JP3952944B2 - リング共振回路 - Google Patents

リング共振回路 Download PDF

Info

Publication number
JP3952944B2
JP3952944B2 JP2002360261A JP2002360261A JP3952944B2 JP 3952944 B2 JP3952944 B2 JP 3952944B2 JP 2002360261 A JP2002360261 A JP 2002360261A JP 2002360261 A JP2002360261 A JP 2002360261A JP 3952944 B2 JP3952944 B2 JP 3952944B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
waveguide
ring
optical
refractive index
relative refractive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002360261A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004145238A (ja
Inventor
英憲 高橋
正士 宇佐見
公佐 西村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KDDI Corp
Original Assignee
KDDI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KDDI Corp filed Critical KDDI Corp
Priority to JP2002360261A priority Critical patent/JP3952944B2/ja
Priority to GB0312106A priority patent/GB2392510B/en
Priority to US10/618,114 priority patent/US6907152B2/en
Publication of JP2004145238A publication Critical patent/JP2004145238A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3952944B2 publication Critical patent/JP3952944B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/12007Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リング共振回路に関し、より具体的には、光導波路型のリング共振回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
入出力光導波路に隣接して光リング導波路を配置し、両者を方向性結合器で光結合することにより、光導波路型のリング共振回路を形成できる。
【0003】
分散補償器として使用できるリング共振回路が、F. Horst et al,”Tunable Ring Resonator DispersionCompensatos Realized in High−Refractive−Index Contrast SiON Technology”, post deadline paper, European Conference on Optical Comunications 2000に記載されている。群遅延が、波長と、入出力光導波路と光リング導波路との間の結合係数とに依存するので、光ファイバの波長分散とは逆符号の分散特性を有するように結合係数を調整することで、分散補償器として使用できる。
【0004】
また、アド/ドロップ光フィルタとして使用するリング共振回路が、鈴木扇太他、「積層導波路型リング共振回路」、電子情報通信学会秋季大会、c−234、1992に記載されている。この場合にも、結合係数を調整することで、フィルタ特性を調節できることを利用する。
【0005】
単一モード光ファイバ(以下、SMFと略す。)のコアとクラッドの比屈折率差Δnは0.3%であり、SMFと0.3dB以下の逓損失で光結合できる石英光導波路の比屈折率差Δnは0.3〜0.75%である。入出力光導波路及び光リング導波路の比屈折率差を0.3〜0.75%の範囲に設定した場合、光リング導波路の自由スペクトル領域(以下、FSRという。)は、最大で6GHz程度である。
【0006】
前者の論文では、比屈折率差Δnが3.3%、曲げ半径が550μmの光リング導波路を形成して、FSRとして50GHzを実現している。ここに記載された構成では、入出力導波路の比屈折率差を光リング導波路のそれと同じにしている。Δnが3.3%の入出力導波路とΔnが0.3%程度のSMFとの間で良好な光結合を得るために、両者の間にモード変換光ファイバを配置することを提案している。このモード変換光ファイバにより、片端面当たりの結合損失が、1.2dBだけ減少すると報告されている。
【0007】
後者の論文では、光リング導波路のΔnを高くし、入出力光導波路のΔnを低くすることで、広いFSRと、逓損失での光ファイバとの接続の両方を実現している。具体的には、入出力光導波路のΔnを0.75%、光リング導波路のΔnを2%として、モード変換光ファイバ無しで、21.6GHzのFSRを実現している。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
前者の論文に記載される構成では、モード変換光ファイバが必要であり、部品点数が増加し、回路規模が大きくなる。また、結合効率が改善したとはいえ、未だ1.2dBの結合損失がある。
【0009】
後者の論文のように、単に、光リング導波路のΔnを高くし、入出力光導波路のΔnを低くした場合、SMFと入出力光導波路との間の光結合効率は向上するものの、入出力導波路と光リング導波路との間の光結合効率が劣化する。後者の論文には、入出力導波路と光リング導波路との間の光結合効率は小さくても良いと記載されているが、用途、例えば、前者の論文に記載されるような分散補償の用途では、入出力導波路と光リング導波路との間の光結合効率として70%〜100%程度を必要とすることがある。このような用途では、後者の論文に記載される構成は採用できない。
【0010】
基本的には、光リング導波路のΔnを大きくすることで、周回長を短くでき、その結果、FSRが大きくなる。しかし、光リング導波路のΔnを大きくすると、入出力光導波路と光リング導波路との間の光結合効率、又は、外部のSMF等と入出力光導波路との間の光結合効率が悪化する。
【0011】
そこで、本発明は、広いFSRと高い光結合効率の両方を実現できる新規な構成のリング共振回路とその製造方法を提示することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るリング共振回路は、第1の比屈折率差を具備するリング導波路であって、狭幅域を有するリング導波路と、当該第1の比屈折率差より小さい第2の比屈折率差を具備する光導波路であって、当該狭幅域に隣接して配置され、当該狭幅域との間で光学的に結合する光導波路とを具備することを特徴とする。
【0013】
本発明に係るリング共振回路はまた、第1の比屈折率差を具備するリング導波路であって、第1及び第2の狭幅域を有するリング導波路と、当該第1の比屈折率差より小さい第2の比屈折率差を具備する光導波路であって、当該第1の狭幅域に隣接して配置され、当該第1の狭幅域との間で光学的に結合する第1の光導波路と、当該第1の比屈折率差より小さい第3の比屈折率差を具備する光導波路であって、当該第2の狭幅域に隣接して配置され、当該第2の狭幅域との間で光学的に結合する第1の光導波路とを具備することを特徴とする。
【0014】
【実施例】
以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する。
【0015】
図1は、本発明の一実施例の斜視図を示し、図2は、その平面図を示す。図3は、図2のA−A線から見た断面図を示し、図4は、図2のB−B線から見た断面図を示す。
【0016】
石英基板10内に、長円形状のリング導波路12と直線状の光導波路14が埋め込まれている。リング導波路12の一辺に隣接して且つ平行に、光導波路14が配置されている。光導波路14に近接するリング導波路12の辺では、部分的に導波路幅を細くして光導波路14と光結合しやすくした狭幅域12aを形成してある。狭幅域12aの両側には、狭幅域12aに向かって導波路幅が漸減する長さ800μmのテーパー部12b,12cを形成してある。狭幅域12aとこれに近接する光導波路14の部分が、方向性結合器を形成し、狭幅域12aの光伝搬方向の長さは、方向性結合に適した長さに設定されている。
【0017】
光導波路14の一方端に、SMF16が配置され、光導波路14の他方端にもSMF18が配置される。SMF16,18は、基本的に同じ屈折率分布及び屈折率の光ファイバからなる。
【0018】
本実施例では、光導波路14の比屈折率差Δnは、0.75%で、断面形状は6μm×6μmである。SMFの比屈折率差Δn=0.3%と光結合可能な石英導波路のΔnは、上述の通り、0.3〜0.75%であり、光導波路14の比屈折率差Δnをその範囲内の最大値0.75%に設定してある。
【0019】
光導波路14の上方に、1μmの間隔をおいてリング導波路12が積み上げられている。リング導波路12は、比屈折率差Δnが2.3%、最小曲げ半径が800μm、一周長が8500μmである。リング導波路12高さは3μm、その幅は、ほとんどの部分で3μm、狭幅域12aで1μm、テーパー部12b,12cでは800μmの範囲で3μmから1μmに変化する。
【0020】
リング導波路12のΔnが2.3%であるのに対し、光導波路14のΔnが0.75%であるので、そのままでは両者間の光結合が難しいが、本実施例では、リング導波路12に狭幅域12aを設けることで、光導波路14との光結合率を改善している。即ち、狭幅域12aでは、伝搬光の伝搬定数が低下して光導波路14の伝搬定数に接近し、導波路パラメータによっては、両者を一致させることも可能である。これにより、リング導波路12と光導波路14との間で70%以上の光結合効率の方向性結合を実現できる。
【0021】
SMF16から光導波路14に入射した光は、リング導波路12の狭幅域12aでリング導波路12に結合する。リング導波路12を周回した光は、狭幅域12aで光導波路14に結合し、SMF18に出力される。リング導波路12上に各種の光素子、例えば、波長依存の透過率又は波長分散を有する光素子を配置することで、挿入損失の少ない種々の光機能素子を実現できる。
【0022】
(第2実施例)
図5は、本発明の第2実施例の平面図を示す。図6は、図5のC−C線から見た断面図を示し、図6は、図5のD−D線から見た断面図を示す。第2実施例は、いわゆる、リング共振器型光フィルタ構成になっている。第1の実施例に対し、リング導波路の2箇所に狭幅域を設けると共に、各狭幅域に光結合する2つの光導波路を設けている。
【0023】
図5〜図7に示す実施例では、石英基板110内に、長円形状のリング導波路112と直線状の光導波路114,116が埋め込まれている。リング導波路112の一辺に隣接して且つ平行に光導波路114が配置され、リング導波路112の他方の辺に隣接して且つ平行に、光導波路116が配置されている。
【0024】
光導波路114に近接するリング導波路112の辺では、部分的に導波路幅を細くして光導波路114と光結合しやすくした狭幅域112aを形成してある。狭幅域112aの両側には、狭幅域112aに向かって導波路幅が漸減する長さ800μmのテーパー部112b,112cを形成してある。これは、第1実施例の場合と同じである。本実施例では更に、光導波路116に近接するリング導波路112の辺にも、狭幅域112a及びテーパー部112b,112cと同様の構成の狭幅域112d及びテーパー部112e,112fを設けてある。狭幅域112dにおいて、リング導波路112は光導波路116と効率良く光結合する。
【0025】
狭幅域112aとこれに近接する光導波路114の部分が、方向性結合器を形成し、狭幅域112aの光伝搬方向の長さは、その方向性結合に適した長さに設定されている。同様に、狭幅域112dとこれに近接する光導波路116の部分が、方向性結合器を形成し、狭幅域112dの光伝搬方向の長さは、その方向性結合に適した長さに設定されている。
【0026】
光導波路114の一方端にSMF118が配置され、光導波路114の他方端にもSMF120が配置される。光導波路116の一方端にSMF122が配置され、光導波路116の他方端にSMF124が配置される。
【0027】
リング導波路112の狭幅部112a,112d及びテーパー部112b,112c,112e,112fの導波路幅・高さ及び屈折率は、第1実施例の場合と同じである。光導波路(入出力導波路)114及び光導波路(出力導波路)116の導波路幅・高さ及び屈折率は、第1実施例の光導波路14と同じである。リング導波路112の狭幅部112a,112dと光導波路114,116との間の距離は共に、第1実施例の場合と同様に、1μmである。
【0028】
例えば、本実施例では、SMF118から光導波路114に入力する光は、リング導波路112の狭幅部112aでリング導波路112に結合する。リング導波路112を周回する光の内、リング導波路112の共振周波数に合致する波長成分(ドロップ帯域成分)が、光導波路116を介してSMF122に出力され、残りの波長成分がSMF120に出力される。即ち、本実施例は、特定の波長成分を分離する波長分離機能を具備する。本実施例はまた、リング導波路上に種々の光素子を配置することで追加の機能を具備し得る。方向性結合器の結合効率とドロップ帯域との間には相関があり、結合効率が増加するとドロップ帯域も増加する。本実施例では、高い結合効率を容易に実現できるので、広いドロップ帯域を実現できる。
【0029】
(第3実施例)
図1〜図4には、入出力光導波路14上にリング導波路12を積み上げた構成を図示したが、リング導波路12の横に、即ちリング導波路12と実質的に同一の面上に、入出力光導波路14を配置しても良い。その場合、リング導波路12と入出力光導波路14との方向性結合の効率を改善するために、狭幅部12aの部分で、入出力導波路14をリング導波路12の外縁に沿って湾曲させれば良い。図8は、そのような変更実施例の平面図を示し、図9は、図8のE−E線の断面図を示す。
【0030】
図8に示す変更例では、基板10aには、リング導波路12の横に、入出力光導波路14に対応する入出力光導波路14aを配置する。入出力光導波路14aは、リング導波路12の狭幅部12a及びテーパー部12b,12cに沿って湾曲している。但し、入出力光導波路14aの高さ及び幅は共に6μmであり、光伝搬方向(長さ方向)で一定である。
【0031】
図5〜図7に示す第2実施例に対しても、リング導波路112の横に並べて光導波路114,116を配置してもよい。その場合、図8に示す導波路配置と同様に、リング導波路112と入出力光導波路114との方向性結合の効率を改善するために、狭幅部112aの部分で、入出力導波路114をリング導波路112の外縁に沿って湾曲させれば良い。同様に、リング導波路112と入出力光導波路116との方向性結合の効率を改善するために、狭幅部112dの部分で、入出力導波路116をリング導波路112の外縁に沿って湾曲させれば良い。
【0032】
石英基板に本発明に係るリング共振回路を形成する場合を説明したが、勿論、半導体で形成してもよい。
【0033】
【発明の効果】
以上の説明から容易に理解できるように、本発明によれば、高い光結合効率を持ち、且つ、部品点数が少なく、低損失のリング共振回路を実現できる。また、リング長を短くしやすいので、FSRの大きなリング共振回路を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例の斜視図である。
【図2】 第1実施例の平面図である。
【図3】 図2のA−A線の断面図である。
【図4】 図2のB−B線の断面図である。
【図5】 本発明の第2実施例の平面図である。
【図6】 図5のC−C線の断面図である。
【図7】 図5のD−D線の断面図である。
【図8】 本発明の第3実施例の平面図である。
【図9】 図8のE−E線の断面図を示す。
【符号の説明】
10,10a:石英基板
12:リング導波路
14,14a:光導波路
12a:狭幅域
12b,12c:テーパー部
14:光導波路
16,18:単一モードファイバ(SMF)
110:石英基板
112:リング導波路
112a:狭幅域
112b,112c:テーパー部
112d:狭幅域
112e,112f:テーパー部
114,116:光導波路
118,120,122,124:単一モードファイバ(SMF)

Claims (7)

  1. 第1の比屈折率差を具備するリング導波路であって、狭幅域(12a)を有するリング導波路(12)と、
    当該第1の比屈折率差より小さい第2の比屈折率差を具備する光導波路であって、当該狭幅域に隣接して配置され、当該狭幅域との間で光学的に結合する光導波路(14)
    とを具備することを特徴とするリング共振回路。
  2. 当該第2の比屈折率差が0.3%乃至0.75%の何れかである請求項1に記載のリング共振回路。
  3. 当該リング導波路(12)は、当該狭幅域(12a)の前後で導波路幅が漸減及び漸増するテーパー部(12b、12c)を具備する請求項1に記載のリング共振回路。
  4. 第1の比屈折率差を具備するリング導波路であって、第1及び第2の狭幅域(112a,112d)を有するリング導波路(112)と、
    当該第1の比屈折率差より小さい第2の比屈折率差を具備する光導波路であって、当該第1の狭幅域(112a)に隣接して配置され、当該第1の狭幅域(112a)との間で光学的に結合する第1の光導波路(114)と、
    当該第1の比屈折率差より小さい第3の比屈折率差を具備する光導波路であって、当該第2の狭幅域(112d)に隣接して配置され、当該第2の狭幅域(112d)との間で光学的に結合する第1の光導波路(116)
    とを具備することを特徴とするリング共振回路。
  5. 当該第2及び第3の比屈折率差が0.3%乃至0.75%の何れかである請求項4に記載のリング共振回路。
  6. 当該第2の比屈折率差が当該第3の比屈折率差と実質的に等しい請求項4に記載のリング共振回路。
  7. 当該リング導波路(112)は、当該第1の狭幅域(112a)の前後で導波路幅が漸減及び漸増するテーパー部(112b、112c)を具備し、当該第2の狭幅域(112d)の前後で導波路幅が漸減及び漸増するテーパー部(112e、112f)を具備する請求項4に記載のリング共振回路。
JP2002360261A 2002-08-30 2002-12-12 リング共振回路 Expired - Fee Related JP3952944B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002360261A JP3952944B2 (ja) 2002-08-30 2002-12-12 リング共振回路
GB0312106A GB2392510B (en) 2002-08-30 2003-05-27 Ring resonator
US10/618,114 US6907152B2 (en) 2002-08-30 2003-07-10 Ring resonator

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002253785 2002-08-30
JP2002360261A JP3952944B2 (ja) 2002-08-30 2002-12-12 リング共振回路

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004145238A JP2004145238A (ja) 2004-05-20
JP3952944B2 true JP3952944B2 (ja) 2007-08-01

Family

ID=26625744

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002360261A Expired - Fee Related JP3952944B2 (ja) 2002-08-30 2002-12-12 リング共振回路

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6907152B2 (ja)
JP (1) JP3952944B2 (ja)
GB (1) GB2392510B (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6885794B2 (en) * 2002-07-11 2005-04-26 Lambda Crossing, Ltd. Micro-ring resonator
US7485729B2 (en) 2004-08-12 2009-02-03 King Industries, Inc. Organometallic compositions and coating compositions
WO2006022899A2 (en) * 2004-08-12 2006-03-02 King Industries, Inc. Organometallic compositions and coating compositions
JP2007072433A (ja) * 2005-08-11 2007-03-22 Ricoh Co Ltd 光集積素子及び光制御素子
JP4636439B2 (ja) * 2005-11-30 2011-02-23 日立化成工業株式会社 方向性光結合器の2つの直線光導波路のコア幅及びコア間の距離の計算方法
US7840099B2 (en) * 2006-01-18 2010-11-23 Massachusetts Institute Of Technology Ultrafast Ge/Si resonator-based modulators for optical data communications in silicon photonics
US20080273567A1 (en) * 2007-05-02 2008-11-06 Amnon Yariv Hybrid waveguide systems and related methods
US7965914B2 (en) * 2008-10-30 2011-06-21 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Critically coupled microring resonator and method
US20100260453A1 (en) * 2009-04-08 2010-10-14 Block Bruce A Quality factor (q-factor) for a waveguide micro-ring resonator
EP2683767A1 (en) 2011-03-06 2014-01-15 King Industries, Inc. Compositions of a metal amidine complex and second compound, coating compositions comprising same
JP2022516918A (ja) * 2019-01-03 2022-03-03 クアンタム-エスアイ インコーポレイテッド フォトニック素子のアレイに対して光を送達するための光導波路およびカプラ
CN109683239B (zh) * 2019-01-23 2023-09-12 上海交大知识产权管理有限公司 光子集成芯片内矢量涡旋光束辐射器及其应用
JP6918856B2 (ja) * 2019-02-14 2021-08-11 古河電気工業株式会社 リング共振器フィルタ素子
CN113900285B (zh) * 2021-12-08 2022-04-05 杭州芯耘光电科技有限公司 一种工艺不敏感调制器
CN114236687B (zh) * 2021-12-23 2024-01-30 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 光学谐振腔及其制作方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05203826A (ja) * 1992-01-29 1993-08-13 Nippondenso Co Ltd 光リングフィルタ
US5926496A (en) * 1995-05-25 1999-07-20 Northwestern University Semiconductor micro-resonator device
US6289151B1 (en) * 1998-10-30 2001-09-11 Lucent Technologies Inc. All-pass optical filters
WO2000050938A1 (en) * 1999-02-22 2000-08-31 Massachusetts Institute Of Technology Vertically coupled optical resonator devices over a cross-grid waveguide architecture
US6259847B1 (en) * 1999-04-07 2001-07-10 Lucent Technologies Inc. Optical communication system including broadband all-pass filter for dispersion compensation
US6751368B2 (en) * 2000-09-22 2004-06-15 Massachusetts Institute Of Technology Methods of altering the resonance of waveguide micro-resonators
US6885794B2 (en) * 2002-07-11 2005-04-26 Lambda Crossing, Ltd. Micro-ring resonator

Also Published As

Publication number Publication date
US20040040646A1 (en) 2004-03-04
US6907152B2 (en) 2005-06-14
GB2392510A (en) 2004-03-03
GB2392510B (en) 2005-07-20
GB0312106D0 (en) 2003-07-02
JP2004145238A (ja) 2004-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3952944B2 (ja) リング共振回路
CN112041717B (zh) 具有三叉戟结构的分光器
JP6379245B1 (ja) 光導波路素子及び受信回路
US11215755B2 (en) Low loss, polarization-independent, large bandwidth mode converter for edge coupling
US6643432B2 (en) Optical waveguide device and optical waveguide method
CN109407229B (zh) 一种端面耦合器
JP5625449B2 (ja) マッハ・ツェンダ干渉計、アレイ導波路回折格子及びマッハ・ツェンダ干渉計の製造方法
US10451797B2 (en) Few-mode optical fiber
CN112711093B (zh) 一种偏振分束器结构及偏振分束方法
JP5979653B2 (ja) 多モード干渉光カプラ
JP4477260B2 (ja) 導波路型光カプラおよび該導波路型光カプラを用いた光合分波器
CN115308846A (zh) 一种基于亚波长光栅的双模硅基微环谐振器
CN113311537B (zh) 一种基于级联锥形耦合器的聚合物三模式复用器
CN111158087B (zh) 一种基于非对称定向耦合器的光波导环形谐振器
JP3795821B2 (ja) 光分岐器
EP3173754B1 (en) Spectroscopy device including a bragg grating
WO2004004082A1 (en) Optical resonator and laser applications
CN116094647A (zh) 波分复用器
CN113866896B (zh) 一种高q值微环谐振器
Darmawan et al. Pole–zero dynamics of high-order ring resonator filters
CN112462535A (zh) 一种硅基电光调制与模分复用集成器件
JP4960202B2 (ja) 光波長合分波回路
KR20030039613A (ko) 다항 곡선 광도파로를 구비한 평면 도파로 소자
JP4960201B2 (ja) 光波長合分波回路
JP2005506572A (ja) 光フィルタ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050908

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20061218

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070116

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070410

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070423

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110511

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130511

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160511

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees