JP3862963B2 - プローブ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品の特性測定等に用いられるプローブ装置に関し、特に多連部品の測定に用いるためにプローブを効率よく保持することができるものに関する。
【0002】
【従来の技術】
電子部品の特性を測定する装置として、電子部品の端子にプローブの針端子を接触させて測定を行うプローブ装置が知られている。図4はこのようなプローブ装置の一例を示す縦断面図である。プローブ装置10は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Hに取り付けられたハウジング11を備えている。ハウジング11内には、後述するプローブ20を保持するプローブホルダ12、絶縁プレート13、プローブホルダ12を図4中矢印Z方向(ハウジングの軸方向)に上下動させるプローブホルダアーム14、プローブ回り止めガイド15と、搬送路Hに露出しその上面で電子部品(不図示)の底面を支持するガイドチップ16とが配設されている。また、図4中17はプローブホルダ12の外周側から差し込まれ、プローブ20を固定するセットねじを示している。
【0003】
図4中20はプローブを示している。プローブ20は、スリーブ21と、バレル22と、プローブ針23とを備えている。プローブ針23の先端側には針端子23aが形成され、ガイドチップ16に形成されたガイド孔16aにより電子部品の端子に接触するように往復動自在に案内されている。
【0004】
このように構成されたプローブ装置10では、プローブホルダアーム14を介してプローブホルダ12を上下に動かすことでプローブ針23の針端子23aを電子部品の端子に接触させている。プローブホルダ12の上下動幅とプローブ針23が上下動できる幅との差は、バレル22内に設けられたスプリングによって吸収するようになっている。
【0005】
次に、プローブ装置10の組み立て方法について説明する。絶縁プレート13、プローブ回り止めガイド15とともにプローブホルダ12をプローブホルダアーム14にねじ止めし、プローブホルダ12に設けたプローブ挿入孔12aにプローブ20をそのプローブ針23側から差し込んで、絶縁プレート13にスリーブ21を当接させる。次に、セットねじ17により、プローブホルダ12に堅くねじ嵌合することでスリーブ21をプローブホルダ12に固定する。そして、ガイドチップ16上を電子部品が支障なく通過できるように、バレル22を回転して針端子23aをガイドチップ16の上面より少し下げるとともに、プローブホルダアーム14を上げた時電子部品の端子に針端子23aが接触するようにバレル22を回転させ調整していた。
【0006】
上述したように各プローブ20はプローブホルダ12の外周壁側からセットねじ17をねじ込んで固定することから、プローブ20とプローブホルダ12の外周壁との間に別のプローブ20を配置することはできない。このため、プローブ20は1列乃至2列あるいはコの字形乃至ロの字形に配置することになる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のプローブホルダを備えたプローブ装置であると次のような問題があった。すなわち、最近の電子部品の多連化に伴い、測定に必要なプローブ20の本数が増えている。このため、上述したようにプローブ20を配置しようとすると、プローブホルダ12を大きくしなくてはならない。また、プローブホルダ12が大きくなると、ガイドチップ16に対するプローブ針23の傾斜角度が大きくなるため、プローブ20の動作不良、プローブ針23が破損する等の虞があった。
【0008】
そこで本発明は、プローブホルダを大型化することなく多くのプローブを効率よく保持することができるプローブ装置を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、本発明のプローブ装置は次のように構成されている。
【0010】
(1)ワークにプローブの針端子を接触させてその特性を測定するためのプローブ装置において、ハウジングと、このハウジングの一方の開口端側に設けられ前記ワークを支持するとともに、前記針端子を案内するワーク支持部と、このハウジングの他方の開口端側に形成され、前記プローブの基端部を保持するプローブホルダと、前記ワーク支持部と前記プローブホルダとの間に配置され、前記ハウジングに固定されたプローブホルダアームとを備え、前記プローブホルダは、ホルダ本体と、このホルダ本体の外周部側に設けられるとともに、前記ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される外側プローブ挿入孔と、前記ホルダ本体の中心部側に設けられるとともに、前記ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される内側プローブ挿入孔と、前記ホルダ本体の前記他方の開口端側から形成された凹部と、この凹部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記内側プローブ挿入孔に挿入された前記プローブを前記ホルダ本体に固定する固定部材とを備えていることを特徴とする。
【0011】
(2)前記(1)に記載されたプローブ装置であって、前記凹部は、前記内側プローブ挿入孔の少なくとも一部に切り込んで形成されていることを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一実施の形態に係るプローブ装置30を示す縦断面図、図2は同プローブ装置30の側面図、図3は同プローブ装置30に組み込まれたプローブホルダ40を示す底面図である。なお、これらの図において図4と同一機能部分には同一符号を付した。
【0013】
プローブ装置30は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Hに取り付けられたハウジング31を備えている。ハウジング31内には、図中下方からプローブホルダ40、絶縁プレート33、プローブホルダ40を図1中矢印Z方向(ハウジングの軸方向)に上下動させるプローブホルダアーム34、プローブ回り止めガイド35と、搬送路Hに露出しその上面で電子部品(不図示)の底面を支持するガイドチップ36とが配設されている。また、図1中50はプローブホルダ40の外周側から後述するねじ孔45にねじ込まれ、プローブ20を固定するセットねじを示している。
【0014】
図1中20はプローブを示している。プローブ20は、スリーブ(基端部)21と、バレル22と、プローブ針23とを備えている。プローブ針23の先端側には針端子23aが形成され、ガイドチップ36に形成されたガイド孔36aにより電子部品の端子に接触するように往復動自在に案内されている。
【0015】
プローブホルダ40は、図3に示すように、板状の本体部41と、この本体部41をガイドチップ36のガイド孔36aに略そ向き傾斜して貫通するそれぞれ8個ずつ設けられた外側プローブ挿入孔42及び内側プローブ挿入孔43とを備えている。本体部41は、側壁41a〜41dを有しており、側壁41cから側壁41a側にかけてテーパ状の溝44(凹部)が形成されている。
【0016】
溝44は内側プローブ挿入孔43とδだけ重なって形成されている。さらに、側壁41b,41dから外側プローブ挿入孔42までねじ孔45が形成されている。なお、溝44にはテーパ状の溝と嵌合する断面が台形をした固定部材46が取り付けられており、ボルト47により、プローブホルダアーム34、絶縁プレート33、プローブホルダ40と一体に締結されている。
【0017】
次に、プローブ装置30の組み立て方法について説明する。絶縁プレート33、プローブ回り止めガイド35とともにプローブホルダ40をプローブホルダアーム34一体にねじ止め締結する。プローブホルダ40の外側プローブ挿入孔42及び内側プローブ挿入孔43にプローブ20をそのプローブ針23側から差し込んで、絶縁プレート33にスリーブ21を当接させる。次に、セットねじ50をねじ孔45に差し込んで外側プローブ挿入孔42内のプローブ20を固定する。最後に、溝44内に断面が台形をした固定部材46を差し込み、内側プローブ挿入孔43内のプローブ20をボルト47により固定する。
【0018】
そして、プローブホルダアーム34を図1中矢印Z方向に図示しない駆動源で上下動させることにより、ガイドチップ36上を電子部品が支障なく通過できるように、針端子23aをガイドチップ36の上面より少し下げるとともに、上げた時電子部品の端子に針端子23aが接触するように調整する。
【0019】
このように構成されたプローブ装置30では、プローブホルダ40にプローブ20を固定させる際に、外周部からのねじ止めの他に、内側から固定部材46にてプローブ20を固定することができる。このため、プローブホルダ40に外側2列及び内側2列の合計4列にてプローブ20を保持させることができる。したがって、プローブホルダ40を大型にすることなく、多数のプローブ20を保持することが可能である。このため、ガイドチップ36に対するプローブ針23の傾斜角度を小さくできることとなり、プローブ20の動作不良、プローブ針23の破損等を防止することが可能である。
【0020】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
【0021】
【発明の効果】
本発明によれば、プローブホルダを大型化することなく多くのプローブを効率よく保持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係るプローブ装置を示す縦断面図。
【図2】同プローブ装置の側面図。
【図3】同プローブ装置に組み込まれたプローブホルダを示す底面図。
【図4】従来のプローブ装置を示す縦断面図。
【符号の説明】
20…プローブ
30…プローブ装置
31…ハウジング
36…ガイドチップ
40…プローブホルダ
42…外側プローブ挿入孔
43…内側プローブ挿入孔
44…溝
45…ねじ孔
46…固定部材
Claims (2)
- ワークにプローブの針端子を接触させてその特性を測定するためのプローブ装置において、
ハウジングと、
このハウジングの一方の開口端側に設けられ前記ワークを支持するとともに、前記針端子を案内するワーク支持部と、
このハウジングの他方の開口端側に形成され、前記プローブの基端部を保持するプローブホルダと、
前記ワーク支持部と前記プローブホルダとの間に配置され、前記ハウジングに固定されたプローブホルダアームとを備え、
前記プローブホルダは、
ホルダ本体と、
このホルダ本体の外周部側に設けられるとともに、前記ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される外側プローブ挿入孔と、
前記ホルダ本体の中心部側に設けられるとともに、前記ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される内側プローブ挿入孔と、
前記ホルダ本体の前記他方の開口端側から形成された凹部と、
この凹部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記内側プローブ挿入孔に挿入された前記プローブを前記ホルダ本体に固定する固定部材とを備えていることを特徴とするプローブ装置。 - 前記凹部は、前記内側プローブ挿入孔の少なくとも一部に切り込んで形成されていることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001087066A JP3862963B2 (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | プローブ装置 |
TW091105005A TWI303716B (ja) | 2001-03-26 | 2002-03-15 | |
KR10-2002-0015666A KR100452144B1 (ko) | 2001-03-26 | 2002-03-22 | 프로브장치 |
CNB02107853XA CN1173185C (zh) | 2001-03-26 | 2002-03-25 | 测头装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001087066A JP3862963B2 (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | プローブ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002286748A JP2002286748A (ja) | 2002-10-03 |
JP3862963B2 true JP3862963B2 (ja) | 2006-12-27 |
Family
ID=18942359
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001087066A Expired - Lifetime JP3862963B2 (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | プローブ装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3862963B2 (ja) |
KR (1) | KR100452144B1 (ja) |
CN (1) | CN1173185C (ja) |
TW (1) | TWI303716B (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4335350A (en) * | 1980-05-23 | 1982-06-15 | Chen James T C | Apparatus for probing semiconductor wafers |
JP2000266779A (ja) * | 1999-03-18 | 2000-09-29 | Toshiba Corp | マルチプローブユニット |
TW533309B (en) * | 1999-06-22 | 2003-05-21 | Nihon Micronics Kk | Probe device |
-
2001
- 2001-03-26 JP JP2001087066A patent/JP3862963B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-03-15 TW TW091105005A patent/TWI303716B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-03-22 KR KR10-2002-0015666A patent/KR100452144B1/ko active IP Right Grant
- 2002-03-25 CN CNB02107853XA patent/CN1173185C/zh not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100452144B1 (ko) | 2004-10-08 |
CN1173185C (zh) | 2004-10-27 |
CN1376926A (zh) | 2002-10-30 |
TWI303716B (ja) | 2008-12-01 |
JP2002286748A (ja) | 2002-10-03 |
KR20020076123A (ko) | 2002-10-09 |
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A621 | Written request for application examination |
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