JP3872829B2

JP3872829B2 - 着色薄膜パターンの製造方法

Info

Publication number: JP3872829B2
Application number: JP22234795A
Authority: JP
Inventors: 透後河内; 章善積; 尚子木原; 卓哉内藤; 鋼児浅川; 直美信田; 真中瀬
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1995-08-30
Filing date: 1995-08-30
Publication date: 2007-01-24
Anticipated expiration: 2015-08-30
Also published as: JPH0967421A; US5853952A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は新規な色彩制御用機能性有機材料、機能性有機樹脂組成物、機能性有機材料の光透過性の制御方法、および機能性有機樹脂組成物から液晶デバイスや撮像デバイスの遮光膜または色フィルターなどとして用いられる着色薄膜パターンを製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光や熱による状態変化を利用した有機記録材料として、高分子ブレンドの相分離や液晶材料の相転移を利用した記録材料が知られている。しかし、これら従来の有機記録材料は、一般に応答速度が遅いという問題があり、応答速度を向上させることが要望されている。
【０００３】
また、導電性を有し酸化還元により光吸収が変化する化合物として、例えば電解重合したポリアニリンなどが知られている。しかし、このような化合物は重合が電極表面でのみ進行するため生産効率が悪く、しかも有機溶媒などに対して極めて溶解性が低いため溶媒に溶解して成膜したり成形することが困難であるという問題がある。
【０００４】
また、例えば液晶デバイスや撮像デバイスなどにおいては、光の制御によりデバイスの性能の一部を担う部材として、色フィルターや遮光膜（ブラックマトリクス）が用いられている。これらの部材を形成するために種々の材料とそれに応じた方法が検討されている。例えば、色フィルターを形成するには、レジストをパターニングした後、染色する方法が知られているが、この方法は工程が非常に煩雑であり、歩留りの向上も困難であるという問題がある。また、遮光膜はクロムなどの金属を用いて形成するのが一般的であるが、この方法はエッチング工程が必要となるため、生産効率が悪いという問題がある。そこで、色フィルターおよび遮光膜を形成するために顔料を含有する着色レジストを用いることが検討されている。しかし、このような着色レジスト中に含有される顔料は本質的に光を吸収する性質を有するため、レジストの解像性および感度を低下させ、デバイスの輝度およびコントラストを低下させるという問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、化学反応を利用して比較的速い応答速度で光透過性を制御できる機能性有機材料を提供することにある。本発明の他の目的は、成膜や成形が容易で、パターニングも可能であり、光透過性の制御機能を有効に発現できる機能性有機樹脂組成物を提供することにある。本発明のさらに他の目的は、上記機能性有機樹脂組成物を用いて、着色薄膜パターンを製造する方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の一態様に係る着色薄膜パターンの製造方法は、基板上に、それぞれ下記一般式（ III ）および（ IV ）
ＯＨＣ−Ｒ¹’−ＣＨＯ（III）
Ｈ₂Ｎ−Ｒ²’−ＮＨ₂ （IV）
（ここで、Ｒ ¹ ’およびＲ ² ’は芳香族系有機基である）
で表されるジアルデヒドおよびジアミンを含有する機能性有機樹脂組成物の薄膜を形成する工程と、該薄膜上にレジストを形成する工程と、該レジストを露光・現像してレジストパターンを形成する工程と、該レジストパターンをマスクとして露出した前記薄膜を選択的に酸化または加熱してアゾメチン結合に由来する発色を生じさせる工程とを具備したことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
