JP3971081B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空中で種々の基板に所定の処理を行う真空処理装置に関し、特に基板を搬送するための基板搬送機構を備えた真空処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図7は、従来の真空処理装置の一例を示す概略構成図である。
図7に示すように、この真空処理装置101は、搬送室102を中心としてその周囲に仕込取出室103、第1の処理室104、第2の処理室105、第3の処理室106、第4の処理室107等が配設されている。
【0003】
これらの搬送室102、仕込取出室103、第1〜第4の処理室104〜107は気密に接続され、独立して真空雰囲気を維持できるように構成されている。
【0004】
また、搬送室102内には基板搬送機構108が配設され、この基板搬送機構108によって搬送室102、仕込取出室103及び第1〜第4の処理室104〜107間において、成膜及びエッチング対象物である基板(図示せず)の搬出入を自由に行えるようになっている。
【0005】
このような真空処理装置101を用いて基板の表面の処理を行う場合には、基板を仕込取出室103内に装填し、真空処理装置101の内部を真空雰囲気にした後、基板搬送機構108によって基板を第1の処理室104内に移送する。そして、第1の処理室104内において所定の処理を行った後、基板搬送機構108によって基板を第2の処理室内に移送する。さらに、順次、基板を第2の処理室105〜第4の処理室107内に移送して所定の処理を行った後、仕込取出室103内に基板を移送する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の真空処理装置101においては、次のような問題があった。
すなわち、従来の真空処理装置101の場合、各処理室104〜107について頻繁に大気開放及び真空排気を行わないようにするため基板搬送機構108を有する搬送室102を設ける必要があることから、装置の設置スペースが大きくなるとともに、基板搬送機構108の構成が複雑になるという問題があった。
【0007】
また、このような従来技術の構成では、タクトタイムを短くすることが困難で、しかも大型基板への対応が困難になっていた。
【0008】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、設置スペースが小さく、簡素な構成の基板搬送機構を有する真空処理装置を提供することにある。
【0009】
また、本発明の他の目的は、タクトタイムが短く、大型基板に対応可能な真空処理装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためになされた本発明は、それぞれ仕切りバルブを介して隣接して直線的に配設された複数の処理室と、該処理室のうち所定の処理室に対して隣接配置され、仕切りバルブによって該所定の処理室に対して仕切られるように構成された収容部と、処理対象物を支持する支持部が前記収容部に収容され、かつ、該収容部と前記所定の処理室と該所定の処理室に隣接配置された処理室との間を移動可能に構成された基板搬送機構とを備えたことを特徴とする真空処理装置である。
本発明では、前記複数の処理室のうち複数の所定の処理室に対して前記収容部がそれぞれ隣接配置され、前記支持部が前記収容部のそれぞれに収容され、かつ、該収容部と前記所定の処理室と該所定の処理室に隣接配置された処理室との間を移動可能に構成された基板搬送機構を備えることもできる。
本発明の場合、隣接して直線的に配設された複数の処理室のうち所定の処理室に対して隣接配置された収容部とこの所定の処理室とこの所定の処理室に隣接配置された処理室の間を基板搬送機構の支持部を移動可能にするとともに、当該所定の処理室と収容部とを仕切りバルブによって仕切るように構成したことから、仕込取出室と処理室とを兼ねることができ、これによりインライン方式の真空処理装置において仕込取出室を省略して装置の設置スペースを小さくすることができる。また、本発明によれば、タクトタイムを短縮することが可能になる。
また、本発明において、基板搬送機構が処理室の基板搬送方向両側部に設けられている場合には、基板搬送機構の支持部によって基板の両縁部を支持することができるため、基板搬送機構の構成を簡素なものとすることができることに加え、大型の基板を確実に支持することができる。
さらにまた、本発明において、基板搬送機構が複数の支持部を有している場合には、例えば各処理室に設けられている複数の基板昇降機構と組み合わせることによって、複数の基板の搬送(搬入及び搬出)を同時に行うことができ、これにより更に処理のタクトタイムを短縮することが可能になる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る真空処理装置の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本実施の形態の真空処理装置の概略構成を示す平面図である。
図1に示すように、本実施の形態の真空処理装置1は、基板(処理対象物)2の搬入及び搬出を行うとともに所定の真空処理を行う第1の処理室3を有しており、この第1の処理室3は、図示しない真空排気系に接続されている。また、第1の処理室3内には、基板2を昇降させるための基板昇降機構30が配設されている。
