JP3844755B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3844755B2 JP3844755B2 JP2003303263A JP2003303263A JP3844755B2 JP 3844755 B2 JP3844755 B2 JP 3844755B2 JP 2003303263 A JP2003303263 A JP 2003303263A JP 2003303263 A JP2003303263 A JP 2003303263A JP 3844755 B2 JP3844755 B2 JP 3844755B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nonmagnetic material
- magnetic
- recording
- layer
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
0.1≦V/V0≦−0.003×(L・d/t)+1.2
の関係を満たすようにバイアススパッタリング装置40のスパッタリング条件(成膜加工条件)を調節しておく。具体的には、バイアス電圧の大きさ、真空チャンバ42内の圧力、ターゲット44及び被加工体10の間隔等のスパッタリング条件を調節する。尚、バイアス電圧、真空チャンバ42内の圧力が大きい程、V/V0の値が減少する傾向があり、ターゲット44及び被加工体10の間隔が短い程、V/V0の値がやや増加する傾向がある。
上記実施例に対し、非磁性材充填工程(S120)において、V/V0が前記式(I)の右辺−0.003×(L・d/t)+1.2よりも大きくなるようにスパッタリング条件を調節して非磁性材を成膜し、複数の磁気記録媒体30を作製した。他の条件は上記実施例と同様とした。
上記実施例に対し、非磁性材充填工程において、V/V0が前記式(I)の左辺である0.1よりも小さくなるようにスパッタリング条件を調節してSiO2を成膜し、複数の磁気記録媒体30を作製した。他の条件は上記実施例と同様とした。
上記実施例の磁気記録媒体30のうち一の磁気記録媒体30について、平坦化工程(S122)において過剰にイオンビームエッチイングによる加工を行い、表面粗さRaをほぼ2.5(nm)としてから、保護層34、潤滑層36を形成し、リードライトテスタに装着して浮上テストを行った。レーザー光を用いて浮上変動を測定したところ図19に示されるような結果が得られた。
連続記録層を有する非分割タイプで連続記録層の表面粗さRaが約0.8(nm)であり、連続記録層記録層以外の構成は上記磁気記録媒体30と構成が共通の市販品と同様の構成の磁気記録媒体を作製し、リードライトテスタに装着して浮上テストを行った。レーザー光を用いて浮上変動を測定したところ図20に示されるような結果が得られた。
12…ガラス基板
14…下地層
16…軟磁性層
18…配向層
20…連続記録層
22…第1のマスク層
24…第2のマスク層
26…レジスト層
30…磁気記録媒体
31…記録要素
32…非磁性材
33…凹部
34…保護層
36…潤滑層
38…隔膜
40…バイアススパッタリング装置
S102…被加工体の加工出発体作製工程
S104…レジスト層への分割パターン転写工程
S106…溝底面のレジスト層除去工程
S108…第2のマスク層加工工程
S110…第1のマスク層加工工程
S112…記録層加工工程
S114…第1のマスク層除去工程
S116…ドライ洗浄工程
S118…隔膜形成工程
S120…非磁性材充填工程
S122…平坦化工程
S124…保護層形成工程
S126…潤滑層形成工程
Claims (2)
- 基板上に記録層が所定の凹凸パターンで形成され、該凹凸パターンの凹部が非磁性材で充填された磁気記録媒体の製造方法であって、
前記基板上に前記記録層が前記所定の凹凸パターンで形成された被加工体にバイアスパワーを印加しつつ該被加工体の表面に前記非磁性材を成膜して前記凹部に前記非磁性材を充填し、且つ、前記バイアスパワーを含む成膜加工条件を調節することにより前記非磁性材の単位時間当たりの成膜厚さである成膜レートVを調節可能とされた非磁性材充填工程を含んでなり、前記バイアスパワーが0の場合の前記成膜レートをV0、前記非磁性材の成膜厚さをt、前記凹凸パターンの凸部の幅をL、前記凹部の深さをdとして、次式(I)が成立するように前記成膜加工条件を調節して該非磁性材充填工程を実行するようにしたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
0.1≦V/V0≦−0.003×(L・d/t)+1.2…(I) - 請求項1において、
前記非磁性材充填工程の後に、余剰の前記非磁性材を除去して前記記録層及び非磁性材の表面を平坦化する平坦化工程が設けられたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003303263A JP3844755B2 (ja) | 2003-08-27 | 2003-08-27 | 磁気記録媒体の製造方法 |
US10/924,991 US7247343B2 (en) | 2003-08-27 | 2004-08-25 | Method for manufacturing magnetic recording medium |
CNB2004100644753A CN1290086C (zh) | 2003-08-27 | 2004-08-27 | 磁记录媒体的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003303263A JP3844755B2 (ja) | 2003-08-27 | 2003-08-27 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005071542A JP2005071542A (ja) | 2005-03-17 |
JP3844755B2 true JP3844755B2 (ja) | 2006-11-15 |
Family
ID=34213985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003303263A Expired - Fee Related JP3844755B2 (ja) | 2003-08-27 | 2003-08-27 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7247343B2 (ja) |
JP (1) | JP3844755B2 (ja) |
CN (1) | CN1290086C (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7972523B2 (en) | 2008-07-25 | 2011-07-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing magnetic recording medium |
US9343664B2 (en) | 2012-11-14 | 2016-05-17 | Applied Materials, Inc. | Pattern fortification for HDD bit patterned media pattern transfer |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4071787B2 (ja) * | 2004-12-13 | 2008-04-02 | Tdk株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP4675722B2 (ja) * | 2005-09-02 | 2011-04-27 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体 |
JP4675812B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-04-27 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録媒体の製造方法 |
JP2008142895A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-26 | Fujifilm Corp | モールド構造体 |
JP4468469B2 (ja) | 2008-07-25 | 2010-05-26 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP4489132B2 (ja) | 2008-08-22 | 2010-06-23 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP4551957B2 (ja) | 2008-12-12 | 2010-09-29 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP4575498B2 (ja) | 2009-02-20 | 2010-11-04 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP4575499B2 (ja) | 2009-02-20 | 2010-11-04 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP4568367B2 (ja) | 2009-02-20 | 2010-10-27 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP5062208B2 (ja) * | 2009-03-18 | 2012-10-31 | Tdk株式会社 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
JP5373469B2 (ja) * | 2009-04-27 | 2013-12-18 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP5238780B2 (ja) | 2010-09-17 | 2013-07-17 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体とその製造方法及び磁気記録装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4994162A (en) * | 1989-09-29 | 1991-02-19 | Materials Research Corporation | Planarization method |
JPH0689895A (ja) | 1992-09-08 | 1994-03-29 | Fuji Electric Co Ltd | 平坦化方法 |
JP2711503B2 (ja) | 1993-07-07 | 1998-02-10 | アネルバ株式会社 | バイアススパッタによる薄膜形成方法 |
JPH0758012A (ja) | 1993-08-19 | 1995-03-03 | Tokyo Electron Ltd | 半導体成膜平坦化方法 |
JPH0997419A (ja) | 1995-07-24 | 1997-04-08 | Toshiba Corp | 磁気ディスク、磁気ディスクの製造方法、及び磁気記録装置 |
JP3190610B2 (ja) | 1996-12-04 | 2001-07-23 | ティアールダブリュー インコーポレイテッド | 実質的に平坦な膜を形成する方法 |
JPH10247308A (ja) | 1997-03-03 | 1998-09-14 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 薄膜磁気ヘッドのギャップ層形成方法 |
US6203898B1 (en) * | 1997-08-29 | 2001-03-20 | 3M Innovatave Properties Company | Article comprising a substrate having a silicone coating |
JP4257808B2 (ja) | 1999-05-11 | 2009-04-22 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 磁性材料のエッチング方法及びプラズマエッチング装置 |
JP2003272226A (ja) | 2002-03-12 | 2003-09-26 | Fuji Xerox Co Ltd | 光ディスク |
US6673226B1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-01-06 | Eci Technology | Voltammetric measurement of halide ion concentration |
-
2003
- 2003-08-27 JP JP2003303263A patent/JP3844755B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-08-25 US US10/924,991 patent/US7247343B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-08-27 CN CNB2004100644753A patent/CN1290086C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7972523B2 (en) | 2008-07-25 | 2011-07-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing magnetic recording medium |
US9343664B2 (en) | 2012-11-14 | 2016-05-17 | Applied Materials, Inc. | Pattern fortification for HDD bit patterned media pattern transfer |
US9660185B2 (en) | 2012-11-14 | 2017-05-23 | Applied Materials, Inc. | Pattern fortification for HDD bit patterned media pattern transfer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1591587A (zh) | 2005-03-09 |
US7247343B2 (en) | 2007-07-24 |
US20050048198A1 (en) | 2005-03-03 |
JP2005071542A (ja) | 2005-03-17 |
CN1290086C (zh) | 2006-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3686067B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
US7741229B2 (en) | Method for manufacturing magnetic recording medium | |
US7378029B2 (en) | Method for manufacturing magnetic recording medium | |
JP3881370B2 (ja) | 凹凸パターンの凹部充填方法及び磁気記録媒体の製造方法 | |
US7615292B2 (en) | Magnetic recording medium | |
JP3844755B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
US20060292400A1 (en) | Magnetic recording medium, magnetic recording and reproducing apparatus, and method for manufacturing magnetic recording medium | |
US7494727B2 (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing apparatus | |
US7273563B2 (en) | Method for manufacturing a magnetic recording medium | |
JP2006012332A (ja) | ドライエッチング方法、磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録媒体 | |
US7413819B2 (en) | Magnetic recording medium | |
JP2006092632A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記録媒体用中間体 | |
US7682713B2 (en) | Magnetic recording medium with recording layer having a predetermined concavo-convex pattern and magnetic recording and reproducing apparatus | |
JP2005317155A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP2006012285A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4475147B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2006252772A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP3848672B2 (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
JP2005235356A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2005071543A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2006318648A (ja) | 凹凸パターンの凹部充填方法及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4419622B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2009230823A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4319104B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2008198332A (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録再生装置及び磁気記録媒体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060808 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060816 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090825 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100825 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100825 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110825 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |