JP3947795B2 - クリーニング部材及びプローブ装置 - Google Patents
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Description
11 ウエハチャック(載置台)
12 クリーニング部材
13 プローブカード
13A プローブ
121 基台
122 絶縁性プラスチック繊維(繊維)
122A 窪み
123 ブラシ
W ウエハ(被検査体)
Claims (12)
- 基台と、この基台に複数本立設された繊維からなるブラシと、を有し、上記ブラシで被検査体の検査を行う際に用いられるプローブをクリーニングするクリーニング部材において、上記繊維の外周面には上記繊維の長さ方向に形成された窪みが周方向に所定間隔を空けて複数条に渡って設けられていることを特徴とするクリーニング部材。
- 上記複数条の窪みは複数の膨出面が上記繊維の周方向に連なる境界にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項1に記載のクリーニング部材。
- 上記繊維の長手方向に直交する断面は、三つ葉状を呈することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のクリーニング部材。
- 上記繊維は、絶縁性プラスチック繊維によって形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のクリーニング部材。
- 上記絶縁性プラスチック繊維は、1014〜1016Ω・cmの比抵抗を有することを特徴とする請求項4に記載のクリーニング部材。
- 上記基台は金属からなり、上記絶縁性プラスチック繊維は金属線によって結束されて上記基台に立設されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のクリーニング部材。
- 被検査体を載置する移動可能な載置台に付設されたクリーニング部材と、このクリーニング部材の上方に配置されたプローブカードと、を備え、上記載置台を移動させて上記被検査体と上記プローブカードの複数のプローブとを電気的に接触させて電気的特性検査を行った後、上記載置台を介して上記クリーニング部材を移動させて上記複数のプローブをクリーニングするプローブ装置において、上記クリーニング部材は、基台と、この基台に複数本立設された繊維からなるブラシと、を有し、上記繊維の外周面には上記繊維の長さ方向に形成された窪みが周方向に所定間隔を空けて複数条に渡って設けられていることを特徴とするプローブ装置。
- 上記複数条の窪みは複数の膨出面が上記繊維の周方向に連なる境界にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項7に記載のプローブ装置。
- 上記繊維の長手方向に直交する断面は、三つ葉状を呈することを特徴とする請求項7または請求項8に記載のプローブ装置。
- 上記繊維は、絶縁性プラスチック繊維によって形成されていることを特徴とする請求項7〜請求項9のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 上記絶縁性プラスチック繊維は、1014〜1016Ω・cmの比抵抗を有することを特徴とする請求項10に記載のプローブ装置。
- 上記基台は金属からなり、上記絶縁性プラスチック繊維は金属線によって結束されて上記基台に立設されていることを特徴とする請求項7〜請求項11のいずれか1項に記載のプローブ装置。
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