JP3866272B2 - 粒子線取り出し装置 - Google Patents
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Description
図1,2は、本発明の実施の形態による粒子線取り出し装置の概略図である。
また、上記実施の形態は、とくに電子線の取り出しに関連して述べたが、本発明はこれに限らず、イオンビーム等の荷電粒子線および原子線や分子線のような非荷電粒子線の取り出しにも適用可能である。
2)インキ硬化、接着、コーティング。
3)表面殺菌、空気殺菌、食品殺菌、医療殺菌等の殺菌処理。
4)表面改質、接着性向上。
5)粉体、薄膜、有機・無機化合物の生成・処理。
6)オゾン発生装置、排ガス分解・処理等。
〔発明の効果〕
Claims (4)
- 真空雰囲気に置かれた粒子線発生装置と、
該真空雰囲気を大気と分離する分離手段と、
該分離手段に設けられた粒子線を通過せしめる固定穴と、
前記分離手段の固定穴と整合し得る移動穴または切り欠きを有する回転板と、
該固定穴と移動穴または切り欠きとを所定の速度にて整合させるよう該回転板を高速回転せしめる回転駆動装置と、
前記回転板の周囲を真空排気する真空排気手段と、
前記回転板で発生する熱を除去するための冷却手段とからなる粒子線取り出し装置。 - 前記分離手段は隔壁からなり、
前記隔壁内には冷媒循環路が設けられていることを特徴とする請求項1記載の粒子線取り出し装置。 - 前記分離手段は隔壁からなり、
前記隔壁には冷媒供給穴が設けられていることを特徴とする請求項1記載の粒子線取り出し装置。 - 前記粒子線取り出し装置は、
前記回転板を回転させるモータを有し、該モータの回転軸を冷却することにより前記回転板を冷却することを特徴とする請求項1記載の粒子線取り出し装置。
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