【0012】
本実施の形態の場合、基板昇降機構30は、2種類の基板昇降機構30a、30bからなり、例えば、特開平8−203986号公報に記載されたプロセス室における基板受け渡し機構と同様の構成のものが用いられる。
【0013】
ここで、第1の処理室3の大気側近傍には、昇降自在のハンド50を有する大気側基板搬送ロボット5が配設されている。そして、第1の処理室3の大気側基板搬送ロボット5側の部位には、ロボット側仕切りバルブ31が設けられている。
【0014】
また、第1の処理室3の大気側基板搬送ロボット5と反対側には、第1の処理室3と異なる処理を行う第2の処理室4が設けられている。この第2の処理室4は、処理室側仕切りバルブ32を介して第1の処理室3と接続されている。また、第2の処理室4内には、基板2を昇降させるための基板昇降機構40が配設されている。
【0015】
この基板昇降機構40は、2種類の基板昇降機構40a、40bからなり、上述した基板昇降機構30a、30bと同様の構成を有している。
【0016】
そして、本実施の形態にあっては、第1の処理室3の両側部に、以下に説明するような基板搬送機構6が配設されている。
【0017】
図2は、本実施の形態における基板搬送機構の構成を示す斜視図である。
図2に示すように、本実施の形態の基板搬送機構6は、第1の処理室3に連通された収容ケース(収容部)60を有し、この収容ケース60内に配置された搬送部61と、収容ケース60の外部に配置された駆動部62とから構成されている。
【0018】
この収容ケース60は、図示しない真空排気系に接続されるとともに、図1に示すように、搬送機構側仕切りバルブ63により第1の処理室3に対して仕切られるように構成されている。
【0019】
また、図2に示すように、基板搬送機構6の搬送部61と駆動部62とはベローズ継手64を介して連結され、これにより搬送部61が真空雰囲気中で移動できるようになっている。
【0020】
搬送部61には、第1の処理室3から第2の処理室4に向かう方向(Y方向)に延びるボールねじ66が設けられている。
【0021】
このボールねじ66は、所定のガイド部材65によってX方向(Y方向と直交する方向)又はその反対方向に移動できるように支持され、駆動部62に配置されたモータ69の動力によって正逆方向に回転するように構成されている。
【0022】
そして、ボールねじ66には、ガイド機構67を介して基板搬送アーム(支持部)68が取り付けられている。
【0023】
この基板搬送アーム68は、駆動部62に配置されたシリンダー70の駆動によって、ガイド部材65に沿って矢印X方向及びその反対方向に移動できるように構成されている。
【0024】
また、基板搬送アーム68は、ボールねじ66の回転によって矢印Y方向に動作して第1の処理室3と第2の処理室4との間を往復できるように構成されている。
【0025】
図2に示すように、本実施の形態の基板搬送アーム68は、ボールねじ66に対して平行に延びるL字状の上段アーム68aと下段アーム68bを有し、これら上段アーム68aと下段アーム68bのそれぞれに基板2(2a、2b)を載置できるようになっている。
【0026】
図3(a)〜(c)及び図4(d)〜(f)は、本実施の形態の動作を示す説明図である。
本実施の形態において真空処理を行う場合には、まず、第1の処理室3が大気圧の状態で大気側基板搬送ロボット5によってローディングカセット(図示せず)から基板2を受け取る。この時点では、第1の処理室3の搬送機構側仕切りバルブ63を閉じておく。
【0027】
次いで、第1の処理室3のロボット側仕切りバルブ31を開くとともに、大気側基板搬送ロボット5のハンド50を旋回させ、図3(a)(b)に示すように、未処理の基板2bを第1の処理室3内に挿入する。
【0028】
そして、第1の処理室3内の基板昇降機構30aを上昇させ、未処理の基板2bを大気側基板搬送ロボット5のハンドより高い位置に持ち上げる。
【0029】
この状態で大気側基板搬送ロボット5のハンド50を第1の処理室3から取り出してロボット側仕切りバルブ31を閉じ、第1の処理室3の真空排気を開始する。そして、所定の圧力に到達した後に、搬送機構側仕切りバルブ63を開き、基板搬送機構6のシリンダー70を駆動することにより、図3(c)に示すように、基板搬送アーム68を第1の処理室3内に挿入する。
【0030】
さらに、第1の処理室3内の基板昇降機構30aを下降させ、搬送部61の基板搬送アーム68の下段アーム68bに未処理の基板2bを載せる。
【0031】
この状態で処理室側仕切りバルブ32を開き、基板搬送機構6のモータ69を駆動してボールねじ66を回転させる。これにより、図4(d)に示すように、未処理の基板2bを載せた基板搬送アーム68が矢印Y方向に移動し、第2の処理室4内に挿入される。
【0032】
この場合、第2の処理室4室内では、基板昇降機構40bを駆動し基板受け用のフックの回転と上昇により処理済みの基板2aを上昇させておく。そして、基板搬送アーム68が第2の処理室4内に挿入された後に、一方の基板昇降機構40bを下降させて基板搬送アーム68の上段アーム68aに処理済みの基板2aを載せるとともに、他方の基板昇降機構40aによって未処理の基板2bを上昇させて基板搬送アーム68上から離脱させる。
【0033】
その後、図4(e)に示すように、基板搬送アーム68を第2の処理室4から第1の処理室3に移動させ、処理側仕切りバルブ32を閉じる。そして、第2の処理室4において所定の処理を行う。
【0034】
一方、第1の処理室3内においては、処理済みの基板2aを基板昇降機構30bを駆動し基板受け用のフックの回転と上昇によって上昇させてこれを支持するとともに、図4(f)に示すように、基板搬送アーム68を第1の処理室3から収容ケース60に移動させる。そして、搬送機構側仕切りバルブ63を閉じるとともに、必要に応じて第1の処理室3内にて再処理を行い、その後ベントを行ってロボット側仕切りバルブ31を開く。
【0035】
以上述べたように本実施の形態にあっては、第1の処理室3に対して隣接配置された収容ケース60と第1の処理室3との間を基板搬送機構6の基板搬送アーム68を移動可能にするとともに、第1の処理室3と収容ケース60とを搬送機構側仕切りバルブ63によって仕切るようにしたことから、仕込取出室と処理室とを兼ねることができ、これにより仕込取出室を省略して装置の設置スペースを小さくすることができ、また、タクトタイムを短縮することができる。
【0036】
また、本実施の形態の場合、基板搬送機構6は第1の処理室3の両側部に配設されているため、大気側基板搬送ロボット5の動作が遮られることはない。
【0037】
さらに、本実施の形態の基板搬送機構6は、基板搬送アーム68によって基板2の両縁部を支持するものであるため簡素な構成であり、しかも大型の基板を確実に支持することができるものである。
【0038】
さらにまた、本実施の形態にあっては、上段アーム68a及び下段アーム68bによって2枚の基板2a、2bを同時に搬送することができるので、処理のタクトタイムをきわめて短くすることができる。
【0039】
図5(a)〜(c)は、本発明に係る真空処理装置の他の実施の形態の概略構成を示すものであり、以下、上記実施の形態と対応する部分については、同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
【0040】
図5(a)に示すように、本実施の形態の真空処理装置1Aにあっては、3つ以上(例えば5つ)の処理室3A〜3Eが隣接して直線的に配列されている。そして、一つ置きの処理室、すなわち、第1の処理室3A、第3の処理室3C及び第5の処理室3Eの両側部に、図示しない仕切りバルブを介して上記同様の基板搬送機構6(6A、6C、6E)が設けられている。
【0041】
ここで、基板2の搬入及び搬出は、第1の処理室3において行うようになっている。また、各処理室3A〜3Eの間には、図示しない仕切りバルブが配設されている。
【0042】
図5(b)に示すように、本実施の形態の場合は、第1の処理室3Aの両側部に設けられた基板搬送機構6Aの基板搬送アーム68Aが第1の処理室3Aから第2の処理室3Bへ挿入できるように、また、第5の処理室3Eの両側部に設けられた基板搬送機構6Eの基板搬送アーム68Eが第5の処理室3Eから第4の処理室3Dへ挿入できるように構成されている。
【0043】
一方、図5(c)に示すように、第3の処理室3Cの両側部に設けられた基板搬送機構6Cは、それぞれ第3の処理室3Cから第2の処理室3Bに挿入可能な基板搬送アーム68C1と、第3の処理室3Cから第4の処理室3Dに挿入可能な基板搬送アーム68C2を有している。
【0044】
このような構成を有する本実施の形態によれば、インライン方式の真空処理装置1Aにおいて仕込室及び取出室を省略することができるため、装置の設置スペースを小さくすることができるとともに、タクトタイムを短縮することができる。
【0045】
また、本実施の形態にあっては、基板搬送機構6の数は処理室3A〜3Eの数より少なくて済むものである。その他の構成及び作用効果については上記実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。
【0046】
図6(a)〜(c)は、本発明に係る真空処理装置のさらに他の実施の形態の概略構成を示すものであり、以下、上記実施の形態と対応する部分については、同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
【0047】
図6(a)に示すように、本実施の形態の真空処理装置1Bにおいても、3つ以上(例えば5つ)の処理室3A〜3Eが隣接して直線的に配列されている。そして、第5の処理室3Eを除く第1〜第4の処理室3A〜3Dの両側部に、図示しない仕切りバルブを介して上記同様の基板搬送機構6(6A、6B、6C、6D)が設けられている。
【0048】
ここで、各基板搬送機構6A〜6Dの基板搬送アーム68A〜68Dは、同じ方向(本実施の形態の場合は第1の処理室3Aから第5の処理室3Eへ向かう方向)の隣接する処理室3B〜3E内に挿入できるように構成されている。
【0049】
なお、基板2の搬入は、第1の処理室3Aにおいて行うようになっており、各処理室3A〜3Dの間には、図示しない仕切りバルブが配設されている。また、基板2の搬出は、第5の処理室3Eにおいて行うようになっている。
【0050】
一方、図6(b)に示す真空処理装置1Cにあっては、第4の処理室3Dを除く第1〜第3の処理室3A〜3C及び第5の処理室3Eの両側部に、図示しない仕切りバルブを介して上記同様の基板搬送機構6(6A、6B、6C、6E)が設けられている。
【0051】
この真空処理装置1Cの場合は、第1〜第3の処理室3A〜3Cについての基板搬送機構6A〜6Cの基板搬送アーム68A〜68Cが、第1の処理室3Aから第5の処理室3Eへ向かう方向の隣接する処理室3B〜3D内に挿入できるように構成される一方で、第5の処理室3Eの基板搬送機構6Eについては、これらの反対方向である第4の処理室3D内に挿入できるように構成されている。
【0052】
なお、基板2の搬入は、第1の処理室3Aにおいて行うようになっており、各処理室3A〜3E間には、図示しない仕切りバルブが配設されている。また、基板2の搬出は、第5の処理室3Eあるいは第4の処理室3Dの側部から行うようになっており、それぞれのプロセスに応じて臨機応変に対応できる構成となっている。
【0053】
このような構成を有する本実施の形態によれば、上記実施の形態と同様、インライン方式の真空処理装置1Bにおいて専用の仕込室及び取出室を省略することができるため、装置の設置スペースを小さくすることができるとともに、タクトタイムを短縮することができる。
【0054】
特に、本実施の形態においては、各基板搬送機構6A、6B、6C、6Eの構成を簡素なものとすることができるものである。その他の構成及び作用効果については上記実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。
【0055】
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、処理室の数、配置等は処理の内容に応じて適宜変更することができる。
【0056】
特に、インライン方式の真空処理装置を構成する場合には、上記実施の形態にあるように直線的に配列する場合のほか、例えば図6(b)に示す真空処理装置1Cを応用して、処理室3Dから処理室を曲線的に配置することも可能である。
【0057】
また、本発明は、真空中で処理を行う装置であればインターバック方式や種々の装置にも適用しうるものである。
【0058】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、装置の設置スペースを小さくすることができるとともに、タクトタイムを短縮することができる。
また、本発明によれば、基板搬送機構を簡素な構成にすることができるとともに、大型の基板を確実に支持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る真空処理装置の実施の形態の概略構成を示す平面図
【図2】同実施の形態における基板搬送機構の構成を示す斜視図
【図3】(a)〜(c):同実施の形態の動作を示す説明図(その1)
【図4】(d)〜(f):同実施の形態の動作を示す説明図(その2)
【図5】(a)〜(c):本発明に係る真空処理装置の他の実施の形態の概略構成を示す平面図
【図6】(a)(b):本発明に係る真空処理装置のさらに他の実施の形態の概略構成を示す平面図
【図7】従来の真空処理装置の一例を示す概略構成図
【符号の説明】
1…真空処理装置 2、2a、2b…基板(処理対象物) 3…第1の処理室 4…第2の処理室 6…基板搬送機構 60…収容ケース(収容部) 61…搬送部 62…駆動部 68…基板搬送アーム(支持部) 68a…上段アーム 68b…下段アーム
Claims (6)
- それぞれ仕切りバルブを介して隣接して直線的に配設された複数の処理室と、
該処理室のうち所定の処理室に対して隣接配置され、仕切りバルブによって該所定の処理室に対して仕切られるように構成された収容部と、
処理対象物を支持する支持部が前記収容部に収容され、かつ、該収容部と前記所定の処理室と該所定の処理室に隣接配置された処理室との間を移動可能に構成された基板搬送機構とを備えたことを特徴とする真空処理装置。 - 前記基板搬送機構が処理室の基板搬送方向両側部に設けられていることを特徴とする請求項1記載の真空処理装置。
- 前記複数の処理室のうち複数の所定の処理室に対して前記収容部がそれぞれ隣接配置され、前記支持部が前記収容部のそれぞれに収容され、かつ、該収容部と前記所定の処理室と該所定の処理室に隣接配置された処理室との間を移動可能に構成された基板搬送機構を備えたことを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項記載の真空処理装置。
- 前記複数の処理室のそれぞれには、基板を昇降させるための基板昇降機構が配設されていることを特徴とする請求項3記載の真空処理装置。
- 前記基板搬送機構が、前記収容部内に配置された搬送部を有し、該搬送部が前記所定の処理室から前記隣接配置された処理室に向かう方向に延びるボールねじと該ボールねじを回転させる駆動部とから構成され、該ボールねじにはガイド機構を介して前記支持部が取り付けられていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項記載の真空処理装置。
- 基板搬送機構が複数の支持部を有していることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の真空処理装置。
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