JP3947795B2 - クリーニング部材及びプローブ装置 - Google Patents

Description

本発明は、プローブカードのプローブをクリーニングするクリーニング部材及びこのクリーニング部材を備えたプローブ装置に関し、更に詳しくは、プローブのクリーニング効率を高めることができるクリーニング部材及びプローブ装置に関するものである。

プローブ装置は、例えば図６に示すように、被検査体（例えば、ウエハ）Ｗを搬送するローダ室１と、ローダ室１に隣接し且つローダ室１から受け取ったウエハＷの電気的特性検査を行うプローバ室２と、を備えて構成されている。プローバ室２は、同図に示すように、Ｘ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配設され且つウエハを載置する載置台（ウエハチャック）３と、このウエハチャック３の上方に配置されたプローブカード４と、プローブカード４を保持するクランプ機構５と、を備えている。プローバ室２内ではウエハチャック３がＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動する間にアライメント機構６を介してウエハＷとプローブカード４のプローブ４Ａとのアライメントを行った後、ウエハＷのインデックス送りを行いながらプローブ４ＡをウエハＷの電極パッドに電気的に接触させて電気的特性検査を実行する。尚、アライメント機構６は、上カメラ６Ａ及び下カメラ６Ｂを有している。Ｔはテストヘッドである。

而して、ウエハＷの検査を継続すると、プローブ４Ａに電極パッドの削り屑等の付着物が付着する。そこで、ウエハチャック３の側面にはクリーニング部材７が付設され、このクリーニング部材７によってプローブ４Ａをクリーニングして、プローブ４Ａから付着物を除去するようにしている。付着物は、金属パッドの削り屑等がプローブ４Ａに溶着等により強固に付着て除去し難いものや、付着力の弱く除去し易いものがある。強固に固着した付着物は研磨部材を用いてプローブ４Ａを研磨して付着物を除去し、付着力の弱い付着物はブラシ等を用いてプローブ４Ａの付着物を除去するようにしている。

研磨部材としては例えば特許文献１において提案されたものがある。この研磨部材（研磨板）は、ウエハに代えてウエハチャックに載置し、研磨板の表面に形成された溝の上縁にプローブを斜め方向から摺接させてプローブを研磨することによって、プローブから溶着物等の付着物を除去するようにしている。

また、ブラシとしては例えば特許文献２において提案されたものがある。このブラシは、導電性クリーニング体によって形成され、ウエハチャックの側面に付設されている。この導電性クリーニング体は接地されており、クリーニング時にプローブと導電性クリーニング体との摩擦によって発生する静電気を接地された導電性クリーニング体を介して放電し、クリーニング時のプローブでの帯電を防止し、もって検査時にプローブからウエハへの放電を防止するようにしている。

特開２０００−０１９２２６号公報 特開平０８−２５０５５７号公報

しかしながら、特許文献１の研磨部材は、プローブを研磨して電極パッドの削り屑が強固に固着した付着物をクリーニング対象としており、付着力の弱い付着物をクリーニング対象としていない。また、この技術ではウエハチャック上のウエハを研磨部材に置き換えてクリーニングするため、クリーニング作業性が悪く、スループットの低下を招く。

これに対して、特許文献２の帯電性クリーニング体は付着力の弱い付着物をクリーニング対象としている。導電性クリーニング体は炭素質繊維、ボロン繊維等の束によって形成され、各繊維は例えば図７の（ａ）に示すように断面が円形あるいは楕円形に形成されているのが一般的である。そのため、クリーニング時には各繊維７Ａが同図の（ａ）に模式的に示すようにプローブ４Ａ針先の付着物Ｏと摺接し、この時の摩擦力で付着物Ｏを除去するが、各繊維７Ａは断面が円形または楕円形であるため滑り易く、しかも付着物Ｏとの接触面積が同図の（ａ）に示すように円弧面であるため狭く、付着物Ｏのクリーニング効率が悪いという課題があった。また、クリーニング時に各繊維７Ａが切れるが、この切れ端が同図の（ｂ）に矢印で示すように複数のプローブ４Ａ間に絡んで残存するため、この切れ端を残したまま検査を行うと、検査時の電流が同図の（ｂ）に矢印で示すように導電性の繊維７Ａを介して流れて、プローブ４Ａ、４Ａ間で短絡する虞があった。尚、図７の（ａ）では付着物Ｏがプローブ４Ａの針先に強固に付着したように見えるが、実際は金属パッドの削り屑等の集合体で、溶着しているものではない。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、クリーニング効率を高めることができるクリーニング部材及びプローブ装置を提供することを目的としている。また、クリーニング効率を高めることができるができると共に検査時にクリーニング部材の繊維に起因するプローブ間の短絡を防止することができるクリーニング部材及びプローブ装置を提供することを目的としている。

本発明の請求項１に記載のクリーニング部材は、基台と、この基台に複数本立設された繊維からなるブラシと、を有し、上記ブラシで被検査体の検査を行う際に用いられるプローブをクリーニングするクリーニング部材において、上記繊維の外周面には上記繊維の長さ方向に形成された窪みが周方向に所定間隔を空けて複数条に渡って設けられていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２に記載のクリーニング部材は、請求項１に記載の発明において、上記複数条の窪みは複数の膨出面が上記繊維の周方向に連なる境界にそれぞれ形成されていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項３に記載のクリーニング部材は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記繊維の長手方向に直交する断面は、三つ葉状を呈することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項４に記載のクリーニング部材は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記繊維は、絶縁性プラスチック繊維によって形成されていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項５に記載のクリーニング部材は、請求項４に記載の発明において、上記絶縁性プラスチック繊維は、１０^１４〜１０^１６Ω・ｃｍの比抵抗を有することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項６に記載のプローブ装置は、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の発明において、上記基台は金属からなり、上記絶縁性プラスチック繊維は金属線によって結束されて上記基台に立設されていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項７に記載のプローブ装置は、被検査体を載置する移動可能な載置台に付設されたクリーニング部材と、このクリーニング部材の上方に配置されたプローブカードと、を備え、上記載置台を移動させて上記被検査体と上記プローブカードの複数のプローブとを電気的に接触させて電気的特性検査を行った後、上記載置台を介して上記クリーニング部材を移動させて上記複数のプローブをクリーニングするプローブ装置において、上記クリーニング部材は、基台と、この基台に複数本立設された繊維からなるブラシと、を有し、上記繊維の外周面には上記繊維の長さ方向に形成された窪みが周方向に所定間隔を空けて複数条に渡って設けられていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項８に記載のプローブ装置は、請求項７に記載の発明において、上上記複数条の窪みは複数の膨出面が上記繊維の周方向に連なる境界にそれぞれ形成されていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項９に記載のプローブ装置は、請求項７または請求項８に記載の発明において、上記繊維の長手方向に直交する断面は、三つ葉状を呈することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１０に記載のプローブ装置は、請求項７〜請求項９のいずれか１項に記載の発明において、上記繊維は、絶縁性プラスチック繊維によって形成されていることを特徴とするものである。

本発明の請求項１１に記載のプローブ装置は、請求項１０に記載の発明において、上記絶縁性プラスチック繊維は、１０^１４〜１０^１６Ω・ｃｍの比抵抗を有することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１２に記載のプローブ装置は、請求項７〜請求項１１のいずれか１項に記載の発明において、上記基台は金属からなり、上記絶縁性プラスチック繊維は金属線によって結束されて上記基台に立設されていることを特徴とするものである。

本発明の請求項１〜請求項１２に記載の発明によれば、クリーニング効率を高めることができるクリーニング部材及びプローブ装置を提供することができると共に、検査時にクリーニング部材の繊維に起因するプローブ間の短絡を防止することができるクリーニング部材及びプローブ装置を提供することができる。

