JP3908158B2 - 応力緩和層を有する半導体素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子のパッシベーション層に関し、さらに詳しくは、パッケージング工程でパッシベーション層に亀裂が入ることを防止するための応力緩和(stress reduction)層を備える半導体素子及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体素子のパッシベーション層は、パッケージング工程中に、下部表面にスクラッチ、腐食、電子溶解のような物理的・化学的反応が起こらないようにするための保護コーティングとして作用する。このようなパッシベーション層は、半導体素子が外部の湿気のような環境的要因により汚染されないように保護する。このようなパッシベーション層は、応力緩和のための1つ以上の酸化物層と、保護コーティングのための1つ以上の窒化物層との組合せから成る。
【0003】
例えば、プラズマエンハンスドオルトケイ酸テトラエチル(plasma enhanced tetra ethyl ortho silicate:PETEOS)酸化物層がプラズマ気相化学気相成長(plasma enhanced chemical vapor deposition:PECVD)法を用いて金属配線を備える基板上に蒸着された後、SiH4窒化物層がPECVD法を用いてPETEOS酸化物層上に蒸着されたパッシベーション層を形成する。または、SiH4酸化物層が高密度プラズマ(high density plasma:HDP)CVD法を用いて蒸着された後、SiH4窒化物層がPECVD法を用いてSiH4酸化物層上に蒸着され、別のパッシベーション層を形成する。
【0004】
通常の半導体素子の最上層金属配線は約5000〜6000Åの比較的薄い厚さを有する一方、多層配線素子またはパワーデバイスのような半導体素子の最上層金属配線は約8000〜10000Åの厚い厚さを有する。さらに、パワーデバイスの最上層金属配線は広い領域に形成される。
【0005】
多層配線素子またはパワーデバイスの最上層金属配線上に形成されたパッシベーション層は下部に存在する厚くて広い金属配線から受ける応力が小さく、パッシベーション層に亀裂が入りやすい。従って、下部の金属配線に対する応力が低く、外部衝撃に強い応力耐性を有するパッシベーション層が要求されてきている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述した問題を解決するために案出されたものであり、本発明の目的は、パッケージング工程でパッシベーション層に亀裂が入ることを防止するための応力緩和層を備える半導体素子及びその製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的を達成するための本発明の一実施例によれば、半導体素子は、内部に1つ以上の構成要素を備える基板と、前記基板の一部上に形成された金属配線と、前記金属配線の表面をプラズマ処理により酸化させて形成された、前記金属配線を覆う薄膜金属酸化物層をアニールすることにより形成された、100Å以下の厚さを有する応力緩和層と、前記応力緩和層及び前記基板の残り部上に堆積されたパッシベーション層とを含み、前記パッシベーション層は金属酸化物層から成り、前記応力緩和層は前記金属配線と前記パッシベーション層との間の応力を緩和する。
【0008】
本発明の目的を達成するための本発明の他の実施例によれば、半導体素子の製造方法は、(A)基板の一部上に金属配線を形成する工程と、(B)前記金属配線の表面をプラズマ処理により酸化させて薄膜金属酸化物層を形成し、前記薄膜金属酸化物層をアニールして、100Å以下の厚さを有する応力緩和層を形成することで、前記金属配線を応力緩和層で覆う工程と、(C)前記応力緩和層及び前記基板の残り部上にパッシベーション層を堆積させる工程とを含み、前記パッシベーション層は金属酸化物層で形成され、前記応力緩和層は前記金属配線と前記パッシベーション層との間の応力を緩和する。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1〜図3は、本発明による応力緩和層を備える半導体素子の製造方法を示す。
図1を参照すれば、好ましくはシリコン基板である基板10を備える。図示されていないが、ソース及びドレインのような不純物注入層、ゲート電極、層間絶縁層及び金属配線が基板10内に形成されると仮定する。
【0010】
例えば、スパッタリング工程のような蒸着工程を用いて、基板10上に金属配線12用アルミニウム金属層(図示せず)を蒸着する。アルミニウム金属層は約8000〜10000Åの厚さを有するのが望ましい。アルミニウム金属層上にフォトレジストマスクパターン(図示せず)が形成されるが、フォトレジストマスクパターンは、後述するように、金属配線12に対応する。フォトレジストマスクパターンを用いてアルミニウム金属層を基板10までエッチングすることで、基板10の一部上に金属配線12を形成し、基板10の残り部は露出させる。図1には、説明の便宜上、2つの金属配線12のみが図示されているが、多数の金属配線12が基板10上に形成される。
【0011】
図2を参照すれば、金属配線12はN2O雰囲気中またはO2雰囲気中でプラズマ処理されるので、金属配線12上に例えばアルミニウム酸化物層のような薄膜金属酸化物層が約100Å以下の厚さで形成される。その後、薄膜金属酸化物層がアニールされて応力緩和層14を形成する。例えば、AlまたはHeの不活性ガス雰囲気でアルミニウム酸化物層がアニールされる。N2O、O2、N2、H2またはその混合物のガス雰囲気でアルミニウム酸化物層がアニールされることもある。アニール工程は、約400℃以下の比較的低い温度で約10分〜約24時間、好ましくは約4時間続けられる。急速熱処理工程または通常の炉熱処理工程を用いることもある。従って、応力緩和層14で被覆した金属配線12が基板10の一部上に形成され、基板10の残り部は露出される。
【0012】
図3を参照すれば、PECVD法を用いて応力緩和層14及び基板10の残り部、即ち露出された部分上にパッシベーション層16を形成する。パッシベーション層16の厚さは金属配線12の厚さと実質的に同じであることが好ましいので、パッシベーション層16は約8000Å〜10000Åの厚さを有する。金属配線12がアルミニウムで作られる場合、パッシベーション層16はAlxOy組成からなるのが好ましい。AlxOy組成は熱的に安定し、アルミニウムに対して低い応力を有するAl2O3を主成分とするのが好ましい。
【0013】
パッシベーション層16は、ArまたはHeのような不活性ガス雰囲気でアニールされる。または、N2O、O2、N2、H2またはその混合物のガス雰囲気でパッシベーション層16をアニールすることもある。アニール工程は、約400℃以下の比較的低い温度で約10分〜約24時間、好ましくは約4時間続けられる。急速熱処理工程または通常の炉熱処理工程を用いることもある。アニール工程が終了された後、パッシベーション層16の密度が増大し、パッシベーション層16の降伏電圧が増大する。
【0014】
応力緩和層14が金属配線12によるパッシベーション層16での応力を、高い硬度を有しながら緩和することができる。応力緩和層14は、パッケージング工程でパッシベーション層16に亀裂が入ることを防止するので、半導体素子の漏洩電流が減少され、半導体素子の降伏電圧が増加される。
上記において、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明の精神及び請求範囲から逸脱することなく、種々の変更及び修正がなされてもよいことは当業者にはご理解いただけるであろう。
【0015】
【発明の効果】
以上で説明したように、本発明により金属配線12上に金属酸化物からなる応力緩和層14を有する半導体を製造することで、金属配線12とパッシベーション層16との間の応力を緩和し、パッケージング工程でパッシベーション層16に亀裂が入ることを防止し、究極的には半導体素子の降伏電圧を増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による応力緩和層を有する半導体素子の製造工程を説明するための断面図である
【図2】本発明による応力緩和層を有する半導体素子の製造工程を説明するための断面図である
【図3】本発明による応力緩和層を有する半導体素子の製造工程を説明するための断面図である
【符号の説明】
10:基板
12:金属配線
14:応力緩和層
16:パッシベーション層
Claims (8)
- 内部に1つ以上の構成要素を備える基板と、
前記基板の一部上に形成された金属配線と、
前記金属配線の表面をプラズマ処理により酸化させて形成された、前記金属配線を覆う薄膜金属酸化物層をアニールすることにより形成された、100Å以下の厚さを有する応力緩和層と、
前記応力緩和層及び前記基板の残り部上に堆積されたパッシベーション層とを含み、
前記パッシベーション層は金属酸化物層から成り、前記応力緩和層は前記金属配線と前記パッシベーション層との間の応力を緩和することを特徴とする半導体素子。 - 前記金属配線はアルミニウムから成り、前記パッシベーション層はアルミニウム酸化物から成ることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- (A)基板の一部上に金属配線を形成する工程と、
(B)前記金属配線の表面をプラズマ処理により酸化させて薄膜金属酸化物層を形成し、前記薄膜金属酸化物層をアニールして、100Å以下の厚さを有する応力緩和層を形成することで、前記金属配線を応力緩和層で覆う工程と、
(C)前記応力緩和層及び前記基板の残り部上にパッシベーション層を堆積させる工程とを含み、
前記パッシベーション層は金属酸化物層で形成され、前記応力緩和層は前記金属配線と前記パッシベーション層との間の応力を緩和することを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 前記金属配線の前記表面がN 2 O雰囲気中でのプラズマ処理により酸化されることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記金属配線の前記表面がO 2 雰囲気中でのプラズマ処理により酸化されることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記薄膜金属酸化物層が400℃以下の温度でアニールされることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記薄膜金属酸化物層がAr、He、及びその混合物を含むグループから選ばれた不活性ガス雰囲気でアニールされることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記薄膜金属酸化物層がN 2 O、O 2 、N 2 、H 2 、及びそれらによる混合物を含むグループから選ばれたガス雰囲気でアニールされることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
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