JP3978314B2 - プローブ装置及びプローブ固定方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品の特性測定等に用いられるプローブ装置及びプローブ固定方法に関し、特に多連部品の測定に用いるためにプローブを効率よく保持することができるものに関する。
【0002】
【従来の技術】
電子部品の特性を測定する装置として、電子部品の端子にプローブの針端子を接触させて測定を行うプローブ装置が知られている。図5はこのようなプローブ装置の一例を示す縦断面図である。プローブ装置10は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Hに取り付けられたハウジング11を備えている。ハウジング11内には、後述するプローブ20を保持するプローブホルダ12、絶縁プレート13、プローブホルダ12を図4中矢印Z方向(ハウジングの軸方向)に上下動させるプローブホルダアーム14、プローブ回り止めガイド15と、搬送路Hに露出しその上面で電子部品(不図示)の底面を支持するガイドチップ16とが配設されている。また、図5中17はプローブホルダ12の外周側から差し込まれ、プローブ20を固定するセットねじを示している。
【0003】
図5中20はプローブを示している。プローブ20は、スリーブ21と、バレル22と、プローブ針23とを備えている。プローブ針23の先端側には針端子23aが形成され、ガイドチップ16に形成されたガイド孔16aにより電子部品の端子に接触するように往復動自在に案内されている。なお、プローブ針23の針端子23aは微小なガイドチップ16のガイド孔16aと嵌合されているため、各プローブはガイドチップ16、プローブホルダ12等に対し固有の傾斜角を有している。
【0004】
このように構成されたプローブ装置10では、プローブホルダアーム14を介してプローブホルダ12を上下に動かすことでプローブ針23の針端子23aを電子部品の端子に接触させている。プローブホルダ12の上下動幅とプローブ針23が上下動できる幅との差は、バレル22内に設けられたスプリングによって吸収するようになっている。
【0005】
次に、プローブ装置10の組み立て方法について説明する。絶縁プレート13、プローブ回り止めガイド15とともにプローブホルダ12をプローブホルダアーム14にねじ止めし、プローブホルダ12に設けたプローブ挿入孔12aにプローブ20をそのプローブ針23側から差し込んで、絶縁プレート13にスリーブ21を当接させる。次に、セットねじ17により、プローブホルダ12に堅くねじ嵌合することでスリーブ21をプローブホルダ12に固定する。そして、ガイドチップ16上を電子部品が支障なく通過できるように、針端子23aをガイドチップ16の上面より少し下げるとともに、プローブホルダアーム14を上げた時、電子部品の端子に針端子23aが接触するようにバレル22を回転して調整していた。
【0006】
上述したように各プローブ20はプローブホルダ12の外周壁側からセットねじ17をねじ込んで固定することから、プローブ20とプローブホルダ12の外周壁との間に別のプローブ20を配置することはできない。このため、プローブ20は1列乃至2列あるいはコの字形乃至ロの字形に配置することになる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のプローブホルダを備えたプローブ装置であると次のような問題があった。すなわち、最近の電子部品の多連化に伴い、測定に必要なプローブ20の本数が増えている。このため、上述したようにプローブ20を配置しようとすると、プローブホルダ12を大きくしなくてはならない。また、プローブホルダ12が大きくなると、ガイドチップ16に対するプローブ針23の傾斜角度が大きくなるため、プローブ20の動作不良、プローブ針23が破損する等の虞があった。
【0008】
そこで本発明は、プローブホルダを大型化することなく多くのプローブを効率よく保持することができるプローブ装置を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、本発明のプローブ装置及びプローブ固定方法は次のように構成されている。
【0010】