以下、図１〜図４に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。尚、図１は本発明のプローブ装置の一実施形態の要部を示す側面図、図２の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示すプローブ装置に用いられたクリーニング部材を示す図で、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその一部を拡大して模式的に示す断面図、図３の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図２に示すクリーニング部材でプローブカードをクリーニングする状態を示す図で、（ａ）はクリーニング部材の繊維とプローブとの関係を示す水平方向の平面図、（ｂ）はクリーニング部材の繊維とプローブとの関係を示す側面図、図４の（ａ）、（ｂ）はそれぞれクリーニング部材の繊維の変形例を示す水平方向の断面図、図５は図1に示すプローブ間にクリーニング部材の繊維が絡んだ状態を示す図である。

本実施形態のプローブ装置１０は、例えば図１に示すように、被検査体（例えば、ウエハ）Ｗを載置する移動可能な載置台（ウエハチャック）１１と、ウエハチャック１１の側面から水平に突出させたクリーニング部材１２と、クリーニング部材１２の上方に配置されたプローブカード１３と、を備え、クリーニング部材１２を異にする以外は従来と同様に構成されている。ウエハチャック１１は、昇降機構１４を介してＸ−Ｙテーブル（図示せず）に配置され、Ｘ−Ｙテーブルを介して水平方向でＸ、Ｙ方向に移動し、昇降機構１４を介して上下方向に昇降するように構成されている。

ウエハＷの検査を行う場合には、制御装置（図示せず）の制御下でウエハチャック１１をインデックス送りすると共にウエハチャック１１を昇降させてウエハＷとプローブカード１３の複数のプローブ１３Ａとを電気的に接触させる。ウエハＷの検査を繰り返すと、プローブ４Ａの針先部に電極パッドの削り屑等が付着し、付着物が電気的な絶縁物となって検査の障害になる。そのため、クリーニング部材１２によってプローブ１３Ａの針先をクリーニングして、付着物を除去する。

本実施形態のクリーニング部材１２は、プローブ１３Ａの針先に弱い付着力で付着した付着物を除去するもので、後述の繊維からなるブラシを主体に構成されている。この繊維は、後述するようにクリーニング効率を高めるために特殊な断面形状を有している。

即ち、クリーニング部材１２は、図２の（ａ）に示すように、金属製の基台１２１と、基台１２１の上面に複数本立設された繊維１２２の束からなるブラシ１２３と、を有し、基台１２１が導線１２４を介して接地されている。このクリーニング部材１２は、図１に示すようにウエハチャック１１の側面上端部から水平に張り出す支持台１５上に装着されている。支持台１５の上面には例えば基台１２１が嵌り込む凹部が形成され、この凹部の底面に粘着面が形成されている。クリーニング部材１２を支持台１５上に装着すると、クリーニング部材１２は基台１２１が粘着面に粘着することによって支持体１５上に固定される。

また、基台１２１の上面には複数の凹陥部１２１Ａがマトリックス状に配置して形成され、この凹陥部１２１Ａに多数の繊維１２２を束ねた繊維束が植設されている。繊維束は基端部が各凹陥部１２１Ａ内に隙間なく詰められている。凹陥部１２１Ａの平面形状は、例えば円形に形成されている。

また、繊維１２２は、図２の（ｂ）に示すように一本ずつ１８０°折り曲げて両端が揃い、折り曲げ部が凹陥部１２１Ａの底面に接触するように収納されている。全ての凹陥部１２１Ａに植設された繊維束は、基台１２１上で集合体となってブラシ１２３の上面に殆ど隙間のない状態に形成されている。凹陥部１２１Ａの底面の中央部には同図に示すように繊維束を凹陥部１２１Ａで固定する金属細線（例えば、ステンレス細線）１２５を通すための貫通孔１２１Ｂが形成されている。繊維束を凹陥部１２１Ａ内に固定する場合には、ステンレス細線１２５を基台１２１の下面から貫通孔１２１Ｂに通し、更に全ての繊維１２２の折り曲げ部を通した後、貫通孔１２１Ｂから引き出すことによって、繊維束の下端部を凹陥部１２１Ａ内に固定する。各凹陥部１２１Ａの繊維束は、一本のステンレス細線１２５で固定しても良く、また必要に応じて複数本のステンレス細線１２５によって固定しても良い。ステンレス細線１２５によって凹陥部１２１Ａ内に植設された繊維束、即ちブラシ１２３の基台１２１からの高さは、プローブ１３Ａの針先をクリーニングする長さ、例えば１２ｍｍ±２００μｍに形成されている。

