JP3928913B2 - 水晶発振器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、バンプを用いた超音波熱圧着によってICチップを接合した水晶発振器を産業上の技術分野とし、特にICチップの端子電極に生ずるクラックを防止した水晶発振器に関する。
【0002】
【従来の技術】
(発明の背景)種々の電子回路を集積化したICチップは多くの電子機器に使用され、その小型化の原動力となっている。近年では、ワイヤボンディングに比較して小型化をさらに促進することから、水晶発振器においても端子電極の形成された一主面を基板に直接に接合する所謂フェースダウンボンデングが採用されている。このようなものの一つにバンプを用いた超音波熱圧着による接合方法がある。
【0003】
(従来技術の一例)第4図は一従来例を説明する水晶発振器の断面図である。
水晶発振器は積層セラミックからなり、凹部と段部を有する容器本体1にICチップ2と水晶片3を収容し、カバー4を接合して密閉する。容器本体1の凹部底面1aには、第5図に示したように回路パターンとしての導電路5が形成される。導電路5の先端には導電端子部6が露出して形成され、これ以外は酸化アルミナ等の絶縁膜に覆われる。導電端子部6は一方向に長い矩形状として左右2列に並べられる。段部には図示しない水晶端子が形成される。
【0004】
ICチップ2は、図示しない発振回路の増幅器等の回路素子を集積化し、一主面に端子電極7を有する。端子電極7は導電端子部6に対応して、対向する一組の両辺側に形成される。両辺側の端子電極7の中心間距離Lは1.78mmで、ICチップ2の平面外形寸
法は1.9×1.9mmである。そして、端子電極7上には超音波熱圧着用の例えば金粒としたバンプ8が接続され、容器本体1の底面に固着される。バンプ8は概ね球状で高さは35〜50μとなる。
【0005】
超音波熱圧着はICチップ2のバンプ8を導電端子部6に当接し、導電端子部6の長さ方向に超音波による振動を加えるとともに加熱しながら、バンプ8を楕円状に押し潰して接続する。潰し後のバンプ8の高さTは概ね20〜25μとなる。水晶片3は導電性接着剤9によって段部に一端部両側を固着される。
【0006】
このようなものでは、導電端子部6の長さ方向にバンプ8を振動させて熱圧着するので、バンプ8が導電端子部から飛び出すことない。また、対向する一組の両辺に3:2内の範囲でバンプ8を配置したので、熱圧着時の押圧力が均等に分散する。したがって、超音波熱圧着を良好にする。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
(従来技術の問題点)しかしながら、上記構成の水晶発振器では、超音波熱圧着に起因して次の問題があった。すなわち、シリコンからなるICチップ2とアルミナセラミックからなる容器本体1とでは熱膨張係数を異にし、容器本体1の方がICチップ2よりも大きい。したがって、加熱前後において、ICチップ2の端子電極7にはストレスによる亀裂等のクラックを生じ、ICチップ2の機能に障害を起こす。そして、これにより、水晶発振器の生産性を悪化させる問題があった。
【0008】
(発明の目的)本発明は、膨張係数の差による端子電極のクラックを防止して熱衝撃特性を良好とした水晶発振器を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ICチップにおける一主面の対向する一組の両辺側のみに端子電極を有して前記端子電極にはバンプが設けられ、容器本体の凹部底面には互いに対向する一方向に長い導電端子部が設けられ、前記導電端子部に前記バンプを当接して、前記導電端子の長さ方向に前記バンプを振動させて熱圧着し、前記ICチップを前記容器本体の底面に装着するとともに、前記容器本体内に水晶片を収容してなる水晶発振器であって、前記ICチップにおける両辺側の辺と辺との間の前記端子電極の中心間距離をLとして前記バンプの超音波熱圧着後の高さをTとしたとき、T/Lを0.022〜0.042としたことを基本的な解決手段とする。
【0010】
【作用】
本発明では、両辺間の距離Lとバンプの高さTとの比T/Lを0.022〜0.042としたので、バンプによって熱膨張差によるストレスを吸収する。以下、本発明の一実施例を説明する。
【0011】
第1図及び第2図は本発明の一実施例を説明する図で、第1図は超音波熱圧着前の水晶発振器の一部裁断図、第2図は超音波熱圧着後の一部裁断図である。なお、前従来例図と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
水晶発振器は、前述同様に容器本体1の導電端子部6が形成された底面にICチップ2を超音波熱圧着により、段部に水晶片3を導電性接着剤9によって固着し、カバー4を接合して密閉する(前第4図参照)。
【0012】
ICチップ2は、前述したように対向する一組の一方の辺に6つ、他方の辺に5つの端子電極7を有し、端子電極7の中心間距離Lを1.78mmとする。そして、この実施例では、ICチップ2の端子電極7にバンプ8を二重にして形成する(第1図)。これにより、超音波熱圧着後のバンプ8は楕円状となってその高さTは40〜50μとなる(第2図)。
【0013】
第3図はこのようなものの熱衝撃特性を示す表であり、バンプ8が従来の1個とした場合と本実施例の2個(二重バンプ)とした場合の熱衝撃に対する端子電極7のクラック発生数及び発生率を示す表である。
【0014】
なお、ここでの熱衝撃特性は、超音波熱圧着により容器底面にICチップ2を固着した水晶発振器を−40℃及び+80℃としてそれぞれ30分間放置し、これを1サイクルとする。そして、1、5、7、10、50、70、100、700、1000サイクルの熱衝撃を加えた後、ICチップ2を容器底面から取り外し、端子電極7のうち一つにでもクラックを生じたICチップ2の数をカウントしたものである。但し、実験に供したICチップ2の数は各サイクル毎にそれぞれ10個ずつであり、本実施例及び従来例ともに90個の合計180個である。
【0015】
この実験結果から明らかなように、本実施例では10、50及び70サイクルではクラック発生のICチップ2は皆無であり、100及び700サイクルで1個、1000サイクルで2個のICチップ2にクラックを生じる。これに対し、従来例では、50及び70サイクルでそれぞれ1個のICチップ2にクラックを生じ、100サイクルで2個、700及び1000サイクルで3個のICチップ2にクラックを生じる。
【0016】
要するに、本実施例では、クラックを生じるまでのサイクル数は従来例よりも90サイクル多く、同サイクル数でのクラックを生じるICチップ2の数も1.5倍以上少ない。
すなわち、バンプ8を二重バンプとして超音波熱圧着による潰し後の高さTを大きくしたので、ICチップ2(シリコン)と容器本体1(アルミナセラミック)との膨張係数の差によるストレスを吸収し、端子電極7に生じるクラックを防止する。したがって、本実施例は従来例に対して熱衝撃特性を格段に高め、水晶発振器の生産性を向上する。
【0017】
ここで、端子電極7(バンプ8)の中心間距離Lとバンプ8の厚みTとの関係に着目すると、中心間距離Lが長いほど膨張係数の差によるストレスは大きくなる。したがって、バンプ8の高さTは中心間距離Lに依存する。本実施例での中心間距離Lとバンプ8の厚みTとの比T/Lは0.022〜0.028となることから、T/Lは0.022以上とすれば本実施例による効果を得ることができる。
【0018】
なお、上記の実験では端子電極7の一つにでもクラックのあるICチップ2の数をカウントしたが、いずれのICチップ2でも一つの端子電極7のみにクラックを生じていた。これは、熱衝撃によって最も強度の弱い1カ所に応力が集中する結果と推察される。
【0019】
【他の事項】
上記実施例ではバンプ8を二重として端子電極7の中心間距離Lとバンプ8の高さTとの比T/Lを0.022以上としたが、例えばバンプ8を三重とすればさらに熱衝撃特性を向上すると期待される。この場合、超音波熱圧着後のバンプ8の高さTは60〜75μになり、T/Lは0.033〜0.042となる。
【0020】
そして、これを越えてバンプ8を重ねることはコスト増加の点から現実的ではない。そこで、本発明ではT/Lの上限値を0.042とし、これから、請求項1に示したようにT/Lを0.022〜0.042と規定する。
【0021】
また、バンプ8は二重及び三重としたが、前述のように端子電極7の中心間距離が小さくなればバンプ8の高さは小さくなるので、この場合はバンプ8を重ねることなく1個でよい。また、高さの大きいバンプ8が出現することも考えられるので、本発明ではバンプ8を重ねることが必ずしも要件ではない。
【0022】
また、一主面側に凹部及び段部を有する容器本体1にICチップ2及び水晶片3を収容した水晶発振器を例として説明したが、例えば両主面に凹部を有する容器本体1に水晶片3とICチップ2とを別個に収容した水晶発振器であっても、更には他の電子部品にも適用できる。
【0023】
【発明の効果】
本発明は、ICチップにおける一主面の対向する一組の両辺側のみに端子電極を有して前記端子電極にはバンプが設けられ、容器本体の凹部底面には互いに対向する一方向に長い導電端子部が設けられ、前記導電端子部に前記バンプを当接して、前記導電端子の長さ方向に前記バンプを振動させて熱圧着し、前記ICチップを前記容器本体の底面に装着するとともに、前記容器本体内に水晶片を収容してなる水晶発振器であって、前記ICチップにおける両辺側の辺と辺との間の前記端子電極の中心間距離をLとして前記バンプの超音波熱圧着後の高さをTとしたとき、T/Lを0.022〜0.042としたので、特に膨張係数の差による端子電極のクラックを防止する熱衝撃特性を良好とした水晶発振器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例を説明する超音波熱圧着前の水晶発振器の一部裁断図である。
【図2】 本発明の一実施例を説明する超音波熱圧着後の水晶発振器の一部裁断図である。
【図3】 本発明の一実施例を説明する超音波熱圧着後の水晶発振器の熱衝撃特性を示す表である。
【図4】 従来例を説明する水晶発振器の断面図である。
【図5】 従来例を説明する容器本体の凹部底面に設けた回路パターンの図である。
【図6】 従来例を説明するICチップの一主面の平面図である。
【符号の説明】
1 容器本体、2 ICチップ、3 水晶片、4 カバー、5 導電路、6 導電端子部、7 端子電極、8 バンプ、9 導電性接着剤.
Claims (1)
- ICチップにおける一主面の対向する一組の両辺側のみに端子電極を有して前記端子電極にはバンプが設けられ、容器本体の凹部底面には互いに対向する一方向に長い導電端子部が設けられ、前記導電端子部に前記バンプを当接して、前記導電端子の長さ方向に前記バンプを振動させて熱圧着し、前記ICチップを前記容器本体の底面に装着するとともに、前記容器本体内に水晶片を収容してなる水晶発振器であって、前記ICチップにおける両辺側の辺と辺との間の前記端子電極の中心間距離をLとして前記バンプの超音波熱圧着後の高さをTとしたとき、T/Lを0.022〜0.042としたことを特徴とする水晶発振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000140127A JP3928913B2 (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | 水晶発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000140127A JP3928913B2 (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | 水晶発振器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001326247A JP2001326247A (ja) | 2001-11-22 |
JP3928913B2 true JP3928913B2 (ja) | 2007-06-13 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3928913B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5374716B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2013-12-25 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | マイクロフォンとその製造方法 |
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---|---|
JP2001326247A (ja) | 2001-11-22 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040226 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
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A521 | Written amendment |
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A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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A521 | Written amendment |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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