JP2006012285A - 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気記録媒体10は、基板12と、基板12の上に形成された軟磁性層14と、表面に垂直な方向に磁気異方性を有するように配向されて軟磁性層14の上に形成され、且つ、所定の凹凸パターンで多数の記録要素16Aに分割された記録層16と、記録層16及び軟磁性層14の間に形成された非磁性の中間層18と、を備え、記録要素16Aはデータ領域において所定のトラック形状で形成されている。
【選択図】図1
Description
12…基板
14…軟磁性層
16、52…記録層
16A、52A…記録要素
18、58…中間層
20…凹部
22…非磁性材
24…保護層
26…潤滑層
32…連続記録層
34…マスク層
36…レジスト層
S102…被加工体作製工程
S104…レジスト層加工工程
S106…マスク層加工工程
S108…記録層加工工程
S110…非磁性材充填工程
S112…平坦化工程
S114…保護層形成工程
S116…潤滑層形成工程
Claims (15)
- 基板と、該基板の上に形成された軟磁性層と、表面に垂直な方向に磁気異方性を有するように配向されて前記軟磁性層の上に形成され、且つ、所定の凹凸パターンで多数の記録要素に分割された記録層と、該記録層及び前記軟磁性層の間に形成された中間層と、を含み、前記記録要素がデータ領域において所定のトラック形状で形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
- 基板と、表面に平行な方向に磁気異方性を有するように配向されて前記基板の上に形成され、且つ、所定の凹凸パターンで多数の記録要素に分割された記録層と、該記録層及び前記基板の間に形成された中間層と、を含み、前記記録要素がデータ領域において所定のトラック形状で形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
- 請求項1又は2において、
前記中間層の厚さ方向の少なくとも一部は、前記記録層の配向性を高める性質を有し、且つ、前記記録層における前記基板側の面に接して形成された配向膜であることを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記凹凸パターンの凹部が前記中間層の厚さ方向の途中まで形成され、前記記録層は前記基板側の面まで前記凹部で分割され、前記中間層は前記基板側の面が連続していることを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記中間層の厚さが2〜40nmであることを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記凹凸パターンの凹部が非磁性材で充填されたことを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記中間層の厚さ方向の少なくとも一部は、所定のエッチングに対するエッチングレートが前記記録層よりも低いストップ膜であることを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項7において、
前記エッチングは、イオンビームエッチングであることを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項7において、
前記エッチングは、一酸化炭素及び含窒素ガスの混合ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングであることを特徴とする磁気記録媒体。 - 基板の上に軟磁性層、中間層、表面に垂直な方向に磁気異方性を有するように配向された記録層をこの順で形成してなる被加工体を作製する被加工体作製工程と、該被加工体をエッチングで加工して前記記録層を所定の凹凸パターンで多数の記録要素に分割し、データ領域において前記記録要素を所定のトラック形状に加工する記録層加工工程と、を含み、該記録層加工工程において、前記凹凸パターンの凹部を前記中間層の厚さ方向の途中まで形成し、前記記録層を前記基板側の面まで前記凹部で分割するようにしたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 基板の上に中間層、表面に平行な方向に磁気異方性を有するように配向された記録層をこの順で形成してなる被加工体を作製する被加工体作製工程と、該被加工体をドライエッチングで加工して前記記録層を所定の凹凸パターンで多数の記録要素に分割し、データ領域において前記記録要素を所定のトラック形状に加工する記録層加工工程と、を含み、該記録層加工工程において、前記凹凸パターンの凹部を前記中間層の厚さ方向の途中まで形成し、前記記録層を前記基板側の面まで前記凹部で分割するようにしたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項10又は11において、
前記被加工体作製工程において前記中間層の厚さ方向の少なくとも一部として、前記記録層の配向性を高める性質を有する配向膜を形成し、該配向膜に接して前記記録層を形成するようにしたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項10乃至12のいずれかにおいて、
前記被加工体作製工程において、前記中間層を2〜40nmの厚さに形成するようにしたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項10乃至13のいずれかにおいて、
前記中間層の厚さ方向の少なくとも一部として、前記記録層加工工程のドライエッチングに対するエッチングレートが前記記録層よりも低いストップ膜を形成するようにしたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項10乃至14のいずれかにおいて、
前記記録層加工工程の後に、前記凹凸パターンの凹部を非磁性材で充填する非磁性材充填工程と、前記記録要素上の余剰の非磁性材を除去して前記記録要素及び非磁性材の表面を平坦化する平坦化工程と、が設けられたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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