(1)ワークにプローブの針端子を接触させてその特性を測定するためのプローブ装置において、筒状に形成されたハウジングと、このハウジングの一方の開口端側に設けられ前記ワークを支持するとともに、前記針端子を案内するワーク支持部と、このハウジングの他方の開口端側に形成され、前記プローブを保持するプローブホルダとを備え、前記プローブホルダは、ホルダ本体と、このホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される貫通孔と、この貫通孔の前記一方の開口端側に設けられたガイド孔と、前記他方の開口端側に設けられ前記プローブを係止する座ぐり部と、前記ガイド孔と前記座ぐり部との間に形成された雌ねじ部とを具備し、前記プローブは、前記ガイド孔に嵌合する基準シャフト部と、前記プローブ本体の外周に設けられ前記雌ねじ部に螺合する調整ねじ部と、この調整ねじ部に螺合するとともに前記座ぐり部に係止される固定部材とを具備していることを特徴とする。
【0011】
(2)前記(1)に記載されたプローブ装置であって、前記ガイド孔は、前記雌ねじと同心に形成されていることを特徴とする。
【0012】
(3)前記(2)に記載されたプローブ装置であって、前記ガイド孔は、前記雌ねじの下穴として形成されていることを特徴とする。
【0013】
(4)前記(1)に記載されたプローブ装置であって、前記座ぐりの座面は前記雌ねじの軸心に直交していることを特徴とする。
【0014】
(5)その先端側に基準シャフト、中間部の外周面に調整ねじが形成されるとともに、前記調整ねじに螺合する固定ナットを有するプローブを、内部に雌ねじが形成され、かつ、前記雌ねじの一端側に前記雌ねじと同心のガイド孔及び他端側に座ぐりが設けられたプローブホルダに挿入固定するプローブ固定方法において、前記調整ねじを前記座ぐり側から前記雌ねじに螺合させる螺合工程と、前記プローブの基準シャフトを前記ガイド孔に嵌合させる嵌合工程と、前記固定部材を前記座ぐりに係止させて締結する締結工程とを備えていることを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一実施の形態に係るプローブ装置30を示す縦断面図、図2は同プローブ装置30の側面図、図3は同プローブ装置30に組み込まれたプローブホルダ40を示す底面図、図4は同プローブ装置30により電子部品Wの電極Waにプローブの針端子を当接した説明図である。
【0016】
プローブ装置30は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Hに取り付けられたハウジング31を備えている。ハウジング31内には、図中下方からプローブホルダ40、絶縁プレート33、プローブホルダ40を図1中矢印Z方向(ハウジングの軸方向)に上下動させるプローブホルダアーム34、プローブ回り止めガイド35と、搬送路Hに露出しその上面で電子部品Wの底面を支持するガイドチップ36とが配設されている。
【0017】
プローブホルダ40は、ホルダ本体41を備え、このホルダ本体41には、ホルダ本体41を上下方向(ハウジングの軸方向)に貫通する複数の貫通孔42が形成されている。これら貫通孔42は図3に示すように密着して配置されている。貫通孔42は、図2の下側から座ぐり部43、雌ねじ部44と、この雌ねじ部44の下穴として形成され、かつ、同心的に形成されたガイド孔45とから成っている。なお、座ぐり部43の座面43aは雌ねじ部44の軸心と直交している。
【0018】
プローブ50は、プローブ本体51を備えている。このプローブ本体51の図中下端には接続端子52、上端にはガイド孔45に嵌合する基準シャフト53が設けられている。プローブ本体51外周面には、調整ねじ51aが形成されており、固定ナット54が螺合している。基準シャフト53にはプローブ針55の基端部が取り付けられており、プローブ針55の先端側には針端子55aが形成され、ガイドチップ36に形成されたガイド孔36aにより電子部品Wの端子に接触するように往復動自在に案内されている。
【0019】
このように構成されたプローブ装置30は、次のようにして組み立てられる。すなわち、絶縁プレート33、プローブ回り止めガイド35とともにプローブホルダ40をプローブホルダアーム34にねじ止めする。
【0020】
次に、プローブ50をプローブホルダ40に組み付ける。プローブ50のプローブ針55をプローブホルダ40の貫通孔42の座ぐり部43側から挿入する。ガイド孔45に基準シャフト53を通し、雌ねじ部44に調整ねじ51aを螺合させる。針端子55aが測定部において所定の突出量になるよう、調整ねじ51aによる雌ねじ部44への螺合量を調整して微調整を行う。針端子55aの位置が決まった時点で、固定ナット54を回転させて座ぐり部43に当接させて固定する。このガイド孔45は新しく設けても良く、雌ねじ部44の下孔であってもよい。
【0021】
ガイド孔45に基準シャフト53が精密嵌合し、かつ、固定ナット54の上端面が座ぐり部43に締め込まれているので、調整ねじ51aの心出しができた状態でプローブ50がプローブホルダ40に取り付けられる。同様にして全てのプローブ50をプローブホルダ40に組み付ける。
【0022】
このように構成されたプローブ装置30では、プローブホルダ40にプローブ50を外周部からのねじ止めする必要がないため、1列乃至2列あるいはコの字形乃至ロの字形に配置する必要がない。すなわち、プローブホルダ40の任意の位置に貫通孔42を取り付けることができる。したがって、プローブホルダ40を大型にすることなく、多数のプローブ50を保持することが可能である。このため、ガイドチップ36に対するプローブ針55の傾斜角度を小さくできることとなり、プローブ50の動作不良、プローブ針55の破損等を防止することが可能である。また、図4は本発明のプローブ装置30により電子部品Wの電極Waにプローブ50の針端子55aを当接させたものである。
【0023】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
【0024】
【発明の効果】
本発明によれば、プローブホルダを大型化することなく多くのプローブを効率よく保持することができるプローブ装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係るプローブ装置を示す縦断面図。
【図2】同プローブ装置に組み込まれたプローブホルダの要部及びプローブを示す縦断面図。
【図3】同プローブ装置に組み込まれたプローブホルダを示す底面図。
【図4】同プローブ装置により電子部品の電極にプローブの針端子を当接した説明図。
【図5】従来のプローブ装置を示す縦断面図。
【符号の説明】
30…プローブ装置
31…ハウジング
36…ガイドチップ
40…プローブホルダ
42…貫通孔
43…座ぐり部
44…雌ねじ部
45…ガイド孔
50…プローブ
51…プローブ本体
51a…調整ねじ
53…基準シャフト
54…固定ナット
Claims (5)
- ワークにプローブの針端子を接触させてその特性を測定するためのプローブ装置において、
ハウジングと、
このハウジングの一方に設けられ前記ワークを支持するとともに、前記針端子を案内するワーク支持部と、
このハウジングの他方に形成され、前記プローブを保持するプローブホルダとを備え、
前記プローブホルダは、ホルダ本体と、
このホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される貫通孔と、
この貫通孔の前記一方に設けられたガイド孔と、
前記他方に設けられ前記プローブを係止する座ぐり部と、
前記ガイド孔と前記座ぐり部との間に形成された雌ねじ部とを具備し、
前記プローブは、前記ガイド孔に嵌合する基準シャフト部と、
前記プローブ本体の外周に設けられ前記雌ねじ部に螺合する調整ねじ部と、
この調整ねじ部に螺合するとともに前記座ぐり部に係止される固定部材とを具備していることを特徴とするプローブ装置。 - 前記ガイド孔は、前記雌ねじと同心に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記ガイド孔は、前記雌ねじの下穴として形成されていることを特徴とする請求項2に記載のプローブ装置。
- 前記座ぐり部の座面は前記雌ねじの軸心に直交していることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- その先端側に基準シャフト、中間部の外周面に調整ねじが形成されるとともに、前記調整ねじに螺合する固定ナットを有するプローブを、内部に雌ねじが形成され、かつ、前記雌ねじの一端側に前記雌ねじと同心のガイド孔及び他端側に座ぐりが設けられたプローブホルダに挿入固定するプローブ固定方法において、
前記調整ねじを前記座ぐり側から前記雌ねじに螺合させる螺合工程と、
前記プローブの基準シャフトを前記ガイド孔に嵌合させる嵌合工程と、
前記固定部材を前記座ぐりに係止させて締結する締結工程とを備えていることを特徴とするプローブ固定方法。
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