JP3872233B2 - シリコン鋳造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はシリコン鋳造装置に関し、特に鋳型内にシリコン原料を供給して加熱溶融させた後に、一方向凝固させて鋳塊を作るシリコン鋳造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のシリコン鋳造装置を図2に示す。図2において、11はグラファイトなどから成る鋳型、12はその内部で水などの冷媒が循環する冷却板、13は抵抗加熱ヒータ、14はグラファイトなどから成る断熱壁、15a、15bは断熱壁の上部に設けられた原料供給タンクである。このような鋳型11や断熱壁14などは全て真空容器(不図示)内に設置されている(例えば特開平10−139586号公報参照)。
【0003】
このシリコン鋳造装置では、鋳型11の内面壁に窒化珪素や炭化珪素などを主成分とする離型材を塗布して、この鋳型11内にシリコン原料17を入れ、このシリコン原料17をヒータ13で加熱して溶融させる。次に、シリコン原料17が溶融して鋳型11の上部に空きができたら、第一の原料供給タンク15a内のシリコン原料を鋳型11内へ供給する。次に、追加供給したシリコン原料が溶融して鋳型11の上部に空きができたら、第二の原料供給タンク15b内のシリコン原料を鋳型11内へ供給する。最後に、全てのシリコン原料が溶融したら、鋳型11を徐々に下降させてシリコン融液17をヒータ13から徐々に離して冷却し、あるいは鋳型11の位置はそのままでヒータ13の温度を下げて冷却し、この鋳型11内でシリコン融液を一方向凝固させて鋳塊を形成するものである。
【0004】
この一方向性凝固したシリコン融液17の鋳塊は、鋳型11を破壊することにより、鋳型11から取り出したり、もしくは組立型鋳型の場合は、鋳型11を分解して取り出す。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このようなシリコンの鋳造方法では、一つの鋳型11内で全ての原料17を加熱溶融させるために原料の溶解時間が長くかかっていた。従来技術のままで溶解時間を短くするためには、ヒータ13の温度を高くする必要があるが、ヒータ13の温度を上げ過ぎると、鋳型11の内壁面に塗布する離型材が破損するという問題があり、溶解時間の短縮は困難であった。
【0006】
本発明は、このような従来装置の問題点に鑑みて発明されたものであり、シリコン原料の溶解時間が長くかかるという従来装置の問題点を解消したシリコン鋳造装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るシリコン鋳造方法は、シリコン原料を鋳型内に投入する工程と、シリコン原料を溶解るつぼ内に投入する工程と、前記鋳型内のシリコン原料を、鋳型内で加熱溶融する工程と、前記溶解るつぼ内のシリコン原料を、溶解るつぼ内で加熱溶融する工程と、前記溶解るつぼ内で溶融されたシリコン融液を、前記溶解るつぼの底から出湯させて前記鋳型内に追加供給する工程と、を少なくとも有したことを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付図面に基づき詳細に説明する。図1は、本発明に係るシリコン鋳造方法を用いたシリコン鋳造装置の一実施形態を示す断面図であり、1はグラファイトなどから成る鋳型、2はその内部で水などの冷媒が循環する冷却板、3は抵抗加熱ヒータ、4はグラファイトなどから成る断熱壁、5aは石英るつぼ、5bは黒鉛るつぼ、6(6a、6b)はるつぼ用抵抗加熱ヒータである。このような鋳型1や断熱壁4などは全て真空容器(不図示)内に設置される。
【0009】
本発明では鋳型1の上部に、石英るつぼ5aと黒鉛るつぼ5bから成る溶解るつぼ5を設ける。この溶解るつぼ5の底部には、融液を出湯する穴5cが設けられている。この溶解るつぼ5も鋳型1と共に真空容器内に設置する。溶解るつぼ5の上部または周囲、若しくは両方に、るつぼ用抵抗加熱ヒータ6(6a、6b)を設置する。
【0010】
本発明に係る鋳造方法は、シリコン原料を鋳型内に投入する工程と、シリコン原料を溶解るつぼ内に投入する工程と、前記鋳型内のシリコン原料を、鋳型内で加熱溶融する工程と、前記溶解るつぼ内のシリコン原料を、溶解るつぼ内で加熱溶融する工程と、前記溶解るつぼ内で溶融されたシリコン融液を、前記溶解るつぼの底から出湯させて前記鋳型内に追加供給する工程と、を有している。具体的には、本発明を用いた鋳造装置での鋳造方法は次の通りである。まず、約半分の量のシリコン原料7を鋳型1内に、残りの約半分の量のシリコン原料8を石英るつぼ5a内に入れる。次に、鋳型1内のシリコン原料7、および石英るつぼ5a内のシリコン原料8をヒータ3、およびヒータ6(6a、6b)で加熱して溶融させる。石英るつぼ5a内で融液になったシリコンはるつぼ底の穴5cから流れ出し、鋳型1内に追加供給される。最後に、全てのシリコン原料7、8が溶融したら、ヒータ6(6a、6b)の出力を切り、ヒータ3の出力を調節して一方向凝固させる。
【0011】
入るだけのシリコン原料7を鋳型1内に入れ、残りの原料を石英るつぼ5aに入れれば、必要な石英るつぼ5aの大きさが一番小さくなる。一般的なシリコン原料の嵩比重は1.0〜1.5で、シリコンの比重2.33の半分程度である。このため、鋳造に適した大きさの鋳型には、約半分のシリコン原料を入れることができる。したがって、約半分の量のシリコン原料7を鋳型1内に入れ、残りの約半分の量のシリコン原料8を石英るつぼ5a内に入れるようにすると、鋳型もるつぼも最も有効に利用することができる。ただし鋳型1内に入れるシリコン原料の量は、上記の説明にかかわらず、半分より少なくしても特に問題は無い。溶解るつぼ5aの方を主体にして溶解する場合は、溶解るつぼ5aの大きさを少し大きくし、溶解るつぼ5aに半分より多い量の原料を入れて溶解すればよい。
【0012】
溶解るつぼ5とヒータ3の間をグラファイトなどから成る断熱材で仕切ることもできる。ただし断熱材には出湯に必要な穴を設けておく。断熱仕切りを入れると、凝固中のヒータ3の出力を小さくすることができ、節電になる。
【0013】
るつぼ5は鋳造装置の上部から出し入れする。このとき、るつぼ5の上のヒータ6aと断熱壁4は横へ移動させるようになっている。原料は、るつぼ5が入っている状態でヒータ6aと断熱壁4を横へ移動させて入れる。または予め原料を入れておいたるつぼ5を鋳造装置内にいれる。鋳型1の場合、予め鋳型1内に原料を入れておき、その鋳型1を鋳造装置内に入れる。
【0014】
鋳型1とるつぼ5で原料を溶解すると、溶解時間はほぼ1/2になるが、シリコン原料を溶解する場合、るつぼ5内の方が短時間で溶解できるので、るつぼ5を大きくして、鋳型1内で溶解する量を減らし、るつぼ5内で溶解する量を増やすと溶解時間を1/2よりも短くできる。
【0015】
鋳型1のみで溶解する場合は、溶解時間が長く、鋳型1が長時間高温状態にさらされるため、鋳型1内面の離型材の損傷が発生しやすい。離型材の損傷が発生すると鋳塊の良品歩留りが低下する。本発明の場合は、溶解時間が短いので、離型材の損傷が発生しやすく、鋳塊の良品歩留りが高い。
【0016】
本発明の場合、溶解時間が約半分に短縮され生産性が向上するが、それに対して、設備費の増加はわずかである。真空容器の大きさは、図2に示す従来装置と同等か、または少し小さくて済む。また、図2に示す従来装置では、原料タンクの蓋15dおよび断熱壁14bに駆動装置が必要であるが、本発明ではこのような駆動装置は不要である。
【0017】
本発明では、図2の従来装置に比べて自動化が容易である。図2の従来装置では、鋳型11内の原料の溶け具合を観察して、適当な時期にタンク15a、15b内の原料を鋳型内に供給することが必要であるが、本発明では、溶解状態を観察して制御する必要はないので自動溶解が容易である。
【0018】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係るシリコン鋳造方法によれば、シリコン原料を鋳型内に投入する工程と、シリコン原料を溶解るつぼ内に投入する工程と、前記鋳型内のシリコン原料を、鋳型内で加熱溶融する工程と、前記溶解るつぼ内のシリコン原料を、溶解るつぼ内で加熱溶融する工程と、前記溶解るつぼ内で溶融されたシリコン融液を、前記溶解るつぼの底から出湯させて前記鋳型内に追加供給する工程と、を少なくとも有したことから、シリコンの加熱溶融を鋳型内だけではなく、溶解るつぼ内でも平行して行うことができるようになり、溶解時間が大幅に短くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るシリコン鋳造方法を用いたシリコン鋳造装置の一実施形態を示す図である。
【図2】従来のシリコン鋳造装置を示す図である。
【符号の説明】
1‥‥‥鋳型、2‥‥‥冷却板、3‥‥‥ヒータ、4‥‥‥断熱壁、5(5a、5b)‥‥‥溶解るつぼ、6(6a、6b)‥‥‥るつぼ用ヒータ
Claims (1)
- シリコン原料を鋳型内に投入する工程と、
シリコン原料を溶解るつぼ内に投入する工程と、
前記鋳型内のシリコン原料を、鋳型内で加熱溶融する工程と、
前記溶解るつぼ内のシリコン原料を、溶解るつぼ内で加熱溶融する工程と、
前記溶解るつぼ内で溶融されたシリコン融液を、前記溶解るつぼの底から出湯させて前記鋳型内に追加供給する工程と、
を少なくとも有したことを特徴とするシリコン鋳造方法。
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