JP3968868B2 - 固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3968868B2 JP3968868B2 JP11681398A JP11681398A JP3968868B2 JP 3968868 B2 JP3968868 B2 JP 3968868B2 JP 11681398 A JP11681398 A JP 11681398A JP 11681398 A JP11681398 A JP 11681398A JP 3968868 B2 JP3968868 B2 JP 3968868B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- excitation light
- laser
- period
- solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ加工あるいは光分析等に利用される、レーザダイオードからの励起光により固体媒質を励起する方式の固体レーザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の固体レーザ装置の構成例を図3に示す。このレーザダイオード1からの出力光はレンズ系2により集光され、固体媒質のNd:YAG結晶3に照射される。Nd:YAG結晶3の端面3aには、レーザダイオード光の波長に対して高い透過率を持ち、固体媒質内で発生したレーザ基本波に対しては、高い反射率を持つHRコート膜が形成されている。そして、Nd:YAG結晶3に対向して出力ミラー4が配設され、この出力ミラー4とNd:YAG結晶3の端面3aとの間で光共振器5が構成されている。さらに、レーザ光の波長変換が必要な場合には、Nd:YAG結晶の後に非線形光学結晶であるSHG素子8が配設される。以上の構成において、レーザダイオード1を波長808nm〜809nmで発振させ、その光でNd:YAG結晶3(吸収スペクトル:808.5nm)を励起することにより、光共振器5内で波長946nmのレーザ発振が起こり、さらに、SHG素子8により波長473nmのブルーレーザ光に変換され、そのレーザ光の一部が出力ミラー4から外部へ出ていき、これが固体レーザ装置の出力光となる。前記光共振器5全体はペルチェ素子10と共振器温度調節器11により温度調節されている。
【0003】
上記のような固体レーザ装置において、固体レーザ装置の出力光の光量をビームスプリッタ9およびフォトダイオード6を介し検出して、その検出出力7aをレーザダイオード駆動回路(以下LD駆動回路と記す)7に入力する。このLD駆動回路7は、フォトダイオード6の検出出力に基づいてLD駆動電流を制御し固体レーザ装置の出力光の光量を一定にする。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来の固体レーザ装置は以上のように構成されているが、励起光源のオフ時に結晶部の光軸上での励起光または基本波が消滅するため、オフ期間においてSHG素子8などの結晶内部温度Tiは図4に示すように変化し、励起光源がオフ期間からオン時に移行するとき結晶内部温度が上昇し、レーザ出力が安定するまでに時間を要し、そのため幅の狭いレーザパルス出力の発生やレーザ出力の立ち上がり時間の短縮ができないという問題があった。
【0005】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、パルス出力の発生とレーザ出力の立ち上がり時間の短縮ができる固体レーザ装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、請求項1記載の発明は、レーザダイオードからなる励起光源と、前記励起光源により励起されるNd:YAG結晶からなる固体媒質と、前記固体媒質から出力されるレーザ光の波長を変換するSHG素子と、前記固体媒質及びSHG素子を内部に含む光共振器と、前記光共振器を温度調節するペルチェ素子及び共振器温度調節器とを有し、前記共振器温度調節器は、前記励起光源のオン期間とオフ期間における温度設定値にオフセットを設け、全期間における前記SHG素子内部の温度を一定に保つようにしたことを特徴とする。また、請求項2記載の発明は、請求項1に記載の固体レーザ装置であって、前記励起光源は、オフ期間にも完全に励起光をオフにせず、前記固体媒質が発振しない程度の励起光を照射することを特徴とする。
【0007】
本発明の固体レーザ装置は、上記のように構成されており、励起光または基本波等のオフ時に、結晶部にオン時と同程度の熱を与えることにより、結晶内部の温度を一定に保つことができるので、レーザパルス出力の発生とレーザ出力波形の立ち上がり時間の短縮が可能となる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下実施例により本発明を詳細に説明する。図1は、本発明による固体レーザ装置の第一実施例を説明するための図で、これに用いられる光共振器5(図3)の温度制御の状態を示したものである。この実施例の固体レーザ装置の構成は図3に示した構成と同じであるが、光共振器温度調節器11による温度制御方法のみが異なる。図1の時間軸において、A点からB点およびC点からD点の期間はレーザ励起光源がオンの状態を示したもので、その他の期間はオフ状態を示している。また、前記レーザ励起光源がオン期間中の光共振器温度調節器11による温度設定値がTonで、オフ期間中の温度設定値が前記オン期間中の設定温度よりオフセット△Tだけ高いToff(=Ton+△T)で設定されている。図3に示すように光共振器5は前記温度設定値でペルチェ素子10を介して温度制御される。このオフ期間中に結晶部にオン時と同程度の熱を与えるように△Tを選ぶことにより、図1に示すように、結晶内部温度は励起光源のオンからオフあるいはオフからオンへの切り替わり時点での小変動を除いて、オンオフ期間を通じて一定に保つことができる。この結果、レーザ出力がオフ状態から立ち上がる時は、予め結晶内部がオン期間の温度に保たれているため、結晶部での光軸方向が安定し、立ち上がり時間が短縮できる。また、立ち上がり時間の短いパルス幅の小さいレーザ出力を得ることができる。
【0009】
図2は本発明の第一実施例の変形例を説明するための図で、これに用いられる光共振器の温度制御の状態を示したものである。この変形例ではレーザ励起光源がオフ時にも完全にレーザ励起光をオフにせず、固体媒質のNd:YAG結晶が発振しない程度の励起光を結晶部に入射させ結晶内部の温度を保持するようにしている。このオフ時における励起光の照射により、結晶部の内部は加熱されており、図1に比べてオフセット温度△Tを少なくすることができ、レーザ出力のオンオフ切り替え時の結晶部の内部温度の変動を図1の方式に比べて小さくすることができる。第一実施例のようにペルチェ素子10からの温度を伝達する場合に比べて結晶内部温度のオンオフ時の変動はさらに小さくなり、立ち上がり時間が短縮され、パルス幅の小さいレーザ出力を発生することができる。
【0010】
【発明の効果】
本発明の固体レーザ装置は上記のように構成されており、結晶部の温度がレーザ励起光源のオンオフ期間にかかわらず一定に保つことができる。したがって励起光源の切り替わり時にも瞬時に結晶部の最適温度が得られ、レーザ光のパルス幅の変調範囲の拡大およびレーザ光立ち上がり時間の短縮が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の固体レーザ装置の第一実施例を説明するための図で、光共振部の温度制御の状態を示したものである。
【図2】本発明の固体レーザ装置の変形例を説明するための図で、光共振部の温度制御の状態を示したものである。
【図3】従来の固体レーザ装置の構成を示した構成図である。
【図4】従来の固体レーザ装置の光共振部の温度制御の状態を示した図である。
【符号の説明】
1………レーザダイオード
1a、10………ペルチェ素子
2………レンズ系
3………Nd:YAG結晶
3a………端面
4………出力ミラー
5………光共振器
6………フォトダイオード
7………LDドライバ
7a………検出出力
7b………LD駆動電流
8………SHG素子
9………ビームスプリット
11………光共振器温度調節器
Claims (2)
- レーザダイオードからなる励起光源と、
前記励起光源により励起されるNd:YAG結晶からなる固体媒質と、
