JP3884620B2 - プラズマ放電ガスを処理室へ導入する高電力rf電極を絶縁する装置 - Google Patents
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Description
(発明の分野)
本発明は、一般に、集積回路の形成におけるプラズマ処理に関し、具体的には、絶縁板を用いて電極を接地基準から絶縁する、平行板プラズマ放電装置を用いたプラズマ処理に関する。
【0002】
(発明の背景)
ガス・プラズマは、半導体基板に適用されるプラズマ・エッチングおよびプラズマ堆積の用途を含む、様々な集積回路(IC)製造プロセスにおいて広く用いられている。一般に、かかるプラズマを処理室内で生成するには、処理室内に低圧プロセス・ガスを導入し、次いで処理室内に電気エネルギを送出して、電界を形成する。この電界によって処理室内に電子流が生じ、電子と個々のプロセス・ガス分子の衝突によってガス分子に運動エネルギを伝達することで分子をイオン化する。ガス分子の効率的なイオン化のために、処理室の電界内で電子流の電子を加速する。プロセス・ガスのイオン化分子および自由電子は共に、ガス・プラズマまたはプラズマ放電と呼ばれるものを形成する。
【0003】
処理室内で生成されたガス・プラズマは、基板の露出面のエッチングのため等、追加のプロセス・ガスを全く用いることなく利用される場合があり、または、基板上に様々な物質層を堆積するために、他の選択したプロセス・ガスと組み合わせて用いられる場合もある。例えば、エッチング・プロセス内では、イオン化プラズマ粒子は一般に正に帯電し、基板には負のバイアスをかけて、正のプラズマ粒子が基板表面に付着して基板に衝撃を与え、これによって、そこから物質層をエッチングおよび除去するようにする。
【0004】
IC製造において導電性またはオーム接点を与えるため等で、基板上に薄い物質の膜または層を堆積する必要がある場合は、化学気相成長法(CVD)等の堆積プロセスを用いることができる。CVDでは、処理室内にプロセス・ガスを注入し、ガスが基板近くで化学的に反応して反応副産物を形成し、これが次いで基板上に堆積して所望の物質層を形成する。ガス・プラズマを用いたCVDプロセスは、一般に、プラズマ促進CVDまたはPECVDプロセスと呼ばれる。PECVDは、多くの場合、例えば、標準的なCVDによる適正な化学反応に通常必要であるプロセス温度および熱エネルギを低くするために用いられる。PECVDでは、プラズマを形成し維持するために送出される電気エネルギによって、化学反応に必要な熱エネルギが低下する。
【0005】
プラズマ・エッチングおよびPECVDのための一般的なハードウエア構成の1つに、平行板RF放電装置と呼ばれるものがある。かかる装置では、処理室内に、平面状の基板支持物およびシャワーヘッド等の平面状のガス供給素子を、互いにほぼ平行に配する。電極の一方または双方に、RFエネルギによって電気的にバイアスをかけて、プロセス・ガスの1つ以上をイオン化プラズマへと付勢するための対向RF電極として動作させる。電極間の距離は、電極の寸法に対して比較的小さく、その距離は例えば約1インチとすれば良い。シャワーヘッド電極内の小さい孔を通じてプロセス・ガスを導入し、シャワーヘッドにRF電力を印加するが、シャワーヘッドは、いかなる接地基準からも絶縁する必要がある。かかるPECVDプロセスおよびシャワーヘッド構造の1つが、本出願人の米国特許番号第5,567,243号に記載されている。別の適切なシャワーヘッド構造が、「Apparatus and Method for Preventing the Premature Mixture of Reactant Gases in CVD and PECVD Reactions(CVDおよびPECVD反応における反応物質ガスの時期尚早な混合を防ぐための装置および方法)」と題する本出願人の米国出願連続番号第08/940,779号に記載されている。これらの発行済みの特許および係属中の出願は双方とも、その全てを本願発明においても援用する。
【0006】
平行板装置の接地基準は、一般に、電極が配置されている金属製処理室である。基板支持電極も接地されている場合があるが、接地されていない場合もある。接地された処理室とシャワーヘッド電極との間に、絶縁物質(例えば石英)の板の形態である絶縁物を配置する。電極および絶縁板は、一般に平坦な平面状の構造であるが、いくらかの湾曲を有する場合がある。プロセス・ガスはシャワーヘッド電極へと送られるので、ガスは絶縁板を通過する必要がある。しかしながら、ガスをシャワーヘッドへ送出可能とするために絶縁板内に形成しなければならない孔または開口は、プラズマの安定性に悪影響を及ぼす恐れがある。
【0007】
更に具体的には、絶縁物を貫通する開口は、バイアスをかけたRF電極と接地した処理室との間にプラズマ破壊経路を与える。プラズマ破壊が発生するのは、プラズマが開口内で形成されて、RFシャワーヘッド電極と、処理室の蓋または何らかの他の部分等の接地した基準との間に導電性経路を生成する場合である。プラズマは、接地にアークする傾向があり、これはプラズマの安定性、結果としてプラズマ・プロセスの安定性に悪影響を及ぼす。プラズマ破壊は通常、特定のRF電力レベルおよびシステム圧力で発生するので、プラズマ放電に適用し得るRF電力が制限される。プラズマ電力の制限は、プラズマの密度を低下させる。破壊電力とガス圧力との関係は、処理室の寸法、RF周波数、プロセス・ガスの種類等、様々なシステム・パラメータによって決定される。
【0008】
この処理システムをPECVDに用いる場合、絶縁物の開口に破壊プラズマが存在することの別の欠点が生じる。かかる場合、開口内のプラズマ放電により、内部に導電性被覆が堆積する場合がある。これは、更にプラズマの不安定性につながる恐れがあり、プラズマ・アークおよび破壊が実際に発生しない処理条件のもとであっても、問題である。
【0009】
プラズマ破壊を防ぐために、いくつかの技法が用いられている。しかしながら、かかる技法は、概してプラズマ処理システムの製造を複雑化させ、このため、システムの全体的な費用を増大させる。例えば、絶縁板を厚くして、板の開口の長さを増すことができる。更に、開口の外形に溝またはひだを形成して、開口を通る有効経路長を長くすることができる。更にまた、開口に角度をつけて、開口を通る有効経路長を長くすることができる。かかる技法は、絶縁板構成の複雑さを増し、従って絶縁板の製造コストを増大させる。
【0010】
破壊電圧の問題に対する別の解決策は、破壊を起こすことなくプラズマに送出するRF電力量を増大可能とする範囲内に、処理室の圧力を維持することである。しかしながら、かかる制限は、平行板装置の動作およびそのプラズマ処理における適用にも制限を加える。
【0011】
従って、本発明の目的は、広範囲のプロセス条件および圧力に渡って平行板放電装置内で安定したプラズマを維持することである。
そのため、本発明の別の目的は、シャワーヘッド電極と接地基準との間の絶縁物を用いて、平行板装置内のプラズマ破壊を低減および防止することである。
【0012】
本発明の更に別の目的は、平行板装置の全体的なコストおよび複雑さを増すことなく、装置内のプラズマ破壊を低減および防止することである。
本発明の別の目的は、PECVDプロセスにおいて用いられる平行板装置の絶縁板の開口内の導電性被覆のプラズマ堆積を減少させることである。
【0013】
(発明の概要)
本発明は、上述の目的に対応し、プロセス・ガス供給源からシャワーヘッド電極等のバイアスをかけたガス分散素子へとプロセス・ガスを送出するための絶縁素子に形成した開口を通じる導通が原因して生ずるプラズマ破壊を低減少させることである。そのように、本発明は、基板を処理するために電気的に安定なプラズマを維持する。以上の目的を達成するのため、本発明の処理システムは、基板を支持するための支持構造を内部に含むプロセス空間を規定する処理室を備える。処理室内のガス入口は、プロセス・ガス供給源に結合され、処理室内部で支持された基板近くにプロセス・ガスを導入する。また、シャワーヘッド等のガス分散素子も、プロセス・ガス供給源に結合され、基板近くにプロセス・ガスを分散させる。
【0014】
本発明の原理によれば、シャワーヘッドと処理室との間に絶縁物アセンブリが配置され、処理室からシャワーヘッドを電気的に絶縁するように動作可能である。絶縁物アセンブリは、ガス入口から絶縁物アセンブリを介してプロセス・ガスを通過させる流路を含み、この流路は、相互に側方に隔置された部分を含み、アセンブリを介した直接の見通し開口を防ぐ。側方に隔置された流路部分間に横流路部分が延在して、流路部分を共に結合すると共に、アセンブリを介した全流路を形成する。
【0015】
本発明の一実施形態では、絶縁アセンブリは、平面状の絶縁板等の絶縁素子を含み、これは、石英のような電気的に絶縁性の物質から形成されている。絶縁板は、各々、ガス入口から絶縁板を介してプロセス・ガスを通過させる流路部分を有する。絶縁板の各流路部分は、相互に側方に隔置されて、絶縁板を介した直接の見通し開口を防ぐ。素子の少なくとも1つに横流路部分が形成され、隔置された流路部分間に延在して、流路部分を共に結合すると共に、絶縁板を介した全流路を形成して、絶縁板を通してシャワーヘッドまでプロセス・ガスを送出させる。好ましくは、シャワーヘッドと処理室との間で少なくとも1つの90度の角度を形成して、シャワーヘッドと処理室との間で直接の見通し流路を回避し、これによってプラズマ破壊を低減および防止する。本発明の一実施形態では、2枚の隣接した板を用いる。あるいは多数の側方に隔置された流路部分対および各チャネルを有する多数の板を用いて、本発明の原理に従って、シャワーヘッドを電気的に絶縁させることも可能である。
【0016】
本発明の一実施形態では、絶縁板に4対の流路を形成し、関連する4対の側方に隔置された部分および横流路部分を用いる。板は、ほぼ円形の断面を有し、横流路部分は半円形に形成して、板の輪郭および形状に従う。絶縁板間にセラミック製の位置合わせピンを配置して、各々の隔置された流路部分と横流路部分との間に適正な位置合わせを与え、板を介した様々なガス流路を形成する。また、位置合わせピンを、板と処理室とシャワーヘッドとの間の界面で用いて、処理室内の板の適正な位置決めおよび位置合わせを保証することも可能である。
【0017】
絶縁板を介した直接の見通し導電経路を排除してプラズマ破壊を防ぐことに加えて、本発明は、電極のRFバイアスがプロセス・ガス供給源に向かうのを防ぐために処理システムと共に通常用いられるガス供給線内の電気的絶縁またはRF阻止構造を解消する。更に、本発明の一実施形態の多数の絶縁板は、従来技術の処理システムにおいて用いられる通常の単一絶縁板よりも薄くすることができる。このため、多数の板は、加熱された処理空間を大気に通気させる場合に、熱衝撃および破壊を受けにくい。
【0018】
他の目的および利点は、以下の本発明の「詳細な説明」において記載する。
本明細書に組み込まれてその一部を成す添付図面は、本発明の実施形態を例示し、以下に与える本発明の全体的な説明と共に、本発明の原理を説明する機能を果たす。
【0019】
(詳細な説明)
図1は、IC製造の間に半導体を処理するために用いられ、平行板プラズマ放電装置を組み込んだ従来技術の処理システム10を示す。システム10は、平面状の絶縁板12を利用しており、これを介して、プロセス・ガスが、バイアスをかけたシャワーヘッド14へと送出される。本出願の「背景」の項において述べたように、かかる構成は、プロセス・ガスが絶縁板12を直接通過し、事実上、バイアスをかけたシャワーヘッド14と接地したプロセス室16および/または接地したプロセス・ガス供給線18および関連するガス供給構成要素との間に導電性プラズマ経路を与えるために、プラズマ破壊を生じやすい。既存の平行板処理システムにおけるプラズマ破壊という欠点に、本発明によって対処する。また、本発明が提供する追加の利点には、熱衝撃の影響を受けにくく、シャワーヘッド内のRFがガス供給線を通じてガス供給構成要素に移動することを防ぐRF破壊防止またはRF阻止構成要素のような様々なガス供給構成要素を排除することができるプラズマ処理システムが含まれる。
【0020】
本発明が組み込まれる現在のプラズマ処理システムを理解するために、図1の既存のシステム10について詳細に説明する。従来技術のシステム10および本発明のシステム10aは、様々な共通または類似の構成要素を有し、従ってそれらには同様の参照番号を与えている。本発明が組み込まれるシステム10は、ステンレス鋼またはインコネル等の適切な金属から形成した処理室16を含む。処理室16は、プラズマを発生させるプロセス空間20を規定する。処理室16の上部を閉鎖し、これによってプロセス空間20を包囲しているのは、室蓋22であり、これもステンレス鋼で形成することが好ましい。室蓋22は、適宜、処理室16を封止して、プラズマ処理原理に従って低圧または真空環境を提供する。室蓋22に結合可能な支持構造24は、絶縁板12および、図示のようなシャワーヘッド14等のガス分散素子を支持する。絶縁板12は、石英のような電気的に絶縁性の物質から製造される。シャワーヘッド14は、その底面29に、適宜形成された複数の開口28を含み、基板支持またはサセプタ32上に置かれた基板30上にプロセス・ガスを導入する。シャワーヘッド14は、いずれかの適切な形態を取ることができ、一般に、プロセス・ガス供給源19およびガス供給線18からプロセス・ガスを受け取り、開口28を通じて基板30上に均一にガスを分散させるように構成されている。開口28のパターンおよび数は、基板上に均一かつ一様なプロセス・ガス流を与えるように決定することが好ましい。適切なシャワーヘッドの設計が、上述の米国特許第5,567,243号および連続番号第08/940,779号に例示されている。シャワーヘッドは、アルミニウムまたはインコネル等の適切な物質から製造される。ガス供給線18は、処理室に形成された適切な入口21を通過する。
【0021】
サセプタ32はベース33上にあり、平面状の基板30を、シャワーヘッド14にほぼ平行な向きに支持する。CVDまたはPECVDプロセス(またはエッチング・プロセス)等の特定のプロセスでは、基板30および、従ってサセプタ32を、加熱する(または冷却する)ことが必要な場合があり、このため、ベース33を介して、適切な加熱または冷却システムおよび温度制御システム(図示せず)に結合する。また、基板30上への均一な堆積のため、サセプタ32を回転させることが望ましい場合がある。そのため、サセプタ32を外部回転制御システム37に結合することができる。当技術分野において周知の原理に従って、背面加熱システムおよび基板チャックまたはクランプ・システム等の他のサセプタ制御システムもサセプタ32と共に利用可能であることは、当業者には容易に理解されよう。処理の間、処理室16のプロセス空間20は低圧であり、従って、処理室16は、真空開口34等の処理室16の適切な開口を介して、真空システム39に結合される。真空システム39によって維持されるプロセス空間20内の圧力は、既知のプロセス・パラメータに従ったものとする。
【0022】
プロセス空間20内にプラズマを生成し維持するために、RF電力源40によってシャワーヘッド14にバイアスをかける。かかる適切な電源の1つは、約13.56MHZで動作し、約100ないし1200ワットの電力をシャワーヘッド14に送出することができる。更に、処理システム10の平行板構成内で、基板30を支持するサセプタ上面35とシャワーヘッド14の対向する下面29との間に、小さい距離を維持する。かかる1つの適切な距離は約25mmすなわち約1インチである。基板30およびプロセス・ガス供給線18に対するシャワーヘッド14および絶縁板12の適正な位置合わせを確実にするという点で、室蓋22と絶縁板との間、および絶縁板12とシャワーヘッド14との間の境界に、位置合わせピン42を用いる。室蓋22、絶縁板12、およびシャワーヘッド14は全て、周知の原理に従って適切に封止して、適正な真空を維持することを保証し、更に、処理室16内および特にプロセス空間20内にプロセス・ガスを維持して、基板30の近くに均一かつ高密度のプラズマを供給することを保証する。
【0023】
処理システム10の電極は、ほぼ平面状かつほぼ平行なシャワーヘッド14およびサセプタ32によって形成される。シャワーヘッド14およびサセプタ32は、それぞれ、湾曲面29および35を有する場合がある。しかしながら、面29、35は好ましくは平面状であり、相互に平行な向きに配されていることが好ましい。上述のように、RF電力源40によってシャワーヘッド14にバイアスをかける。サセプタ32は、(これにもバイアスをかける場合があるが)通常接地されており、このため、概して、接地ベース45に結合した処理室16に電気的に結合されている。プロセス・ガス供給源および特に供給線18も、接地ベース45に結合されている。図1に示すように、絶縁板12を貫通して流路46が形成されており、ガス供給線18をシャワーヘッド14に結合する。シャワーヘッド14は通常、空間(図示せず)を含み、この中にプロセス・ガスを送出し、その後、開口28を通じて分散させる。開口46は、適宜、供給線18およびシャワーヘッド14との境界に結合および封止して、当該ガスを漏れなくシャワーヘッドへ効果的に送出することを確実とする。例えば、板12と室蓋22との間に図示しないオーリング封止を用いて、供給線18が板12と接続する箇所でガス漏れを防ぐことができる。
【0024】
図2は、図1に示すシステム10と同様の処理システム内で利用可能な本発明を示す。そのため、同様の素子は同一の参照番号を用いる。図2に示す本発明のシステム10aは、絶縁アセンブリ49を用いる。これは、側方に隔置した流路部分を有する流路を含み、バイアスをかけたシャワーヘッドと接地した処理室またはガス線との間の見通しガス流路を防ぐ。一実施形態では、このアセンブリは、個々の絶縁板50a、50b等の多数の絶縁素子を含む。2枚の板50a、50bは、共同してプラズマ破壊を低減および防止する。板等のアセンブリ49は、石英のような電気的に絶縁性の物質から適宜形成する。多数の素子を用いたアセンブリ49を例示するが、本発明は、本発明に従って流路が形成される単一の素子を利用することも可能である。供給線18からのプロセス・ガスは、流路部分52を通って第1の絶縁板50aを貫通し、流路部分54を通って第2の板50bを貫通して供給される。本発明の原理によれば、流路部分52、54は、相互に側方に隔置されて、バイアスをかけたシャワーヘッド14と接地したプロセス室16または供給線18との間に直線または直接見通し経路を設けないようにする。流路部分52、54は、これらの隔置した流路部分の間に、素子または板50a、50bの少なくとも1つに形成された横流路部分56によって、共に結合されている。隔置した流路部分52、54および横流路部分56は共に、絶縁アセンブリ49を通過する流路を形成する。図2に示す実施形態では、横流路部分56は、完全に上部の素子50a内に形成されている。しかしながら、横流路部分56は、素子50b内に形成することも可能であり、または、双方の素子50a、50b内に一部ずつ形成することもできる。従って、バイアスをかけたシャワーヘッド電極14とプロセス室16またはガス供給線18との間でプロセス・ガスが通る経路は、大幅に長くなり、プラズマが接地ベースに短絡する直接見通し経路は存在しない。本発明の好適な実施形態では、横流路部分56は、ガス流路抵抗を最小限とするかまたは防ぐために、流路部分52、54と同一または流路部分52、54よりも大きい断面寸法を有する。図2に示すように、流路部分52、54および横流路部分56内のプラズマ流は、流路部分52、54と横流路部分56との間の境界において形成された少なくとも2回の直角すなわち90度の曲がり角を有する。板50a、50bは、共に積層されるように形成および構成されており、板間の境界51が、流路部分52、54および56のほぼ気密の結合を与えるようになっている。
【0025】
処理システム10aの特定の幾何学的形状および設計において考慮すべき点に対応するため、積層絶縁板50a、50b内の流路部分52、54を、必要により板内に位置付けることができる。本発明の一実施形態では、シャワーヘッド14および板50a、50bは円形であり、部分56は、これを形成する板の円形の幾何学的形状に従う。更に、ガスをシャワーヘッドに導入するために、多数のガス供給線18を用いることができる。本発明のかかる実施形態では、板50a、50bに適切に形成した複数の流路部分対52、54および各横流路部分56を設けることとなる。様々な絶縁板50a、50b、室蓋22、およびシャワーヘッド14間の位置合わせを行うために、適宜、位置合わせピン42を用いることができる。好適な実施形態では、位置合わせピンはセラミックであると好ましい。
【0026】
図4Aおよび4Bは、本発明の一実施形態による上絶縁板50aおよび下絶縁板50bの実施形態を示す。絶縁板は、多数の側方に隔置した流路部分対と、この隔置した流路部分対間に形成された関連する横流路部分を含む。このように、多数のガス供給線を用いて、ガスをシャワーヘッド14に導入することができ、絶縁アセンブリを貫通して多数の流路が形成されている。更に具体的には、絶縁板50a、50bは、断面がほぼ円形であり、52a、54a;52b、54b;52c、54c;52d、54dと示す流路部分対を含む。各横流路部分56a、56b、56c、56dは、流路部分対を共に結合する。横流路部分は、半円形に形成され、板50a、50bの断面形状に一致する。図4Aおよび4Bに示す実施形態では、外側の流路部分56a、56dおよび対応する隔置した流路部分対52a、54aおよび52d、54dは、内側の流路部分56bおよび56cならびに関連する隔置した流路部分よりも大きい。
【0027】
従って、図4A、4bのアセンブリを用いて、多くのプロセス・ガスをシャワーヘッドに導入することができる。例えば、あるプロセス・ガス供給源をアセンブリの内側の流路に結合し、異なるプロセス・ガスを有する別の供給源を外側の流路に結合することができる。出願連続番号第08/940,779号に示されているような非混合シャワーヘッドは、本発明の絶縁アセンブリと共に使用可能である。この出願は、本願発明の説明にも援用するものとする。
【0028】
上部または上層の板50aの上面に、適切な孔57を形成して、絶縁板50aおよび室蓋22の界面間のセラミック位置合わせピン42を収容する。同様に、上板50aの下面59および下板50bの上面60の双方に適切な開口58を形成して、板間の界面51における位置合わせピン42を収容する。最後に、シャワーヘッド14と下絶縁板50bとの間に結合された位置合わせピンのために、下板50bの下面63に適切な開口62を形成する。
【0029】
シャワーヘッドにバイアスをかけるため、絶縁アセンブリを介してそれにRFエネルギを与えなければならない。そのため、絶縁アセンブリ49にはRF開口が形成されている。図4A、4Bを参照すると、板に開口62a、62bが形成されて、RF開口全体を作成している。素子50bと共に金属板またはワッシャ64を用いて、シャワーヘッドを絶縁アセンブリに物理的に結合することができる。
【0030】
図3は、図1に示すような水素プラズマおよび単一の絶縁板、ならびに図2、図4A、および4Bに示すような絶縁板50a、50bを有する絶縁アセンブリ49を用いたシステムについて、プロセス・システム10および10a内に生成されたプラズマ放電の負荷抵抗、RFバイアスをかけたシャワーヘッドのDC自己バイアス対RFパワーのグラフを示す。図3のグラフ内の様々な点によって示されるように、13.56MHZのRF周波数および0.45トルのプロセス圧力では、室16の空間20内で、システム10に送出されるRF電力は、概して350ワットに制限された。プロセス空間は、約175ないし200℃の温度に維持した。図3のグラフ内の点70、および約350ワットを超える電力レベルにおける参照矢印71、72に示す通り、参照矢印71によって示されるような負荷抵抗の急激な上昇があり、参照番号72によって示されるようなシャワーヘッドのDC自己バイアスの急激な低下がある。プラズマの負荷抵抗の急激な上昇およびシャワーヘッドDCバイアスの急激な低下は、絶縁板12を貫通する流路46内の寄生放電の形成を示すものであり、この場合、シャワーヘッド14は、プラズマを介して接地までアークし始める。シャワーヘッド内のプラズマは、システム10を用いたCVDプロセス内で、シャワーヘッド14の個々の流路または孔28内で生じた堆積として確認された。一般に、処理空間20内の圧力が上昇すると、システム10のRF電力制限が厳しくなる。なぜなら、圧力が高くなると、特定のRF電力をプラズマに送出するために必要なシャワーヘッドにおけるRF電圧が低下するからである。
【0031】
図3のグラフにおいて、参照番号75は、図4Aおよび4Bに示すような2枚の積層絶縁板50a、50bを有する本発明によるシステム10aを用いた場合の点を示す。本発明によるシステム10aの設計では、事実上、1300ワットまで電力制限は観察されなかった。
【0032】
上述のような本発明の原理によれば、多数のガス供給線18を用いて、プロセス・ガスをシャワーヘッド14に導入することができる。更に、本発明の原理によれば、図2に示す2枚の積層絶縁板50a、50bを超えた多数の絶縁板を利用可能である。例えば、所望のプロセス内で電力レベルを上げるためには、横流路部分56の長さを極めて短くする必要があり得る。このため、流路部分56を、2枚を超える多数の板の境界において形成される一連の更に短い流路部分によって置換することができる。このように、本発明は、絶縁板の間の各境界に形成されている適切なチャネルと、板に形成されている側方に隔置した適切な非整合ガス流路とを有するいずれかの数の積層絶縁板を用い、1つ以上のガス供給線18とシャワーヘッド14との間にプロセス・ガス用の流路を設けた実施形態も備える。
【0033】
本発明は、プラズマ破壊を生じさせないために、RF電極と接地基準との間に長い経路長を提供する。更に、プラズマ破壊の際に発生し得る何らかの二次電子なだれを妨げるため、流路部分56によって結合されている側方に隔置した非整合流路部分52、54が、シャワーヘッド電極と接地ベースとの間の直接見通しを防ぐ。また、本発明のシステム10aは、熱衝撃を受けにくい。なぜなら、高温においてシステムを大気に通気させなければならない場合、多数の薄い板は、単一の厚い板よりも破損が生じにくいからである。本発明のシステム10aの更に別の利点は、いくつかのガス供給素子を除去し、ガス送出システムの複雑さを低減することである。例えば、ガス供給線18のシャワーヘッド電極14への直接見通し接続がないので、図1に示すシステム10においては通常必要であり得るガス供給線18内の別個のRF破壊構成素子を用いる必要がない。
【0034】
本発明をその実施形態の説明によって示し、実施形態について相当に詳細に記載したが、添付の請求の範囲を、かかる詳細に制限すること、またはいかなる意味でも限定することは、本出願人の意図するところではない。当業者には、更に別の利点および変形が容易に明らかとなろう。従って、本発明は、その更に広い態様において、特定の詳細な代表的な装置および方法、ならびにここに図示し説明した例示的な例に限定されない。従って、本出願人の全体的な発明の概念の精神および範囲から逸脱することなく、かかる詳細からの逸脱が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来技術の平行板装置の側断面図である。
【図2】 本発明の原理による絶縁アセンブリの側断面図である。
【図3】 図1および2の双方に示す装置の、RF電力に対して記入した水素プラズマの負荷抵抗におけるRF電極のDCバイアスを記入した図である。
【図4A】 本発明の原理による絶縁アセンブリにおいて用いられる絶縁板の上方図である。
【図4B】 本発明の原理による、図4Aのものと同様の絶縁板の下方図である。
Claims (19)
- プラズマによって基板を処理するための処理システムであって:
プロセス空間を規定し、前記プロセス空間内に基板を支持するための支持構造を含む処理室と;
前記処理室内にプラズマを形成するプロセス・ガスを導入するための前記処理室のガス入口と;
前記処理室内に位置し、前記入口から前記プロセス空間内にプロセス・ガスを分散させるために動作可能なシャワーヘッドと;
前記シャワーヘッドにバイアスをかけて、前記シャワーヘッドにより分散させたプロセス・ガスによってプラズマを形成する電気エネルギ供給源と;
前記シャワーヘッドに接触し、前記シャワーヘッドと前記処理室の室壁との間に位置し、前記処理室の室壁から前記シャワーヘッドを電気的に絶縁させる絶縁アセンブリと;
を備え、前記絶縁アセンブリは、前記ガス入口から前記絶縁アセンブリを貫通してプロセス・ガスを通過させる流路を含み、該流路は、相互に側方に隔置された部分を含み;
前記流路は、更に、前記側方に隔置された流路部分間に延在して前記側方に隔置された流路部分を共に結合し前記アセンブリを貫通した流路を形成してプロセス・ガスを前記シャワーヘッドへと送出するための横流路部分を含み、
これによって、処理の間に前記プラズマの安定性を維持するために、前記絶縁アセンブリを貫通する前記流路は、該横流路部分があることによって前記ガス入口が前記プロセス空間から直線的に見通しができない流路となっていることを特徴とする処理システム。 - 請求項1に記載の処理システムにおいて、前記絶縁アセンブリは第1および第2の電気絶縁素子を含み、各素子は、前記絶縁素子にガスを通過させるために、前記素子を貫通する流路部分を含み、前記絶縁素子の前記各流路部分は相互に側方に隔置されており、前記横流路部分は、前記素子の少なくとも1つに形成されると共に前記隔置された流路部分間に延在して、前記流路部分を共に結合し全流路を形成している処理システム。
- 請求項2に記載の処理システムにおいて、前記横流路部分は完全に1つの素子内に形成されている処理システム。
- 請求項1に記載の処理システムにおいて、前記絶縁アセンブリは石英から形成されている処理システム。
- 請求項1に記載の処理システムにおいて、前記電気エネルギ供給源は、RFエネルギによって前記シャワーヘッドにバイアスをかけるためのRF電源である処理システム。
- 請求項2に記載の処理システムにおいて、前記絶縁素子は、上下に積層された平面状の絶縁板である処理システム。
- 請求項6に記載の処理システムであって、更に、前記絶縁板間に位置する位置合わせピンを備え、前記流路を形成するために前記各流路部分および前記横流路部分間に適正な位置合わせを与える処理システム。
- 請求項1に記載の処理システムにおいて、前記流路は、プロセス・ガス流のため、前記シャワーヘッドと前記処理室との間に少なくとも1つの90度の角度を形成する処理システム。
- 請求項1に記載の処理システムにおいて、前記絶縁アセンブリは、更に、多数の流路を備え、該流路の各々は、側方に隔置された流路部分対および該隔置された流路部分を共に結合する横流路部分を含む処理システム。
- 請求項9に記載の処理システムにおいて、前記多数の流路は相互に物理的に分離している処理システム。
- 請求項1に記載の処理システムにおいて、前記横流路部分は形状が半円である処理システム。
- 請求項6に記載の処理システムにおいて、前記絶縁板は各々、平面を形成し、前記側方に隔置された流路部分は前記板平面に対してほぼ垂直な向きであり、前記横流路部分はそれが形成されている前記板の前記平面にほぼ平行な向きである処理システム。
- プラズマによって基板を処理するための処理システムであって:
プロセス空間を規定し、前記プロセス空間内に基板を支持するための支持構造を含む処理室と;
前記処理室内にプラズマを形成するプロセス・ガスを導入するための前記処理室のガス入口と;
前記処理室内に位置し、前記入口から前記プロセス空間内にプロセス・ガスを分散させるために動作可能なシャワーヘッドと;
前記シャワーヘッドにバイアスをかけて、前記シャワーヘッドにより分散させたプロセス・ガスによってプラズマを形成する電気エネルギ供給源と;
前記シャワーヘッドに接触し、前記シャワーヘッドと前記処理室の室壁との間に位置し、前記処理室の室壁から前記シャワーヘッドを電気的に絶縁させ、前記シャワーヘッドと前記処理室の室壁との間に相互に隣接して位置する複数の電気絶縁素子を備えた、絶縁アセンブリと;
を備え、前記複数の絶縁素子の各々は、前記ガス入口から前記絶縁素子を貫通してプロセス・ガスを通過させる流路部分を有し、前記隣接した絶縁素子の前記各流路は、相互に側方に隔置されており;
更に、隣接した絶縁素子の前記側方に隔置された流路部分間に延在して前記側方に隔置された流路部分を共に結合し、前記隣接する絶縁素子にプロセス・ガスを通過させる少なくとも1つの横流路部分を備えており、前記絶縁素子の流路は、前記横流路部分があることによって前記ガス入口が前記プロセス空間から直線的に見通しができない流路となっていることを特徴とする処理システム。 - プラズマによって基板を処理するための処理システム内で接地基準となる部材からバイアスをかけたガス分散素子を絶縁させるための電気絶縁アセンブリであって:
プロセス空間を規定し、前記プロセス空間内に基板を支持するための支持構造を含む処理室と;
バイアスをかけたガス分散素子と接地基準となる部材との間に位置して前記ガス分散素子を電気的に絶縁するように構成されている電気絶縁アセンブリと;
を備え、前記絶縁アセンブリは、前記ガス分散素子に接触し、ガス入口から前記絶縁アセンブリを貫通してプラズマを形成するプロセス・ガスを通過させる流路を含むように構成されており、前記流路は相互に側方に隔置された部分を含み;
前記流路は、更に、前記側方に隔置された流路間に延在して前記側方に隔置された流路部分を共に結合し前記絶縁アセンブリを貫通する完全な流路を形成してガス分散素子へとプロセス・ガスを通過させる横流路部分を含み;
これによって、処理の間に前記プラズマの安定性を維持するために、前記絶縁アセンブリを貫通する前記流路は、該横流路部分があることによって前記ガス入口が前記プロセス空間から直線的に見通しができない流路となっていることを特徴とする電気絶縁アセンブリ。 - 請求項14に記載のアセンブリにおいて、前記絶縁アセンブリは第1および第2の電気絶縁素子を含み、各素子は、前記絶縁素子にガスを通過させるために、前記素子を貫通する流路部分を含み、前記絶縁素子の前記各流路部分は相互に側方に隔置されており、前記横流路部分は、前記素子の少なくとも1つに形成されると共に前記隔置された流路部分間に延在して、前記流路部分を共に結合し全流路を形成しているアセンブリ。
- 請求項14に記載のアセンブリにおいて、前記絶縁アセンブリは石英から形成されているアセンブリ。
- 請求項14に記載のアセンブリにおいて、前記絶縁素子は、上下に積層された平面状の絶縁板であるアセンブリ。
- 請求項14に記載のアセンブリであって、前記流路は、前記絶縁アセンブリを通じたプロセス・ガス流のため、少なくとも1つの90度の角度を形成するアセンブリ。
- 請求項14に記載のアセンブリにおいて、前記絶縁アセンブリは、更に、多数の流路を備え、該流路の各々は、側方に隔置された流路部分対および該隔置された流路部分を共に結合する横流路部分を含むアセンブリ。
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