JP3970640B2 - 6軸力センサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は6軸力センサに関し、特に、半導体製造プロセス技術を利用して基板上に形成される所定配置パターンの複数の歪み抵抗素子を有し、ロボット等の力覚センサとして利用可能な6軸力センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、工作用作業機械や、ロボット等の自動機械では、その作業上または動作上で、作業対象物に対して力を加える作業を行ったり、外界から力の作用を受けたりする状態が発生する。このような場合、作業機械やロボット等では、自身に加わる外部からの力やモーメントを検出して、当該力やモーメントに対応した制御を行うことが必要となる。力やモーメントに対応する制御を適切に行うためには、外部から加わる力とモーメントを正確に検出することが必要となる。
【0003】
そこで従来から力覚センサやマンマシンインタフェースとして用いられる各種の多軸力センサが提案されている。通常、力センサは、検出方式の観点で大別すると、力に比例した変形量を検出する弾性式力センサと、既知の力との釣り合わせによって力を測定する力平衡型力センサとに分けることができる。また力センサは、原理的な構造として、外力に応じて弾性変形する起歪体の部分に複数の歪み抵抗素子を設けた構造を有する。この構造によれば、多軸力センサの起歪体部分に外力が加わると、起歪体部分の変形の程度に応じた電気信号が複数の歪み抵抗素子から出力される。これらの電気信号に基づいて起歪体部分に加わった2成分以上の力等を検出することができる。
【0004】
上記多軸力センサとしては6軸力センサが代表的なものである。6軸力センサは上記弾性式力センサの一種であって、起歪体部分に複数の歪み抵抗素子を備えている。6軸力センサは、外力を、直交座標系の3軸(X軸、Y軸、Z軸)の各軸方向の軸応力成分(力:Fx,Fy,Fz)と、各軸方向のトルク成分(モーメント:Mx,My,Mz)に分け、6軸成分として検出するものである。
【0005】
多軸力センサの第1の従来例として特公昭63−61609号公報(平成63年11月29日公告)に開示される「多分力ロードセル」を挙げる。この文献は6軸力センサを開示している。この6軸力センサは、三次元構造の起歪体に複数の歪みゲージを貼付した構成を有している。歪みゲージを起歪体に貼付する構造では、小型化が制限され、製作再現性が悪く、製品間にバラツキが生じ、さらに繰返し衝撃のストレスおよび熱ストレス等に起因して貼付層が剥がれる等の問題が生じる。
【0006】
多軸力センサの第2の従来例として、さらに特許第2746298号公報(平成10年5月6日発行)に開示される「ニ成分以上の力検出装置」を挙げる。この文献に開示された多軸力センサでは、半導体製造プロセスを利用して半導体基板の上に複数の歪み抵抗素子を作り、起歪体部分に歪みゲージ要素を一体的に組み付ける構成としている。これにより、上記第1の従来の多軸力センサの問題を解消し、製作工程の精度を高め、製作の再現性を良好にし、多軸力センサの小型化を可能にしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記第2の従来の多軸力センサは、直交する3軸の各々について力またはモーメントを検出しようとするとき、基板全体が等方的に歪むという特性を構造的に有しており、さらに基板上における複数の歪み抵抗素子の配置が不適切であり、起歪体部分に加わる外力の各成分を精度よく分離できないという不具合を有していた。6軸力センサにおいて、例えばFxの軸応力成分のみが生じるように外力が加えられたときに、Fx以外の本来的に0になる他の成分に関して応力が発生する出力が生じると問題である。6軸力センサ等において、起歪体部分に加わる外力の各成分(力およびモーメント)を精度よく分離できないという問題は「他軸干渉」の問題として問題視されている。他軸干渉の問題は、6軸力センサの実用化の観点で無視することができない問題である。
【0008】
ここで6軸力センサの他軸干渉の問題について説明を加える。6軸力センサでは、前述の通り、X軸、Y軸、Z軸の各々について、力Fx,Fy,FzとモーメントMx,My,Mzを検出する。6軸力センサは、起歪体部分に設けられた歪み抵抗素子の抵抗変化を利用しかつ外部演算部に基づき6つの信号Sig1〜Sig6を出力する。これらの6つの出力信号Sig1〜Sig6は、6軸成分Fx,Fy,Fz,Mx,My,Mzと、単一の軸成分のみを外力として与えた入力に対する各信号の大きさを(電気的変化率)を予め求めることによって得られる6×6の行列要素を用いて関係付けられる。この行列要素を求めておけば、その逆行列を算出することにより、6軸成分Fx,Fy,Fz,Mx,My,Mzを逆行列を用いて6つの出力信号Sig1〜Sig6で求めることができる。6軸成分の各々は出力信号Sig1〜Sig6の関数となる。6軸力センサで高精度の測定を行うためには、6つの出力信号の各々が正確に検出されることが要求される。ノイズの重畳で1つの出力信号に変動が生じると、相互関係に係る行列要素により基本的に6軸成分のすべての測定に支障が生じる。例えば出力信号Sig1のみにノイズが重畳した場合、それ以外の出力信号にノイズが重畳されなくとも、6軸成分のすべてにその影響が生じる。そこで、理想的に、出力信号Sig1が軸成分Fxのみに反映し、出力信号Sig2が軸成分Fyのみに反映するごとく、上記の6×6の行列要素の非対角成分が0であることが望まれる。非対角成分が0であると、外乱ノイズに対して改善された6軸成分を測定することが可能となる。
【0009】