また、繊維１２２はクリーニング効率を高めるために特殊な断面形状に形成されている。即ち、繊維１２２の外周面には図３の（ａ）、（ｂ）に示すように繊維１２２の長手方向全長に渡って形成された窪み１２２Ａが周方向に所定間隔を空けて複数条に渡って互いに平行に形成されている。同図の（ａ）では繊維１２２の外周面に３条の窪み１２２Ａが形成されている。そして、隣接する窪み１２２Ａ、１２２Ａ間の外周面は膨出面として形成されている。同図の（ａ）では膨出面は中心角が略１２０°の円弧状面として形成され、断面が三つ葉状に形成されている。このように繊維１２２の外周面に長手方向の窪み１２２Ａが形成されていることによって、クリーニングする時には図３の（ａ）、（ｂ）に示すようにプローブ１３Ａの針先あるいは付着部Ｏが従来のように繊維１２２の外周面を滑ることなく、窪み１２２Ａに一旦捕捉され、しかも付着物Ｏとの摺接面積が従来に比べて大きいため、付着物Ｏを格段に効率良く除去し、従来と比較して格段に短い時間でクリーニングすることができ、スループットを向上させることができる。クリーニングする時には、同図の（ｂ）に示すようにクリーニング部材１２のブラシ１２３先端をプローブ１３Ａの下端から２００μｍオーバードライブさせて、各繊維１２２でプローブ１３Ａの針先をクリーニングする。

繊維１２２の断面形状は、図３の（ａ）に示す三つ葉形状に限らず、図４の（ａ）、（ｂ）に示すように、例えば４面あるいは８面の円弧状の面が周方向に沿って連設され、４つあるいは８つの窪み１２２Ａ及び円弧状面１２２Ｂをもって形成されたものであっても良い。しかし、窪み１２２Ａでプローブ１３Ａの針先を確実に捕捉してクリーニング効率を高めるためには、窪み１２２Ａが深い方が良い。

また、本実施形態の繊維１２２は、例えば１０^１４〜１０^１６Ω・ｃｍの比抵抗を有する絶縁性プラスチック繊維によって形成されている。ブラシ１２３は、絶縁性プラスチック繊維１２２の集合体からなるため、クリーニング時のプローブ１３Ａとの摩擦により帯電する。ブラシ１２３の帯電は、検査時にはノイズとなるため、検査を妨害する虞があるため、極力短時間で放電することが好ましい。そこで、ノイズ注入器（三基電子社製：STATIC E TESTER SET-15）を用いてブラシ１２３に１０００Ｖの電圧を印加してブラシ１２３を帯電させ、帯電から放電までに要する時間を測定した。この結果、平均値で、放電１秒後には１０００Ｖから８０Ｖ程度になり、５秒後には０Ｖになった。ブラシ１２３の帯電により基台１２１にはブラシ１２３とは逆の電荷が帯電し、クリーニング部材１２では電気的な中和が保たれる。ここで基台１２１は上述のように接地されているため、基台１２１の電荷は瞬時に放電されるため、ブラシ１２３には上端部のみに電荷が残存する。従って、ブラシ１２３の放電時間はブラシ１２３上端部の電荷の放電時間を意味し、更に短時間で、例えば５秒以内で放電することができる。クリーニング終了後検査を始めるまでに必要な時間が平均で５秒程度であることから、クリーニング後に検査を始めても帯電によるノイズの影響を受けることなく検査を行うことができる。

クリーニングによってブラシ１２３の絶縁性プラスチック繊維１２２が切断され、図５に示すように絶縁性プラスチック繊維１２２の切れ端が複数のプローブ１３Ａ間に絡む。この場合に、絶縁性プラスチック繊維１２２の絶縁性が悪いとリーク電流が流れて、検査に障害がある。そこで、絶縁性プラスチック繊維１２２における電流を耐圧計測器(菊水電子工業社製：KIKUSUI TOS-5051)で測定し、リーク電流の有無を調べた。測定には、絶縁性プラスチック繊維１２２を１００本束ね、この繊維束に２５００Ｖ及び５０００Ｖの電圧をそれぞれ個別に印加し、繊維束の電流値を測定した結果、いずれの場合も０．００ｍＡの電流値を示し、リーク電流がなかった。従って、絶縁性プラスチック繊維１２２がプローブ１３Ａに絡んでも検査に支障のない。

また、絶縁性プラスチック繊維１２２は、上記特性の他に以下の特性を備えている。即ち、絶縁性プラスチック繊維１２２の外径が２０〜３０μｍの細い繊維として形成されている。この絶縁性ブラスチック繊維１２２は、ヤング率が３８〜８５、切断強度が１．５〜２．０ｇ／ｄで、比較的やわらかく、プローブ１３Ａと絡んだ場合でもプローブ１３Ａを傷めることなく、簡単に切れるように形成されている。従って、クリーニング時に絶縁性プラスチック繊維１２２がプローブ１３Ａの針先に絡むと、絶縁性プラスチック繊維１２２が切れてプローブ１３Ａを損なう虞がない。

プローブ１３Ａのピッチが６０〜８０μｍで針先の外径が１０〜１５μｍのプローブカードについて、クリーニング部材１２のブラシ１２３を２００μｍオーバードライブさせ、この状態でＸ方向及びＹ方向に９９９μｍずつ１００００回移動させてプローブ１３Ａをクリーニングした後、全てのプローブ１３Ａの針先の変位量を測定した。この結果、針先のＸ方向及びＹ方向の変位量は、いずれも最大で２μｍ以下であった。また、針先のＺ方向の変位量は、１μｍ以下であった。これらの点から、絶縁性プラスチック繊維１２２の繊維束からなるブラシ１２３は、プローブ１３Ａを損なうことがなく、クリーニング部材１２の素材として極めて有効であることが判る。

また、絶縁性プラスチック繊維１２２は、従来の繊維と比較して金属成分の含有量が極めて低く、例えばＣｕ成分の含有量は０．１μｇ／ｇである。このように金属成分の含有量が少ないため、金属成分に起因する導通阻害を生じる虞もない。

以上説明したように本実施形態によれば、基台１２１と、基台１２１に複数本立設された絶縁性プラスチック繊維１２２からなるブラシ１２３と、を有するクリーニング部材１２であって、絶縁性プラスチック繊維１２２の外周面には絶縁性プラスチック繊維１２２の長手方向に形成された窪み１２２Ａが周方向に所定間隔を空けて３条に渡って設けられて、断面が三つ葉状に形成されているため、クリーニング部材１２でプローブ１３Ａをクリーニングする時に、プローブ１３Ａの針先が絶縁性プラスチック繊維１２２の円弧状面１２２Ｂを滑ることなく一旦窪み１２２Ａに捕捉されて、更に云えば針先の付着物Ｏを窪み１２２に捕捉され、付着物Ｏが窪み１２２Ａから円弧状面１２２Ｂを摺動する間に、針先から効率良く除去され、クリーニングのスループットを高めることができる。

また、本実施形態によれば、ブラシ１２３が絶縁性プラスチック繊維１２２の集合体によって形成されているため、クリーニング時に絶縁性プラスチック繊維１２２が切れて、その切れ端が複数のプローブ１３Ａの間に絡んで残存していても、検査時に絶縁性プラスチック繊維１２２において電流がリークすることなく、何等の支障もなく検査を行うことができ、信頼性の検査を行うことができる。

また、本実施形態によれば、絶縁性プラスチック繊維１２２は、１０^１４〜１０^１６Ω・ｃｍの比抵抗を有するため、検査時のリーク電流をより確実に防止することができる。また、基台１２１は金属からなり、絶縁性プラスチック繊維１２２はステンレス細線１２５によって結束されて基台１２１に立設されているため、クリーニング時にブラシ１２３が帯電することがあっても、ステンレス細線１２５を介して基台１２１側から短時間にブラシ１２３の電荷を放電することができ、クリーニング後の検査を迅速に行うことができる。

尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて各構成要素を設計変更することができる。

本発明は、ウエハ等の被検査体の電気的特性検査に用いられるプローブ装置に好適に利用することができる。

本発明のプローブ装置の一実施形態の要部を示す側面図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示すプローブ装置に用いられたクリーニング部材を示す図で、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその一部を拡大して模式的に示す断面図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ図２に示すクリーニング部材でプローブカードをクリーニングする状態を示す図で、（ａ）はクリーニング部材の繊維とプローブとの関係を示す水平方向の平面図、（ｂ）はクリーニング部材の繊維とプローブとの関係を示す側面図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれクリーニング部材の繊維の変形例を示す水平方向の断面図ある。 図1に示すプローブ間にクリーニング部材の繊維が絡んだ状態を示す図である。 従来のプローブ装置の一例を部分的に破断して示す正面図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ図５に示すクリーニング部材及びプローブカードを示す図で、（ａ）はクリーニング時のクリーニング部材の繊維とプローブとの関係を示す水平方向の平面図、（ｂ）はプローブカードにクリーニング部材の繊維が絡んだ状態を示す図である。

符号の説明

１０ プローブ装置
１１ ウエハチャック（載置台）
１２ クリーニング部材
１３ プローブカード
１３Ａ プローブ
１２１ 基台
１２２ 絶縁性プラスチック繊維（繊維）
１２２Ａ 窪み
１２３ ブラシ
Ｗ ウエハ（被検査体）

Claims (12)

1. 基台と、この基台に複数本立設された繊維からなるブラシと、を有し、上記ブラシで被検査体の検査を行う際に用いられるプローブをクリーニングするクリーニング部材において、上記繊維の外周面には上記繊維の長さ方向に形成された窪みが周方向に所定間隔を空けて複数条に渡って設けられていることを特徴とするクリーニング部材。
2. 上記複数条の窪みは複数の膨出面が上記繊維の周方向に連なる境界にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーニング部材。
3. 上記繊維の長手方向に直交する断面は、三つ葉状を呈することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のクリーニング部材。
4. 上記繊維は、絶縁性プラスチック繊維によって形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のクリーニング部材。
5. 上記絶縁性プラスチック繊維は、１０^１４〜１０^１６Ω・ｃｍの比抵抗を有することを特徴とする請求項４に記載のクリーニング部材。
6. 上記基台は金属からなり、上記絶縁性プラスチック繊維は金属線によって結束されて上記基台に立設されていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のクリーニング部材。
7. 被検査体を載置する移動可能な載置台に付設されたクリーニング部材と、このクリーニング部材の上方に配置されたプローブカードと、を備え、上記載置台を移動させて上記被検査体と上記プローブカードの複数のプローブとを電気的に接触させて電気的特性検査を行った後、上記載置台を介して上記クリーニング部材を移動させて上記複数のプローブをクリーニングするプローブ装置において、上記クリーニング部材は、基台と、この基台に複数本立設された繊維からなるブラシと、を有し、上記繊維の外周面には上記繊維の長さ方向に形成された窪みが周方向に所定間隔を空けて複数条に渡って設けられていることを特徴とするプローブ装置。
8. 上記複数条の窪みは複数の膨出面が上記繊維の周方向に連なる境界にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項７に記載のプローブ装置。
9. 上記繊維の長手方向に直交する断面は、三つ葉状を呈することを特徴とする請求項７または請求項８に記載のプローブ装置。
10. 上記繊維は、絶縁性プラスチック繊維によって形成されていることを特徴とする請求項７〜請求項９のいずれか１項に記載のプローブ装置。
11. 上記絶縁性プラスチック繊維は、１０^１４〜１０^１６Ω・ｃｍの比抵抗を有することを特徴とする請求項１０に記載のプローブ装置。
12. 上記基台は金属からなり、上記絶縁性プラスチック繊維は金属線によって結束されて上記基台に立設されていることを特徴とする請求項７〜請求項１１のいずれか１項に記載のプローブ装置。

Images