JP3958888B2 - ジメチルスルホキシド含有廃水の処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はジメチルスルホキシド含有廃水の処理方法、さらに詳しくは、ジメチルスルホキシド(以下、DMSOともいう)を含有する廃水を、悪臭の発生を抑えながら生物学的に分解処理する処理方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
近年においては、電子工業分野において剥離、洗浄剤としてDMSOが使用されるようになっている。このためDMSOの分解処理することが要請され、その要請のために、たとえば特許第2769973 号のようなDMSOの生物処理方法が本件特許出願人によって開発されている。
【0003】
DMSOを生物分解する場合、窒素とリンが必要となるが、電子部品工場の電子部品製造工程で発生する洗浄廃水では、その成分に窒素、リンを含んでいないため、たとえば窒素源としてアンモニアを添加する必要がある。
【0004】
すなわち、従来の処理装置は、図2に示すように、pH調整槽1a及び生物処理槽2aを備え、そのpH調整槽1aに供給するアンモニア化合物を貯留したアンモニア貯留槽5を備えた構成からなるものである。
【0005】
しかし、このような処理装置を用いると、窒素源の薬品としてのアンモニア化合物を購入する費用が別途かかるという問題がある。
【0006】
また、上記のようなアンモニア貯留槽5も必要となり、設備も大型化するという問題がある。
【0007】
一方、電子部品工場では、現像液としてテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(以下、TMAHともいう)が使用され、0.5 〜2%程度の廃液が排出されるため、その処分に多大な費用を要している。
【0008】
この廃液は、従来では専門業者に委託処分していたが、最近では工場内で単独で生物処理する技術が開発されてきた。
【0009】
しかし、従来のこれらの廃液の処理方法では、廃液の場外処分に多大な費用がかかるという問題点があった。
【0010】
ちなみに、TMAH廃液処理の廃液量1m3あたりの単価は約50000 円であり、廃液量が15m3/dであれば、一日に約750000円のコストがかかることとなる。
【0011】
また、TMAHの場合、窒素を15.3%含有しているため、単独処理では1%の廃液でも処理水の窒素濃度が1530mg/Lとなり、窒素除去処理を含んだ処理が必要となる。
【0012】
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、上記従来の処理方法のように、窒素源としてのアンモニアを必要とせず、従ってその購入のための費用を節減でき、またアンモニアの貯留タンクも不要となり、従って廃水処理設備のスペースが削減でき、しかもTMAHの廃棄物処分費用を削減することを課題とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような課題を解決するために、ジメチルスルホキシド(DMSO)含有廃水の処理方法とその装置としてなされたもので、処理方法としての特徴は、DMSO含有廃水に、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)を含有する廃液を添加した後、生物処理することにある。
【0015】
この場合、DMSO含有廃水に添加するTMAHの量を、DMSO含有廃水中の有機物濃度に応じて調整するのが好ましい。
【0016】
特に、DMSO含有廃水及びTMAHを含む廃水の全有機性炭素(TOC:Total Organic Carbon) 量の3〜60%の窒素量となるようにTMAHの添加量を調整するのが好ましい。
【0018】
本発明は、TMAHに窒素が含まれている点に着目し、このTMAHに含まれている窒素を、DMSOの生物処理の窒素源として使用するものである。
【0019】
TMAHには約15.3%の窒素が含まれており、これがDMSOの生物処理の窒素源として使用される。
【0020】
これにより、TMAHの廃液の減量化、DMSOの生物処理における窒素源費用の節約が可能となる。
【0021】
【実施例】
以下、本発明の実施例について説明する。
【0022】
実施例1
本実施例は、DMSOを含有する被処理水の処理方法と装置の一実施例であり、先ず処理装置の構成について説明する。
【0023】
図1において、1は工場等から供給される原水のpHを調整するためのpH調整槽で、該pH調整槽1には、そのpH調整槽1内の原水のpHを測定するpH測定計(図示せず)等が具備されている。
【0024】
2は、前記pH調整槽1でpHが調整された被処理水を生物処理するための、生物処理槽で、この生物処理槽2には、pH測定計や散気装置(図示せず)等が具備されている。
【0025】
この生物処理槽2としては、生物濾過膜装置が用いられる。
【0026】
3は、前記pH調整槽1へ供給するTMAHを貯留するためのTMAH貯留槽で、TMAH貯留槽3内のTMAHは、工場廃液に含有されたものである。
【0027】
次に、上記のような処理装置を用いて、DMSO含有廃水を処理する方法について説明する。
【0028】
先ず、工場からの原水をpH調整槽1に供給する。
【0029】
この原水にDMSOが含有されている。
【0030】
このpH調整槽1内では、供給された原水のpHの値に応じてpHが調整されることとなる。
【0031】
さらに、原水に、TMAH貯留槽3から窒素源としてのTMAHがpH調整槽1へ添加される。
【0032】
この場合、TMAHの添加量は、DMSOと添加されるTMAHとの混合液のTOC量の3〜60%の窒素量となるように調整される。
【0033】
次に、このようにしてpH調整槽1内でpHが調整された原水は、生物処理槽2へ供給され、その生物処理槽2内で生物処理、すなわち微生物により原水中のDMSO等の分解処理を行う。
【0034】
このようにして生物処理槽2で生物処理された処理水は、外部に放流されるとともに、その一部は流路4を介して前記pH調整槽1に返送される。
【0035】
そして、処理水が前記pH調整槽1へ循環されることにより、原水は希釈され、それによってpH調整槽1や生物処理槽2内のDMSOの濃度が低下することとなる。
【0036】
試験例
活性汚泥法により、窒素源を変えた場合の処理性について検討した。
【0037】
DMSO廃水として、DMSO濃度が550mg/L の模擬廃水を調整し、これに窒素源としてNH4ClとTMAH,MEAを添加した場合のそれぞれの処理性について検討した。
【0038】
窒素の比率はDMSOと窒素源との混合液のTOCの3〜55%に変化させた。
【0039】
また、活性汚泥に対する負荷が0.3kgTOC/m3d となるように通水量を調節して試験した。
【0040】
【表1】
【0041】
表1の結果からも明らかなように、NH4Clを窒素源とした試験では安定してDMSOを処理することができた。
【0042】
次に、NH4Clに代えてTMAHを使用して試験を行ったが、同様に安定した処理が可能であった。
【0043】
また、過剰のTMAHを添加しても、この範囲であれば処理に不都合は起こらず、過剰のTMAHはすべて分解され、処理水の窒素濃度のみ上昇した。また、MEAでも同様に安定した処理が可能であった。
【0044】
実装置では生物処理として生物膜濾過装置を使用して、TMAH廃液添加量として50mg/Lで運転した。
【0045】
DMSO濃度600mg/L で1000m3/dの廃水を生物濾過するためにはTOC量の5%の窒素(DMSO濃度に対しては1.5 %)が必要であるから、次の式に示すように1日あたり9kgの窒素が必要である。
【0046】
600 ×1000×10-3×0.015 =9kgN/d
【0047】
これをNH4Cl で供給すると、購入費用を200 円/N-kg として
9×200 円=1800円/d …(1)
【0048】
TMAH廃液の添加量は、TMAH濃度0.8 %として、TMAHの窒素含有率が15.4%であるから、
9÷0.154 ÷0.008 =7305kg/d …(2)
【0049】
およそ1日あたり7.3m3 のTMAH廃液を消費することができる。
【0050】
TMAH廃液の処分費用は50000 円/m3 とすると、
7.3×50000 =365000円/d …(3)
【0051】
(1) +(3) より約370000円/dの削減となる。
【0054】
その他の実施例
尚、DMSOを含有する廃水のTOC量の3〜60%の窒素量となるようにテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの添加量を調整することが好ましいが、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの添加量はこれに限定されるものではない。
【0055】
さらに、該実施形態では、生物処理槽2で生物処理された処理水の一部をpH調整槽1に返送するための流路4を設けたが、このような流路4を設けることは本発明に必須の条件ではない。
【0056】
さらに、上記実施形態では、TMAHを貯留するための貯留槽3を設けたが、このような貯留槽3を設けることは本発明に必須の条件ではなく、たとえば工場からのTMAH排出量の変動が少ない場合には、TMAH廃液を直接有機硫黄化合物を含有する廃水に注入することが可能である。
【0057】
また、該実施形態では、TMAH廃液をpH調整槽1に添加したが、TMAH廃液を添加する場所はこれに限定されるものではなく、pH調整槽1へ供給される前の原水、生物処理槽2、pH調整槽1と生物処理槽2間の配管ライン等、任意の場所で添加することが可能である。
【0060】
【発明の効果】
叙上のように、本発明においては、工場からの廃液中に含有されているTMAHをDMSO含有廃水に添加して処理する方法であるため、そのTMAHを窒素源としてDMSO含有廃水の処理に用いることができ、従ってDMSO含有廃水の処理と、それ自体が廃液中に含有されているTMAHの処理とを同時に行うことができる。
【0061】
この結果、従来窒素源として使用していたアンモニアが不要となり、従ってその購入のための費用を節減できるという利点がある。
【0062】
またアンモニアの貯留タンクも不要となり、その結果、廃水処理設備のスペースが削減できるという利点がある。
【0063】
さらに、TMAH自体を窒素源として使用するために、従来のようにTMAHの廃棄物処分に多大なコストがかかることもないという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施例の有機硫黄化合物含有廃水の処理装置の概略ブロック図。
【図2】従来の処理装置の概略ブロック図。
【符号の説明】
1…pH調整槽 2…生物処理槽
3…TMAH貯留槽
Claims (3)
- ジメチルスルホキシド含有廃水に、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドを含有する廃液を添加した後、生物処理することを特徴とするジメチルスルホキシド含有廃水の処理方法。
- ジメチルスルホキシド含有廃水に添加するテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの量を、ジメチルスルホキシド含有廃水中の有機物濃度に応じて調整する請求項1記載のジメチルスルホキシド含有廃水の処理方法。
- ジメチルスルホキシド含有廃水及びテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドを含む廃水の全有機性炭素量の3〜60%の窒素量となるようにテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの添加量を調整する請求項2記載のジメチルスルホキシド含有廃水の処理方法。
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