前記固体媒質から出力されるレーザ光の波長を変換するSHG素子と、
前記固体媒質及びSHG素子を内部に含む光共振器と、
前記光共振器を温度調節するペルチェ素子及び共振器温度調節器とを有し、
前記共振器温度調節器は、前記励起光源のオン期間とオフ期間における温度設定値にオフセットを設け、全期間における前記SHG素子内部の温度を一定に保つようにしたこと
を特徴とする固体レーザ装置。 - 前記励起光源は、オフ期間にも完全に励起光をオフにせず、前記固体媒質が発振しない程度の励起光を照射することを特徴とする請求項1に記載の固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11681398A JP3968868B2 (ja) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | 固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11681398A JP3968868B2 (ja) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | 固体レーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11307859A JPH11307859A (ja) | 1999-11-05 |
JP3968868B2 true JP3968868B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=14696287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11681398A Expired - Fee Related JP3968868B2 (ja) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | 固体レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3968868B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3391301B2 (ja) * | 1999-07-09 | 2003-03-31 | ウシオ電機株式会社 | 加工用レーザ装置 |
JP4353242B2 (ja) | 2006-11-30 | 2009-10-28 | セイコーエプソン株式会社 | レーザ光源装置の駆動方法 |
JP5087919B2 (ja) * | 2006-12-13 | 2012-12-05 | 株式会社島津製作所 | 半導体レーザ励起固体レーザを用いたレーザポインタ |
JP4858182B2 (ja) * | 2007-01-22 | 2012-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | 光源装置、プロジェクタ、及び光源装置の制御方法 |
JP5917012B2 (ja) * | 2011-04-11 | 2016-05-11 | キヤノン株式会社 | レーザー装置および光音響装置 |
CN110967301B (zh) * | 2018-09-29 | 2023-10-03 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置 |
-
1998
- 1998-04-27 JP JP11681398A patent/JP3968868B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11307859A (ja) | 1999-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070008995A1 (en) | Frequency-stabilized laser and frequency stabilizing method | |
JP3968868B2 (ja) | 固体レーザ装置 | |
KR101527224B1 (ko) | 레이저 광원의 스탠바이 방법 | |
KR20010110320A (ko) | 레이저 장치와 그 제어 방법, 및 그 장치를 갖는 레이저가공기와 그것을 이용한 레이저 가공 방법 | |
JP2629621B2 (ja) | 紫外レーザ装置 | |
JPH0797675B2 (ja) | 半導体レーザ励起型固体レーザ装置 | |
US5974062A (en) | Laser drive method, laser drive system, and radiation image read-out apparatus | |
JP2008130848A (ja) | レーザ周波数安定化装置、及びレーザ周波数安定化方法 | |
JP4763337B2 (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
JP2002208750A (ja) | レーザー発振器およびそのレーザーパルス制御方法 | |
JP2000208849A (ja) | 半導体レ―ザ励起固体レ―ザ装置 | |
JP2003298180A (ja) | 半導体レーザ駆動装置 | |
JPH088480A (ja) | レーザ装置 | |
JP4003995B2 (ja) | Qスイッチ型レーザ装置 | |
JP6862106B2 (ja) | 電流制御装置及びレーザ装置 | |
JP2007242974A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
JP2011118012A (ja) | レーザ光源装置 | |
JPH10303491A (ja) | Ld励起波長変換固体レーザ装置 | |
JP4600129B2 (ja) | 固体レーザ装置 | |
JP6273716B2 (ja) | 固体レーザ装置 | |
JP3170911B2 (ja) | レーザ光発生装置 | |
JPH08181374A (ja) | レーザーダイオード励起固体レーザー | |
JP2008141127A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
JP3697774B2 (ja) | レーザダイオード励起固体レーザ | |
JP2008145896A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザを用いたレーザポインタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061114 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070213 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070413 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070515 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070528 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100615 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110615 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110615 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120615 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130615 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130615 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140615 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |