられたフレーム80とウェーハ70に粘着テープ2を貼着すべくテープ貼着可動ローラ22を、粘着テープ2の送り出し方向と同方向に往動させ、破線で示すテープ貼着可動ローラ22aの位置に達したら逆方向に復動させて、元の位置に戻す。
【0006】
これにより、粘着テープ2が一点鎖線で示す粘着テープ2aの状態となって前記フレーム80とウェーハ70に貼着される。そして、テープカッター31が作用位置に下降され、そのカッター32が回転軸33を中心に360゜回転され、フレーム80に沿って粘着テープ2を円形状に切断する。この後、テープカッター31は待機領域に戻される。
【0007】
そして、テープカッター31により切断された使用済みの不要となった粘着テープが、テープ剥離可動ローラ23,24の移動によりフレーム80から剥離され、テープ巻き取り部30の巻き取り軸25に巻き取られるとともに、未使用の粘着テープ2をテープ送り出し部20からテープ貼着領域60に引き出す。
【0008】
テーブル40は、作業領域50に退出させられ、粘着テープ2で一体に貼着されたフレーム80とウェーハ70が、作業者によって取り出されて次の工程に移送される。このようにして、テープ貼着工程が繰り返し遂行される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記テープカッター31によって粘着テープ2をフレーム80に沿って切断する際に、該テープカッター31のカッター32の刃先が磨耗等により切れ味が悪かったり、後退していると、図11に示すように、カッター32の刃先とフレーム80との間に僅かな隙間αが生じるようになり、粘着テープ2を完全に切断できないことがある。このような未切断部分があると、使用済みの不要となった粘着テープ2をテープ剥離可動ローラ23,24によってフレーム80から剥がす際の障害となり、テープの未切断部分を無理に剥がしたりするとウェーハ割れの原因となると言う問題点がある。
【0010】
このように、従来例に係るテープ貼り装置には、粘着テープの完全切断を遂行する上において解決すべき課題がある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るテープ貼り方法の上記課題を解決するための要旨は、被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り方法であって、前記被加工物を保持する被加工物保持部と、前記フレームを保持するフレーム保持部とがあり、前記フレーム保持部はその周縁部に前記リング状のフレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、前記被加工物保持部に被加工物を吸着保持させ、前記フレーム保持部にフレームを吸着支持させ、その後前記被加工物とフレームとに粘着テープを貼着し、前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとフレーム保持部で保持されたフレームとが接触することで通電する回路を構成し、前記テープカッターによるテープ切断中において前記回路が非導通となったことでテープの未切断を検出するテープ貼り方法である。
【0012】
本発明に係るテープ貼り装置の要旨は、被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り装置であって、該テープ貼り装置は、未使用テープを供給するテープ供給ローラと、テープを送るテープ送りローラと、使用済みテープを巻き取るテープ巻き取りローラと、被加工物保持部とフレーム保持部とを含み被加工物とフレームとを粘着テープによって一体貼着するテープ貼り部と、作用位置と非作用位置とに位置付けられ作用位置に位置付けられた際に前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとを備え、前記フレーム保持部にはその周縁部にリング状の前記フレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、該テープカッターが作用位置に位置付けられフレームに沿ってテープを切断する際にテープの未切断を電気の非導通によって検出することである。
【0013】
また、前記テープの未切断を検出した際にアラームを発し、オペレータにテープの未切断を知らせること;テープの未切断を検出した際、完全切断するまでテープカッターを作用させることも付加要件として含むものである。
【0014】
本発明のテープ貼り方法によれば、粘着テープを切断するためのテープカッターの刃先が、切断作用中に常にフレームの表面に当接して、完全に粘着テープの切断が遂行されたか否かを回路の非導通によって直ちに判断することが出来る。
また、本発明のテープ貼り装置により、粘着テープを不完全に切断したことが直ぐに判り、完全に切断されるまでテープカッターによってテープ切断を遂行することができるようになり、テープ未切断のままテープ剥離作業がテープ剥離ローラによって行われるのを防止することが出来る。
【0015】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係るテープ貼り方法と装置について図面を参照して説明する。なお、発明の理解容易のため従来例に対応する部分には従来例と同一の符号を付けて説明する。
テープ貼り装置10は、図1に示すように、未使用の粘着テープ2を供給するテープ供給ローラ11と、粘着テープ2を送るテープ送りローラ12と、使用済み粘着テープを巻き取るテープ巻き取りローラ13と、粘着テープ2の送り方向に直角に進退するテーブル40と、テープ貼着領域60においてフレーム80に沿って粘着テープ2を切断するテープカッター31と、を概ね備えて構成されている。
【0016】
作業領域50のテーブル40には、図2に示すように、リング状のフレーム80を載置するフレーム載置領域41と、ウェーハ70を保持する被加工物保持部が形成されたウェーハ載置領域42とが設けられている。前記フレーム80は、図2及び図7に示すように、ウェーハ70の外側周囲を間隙を置いて囲繞している。そして、該テーブル40は、矢印44で示すように、粘着テープ2の送り方向に対して直角方向に進退するように構成され、作業領域50とテープ貼着領域60との間を正面側から往復移動されるものである。
【0017】
また、前記フレーム載置領域41には、その周縁部にフレーム80を吸着して支持する吸引孔41aが適宜間隔を置いて複数配設されているとともに、フレーム80に接触し該フレーム80を介してテープカッター31と電気的導通を図る電気導通部41bが配設されて、フレーム保持部が形成されている。この電気導通部41bを含む回路構成については後述する。
【0018】
装置本体を正面側から見てテープ貼着領域60の右側には、図3に示すように、テープ送り方向に沿って往復移動可能な貼着ローラ22が配設されている。該貼着ローラ22は、略隣接状態にテープ剥離ローラ22aを備えており、テープ送り方向と順方向に移動することで、テープ貼着領域60においてフレーム80とウェーハ70とを粘着テープ2で一体に貼着し、テープ送り方向と逆方向に移動することで、フレームに沿って切断された部分以外の使用済みの粘着テープ2をフレーム80から剥離させるものである。
【0019】
前記テープ貼着領域60におけるテーブル40と対向配置したテープカッター31が、装置本体の上部に配設されている。該テープカッター31には、図3に示すように、カッター基台31dに垂下された上下動自在な回転軸31aと、その回転軸31aの下端部に水平に設けられた支持部材31eと、該支持部材31eの端部にカッター31bとフレームローラ31cとが設けられている。
【0020】
そして、前記テープカッター31とテーブル40の電気導通部41bとが、粘着テープ2の切断作業中に、導電性(例えば、ステンレス製)のフレーム80が介在することで、テープ未切断検出用の回路35が形成されている。
【0021】
そのテープ未切断検出用の回路35の構成は、図4に示すように、例えば、テープカッター31のカッター基台31dから回転軸31a,支持部材31e及びカッター31bへと電気的に導通を図り、カッター31bが粘着テープ2を突き破ってフレーム80に接触することで、更にカッター基台31dと、フレーム80及びこれに接触する電気導通部41bと、電源部41cと、リレー37とが電気的に導通して閉回路が構成される。
【0022】
又、前記テープ未切断検出用の回路35のリレー37に、電源部39とアラーム38を有するアラーム回路36の一部が接続されている。よって、例えば、前記回路35の一部において非導通となって前記リレー37が作動したときに、そのリレー37の作動によってアラーム回路36が閉回路となって通電状態となる。
【0023】
そして、アラーム回路36中のアラーム38が作動し、警報音・光点滅等の警報手段でオペレータ等に知らせるようになっている。
尚、前記アラーム回路36は、テープカッター31がテープ切断作業中においてのみ作動状態になるものである。よって、テープカッター31がテープ切断の作用位置に位置付けられた直後に制御装置によってアラーム回路36が作動状態にされ、テープ切断作業が完全に遂行された後でテープカッター31を非作用位置に後退させる直前に制御装置によって当該アラーム回路36が非作動状態にされるものである。
【0024】
このようにして、テーブル40のフレーム載置領域41とテープカッター31とに、テープ未切断検出用の回路35を設けたテープ貼り装置10によって、粘着テープ2の切断が完全に遂行される様子を説明する。
【0025】
図1乃至図2を参照して説明すると、テープ貼り装置10において作業領域50にあるテーブル40に、フレーム80をフレーム載置領域41に載置して吸着支持させ、ウェーハ70を回路面を下にしてウェーハ載置領域42に載置して吸着支持させ、該テーブル40をテープ貼着領域60に進出させる。
【0026】
テープ貼着領域60において、図3に示す状態から貼着ローラ22及びテープ剥離ローラ22aをテープ送り方向と同一方向に移動させて、テーブル40上のフレーム80とウェーハ70とを粘着テープ2で一体に貼着する。
【0027】
そして、図5に示すように、テープカッター31をテープ切断の作用位置に位置付ける。これにより、テープカッター31におけるカッター31bの先端部が粘着テープ2に押圧し、図6に示すように、粘着テープ2を突き破ってフレーム80に接触し、図4に示したテープ未切断検出用の回路35が閉回路となる。
【0028】
その直後に、アラーム回路36を制御装置により作動状態にして、テープカッター31の回転軸31aを矢印方向に1回転させる。カッター31bがフレーム80に沿って回転し、粘着テープ2を切断する。
【0029】
このカッター31bによる粘着テープ2の切断中において、例えば、カッター31bの刃先が磨耗し切れ味が悪かったり、フレーム80の平坦度のバラツキ(不陸)があったりすると、カッター31bの刃先とフレーム80の表面との間に僅かな間隙が生じる。
【0030】
すると、図4に示したテープ未切断検出用の回路35において、カッター31bとフレーム80との間で電気的導通が遮断され、該回路35のリレー37が働き、それに連動してアラーム回路36が閉回路となり、アラーム38が直ちに作動して、例えば、警報を発する。
【0031】
そして、オペレータは、カッター31bの1回転中において、粘着テープ2を完全に切断することが出来なかったことを知らされるので、再度、カッター31bを1回転させるべくテープ貼り装置10を操作して粘着テープ2を完全に切断するか、又は、刃先の磨耗が著しい場合には古いカッター31bを新しいカッター31bに交換してから、粘着テープ2を完全に切断するものである。
【0032】
このように、テープ未切断検出用の回路35とアラーム回路36とにより、粘着テープの切断作業中に未切断部分が発生したときに、それを回路の非導通によって検出し、当該粘着テープ2の完全切断が確実に達成されるものである。
【0033】
テープカッター31により完全に粘着テープ2を切断した後に、アラーム回路36を制御装置によって非作動状態にしてから、該テープカッター31を非作用位置に後退させる。そして、貼着ローラ22及びテープ剥離ローラ22aをテープ送り方向と逆方向に移動させてテープ貼着領域60における使用済みの不要となった粘着テープ2をフレーム80から剥離させ、その後、該粘着テープ2をテープ送りローラ12によりテープ送り方向に送り出し、粘着テープ2の弛みを取るテープテンション調整部19を介してテープ巻き取りローラ13に巻き取らせる。
【0034】
そして、図7に示すように、フレーム80に沿って完全に切断された粘着テープ2で一体に貼着されたフレーム80とウェーハ70を取り出すべく、テーブル40をテープ貼着領域60から作業領域50へと後退させて、当該フレーム80とウェーハ70とを次の作業工程、例えばダイシング工程に移送させるものである。
【0035】
なお、本発明に係るテープ貼り方法において、テープカッター31のカッター31bを1回転させて粘着テープ2を切断させたときに、アラーム回路36のアラーム38が警報を発した場合には、自動的にカッター31bをもう1回転させるように設定したり、完全切断するまでテープカッターを切断作用させるようにしたりすることが出来るものである。そして、再度の切断を遂行しても未切断部分があってアラームが発生する場合には、カッター31bの交換を促すようにすることもできるものである。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のテープ貼り方法は、被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り方法であって、前記被加工物を保持する被加工物保持部と、前記フレームを保持するフレーム保持部とがあり、前記フレーム保持部はその周縁部に前記リング状のフレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、前記被加工物保持部に被加工物を吸着保持させ、前記フレーム保持部にフレームを吸着支持させ、その後前記被加工物とフレームとに粘着テープを貼着し、前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとフレーム保持部で保持されたフレームとが接触することで通電する回路を構成し、前記テープカッターによるテープ切断中において前記回路が非導通となったことでテープの未切断を検出することにより、カッターの磨耗等で粘着テープに未切断部分があると確実に検出され、テープカッターによる切断作業を完全に遂行することが出来るようになるという優れた効果を奏するものである。
【0037】
本発明に係るテープ貼り装置は、被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り装置であって、該テープ貼り装置は、未使用テープを供給するテープ供給ローラと、テープを送るテープ送りローラと、使用済みテープを巻き取るテープ巻き取りローラと、被加工物保持部とフレーム保持部とを含み被加工物とフレームとを粘着テープによって一体貼着するテープ貼り部と、作用位置と非作用位置とに位置付けられ作用位置に位置付けられた際に前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとを備え、前記フレーム保持部にはその周縁部にリング状の前記フレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、該テープカッターが作用位置に位置付けられフレームに沿ってテープを切断する際にテープの未切断を電気の非導通によって検出するので、粘着テープに未切断部分があるにもかかわらずテープ剥離を遂行してウェーハ割れを引き起こす不都合を防止できるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るテープ貼り装置の斜視図である。
【図2】同本発明のテープ貼り装置におけるテープ貼着領域と作業領域の概略平面図である。
【図3】同本発明のテープ貼り装置の概略構成配置を示す正面図である。
【図4】同本発明のテープ貼り装置における、テープ未切断検出用の回路35とアラーム回路36との概略構成を示す説明図である。
【図5】同本発明のテープ貼り装置で粘着テープをテープカッターで切断する様子を示す説明図である。
【図6】同本発明のテープ貼り装置で粘着テープを切断する際の、粘着テープを突き破ってカッターとフレームとが接触する様子を示す説明図である。
【図7】同本発明のテープ貼り装置において、本発明のテープ貼り方法で完全に粘着テープを切断した後、テーブルを作業領域に後退させて、粘着テープによって一体化したフレームとウェーハを取り出す様子を示す説明図である。
【図8】従来例に係るテープ貼り装置の斜視図である。
【図9】同従例に係るテープ貼り装置によるテープ貼着の様子を示す説明図である。
【図10】同従例に係るテープ貼り装置によるテープ切断の様子を示す説明図である。
【図11】従来例に係るテープ貼り装置において、テープカッターによる粘着テープの切断中に、カッターの刃先とフレームとの間に間隙が生じて未切断部分が生じる様子を示す説明図である。
【符号の説明】
2 粘着テープ、10 テープ貼り装置、11 テープ供給ローラ、
12 テープ送りローラ、 13 テープ巻き取りローラ、
22 貼着ローラ、22a テープ剥離ローラ、31 テープカッター、
31b カッター、31d カッター基台、31e 支持部材、
35 テープ未切断検出用の回路、36 アラーム回路、37 リレー、
38 アラーム、39,41c 電源部、40 テーブル、
41 フレーム載置領域、41b 電気導通部、42 ウェーハ載置領域、
50 作業領域、60 テープ貼着領域、70 ウェーハ、80 フレーム。
Claims (4)
- 被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り方法であって、
前記被加工物を保持する被加工物保持部と、前記フレームを保持するフレーム保持部とがあり、
前記フレーム保持部はその周縁部に前記リング状のフレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、
前記被加工物保持部に被加工物を吸着保持させ、前記フレーム保持部にフレームを吸着支持させ、その後前記被加工物とフレームとに粘着テープを貼着し、
前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとフレーム保持部で保持されたフレームとが接触することで通電する回路を構成し、
前記テープカッターによるテープ切断中において前記回路が非導通となったことでテープの未切断を検出すること、
を特徴とするテープ貼り方法。 - 被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り装置であって、該テープ貼り装置は、未使用テープを供給するテープ供給ローラと、テープを送るテープ送りローラと、使用済みテープを巻き取るテープ巻き取りローラと、被加工物保持部とフレーム保持部とを含み被加工物とフレームとを粘着テープによって一体貼着するテープ貼り部と、作用位置と非作用位置とに位置付けられ作用位置に位置付けられた際に前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとを備え、
前記フレーム保持部にはその周縁部にリング状の前記フレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、該テープカッターが作用位置に位置付けられフレームに沿ってテープを切断する際にテープの未切断を電気の非導通によって検出すること、
を特徴とするテープ貼り装置。 - テープの未切断を検出した際にアラームを発し、オペレータにテープの未切断を知らせる請求項2に記載のテープ貼り装置。
- テープの未切断を検出した際、完全切断するまでテープカッターを作用させる請求項2または3に記載のテープ貼り装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1017397A JP3982567B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | テープ貼り方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1017397A JP3982567B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | テープ貼り方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10209251A JPH10209251A (ja) | 1998-08-07 |
JP3982567B2 true JP3982567B2 (ja) | 2007-09-26 |
Family
ID=11742901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1017397A Expired - Lifetime JP3982567B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | テープ貼り方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3982567B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG92771A1 (en) | 2000-12-19 | 2002-11-19 | Chee Peng Neo | In-process tape bur monitoring |
JP4472316B2 (ja) * | 2003-11-28 | 2010-06-02 | 日東電工株式会社 | 粘着テープ切断方法及び粘着テープ切断装置 |
JP4535907B2 (ja) * | 2005-03-03 | 2010-09-01 | 日東電工株式会社 | 判別機能付き位置決め装置 |
JP4520403B2 (ja) * | 2005-12-09 | 2010-08-04 | リンテック株式会社 | テープ貼付装置及び貼付方法 |
JP4974626B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2012-07-11 | 日東電工株式会社 | 粘着テープ切断方法およびこれを用いた粘着テープ貼付け装置 |
JP4974639B2 (ja) * | 2006-10-20 | 2012-07-11 | 日東電工株式会社 | 粘着テープ切断方法およびこれを用いた装置 |
JP5028233B2 (ja) * | 2007-11-26 | 2012-09-19 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハの保護テープ切断方法および保護テープ切断装置 |
JP5881357B2 (ja) * | 2011-09-28 | 2016-03-09 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及びシート製造装置 |
JP5591267B2 (ja) * | 2012-03-09 | 2014-09-17 | 日東電工株式会社 | 粘着テープ切断方法およびこれを用いた粘着テープ貼付け装置 |
-
1997
- 1997-01-23 JP JP1017397A patent/JP3982567B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10209251A (ja) | 1998-08-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4974639B2 (ja) | 粘着テープ切断方法およびこれを用いた装置 | |
JP4204653B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
JP3982567B2 (ja) | テープ貼り方法及び装置 | |
JP2016001677A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2015233077A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2008115259A (ja) | 貼付用シート | |
JP3250160B2 (ja) | テープ貼り機及びその使用方法 | |
JP2001319906A5 (ja) | ||
EP1679739B1 (en) | Sheet-peeling device and method | |
JP2001319906A (ja) | ウエハ表面保護テープの剥離装置 | |
JP2010080838A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP2008066523A (ja) | 粘着テープ切断方法およびこれを用いた粘着テープ貼付け装置 | |
JP2007019240A (ja) | シート貼付装置 | |
JP4890873B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP2008282989A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5508890B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP4616231B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP4801018B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP5558840B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2003318250A (ja) | 半導体ウエハの不要物除去方法およびその装置 | |
JP2008098278A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP2006186151A (ja) | テープ剥離方法と装置 | |
JP6054616B2 (ja) | シート製造装置及び製造方法、並びに、シート貼付装置 | |
JP2009111056A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5554100B2 (ja) | シート切断方法およびシート切断装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061101 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070604 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070626 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100713 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110713 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110713 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120713 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120713 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130713 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |