JP3853437B2 - 研磨シート - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光コネクターフェルールの端面、シリコーンウエハ表面、ガラスレンズ、金型の精密仕上げ研磨などに使用される研磨シートに係わり、該シートの表裏すなわち研磨層の側を識別して、逆面（基材フィルムの側、以下裏面と記載する。）による研磨を防止した研磨シートに属する。
【０００２】
【従来の技術】
精密機械部品、磁気ヘッドや磁気ディスクなどの仕上げ研磨、金型の精密仕上げ研磨は、ミクロン又は、サブミクロン単位の精密な表面精度をもつこと要求されている。このような精密仕上げ研磨は、基材フィルムに高硬度の無機質微粒子を含む研磨層を設け、かつ表面粗さが極めて小さい研磨シートが使用されていた。
【０００３】
特に、光コネクターフェルール、シリコーンウエハ表面、ガラスレンズなどの精密仕上げを行うときは、図２に示すように研磨装置９の回転治具８に設置したゴムパッド７に研磨テープを所望の大きさ、形状に断裁又は抜いて制作した研磨シート１を貼付・固定して研磨作業が行われていることが知られている。研磨シートは、裏面の少なくとも一部に粘着剤あるいは接着材を設けず、ゴムパッド表面の微粘着性を利用して固定する方法が知られている。
【０００４】
研磨工程が仕上げ段階に近くなるほど、ゴムパッドに貼付する研磨シートの研磨材粒子は平均粒子径の小さいものが使用される。したがって、該シートの研磨層表面が平滑になるため研磨層と裏面との識別が難しくなり、裏面で研磨するという誤使用の問題があった。この問題を解決するために、研磨層に表裏の指示をするシールを添付した研磨シートが、流通している。
【０００５】
シールを添付した研磨シートは、シールを添付する工程の時間と費用必要とするものである。また、研磨工程が研磨液や潤滑油を用いた湿式研磨の場合、添付したシールの剥離・脱落して研磨面に混入したり、シールの粘着剤を混入したりするという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
光コネクターフェルール端面用などの超精密研磨に使用される研磨シートは、被研磨体を鏡面状に仕上げるものであり、研磨層中の研磨材の平均粒子径が１０μｍ以下と微細なものが使用されることから、研磨層表面の中心線粗さ（Ｒａ）は１０μｍ以下と著しく平滑であるものが多い。一方研磨シート用基材フィルムはポリエステル系のものが広く用いられており、その物性は透明性を有し、表面が平滑であることから、研磨シートの研磨層面と研磨層が形成されていない裏面との識別が困難であるという問題があった。研磨層が透明性あるいは半透明性を有し、研磨シート自体の全光線透過率が、９０％以上、ヘーズが６０％以下の場合、上記の表裏の識別は更に困難であった。
【０００７】
研磨シートは、ユーザーがその裏面を図２に示す研磨装置９のゴムパッド７に貼付し、 固定治具６に装着した被研磨体１０を、研磨層４と接触させ、そして、回転治具８を自転あるいは公転して被研磨体１０を鏡面状に仕上げるものである。しかしながら、研磨シート１、研磨層４は、平滑にかつ透明なものであるため、研磨層と裏面とが間違ってゴムパッドに貼付されるという問題があった。本発明は、研磨層と裏面との判別を容易に判定できる研磨シートの提供を課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を達成するために本発明の研磨シートは、基材フィルムの一方の側に研磨層を設けて成る透明な研磨シートであって、設けた研磨層面を判別するために、研磨層側の中央部に存在する非研磨部に研磨層であることを判別できる非対称の識別部をもつ研磨シートであり、
【０００９】
しかも、上記の識別部が、研磨フィルムの抜き加工により形成された研磨シートである。
【００１０】
【発明の実施形態】
本発明の研磨シートは、図２に示すように、基材フィルム５の一方の側に研磨層４を設けた研磨シート１が、研磨装置９に貼付され、固定治具６に装着された被研磨体１０が、図１に示す研磨シート１の研磨部２で自転あるいは公転の回転で研磨され、研磨シート周辺及び中心部に被研磨体１０と接触しない中央非研磨部３０Ａ及び周辺非研磨部３０Ｂをもつことに着目してしたものである。
【００１１】
本発明の研磨シートは、図２に示す基材フィルム５の一方の側に設けた研磨層４を判別するために、図１に示すように周辺部又は中央部のうちの中央部に研磨層面を判別するための識別部３をもつ研磨シートであり、
【００１２】
しかも、上記の中央部の識別部３が、抜き加工により形成された研磨シートである。
【００１３】
本発明の研磨シートの基材フィルムは、研磨作業に供して充分に耐える強度と、研磨剤の塗工・乾燥に耐える強度・耐熱性をもつフィルムから適宜に選択できる。例えば、高密度ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、エチレン・ビニルアルコール共重合体、ポリアクリロニトリル、ポリアミド、アクリル酸エステル又はメタクリ酸エステルを主成分とするアクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル、ポリアセタール、ジ又はトリ・アセチル・セルロースの繊維素誘導体や、ポリカーボネートなどよりなる延伸あるいは未延伸のフィルムである。特に研磨層の塗工適性、研磨シートの後加工適性及び研磨機における取扱いに優れたポリエチレンテレフタレート、ナイロン６の二軸延伸フィルムやポリイミドフィルムの厚さが１２〜１００μｍのものが好ましい。
【００１４】
基材フィルムは、取り扱い時に発生する静電気による粉塵の吸着を防止するために帯電防止剤を加えることが好ましい。帯電防止剤は、通常の非イオン性界面活性剤、陰イオン性界面活性剤、陽イオン性界面活性剤などやポリアミド誘導体やアクリル酸誘導体などを適宜選択して加えることができる。
【００１５】
研磨材に用いる微粒子は、例えば、シリカ、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化ホウ素、酸化ジルコニウム、酸化クロム、ダイヤモンド、エメリーなどの粒径が０．０１〜１００μｍのものが使用される。また、本発明が記載する精密仕上げ研磨における研磨剤の微粒子の径は、０．００１〜１０μｍのものが広く使用されている。
【００１６】
研磨層のバインダーは、飽和ポリエステル、ポリウレタン、塩化ビニル・酢酸ビニル系共重合体、ビニールブチラール、アクリル樹脂、ポリアルキルシロキサン、硝化綿、塩化ゴム、環化ゴムなどと各種可塑剤とよりなるものばかりでなく、ポリエステルポリオール・ポリイソシアネート、ポリエーテルポリオール・ポリイソシアネート、アルキッド樹脂などのように反応型のものも使用される。
【００１７】
研磨層の塗工は、上記の微粒子とバインダーの溶解性、脱溶媒性及び塗工方法（塗工部における流動性、乾燥性など）を配慮した溶剤に溶解して作成したベヒクルに通常の方法で分散した研磨層用塗工液で行う。塗工方法は、塗工面の形状、塗工量と塗工精度によって選択され、通常のロールコート、グラビアコートや、バーコートなどのダイレクト又はリバースコートで行う。また、研磨層の表面に特別の形状を形成するときにはグラビア版によるコートが有利な方法である。そして、その塗布量は固形分で１〜３０ｇ／ｍ2である。また、研磨層と基材フィルムとの接着を強固に安定するために、基材フィルムにプライマー層を設けることが好ましい。プライマー層は、上記バインダーと同種の材料から作成されるワニスの他に、プライマー層としては、若干粘着性があっても、研磨層でブロッキングを防止できる。したがって、基材フィルムと親和性があり、接着力の強いガラス転移点の低い材料から選択することもできる。
【００１８】
本発明の研磨シートに設ける識別部は、基材フィルムに研磨層を塗工した研磨フィルム１０を、図３、図６に示すように、図１に示す非研磨部３０Ａ、３０Ｂの少なくとも１カ所にそれも中央部の中央非研磨部３０Ａに、所望の形状をもつ研磨シート１を形成するとき、その工程に対応する、抜きにより同時に構成したり、形状によっては別工程で作成したりすることができる。もちろん、研磨装置、被研磨材の形状に応じて研磨作業所で加工することもできる。
【００１９】
図３に示す非研磨部の中央部に設ける識別部３１は研磨シート抜き部２１の抜き工程で切除部１３を同時に抜いて加工することができる。中央部に設ける識別部３１は、天地左右を判別するため非対称であることが必要であり容易に確認できる文字、イラストなどから選択できる。但し、識別部の形状によってはゴムパッドに設ける接着剤が表面に析出することがあるから注意を必要とする。
【００２０】
なお、図４に示す研磨シートの周辺部に耳状に設ける識別部３２（但し本発明に該当する識別部ではないが）では研磨シート抜き部２１を抜く工程で同時に行うことができる。２カ所に設ける識別部３２は、非対称の位置に構成することが必要である。耳状の識別部３２は、研磨作業を終了後、ゴムパッドから剥離するとき摘みとして好適の効果を奏するものである。
【００２１】
なお、図５に示す研磨シートの周辺部に抜き欠いた周辺部に設ける抜き凹状の識別部３３（但し本発明非該当の識別部）では研磨シート抜き部２１を抜く工程で同時、又は研磨シートの所望形状に作成した後に、マーク形状で断裁又は抜き加工で構成することができる。２カ所に設ける識別部３３は、非対称の位置に構成することが必要である。識別部の形状によってはゴムパッドに設ける接着剤が表面に析出することがあるから注意を必要とする。
【００２２】
図６に示す非研磨部の中央部に設ける舌片状の識別部３４は研磨シート抜き部２１の抜き工程で同時に行うことができる。中央部に設ける舌片状の識別部３４は、抜き立ちがあるため必ずしも非対称である必要はない。抜いた状態で移送するものは、非対称にして研磨層が容易に確認できる文字、イラストなどから選択するほうが好ましい。研磨シートの中央部に設ける識別部の舌片は、ゴムパッドに塗布する接着剤が表面に析出することを防止できる効果を奏する。
【００２３】
なお、図７に示す研磨シートの周辺部に耳状に設ける抜き立て型の識別部３５（但し本発明非該当の識別部）では研磨シート抜き部２１の抜き工程と同時に行うことができる。周辺部に設ける舌片状識別部３５は、抜き立て型があるため必ずしも非対称である必要はない。抜いた状態で移送するものは、非対称にして研磨層が容易に確認できる文字、イラストなどから選択するほうが好ましい。抜き立て型の識別部の耳片３５は、研磨作業を終了後、ゴムパッドから剥離するとき摘みとして好適の効果を奏することができる。
【００２４】
図８に示す、二辺の長さが異なる矩形状に形成される研磨シートの識別部は、その長さの相違によって左右を識別し、更にその上下はコーナーの切除部１３を形成する二辺に断裁による識別部（但し本発明非該当の識別部）を設けることで判別できる。例えば単に１コーナーを切り落とした図８（Ａ）に示すコーナー断裁識別部３６、図８（Ｂ）に示す切込みを入れたコーナー切込状識別部３７、図８（Ｃ）に示す断裁で耳を形成したコーナー耳状識別部３８あるいはコーナーの近くに穴を形成したコーナー穴状識別部３９を設けて構成できる。
【００２５】
四辺の長さが等しい、正方形又は図示はしないが菱形状の研磨シートに本発明の識別部を設けるには、円形状の研磨シートと同様に、図３、図６に示すその中心部に図３と同様に非対称の中央部抜き識別部３１、中央部舌片状識別部３４を形成することができる。なお、正方形状の研磨シートは、研磨フィルムから、抜き型を必要としない単なる断裁で作成できるが、図８（Ａ）〜（Ｄ）に示すコーナー部に単なる断裁あるいは、パンチングによる識別部３６、３７、３８及び３９の形状では、左右の位置を特定することが困難である。このようなときには、図９に示すように一コーナーと隣接する２ケ所の辺にちがう形でコーナー部異形状識別部４０（但し本発明非該当の識別部）を設けることができる。
【００２６】
【実施例】
（識別部を周辺部に設けた点で、本発明非該当の識別部だがその他の部分においては参考になる参考例である。）
基材フィルム５として、厚さが７５μｍの易接着処理ポリエステルフィルムの処理面に下記組成の研磨層塗工液を５ｇ／ｍ2 塗工し研磨層４を設けた研磨フィルム１０を作成した。
（研磨層用塗工液）
・オルガノシリカゾル 平均粒子径 ０．０７μｍ ７０重量部
アルコール溶媒、固形分３０％
・ポリアルキルシロキサン樹脂溶液 ３０重量部
アルコール溶媒、固形分３０％
上記研磨フィルムの研磨層４の表面は、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．０５μｍと平滑であり、研磨フィルムは全光線透過率が９０％、ヘーズが５０％の透明なものであり、研磨層と裏面との判別が困難なものであった。
【００２７】
上記研磨フィルム１０を、図１に示す非研磨部３０Ｂに図４に示す周辺耳状抜き識別部３２の形状をもつ識別部３を設けた研磨シート１を構成した。該研磨シート１は、表裏の光沢が極めて類似しているにもかかわらず、識別部３により裏面を容易に判別でき、図２に示す研磨装置９のゴムパッド７に設けるとができた。また、使用後は、識別部３を摘んでゴムパッド７から剥離することができた。
【００２８】
【発明の効果】
研磨層と裏面とを識別できる効果を奏する。したがって、超精密研磨に使用される研磨層の粒子が１０μｍ以下でその表面粗さ（Ｒａ）も１０μｍ以下の平滑で、かつ、全光線透過率は９０％以上、ヘーズが６０％以下と透明性を有し裏面との判別が困難な研磨シートにおいても、その研磨層面と裏面との識別が容易にすることができた。そして、識別部は、シールを貼着するなどの別のものを使用せず、所望形状の研磨シートを作成するとき同一の工程で加工できる生産性がよいものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】研磨シートに識別部を設ける位置を示す概略の平面図である。
【図２】研磨シートを設ける研磨装置の断面概略図である。
【図３】中央部に識別部を設けた研磨シートの概略の平面図である。
【図４】周辺部に耳状識別部を設けた研磨シートの概略の平面図である。
【図５】周辺部に他形状の識別部を設けた研磨シートの概略の平面図である。
【図６】中央部に舌片状の識別部を設けた研磨シートの概略の平面図である。
【図７】周辺部に耳状の識別部を設けた研磨シートの概略の平面図である。
【図８】矩形状の研磨シートに設ける識別部を説明する概略の平面図である。
（Ａ）コーナー断裁識別部の一例である。
（Ｂ）コーナー切込み識別部の一例である。
（Ｃ）コーナー耳状識別部の一例である。
（Ｄ）コーナー穴状識別部の一例である。
【図９】正方形状の研磨シートに識別部を設けた概略の平面図である。
【符号の説明】
１ 研磨シート
２ 研磨部
３ 識別部
４ 研磨層
５ 基材フィルム
６ 固定治具
７ ゴムパッド
８ 回転治具
９ 研磨装置
１０ 被研磨体
１３ 切除部
２１ 研磨シート抜き部
３０Ａ 中央非研磨部
３０Ｂ 周辺非研磨部
３１ 中央部抜き識別部
３２ 周辺部耳状識別部
３３ 周辺部抜き凹状識別部
３４ 中央部舌片状識別部
３５ 周辺部舌片状識別部
３６ コーナー断裁識別部
３７ コーナー切込み識別部
３８ コーナー耳状識別部
３９ コーナー穴状識別部
４０ コーナー異形状識別部
【発明の属する技術分野】
本発明は、光コネクターフェルールの端面、シリコーンウエハ表面、ガラスレンズ、金型の精密仕上げ研磨などに使用される研磨シートに係わり、該シートの表裏すなわち研磨層の側を識別して、逆面（基材フィルムの側、以下裏面と記載する。）による研磨を防止した研磨シートに属する。
【０００２】
【従来の技術】
精密機械部品、磁気ヘッドや磁気ディスクなどの仕上げ研磨、金型の精密仕上げ研磨は、ミクロン又は、サブミクロン単位の精密な表面精度をもつこと要求されている。このような精密仕上げ研磨は、基材フィルムに高硬度の無機質微粒子を含む研磨層を設け、かつ表面粗さが極めて小さい研磨シートが使用されていた。
【０００３】
特に、光コネクターフェルール、シリコーンウエハ表面、ガラスレンズなどの精密仕上げを行うときは、図２に示すように研磨装置９の回転治具８に設置したゴムパッド７に研磨テープを所望の大きさ、形状に断裁又は抜いて制作した研磨シート１を貼付・固定して研磨作業が行われていることが知られている。研磨シートは、裏面の少なくとも一部に粘着剤あるいは接着材を設けず、ゴムパッド表面の微粘着性を利用して固定する方法が知られている。
【０００４】
研磨工程が仕上げ段階に近くなるほど、ゴムパッドに貼付する研磨シートの研磨材粒子は平均粒子径の小さいものが使用される。したがって、該シートの研磨層表面が平滑になるため研磨層と裏面との識別が難しくなり、裏面で研磨するという誤使用の問題があった。この問題を解決するために、研磨層に表裏の指示をするシールを添付した研磨シートが、流通している。
【０００５】
シールを添付した研磨シートは、シールを添付する工程の時間と費用必要とするものである。また、研磨工程が研磨液や潤滑油を用いた湿式研磨の場合、添付したシールの剥離・脱落して研磨面に混入したり、シールの粘着剤を混入したりするという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
光コネクターフェルール端面用などの超精密研磨に使用される研磨シートは、被研磨体を鏡面状に仕上げるものであり、研磨層中の研磨材の平均粒子径が１０μｍ以下と微細なものが使用されることから、研磨層表面の中心線粗さ（Ｒａ）は１０μｍ以下と著しく平滑であるものが多い。一方研磨シート用基材フィルムはポリエステル系のものが広く用いられており、その物性は透明性を有し、表面が平滑であることから、研磨シートの研磨層面と研磨層が形成されていない裏面との識別が困難であるという問題があった。研磨層が透明性あるいは半透明性を有し、研磨シート自体の全光線透過率が、９０％以上、ヘーズが６０％以下の場合、上記の表裏の識別は更に困難であった。
【０００７】
研磨シートは、ユーザーがその裏面を図２に示す研磨装置９のゴムパッド７に貼付し、 固定治具６に装着した被研磨体１０を、研磨層４と接触させ、そして、回転治具８を自転あるいは公転して被研磨体１０を鏡面状に仕上げるものである。しかしながら、研磨シート１、研磨層４は、平滑にかつ透明なものであるため、研磨層と裏面とが間違ってゴムパッドに貼付されるという問題があった。本発明は、研磨層と裏面との判別を容易に判定できる研磨シートの提供を課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を達成するために本発明の研磨シートは、基材フィルムの一方の側に研磨層を設けて成る透明な研磨シートであって、設けた研磨層面を判別するために、研磨層側の中央部に存在する非研磨部に研磨層であることを判別できる非対称の識別部をもつ研磨シートであり、
【０００９】
しかも、上記の識別部が、研磨フィルムの抜き加工により形成された研磨シートである。
【００１０】
【発明の実施形態】
本発明の研磨シートは、図２に示すように、基材フィルム５の一方の側に研磨層４を設けた研磨シート１が、研磨装置９に貼付され、固定治具６に装着された被研磨体１０が、図１に示す研磨シート１の研磨部２で自転あるいは公転の回転で研磨され、研磨シート周辺及び中心部に被研磨体１０と接触しない中央非研磨部３０Ａ及び周辺非研磨部３０Ｂをもつことに着目してしたものである。
【００１１】
本発明の研磨シートは、図２に示す基材フィルム５の一方の側に設けた研磨層４を判別するために、図１に示すように周辺部又は中央部のうちの中央部に研磨層面を判別するための識別部３をもつ研磨シートであり、
【００１２】
しかも、上記の中央部の識別部３が、抜き加工により形成された研磨シートである。
【００１３】
本発明の研磨シートの基材フィルムは、研磨作業に供して充分に耐える強度と、研磨剤の塗工・乾燥に耐える強度・耐熱性をもつフィルムから適宜に選択できる。例えば、高密度ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、エチレン・ビニルアルコール共重合体、ポリアクリロニトリル、ポリアミド、アクリル酸エステル又はメタクリ酸エステルを主成分とするアクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル、ポリアセタール、ジ又はトリ・アセチル・セルロースの繊維素誘導体や、ポリカーボネートなどよりなる延伸あるいは未延伸のフィルムである。特に研磨層の塗工適性、研磨シートの後加工適性及び研磨機における取扱いに優れたポリエチレンテレフタレート、ナイロン６の二軸延伸フィルムやポリイミドフィルムの厚さが１２〜１００μｍのものが好ましい。
【００１４】
基材フィルムは、取り扱い時に発生する静電気による粉塵の吸着を防止するために帯電防止剤を加えることが好ましい。帯電防止剤は、通常の非イオン性界面活性剤、陰イオン性界面活性剤、陽イオン性界面活性剤などやポリアミド誘導体やアクリル酸誘導体などを適宜選択して加えることができる。
【００１５】
研磨材に用いる微粒子は、例えば、シリカ、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化ホウ素、酸化ジルコニウム、酸化クロム、ダイヤモンド、エメリーなどの粒径が０．０１〜１００μｍのものが使用される。また、本発明が記載する精密仕上げ研磨における研磨剤の微粒子の径は、０．００１〜１０μｍのものが広く使用されている。
【００１６】
研磨層のバインダーは、飽和ポリエステル、ポリウレタン、塩化ビニル・酢酸ビニル系共重合体、ビニールブチラール、アクリル樹脂、ポリアルキルシロキサン、硝化綿、塩化ゴム、環化ゴムなどと各種可塑剤とよりなるものばかりでなく、ポリエステルポリオール・ポリイソシアネート、ポリエーテルポリオール・ポリイソシアネート、アルキッド樹脂などのように反応型のものも使用される。
【００１７】
研磨層の塗工は、上記の微粒子とバインダーの溶解性、脱溶媒性及び塗工方法（塗工部における流動性、乾燥性など）を配慮した溶剤に溶解して作成したベヒクルに通常の方法で分散した研磨層用塗工液で行う。塗工方法は、塗工面の形状、塗工量と塗工精度によって選択され、通常のロールコート、グラビアコートや、バーコートなどのダイレクト又はリバースコートで行う。また、研磨層の表面に特別の形状を形成するときにはグラビア版によるコートが有利な方法である。そして、その塗布量は固形分で１〜３０ｇ／ｍ2である。また、研磨層と基材フィルムとの接着を強固に安定するために、基材フィルムにプライマー層を設けることが好ましい。プライマー層は、上記バインダーと同種の材料から作成されるワニスの他に、プライマー層としては、若干粘着性があっても、研磨層でブロッキングを防止できる。したがって、基材フィルムと親和性があり、接着力の強いガラス転移点の低い材料から選択することもできる。
【００１８】
本発明の研磨シートに設ける識別部は、基材フィルムに研磨層を塗工した研磨フィルム１０を、図３、図６に示すように、図１に示す非研磨部３０Ａ、３０Ｂの少なくとも１カ所にそれも中央部の中央非研磨部３０Ａに、所望の形状をもつ研磨シート１を形成するとき、その工程に対応する、抜きにより同時に構成したり、形状によっては別工程で作成したりすることができる。もちろん、研磨装置、被研磨材の形状に応じて研磨作業所で加工することもできる。
【００１９】
図３に示す非研磨部の中央部に設ける識別部３１は研磨シート抜き部２１の抜き工程で切除部１３を同時に抜いて加工することができる。中央部に設ける識別部３１は、天地左右を判別するため非対称であることが必要であり容易に確認できる文字、イラストなどから選択できる。但し、識別部の形状によってはゴムパッドに設ける接着剤が表面に析出することがあるから注意を必要とする。
【００２０】
なお、図４に示す研磨シートの周辺部に耳状に設ける識別部３２（但し本発明に該当する識別部ではないが）では研磨シート抜き部２１を抜く工程で同時に行うことができる。２カ所に設ける識別部３２は、非対称の位置に構成することが必要である。耳状の識別部３２は、研磨作業を終了後、ゴムパッドから剥離するとき摘みとして好適の効果を奏するものである。
【００２１】
なお、図５に示す研磨シートの周辺部に抜き欠いた周辺部に設ける抜き凹状の識別部３３（但し本発明非該当の識別部）では研磨シート抜き部２１を抜く工程で同時、又は研磨シートの所望形状に作成した後に、マーク形状で断裁又は抜き加工で構成することができる。２カ所に設ける識別部３３は、非対称の位置に構成することが必要である。識別部の形状によってはゴムパッドに設ける接着剤が表面に析出することがあるから注意を必要とする。
【００２２】
図６に示す非研磨部の中央部に設ける舌片状の識別部３４は研磨シート抜き部２１の抜き工程で同時に行うことができる。中央部に設ける舌片状の識別部３４は、抜き立ちがあるため必ずしも非対称である必要はない。抜いた状態で移送するものは、非対称にして研磨層が容易に確認できる文字、イラストなどから選択するほうが好ましい。研磨シートの中央部に設ける識別部の舌片は、ゴムパッドに塗布する接着剤が表面に析出することを防止できる効果を奏する。
【００２３】
なお、図７に示す研磨シートの周辺部に耳状に設ける抜き立て型の識別部３５（但し本発明非該当の識別部）では研磨シート抜き部２１の抜き工程と同時に行うことができる。周辺部に設ける舌片状識別部３５は、抜き立て型があるため必ずしも非対称である必要はない。抜いた状態で移送するものは、非対称にして研磨層が容易に確認できる文字、イラストなどから選択するほうが好ましい。抜き立て型の識別部の耳片３５は、研磨作業を終了後、ゴムパッドから剥離するとき摘みとして好適の効果を奏することができる。
【００２４】
図８に示す、二辺の長さが異なる矩形状に形成される研磨シートの識別部は、その長さの相違によって左右を識別し、更にその上下はコーナーの切除部１３を形成する二辺に断裁による識別部（但し本発明非該当の識別部）を設けることで判別できる。例えば単に１コーナーを切り落とした図８（Ａ）に示すコーナー断裁識別部３６、図８（Ｂ）に示す切込みを入れたコーナー切込状識別部３７、図８（Ｃ）に示す断裁で耳を形成したコーナー耳状識別部３８あるいはコーナーの近くに穴を形成したコーナー穴状識別部３９を設けて構成できる。
【００２５】
四辺の長さが等しい、正方形又は図示はしないが菱形状の研磨シートに本発明の識別部を設けるには、円形状の研磨シートと同様に、図３、図６に示すその中心部に図３と同様に非対称の中央部抜き識別部３１、中央部舌片状識別部３４を形成することができる。なお、正方形状の研磨シートは、研磨フィルムから、抜き型を必要としない単なる断裁で作成できるが、図８（Ａ）〜（Ｄ）に示すコーナー部に単なる断裁あるいは、パンチングによる識別部３６、３７、３８及び３９の形状では、左右の位置を特定することが困難である。このようなときには、図９に示すように一コーナーと隣接する２ケ所の辺にちがう形でコーナー部異形状識別部４０（但し本発明非該当の識別部）を設けることができる。
【００２６】
【実施例】
（識別部を周辺部に設けた点で、本発明非該当の識別部だがその他の部分においては参考になる参考例である。）
基材フィルム５として、厚さが７５μｍの易接着処理ポリエステルフィルムの処理面に下記組成の研磨層塗工液を５ｇ／ｍ2 塗工し研磨層４を設けた研磨フィルム１０を作成した。
（研磨層用塗工液）
・オルガノシリカゾル 平均粒子径 ０．０７μｍ ７０重量部
アルコール溶媒、固形分３０％
・ポリアルキルシロキサン樹脂溶液 ３０重量部
アルコール溶媒、固形分３０％
上記研磨フィルムの研磨層４の表面は、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．０５μｍと平滑であり、研磨フィルムは全光線透過率が９０％、ヘーズが５０％の透明なものであり、研磨層と裏面との判別が困難なものであった。
【００２７】
上記研磨フィルム１０を、図１に示す非研磨部３０Ｂに図４に示す周辺耳状抜き識別部３２の形状をもつ識別部３を設けた研磨シート１を構成した。該研磨シート１は、表裏の光沢が極めて類似しているにもかかわらず、識別部３により裏面を容易に判別でき、図２に示す研磨装置９のゴムパッド７に設けるとができた。また、使用後は、識別部３を摘んでゴムパッド７から剥離することができた。
【００２８】
【発明の効果】
研磨層と裏面とを識別できる効果を奏する。したがって、超精密研磨に使用される研磨層の粒子が１０μｍ以下でその表面粗さ（Ｒａ）も１０μｍ以下の平滑で、かつ、全光線透過率は９０％以上、ヘーズが６０％以下と透明性を有し裏面との判別が困難な研磨シートにおいても、その研磨層面と裏面との識別が容易にすることができた。そして、識別部は、シールを貼着するなどの別のものを使用せず、所望形状の研磨シートを作成するとき同一の工程で加工できる生産性がよいものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】研磨シートに識別部を設ける位置を示す概略の平面図である。
【図２】研磨シートを設ける研磨装置の断面概略図である。
【図３】中央部に識別部を設けた研磨シートの概略の平面図である。
【図４】周辺部に耳状識別部を設けた研磨シートの概略の平面図である。
【図５】周辺部に他形状の識別部を設けた研磨シートの概略の平面図である。
【図６】中央部に舌片状の識別部を設けた研磨シートの概略の平面図である。
【図７】周辺部に耳状の識別部を設けた研磨シートの概略の平面図である。
【図８】矩形状の研磨シートに設ける識別部を説明する概略の平面図である。
（Ａ）コーナー断裁識別部の一例である。
（Ｂ）コーナー切込み識別部の一例である。
（Ｃ）コーナー耳状識別部の一例である。
（Ｄ）コーナー穴状識別部の一例である。
【図９】正方形状の研磨シートに識別部を設けた概略の平面図である。
【符号の説明】
１ 研磨シート
２ 研磨部
３ 識別部
４ 研磨層
５ 基材フィルム
６ 固定治具
７ ゴムパッド
８ 回転治具
９ 研磨装置
１０ 被研磨体
１３ 切除部
２１ 研磨シート抜き部
３０Ａ 中央非研磨部
３０Ｂ 周辺非研磨部
３１ 中央部抜き識別部
３２ 周辺部耳状識別部
３３ 周辺部抜き凹状識別部
３４ 中央部舌片状識別部
３５ 周辺部舌片状識別部
３６ コーナー断裁識別部
３７ コーナー切込み識別部
３８ コーナー耳状識別部
３９ コーナー穴状識別部
４０ コーナー異形状識別部
Claims (1)
- 基材フィルムの一方の側に研磨層を設けて成る透明な研磨シートであって、設けた研磨層面を判別するために、研磨層側の中央部に存在する非研磨部に研磨層であることを判別できる非対称の識別部が、抜き加工により形成されて成ることを特徴とする研磨シート。
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