JP3928166B2 - Tape conveyor for image processing inspection - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、CSP用テープやTAB用テープ等の半導体の実装用テープのパターンを、画像処理で検査する画像処理検査用テープ搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
実装用プリント基板を検査する検査装置として、特開平5-40020 号公報に記載の実装済基板の検査装置や、特開平5-322537号公報に記載のプリント基板のパターン検査装置がある。これらの検査装置は、いずれも基板を照らす光をレンズで集光し、光電変換素子や照度センサーで検査する装置である。
【0003】
また、特開平6-281425号公報に記載のパターン孔検査方法及び装置には、CCDラインセンサを使用してカラーテレビ用シャドウマスクのパターンを検査する方法等が記載されている。
【0004】
これら従来の検査方法等で、特にCCDラインセンサを使用して画像処理で検査する方法では、CCDカメラの被写界深度、すなわち正確に決像させることができる焦点範囲に、検査対象物の撮影面を設置する必要がある。
【0005】
一方、CSP用テープやTAB用テープ等に使用される半導体の実装用テープのパターンを画像処理で検査する場合、CCDカメラの被写界深度は極めて範囲が限られており、一般に50μ程度の範囲に設定されている。そこで、半導体の実装用テープを画像処理で検査する場合は、検査対象物をこの僅かな撮影範囲内に正確に設置しなければならない。
【0006】
また、半導体の実装用テープは、一般に極めて薄いポリイミドテープなどが使用されているので、この薄いテープが撮影位置で僅かに歪んでも、正確な検査を行うことはできない。そこで、この実装用テープを被写界深度の範囲内に設置するために、従来では、ガラス板に実装用テープを挟んで設置したり、あるいは、実装用テープの両側に設けられているパーフォレーション部分をローラーで固定したりして、実装用テープを水平に移動させる方法が採られている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、実装用テープをガラス板に挟み撮影位置に設置する方法では、このガラス板への装着作業が妨げになり、実装用テープを連続的に検査することはできなかった。しかも、実装用テープには、銅などを使用したプリント配線やパンチング配線などが行われる。このため、実装用テープの表面を撮影位置に設置する際に、できるだけ実装用テープの表面に接触しない状態で設置するのが望ましい。ところが、実装用テープ表面にガラス板を接触させる状態では、実装用テープの表面にダメージを与えるおそれがあり好ましくない。
【0008】
一方、パーフォレーション部分をローラーで圧着して、実装用テープを水平に移動させる方法では、ローラーの回転力によって実装用テープを搬送する際に生じるテンションが実装用テープにかかり、実装用テープを歪ませる原因となる。このため、実装用テープをローラーで水平移動させる方法は、このテンションによる歪みのために、ガラス板に挟んで撮影する前記方法に比べて精度が劣る不都合がある。更に、ローラーで圧着して水平移動させる方法では、実装用テープ移動時に蛇行が多くなり、実装用テープを正確な撮影位置に設置できなくなるばかりか、ローラーから実装用テープが外れるおそれもあった。
【0009】
そこで本発明は、上述の課題を解消すべく創出されたもので、実装用テープの撮影位置を正確に保ち、撮影部分の歪みを防止すると共に、連続的な検査を正確に行うことが可能になり、しかも、実装用テープの表面に非接触状態で検査することができる画像処理検査用テープ搬送装置の提供を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するため、本発明は、半導体の実装用テープPをラインセンサSで検査する画像処理検査装置Tにおいて、実装用テープPを湾曲状態に保持して実装用テープPの表面をラインセンサSの撮影位置に連続的に設置する保持ドラム10を設け、保持ドラム10の湾曲した側面に沿って実装用テープPを搬送する搬送装置20と、保持ドラム10で保持した実装用テープPを実装用テープPの自重で垂れた位置から巻き取る巻取装置30とを備え、保持ドラム10は、対向する一対のドラム体11が実装用テープPのパーフォレーションP1部分を保持するもので、この保持部分に実装用テープPを嵌入する保持溝12を設け、前記搬送装置20は、保持溝12で保持した実装用テープPのパーフォレーションP1部分に面接触して保持ドラム10と共に実装用テープPを回転搬送する搬送ベルト21を設けたものである。
【0011】
本発明の搬送装置によると、保持ドラム10が湾曲保持した実装用テープPは、保持ドラム10の回転に伴って搬送する搬送装置20と、実装用テープPの自重で垂れた位置から巻き取る巻取装置30とによって、テンションがかからない状態で連続的に搬送されるものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。図に示す符号Tは画像処理検査装置であり、半導体の実装用テープPの表面をラインセンサSで検査する装置である。本発明は、実装用テープPを湾曲保持するものである。そして、この湾曲した実装用テープPの表面をラインセンサSの撮影位置に位置合わせしてラインセンサSで検査する。
【0013】
本発明搬送装置では、保持ドラム10と搬送装置20と巻取装置30とを備えている(図1参照)。
【0014】
保持ドラム10は、保持ドラム10の側面に実装用テープPを載置することで、この実装用テープPを湾曲状態に保持する。そして、この保持ドラム10の湾曲した側面に沿って実装用テープPを搬送し、保持ドラム10に保持した実装用テープPの表面をラインセンサSの撮影位置に連続的に設置する。図2に示す保持ドラム10は、対向する一対のドラム体11が実装用テープPのパーフォレーションP1部分を保持している。そして、保持ドラム10の保持部分には、実装用テープPを嵌入する保持溝12を設けてある。実装用テープPは、この保持溝12にガイドされながら搬送される。また、図示していないが、対向する一対のドラム体11の内部又は下部に、保持ドラム10で保持した実装用テープPの裏面に光を照射する照明装置を設けることで、ラインセンサSで検査する画像を鮮明にすることができる。
【0015】
搬送装置20は、保持ドラム10の湾曲した側面に沿って実装用テープPを搬送する装置であり、保持ドラム10自体の回転で実装用テープPを搬送する手段、あるいはフリーに回転する保持ドラム10を他の回転装置で回転させて実装用テープPを搬送する手段などを採用してもよい。
【0016】
図1乃至3に示す搬送装置20は、保持ドラム10を回転せしめる搬送ベルト21を使用している。この搬送ベルト21は、各ドラム体11の保持溝12に沿って圧接し、搬送ベルト21の回転によって保持ドラム10を回転させる(図3参照)。この搬送ベルト21は、保持溝12の湾曲面に沿って配した実装用テープPのパーフォレーションP1部分を湾曲状態で押圧しており、保持ドラム10の回転と共に実装用テープPが搬送される(図2参照)。このとき、パーフォレーションP1部分を押圧する搬送ベルト21の押圧力は極めて微弱な押圧力に設定されている。この微弱な押圧力によって実装用テープPを湾曲状態に保持しながら順次搬送するものである。
【0017】
また、保持溝12の摩擦係数を極小に設定し、実装用テープPを滑らかにすべらせることができる保持ドラム10を採用すると、保持ドラム10を回転させずに実装用テープPを搬送することも可能である。また、保持ドラム10自体を回転させて実装用テープPを搬送することも可能である(図示せず)。
【0018】
巻取装置30は、検査後の実装用テープPを所定のリール31に巻き取る装置である。この巻取装置30は、保持ドラム10で保持した実装用テープPが実装用テープPの自重で垂れた位置から巻き取っている。実装用テープPが自重で垂れ下がった状態を確保することで、保持ドラム10で保持した実装用テープPにテンションを与えることなくリール31に巻き取るものである。
【0019】
【発明の効果】
本発明は、上述の如く構成したことにより当初の目的を達成する。すなわち、保持ドラム10が湾曲保持した実装用テープPは、テンションがかからない状態で連続的に搬送されるから、連続的な検査を正確に行うことができる。
【0020】
更に、対向する一対のドラム体11が実装用テープPのパーフォレーションP1部分を保持するから、実装用テープの表面に非接触状態で連続した検査を行うことができる。
【0021】
この結果、極薄の実装用テープに剛性を与え、撮影面の歪みを防止することができるので、実装用テープを撮影位置に正確に設定し、極めて精度の高い検査が可能になった。
【0022】
このように本発明によると、実装用テープの撮影位置を正確に保ち、撮影部分の歪みを防止すると共に、連続的な検査を正確に行うことが可能になり、しかも、実装用テープの表面に非接触状態で検査することができるなどといった産業上有益な種々の効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例を示す正面図。
【図2】 本発明の搬送ベルトを示す斜視図。
【図3】 本発明のドラム体と保持溝とを示す要部断面図。
【符号の説明】
P 実装用テープ
P1 パーフォレーション
S ラインセンサ
T 画像処理検査装置
10 保持ドラム
11 ドラム体
12 保持溝
20 搬送装置
21 搬送ベルト
30 巻取装置
31 リール[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an image processing inspection tape transport apparatus that inspects a pattern of a semiconductor mounting tape such as a CSP tape or a TAB tape by image processing.