そこで本発明者らは、上記の観点で従来の上記多軸力センサの不具合を解決するために新しい構成を有する6軸力センサを提案した(特願2002−5334号、平成14年1月11日出願)。この6軸力センサは、同様に半導体製造プロセスを利用して半導体基板上に複数の歪み抵抗素子を作り、起歪体部分に歪みゲージを一体的に組み付ける構成であって、さらに全体的な形態はその平面形状がほぼ正方形である平板状部材で形成される。この6軸力センサでは、周囲部分が支持部となり、中央部分に平面形状がほぼ正方形の作用部を有し、正方形の作用部の4つの辺の各々と周囲部の対応部分との間はT字型連結部で連結されている。そして、上記構成を有する平板状の6軸力センサにおいて、正方形の作用部の各辺と、対応するT字型連結部との間の境界部に所定数の歪み抵抗素子を設けている。この6軸力センサでは、作用部の各辺とT字型連結部との間の境界部が最も歪みが起きる箇所になっている。上記6軸力センサでは、起歪体部分の形態を改良し、複数の歪み抵抗素子の配置パターンを最適化することにより「他軸干渉」の問題を解決している。
【0010】
上記の本発明者らが提案した6軸力センサでは、半導体基板自体が起歪体としての機能を有するので、半導体基板の本来的に有する強度によって測定可能な力の範囲が制限される。実用化の観点では、かかる制限が生じないように工夫し、その測定レンジを高めて使用範囲を広げることが要望される。
【0011】
本発明の目的は、上記課題を解決するものであり、他軸干渉が抑制され、測定可能な力のレベルを飛躍的に高め、応用範囲を拡大し、実用化に寄与する6軸力センサを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る6軸力センサは、上記目的を達成するために、次の通り構成される。
【0013】
第1の本発明に係る6軸力センサ(請求項1に対応)は、半導体基板を利用して形成され、かつ外力を受ける作用部とこの作用部を支持する支持部と作用部および支持部を連結する連結部とを少なくとも有し、連結部は橋梁部と弾性部を備える6軸力センサチップと、当該6軸力センサチップの周囲に配置され、外力が加わる外力印加部、6軸力センサチップを支持する台座部、外力印加部を台座部に固定する外力緩衝機構、外力伝達機構から成る構造体を備えており、さらに、外力緩衝機構は梁構造で形成され、外力伝達機構により外力印加部と作用部が結合されているように構成されている。
【0014】
第2の本発明に係る6軸力センサ(請求項2に対応)は、上記の第1の構成において、好ましくは、上記6軸力センサチップは、作用部と支持部を連結する4本の連結部と、変形が起きる部分に半導体製造プロセスで作られた複数の歪み抵抗素子とを備える。
【0015】
第3の本発明に係る6軸力センサ(請求項3に対応)は、上記の各構成において、さらに好ましくは、6軸力センサチップと台座部の間には絶縁部材が設けられることで特徴づけられる。
第4の本発明に係る6軸力センサ(請求項4に対応)は、上記の各構成において、好ましくは、構造体の外力印加部と台座部との間で、外力緩衝機構は、外力伝達機構と平行なまたは直交する位置関係に梁構造を備えることを特徴とする。
第5の本発明に係る6軸力センサ(請求項5に対応)は、上記の各構成において、好ましくは、外力緩衝機構は、外力印加部と台座部の間に取り付けられる複数の緩衝支柱で構成されることを特徴とする。
第6の本発明に係る6軸力センサ(請求項6に対応)は、上記の各構成において、好ましくは、構造体は、外力印加部と台座部との間に配置された板状フレーム部材を有し、外力緩衝機構は、外力印加部と板状フレーム部材の間に取り付けられた複数の中間支持ロッドと、板状フレーム部材と台座部の間に取り付けられた複数の支持ロッドとによって構成されることを特徴とする。
第7の本発明に係る6軸力センサ(請求項7に対応)は、上記の各構成において、好ましくは、外力緩衝機構は、外力印加部と台座部の間に取り付けられた複数の緩衝支柱用コイルバネで構成されることを特徴とする。
第8の本発明に係る6軸力センサ(請求項8に対応)は、上記の各構成において、好ましくは、外力印加部は中央部に位置する円板状外力印加部であり、この円板状外力印加部は複数の棒状の梁部材のそれぞれで複数の緩衝支柱と連結されていることを特徴とする。
第9の本発明に係る6軸力センサ(請求項9に対応)は、上記の各構成において、好ましくは、台座部上の四隅に柱を設け、これらの柱の間に支持フレームを設け、外力印加部は中央部に位置する円板状外力印加部であり、この円板状外力印加部は同じ平面上で支持フレームに連結され、外力緩衝機構は当該支持フレームによって構成されることを特徴とする。
【0016】
【作用】
本発明に係る6軸力センサによれば、先に本発明者らが特願2002−5334号によって提案した6軸力センサに対して緩衝機能を有する構造体(筐体)を付設することにより、外力を減衰させた状態でその作用部に与えることが可能となる。その結果、半導体基板を利用し半導体製造プロセス技術(または半導体成膜プロセス技術)を適用して作られた6軸力センサにおいて検出できる力の範囲を大きくすることができ、ダイナミックレンジの大きな6軸力センサを実現することができる。センサチップと構造体を組み合せても、本来センサチップの有している「他軸干渉」の少ないという特性は保持され、さらに検出可能な力範囲が増大されるという特性が付加される。また6軸力センサチップと台座部の間に絶縁部材が設けられることにより、台座部からセンサチップに対して電気的ノイズが与えられるのを防止することが可能となる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好適な実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【0018】
実施形態で説明される構成、形状、大きさおよび配置関係については本発明が理解・実施できる程度に概略的に示したものにすぎず、また数値および各構成要素の組成(材質)については例示にすぎない。従って本発明は、以下に説明される実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができる。
【0019】
図1は本発明に係る6軸力センサを概念的に示した側面図である。11は6軸力センサ機能を有するセンサチップである。センサチップ11は半導体基板で形成されている。センサチップ11は、後述するごとく、外力を受ける中央部の作用部と、この作用部を支持する支持部と、作用部と支持部を連結する連結部を有する。センサチップ11は台座部12の上に絶縁部材13を介して取り付けられる。センサチップ11の支持部が台座部12に固定されている。台座部12に対して複数の緩衝支柱14を介して外力印加部15が取り付けられる。外力印加部15は板状部材であり、センサチップ11の上側に配置される。複数の緩衝支柱14は緩衝機構としての機能を有する。外力印加部15とセンサチップ11の作用部との間は絶縁部材16を介して連結ロッド17で連結されている。なお、センサチップ11のデバイスが形成された表面側は絶縁性の保護膜で覆われているので、絶縁部材16を省略することもできる。6軸力センサ機能を有するセンサチップ11に対して、上記の台座部12と複数の緩衝支柱14と外力印加部15から成る構造体は筐体(ケース)を形成している。この筐体は、その緩衝機構に基づいて、外力を減衰させてセンサチップ11の作用部に与える機能を有している。
【0020】
上記の構成において、台座部12と外力印加部15は高い強度を有する部材で作られている。未知の外力(荷重)Fは外力印加部15に加わる。外力Fを受けた外力印加部15は外力に応じてその位置や姿勢が変化する。外力印加部15の位置や姿勢の変化は、台座部12との間に設けられた緩衝支柱14の緩衝作用で制限を受けながら生じる。外力印加部15にて生じた位置や姿勢の変化は連結ロッド16を経由してセンサチップ11の作用部に伝達される。センサチップ11の作用部には緩衝支柱14で制限された力(モーメント)が加わる。外力印加部15に外力が入力にされたときには、緩衝支柱14に基づく緩衝機構によって減衰された力がセンサチップ11の作用部に与えられる。従って、半導体センサ素子として作られたセンサチップ11に直接に入力されるとセンサチップ11が破壊するような外力の場合でも、上記筐体に基づく緩衝機構により、センサチップ11の破壊を防ぐことができる。他方、センサチップ単体では検出可能な力のレベルがその材質的な面から小さい範囲に制限されていたものが、緩衝機構を備えた上記筐体を付設することによって、検出可能な力の範囲を大きくすることができる。
【0021】
6軸力センサ機能を有するセンサチップ11における起歪体部分の歪みの減衰率は、6軸成分のそれぞれで異なり、さらに筐体の緩衝機構の構造に依存する。従って、例えば6軸力センサであるセンサチップ11の感度をそれぞれの成分ごとに調整したいという場合にも、筐体の構造を調整目的に一致するように最適化することにより、センサチップ11と緩衝機構を備えた筐体とから成る6軸力センサを所望の特性に調整することができる。
【0022】
また上記の絶縁部材13,16は、センサチップ11からの出力される信号にノイズがのるを防止するために設けられている。
【0023】
次に図2と図3を参照してセンサチップ11の具体的構造と検出原理について説明する。図2はセンサチップ11の斜視図を示し、図3はその平面図を示す。センサチップ11は、半導体基板を利用し、半導体製造プロセス技術(フォトリソグラフィ、レジストパターン、イオン注入、P−CVD、スパッタリング、RIE等)を適用して形成される半導体センサ素子である。センサチップ11の平面形状は好ましくは正方形であり、平板状の形態を有している。センサチップ11の平面形状を示した図3において、センサチップ11は、中央部に位置するほぼ正方形の形状をした作用部21と、この作用部21を囲むような位置にある正方形リング形状の支持部22と、作用部21と支持部22の間に位置して四辺の各部分に対応して両者を連結するT字形状の4つの連結部23A,23B,23C,23Dとから構成されている。4つの連結部23A〜23Dの各々は、T字梁となっており、橋梁部と弾性部を有する。上記のごとく、作用部21は連結ロッド17によって外力印加部15に連結され、支持部22は台座部12に固定されている。T字形状の4つの連結部23A〜23Dの各々は、作用部21に接続される境界部における、好ましくは、一方の面(表面24)に3つの歪み抵抗素子(Sxa1,Sxa2,Sxa3),(Sxb1,Sxb2,Sxb3),(Sya1,Sya2,Sya3),(Syb1,Syb2,Syb3)が配置されている。
【0024】
図2と図3では、センサチップ11に対して、図示される通り、直交されるX軸、Y軸、Z軸が示されている。図2ではセンサチップ11における上、下、右、左が便宜的に定められている。図3では横軸がX軸、縦軸がY軸として示されている。さらに図2では、各軸に係る力およびモーメントが矢印と符号で示されている。直交座標系の3軸(X軸、Y軸、Z軸)に関して、X軸方向の力をFxとし、Y軸方向の力をFyとし、Z軸方向の力をFzとし、またX軸に対して回転方向に与えられるモーメントをMxとし、Y軸に対して回転方向に与えられるモーメントをMyとし、Z軸に対して回転方向に与えられるモーメントをMzとする。
【0025】
上記の6軸成分(軸力)、すなわちFx[N],Fy[N],Fz[N],Mx[N・cm],My[N・cm],Mz[N・cm]が単体のセンサチップ11に印加された場合に、これらの6軸成分とセンサチップ11に基づく検出信号との関係は次の通りである。
【0026】
6軸力センサは、実際の構成としては、上記のセンサチップ11と、センサチップ11の12個の歪み抵抗素子のそれぞれから得られる抵抗変化率に係る信号を演算する外部の測定機器とから成り、6軸力センサ装置として構成される。外部の測定機器の演算を経て6軸力センサから最終的に出力される信号は6つの信号Sig1,Sig2,Sig3,Sig4,Sig5,Sig6である。センサチップ11の12個の歪み抵抗素子のそれぞれから得られる抵抗変化率の値を、R'Sxa1,R'Sxa2,R'Sxa3,R'Sxb1,R'Sxb2,R'Sxb3,R'Sya1,R'Sya2,R'Sya3,R'Syb1,R'Syb2,R'Syb3と表現すると、上記の6つの信号Sig1,Sig2,Sig3,Sig4,Sig5,Sig6は下記の式に基づいて決められる。
【0027】
【数1】
【0028】
12個の歪み抵抗素子での各々の抵抗変化率の変化の量に基づいて上記式に従って決まる6軸力センサの6つの出力信号Sig1,Sig2,Sig3,Sig4,Sig5,Sig6と、センサチップ11に印加される6つの軸力Fx,Fy,Fz,Mx,My,Mzとは、特定成分の軸力に対する6軸力センサの出力信号を求めて両者の関係を実験的に求めると、図4に示される行列で関係付けられる。
【0029】
図4に示される行列に基づいて逆行列計算を行って6つの軸成分を算出すると、次式のごとくなる。
【0030】
【数2】
【0031】
上記のごとく、6軸力センサの6つの出力信号と検出される6軸成分との関係を行列要素としてとらえたときに、対角要素が支配的となっており、他軸干渉の問題が発生する可能性は抑えられていることがわかる。
【0032】
ここで、図5〜図10を参照してセンサチップ11の代表的な軸力(力、モーメント)と変形例について具体的に説明する。各図において(a)はセンサチップ11の変形状態を示す表面側の平面図を示し、(b)はセンサチップ11の作用部21の変位または変形の状態を示す縦断面図である。
【0033】
図5では、センサチップ11の作用部21に−FyがY軸に沿って図中上から下に向かって印加されている。このため、連結部23B,23Dと作用部21との間の各接続部に歪みが生じ、また連結部23A,23Cと作用部21との間の各接続部では各連結部の弾性部に−Fyが吸収され、歪みの発生が抑制される。このとき、歪み抵抗素子に関して、Sxa3とSxb1では圧縮による歪みが発生して抵抗値が減少し、Sxa1とSxb3では引っ張りによる歪みが発生して抵抗値が増加し、Sya1〜Sya3とSyb1〜Syb3の抵抗値の変化は極めて小さい。
【0034】
図6では、センサチップ11の作用部21にFxがX軸に沿って図中左から右に向かって印加されている。このため、連結部23A,23Cと作用部21との間の各接続部に歪みが生じ、また連結部23B,23Dと作用部21との間の各接続部では各連結部の弾性部にFxが吸収され、歪みの発生が抑制される。このとき、歪み抵抗素子に関して、Sya3とSyb1では圧縮による歪みが発生して抵抗値が減少し、Sya1とSyb3では引っ張りによる歪みが発生して抵抗値が増加し、Sxa1〜Sxa3とSxb1〜Sxb3の抵抗値の変化は極めて小さい。
【0035】
図7では、センサチップ11の作用部21に−FzがZ軸(紙面に垂直)に沿って印加されている。このため、連結部23A〜23Dと作用部21との間の各接続部に歪みが生じる。このとき、すべての歪み抵抗素子において一様な圧縮による歪みが発生して抵抗値が減少する。
【0036】
図8では、センサチップ11の作用部21にMyがY軸の周りに矢印の向きに印加されている。このため、連結部23B,23Dと作用部21との間の各接続部に歪みが生じ、また連結部23A,23Cと作用部21との間の各接続部では各連結部の弾性部にMyが吸収され、歪みの発生が抑制される。このとき、歪み抵抗素子に関して、Sxa1〜Sxa3では圧縮による歪みが発生して抵抗値が減少し、Sxb1〜Sxb3では引っ張りによる歪みが発生して抵抗値が増加し、Sya1〜Sya3とSyb1〜Syb3の抵抗値の変化は極めて小さい。
【0037】
図9では、センサチップ11の作用部21にMxがX軸の周りに矢印の向きに印加されている。このため、連結部23A,23Cと作用部21との間の各接続部に歪みが生じ、また連結部23B,23Dと作用部21との間の各接続部では各連結部の弾性部にMxが吸収され、歪みの発生が抑制される。このとき、歪み抵抗素子に関して、Syb1〜Syb3では圧縮による歪みが発生して抵抗値が減少し、Sya1〜Sya3では引っ張りによる歪みが発生して抵抗値が増加し、Sxa1〜Sxa3とSxb1〜Sxb3の抵抗値の変化は極めて小さい。
【0038】
図10では、センサチップ11の作用部21にMzがZ軸の周りに矢印(反時計)の向きに印加されている。このため、連結部23A〜23Dと作用部21との間の各接続部に歪みが生じる。このとき、歪み抵抗素子に関して、Sya1,Sxb1,Syb1,Sxa1では圧縮による歪みが発生して抵抗値が減少し、Sya3,Sxb3,Syb3,Sxa3では引っ張りによる歪みが発生して抵抗値が増加する。
【0039】
上記のごとく6軸力センサ素子としてのセンサチップ11は、他軸干渉が抑制され、ノイズに強く、かつ検出特性の再現性に優れている。他面において、上記の6つの出力信号の各々は作用部21に印加される外力に応じて歪みが大きくなると、当該歪みに比例して大きくなり、それ或る限界値に至ると素子は破壊される。従ってセンサチップ11の作用部21に直接に外力が印加する場合には、相対的に小さい外力でセンサチップ11が破壊されることになる。そこで、以上の検出特性を有するセンサチップ11に対して、図1に示した前述の緩衝構造を有した筐体が付設される。センサチップ11と筐体から成る6軸力センサの強度が高められ、6軸力センサの検出可能な外力の範囲が拡大される。
【0040】
次に、図11〜図13を参照して、本発明に係る6軸力センサの第1実施形態を説明する。この実施形態によって具体的構成が示される。図11〜図13において図1で説明した要素と実質的に同じ要素には同一の符号を付している。
【0041】
センサチップ11は、台座部12の上に、その支持部22が固定されることにより取り付けられている。センサチップ11は台座部12の中央位置で所望の高さに配置されている。台座部12には、その四隅に4本の支持ロッド31が立てられ、4本の支持ロッド31に支持されて正方形リング形状の板状フレーム部材32が取り付けられる。各支持ロッド31は正方形リング形状の板状フレーム部材32の4つの角部に固定される。板状フレーム部材32は例えばアルミニウム板材で形成されている。正方形リング形状の板状フレーム部材32の各辺に相当する部分の中間位置に中間支持ロッド33が立てられている。4本の中間支持ロッド33によって外力印加板34が支持される。外力印加板34は例えばアルミニムで形成された板材である。外力印加板34の中央位置とセンサチップ11の作用部21とが連結ロッド17で連結されている。外力印加板34に加わった外力は、連結ロッド17を介してセンサチップ11の作用部21に間接的に伝達される。また外力印加板34は、4本の支持ロッド31と板状フレーム部材32と4本の中間支持ロッド33で形成される緩衝機構で支持されている。この緩衝機構によって連結ロッド17を介してセンサチップ11に伝達される外力が減衰される。
【0042】
図12は、センサチップ11と外力印加板34と緩衝機構の関係を下方から見た図である。図12では見やすくするため台座部の図示を省略している。図13は、センサチップ11と緩衝機構の関係を上方から見た図である。図13では外力印加板34の図示を省略している。緩衝機構の支持ロッド31や中間支持ロッド33は円柱状の部材である。また連結ロッド17も円柱状の部材であり、接着材によってセンサチップ11の作用部21と結合されている。なおセンサチップ11との間の電気的分離を行うために、台座部12との間には絶縁部材が介設される。
【0043】
上記の構成を有する6軸力センサによれば、緩衝機構を梁構造で作ったため、Fz,Mx,Myの検出感度を高くすることができる。
【0044】
図11に示した緩衝機構を備えた6軸力センサについて、前述したセンサチップ11の場合の手法と同様な手法で、6つの軸成分に対する出力信号Sig1〜Sig6の関係を求めたところ、次式のごとくなった。
【0045】
【数3】
【0046】
センサチップ11に対して図11に示す筐体(緩衝機構)を付設することによって、外力を減衰させ、センサチップ11に生じる歪み量を減少させることができる。従って、センサチップ単体の場合に比較して係数が大きくなっている。数3に関して行列要素としてとらえたとき、センサチップ単体における行列と同じように、対角要素が大きく、非対角要素が対角要素より大幅に小さいかあるいはゼロであること、他軸干渉を抑制する効果が維持されている。さらに対角要素に着目すると、FxとFyについては係数が10倍強に増加しており、検出可能な外力がほぼ10倍程度に増加している。さらにMx,Myについては係数が100倍強になっているので、検出可能な外力の範囲もほぼ100倍程度に増加している。なお緩衝機構の構造を最適化することにより、係数の大きさを制御できるので、所望の6軸力センサの特性(例えばFzに対する耐荷重を高める等)を実現することができる。
【0047】
図14は、第1実施形態に係る6軸力センサの測定特性例(a)とセンサチップ単独の測定特性例(b)の比較を示す。図14で、各グラフの座標系の横軸は印加荷重Fz[N]を示し、縦軸は抵抗変化率を示す。図14で明らかなように本実施形態に係る6軸力センサはセンサチップ単独の場合に比較して定格荷重が約10倍に増大している。従って6軸力センサとしての測定範囲が約10倍に高められ、耐荷重の性能が向上している。
【0048】
次に図15を参照して本発明に係る6軸力センサの第2実施形態を説明する。図15において前述の第1実施形態で説明した要素と実質的に同一の要素には同一の符号を付している。この実施形態による6軸力センサでは干渉機構として4つのコイルバネ41が用いられている。平面形状が正方形である外力印加板34には下面の四隅にロッド42が取り付けられ、これらのロッド42と台座部12の四隅に取り付けたロッド31との間にコイルバネ41が固定されている。ロッド31,42とコイルバネ41で緩衝機構部の機能を有する支柱が形成されている。その他の構成は第1実施形態と同じである。本実施形態による6軸力センサでも第1実施形態と同様な作用・効果が発揮される。
【0049】
次に図16を参照して本発明に係る6軸力センサの第3実施形態を説明する。図16において前述の第1実施形態で説明した要素と実質的に同一の要素には同一の符号を付している。この実施形態による6軸力センサでは、円板状の外力印加部51がセンサチップ11の上方に配置され、この外力印加部51を、4箇所で、連結された垂直と水平の2本の棒状部材52,53で支持する構造を有する。4箇所の棒状部材ユニットによって緩衝機構部が形成される。この構成によれば、外力印加部51が配置された同じ平面に水平の棒状部材53による梁が形成されるという特徴を有する。その他の構成は第1実施形態の場合と同じである。本実施形態による6軸力センサでも第1実施形態と同様な作用・効果が発揮される。
【0050】
次に図17を参照して本発明に係る6軸力センサの第4実施形態を説明する。図17において前述の第1実施形態で説明した要素と実質的に同一の要素には同一の符号を付している。この実施形態による6軸力センサでは、円板状の外力印加部51がセンサチップ11の上方に配置される。さらに平面形状が正方形の台座部12の四隅に柱61が設けられ、4本の柱61の間に支持フレーム62を掛け渡し、4つの支持フレーム62と外力印加部51の間に4本の支持フレーム63を設けて外力印加部51を支持するようにしている。支持フレーム62,63によって梁が形成され、緩衝機構部が形成されている。その他の構成は第1実施形態と同じである。この構成によれば、外力印加部51が配置された同じ平面に水平の支持フレーム62,63による梁が形成されるという特徴を有する。本実施形態による6軸力センサでも第1実施形態と同様な作用・効果が発揮される。
【0051】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように本発明によれば、次のような効果を奏する。
【0052】
請求項1に係る本発明によれば、半導体基板を利用して作られたセンサチップに対して外力印加部と台座部と外力緩衝機構と外力伝達機構から成る構造体を付設して外力が減衰されてセンサチップに加わるように構成したため、6軸力センサにおいて他軸干渉の問題を抑制しながら、耐荷重性能を高め、ダイナミックレンジを高め、測定可能な外力の範囲を拡大し、実用性を高めることができる。さらに6軸力センサ用の緩衝機構として構造簡素なものが実現され、かつ当該構造を最適化することで耐荷重性を調整することができる。さらに外乱ノイズに強く、検出性能の再現性が高く、性能にバラツキを生じることなく製作することができ、様々な力範囲に対して最適な6軸力センサを製作することができる。
【0053】
請求項2に係る本発明によれば、6軸力センサチップは、4本の連結部と所定の配置パターンの複数の歪み抵抗素子とを備えるため、前述の他軸干渉を可能な限り抑制できる検出性能を有する。
【0054】
請求項3に係る本発明によれば、6軸力センサチップと台座部の間に絶縁部材を介設するようにしたため、緩衝機構を備えた構造体からセンサチップへ電気的ノイズが与えられるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る6軸力センサを概念的に示した側面図である。
【図2】本実施形態に係るセンサチップの斜視図である。
【図3】本実施形態に係るセンサチップの平面図である。
【図4】出力信号Sig1〜Sig6と軸力Fx,Fy,Fz,Mx,My,Mzとを関係付ける行列を示す図である。
【図5】センサチップの作用部に−FyがY軸に沿って印加されたときの変形状態を示す図である。
【図6】センサチップの作用部にFxがX軸に沿って印加されたときの変形状態を示す図である。
【図7】センサチップの作用部に−FzがZ軸に沿って印加されたときの変形状態を示す図である。
【図8】センサチップの作用部にMyがY軸の周りに印加されたときの変形状態を示す図である。
【図9】センサチップの作用部にMxがX軸の周りに印加されたときの変形状態を示す図である。
【図10】センサチップの作用部にMzがZ軸の周りに印加されたときの変形状態を示す図である。
【図11】本発明に係る6軸力センサの第1実施形態を示す斜視図である。
【図12】第1実施形態に係る6軸力センサの板状フレーム部材とセンサチップと外力印加部の位置関係を示す下方斜視図である。
【図13】第1実施形態に係る6軸力センサの板状フレーム部材とセンサチップの位置関係を示す上方斜視図である。
【図14】第1実施形態に係る6軸力センサの測定特性例(A)とセンサチップ単独の測定特性例(B)の比較を示すグラフである。
【図15】本発明に係る6軸力センサの第2実施形態を示す斜視図である。
【図16】本発明に係る6軸力センサの第3実施形態を示す斜視図である。
【図17】本発明に係る6軸力センサの第4実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
11 センサチップ
12 台座部
13,16 絶縁部材
14 緩衝支柱
15 外力印加部
17 連結ロッド
21 作用部
22 支持部
23A〜24D 連結部
31 支持ロッド
32 板状フレーム部材
33 中間支持ロッド
34 外力印加板
Claims (9)
- 半導体基板で形成され、外力を受ける作用部とこの作用部を支持する支持部と前記作用部および前記支持部を連結する連結部とを少なくとも有し、前記連結部は橋梁部と弾性部を備える6軸力センサチップと、
前記6軸力センサチップの周囲に配置され、前記外力が加わる外力印加部と、前記6軸力センサチップを支持する台座部と、前記外力印加部を前記台座部に固定する外力緩衝機構と、外力伝達機構とから成る構造体を備え、
前記外力緩衝機構は梁構造で形成され、前記外力伝達機構により前記外力印加部と前記作用部が結合されていることを特徴とする6軸力センサ。 - 前記6軸力センサチップは、前記作用部と前記支持部を連結する4本の連結部と、変形が起きる部分に半導体製造プロセスで作られた複数の歪み抵抗素子とを備えることを特徴とする請求項1記載の6軸力センサ。
- 前記6軸力センサチップと前記台座部の間には絶縁部材が設けられることを特徴とする請求項1または2記載の6軸力センサ。
- 前記構造体の前記外力印加部と前記台座部との間で、前記外力緩衝機構は、前記外力伝達機構と平行なまたは直交する位置関係に前記梁構造を備えることを特徴とする請求項1記載の6軸力センサ。
- 前記外力緩衝機構は、前記外力印加部と前記台座部の間に取り付けられる複数の緩衝支柱で構成されることを特徴とする請求項4記載の6軸力センサ。
- 前記構造体は、前記外力印加部と前記台座部との間に配置された板状フレーム部材を有し、前記外力緩衝機構は、前記外力印加部と前記板状フレーム部材の間に取り付けられた複数の中間支持ロッドと、前記板状フレーム部材と前記台座部の間に取り付けられた複数の支持ロッドとによって構成されることを特徴とする請求項4記載の6軸力センサ。
- 前記外力緩衝機構は、前記外力印加部と前記台座部の間に取り付けられた複数の緩衝支柱用コイルバネで構成されることを特徴とする請求項4記載の6軸力センサ。
- 前記外力印加部は中央部に位置する円板状外力印加部であり、この円板状外力印加部は複数の棒状の梁部材のそれぞれで前記複数の緩衝支柱と連結されていることを特徴とする請求項5記載の6軸力センサ。
- 前記台座部上の四隅に柱を設け、これらの柱の間に支持フレームを設け、前記外力印加部は中央部に位置する円板状外力印加部であり、この円板状外力印加部は同じ平面上で前記支持フレームに連結され、前記外力緩衝機構は前記支持フレームによって構成されることを特徴とする請求項4記載の6軸力センサ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002059447A JP3970640B2 (ja) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | 6軸力センサ |
EP03000457.6A EP1327870B1 (en) | 2002-01-11 | 2003-01-10 | Six-axis force sensor |
US10/339,496 US6823744B2 (en) | 2002-01-11 | 2003-01-10 | Six-axis force sensor |
US10/972,354 US6951142B2 (en) | 2002-01-11 | 2004-10-26 | Six-axis force sensor chip and six-axis force sensor using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002059447A JP3970640B2 (ja) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | 6軸力センサ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003254843A JP2003254843A (ja) | 2003-09-10 |
JP2003254843A5 JP2003254843A5 (ja) | 2007-03-22 |
JP3970640B2 true JP3970640B2 (ja) | 2007-09-05 |
Family
ID=28669136
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002059447A Expired - Lifetime JP3970640B2 (ja) | 2002-01-11 | 2002-03-05 | 6軸力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3970640B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6002868B1 (ja) * | 2015-04-07 | 2016-10-05 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサおよびこれに用いる構造体 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4203051B2 (ja) | 2005-06-28 | 2008-12-24 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ |
CN100387952C (zh) * | 2006-04-18 | 2008-05-14 | 燕山大学 | 并联6-upur六维测力平台 |
JP4210296B2 (ja) | 2006-08-24 | 2009-01-14 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサの製造方法 |
JP5243704B2 (ja) | 2006-08-24 | 2013-07-24 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ |
JP4958501B2 (ja) | 2006-08-30 | 2012-06-20 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ用チップ及び外力伝達機構 |
JP2008058110A (ja) | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Honda Motor Co Ltd | 力覚センサ用チップおよび力覚センサ |
JP4909104B2 (ja) | 2007-01-31 | 2012-04-04 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ |
CN100523753C (zh) * | 2007-02-07 | 2009-08-05 | 燕山大学 | 上下预紧式并联结构六维力传感器 |
JP2009079948A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Oki Semiconductor Co Ltd | 半導体加速度センサ及びその製造方法 |
JP5604035B2 (ja) | 2008-07-18 | 2014-10-08 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサユニット |
JP4929257B2 (ja) * | 2008-09-11 | 2012-05-09 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ |
JP4929256B2 (ja) * | 2008-09-11 | 2012-05-09 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ |
JP2011200943A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Canon Inc | 力制御ロボット |
WO2011145713A1 (en) * | 2010-05-20 | 2011-11-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Force control robot |
US9459173B2 (en) * | 2011-10-14 | 2016-10-04 | Advanced Mechanical Technology, Inc. | System and method for three dimensional calibration of force plates |
KR101326546B1 (ko) * | 2012-03-15 | 2013-11-08 | 전자부품연구원 | 힘 센서 |
JP6050133B2 (ja) * | 2013-01-30 | 2016-12-21 | 京セラ株式会社 | 入力装置、および電子機器 |
JP6940037B2 (ja) * | 2017-04-26 | 2021-09-22 | ミネベアミツミ株式会社 | 力覚センサ装置 |
JP7125588B2 (ja) * | 2018-01-30 | 2022-08-25 | ミツミ電機株式会社 | センサアッセンブリ、スタイラスペン、手書き入力システム、及び作品描画手法指導システム |
WO2020084980A1 (ja) * | 2018-10-26 | 2020-04-30 | ソニー株式会社 | 検出装置 |
TWI716789B (zh) * | 2018-12-20 | 2021-01-21 | 財團法人工業技術研究院 | 多軸力感測裝置 |
CN111426421B (zh) * | 2018-12-20 | 2022-01-04 | 财团法人工业技术研究院 | 多轴力感测装置 |
JP2022101139A (ja) | 2020-12-24 | 2022-07-06 | ミネベアミツミ株式会社 | センサチップ、力覚センサ装置 |
JP2022101140A (ja) | 2020-12-24 | 2022-07-06 | ミネベアミツミ株式会社 | 起歪体、力覚センサ装置 |
JP2022142116A (ja) | 2021-03-16 | 2022-09-30 | ミネベアミツミ株式会社 | 起歪体、力覚センサ装置 |
CN115112286A (zh) | 2021-03-19 | 2022-09-27 | 美蓓亚三美株式会社 | 应变体、力传感器装置 |
-
2002
- 2002-03-05 JP JP2002059447A patent/JP3970640B2/ja not_active Expired - Lifetime
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---|---|---|---|---|
JP6002868B1 (ja) * | 2015-04-07 | 2016-10-05 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサおよびこれに用いる構造体 |
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US9995644B2 (en) | 2015-04-07 | 2018-06-12 | Wacoh Corporation | Force sensor and structure body used therein |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003254843A (ja) | 2003-09-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110615 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130615 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140615 Year of fee payment: 7 |
|
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