JP3859484B2 - 平板状精密部品の組立装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子回路基板等の平板状精密部品(以下ワークという)を他の精密部品の所定の位置に位置決めしてマウントする平板状精密部品の組立装置(以下組立セルという場合がある)に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば1mm角で厚さ0.5 mmの水晶発振子など、電子回路基板等の平板状の精密部品を互いに積み重ねたり、台座等の他の精密部品の所定位置に貼りつけたりするために、組立セルと呼ばれる組立装置が使用されている。
組み立て作業の一例を特開昭63−266849号公報の記載を引用して説明する。図8は組み立てを行う電子部品の一例を示す(a)は平面図、(b)は正面図で、Sはマウントベースとなるステム、TはステムS上の所定位置にマウントされる半導体等の固体素子のチップ(ワーク)である。
【0003】
図9はマウントを行う手順を説明する従来の組立セルのレイアウトを示す平面図で、ウエハからダイシングにより切り出されたチップTを載置した第1のトレイ3aからロボットアームが1個のチップTを取り出し、水平移動してそのチップTを位置決め装置4に置き、位置決めを行ったのち、ステムSを所定位置に整列させた第2のトレイ3bに移動してステムS上の所定位置にそのチップTをマウントするのである。ここで位置決め装置によりロボットアームに対してチップTを位置決めすることにより、ステムS上の所定位置に正確にチップTをマウントすることができるのである。
【0004】
このように従来の組立セルは、水平にレイアウトされたトレイと位置決め装置の間を数値制御等の指令に従ってロボットが移動してワークを移載する構造が一般的であり、広い床面積を必要とするばかりでなく、XY方向の移動に伴う誤差が大きいという問題点があった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来の組立セルにおけるこのような問題点を解消し、コンパクトでかつ精度の高いマウント作業を行うことのできる平板状精密部品の組立装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、平板状精密部品を他の精密部品上に移載する平板状精密部品の組立装置であって、平板状精密部品を位置決めするセンタリングチャックと、下端部に平板状精密部品を保持しながら前記センタリングチャックの直上から上方に垂直方向の昇降のみを行う吸着ヘッドと、平板状精密部品を保持する複数のホルダを上面に搭載して前記吸着ヘッドの昇降ストロークの中間高さで水平移動しながら前記センタリングチャックの直上をかわす退避位置ならびに各ホルダが前記吸着ヘッドの直下になる位置で停止させることのできるワークステージとからなることを特徴とする平板状精密部品の組立装置であり、望ましくは前記センタリングチャックが、平板状精密部品の中心をチャックの中心になるように移動させるものである前記の平板状精密部品の組立装置である。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例を図面により説明する。図1は実施例の平板状精密部品の組立装置(組立セル)を示す斜視図、図2は正面図、図3は右側面図で、1はベース、2は先端でワークを吸着する吸着ヘッド、21はその昇降アーム、22は昇降アーム21の先端に取り付けられた真空チャック、23はこれに接続する吸引ホース、24は吸着ヘッド2をZ軸方向(上下方向)に移動させるZ軸駆動部、3はチップ、ステムなどの平板状精密部品を上面に載置して水平移動するワークステージ、34はワークステージ3においてワークを保持するホルダ、38はワークステージ3をX軸方向(左右方向)に移動させるX軸駆動部、4は位置決め装置であるセンタリングチャック、5はこれらを操作する操作スイッチや制御盤を含む操作盤である。
【0008】
図4はワークステージ3のワークを載置する部分を示す部分斜視図で、33は取付孔、34はこれに嵌め込まれるホルダ、35はホルダ34を固定するセットねじ、36はホルダ34の軸心に形成され、上端で開口する吸引孔、37はこの吸引孔36に接続する吸引ホースで、吸引ホース37は図示しない真空ポンプなどの排気装置に接続されている。
【0009】
ホルダ34を取付孔33に嵌め込み、セットねじ35で固定し、吸引孔36から吸引している状態でその上部にワークを載置すれば、ワークは吸引されてホルダ34に固定される。バルブを操作して吸引を解除すればワークは自由になるので、適宜別の吸引手段により引き剥がすことができる。
なおこのホルダ36における吸着機構は吸着ヘッド2の真空チャック22においても全く同様であり、吸着ヘッド2においてはその先端下面にワークを吸着することができる。
【0010】
つぎに図5の説明図により本実施例の組立セル各部の動作と位置関係を説明する。吸着ヘッド2は上下の垂直方向のみ、ワークステージ3は左右の水平方向のみに移動するものとし、前者をZ軸、後者をX軸とする。両軸は同一垂直平面内にあり、直交している。さらに下方のセンタリングチャック4の中心もZ軸位置にあり、吸着ヘッド2はその直上から上方にかけてZ軸に沿って昇降する。またワークステージ3は吸着ヘッド2の昇降ストロークの中間高さで水平移動しながらセンタリングチャック4の直上をかわす退避位置ならびに上面に搭載した複数のホルダ34のそれぞれが前記Z軸位置、すなわち吸着ヘッド2の真下になる位置で停止させることができる。ワークステージ3のホルダ34はX軸上に1列に並んでいる。またかりに、図5に符号Aで示したようにワークステージ3にX軸上のもの以外にもホルダを設け、複数列とするのであれば、Z軸、X軸のほかに前後方向のY軸を想定し、ワークステージ3を同一水平面内でXY両方向に移動させるようにすればよい。
【0011】
なおワークステージ3の水平移動はX軸、Y軸の直線方向に限定する必要はなく、場合によっては垂直軸回りの回転運動によることも可能である。またワークステージ3自体は上下方向に移動する必要はないが、かりに何らかの理由によって水平移動とともに上下移動を行うものであっても、本特許の技術思想を外れるものではない。
【0012】
つづいて図6により本実施例の組立セルによる作業例を説明する。いま、ワークステージ3上にホルダ34が4個1列に並んでおり、その一番左のホルダ34a に吸着されているワークを一番右のホルダ34d 上に移載するものとする。まず図6(a)に示すようにワークステージ3を移動させて、一番左のホルダ34a が吸着ヘッド2の真下になる位置に停止させる。ここで吸着ヘッド2が下降して、ワークTを吸い上げ、ワークWはワークステージ3から吸着ヘッド2に渡される。
【0013】
つぎに(b)に示すようにワークステージ3が退避位置に逃げ、吸着ヘッド2が下降してワークWを真下にあるセンタリングチャック4に載置する。ここでセンタリングチャック4が作動してワークWの中心が正規の中心位置、すなわちZ軸に一致するようにセンタリングする。
つづいて再び吸着ヘッド2が下降してワークWを吸い上げる。このとき、ワークWは(a)で示した状態と一見似ているが、位置が正確に位置決めされている。そこへワークステージ3が移動してきて、一番右のホルダ34d がZ軸位置となるように停止する。この状態で吸着ヘッド2を下降させれば、ホルダ34d の正しい位置にワークWが載置される。
【0014】
このような動作を応用すると、例えばホルダ34d 上の正しい位置に予めさきの図8で示したようなステムを載置しておけば、図6の操作によってそのステムの上面にチップをマウントすることができる。また、図6の操作を複数回繰り返すことによって、例えば一番左のホルダ34a にあったワークを一番右のホルダ34d に移し、その上に2番目、3番目のホルダにあったワークを積み重ねる作業などを容易に行うことができる。
【0015】
これらの機構の前提として、吸着ヘッド2の昇降およびワークステージ3の水平移動についてはその停止位置において所定の精度が要求され、ボールねじ、タイミングベルト、ステップモータなどの精密駆動機構が必要であることは、いうまでもない。
さらに本発明の組立セルに、以上に示した機構のほか接着剤や導電ペーストなどを定量供給するディスペンサ、接着剤印刷機、かしめ機等の関連機器を組み合わせることにより、低コストでかつ高い精度を有する組立セルを構成することができる。
【0016】
なお、センタリングチャック4としてはさまざまなものが知られている。大別してワークの1辺、あるいは互いに直角な2辺を基準としてチャックの固定爪に押し当てるものと、ワークを周囲から囲む複数の爪でワークの中心がチャックの中心になるように移動させるものとがあるが、前者はワークに外形寸法の誤差があるとその分だけ中心位置がずれる欠点があり、また大きさや形状の異なるワークを取り扱う場合に爪あるいは治具を交換しなければならないという問題点もあるので、本発明においては後者の構造のものを採用することが望ましい。その一例として特開2000-21954号公報に記載されているセンタリングチャックを図7に示す。図7はセンタリングチャック4を示す平面図で、41は支持面、42はその表面に設けられた長孔、43a 〜43e はこの長孔42を貫通して突出している爪、44は支持面中央に設けられたX字状の吸引孔である。各爪43a 〜43e は長孔42内を外周寄りから中心寄りまで移動可能で、図示しない移動機構により対向する43a と43b 、そして43c と43d、43e とは互いに接近または離反するように移動し、ばねの弾力により爪がワークの縁に当たってワークの中心がこのセンタリングチャックが想定する中心位置、すなわちチャックの中心位置になるように移動させるのである。
【0017】
以上説明したように、本発明の組立セルにおいては、ワークの移載を行うロボットハンドに相当する吸着ヘッドが垂直方向の昇降動作のみで水平移動を行わず、その代わりにワークを搭載したワークステージが水平移動するようになっているため、複数のトレイを平面に配置した従来のものと比較して装置が極めてコンパクトであり、例えば図1ないし図3に示したものは、設置面積であるベース1の寸法で幅 200mm、奥行き 210mm、昇降シリンダ部を除く本体部分の高さは 240mmである。
【0018】
因みに吸着ヘッド2の昇降ストロークは50mm、対象となるワークの寸法は最小 1mm角から最大10mm角、組立精度は±0.002 mmである。
【0019】
【発明の効果】
本発明によれば、コンパクトでかつ精度の高いマウント作業を行うことのできる平板状精密部品の組立装置が実現し、電子部品の製造コストが低減するというすぐれた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例である組立セルを示す斜視図である。
【図2】本発明の実施例である組立セルを示す正面図である。
【図3】本発明の実施例である組立セルを示す右側面図である。
【図4】本発明の実施例である組立セルの要部を示す部分斜視図である。
【図5】本発明の実施例である組立セルにおける動作と位置関係を説明する説明図である。
【図6】本発明の実施例である組立セルにおける作業例を説明する説明図である。
【図7】本発明において使用するのに好適なセンタリングチャックの一例を示す平面図である。
【図8】本発明における組み立て作業の対象となる電子部品の一例を示す(a)は平面図、(b)は正面図である。
【図9】従来の組立セルのレイアウトを示す平面図である。
【符号の説明】
1 ベース
2 吸着ヘッド
3 ワークステージ
3a、3b トレイ
4 センタリングチャック
5 操作盤
21 昇降アーム
22 真空チャック
23 吸引ホース
24 Z軸駆動部
33 取付孔
34 ホルダ
35 セットねじ
36、44 吸引孔
37 吸引ホース
38 X軸駆動部
41 支持面
42 長孔
43 爪
S ステム
T チップ(ワーク)
Claims (2)
- 平板状精密部品を他の精密部品上に移載する平板状精密部品の組立装置であって、平板状精密部品を位置決めするセンタリングチャック(4)と、下端部に平板状精密部品を保持しながら前記センタリングチャック(4)の直上から上方に垂直方向の昇降のみを行う吸着ヘッド(2)と、平板状精密部品を保持する複数のホルダ(34)を上面に搭載して前記吸着ヘッド(2)の昇降ストロークの中間高さで水平移動しながら前記センタリングチャック(4)の直上をかわす退避位置ならびに各ホルダ(34)が前記吸着ヘッド(2)の直下になる位置で停止させることのできるワークステージ(3)とからなることを特徴とする平板状精密部品の組立装置。
- 前記センタリングチャック(4)が、平板状精密部品の中心をチャックの中心になるように移動させるものである請求項1に記載の平板状精密部品の組立装置。
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