[0002]
[Prior art]
As an inspection device for inspecting a printed circuit board for mounting, there is a mounted substrate inspection device described in Japanese Patent Laid-Open No. 5-40020 and a printed circuit board pattern inspection device described in Japanese Patent Laid-Open No. 5-322537. Each of these inspection apparatuses is an apparatus that collects light that illuminates the substrate with a lens and inspects it with a photoelectric conversion element or an illumination sensor.
[0003]
In addition, the pattern hole inspection method and apparatus described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-218425 describes a method of inspecting a shadow mask pattern for a color television using a CCD line sensor.
[0004]
In these conventional inspection methods and the like, in particular, in the method of inspecting by image processing using a CCD line sensor, the inspection object is photographed within the depth of field of the CCD camera, that is, the focus range that can be accurately determined. It is necessary to install a surface.
[0005]
On the other hand, when the pattern of a semiconductor mounting tape used for a CSP tape, a TAB tape, or the like is inspected by image processing, the depth of field of the CCD camera is extremely limited, and is generally in the range of about 50 μm. Is set to Therefore, when a semiconductor mounting tape is inspected by image processing, the inspection object must be accurately placed within this slight imaging range.
[0006]
In addition, since an extremely thin polyimide tape or the like is generally used as a semiconductor mounting tape, an accurate inspection cannot be performed even if the thin tape is slightly distorted at the photographing position. Therefore, in order to install this mounting tape within the depth of field, conventionally, the mounting tape is sandwiched between glass plates, or the perforation parts provided on both sides of the mounting tape. A method of moving the mounting tape horizontally by fixing with a roller.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the method in which the mounting tape is sandwiched between the glass plates and installed at the photographing position, the mounting operation on the glass plate is obstructed, and the mounting tape cannot be inspected continuously. Moreover, printed wiring or punching wiring using copper or the like is performed on the mounting tape. For this reason, when the surface of the mounting tape is installed at the photographing position, it is desirable that the surface of the mounting tape be installed so as not to contact the surface of the mounting tape as much as possible. However, when the glass plate is brought into contact with the surface of the mounting tape, the surface of the mounting tape may be damaged, which is not preferable.
[0008]
On the other hand, when the mounting tape is moved horizontally by pressing the perforation part with a roller, the tension generated when the mounting tape is transported by the rotational force of the roller is applied to the mounting tape, which distorts the mounting tape. Cause. For this reason, the method of horizontally moving the mounting tape with a roller has a disadvantage that the accuracy is inferior to the method of photographing by sandwiching between glass plates due to distortion caused by this tension. Further, in the method of horizontally moving by pressure bonding with a roller, there is a lot of meandering when the mounting tape is moved, and the mounting tape cannot be set at an accurate photographing position, and the mounting tape may come off from the roller.
[0009]
Therefore, the present invention was created to solve the above-described problems, and it is possible to accurately maintain the shooting position of the mounting tape, prevent distortion of the shooting portion, and accurately perform continuous inspection. In addition, an object of the present invention is to provide an image processing inspection tape transport device that can inspect the surface of the mounting tape in a non-contact state.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above-described object, the present invention is directed to an image processing inspection apparatus T that inspects a semiconductor mounting tape P with a line sensor S, and holds the surface of the mounting tape P while holding the mounting tape P in a curved state. A
[0011]
According to the transport device of the present invention, the mounting tape P held by the
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Reference numeral T shown in the figure is an image processing inspection apparatus, which is an apparatus for inspecting the surface of a semiconductor mounting tape P with a line sensor S. In the present invention, the mounting tape P is held curved. Then, the surface of the curved mounting tape P is aligned with the photographing position of the line sensor S and inspected by the line sensor S.
[0013]
The transport device of the present invention includes a
[0014]
The
[0015]
The
[0016]
The
[0017]
Further, when the holding
[0018]
The winding
[0019]
【The invention's effect】
The present invention achieves the original object by being configured as described above. That is, since the mounting tape P held by the holding
[0020]
Furthermore, since the pair of opposing drum bodies 11 hold the perforation P1 portion of the mounting tape P, continuous inspection can be performed in a non-contact state on the surface of the mounting tape.
[0021]
As a result, rigidity can be imparted to the extremely thin mounting tape and distortion of the imaging surface can be prevented, so that the mounting tape can be accurately set at the imaging position, and an extremely accurate inspection can be performed.
[0022]
As described above, according to the present invention, it is possible to accurately maintain the shooting position of the mounting tape, to prevent distortion of the shooting portion, and to perform continuous inspection accurately, and on the surface of the mounting tape. Various industrially beneficial effects such as inspection in a non-contact state can be achieved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing a conveyor belt according to the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part showing a drum body and a holding groove of the present invention.
[Explanation of symbols]
P Mounting tape P1 Perforation S Line sensor T Image
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