本発明の機能性有機材料は、アルデヒドとアミンとの縮合反応により生成するアゾメチン結合を有し、このアゾメチン結合における化学反応を利用して色彩を制御するというものである。
【００１１】
本発明の機能性有機材料の原料であるアルデヒドおよびアミンは、それぞれ下記一般式（Ｉ）および（II）
Ｒ¹ −ＣＨＯ（Ｉ）
Ｒ² −ＮＨ₂ （II）
で表される。また、本発明の機能性有機材料の原料として、それぞれ下記一般式（III)および（IV）で表されるジアルデヒドおよびジアミン、場合によってはさらに多価のアルデヒドおよびアミンを用いてもよい。
【００１２】
ＯＨＣ−Ｒ¹ ’−ＣＨＯ（III)
Ｈ₂ Ｎ−Ｒ² ’−ＮＨ₂ （IV）
上記一般式（Ｉ）〜（IV）において、Ｒ¹ ，Ｒ¹ ’およびＲ² ，Ｒ² ’のうち少なくとも一方が下記に示される芳香族系有機基であることが望ましく、用途によっては脂肪族系有機基であってもよい。さらに、下記に示される芳香族系有機基の芳香環の水素原子の１個以上が、水酸基またはメチル基などのアルキル基で置換されていてもかまわない。なおここでは、芳香族系有機基がＲ¹ ’，Ｒ² ’のように２価の基である場合を示したが、１価の基であるＲ¹ ，Ｒ² については式中の２本の結合手のうち一方を水素原子、水酸基、アルキル基などとすればよい。
【００１３】
【化１】

（各式における置換基はＨ，ＣＨ₃ またはＦである。）
より具体的には、一般式（Ｉ）で表されるモノアルデヒドとしては２−ナフトアルデヒドなどが例示される。一般式（II）で表されるモノアミンとしては２−アミノピレンなどが例示される。一般式（III)で表されるジアルデヒドとしては、フタリックジカルボアルデヒド（フタルジアルデヒド）、５−ホルミルサリチルアルデヒド、２−ヒドロキシ−５−メチルイソフタルアルデヒド、２，３−ナフタレンジカルボアルデヒドなどが例示される。また、一般式（IV）で表されるジアミンとしては、フェニレンジアミンのようなベンゼン系ジアミン誘導体、１，５−ジアミノナフタレンのようなナフタレン系ジアミン誘導体、ジアミノジフェニルエーテル、ジアミノスチルベンなど複数の芳香環を有する芳香族ジアミン類などが例示される。上記のジアルデヒドとジアミンとから得られる本発明の機能性有機材料は、
ＯＨＣ−（Ｒ¹ ’−ＣＨ＝Ｎ−Ｒ² ’−ＣＨ＝Ｎ−）_n −ＮＨ₂
で表されるオリゴマーまたはポリマーであり、Ｒ¹ ’、Ｒ² ’として適当な有機基を選択すれば、アゾメチン結合含有の長鎖共役ポリマーを合成することができる。
【００１４】
本発明の機能性有機材料における光透過性の制御原理について説明する。この機能性有機材料に含有されるアゾメチン結合は−ＣＨ＝Ｎ−で表され、以下に示すように酸化・還元により状態が変化する。この結果、光透過性（光吸収性）の変化を引き起こし、さらに場合によっては電気伝導性の変化を引き起こすこともある。光学的性質に関しては、酸化状態で発色し、還元状態で退色する。本発明の機能性有機材料は、可逆的な発色・退色（書き込み・消去）の変化を利用して例えば記録材料として用いられる場合もあるし、不可逆的に発色した状態（書き込み）のみを利用して遮光膜や色フィルターなどの着色薄膜やライトワンス型の記録材料として用いられる場合もあり得る。
【００１５】
【化２】

【００１６】
上記の状態変化を起こすための手法としては、例えば電解、酸化剤による酸化、酸との接触による酸化、水素イオンビームの照射、Ａｓなどの金属イオンのドーピングなどが挙げられる。このうち特に、電解は可逆反応を簡便に起こすことができるので、発色・消色を行う場合に有利である。他の手法は一般に不可逆に発色させる場合に用いられるが、例えば酸との接触により発色させ、水洗などによる退色させるという方法を用いることもできる。
【００１７】
さらに本発明の機能性有機材料は、加熱・除熱によって発色・退色するという可逆的な変化を示すこともある。また、加熱発色後の除熱過程で急冷するかまたは比較的軟化点の高いポリマー中に配合して加熱発色後に固化を速めることによって、発色状態を保持できる場合もある。
【００１８】
本発明の機能性有機材料は、上記のようにして光透過性を制御することができるので、酸化または加熱により発色させて書き込み、光透過性や電気伝導度の違いを利用して読み出し、還元または除熱により消去するという方法で記録材料として応用することができる。このような化学反応を利用する記録材料は、高分子ブレンドの相分離、液晶材料の相転移を利用する従来の記録材料と比較して応答速度が速い。
【００１９】
本発明の機能性有機材料において、アルデヒドを構成する有機基Ｒ¹ ，Ｒ¹ ’およびアミンを構成する有機基Ｒ² ，Ｒ² ’は要求される光吸収特性に応じて適宜選択される。例えば、２００〜３００ｎｍの領域に光吸収を有することが要求される場合、Ｒ¹ ，Ｒ¹ ’およびＲ² ，Ｒ² ’のうち一方をベンゼン系、他方を非芳香族系とすることが好ましい。また、３００〜４００ｎｍの領域に光吸収を有することが要求される場合、Ｒ¹ ，Ｒ¹ ’およびＲ² ，Ｒ² ’の両者ともベンゼン系とすることが好ましい。さらに、４００ｎｍよりも長波長の領域に光吸収を有することが要求される場合、Ｒ¹ ，Ｒ¹ ’およびＲ² ，Ｒ² ’の両者ともベンゼン系、ポリベンゼン系、またはナフタレンなどの縮合ベンゼン系とすることが好ましい。
【００２０】
本発明の機能性有機材料はアルデヒドとアミンとをたとえば溶媒中で脱水縮合反応させることにより合成することができる。この反応に用いることができる溶媒としては、エタノール、ベンゼン、トルエン、クロロホルムなどが挙げられる。脱水縮合反応を起こさせるには、反応溶液を還流する、溶媒との共沸混合物として水を留去する、脱水触媒を用いるなどの方法が挙げられる。脱水触媒としては、ＴｉＣｌ₄ 、ＺｎＣｌ₄ 、モレキュラーシーブ、硫酸などが用いられる。本発明の機能性有機材料は、単独でまたは低分子化合物からなる有機膜もしくはベース樹脂に混合（混練）した状態で使用される。
【００２１】
なお、本発明の機能性有機材料のうち共役長（平面上に並ぶ２重結合の数）が１０を超える比較的分子量の高いものは、溶媒への溶解性が極端に悪くなる場合がある。そこで、分子量にかかわらず溶媒への溶解性を維持するためには、例えば−Ｏ−、−ＳＯ₂ −、−ＮＨ−、エステル結合、２価のアルキル基などの連結基を有する芳香族系のジアルデヒドもしくはジアミンを用いるか、芳香族系のジアルデヒドもしくはジアミンとともに脂肪族系のジアルデヒドもしくはジアルデヒドを混合することが望ましい。また、高分子量の機能性有機材料はそのまま塗布して塗膜を形成することもできるが、この場合塗膜の均一性を向上するために硫黄原子を含む低分子量のスルホニル化合物やスルホネート化合物を配合してもよい。
【００２２】
一方、本発明の機能性有機材料のうち共役長の長いものは、他のポリマーに混合して成形し電気伝導性を持たせる用途では有利である。このような用途で電気伝導性をより向上させるためには、さらに酸性化合物、水素イオン、ヒ素などのドーパント、または金属粉などを添加してもよい。
【００２３】
次に、本発明の機能性有機樹脂組成物について説明する。本発明の機能性有機樹脂組成物は、一般式Ｒ¹ −ＣＨＯ（Ｉ）で表されるアルデヒドと、一般式Ｒ² −ＮＨ₂ （II）で表されるアミンと（式中、Ｒ¹ 、Ｒ² のうち少なくとも一方は芳香族系の有機基である）を含有するものである。一般には、これらアルデヒドおよびアミンがベース樹脂中に配合された態様が好ましいが、アルデヒド、アミンの少なくとも一方がベース樹脂を兼ねていてもかまわない。またここでは、アルデヒドおよびアミンが上述したようなジアルデヒド、ジアミンや、多価のアルデヒド、アミンであってもよいことはいうまでもない。
【００２４】
この機能性有機樹脂組成物では、加熱などの方法によりアルデヒドとアミンとを脱水縮合反応させることにより、ベース樹脂中に、上述したアゾメチン結合を有する機能性有機材料が生成する。一方、ここでのベース樹脂は、機能性樹脂組成物の成形性を良好なものとしているので、この脱水縮合反応は、組成物をバルクや膜の形状に成形したり、さらにパターニングした状態で起こすことができる。したがって、アルデヒドとアミンとの反応により得られるアゾメチン結合を有する機能性有機材料（特に高分子量のもの）が、これを溶液中で合成して使用しようとすると溶媒への溶解性が極端に悪くなりさらには成形が困難になる場合でも、これらの性質の影響を受けずにバルクや膜として使用することができる。
【００２５】
上記ベース樹脂としては、アルデヒドとアミンとの脱水縮合の反応場を極性場とすることが望ましいため、極性基を有するポリマーを用いることが望ましい。このような極性基を有するポリマーとしては、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコールと酢酸ビニルとの共重合体などのポリビニルアルコール誘導体；無水マレイン酸とメチルビニルエーテルとの共重合体などのマレイン酸系共重合体；ポリビニルフェノール、スチレン−ビニルフェノール共重合体などのビニルフェノール系樹脂；フェノール、クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノールなどから得られるノボラック樹脂；ポリスチレンスルホネート系樹脂；ナイロン、カゼインなどのポリアミド系樹脂；セルロール系樹脂；ポリビニルピロリドン系樹脂；ポリカーボネート系樹脂；ポリウレタン樹脂；メラミン樹脂；アクリル酸およびその共重合体からなるアクリル系樹脂などが例示される。なお本発明の機能性有機樹脂組成物においては、アルデヒドおよびアミンの樹脂組成物中の配合割合がそれぞれ１．５〜４７．５ｗｔ％に設定されることが好ましい。この理由は、これらの配合割合が少なすぎると樹脂組成物の発色・退色の変化が小さく、配合割合が多すぎると塗膜などの成形性が低下する傾向があるからである。一方、アルデヒドとアミンとの配合比は、当モル量に設定されることが好ましいが、揮発しやすいモノアミンなどについては多少過剰に配合され得る。
【００２６】
本発明の機能性有機樹脂組成物は、上述した機能性有機材料に関して説明したのと同様に、可逆的な発色・退色の変化を利用する記録材料や不可逆的に発色した状態を利用する着色薄膜として応用することができ、しかも成膜などが容易である点で有利である。
【００２７】
本発明の機能性有機樹脂組成物には、さらに光や熱によって酸を発生する化合物（以下、単に酸発生剤という場合がある）を配合してもよい。なお、ここで用いている光という用語は電磁波を代表する用語として用いており、電子線、Ｘ線、紫外線、可視光、さらにイオンビームなどの高エネルギー線などを含むように解釈されるべきである。このように酸発生剤を含有する機能性有機樹脂組成物では、アルデヒドとアミンとを脱水縮合反応させてアゾメチン結合を有する機能性有機材料を生成させた後、光を照射したり熱を加えると酸発生剤から発生した酸によりアゾメチン結合が酸化状態になるので、不可逆的に発色させることができる。
【００２８】
上記酸発生剤としては、オニウム塩、オルトキノンジアジド類、スルホニル化合物、スルホネート化合物、スルファミン化合物やバイスルホン化合物、有機ハロゲン化合物などが挙げられ、より具体的には以下のようなものが例示される。
【００２９】
オニウム塩としては、フルオロホウ酸アニオン、ヘキサフルオロアンチモン酸アニオン、ヘキサフルオロヒ素酸アニオン、トリフルオロメタンスルホネートアニオン、パラトルエンスルホネートアニオン、パラニトロトルエンスルホネートアニオンを対イオンとするジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩などがある。
【００３０】
キノンジアジド化合物としては、ポリヒドロキシベンゾフェノンとナフトキノンジアジドスルホニルクロリドまたはナフトキノンジアジドスルホン酸との反応生成物などがある。
【００３１】
スルホニル化合物としては、ビスフェニルスルホニルメタン、フェニルスルホニルアセトニトリル、フェニルスルホニルアセトフェノンなどの電子吸引性基を有するスルホニル化合物およびそのジアゾ化合物がある。
【００３２】
スルホネート化合物としては、ピロガロールトリメシレートやトリフレート、ニトロ基などの電子吸引性基を有するスルホネート化合物がある。
有機ハロゲン化物はハロゲン化水素酸を生成する化合物であり、米国特許第３，５１５，５５２号、第３，５３６，４８９号、第３，７７９，７７８号および***特許公開公報第２，２４３，６２１号に開示されたものが挙げられる。
【００３３】
上記のような酸発生剤の他の固形分に対する配合量は、酸の発生効率に依存するため一概には規定できないが、通常は０．０１〜５０ｗｔ％、より好ましくは０．２〜３０ｗｔ％とすることが望ましい。この理由は、酸発生剤の配合量が０．０１ｗｔ％未満ではその配合効果が不十分となり、一方３０ｗｔ％を超えると塗膜性が悪化するおそれがあることによる。
【００３４】
また本発明の機能性有機樹脂組成物においては、酸によって架橋または分解する樹脂を、上述したような光によって酸を発生する酸発生剤と好ましく併用することができる。このような機能性有機樹脂組成物はいわゆる化学増幅型のレジストとして機能し、露光によってパターンを形成することができ、こうして形成されたパターン中においてアゾメチン結合に由来する可逆的な発色・消色または不可逆的な発色を起こすことができる。ここで、酸によって架橋または分解する樹脂はこれがベース樹脂となってもよいし、ベース樹脂とは別に添加されてもかまわない。
【００３５】
酸によって架橋する樹脂としては、酸反応性、脱水縮合性のＯＨ基、ＣＯＯＨ基、アセタール基などを有するものが挙げられ、より具体的にはポリビニルアルコール、アセタール化ポリビニルアルコール、ビニルアルコールと側鎖に２重結合を有するビニル化合物との共重合体；無水マレイン酸の共重合体；カゼイン；セルロース；ポリアミック酸、ポリアミノ酸またはアクリル酸と側鎖に２重結合を有するビニル化合物との共重合体；メラミン樹脂；エポキシ樹脂、無水ジカルボン酸などにより変性した変性エポキシ樹脂；アセタール化合物を含有するフェノール系樹脂などがある。
【００３６】
酸によって分解する樹脂としては、ターシャリーブチルメタクリレートとメタクリル酸との共重合体；アセタール化率の高いポリビニルアセタール樹脂；ビニルエーテルで架橋された樹脂；ポリヒドロキシスチレン、ノボラックなどのフェノール樹脂またはフェノール基を有する化合物のｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル化化合物またはテトラヒドロキシピラニルエーテルなどがある。
【００３７】
上記の機能性有機樹脂組成物には、特定波長（特に３４０ｎｍ）より長波長の光に対する酸発生剤の増感剤を添加してもよい。このような増感剤としては、スクアリウム色素などが挙げられる。また必要に応じて、組成物の塗布性を向上させるためにノニオン系またはイオン系界面活性剤や帯電剤などを配合してもよい。
【００３８】
このような感光性の機能性有機樹脂組成物は、通常、水または有機溶媒に溶解または分散して使用する。この場合に用いられる有機溶媒としては、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシドなどの極性溶媒、またはエチルセロソルブアセテート、エチルラクテート、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールモノエチルアセテート（ＰＥＧＭＥＡ）など通常のレジスト用溶媒が挙げられる。
【００３９】
本発明に係る感光性の機能性有機樹脂組成物は、微量の塩基性イオンの存在によって感度が阻害される。これは、感光性の機能性有機樹脂組成物では、露光によって酸発生剤から酸が発生し、熱を加えることにより酸が拡散し、この酸が触媒となって架橋反応または分解反応が生じるという機構で反応が進行するためである。そこで、この組成物の調製および取り扱いの過程でこれらの塩基性イオンの混入を避けることが望ましい。
【００４０】
次いで、本発明の機能性有機樹脂組成物を用いて液晶デバイスや撮像デバイスの遮光膜や色フィルターなどとして使用できる着色薄膜のパターンを形成する方法について説明する。
【００４１】
ベース樹脂、アルデヒドおよびアミン並びに必要に応じて酸発生剤を含有する機能性有機樹脂組成物を用いて着色薄膜パターンを製造するには以下のような方法が採用される。まず、基板上に機能性有機樹脂組成物の溶液を塗布し、５０〜１２０℃の温風またはホットプレートを用いて乾燥して薄膜を形成する。次に、この薄膜上にレジストを形成する。このレジストをマスクを介して露光し、アルカリ溶液または有機溶剤などの現像液を用いて現像してレジストパターンを形成する。さらに、レジストパターンから露出した薄膜を選択的に酸処理するかまたは加熱してアゾメチン結合に由来する発色を生じさせる。この場合、遮光膜の用途では黒色に発色する組成物を用い、色フィルターの用途ではＲＧＢのいずれかに発色する組成物を用いる。
【００４２】
この方法で、薄膜の膜厚は用途に応じて適宜決定されるが、通常０．２〜５０μｍの範囲に設定される。また、露光時の光源として高圧または低圧水銀ランプを用い、紫外線（波長３４０ｎｍ、４３０ｎｍ付近）を照射する方法が汎用性が高い。露光量は１ｍＪ〜９００ｍＪ／ｃｍ² に設定される。ただし、増感剤などを併用して他の光源で露光してもよいことは勿論である。
【００４３】
また、ベース樹脂、アルデヒド、アミン、酸発生剤および上述した通りベース樹脂を兼ねてもよい酸架橋性または酸分解性の樹脂を含有する機能性有機樹脂組成物を用いて着色薄膜パターンを製造するには以下のような方法が採用される。まず、基板上に機能性有機樹脂組成物の溶液を塗布し、５０〜１２０℃の温風またはホットプレートを用いて乾燥して薄膜を形成する。次に、この薄膜をマスクを介して露光する。露光後、５０〜１５０℃で３０秒〜６０分ポストベークを行ってもよい。次いで、アルカリ溶液または有機溶媒などの現像液で現像して薄膜パターンを形成する。ここで、酸架橋性の樹脂を含有する薄膜では露光部で架橋が起り現像液に溶解しにくくなっているので、露光部がパターンとして残る。一方、酸分解性の樹脂を含有する薄膜では露光部で分解が起り現像液に溶解しやすくなっているので、露光部以外がパターンとして残る。さらに、得られた薄膜パターンを酸処理するかまたは加熱してアゾメチン結合に由来する発色を生じさせる。この場合にも、遮光膜の用途では黒色に発色する組成物を用い、色フィルターの用途ではＲＧＢのいずれかに発色する組成物を用いる。この方法では、レジストを用いる必要がない点で、前者の方法よりも優れている。
【００４４】
ここで、薄膜の膜厚、露光光源などに関しては前者の方法と同様である。また、この方法では、パターン形成後にさらに高温でポストベークを行なってもよい。具体的には、１４０〜２５０℃で１分〜１時間加熱すればよい。このときの雰囲気は窒素雰囲気などの不活性雰囲気であることが望ましい。また、この高温ポストベーク前に再度全面に電磁波を照射してパターン内に含まれる酸の濃度を増大させたり、気相、液相または他のポリマー層からパターン内部へ酸を供給してもよい。このようにすれば、酸架橋性の樹脂を含有する薄膜パターンの場合はさらに固化し、耐候性が著しく向上するので、特に遮光膜としての用途では好適である。
【００４５】
なお、上述したような本発明の着色薄膜パターンの製造方法において、最終的な発色は単にアルデヒドとアミンとの脱水縮合反応によるアゾメチン結合の生成に基づくものであってもよいし、生成したアゾメチン結合の状態変化に基づくものであってもよい。前者の場合は、レジストパターンまたは薄膜パターンの形成後に薄膜を加熱などしてアゾメチン結合を生成させる。一方後者の場合は、薄膜形成直後およびレジストパターンまたは薄膜パターン形成後のいずれにおいてアゾメチン結合を生成させてもよい。
【００４６】
【実施例】
以下、本発明の実施例を説明する。
実施例１−１〜１−６
ジアルデヒドとして下記に示すＡＬ１〜ＡＬ４、ジアミンとして下記に示すＡＭ１〜ＡＭ４をそれぞれ用意した。これらの試薬はいずれもアルドリッチ社製のものである。
【００４７】
ＡＬ１：２，３−ナフタレンジカルボキシアルデヒド（２，３−ナフタレンジカルバルデヒド）
ＡＬ２：２−ヒドロキシ−５−メチルイソフタルアルデヒド
ＡＬ３：５−ホルミルサリチルアルデヒド
ＡＬ４：フタリックジカルボアルデヒド（フタルジアルデヒド）
ＡＭ１：ジアミノジフェニルエーテル
ＡＭ２：１，５−ナフタレンジアミン
ＡＭ３：フェニレンジアミン
ＡＭ４：３，３’−ジアミノベンゾフェノン
表１に示す配合割合でＮ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）中にジアルデヒドとジアミンとを等モルずつ溶解し、モレキュラーシーブを入れ、７０〜１４０℃で還流した後、ろ過して本発明の機能性有機材料（アゾメチン結合を有する長鎖共役ポリマー）を含むろ液を回収した。得られた各機能性有機材料について最大吸収波長を測定した結果を表１に併記する。
【００４８】
次に、得られた各機能性有機材料の濃度が２０ｗｔ％、塗膜の均一性を向上させる作用を有する添加剤であるメチルスルホニルアセトニトリルの濃度が４ｗｔ％となるようにＮＭＰに溶解し、ろ過して塗布溶液を調製した。各塗布溶液を石英基板上に回転塗布して１μｍ厚の塗膜を形成した。各塗膜に５ｗｔ％硫酸を接触させた後、水洗した。硫酸との接触後および水洗後に光の吸光度を測定した結果を表１に併記する。表１に示されるように、本発明の機能性有機材料は酸を用いて可逆的な発色および退色を実現できることがわかる。
【００４９】
【表１】

【００５０】
実施例２−１〜２−６
ベース樹脂として以下に示すＰ１〜Ｐ４を用意した。
Ｐ１：ポリビニルアルコール（日本合成工業製、商品名ゴーセノールＧＬー５０）
Ｐ２：メチルビニルエーテルと無水マレイン酸との１：１共重合体（五協産業製、商品名ＡＮ−１１９）
Ｐ３：クレゾールノボラック樹脂（群栄化学製）
Ｐ４：ポリ４−アミノスチレン（ポリサイエンス製）
ベース樹脂並びに実施例１で用いたジアルデヒドおよびジアミンを、表２に示す配合割合で配合し、固形分の総量の濃度が３０ｗｔ％となるようにＮＭＰに溶解し、ろ過して塗布溶液を調製した。なおここでＰ４はアミンであり、実施例２−３ではこのアミンがベース樹脂を兼ねている。得られた塗布溶液を石英基板上に回転塗布し、１μｍ厚の塗膜を形成した。これらの塗膜を加熱した後、吸収波長および特定波長領域における吸光度を測定した結果を表２に示す。表２に示されるように、本発明の機能性有機樹脂組成物は熱により発色することがわかる。
【００５１】
【表２】

【００５２】
また、上記のようにして形成した塗膜をはがして透明フィルムを得た後、サーマルプリンターを用いて透明フィルムに印字したところ、いずれの場合も発色が観測された。
【００５３】
実施例３−１〜３−４
光酸発生剤として以下に示すＡＧ１〜ＡＧ４を用意した。ＡＧ１はレスペケミカル製、ＡＧ２はみどり化学製、ＡＧ３およびＡＧ４は東洋合成製である。
ＡＧ１：
【００５４】
【化３】

ＡＧ２：
【００５５】
【化４】

【００５６】
ＡＧ３：２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノンのナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステル
ＡＧ４：２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノンのナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル
また、酸架橋性樹脂としてメラミン樹脂（三井サイアナミド製、商品名サイメル３２５）を用意した。
【００５７】
実施例２で用いた機能性有機樹脂組成物、上記光酸発生剤および酸架橋性のメラミン樹脂（ＣＬ１と記す）を、それぞれ表３に示す濃度となるようにＮＭＰに溶解し、塗布溶液を調製した。各塗布溶液をシリコンウェーハ上に回転塗布して１μｍ厚の塗膜を形成した後、９０℃で５分間ベークした。所定のマスクを介して塗膜に高圧水銀ランプからの紫外線を照射して露光した後、１２０℃で５分間ベークした。さらに、ＮＭＰ：ＩＰＡ（イソプロパノール）＝７：３の現像溶液で現像してパターンを形成した。このときの感度と解像性を表３に併記する。
【００５８】
さらに、得られたパターンに５ｗｔ％硫酸溶液を作用させ、最大吸収波長を測定するとともに、硫酸を作用させる前後で吸光度を測定した。これらの結果を表３に併記する。表３に示されるように、パターンの吸光度を変化できることがわかる。
【００５９】
【表３】

【００６０】
実施例４
ＩＴＯ透明電極を形成したＬＣＤ基板上に実施例３−２の機能性有機樹脂組成物を１μｍの厚さに塗布し、所定のマスクを介して１１０ｍＪ／ｃｍ² の露光量で露光した後、１２０℃で２分間ベークし、現像して赤色フィルターに相当するパターンを形成した。その後、得られたパターンに硫酸を作用させて赤色に発色させ赤色フィルターを形成した。さらに、電極、液晶配向膜を形成し、液晶セルを組み立て、真空下で液晶を注入し、偏光板を貼り付けて、液晶デバイスを作製した。
【００６１】
赤色顔料を含有する着色レジストと比較すると、本実施例で用いた機能性有機樹脂組成物は露光時の感度が高いため、スループットが向上する。
実施例５
ＩＴＯ透明電極を形成したＬＣＤ基板上に実施例３−４の機能性有機樹脂組成物を１μｍの厚さに塗布し、所定のマスクを介して３０ｍＪ／ｃｍ² の露光量で露光した後、１２０℃で２分間ベークし、現像してブラックマトリクスに相当するパターンを形成した。その後、得られたパターンに硫酸を作用させて黒色に発色させブラックマトリクスを形成した。さらに、電極、液晶配向膜を形成し、液晶セルを組み立て、真空下で液晶を注入し、偏光板を貼り付けて、液晶デバイスを作製した。
【００６２】
金属クロムからなる遮光膜を形成する方法では金属クロムのエッチング工程が必要になるが、本実施例の方法ではこのような工程は不要である。また、黒色顔料を含有する着色レジストと比較すると、本実施例で用いた機能性有機樹脂組成物は露光時の感度および形成されるパターンの解像性が高く、スループットが向上するとともに欠陥も減少する。
【００６３】
実施例６
ＩＴＯ透明電極を形成したＬＣＤ基板上に実施例１−２の機能性有機材料を１μｍの厚さに塗布し、その上にレジスト（東京応化社製、商品名ＯＦＰＲ８００）を塗布した。所定のマスクを介して５０ｍＪ／ｃｍ² の露光量で露光した後、１２０℃で２分間ベークし、アルカリ現像して赤色フィルターの逆パターンに相当するレジストパターンを形成した。その後、レジストパターンから露出した機能性有機材料の塗膜に硫酸を作用させて赤色に発色させて赤色フィルターを形成した。次いで、同様な方法により他の色のフィルターを形成した。さらに、電極、液晶配向膜を形成し、液晶セルを組み立て、真空下で液晶を注入し、偏光板を貼り付けて、液晶デバイスを作製した。
【００６４】
実施例７
モノアミンとして再結晶した２−アミノピレン０．００５モル、モノアルデヒドとして２−ナフトアルデヒド０．００５モルを、ベース樹脂となるポリ（スチレン−ビニルフェノール）共重合体（３：７、丸善）１０ｇと混合し、さらに熱酸発生剤として作用しかつ塗布均一性を向上させる作用を有する添加剤としてフェニルスルホニルアセトニトリルを０．００１モル添加した。これらを３倍重量のエチルセロソルブアセテートに溶解した溶液をろ過した。得られた塗布溶液をバーコーターを用いて白色基板上に塗布し、乾燥して２０μｍ厚の塗膜を形成した。この塗膜に波長１μｍ、０．３Ｗ／ｃｍ² の赤外レーザー光を１０秒間照射して加熱した。この結果、照射部が黒色に発色した。
【００６５】
実施例８
実施例１−３の機能性有機材料を２０ｗｔ％の濃度となるようにＮＭＰに溶解し、さらに塗布性を向上させるために５ｗｔ％のポリスチレンを混合して、塗布溶液を調製した。この塗布溶液をバーコーターで５μｍ厚になるように白色基板上に塗布して乾燥した。
【００６６】
このフィルムをオーブン中で２００℃に加熱すると、加熱中のみ強い赤色を呈することがわかった。そこで、このフィルムを赤外レーザーを用いて、短時間で加熱し急冷したところ、照射部分のみが選択的に赤色に発色した。さらに、このようにして発色したフィルムを、再度２００℃のオーブンで加熱したところ、再び全面が赤色発色した。その後ゆっくり冷却すると、もとの無色状態に戻ることが観測された。
【００６７】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、化学反応を利用して比較的速い応答速度で光透過性を制御でき、記録材料として応用可能な機能性有機材料を提供できる。また、成膜や成形が容易で、パターニングも可能であり、光透過性の制御機能を有効に発現できる機能性有機樹脂組成物を提供できる。さらに、上記機能性有機樹脂組成物を用いて、液晶デバイスまたは撮像デバイスなどの遮光膜や色フィルターとして用いられる着色薄膜パターンを製造できる。

Claims

基板上に、それぞれ下記一般式（III）および（IV）
ＯＨＣ−Ｒ¹’−ＣＨＯ（III）
Ｈ₂Ｎ−Ｒ²’−ＮＨ₂ （IV）
（ここで、Ｒ¹’およびＲ²’は芳香族系有機基である）
で表されるジアルデヒドおよびジアミンを含有する機能性有機樹脂組成物の薄膜を形成する工程と、該薄膜上にレジストを形成する工程と、該レジストを露光・現像してレジストパターンを形成する工程と、該レジストパターンをマスクとして露出した前記薄膜を選択的に酸化または加熱してアゾメチン結合に由来する発色を生じさせる工程とを具備したことを特徴とする着色薄膜パターンの製造方法。