JP3832274B2 - 波長補正方法、波長補正装置、波長検査方法、波長検査装置、アレイ導波路回折格子およびインタリーバ - Google Patents
波長補正方法、波長補正装置、波長検査方法、波長検査装置、アレイ導波路回折格子およびインタリーバ Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はスラブ導波路を備えたアレイ導波路回折格子等の光学素子に光を入力したときこれから出力される中心波長を目標の値に補正したり、所定の光学素子の良否を検査するための波長補正方法、波長補正装置、波長検査方法、波長検査装置および補正を行うあるいは行ったアレイ導波路回折格子およびインタリーバに関する。
【０００２】
【従来の技術】
伝送するデータの大容量化と共に、光ファイバ通信システムで伝送容量の拡大が望まれている。このために、高密度波長分割多重通信方式（Dense Wavelength Division Multiplexing：DWDM）が注目されており、それぞれの波長を分割したり統合するための合分波デバイスとしての光波長フィルタ等の光学素子の重要性がますます高まっている。
【０００３】
光波長フィルタにはさまざまな形態のものがある。中でもアレイ導波路回折格子は、波長特性が狭帯域で高消光比であり、また多入力多出力のフィルタデバイスとしての特徴も持っている。このため、多重化された信号の分離やその逆の動作を行わせることが可能であり、容易に波長合分波デバイスを構成することができるという利点がある。更にアレイ導波路回折格子を石英導波路を使用して構成すると、光ファイバとの結合に優れ、挿入損失が数ｄＢ（デシベル）程度の低挿入損失動作を実現することができる。このような点から、アレイ導波路回折格子は光波長フィルタの中でも特に重要なデバイスとして注目されており、国内外で盛んに研究が行われている。
【０００４】
図１５は、従来のアレイ導波路回折格子の全体的な構成を表わしたものである。アレイ導波路回折格子１１は、図示しない基板上に形成された１本または複数本の入力導波路１２と、複数本からなる出力導波路１３と、異なった曲率でそれぞれ一定方向に曲がったチャネル導波路アレイ１４と、入力導波路１２とチャネル導波路アレイ１４を接続する入力側スラブ導波路１５と、チャネル導波路アレイ１４と出力導波路１３を接続する出力側スラブ導波路１６とによって構成されている。入力導波路１２から入射した多重信号光は、入力側スラブ導波路１５によってその進路を広げられる。そしてチャネル導波路アレイ１４にそれぞれ等位相で入射する。入射光強度については入力側スラブ導波路１５の各入射位置で等しくはなく、中央部ほど強度が強く、ほぼガウス分布となっている。
【０００５】
チャネル導波路アレイ１４では、これを構成する各アレイ導波路の間に一定の光路長差が設けられていて、光路長が順次長く、あるいは短くなるように設定されている。したがって、それぞれのアレイ導波路を導波する光には一定間隔ずつの位相差が付けられて出力側スラブ導波路１６に到達するようになっている。実際には波長分散があるので、波長によってその等位相面が傾く。この結果、波長によって出力側スラブ導波路１６と出力導波路１３の界面上の異なった位置に光が結像（集光）する。波長に対応したそれぞれの位置に出力導波路１３が配置されているので、出力導波路１３からは任意の波長成分を取り出すことが可能になる。
【０００６】
ところでこのようなアレイ導波路回折格子１１の中心波長は導波路材料の屈折率の変化に非常に敏感である。このため、その製造プロセスとしての成膜プロセスでのバラツキによって中心波長が変動してしまい、設計通りの値を得ることができない場合がある。中心波長が変動すると、使用する波長での光損失が大きくなるという問題がある。
【０００７】
そこで特開平９−４９９３６号公報では、通常のＡＷＧ（arrayed waveguide：アレイ状導波路）による入出力導波路の他に波長補正用の入出力導波路を設けるようにしている。そして波長の補正量に応じて入出力導波路を変更している。
【０００８】
波長差δλに対する分波方向の角度の差をδθとするとき、アレイ導波路回折格子では入力導波路１２の位置、すなわちスラブ入射角度θinを変更することで、中心波長λinを次の（１）式に示す値だけ補正することができる。
【０００９】
δλin＝（δλ／δθ）・θin ……（１）
【００１０】
ただし、この波長補正用の入出力導波路は離散的に配置されている。このため、波長の補正量も離散的となるので、任意の波長に補正することができない。任意の波長補正量を得るためには、スラブ入射角度θinを任意に取る必要がある。
【００１１】
図１６は、このような問題を解決するためのアレイ導波路回折格子の構成を表わしたものである。たとえば「P.CPU.Clements et al，IEEE ，Photon，Tech，lett，Vol.7,No.10,pp.1040-1041,1995」に示されたこの提案では、ＡＷＧ（arrayed waveguide：アレイ状導波路）ウェハ２１の入力側のスラブ入射部２２で基板を切断している。そして、やとい（ガラス）によって補強されたスラブ入射部２２で、同じくやとい２３に挟まれた入力用ファイバ２４を接着（固着）している。この接着時に調芯を直接行い、波長補正量に合わせて入力用ファイバ２４の位置を任意に変えるようにしている。
【００１２】
図１７は、この提案のアレイ導波路回折格子によるスラブ調芯の様子を表わしたものである。入力導波路１２の入力側にはＡＳＥ（Amplified Spontaneous Emission）光源３１が接続されている。ＡＳＥ光源３１は、白色光源と同様に広帯域な波長特性を備えている。このＡＳＥ光源３１から出力された光は、入力導波路１２から入力側スラブ導波路１５に入射される。入力側スラブ導波路１５は光軸とほぼ直交する方向に切断されて、第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂに分かれている。
【００１３】
出力導波路１３の出力側にはスペクトルアナライザ３２が接続され、波長の測定が行われるようになっている。この測定を開始する前に、アレイ導波路回折格子を介することなく、スペクトルアナライザ３２をＡＳＥ光源３１に直接接続して、これから出力される光量を波長別に予め測定しておく。その後、ＡＳＥ光源３１をアレイ導波路回折格子に接続する。この状態で出力導波路１３のうちのスペクトルアナライザ３２が接続されたポートから出力される光についての測定が開始される。測定は、第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を、図で示す矢印３３方向に少しずつ移動させながら行われる。測定した値は、ＡＳＥ光源３１にアレイ導波路回折格子を接続していない状態で行われた測定結果と比較され、差分がとられる。そして、出力光量がそれぞれどのような値になるかを波長ごとに判別して中心波長を求め、波長のずれを補正することになる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
スペクトルアナライザ３２は比較的高価なので、このような測定は接続されるポートを１つずつ変えて繰り返される。原理的には１つのポートで波長を補正すれば、アレイ導波路回折格子の全チャネルの補正が行われたことになる。しかしながら実際には製造プロセスの揺らぎ等が原因して１つのチャネルで中心波長が補正されたとき同時に他のチャネルの中心波長が補正されているとは限らない。そこで、すべてのポートについて同様の測定を行い、波長のずれが最小となるような第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を求めて、波長補正を終了することにしている。たとえば４０チャネルのアレイ導波路回折格子であれば、４０ポート分、同じような測定が繰り返されることになる。したがって、このように正確な波長補正を行おうとするとかなりの時間を必要とするという問題があった。
【００１５】
また、従来のこのような波長補正方法あるいは波長補正装置では、波長の補正の精度が不十分であるという問題があった。スペクトルアナライザ３２は、図示しない回折格子を使用して波長を分解し、有限の幅を有するスリットで特定範囲の波長を切り出してその部分の光量を測定する。したがって、設定したスリット幅が波長の分解の限界値となる。これは分解能と呼ばれている。分解能は、現時点で１０ｐｍ（ピコメータ）から１５ｐｍ程度であり、この分解能を超える精度で波長の補正を行うことができない。
【００１６】
次に、スリットはモータ等の駆動系で駆動する。したがって、駆動系としてのギアのたわみ等の機械的な誤差が発生する。この結果として、制御目標としている波長と実際に制御されている波長の間に微妙な食い違いが発生する。これは機械部品の特性の直線性や再現性あるいは絶対精度に起因している。実用的に可能な波長補正装置の測定精度の限界は３０ｐｍ程度となる。したがって、たとえばアレイ導波路回折格子の中心波長の精度を５ｐｍ以下に抑えようとしても、その実現が困難になる。
【００１７】
以上、広帯域なＡＳＥ光源３１を使用した測定についての問題点を説明した。このような広帯域な光源を使用することなく、出力する波長を変化させる可変波長光源を使用することもできる。この場合には、スペクトルアナライザ３２を使用する代わりにパワーメータを使用して、入力波長をシフトさせながら出力光量を測定していくことになる。したがって、スペクトルアナライザ３２を使用した場合に発生する分解能の低さという問題は解消される。また、可変波長光源の波長を高精度に変化させながら第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対位置を変化させていくことで、十分な精度で波長の補正を行うことができる。
【００１８】
ところで、可変波長光源を使用する後者の手法で補正を行う場合には、第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂをある相対位置に設定した状態で、所定の波長を用いてパワーメータで光量の測定を行う。そして、これ以後は波長をわずかずつずらしながら同様にそれぞれの波長で光量の測定を繰り返すことになる。したがって、後者の手法では広帯域な光源とスペクトルアナライザを使用する前者の手法と異なり、波長を新たに設定しては光量を測定するという作業を測定波長の全範囲で緻密に繰り返す必要がある。そして波長のシフト量を観察していき、ある相対位置になって中心波長が目標とする波長に一致した時点で補正を終了することになる。
【００１９】
もちろん、以上の説明は１チャネル分の補正作業についてのものである。１つのチャネルで中心波長が補正されても、製造プロセス上の誤差があるので他のチャネルでも最善の補正が行われているとは限らない。そこで可変波長光源を使用するこの後者の補正でも、残りのすべてのチャネルについて同様の補正作業を繰り返すことになる。そして、最終的に第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対位置が決定される。したがって、後者の補正では十分な精度で中心波長の補正を行うことができるものの、補正に要する時間がきわめて長時間化するという問題がある。
【００２０】
一般に、補正に要する時間はスラブ導波路間の移動所要時間にスペクトルの測定時間を足し合わせたものにスラブ導波路の移動回数を掛け合わせた値となる。光パワーメータを使用した場合には、それぞれの測定に純粋に要する時間が１秒程度であるとしても光パワーメータを次の測定位置に移動させるという動作をスラブ導波路の移動回数分だけ繰り返す必要がある。したがって、実際には１つのアレイ導波路回折格子についての測定所要時間は５分あるいはそれ以上を要することになる。
【００２１】
以上、アレイ導波路回折格子の波長の補正について説明したが、他の光学素子の波長の補正や、あるいは製品の出荷時の光学素子の波長が仕様に合っているかどうかの波長検査についても同様な問題があった。
【００２２】
そこで本発明の目的は、アレイ導波路回折格子等の導波路を有する光学素子の波長を補正したり波長の検査を迅速かつ簡単に行うことのできる波長補正方法、波長補正装置、波長検査方法、波長検査装置および補正を行うまたは行ったアレイ導波路回折格子およびインタリーバを提供することにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、（ハ）第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、（ニ）この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００２４】
すなわち請求項１記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しているものにおいて、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００２５】
波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００２６】
請求項２記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光とこれと対称となる第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定ステップと、（ロ）この波長時分割測定ステップで測定した各波長λ1、λ2による光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較ステップと、（ハ）このレベル比較ステップの比較結果が一致する位置で入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００２７】
すなわち請求項２記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しているものにおいて、補正の目標とする中心波長λgが中点となるように第１の波長λ1と第２の波長λ2の光を交互に繰り返し出力させ、この関係で各位置の出力レベルの測定を行う。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００２８】
波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００２９】
請求項３記載の発明では、請求項１または請求項２いずれかに記載の波長補正方法で、第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴としている。
【００３０】
第１の波長λ1と第２の波長λ2の値はこれ以外であってもよいが、両者の間隔をスペクトラムの全半値幅とすることで、中心波長の定義に沿った位置の補正が可能になる。
【００３１】
請求項４記載の発明では、請求項１記載の波長補正方法で、スラブ導波路の出力側にチャネル導波路アレイを介して他のスラブ導波路が接続されており、前記最終補正ステップでは、前記他のスラブ導波路の出力側に接続されたそれぞれの光について前記位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴としている。
【００３２】
すなわち請求項４記載の発明では、チャネル導波路アレイの出力側に配置された複数の出力導波路のそれぞれついて得られた補正結果の平均をとる等によって中心波長λgの補正を正確に行うことにしている。
【００３３】
請求項５記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、（ハ）第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、（ニ）この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００３４】
すなわち請求項５記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しているものにおいて、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００３５】
波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００３６】
請求項６記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光とこれと対称となる第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定手段と、（ロ）この波長時分割測定ステップで測定した各波長λ1、λ2による光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較手段と、（ハ）このレベル比較手段の比較結果が一致する位置で入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００３７】
すなわち請求項６記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しているものにおいて、補正の目標とする中心波長λgが中点となるように第１の波長λ1と第２の波長λ2の光を交互に繰り返し出力させ、この関係で各位置の出力レベルの測定を行う。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００３８】
波長λgをピークとする波形が短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００３９】
請求項７記載の発明では、請求項５または請求項６記載の波長補正装置で、第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴としている。
【００４０】
第１の波長λ1と第２の波長λ2の値はこれ以外であってもよいが、両者の間隔をスペクトラムの全半値幅とすることで、中心波長の定義に沿った位置の補正が可能になる。
【００４１】
請求項８記載の発明では、請求項５記載の波長補正装置で、スラブ導波路の出力側にチャネル導波路アレイを介して他のスラブ導波路が接続されており、前記最終補正手段は、前記他のスラブ導波路の出力側に接続されたそれぞれの光について前記位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴としている。
【００４２】
すなわち請求項８記載の発明では、チャネル導波路アレイの出力側に配置された複数の出力導波路のそれぞれついて得られた補正結果の平均をとる等によって中心波長λgの補正を正確に行うことにしている。
【００４３】
請求項９記載の発明では、（イ）波長特性を変更可能な特定の導波路に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出ステップと、（ロ）特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出ステップと、（ハ）これら第１および第２の波長入射時パワー検出手段の検出する光の強さが一致するように特定の導波路の特性を変更させる特性変更ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００４４】
すなわち請求項９記載の発明では、特定の波長をピークとする波形がこの波長を中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定している。そして、特定の波長から所定の波長だけずれた第１の波長λ1を特定の導波路に入射したときのこの特定の導波路から出射される光の強さと、この特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときのこの特定の導波路から出射される光の強さが一致するように特定の導波路の特性を変更させるようにして、この特定の導波路の波長特性を正しく補正するようにしている。
【００４５】
請求項１０記載の発明では、請求項９記載の波長補正方法で、特性変更ステップは特定の導波路を加熱することによりその特性を変更することを特徴としている。
【００４６】
すなわち請求項１０記載の発明では、特定の導波路の波長特性を加熱によって変更する場合を示している。たとえば導波路に抵抗体を配置しておき、これを通電することで熱パルスを印加して特性を変更する。
【００４７】
請求項１１記載の発明では、請求項９記載の波長補正方法で、特性変更ステップは特定の導波路に紫外線を照射することによりその特性を変更することを特徴としている。
【００４８】
すなわち請求項１１記載の発明では、特定の導波路の波長特性を紫外線の照射によって変更する場合を示している。
【００４９】
請求項１２記載の発明では、（イ）波長特性を変更可能な特定の導波路に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1と特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を選択的に入射させる光入射手段と、（ロ）この光入射手段によって第１の波長λ1の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出手段と、（ハ）光入射手段によって第２の波長λ2の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出手段と、（ニ）これら第１および第２の波長入射時パワー検出手段の検出する光の強さが一致するように特定の導波路の特性を変更させる特性変更手段とを波長補正装置に具備させる。
【００５０】
すなわち請求項１２記載の発明では、特定の波長をピークとする波形がこの波長を中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定している。そして、特定の波長から所定の波長だけずれた第１の波長λ1を特定の導波路に入射したときのこの特定の導波路から出射される光の強さと、この特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときのこの特定の導波路から出射される光の強さが一致するように特定の導波路の特性を変更させるようにして、この特定の導波路の波長特性を正しく補正するようにしている。
【００５１】
請求項１３記載の発明では、請求項１２記載の波長補正装置で、特性変更手段は特定の導波路を加熱することによりその特性を変更することを特徴としている。
【００５２】
すなわち請求項１３記載の発明では、特定の導波路の波長特性を加熱によって変更する場合を示している。たとえば導波路に抵抗体を配置しておき、これを通電することで熱パルスを印加して特性を変更する。
【００５３】
請求項１４記載の発明では、請求項１２記載の波長補正装置で、特性変更手段は特定の導波路に紫外線を照射することによりその特性を変更することを特徴としている。
【００５４】
すなわち請求項１４記載の発明では、特定の導波路の波長特性を紫外線の照射によって変更する場合を示している。
【００５５】
請求項１５記載の発明では、（イ）特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を特定の導波路に対して入射させたときのこれから出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出ステップと、（ロ）特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を特定の導波路に対して入射させたときのこれから出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出ステップと、（ハ）これら第１および第２の波長入射時パワー検出ステップで検出された光の強さを比較する比較ステップと、（ニ）この比較ステップの比較結果から特定の導波路で前記した特定の波長が光の強さのピークと一致しているか否かを判別する判別ステップとを波長検査方法に具備させる。
【００５６】
すなわち請求項１５記載の発明では、特定の導波路から出力される波長が特定の波長でピークを示すものであるとすると、これから波長が短波長側にずれても長波長側にずれても光のパワーは減衰する。そこで、特定の波長を中心とした第１の波長λ1の光と第２の波長λ2の光をこの特定の導波路に入射してこれから出射する光の強さを比較し、これが一致する等の許容範囲内であるかそれ以外であるかをたとえば判別することで、その導波路の良否を判別することができる。
【００５７】
請求項１６記載の発明では、（イ）特定の導波路に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1と特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を選択的に入射させる光入射手段と、（ロ）この光入射手段によって第１の波長λ1の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出手段と、（ハ）光入射手段によって第２の波長λ2の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出手段と、（ニ）これら第１および第２の波長入射時パワー検出手段の検出する光の強さを比較する比較手段と、（ホ）この比較手段の比較結果から特定の導波路で前記した特定の波長が光の強さのピークと一致しているか否かを判別する判別手段とを波長検査装置に具備させる。
【００５８】
すなわち請求項１６記載の発明では、特定の導波路から出力される波長が特定の波長でピークを示すものであるとすると、これから波長が短波長側にずれても長波長側にずれても光のパワーは減衰する。そこで、特定の波長を中心とした第１の波長λ1の光と第２の波長λ2の光をこの特定の導波路に入射してこれから出射する光の強さを比較し、これが一致する等の許容範囲内であるかそれ以外であるかをたとえば判別することで、その導波路の良否を判別することができる。
【００５９】
請求項１７記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、（ニ）第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、（ホ）この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００６０】
すなわち請求項１７記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0を測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００６１】
位置関係を変えていけば中心波長がこれに伴って変化するので、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００６２】
請求項１８記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、（ロ）この中心波長測定ステップで測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正ステップと、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、（ニ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、（ホ）第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、（ヘ）この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００６３】
すなわち請求項１８記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0をまず測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００６４】
そして暫定補正ステップで、中心波長測定ステップで測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる。この移動によって、多少の誤差はあるものの中心波長が波長λgの近辺となった大まかな補正としての暫定補正が終了する。この後は位置についての微細な補正が実行されることになる。この補正では、まず暫定補正によって定められた位置を基準として、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって、出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００６５】
この請求項１８記載の発明では、暫定補正ステップで波長λgの近辺の相対位置を探り当てるので、第１の波長λ1および第２の波長λ2による測定を行う際に位置の移動（スキャン）の最小範囲をある程度正確に判別することができ、無駄なスキャンを行うことがない。
【００６６】
請求項１９記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに入力側導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から比較的広帯域の光を入射し、スラブ導波路に対して前記入力側導波路と反対側に接続されたチャネル導波路アレイを経て出力される光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、（ロ）この中心波長測定ステップで測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正ステップと、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対するチャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、（ニ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対するチャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、（ホ）第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、（ヘ）この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００６７】
すなわち請求項１９記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに入力側導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0をまず測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００６８】
そして暫定補正ステップで、中心波長測定ステップで測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる。この移動によって、多少の誤差はあるものの中心波長が波長λgの近辺となった大まかな補正としての暫定補正が終了する。この後は位置についての微細な補正が実行されることになる。この補正では、まず暫定補正によって定められた位置を基準として、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって、チャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００６９】
この請求項１９記載の発明では、暫定補正ステップで波長λgの近辺の相対位置を探り当てるので、第１の波長λ1および第２の波長λ2による測定を行う際に位置の移動（スキャン）の最小範囲をある程度正確に判別することができ、無駄なスキャンを行うことがない。また、スラブ導波路は光学部品としてのチャネル導波路アレイに接続されたアレイ導波路回折格子等に具体化している。
【００７０】
請求項２０記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して対称となる第１の波長λ1の光と第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定ステップと、（ハ）この波長時分割測定ステップで測定した各波長λs、λlによる光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較手段と、（ニ）このレベル比較手段の比較結果が一致する位置で入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００７１】
すなわち請求項２０記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0を測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００７２】
位置関係を変えていけば中心波長がこれに伴って変化するので、補正の目標とする中心波長λgが中点となるように第１の波長λ1と第２の波長λ2の光を交互に繰り返し出力させ、この関係で各位置の出力レベルの測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００７３】
請求項２１記載の発明では、請求項１７〜請求項２０いずれかに記載の波長補正方法で、第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴としている。
【００７４】
第１の波長λ1と第２の波長λ2の値はこれ以外であってもよいが、両者の間隔をスペクトラムの全半値幅とすることで、中心波長の定義に沿った位置の補正が可能になる。
【００７５】
請求項２２記載の発明では、請求項１９記載の波長補正方法で、チャネル導波路アレイの出力側に他のスラブ導波路を介して複数本の出力導波路が接続されており、最終補正ステップでは、これら複数本の出力導波路から出力されるそれぞれの光について位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴としている。
【００７６】
すなわち請求項２２記載の発明では、チャネル導波路アレイの出力側に配置された複数の出力導波路のそれぞれついて得られた補正結果の平均をとる等によって中心波長λgの補正を正確に行うことにしている。
【００７７】
請求項２３記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、（ニ）第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、（ホ）この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００７８】
すなわち請求項２３記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0を測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００７９】
位置関係を変えていけば中心波長がこれに伴って変化するので、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００８０】
請求項２４記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、（ロ）この中心波長測定手段によって得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正手段と、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、（ニ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、（ホ）第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、（ヘ）この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００８１】
すなわち請求項２４記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0をまず測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００８２】
そして暫定補正手段で、中心波長測定手段で測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる。この移動によって、多少の誤差はあるものの中心波長が波長λgの近辺となった大まかな補正としての暫定補正が終了する。この後は位置についての微細な補正が実行されることになる。この補正では、まず暫定補正によって定められた位置を基準として、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって、出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００８３】
この請求項２４記載の発明では、暫定補正手段で波長λgの近辺の相対位置を探り当てるので、第１の波長λ1および第２の波長λ2による測定を行う際に位置の移動（スキャン）の最小範囲をある程度正確に判別することができ、無駄なスキャンを行うことがない。
【００８４】
請求項２５記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに入力側導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から比較的広帯域の光を入射し、スラブ導波路に対して前記入力側導波路と反対側に接続されたチャネル導波路アレイを経て出力される光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、（ロ）この中心波長測定手段によって得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正手段と、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対するチャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、（ニ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対するチャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、（ホ）第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、（ヘ）この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００８５】
すなわち請求項２５記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに入力側導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0をまず測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００８６】
そして暫定補正手段で、中心波長測定手段で測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる。この移動によって、多少の誤差はあるものの中心波長が波長λgの近辺となった大まかな補正としての暫定補正が終了する。この後は位置についての微細な補正が実行されることになる。この補正では、まず暫定補正によって定められた位置を基準として、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって、チャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００８７】
この請求項２５記載の発明では、暫定補正手段で波長λgの近辺の相対位置を探り当てるので、第１の波長λ1および第２の波長λ2による測定を行う際に位置の移動（スキャン）の最小範囲をある程度正確に判別することができ、無駄なスキャンを行うことがない。また、スラブ導波路は光学部品としてのチャネル導波路アレイに接続されたアレイ導波路回折格子等に具体化している。
【００８８】
請求項２６記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して対称となる第１の波長λ1の光と第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定手段と、（ハ）この波長時分割測定手段で測定した各波長λs、λlによる光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較手段と、（ニ）このレベル比較手段の比較結果が一致する位置で入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００８９】
すなわち請求項２６記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0を測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００９０】
位置関係を変えていけば中心波長がこれに伴って変化するので、補正の目標とする中心波長λgが中点となるように第１の波長λ1と第２の波長λ2の光を交互に繰り返し出力させ、この関係で各位置の出力レベルの測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００９１】
請求項２７記載の発明では、請求項２３〜請求項２６のいずれかに記載の波長補正装置で、第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴としている。
【００９２】
第１の波長λ1と第２の波長λ2の値はこれ以外であってもよいが、両者の間隔をスペクトラムの全半値幅とすることで、中心波長の定義に沿った位置の補正が可能になる。
【００９３】
請求項２８記載の発明では、請求項２５に記載の波長補正装置で、チャネル導波路アレイの出力側に他のスラブ導波路を介して複数本の出力導波路が接続されており、最終補正手段は、これら複数本の出力導波路から出力されるそれぞれの光について位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴としている。
【００９４】
すなわち請求項２８記載の発明では、チャネル導波路アレイの出力側に配置された複数の出力導波路のそれぞれついて得られた補正結果の平均をとる等によって中心波長λgの補正を正確に行うことにしている。
【００９５】
請求項２９記載の発明のアレイ導波路回折格子は、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなっており、第１の測定時に、入射側に配置された導波路構成部分は目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射されたとき、光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定したものであり、（ロ）更に第２の測定時に、入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射したとき、光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定したものであって、（ハ）第１の測定時に得られた光のレベルと第２の測定時に得られた光のレベルが一致する相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置が固定されて中心波長λgの補正が行われていることを特徴としている。
【００９６】
すなわち請求項２９記載の発明のアレイ導波路回折格子は、２つの導波路構成部分が、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、これに対して第１の測定と第２の測定が行われて、これらについて測定時に得られた光のレベルが一致する相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置が固定されて中心波長λgの補正が行われている。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００９７】
請求項３０記載の発明では、請求項２９記載のアレイ導波路回折格子で、スラブ導波路とこれ以外のスラブ導波路がチャネル導波路アレイを介して接続されていることを特徴としている。
【００９８】
すなわち請求項３０記載の発明では、２つのスラブ導波路をチャネル導波路アレイで接続した構成までアレイ導波路回折格子を具体化している。
【００９９】
請求項３１記載の発明では、（イ）入力導波路と、（ロ）この入力導波路に一端を接続され入力する波長多重光を奇数番目の波長の光と偶数番目の波長の光に分離する２本の光導波路と、（ハ）これらの光導波路の少なくとも一方に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光が入射したときのこの光導波路から出射される光の強さの測定とこの特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときのその光導波路から出射される光の強さの測定の測定結果が一致するようにその光導波路の特性を変更する特性補正手段とをインタリーバに具備させる。
【０１００】
すなわち請求項３１記載の発明では、２本の光導波路の少なくとも１本に対して、所定の関係にある２つの波長λ1、λ2の光を使用した測定によって特性を補正するような特性補正手段をインタリーバが備えていることを特徴としている。
【０１０１】
請求項３２記載の発明では、請求項３１記載のインタリーバで、特性補正手段は光導波路を通電によって加熱する抵抗であることを特徴としている。
【０１０２】
すなわち請求項３２記載の発明では、特性補正手段が抵抗であって、通電による発熱で光導波路の特性を補正することにしている。
【０１０３】
請求項３３記載の発明のインタリーバは、（イ）入力導波路と、（ロ）この入力導波路に一端を接続され入力する波長多重光を奇数番目の波長の光と偶数番目の波長の光に分離する２本の光導波路とを備え、（ハ）これら２本の光導波路の少なくとも一方は加熱あるいは紫外線の照射によってその波長選択特性を変化させる材料で構成されており、特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光が入力導波路を介してこの光導波路に入射したときのこれから出射される光の強さの測定とこの特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときのこれから出射される光の強さの測定との測定結果が一致するまで加熱あるいは紫外線の照射が行われることでその特性が補正されていることを特徴としている。
【０１０４】
すなわち請求項３３記載の発明では、インタリーバの入力導波路に接続された２本の光導波路の少なくとも１本は加熱あるいは紫外線の照射によってその波長選択特性を変化させる材料で構成されており、かつ所定の関係にある２つの波長λ1、λ2の光を使用した測定によって特性を補正していることを特徴としている。
【０１０５】
【発明の実施の形態】
【０１０６】
【実施例】
以下実施例につき本発明を詳細に説明する。
【０１０７】
＜第１の実施例＞
【０１０８】
図１は本発明の第１の実施例における波長補正装置の構成を表わしたものである。この波長補正装置５１は、可変波長光源（ＴＬＳ）５２を備えている。可変波長光源５２から出力される所定の波長λの光５３は偏波スクランブラ（ＳＣＲ）５４に入力されるようになっている。偏波スクランブラ５４は、偏光を有するレーザ光を無偏光にする。一般的にＡＷＧは偏光依存性を有するため、レーザが偏光を有するとその状態によって、測定されるＡＷＧの特性が変化する。このため、偏光状態を平均化し、レーザ光の偏光に依存しない安定した測定を可能にさせるために偏波スクランブラが用いられる。偏波スクランブラ５４から出力された波長λの光５５は光カプラ５６に入力されるようになっている。光カプラ５６は所定の比率で２本の光ファイバに光を分岐する光部品である。光カプラ５６によって分岐された一方の光５７Ａは波長計（ＯＷＭ）５８に入力されてその波長が測定されるようになっている。
【０１０９】
光カプラ５６によって分岐された他方の光５７Ｂは光コネクタ５９を介してアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）６１の入力導波路１２（図１７参照）に入力されるようになっている。アレイ導波路回折格子６１は、その入力側スラブ導波路が図１７でも示したように第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂに分かれている。アレイ導波路回折格子６１の第１〜第Ｎの出力導波路１３1〜１３Nは、それぞれ対応して設けられた第１〜第Ｎの光コネクタ６２1〜６２Nを介して第１〜第Ｎの光パワーメータ（ＯＰＭ）６３1〜６３Nに接続されている。ここで数値Ｎはアレイ導波路回折格子６１の出力導波路１３1〜１３Nのチャネル数を表わしている。
【０１１０】
本実施例でアレイ導波路回折格子６１の第１の入力側導波路構成部分１５Ａは図示しない不動部材上に固定されており、第２の入力側導波路構成部分１５Ｂは移動機構６５によって第１の入力側導波路構成部分１５Ａに対してこれらの切断方向６６に移動自在となっている。制御部６７は可変波長光源５２の出力する光５３の波長λを制御する波長制御信号６８を出力すると共に、波長計５８から波長モニタ信号６９の供給を受けて可変波長光源５２の出力する光５３のモニタを行うようになっている。また、制御部６７は移動制御信号７１によって移動機構６５の移動の制御を行うと共に、第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nからそれぞれパワー検出信号７２1〜７２Nの供給を時間的に並行して入力するようになっている。
【０１１１】
図２は、このような構成の波長補正装置による測定の手順を表わしたものである。本実施例では、スペクトラムの全半値幅（ＦＷＨＭ）Ｗのアレイ導波路回折格子６１をスラブ調芯によって、目標とする中心波長λgに補正することにする。まず、ステップＳ１０１では、入力側スラブ導波路１５（図１７参照）の第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対位置を初期位置にセットする（ステップＳ１０１）。両者の位置関係は任意である。
【０１１２】
次にこの初期位置の状態でアレイ導波路回折格子６１から出力される光の中心波長λ0を測定する（ステップＳ１０２）。本実施例では図１に示したように光コネクタ５９を介してアレイ導波路回折格子６１に可変波長光源５２が接続されている。したがって、この可変波長光源５２および他の光コネクタ６２を介して接続された第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nを用いて測定を行う。ただし、中心波長λ0の測定はこれに限るものではない。すでに図１７で説明したようにＡＳＥ光源３１を使用して、あるいは他の手法を使用して中心波長λ0を測定してもよい。
【０１１３】
可変波長光源５２および第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nを用いて測定を行う場合には、可変波長光源５２を所定の波長範囲で連続的に変化させ、それぞれについて光パワーメータ６３で光の透過量を求める。次に光の透過量のピークを求めて、そのピーク値から３ｄＢ（デシベル）だけ出力が低下した位置の波長から中心波長λ0を測定する。
【０１１４】
図３は、中心波長λ0の測定と目標とする波長λgとの関係を表わしたものである。ここで曲線８１は波長λの変化に基づく第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３N（図１参照）による光の透過量を表わしている。光の透過量のピークとなる波長は曲線８１そのものから特定しづらい。そこで、ピーク値Ｐから光の透過量が３ｄＢ低下した位置の波長λ1、λ2を測定し、これらの平均値を中心波長λ0とするようになっている。
【０１１５】
もっとも初期位置は暫定的な測定位置であり、十分な位置精度が必要となるものではない。そこで、第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nのすべてを用いて測定を行う必要はなく、そのうちの代表的な１つを使用して簡易に求めるものであってもよい。同様に、ピーク値Ｐから３ｄＢだけ光の透過量が低下した位置に限定して測定を行って中心波長λ0を求める必要もない。
【０１１６】
ところで、求められた初期位置での中心波長λ0は目標とする波長λgと相違するのが通常である。そこで、両者の波長の差Δλを次の（２）式より求め、すでに測定した各種の波長の差Δλに対するシフト量についてのデータを使用して、中心波長が波長λgとなるべきスラブ変位量を算出する（図２ステップＳ１０３）。
【０１１７】
Δλ＝｜（λ0−λg）｜ ……（２）
【０１１８】
そしてこのスラブ変位量だけ第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を移動させる（ステップＳ１０４）。なお、（２）式ではスラブ変位量として絶対値を求めたが、単純に一方から他方を差し引くことで、その値の正負に応じて移動方向を定めることができる。
【０１１９】
このようにして第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を移動させることで、移動後の位置関係で中心波長はほぼ波長λgと一致する。これによって、１段階目の補正作業が終了する。次に精度の高い位置補正を行うための２段階目の補正作業に移る。
【０１２０】
まず、図１に示した可変波長光源５２の出力する光５３の波長を、次の（３）式に示す波長λsに設定する。そして、この波長λsの光５３が入力導波路１２から第１の入力側導波路構成部分１５Ａに入射している状態で、第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を所定の範囲内で移動させ、このときの光の透過量の変化を第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nで出力導波路１３1〜１３Nの全チャネルについて時間的に並行して測定する（ステップＳ１０５）。
【０１２１】
λs＝λg−（Ｗ／２） ……（３）
【０１２２】
ここで値Ｗはスペクトラムの全半値幅を示している。
【０１２３】
次に、可変波長光源５２の出力する光５３の波長を、次の（４）式に示す波長λlに設定する。そして、この波長λlの光５３が入力導波路１２から第１の入力側導波路構成部分１５Ａに入射している状態で、第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を所定の範囲内で移動させ、このときの光の透過量の変化を第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nで出力導波路１３1〜１３Nの全チャネルについて時間的に並行して測定する（ステップＳ１０６）。
【０１２４】
λl＝λg＋（Ｗ／２） ……（４）
【０１２５】
図４は、以上説明した３つの波長λg、λs、λlの関係を表わしたものである。この図で縦軸は光の透過量を表わしており、横軸は波長λを表わしている。光の透過量のピークから３ｄＢ低下した位置の波長λが波長λsおよび波長λlであり、これらの間隔がスペクトラム８２の全半値幅Ｗとなる。中心波長λ0の定義を波長λsと波長λlの平均の波長とすると、波長λsと波長λlで測定した際の値が等しくなるとき、中心波長λ0と波長λgが一致する。また、スペクトラム８２が透過量のピークとなる波長を中心に対称形になっているとき、中心波長λ0は、透過量がピークとなる波長と一致する。したがって、この場合には波長λsと波長λlで測定した際の値が等しくなるとき、波長λ0と波長λgおよび透過量がピークとなる波長が一致する。
【０１２６】
図５は、図２のステップＳ１０５とステップＳ１０６で行った波長λsと波長λlについてのモニタ結果を表わしたものである。この図で縦軸は図１に示した第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nのうちの注目した１つ（以下、光パワーメータ６３Xという。）における光の透過量すなわち受信した光量を表わしており、横軸は同じく図１に示した可変波長光源５２が波長λsと波長λlにそれぞれ設定されたときのスラブ移動量を示している。波長λsについての特性を示した特性線８４と波長λlについての特性を示した特性線８５の交叉する位置８６が波長λsと波長λlの光量が等しい位置であり、この波長が目標とする波長λgとなる。したがって、その光パワーメータ６３Xについて限定して考察すれば、２つのモニタ結果の特性線８４、８５が交叉する位置８６に第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置をシフトさせれば、この位置で目標とする中心波長λgに補正されることになる（図２ステップＳ１０７）。
【０１２７】
図６は本実施例で測定に使用された２つの波長λs、λlの全体的な波形を示したものである。この図で縦軸は光量であり、横軸は図１に示した移動機構６５による切断方向６６の移動量あるいは移動位置を示している。この図で短波長側の第１の波長λsを示した特性線８４と長波長側の第２の波長λlを示した特性線８５の交叉する位置８６を中心とした破線で示した範囲を拡大した図が先の図５となる。２つの特性線８４、８５の交叉する点を単純に求めると、位置８６以外にも交叉する点が存在する。そこで、ステップＳ１０１で初期位置を定めて交叉する点を特定するようにしている。
【０１２８】
図７は以上説明した制御を行う制御部およびその周辺の構成を具体的に表わしたものである。図１にも示した制御部６７は通常のパーソナルコンピュータとほぼ同様の構成となっており、ＣＰＵ（中央処理装置）８７を備えている。ＣＰＵ８７はバス８８を通じて各種の回路部品と接続されている。このうちプログラム格納部８９はこの制御部６７の各種制御を実行するためのプログラムを格納した記憶部である。プログラム格納部８９は、通常の場合、ＲＯＭ（リード・オンリ・メモリ）あるいはハードディスク等の記憶媒体によって構成される。作業用メモリ９０は、ＣＰＵ８７が各種の制御を行う場合に一時的にデータを格納するための記憶領域である。作業用メモリ９０は通常の場合、ＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）あるいはハードディスク等の記憶媒体によって構成される。テーブル格納部９１は各種のテーブルあるいは固定的なデータを格納する記憶領域である。テーブル格納部９１は通常の場合、ハードディスクや電池によってバックアップされたＲＡＭのような不揮発性の記憶媒体によって構成されている。操作入力部９２は図示しないキーボードやマウスのようなデータ入力用の機器から構成されている。表示部９３はＣＲＴあるいは液晶ディスプレイのようなデータを表示するための装置で構成されている。
【０１２９】
データ入出力部９４は、波長補正装置５１（図１）を構成する各部とデータの入出力を行うインタフェイス回路である。このデータ入出力部９４は可変波長光源５２の出力する光５３の波長λを制御する波長制御信号６８を送出するようになっており、また、波長計５８から波長モニタ信号６９の供給を受けるようになっている。更に、データ入出力部９４は第１〜第Ｎの光パワーメータ（ＯＰＭ）６３1〜６３Nからそれぞれのパワー検出信号７２1〜７２Nの供給を受けるようになっている。移動機構制御部９５は、移動制御信号７１によって移動機構６５の制御を行うようになっている。
【０１３０】
ここで、移動機構６５は、第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを第１の入力側導波路構成部分１５Ａ（図１参照）に対して移動させるためのステッピングモータ６５Ａと、このステッピングモータ６５Ａを駆動するためのステッピングモータ駆動回路６５Ｂと、第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの第１の入力側導波路構成部分１５Ａに対する位置を検出するための位置検出センサ６５Ｃを備えている。位置検出センサ６５Ｃは単数であってもよいし、複数であってもよい。本実施例では第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを第１の入力側導波路構成部分１５Ａに対して所定の初期位置にセットするために第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの双方にマーク（図示せず）が付されており、これらのマークを位置検出センサ６５Ｃで一致させることで初期位置を設定するようになっている。初期位置設定後の移動に伴う位置検出は、ステッピングモータ６５Ａに供給される駆動パルスの数によって行うようになっている。
【０１３１】
図８および図９は、制御部による波長補正制御の流れの概要を表わしたものである。まず図７に示した移動機構制御部９５は、この図に示した位置検出センサ６５Ｃの検出出力を監視しながらステッピングモータ駆動回路６５Ｂに制御信号を送り、マークの検出によって第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを初期位置にセットする（ステップＳ２０１）。この状態でＣＰＵ８７は第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nから出力されるパワー検出信号７２1〜７２Nをデータ入出力部９４から受け取ることで、アレイ導波路回折格子６１の出力導波路１３1〜１３Nの全部についての中心波長λ0の測定を行う（ステップＳ２０２）。
【０１３２】
中心波長λ0の測定が終了したら、その平均値（あるいは任意の光パワーメータ６３Xに代表される１つの値）と目標とする波長λgとを基にして、ＣＰＵ８７はテーブル格納部９１に予め格納している対応テーブル（図示せず）からスラブ変位量を読み出す（ステップＳ２０３）。なお、対応テーブルは、実際に測定した値等を用いて各種の中心波長λ0と波長λgの組み合わせに対してスラブ変位量を対応づけたものである。
【０１３３】
スラブ変位量が求められたら、移動機構制御部９５はこのスラブ変位量に相当する移動量となるように第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを移動させる（ステップＳ２０４）。この移動後の位置を基準位置と呼ぶことにする。すでに説明したように基準位置は最終的に設定される位置に比較的近い位置となる。第２の入力側導波路構成部分１５Ｂが基準位置にセットされたら、ＣＰＵ８７は波長制御信号６８によって可変波長光源５２の出力する光５３を波長λsに設定する（ステップＳ２０５）。可変波長光源５２から出力される光５３の波長λの確認および波長λsへの制御は波長計５８を用いて行うことができる。
【０１３４】
短波長側の波長λsへの設定が行われたら、移動機構制御部９５は、移動制御信号７１によって移動機構６５を制御し、基準位置を中心にスペクトラムの全半値幅Ｗ以上の波長幅に相当する距離で第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを移動させる。そして、この移動に伴うステッピングモータ６５Ａの駆動パルスの数としての位置情報と対応付けながら第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nから得られた全チャネルのパワー検出信号７２を作業用メモリ９０に格納する（ステップＳ２０６）。第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの位置のスキャン動作は基準位置を中心にたとえば所定量だけ短い波長から同じく所定量だけ長い波長間で行われるので、ステップＳ２０４で基準位置に移動する制御を行う代わりにスキャン開始位置にいきなり移動してからスキャンを開始するようにすることもできる。
【０１３５】
以上のようにして短波長側の波長λsについての測定が終了したら、今度は可変波長光源５２の出力する光５３が長波長側の波長λlに設定される（ステップＳ２０７）。そして同様に、移動機構制御部９５は、移動制御信号７１によって移動機構６５を制御し、基準位置を中心にスペクトラムの全半値幅Ｗ以上の波長幅に相当する距離で第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを移動させる。そして、この移動に伴うステッピングモータ６５Ａの駆動パルスの数としての位置情報と対応付けながら第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nから得られた全チャネルのパワー検出信号７２を作業用メモリ９０に格納する（ステップＳ２０８）。
【０１３６】
ただし、このステップＳ２０８のスキャンはステップＳ２０６で行われたと同一の幅で行う必要はない。図５で説明したように波長λsと波長λlの両者の光量が等しい移動位置を求めればよいので、装置によってはその値が出力導波路１３1〜１３Nの全チャネルで確定するか否かを逐次監視して、全チャネルで確定した時点でスキャンを終了させることができる。
【０１３７】
このようにして波長λlについての測定が終了したら、ＣＰＵ８７は第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nでから得られた全チャネルの測定データを作業用メモリ９０から読み出す（図９ステップＳ２０９）。そして、それぞれの出力導波路１３1〜１３Nについて波長λsと波長λlの両者の光量が等しくなる移動位置を算出する（ステップＳ２１０）。ＣＰＵ８７はこれらのデータから出力導波路１３1〜１３N全体についての移動位置を算出する（ステップＳ２１１）。この算出は、各チャネルについての算出結果の単純な平均値であってもよいし、出力導波路１３1〜１３Nの利用度から重み付けを行って基準位置からの最適な移動位置が算出されてもよい。また、バラツキのある測定結果が混入していた場合は、これらを除いた後で基準位置からの最適な移動位置を算出することも可能である。装置によってはこれとは反対に、最悪の値を示しているチャネルで所望の特性が得られるように移動位置を調整することも有効である。
【０１３８】
なお、本実施例では出力導波路１３1〜１３Nの全チャネルに対して測定が行われるので、これらの測定結果をチェックすることで測定の対象となったアレイ導波路回折格子６１の特性の良否を判別することも可能である。したがって、あるチャネルについての出力導波路１３1〜１３Nの移動位置の算出結果が所定の許容範囲を越えたり、測定が不良とされたアレイ導波路回折格子６１については、これ以降の処理を継続せずに、エラー表示を行って製品化の対象から除外するようにしてもよい。
【０１３９】
ステップＳ２１１で移動位置が求められたら、移動機構制御部９５はＣＰＵ８７の指示に基づいて基準位置から算出された位置まで第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを移動させる（ステップＳ２１２）。これらの移動制御はステッピングモータ６５Ａに与える駆動パルスの数を基にして行うが、移動機構の減速比を適切に設定しておくことにより、十分な精度で位置決めが可能である。位置決めが終了したら第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの位置関係を固定する（ステップＳ２１３）。装置によってはこれらを接着剤で貼り合わせる工程がこの部分で実施されてもよいし、テープ等を使用して仮の固定が実施されるものであってもよい。
【０１４０】
なお、以上説明した第１の実施例では入力側スラブ導波路を光軸に対してほぼ直交する方向に切断した第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの位置関係を調整することでアレイ導波路回折格子の中心波長の補正を行うことにしたが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、入力側スラブ導波路の切断の角度は光軸に対して直交方向に限る必要はなく、任意の角度で切断することが可能である。また、切断するスラブ導波路はチャネル導波路アレイに接続された入力側の導波路である必要はない。スラブ導波路を組み込んだ光学部品でスラブ導波路の接合される位置の調整によって光学的な特性が変化するものであればよい。
【０１４１】
また第１の実施例では可変波長光源を使用してスラブ導波路の接合位置を求めることにしたが、２つの特定波長の光を個別に出力するものであってもよい。更に実施例では光パワーメータ６３を出力導波路１３1〜１３Nの全チャネル数だけ用意してこれら全チャネルの処理を一度に行ったが、これよりも少ない数の光パワーメータ６３を用意してチャネルを切り替えながら測定を繰り返すようにしてもよい。
【０１４２】
更に本実施例では図８のステップＳ２０６とステップＳ２０８で短波長側と長波長側にそれぞれ波長を設定して測定を行ったが、２種類の光を時分割で入力しながらスラブ導波路の接合すべき位置を移動させて測定を行うようにしてもよい。これにより、１回のスキャン（移動）で測定を行うことが可能になる。これを次に変形例として簡単に説明する。
【０１４３】
＜第１の実施例の変形例＞
【０１４４】
図１０は第１の実施例の変形例による波長補正装置の構成を表わしたものである。図１０で図１と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。
【０１４５】
この変形例の波長補正装置３５１は、第１の実施例で説明した補正の目標となる波長λgを中心とした短波長側の第１の波長λsと長波長側の第２の波長λlの光を２波長光源３５２から繰り返し時分割で出射するようになっている。２波長光源３５２は２つの波長λs、λlを交互に出射するようなものであってもよいし、それぞれの波長λs、λlを別々に出射する光源とこれらを択一的に選択する選択手段を備えたようなものであってもよい。
【０１４６】
２波長光源３５２から出力される光３５３は、偏波スクランブラ（ＳＣＲ）５４に入力される。偏波スクランブラ５４から出力された周期的に切り替えられた波長λsと波長λlの光３５５は、光コネクタ５９を介してアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）６１の入力導波路１２（図１７参照）に入力されるようになっている。アレイ導波路回折格子６１は、その入力側スラブ導波路が図１７でも示したように第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂに分かれている。アレイ導波路回折格子６１の第１〜第Ｎの出力導波路１３1〜１３Nは、それぞれ対応して設けられた第１〜第Ｎの光コネクタ６２1〜６２Nを介して第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nに接続されている。
【０１４７】
この変形例でもアレイ導波路回折格子６１の第１の入力側導波路構成部分１５Ａは図示しない不動部材上に固定されており、第２の入力側導波路構成部分１５Ｂは移動機構６５によって第１の入力側導波路構成部分１５Ａに対してこれらの切断方向６６に移動自在となっている。制御部３６７は２波長光源３５２が交互に時分割で出力する波長λsと波長λlの光を入力するようになっている。なお、この変形例の波長補正装置３５１では、中心波長λ0の測定を先の実施例と同一の手法あるいはこれと異なる手法で実施したアレイ導波路回折格子６１に対して補正作業を行うことにしている。同一ロットの製品について補正を行うような場合には、中心波長λ0の測定を省略して、先の製品の初期位置と同一位置を初期位置に設定するようにしてもよい。
【０１４８】
図１１は第１の実施例の図５に対応するもので、目標とする波長λgに対するスラブ移動量を示したものである。ここでは図示の都合上、第１の入力側導波路構成部分１５Ａに対する第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの移動量を大きくしているが、実際には波長λsと波長λlの切り替えの周期は第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの移動速度に対して十分短いものとなっている。
【０１４９】
たとえば相対位置Ｐ1で図１０に示した２波長光源３５２が短波長側の第１の波長λsを出力したとすると、その位置（スラブ変位量）での特性線８４と一致するレベルの光量ｌ1が光パワーメータ６３によって測定される。次にこれから僅かに位置をずらした相対位置Ｐ2で２波長光源３５２が長波長側の第２の波長λlを出力したとすると、その位置での特性線８５と一致するレベルの光量ｌ2が光パワーメータ６３によって測定される。この図で両光量ｌ1、ｌ2が一致しないのは、その相対位置が目標とする波長λgに一致しないからである。
【０１５０】
これに対して、波長λsについての特性を示した特性線８４と波長λlについての特性を示した特性線８５の交叉する位置８６（相対位置Ｐx）では、２波長光源３５２が短波長側の第１の波長λsを出力しても長波長側の第２の波長λlを出力しても光パワーメータ６３の測定する光量は等しくなる。これよりも更に第２の入力側導波路構成部分１５Ｂが移動すると、再び両者の光量に差が生じてくる。したがって、この変形例では制御部３６７が短波長側の第１の波長λsによる光量と長波長側の第２の波長λlによる光量を比較し、両者が一致する箇所を波長λgに一致する位置とすることにしている。
【０１５１】
このような変形例によれば、１回のスキャンで２つの波長λs、λlによる測定が終了する。しかも、第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの移動（第１の入力側導波路構成部分１５Ａの移動であってもよい。）に伴って２つの波長λs、λlによる光量の差が拡大するか縮小するかをチェックすることで、両波長の中点に位置する目標とする波長λgに近づいているか遠ざかっているかを判別することができる。したがって、先の実施例のステップＳ１０２で示した光の中心波長λ0の測定あるいは初期位置の設定をある程度大まかに行うことができる。また、２つの波長λs、λlによる光量の差が大きいときには測定を大まかに行って、差が小さくなった時点で精密な測定を行うといった効率的な測定方法を採用することも可能になる。したがって、測定時間の一層の短縮や測定精度の向上を図ることができる。
【０１５２】
更にこの変形例では固定した２つの波長λs、λlを出力する２波長光源３５２を使用するので、第１の実施例の波長計（ＯＷＭ）５８が不要である。波長のフィードバックあるいは測定が不要となるからである。
【０１５３】
＜第２の実施例＞
【０１５４】
伝送するデータの大容量化と共に、光ファイバ通信システムで伝送容量の拡大が望まれており、高密度波長分割多重通信方式（Dense Wavelength Division Multiplexing：DWDM）が注目されている。ところが、通信システムを構築する際に、すべての光部品を高度な波長多重を前提とした所定の規格に適合させようとすると、部品によっては大幅なコストアップを招いたり、歩留りが悪くなるといった問題が生じる場合がある。このような問題を解消するためにインタリーバと呼ばれる部品が活用されている。
【０１５５】
図１２はインタリーバとこれを使用した信号処理装置の要部を表わしたものである。インタリーバ４０１は入力導波路４０２に入力する信号光４０３を２つの出力導波路４０４、４０５に波長ごとに振り分けて出力する光学部品である。たとえば入力導波路４０２から波長λ1、λ2、λ3、λ4……の信号光４０３が入力されたとすると、第１の出力導波路４０４からは奇数番目の波長λ1、λ3……の信号光４０６が出力される。また、第２の出力導波路４０５からは偶数番目の波長λ2、λ4……の信号光４０７が出力される。したがって、たとえばこれら分離された後の信号光４０６、４０７は多重された各信号光の波長の間隔が２倍に広がることになる。このため、後段に多重光を波長ごとに分離する光デマルチプレクサ（ＤＭＵＸ）４０８、４０９を配置するような場合には、これらの光学部品として比較的安価なものを採用することができる。
【０１５６】
ところで、インタリーバ４０１はその入力導波路４０２と第１および第２の出力導波路４０４、４０５の間に３ｄＢ（デシベル）カプラ４１１、４１２を配置している。そして、これらの３ｄＢカプラ４１１、４１２の間に光路長の異なる第１および第２の光導波路４１３、４１４を配置することで、奇数番目と偶数番目の波長の信号成分を分離することにしている。使用する信号光４０３に応じて波長の分離が良好に行われるようにするために、第１および第２の光導波路４１３、４１４の途中には第１の加熱板４１５あるいは第２の加熱板４１６が配置されている。これらの加熱板４１５、４１６を用いて熱パルスを適宜印加することでインタリーバ４０１の波長特性を変更することが可能になる。本発明の第２の実施例では、このインタリーバ４０１の効率的な波長補正を行うようにしている。
【０１５７】
図１３は、このようなインタリーバの波長を補正する波長補正装置の構成を表わしたものである。図１３で図１と同一部分には同一の符号を付しており、波長補正装置５１Ａの説明を適宜省略する。可変多重波長光源５２Ａの出力する多重光５３Ａを入力する光コネクタ５９は、入力導波路１２を介してインタリーバ４０１の入力導波路４０２と接続されている。インタリーバ４０１の２つの出力導波路４０４、４０５は、光コネクタ４３１、４３２を介してスイッチ回路４３３に接続されており、これらの一方が選択されて光デマルチプレクサ（ＤＭＵＸ）４３４に入力されるようになっている。光デマルチプレクサ４３４は図１２に示した光デマルチプレクサ４０８、４０９と同様なもので、入力された多重光を波長ごとに分離するようになっている。
【０１５８】
光デマルチプレクサ４３４の出力側にはそれぞれの波長成分の出力光量を個別に測定するための光パワーメータ４３６1〜４３６Nが配置されている。これらの光パワーメータ４３６1〜４３６Nの出力するパワー検出信号７２1〜７２Nは制御部６７Ａに時間的に並行して入力されるようになっている。制御部６７Ａは可変多重波長光源５２Ａの出力を制御する。制御部６７Ａはこの他、加熱制御部４３８の制御を行うようになっている。加熱制御部４３８は加熱板４１５、４１６を通電制御することで第１または第２の光導波路４１３、４１４の特性を変化させるようになっている。波長補正装置５１Ａによっては図１２に示した３ｄＢカプラ４１１、４１２に対する加熱制御も併せて行えるようになっている。なお、これらの加熱制御の他に紫外線を照射して特性を変化させることもできる。
【０１５９】
このような構成の波長補正装置では、補正を行おうとするインタリーバ４０１を光コネクタ５９、４３１、４３２によって装置内の入射側と出射側にそれぞれ接続する。そして、制御部６７Ａによってスイッチ回路４３３を制御して、２つの出力導波路４０４、４０５のうちの任意の一方を光デマルチプレクサ４３４に接続する。この状態で制御部６７Ａは可変多重波長光源５２Ａの出力する各波長λ1、λ2、λ3、λ4……をそれぞれの目標値よりも所定の波長Δλだけ短波長側にした波長λ1−Δλ、λ2−Δλ、λ3−Δλ、λ4−Δλ……を出力させる。そして、この状態での光パワーメータ４３６1〜４３６Nの出力するパワー検出信号７２1〜７２Nを測定し、続いて目標値よりも所定の波長Δλだけ長波長側にした波長λ1＋Δλ、λ2＋Δλ、λ3＋Δλ、λ4＋Δλ……を出力させる。この場合も同様に光パワーメータ４３６1〜４３６Nの出力するパワー検出信号７２1〜７２Nを測定する。
【０１６０】
そして、これらの２種類の波長に対する光パワーメータ４３６1〜４３６Nの出力が波長ごとに最も近似した値となるように、波長を短波長側と長波長側に交互に切り替えながら加熱制御部４３８を指示して加熱板４１５、４１６の通電制御を行わせる。以上の制御は出力導波路４０４、４０５のうちのスイッチ回路４３３によって初期的に選択された一方の導波路を基準にして行ったが、スイッチ回路４３３で出力導波路４０４、４０５を交互に切り替えて全波長に対して最も適する特性にインタリーバ４０１を調整するようにしてもよいことはもちろんである。
【０１６１】
＜第３の実施例＞
【０１６２】
図１４は本発明の第３の実施例における波長検査装置の構成を表わしたものである。図１４で図１０と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。この波長検査装置５０１は、アレイ導波路回折格子等の検査対象物５０２が仕様に合っているかどうかを検査する装置である。波長検査装置５０１は光コネクタ５９、６２に検査対象物５０２の入力側と出力側をそれぞれ接続するようになっている。検査対象物判別装置５０３はたとえばバーコードリーダによって構成されており、検査対象物５０２の個々の製造番号等の判別を行う。判別結果は制御部６７Ｂに入力されるようになっている。
【０１６３】
制御部６７Ｂは検査対象物５０２を光コネクタ５９および第１〜第Ｎの光コネクタ６２1〜６２Nに接続すると、その製造番号を検査対象物判別装置５０３で自動的に判別し、検査を開始する。検査では２波長光源３５２から基準となる波長に対して短波長側と長波長側にそれぞれ等波長だけずれた２種類の波長を交互に出力させ、それぞれの波長に対する第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nの出力レベルが許容範囲内に納まっているかどうかを検査する。検査結果はディスプレイ５０４に図示しない出力導波路ごとに各波長と対応付けて表示され、また製造番号と対応付けて合否等の検査結果がプリンタ５０５にプリントアウトされる。これにより、検査対象物５０２の中心波長が仕様に合っているかとか、特性を短時間に大量に検査することができる。
【０１６４】
なお、以上説明した実施例および変形例では波長補正装置としてアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）の入力側スラブ導波路を２つの入力側導波路構成部分に分けた場合の説明を行ったが、本発明はこれに限るものではない。すなわち、出力側スラブ導波路を２つの出力側導波路構成部分に分けた場合の波長補正ついても本発明を同様に適用することができる。
【０１６５】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１、請求項３〜請求項５、請求項７、請求項８および請求項１７〜請求項１９記載の発明によれば、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定し、また、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行って、両者のレベルが等しくなる相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしたので、補正が簡単かつ迅速に実現する。
【０１６６】
また請求項２、請求項６、請求項２０または請求項２６記載の発明によれば、第１の波長λ1と第２の波長λ2を時分割で測定するので、２つの導波路構成部分の相対位置の移動を１回で済ませることができ、更に迅速な補正を実現できる。
【０１６７】
更に請求項４または請求項２２記載の発明によれば、最終補正ステップで、複数本の出力導波路から出力されるそれぞれの光について位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了するので、光学素子全体としての中心波長λgの補正を正確に行うことができる。
【０１６８】
また請求項５または請求項２３〜請求項２５記載の発明によれば、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定し、また、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行って、両者のレベルが等しくなる相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしたので、補正が簡単かつ迅速に実現する。
【０１６９】
更に請求項８または請求項２８記載の発明によれば、最終補正手段は、複数本の出力導波路から出力されるそれぞれの光について位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了するので、光学素子全体としての中心波長λgの補正を正確に行うことができる。
【０１７０】
また、請求項９あるいは請求項１２記載の発明によれば、所定の波長の光を出力するべき導波路の特性の補正を２種類の波長の光を使用して簡単かつ迅速に行うことができる。
【０１７１】
更に請求項請求項１５あるいは請求項１６記載の発明によれば、特定の導波路が所望の波長特性を有しているかどうかを２種類の波長の光を使用して簡単かつ迅速に行うことができる。
【０１７２】
また、請求項２９あるいは請求項３０記載のアレイ導波路回折格子は、２つの導波路構成部分で構成されたスラブ導波路を備えているので、これらの導波路構成部分を適宜選択して使用することで各種のスラブ導波路を構成することができる。また、１つのウェハから効率的にスラブ導波路を構成することができる。更に所定の関係にある２つの波長λ1、λ2の光を使用した測定によってアレイ導波路回折格子の特性を補正するようにしたので、生産性を向上させ、コストダウンを図ることが可能になる。
【０１７３】
更に請求項３１〜請求項３３記載のインタリーバによれば、所定の関係にある２つの波長λ1、λ2の光を使用した測定によってその特性を補正することができるので、生産性を向上させ、コストダウンを図ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における波長補正装置の構成を表わした概略構成図である。
【図２】本実施例による波長補正装置による測定の手順を表わした流れ図である。
【図３】中心波長λ0の測定と目標とする波長λgとの関係を表わした説明図である。
【図４】３つの波長λg、λs、λlの関係を表わした説明図である。
【図５】図２のステップＳ１０５とステップＳ１０６で行った波長λsと波長λlについてのモニタ結果を表わした特性図である。
【図６】第１の実施例で測定に使用された２つの波長λs、λlの全体的な波形を示した波形図である。
【図７】本実施例で制御部およびその周辺の構成を具体的に表わしたブロック図である。
【図８】制御部による波長補正制御の流れの概要の前半を表わした流れ図である。
【図９】制御部による波長補正制御の流れの概要の後半を表わした流れ図である。
【図１０】本発明の変形例における波長補正装置の構成の概要を表わしたブロック図である。
【図１１】この変形例で目標とする波長λgに対するスラブ移動量を示した説明図である。
【図１２】本発明の第２の実施例で補正を行う対象としてのインタリーバとこれを使用した信号処理装置の要部を表わした概略構成図である。
【図１３】第２の実施例におけるインタリーバの波長を補正する波長補正装置の構成を表わしたブロック図である。
【図１４】本発明の第３の実施例における波長検査装置の構成を表わしたブロック図である。
【図１５】従来のアレイ導波路回折格子の全体的な構成を表わした説明図である。
【図１６】従来提案されたアレイ導波路回折格子の一例を示す斜視図である。
【図１７】図１６に示した提案のアレイ導波路回折格子によるスラブ調芯の様子を表わした説明図である。
【符号の説明】
１５Ａ 第１の入力側導波路構成部分
１５Ｂ 第２の入力側導波路構成部分
５１、３５１ 波長補正装置
５２ 可変波長光源
５８ 波長計
６１ アレイ導波路回折格子
６３ 光パワーメータ
６５ 移動機構
６５Ａ ステッピングモータ
６５Ｂ ステッピングモータ駆動回路
６５Ｃ 位置検出センサ
６６ 切断方向
６７、３６７ 制御部
８４、８５ 特性線
８６ 交叉する位置
８７ ＣＰＵ
８９ プログラム格納部
９１ テーブル格納部
９５ 移動機構制御部
３５２ ２波長光源
【発明の属する技術分野】
本発明はスラブ導波路を備えたアレイ導波路回折格子等の光学素子に光を入力したときこれから出力される中心波長を目標の値に補正したり、所定の光学素子の良否を検査するための波長補正方法、波長補正装置、波長検査方法、波長検査装置および補正を行うあるいは行ったアレイ導波路回折格子およびインタリーバに関する。
【０００２】
【従来の技術】
伝送するデータの大容量化と共に、光ファイバ通信システムで伝送容量の拡大が望まれている。このために、高密度波長分割多重通信方式（Dense Wavelength Division Multiplexing：DWDM）が注目されており、それぞれの波長を分割したり統合するための合分波デバイスとしての光波長フィルタ等の光学素子の重要性がますます高まっている。
【０００３】
光波長フィルタにはさまざまな形態のものがある。中でもアレイ導波路回折格子は、波長特性が狭帯域で高消光比であり、また多入力多出力のフィルタデバイスとしての特徴も持っている。このため、多重化された信号の分離やその逆の動作を行わせることが可能であり、容易に波長合分波デバイスを構成することができるという利点がある。更にアレイ導波路回折格子を石英導波路を使用して構成すると、光ファイバとの結合に優れ、挿入損失が数ｄＢ（デシベル）程度の低挿入損失動作を実現することができる。このような点から、アレイ導波路回折格子は光波長フィルタの中でも特に重要なデバイスとして注目されており、国内外で盛んに研究が行われている。
【０００４】
図１５は、従来のアレイ導波路回折格子の全体的な構成を表わしたものである。アレイ導波路回折格子１１は、図示しない基板上に形成された１本または複数本の入力導波路１２と、複数本からなる出力導波路１３と、異なった曲率でそれぞれ一定方向に曲がったチャネル導波路アレイ１４と、入力導波路１２とチャネル導波路アレイ１４を接続する入力側スラブ導波路１５と、チャネル導波路アレイ１４と出力導波路１３を接続する出力側スラブ導波路１６とによって構成されている。入力導波路１２から入射した多重信号光は、入力側スラブ導波路１５によってその進路を広げられる。そしてチャネル導波路アレイ１４にそれぞれ等位相で入射する。入射光強度については入力側スラブ導波路１５の各入射位置で等しくはなく、中央部ほど強度が強く、ほぼガウス分布となっている。
【０００５】
チャネル導波路アレイ１４では、これを構成する各アレイ導波路の間に一定の光路長差が設けられていて、光路長が順次長く、あるいは短くなるように設定されている。したがって、それぞれのアレイ導波路を導波する光には一定間隔ずつの位相差が付けられて出力側スラブ導波路１６に到達するようになっている。実際には波長分散があるので、波長によってその等位相面が傾く。この結果、波長によって出力側スラブ導波路１６と出力導波路１３の界面上の異なった位置に光が結像（集光）する。波長に対応したそれぞれの位置に出力導波路１３が配置されているので、出力導波路１３からは任意の波長成分を取り出すことが可能になる。
【０００６】
ところでこのようなアレイ導波路回折格子１１の中心波長は導波路材料の屈折率の変化に非常に敏感である。このため、その製造プロセスとしての成膜プロセスでのバラツキによって中心波長が変動してしまい、設計通りの値を得ることができない場合がある。中心波長が変動すると、使用する波長での光損失が大きくなるという問題がある。
【０００７】
そこで特開平９−４９９３６号公報では、通常のＡＷＧ（arrayed waveguide：アレイ状導波路）による入出力導波路の他に波長補正用の入出力導波路を設けるようにしている。そして波長の補正量に応じて入出力導波路を変更している。
【０００８】
波長差δλに対する分波方向の角度の差をδθとするとき、アレイ導波路回折格子では入力導波路１２の位置、すなわちスラブ入射角度θinを変更することで、中心波長λinを次の（１）式に示す値だけ補正することができる。
【０００９】
δλin＝（δλ／δθ）・θin ……（１）
【００１０】
ただし、この波長補正用の入出力導波路は離散的に配置されている。このため、波長の補正量も離散的となるので、任意の波長に補正することができない。任意の波長補正量を得るためには、スラブ入射角度θinを任意に取る必要がある。
【００１１】
図１６は、このような問題を解決するためのアレイ導波路回折格子の構成を表わしたものである。たとえば「P.CPU.Clements et al，IEEE ，Photon，Tech，lett，Vol.7,No.10,pp.1040-1041,1995」に示されたこの提案では、ＡＷＧ（arrayed waveguide：アレイ状導波路）ウェハ２１の入力側のスラブ入射部２２で基板を切断している。そして、やとい（ガラス）によって補強されたスラブ入射部２２で、同じくやとい２３に挟まれた入力用ファイバ２４を接着（固着）している。この接着時に調芯を直接行い、波長補正量に合わせて入力用ファイバ２４の位置を任意に変えるようにしている。
【００１２】
図１７は、この提案のアレイ導波路回折格子によるスラブ調芯の様子を表わしたものである。入力導波路１２の入力側にはＡＳＥ（Amplified Spontaneous Emission）光源３１が接続されている。ＡＳＥ光源３１は、白色光源と同様に広帯域な波長特性を備えている。このＡＳＥ光源３１から出力された光は、入力導波路１２から入力側スラブ導波路１５に入射される。入力側スラブ導波路１５は光軸とほぼ直交する方向に切断されて、第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂに分かれている。
【００１３】
出力導波路１３の出力側にはスペクトルアナライザ３２が接続され、波長の測定が行われるようになっている。この測定を開始する前に、アレイ導波路回折格子を介することなく、スペクトルアナライザ３２をＡＳＥ光源３１に直接接続して、これから出力される光量を波長別に予め測定しておく。その後、ＡＳＥ光源３１をアレイ導波路回折格子に接続する。この状態で出力導波路１３のうちのスペクトルアナライザ３２が接続されたポートから出力される光についての測定が開始される。測定は、第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を、図で示す矢印３３方向に少しずつ移動させながら行われる。測定した値は、ＡＳＥ光源３１にアレイ導波路回折格子を接続していない状態で行われた測定結果と比較され、差分がとられる。そして、出力光量がそれぞれどのような値になるかを波長ごとに判別して中心波長を求め、波長のずれを補正することになる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
スペクトルアナライザ３２は比較的高価なので、このような測定は接続されるポートを１つずつ変えて繰り返される。原理的には１つのポートで波長を補正すれば、アレイ導波路回折格子の全チャネルの補正が行われたことになる。しかしながら実際には製造プロセスの揺らぎ等が原因して１つのチャネルで中心波長が補正されたとき同時に他のチャネルの中心波長が補正されているとは限らない。そこで、すべてのポートについて同様の測定を行い、波長のずれが最小となるような第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を求めて、波長補正を終了することにしている。たとえば４０チャネルのアレイ導波路回折格子であれば、４０ポート分、同じような測定が繰り返されることになる。したがって、このように正確な波長補正を行おうとするとかなりの時間を必要とするという問題があった。
【００１５】
また、従来のこのような波長補正方法あるいは波長補正装置では、波長の補正の精度が不十分であるという問題があった。スペクトルアナライザ３２は、図示しない回折格子を使用して波長を分解し、有限の幅を有するスリットで特定範囲の波長を切り出してその部分の光量を測定する。したがって、設定したスリット幅が波長の分解の限界値となる。これは分解能と呼ばれている。分解能は、現時点で１０ｐｍ（ピコメータ）から１５ｐｍ程度であり、この分解能を超える精度で波長の補正を行うことができない。
【００１６】
次に、スリットはモータ等の駆動系で駆動する。したがって、駆動系としてのギアのたわみ等の機械的な誤差が発生する。この結果として、制御目標としている波長と実際に制御されている波長の間に微妙な食い違いが発生する。これは機械部品の特性の直線性や再現性あるいは絶対精度に起因している。実用的に可能な波長補正装置の測定精度の限界は３０ｐｍ程度となる。したがって、たとえばアレイ導波路回折格子の中心波長の精度を５ｐｍ以下に抑えようとしても、その実現が困難になる。
【００１７】
以上、広帯域なＡＳＥ光源３１を使用した測定についての問題点を説明した。このような広帯域な光源を使用することなく、出力する波長を変化させる可変波長光源を使用することもできる。この場合には、スペクトルアナライザ３２を使用する代わりにパワーメータを使用して、入力波長をシフトさせながら出力光量を測定していくことになる。したがって、スペクトルアナライザ３２を使用した場合に発生する分解能の低さという問題は解消される。また、可変波長光源の波長を高精度に変化させながら第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対位置を変化させていくことで、十分な精度で波長の補正を行うことができる。
【００１８】
ところで、可変波長光源を使用する後者の手法で補正を行う場合には、第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂをある相対位置に設定した状態で、所定の波長を用いてパワーメータで光量の測定を行う。そして、これ以後は波長をわずかずつずらしながら同様にそれぞれの波長で光量の測定を繰り返すことになる。したがって、後者の手法では広帯域な光源とスペクトルアナライザを使用する前者の手法と異なり、波長を新たに設定しては光量を測定するという作業を測定波長の全範囲で緻密に繰り返す必要がある。そして波長のシフト量を観察していき、ある相対位置になって中心波長が目標とする波長に一致した時点で補正を終了することになる。
【００１９】
もちろん、以上の説明は１チャネル分の補正作業についてのものである。１つのチャネルで中心波長が補正されても、製造プロセス上の誤差があるので他のチャネルでも最善の補正が行われているとは限らない。そこで可変波長光源を使用するこの後者の補正でも、残りのすべてのチャネルについて同様の補正作業を繰り返すことになる。そして、最終的に第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対位置が決定される。したがって、後者の補正では十分な精度で中心波長の補正を行うことができるものの、補正に要する時間がきわめて長時間化するという問題がある。
【００２０】
一般に、補正に要する時間はスラブ導波路間の移動所要時間にスペクトルの測定時間を足し合わせたものにスラブ導波路の移動回数を掛け合わせた値となる。光パワーメータを使用した場合には、それぞれの測定に純粋に要する時間が１秒程度であるとしても光パワーメータを次の測定位置に移動させるという動作をスラブ導波路の移動回数分だけ繰り返す必要がある。したがって、実際には１つのアレイ導波路回折格子についての測定所要時間は５分あるいはそれ以上を要することになる。
【００２１】
以上、アレイ導波路回折格子の波長の補正について説明したが、他の光学素子の波長の補正や、あるいは製品の出荷時の光学素子の波長が仕様に合っているかどうかの波長検査についても同様な問題があった。
【００２２】
そこで本発明の目的は、アレイ導波路回折格子等の導波路を有する光学素子の波長を補正したり波長の検査を迅速かつ簡単に行うことのできる波長補正方法、波長補正装置、波長検査方法、波長検査装置および補正を行うまたは行ったアレイ導波路回折格子およびインタリーバを提供することにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、（ハ）第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、（ニ）この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００２４】
すなわち請求項１記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しているものにおいて、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００２５】
波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００２６】
請求項２記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光とこれと対称となる第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定ステップと、（ロ）この波長時分割測定ステップで測定した各波長λ1、λ2による光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較ステップと、（ハ）このレベル比較ステップの比較結果が一致する位置で入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００２７】
すなわち請求項２記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しているものにおいて、補正の目標とする中心波長λgが中点となるように第１の波長λ1と第２の波長λ2の光を交互に繰り返し出力させ、この関係で各位置の出力レベルの測定を行う。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００２８】
波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００２９】
請求項３記載の発明では、請求項１または請求項２いずれかに記載の波長補正方法で、第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴としている。
【００３０】
第１の波長λ1と第２の波長λ2の値はこれ以外であってもよいが、両者の間隔をスペクトラムの全半値幅とすることで、中心波長の定義に沿った位置の補正が可能になる。
【００３１】
請求項４記載の発明では、請求項１記載の波長補正方法で、スラブ導波路の出力側にチャネル導波路アレイを介して他のスラブ導波路が接続されており、前記最終補正ステップでは、前記他のスラブ導波路の出力側に接続されたそれぞれの光について前記位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴としている。
【００３２】
すなわち請求項４記載の発明では、チャネル導波路アレイの出力側に配置された複数の出力導波路のそれぞれついて得られた補正結果の平均をとる等によって中心波長λgの補正を正確に行うことにしている。
【００３３】
請求項５記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、（ハ）第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、（ニ）この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００３４】
すなわち請求項５記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しているものにおいて、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００３５】
波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００３６】
請求項６記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光とこれと対称となる第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定手段と、（ロ）この波長時分割測定ステップで測定した各波長λ1、λ2による光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較手段と、（ハ）このレベル比較手段の比較結果が一致する位置で入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００３７】
すなわち請求項６記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しているものにおいて、補正の目標とする中心波長λgが中点となるように第１の波長λ1と第２の波長λ2の光を交互に繰り返し出力させ、この関係で各位置の出力レベルの測定を行う。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００３８】
波長λgをピークとする波形が短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００３９】
請求項７記載の発明では、請求項５または請求項６記載の波長補正装置で、第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴としている。
【００４０】
第１の波長λ1と第２の波長λ2の値はこれ以外であってもよいが、両者の間隔をスペクトラムの全半値幅とすることで、中心波長の定義に沿った位置の補正が可能になる。
【００４１】
請求項８記載の発明では、請求項５記載の波長補正装置で、スラブ導波路の出力側にチャネル導波路アレイを介して他のスラブ導波路が接続されており、前記最終補正手段は、前記他のスラブ導波路の出力側に接続されたそれぞれの光について前記位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴としている。
【００４２】
すなわち請求項８記載の発明では、チャネル導波路アレイの出力側に配置された複数の出力導波路のそれぞれついて得られた補正結果の平均をとる等によって中心波長λgの補正を正確に行うことにしている。
【００４３】
請求項９記載の発明では、（イ）波長特性を変更可能な特定の導波路に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出ステップと、（ロ）特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出ステップと、（ハ）これら第１および第２の波長入射時パワー検出手段の検出する光の強さが一致するように特定の導波路の特性を変更させる特性変更ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００４４】
すなわち請求項９記載の発明では、特定の波長をピークとする波形がこの波長を中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定している。そして、特定の波長から所定の波長だけずれた第１の波長λ1を特定の導波路に入射したときのこの特定の導波路から出射される光の強さと、この特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときのこの特定の導波路から出射される光の強さが一致するように特定の導波路の特性を変更させるようにして、この特定の導波路の波長特性を正しく補正するようにしている。
【００４５】
請求項１０記載の発明では、請求項９記載の波長補正方法で、特性変更ステップは特定の導波路を加熱することによりその特性を変更することを特徴としている。
【００４６】
すなわち請求項１０記載の発明では、特定の導波路の波長特性を加熱によって変更する場合を示している。たとえば導波路に抵抗体を配置しておき、これを通電することで熱パルスを印加して特性を変更する。
【００４７】
請求項１１記載の発明では、請求項９記載の波長補正方法で、特性変更ステップは特定の導波路に紫外線を照射することによりその特性を変更することを特徴としている。
【００４８】
すなわち請求項１１記載の発明では、特定の導波路の波長特性を紫外線の照射によって変更する場合を示している。
【００４９】
請求項１２記載の発明では、（イ）波長特性を変更可能な特定の導波路に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1と特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を選択的に入射させる光入射手段と、（ロ）この光入射手段によって第１の波長λ1の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出手段と、（ハ）光入射手段によって第２の波長λ2の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出手段と、（ニ）これら第１および第２の波長入射時パワー検出手段の検出する光の強さが一致するように特定の導波路の特性を変更させる特性変更手段とを波長補正装置に具備させる。
【００５０】
すなわち請求項１２記載の発明では、特定の波長をピークとする波形がこの波長を中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定している。そして、特定の波長から所定の波長だけずれた第１の波長λ1を特定の導波路に入射したときのこの特定の導波路から出射される光の強さと、この特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときのこの特定の導波路から出射される光の強さが一致するように特定の導波路の特性を変更させるようにして、この特定の導波路の波長特性を正しく補正するようにしている。
【００５１】
請求項１３記載の発明では、請求項１２記載の波長補正装置で、特性変更手段は特定の導波路を加熱することによりその特性を変更することを特徴としている。
【００５２】
すなわち請求項１３記載の発明では、特定の導波路の波長特性を加熱によって変更する場合を示している。たとえば導波路に抵抗体を配置しておき、これを通電することで熱パルスを印加して特性を変更する。
【００５３】
請求項１４記載の発明では、請求項１２記載の波長補正装置で、特性変更手段は特定の導波路に紫外線を照射することによりその特性を変更することを特徴としている。
【００５４】
すなわち請求項１４記載の発明では、特定の導波路の波長特性を紫外線の照射によって変更する場合を示している。
【００５５】
請求項１５記載の発明では、（イ）特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を特定の導波路に対して入射させたときのこれから出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出ステップと、（ロ）特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を特定の導波路に対して入射させたときのこれから出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出ステップと、（ハ）これら第１および第２の波長入射時パワー検出ステップで検出された光の強さを比較する比較ステップと、（ニ）この比較ステップの比較結果から特定の導波路で前記した特定の波長が光の強さのピークと一致しているか否かを判別する判別ステップとを波長検査方法に具備させる。
【００５６】
すなわち請求項１５記載の発明では、特定の導波路から出力される波長が特定の波長でピークを示すものであるとすると、これから波長が短波長側にずれても長波長側にずれても光のパワーは減衰する。そこで、特定の波長を中心とした第１の波長λ1の光と第２の波長λ2の光をこの特定の導波路に入射してこれから出射する光の強さを比較し、これが一致する等の許容範囲内であるかそれ以外であるかをたとえば判別することで、その導波路の良否を判別することができる。
【００５７】
請求項１６記載の発明では、（イ）特定の導波路に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1と特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を選択的に入射させる光入射手段と、（ロ）この光入射手段によって第１の波長λ1の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出手段と、（ハ）光入射手段によって第２の波長λ2の光が入射したときの特定の導波路から出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出手段と、（ニ）これら第１および第２の波長入射時パワー検出手段の検出する光の強さを比較する比較手段と、（ホ）この比較手段の比較結果から特定の導波路で前記した特定の波長が光の強さのピークと一致しているか否かを判別する判別手段とを波長検査装置に具備させる。
【００５８】
すなわち請求項１６記載の発明では、特定の導波路から出力される波長が特定の波長でピークを示すものであるとすると、これから波長が短波長側にずれても長波長側にずれても光のパワーは減衰する。そこで、特定の波長を中心とした第１の波長λ1の光と第２の波長λ2の光をこの特定の導波路に入射してこれから出射する光の強さを比較し、これが一致する等の許容範囲内であるかそれ以外であるかをたとえば判別することで、その導波路の良否を判別することができる。
【００５９】
請求項１７記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、（ニ）第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、（ホ）この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００６０】
すなわち請求項１７記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0を測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００６１】
位置関係を変えていけば中心波長がこれに伴って変化するので、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００６２】
請求項１８記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、（ロ）この中心波長測定ステップで測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正ステップと、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、（ニ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、（ホ）第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、（ヘ）この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００６３】
すなわち請求項１８記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0をまず測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００６４】
そして暫定補正ステップで、中心波長測定ステップで測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる。この移動によって、多少の誤差はあるものの中心波長が波長λgの近辺となった大まかな補正としての暫定補正が終了する。この後は位置についての微細な補正が実行されることになる。この補正では、まず暫定補正によって定められた位置を基準として、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって、出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００６５】
この請求項１８記載の発明では、暫定補正ステップで波長λgの近辺の相対位置を探り当てるので、第１の波長λ1および第２の波長λ2による測定を行う際に位置の移動（スキャン）の最小範囲をある程度正確に判別することができ、無駄なスキャンを行うことがない。
【００６６】
請求項１９記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに入力側導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から比較的広帯域の光を入射し、スラブ導波路に対して前記入力側導波路と反対側に接続されたチャネル導波路アレイを経て出力される光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、（ロ）この中心波長測定ステップで測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正ステップと、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対するチャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、（ニ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対するチャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、（ホ）第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、（ヘ）この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００６７】
すなわち請求項１９記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに入力側導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0をまず測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００６８】
そして暫定補正ステップで、中心波長測定ステップで測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる。この移動によって、多少の誤差はあるものの中心波長が波長λgの近辺となった大まかな補正としての暫定補正が終了する。この後は位置についての微細な補正が実行されることになる。この補正では、まず暫定補正によって定められた位置を基準として、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって、チャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００６９】
この請求項１９記載の発明では、暫定補正ステップで波長λgの近辺の相対位置を探り当てるので、第１の波長λ1および第２の波長λ2による測定を行う際に位置の移動（スキャン）の最小範囲をある程度正確に判別することができ、無駄なスキャンを行うことがない。また、スラブ導波路は光学部品としてのチャネル導波路アレイに接続されたアレイ導波路回折格子等に具体化している。
【００７０】
請求項２０記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して対称となる第１の波長λ1の光と第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定ステップと、（ハ）この波長時分割測定ステップで測定した各波長λs、λlによる光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較手段と、（ニ）このレベル比較手段の比較結果が一致する位置で入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップとを波長補正方法に具備させる。
【００７１】
すなわち請求項２０記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0を測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００７２】
位置関係を変えていけば中心波長がこれに伴って変化するので、補正の目標とする中心波長λgが中点となるように第１の波長λ1と第２の波長λ2の光を交互に繰り返し出力させ、この関係で各位置の出力レベルの測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００７３】
請求項２１記載の発明では、請求項１７〜請求項２０いずれかに記載の波長補正方法で、第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴としている。
【００７４】
第１の波長λ1と第２の波長λ2の値はこれ以外であってもよいが、両者の間隔をスペクトラムの全半値幅とすることで、中心波長の定義に沿った位置の補正が可能になる。
【００７５】
請求項２２記載の発明では、請求項１９記載の波長補正方法で、チャネル導波路アレイの出力側に他のスラブ導波路を介して複数本の出力導波路が接続されており、最終補正ステップでは、これら複数本の出力導波路から出力されるそれぞれの光について位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴としている。
【００７６】
すなわち請求項２２記載の発明では、チャネル導波路アレイの出力側に配置された複数の出力導波路のそれぞれついて得られた補正結果の平均をとる等によって中心波長λgの補正を正確に行うことにしている。
【００７７】
請求項２３記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、（ニ）第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、（ホ）この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００７８】
すなわち請求項２３記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0を測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００７９】
位置関係を変えていけば中心波長がこれに伴って変化するので、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００８０】
請求項２４記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、（ロ）この中心波長測定手段によって得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正手段と、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、（ニ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、（ホ）第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、（ヘ）この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００８１】
すなわち請求項２４記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0をまず測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００８２】
そして暫定補正手段で、中心波長測定手段で測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる。この移動によって、多少の誤差はあるものの中心波長が波長λgの近辺となった大まかな補正としての暫定補正が終了する。この後は位置についての微細な補正が実行されることになる。この補正では、まず暫定補正によって定められた位置を基準として、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって、出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００８３】
この請求項２４記載の発明では、暫定補正手段で波長λgの近辺の相対位置を探り当てるので、第１の波長λ1および第２の波長λ2による測定を行う際に位置の移動（スキャン）の最小範囲をある程度正確に判別することができ、無駄なスキャンを行うことがない。
【００８４】
請求項２５記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに入力側導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から比較的広帯域の光を入射し、スラブ導波路に対して前記入力側導波路と反対側に接続されたチャネル導波路アレイを経て出力される光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、（ロ）この中心波長測定手段によって得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正手段と、（ハ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対するチャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、（ニ）入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対するチャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、（ホ）第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、（ヘ）この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００８５】
すなわち請求項２５記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに入力側導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0をまず測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００８６】
そして暫定補正手段で、中心波長測定手段で測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで２つの導波路構成部分の少なくとも一方を光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる。この移動によって、多少の誤差はあるものの中心波長が波長λgの近辺となった大まかな補正としての暫定補正が終了する。この後は位置についての微細な補正が実行されることになる。この補正では、まず暫定補正によって定められた位置を基準として、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって、チャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する。同様に、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００８７】
この請求項２５記載の発明では、暫定補正手段で波長λgの近辺の相対位置を探り当てるので、第１の波長λ1および第２の波長λ2による測定を行う際に位置の移動（スキャン）の最小範囲をある程度正確に判別することができ、無駄なスキャンを行うことがない。また、スラブ導波路は光学部品としてのチャネル導波路アレイに接続されたアレイ導波路回折格子等に具体化している。
【００８８】
請求項２６記載の発明では、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、（ロ）入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して対称となる第１の波長λ1の光と第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定手段と、（ハ）この波長時分割測定手段で測定した各波長λs、λlによる光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較手段と、（ニ）このレベル比較手段の比較結果が一致する位置で入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正手段とを波長補正装置に具備させる。
【００８９】
すなわち請求項２６記載の発明では、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、この位置関係で出力される光の中心波長λ0を測定する。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００９０】
位置関係を変えていけば中心波長がこれに伴って変化するので、補正の目標とする中心波長λgが中点となるように第１の波長λ1と第２の波長λ2の光を交互に繰り返し出力させ、この関係で各位置の出力レベルの測定を行う。波長λgをピークとする波形がこの波長λgを中心として短波長側と長波長側で対称の形を有していると仮定すると、第１の波長λ1と第２の波長λ2の測定したレベルが等しくなるはずである。そこで、第１の波長使用時測定手段で得られた光のレベルと第２の波長使用時測定手段で得られた光のレベルが一致する相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしている。
【００９１】
請求項２７記載の発明では、請求項２３〜請求項２６のいずれかに記載の波長補正装置で、第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴としている。
【００９２】
第１の波長λ1と第２の波長λ2の値はこれ以外であってもよいが、両者の間隔をスペクトラムの全半値幅とすることで、中心波長の定義に沿った位置の補正が可能になる。
【００９３】
請求項２８記載の発明では、請求項２５に記載の波長補正装置で、チャネル導波路アレイの出力側に他のスラブ導波路を介して複数本の出力導波路が接続されており、最終補正手段は、これら複数本の出力導波路から出力されるそれぞれの光について位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴としている。
【００９４】
すなわち請求項２８記載の発明では、チャネル導波路アレイの出力側に配置された複数の出力導波路のそれぞれついて得られた補正結果の平均をとる等によって中心波長λgの補正を正確に行うことにしている。
【００９５】
請求項２９記載の発明のアレイ導波路回折格子は、（イ）光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなっており、第１の測定時に、入射側に配置された導波路構成部分は目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射されたとき、光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定したものであり、（ロ）更に第２の測定時に、入射側に配置された導波路構成部分から中心波長λgを中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射したとき、光軸と交叉する方向に２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定したものであって、（ハ）第１の測定時に得られた光のレベルと第２の測定時に得られた光のレベルが一致する相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置が固定されて中心波長λgの補正が行われていることを特徴としている。
【００９６】
すなわち請求項２９記載の発明のアレイ導波路回折格子は、２つの導波路構成部分が、光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、これに対して第１の測定と第２の測定が行われて、これらについて測定時に得られた光のレベルが一致する相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置が固定されて中心波長λgの補正が行われている。ここで、２つの導波路構成部分は、１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを２つに切断したものであってもよいし、別々に製造されたものをそれらの端面同士で対向配置するようにしたものであってもよい。また、これらの端面は１つのスラブ導波路を２つに分けた形のものであってもよいし、スラブ導波路とこれに接続された導波路部分の際の部分を境として２つに分けた形のものであってもよい。
【００９７】
請求項３０記載の発明では、請求項２９記載のアレイ導波路回折格子で、スラブ導波路とこれ以外のスラブ導波路がチャネル導波路アレイを介して接続されていることを特徴としている。
【００９８】
すなわち請求項３０記載の発明では、２つのスラブ導波路をチャネル導波路アレイで接続した構成までアレイ導波路回折格子を具体化している。
【００９９】
請求項３１記載の発明では、（イ）入力導波路と、（ロ）この入力導波路に一端を接続され入力する波長多重光を奇数番目の波長の光と偶数番目の波長の光に分離する２本の光導波路と、（ハ）これらの光導波路の少なくとも一方に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光が入射したときのこの光導波路から出射される光の強さの測定とこの特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときのその光導波路から出射される光の強さの測定の測定結果が一致するようにその光導波路の特性を変更する特性補正手段とをインタリーバに具備させる。
【０１００】
すなわち請求項３１記載の発明では、２本の光導波路の少なくとも１本に対して、所定の関係にある２つの波長λ1、λ2の光を使用した測定によって特性を補正するような特性補正手段をインタリーバが備えていることを特徴としている。
【０１０１】
請求項３２記載の発明では、請求項３１記載のインタリーバで、特性補正手段は光導波路を通電によって加熱する抵抗であることを特徴としている。
【０１０２】
すなわち請求項３２記載の発明では、特性補正手段が抵抗であって、通電による発熱で光導波路の特性を補正することにしている。
【０１０３】
請求項３３記載の発明のインタリーバは、（イ）入力導波路と、（ロ）この入力導波路に一端を接続され入力する波長多重光を奇数番目の波長の光と偶数番目の波長の光に分離する２本の光導波路とを備え、（ハ）これら２本の光導波路の少なくとも一方は加熱あるいは紫外線の照射によってその波長選択特性を変化させる材料で構成されており、特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光が入力導波路を介してこの光導波路に入射したときのこれから出射される光の強さの測定とこの特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときのこれから出射される光の強さの測定との測定結果が一致するまで加熱あるいは紫外線の照射が行われることでその特性が補正されていることを特徴としている。
【０１０４】
すなわち請求項３３記載の発明では、インタリーバの入力導波路に接続された２本の光導波路の少なくとも１本は加熱あるいは紫外線の照射によってその波長選択特性を変化させる材料で構成されており、かつ所定の関係にある２つの波長λ1、λ2の光を使用した測定によって特性を補正していることを特徴としている。
【０１０５】
【発明の実施の形態】
【０１０６】
【実施例】
以下実施例につき本発明を詳細に説明する。
【０１０７】
＜第１の実施例＞
【０１０８】
図１は本発明の第１の実施例における波長補正装置の構成を表わしたものである。この波長補正装置５１は、可変波長光源（ＴＬＳ）５２を備えている。可変波長光源５２から出力される所定の波長λの光５３は偏波スクランブラ（ＳＣＲ）５４に入力されるようになっている。偏波スクランブラ５４は、偏光を有するレーザ光を無偏光にする。一般的にＡＷＧは偏光依存性を有するため、レーザが偏光を有するとその状態によって、測定されるＡＷＧの特性が変化する。このため、偏光状態を平均化し、レーザ光の偏光に依存しない安定した測定を可能にさせるために偏波スクランブラが用いられる。偏波スクランブラ５４から出力された波長λの光５５は光カプラ５６に入力されるようになっている。光カプラ５６は所定の比率で２本の光ファイバに光を分岐する光部品である。光カプラ５６によって分岐された一方の光５７Ａは波長計（ＯＷＭ）５８に入力されてその波長が測定されるようになっている。
【０１０９】
光カプラ５６によって分岐された他方の光５７Ｂは光コネクタ５９を介してアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）６１の入力導波路１２（図１７参照）に入力されるようになっている。アレイ導波路回折格子６１は、その入力側スラブ導波路が図１７でも示したように第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂに分かれている。アレイ導波路回折格子６１の第１〜第Ｎの出力導波路１３1〜１３Nは、それぞれ対応して設けられた第１〜第Ｎの光コネクタ６２1〜６２Nを介して第１〜第Ｎの光パワーメータ（ＯＰＭ）６３1〜６３Nに接続されている。ここで数値Ｎはアレイ導波路回折格子６１の出力導波路１３1〜１３Nのチャネル数を表わしている。
【０１１０】
本実施例でアレイ導波路回折格子６１の第１の入力側導波路構成部分１５Ａは図示しない不動部材上に固定されており、第２の入力側導波路構成部分１５Ｂは移動機構６５によって第１の入力側導波路構成部分１５Ａに対してこれらの切断方向６６に移動自在となっている。制御部６７は可変波長光源５２の出力する光５３の波長λを制御する波長制御信号６８を出力すると共に、波長計５８から波長モニタ信号６９の供給を受けて可変波長光源５２の出力する光５３のモニタを行うようになっている。また、制御部６７は移動制御信号７１によって移動機構６５の移動の制御を行うと共に、第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nからそれぞれパワー検出信号７２1〜７２Nの供給を時間的に並行して入力するようになっている。
【０１１１】
図２は、このような構成の波長補正装置による測定の手順を表わしたものである。本実施例では、スペクトラムの全半値幅（ＦＷＨＭ）Ｗのアレイ導波路回折格子６１をスラブ調芯によって、目標とする中心波長λgに補正することにする。まず、ステップＳ１０１では、入力側スラブ導波路１５（図１７参照）の第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対位置を初期位置にセットする（ステップＳ１０１）。両者の位置関係は任意である。
【０１１２】
次にこの初期位置の状態でアレイ導波路回折格子６１から出力される光の中心波長λ0を測定する（ステップＳ１０２）。本実施例では図１に示したように光コネクタ５９を介してアレイ導波路回折格子６１に可変波長光源５２が接続されている。したがって、この可変波長光源５２および他の光コネクタ６２を介して接続された第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nを用いて測定を行う。ただし、中心波長λ0の測定はこれに限るものではない。すでに図１７で説明したようにＡＳＥ光源３１を使用して、あるいは他の手法を使用して中心波長λ0を測定してもよい。
【０１１３】
可変波長光源５２および第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nを用いて測定を行う場合には、可変波長光源５２を所定の波長範囲で連続的に変化させ、それぞれについて光パワーメータ６３で光の透過量を求める。次に光の透過量のピークを求めて、そのピーク値から３ｄＢ（デシベル）だけ出力が低下した位置の波長から中心波長λ0を測定する。
【０１１４】
図３は、中心波長λ0の測定と目標とする波長λgとの関係を表わしたものである。ここで曲線８１は波長λの変化に基づく第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３N（図１参照）による光の透過量を表わしている。光の透過量のピークとなる波長は曲線８１そのものから特定しづらい。そこで、ピーク値Ｐから光の透過量が３ｄＢ低下した位置の波長λ1、λ2を測定し、これらの平均値を中心波長λ0とするようになっている。
【０１１５】
もっとも初期位置は暫定的な測定位置であり、十分な位置精度が必要となるものではない。そこで、第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nのすべてを用いて測定を行う必要はなく、そのうちの代表的な１つを使用して簡易に求めるものであってもよい。同様に、ピーク値Ｐから３ｄＢだけ光の透過量が低下した位置に限定して測定を行って中心波長λ0を求める必要もない。
【０１１６】
ところで、求められた初期位置での中心波長λ0は目標とする波長λgと相違するのが通常である。そこで、両者の波長の差Δλを次の（２）式より求め、すでに測定した各種の波長の差Δλに対するシフト量についてのデータを使用して、中心波長が波長λgとなるべきスラブ変位量を算出する（図２ステップＳ１０３）。
【０１１７】
Δλ＝｜（λ0−λg）｜ ……（２）
【０１１８】
そしてこのスラブ変位量だけ第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を移動させる（ステップＳ１０４）。なお、（２）式ではスラブ変位量として絶対値を求めたが、単純に一方から他方を差し引くことで、その値の正負に応じて移動方向を定めることができる。
【０１１９】
このようにして第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を移動させることで、移動後の位置関係で中心波長はほぼ波長λgと一致する。これによって、１段階目の補正作業が終了する。次に精度の高い位置補正を行うための２段階目の補正作業に移る。
【０１２０】
まず、図１に示した可変波長光源５２の出力する光５３の波長を、次の（３）式に示す波長λsに設定する。そして、この波長λsの光５３が入力導波路１２から第１の入力側導波路構成部分１５Ａに入射している状態で、第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を所定の範囲内で移動させ、このときの光の透過量の変化を第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nで出力導波路１３1〜１３Nの全チャネルについて時間的に並行して測定する（ステップＳ１０５）。
【０１２１】
λs＝λg−（Ｗ／２） ……（３）
【０１２２】
ここで値Ｗはスペクトラムの全半値幅を示している。
【０１２３】
次に、可変波長光源５２の出力する光５３の波長を、次の（４）式に示す波長λlに設定する。そして、この波長λlの光５３が入力導波路１２から第１の入力側導波路構成部分１５Ａに入射している状態で、第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置を所定の範囲内で移動させ、このときの光の透過量の変化を第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nで出力導波路１３1〜１３Nの全チャネルについて時間的に並行して測定する（ステップＳ１０６）。
【０１２４】
λl＝λg＋（Ｗ／２） ……（４）
【０１２５】
図４は、以上説明した３つの波長λg、λs、λlの関係を表わしたものである。この図で縦軸は光の透過量を表わしており、横軸は波長λを表わしている。光の透過量のピークから３ｄＢ低下した位置の波長λが波長λsおよび波長λlであり、これらの間隔がスペクトラム８２の全半値幅Ｗとなる。中心波長λ0の定義を波長λsと波長λlの平均の波長とすると、波長λsと波長λlで測定した際の値が等しくなるとき、中心波長λ0と波長λgが一致する。また、スペクトラム８２が透過量のピークとなる波長を中心に対称形になっているとき、中心波長λ0は、透過量がピークとなる波長と一致する。したがって、この場合には波長λsと波長λlで測定した際の値が等しくなるとき、波長λ0と波長λgおよび透過量がピークとなる波長が一致する。
【０１２６】
図５は、図２のステップＳ１０５とステップＳ１０６で行った波長λsと波長λlについてのモニタ結果を表わしたものである。この図で縦軸は図１に示した第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nのうちの注目した１つ（以下、光パワーメータ６３Xという。）における光の透過量すなわち受信した光量を表わしており、横軸は同じく図１に示した可変波長光源５２が波長λsと波長λlにそれぞれ設定されたときのスラブ移動量を示している。波長λsについての特性を示した特性線８４と波長λlについての特性を示した特性線８５の交叉する位置８６が波長λsと波長λlの光量が等しい位置であり、この波長が目標とする波長λgとなる。したがって、その光パワーメータ６３Xについて限定して考察すれば、２つのモニタ結果の特性線８４、８５が交叉する位置８６に第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの相対的な位置をシフトさせれば、この位置で目標とする中心波長λgに補正されることになる（図２ステップＳ１０７）。
【０１２７】
図６は本実施例で測定に使用された２つの波長λs、λlの全体的な波形を示したものである。この図で縦軸は光量であり、横軸は図１に示した移動機構６５による切断方向６６の移動量あるいは移動位置を示している。この図で短波長側の第１の波長λsを示した特性線８４と長波長側の第２の波長λlを示した特性線８５の交叉する位置８６を中心とした破線で示した範囲を拡大した図が先の図５となる。２つの特性線８４、８５の交叉する点を単純に求めると、位置８６以外にも交叉する点が存在する。そこで、ステップＳ１０１で初期位置を定めて交叉する点を特定するようにしている。
【０１２８】
図７は以上説明した制御を行う制御部およびその周辺の構成を具体的に表わしたものである。図１にも示した制御部６７は通常のパーソナルコンピュータとほぼ同様の構成となっており、ＣＰＵ（中央処理装置）８７を備えている。ＣＰＵ８７はバス８８を通じて各種の回路部品と接続されている。このうちプログラム格納部８９はこの制御部６７の各種制御を実行するためのプログラムを格納した記憶部である。プログラム格納部８９は、通常の場合、ＲＯＭ（リード・オンリ・メモリ）あるいはハードディスク等の記憶媒体によって構成される。作業用メモリ９０は、ＣＰＵ８７が各種の制御を行う場合に一時的にデータを格納するための記憶領域である。作業用メモリ９０は通常の場合、ＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）あるいはハードディスク等の記憶媒体によって構成される。テーブル格納部９１は各種のテーブルあるいは固定的なデータを格納する記憶領域である。テーブル格納部９１は通常の場合、ハードディスクや電池によってバックアップされたＲＡＭのような不揮発性の記憶媒体によって構成されている。操作入力部９２は図示しないキーボードやマウスのようなデータ入力用の機器から構成されている。表示部９３はＣＲＴあるいは液晶ディスプレイのようなデータを表示するための装置で構成されている。
【０１２９】
データ入出力部９４は、波長補正装置５１（図１）を構成する各部とデータの入出力を行うインタフェイス回路である。このデータ入出力部９４は可変波長光源５２の出力する光５３の波長λを制御する波長制御信号６８を送出するようになっており、また、波長計５８から波長モニタ信号６９の供給を受けるようになっている。更に、データ入出力部９４は第１〜第Ｎの光パワーメータ（ＯＰＭ）６３1〜６３Nからそれぞれのパワー検出信号７２1〜７２Nの供給を受けるようになっている。移動機構制御部９５は、移動制御信号７１によって移動機構６５の制御を行うようになっている。
【０１３０】
ここで、移動機構６５は、第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを第１の入力側導波路構成部分１５Ａ（図１参照）に対して移動させるためのステッピングモータ６５Ａと、このステッピングモータ６５Ａを駆動するためのステッピングモータ駆動回路６５Ｂと、第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの第１の入力側導波路構成部分１５Ａに対する位置を検出するための位置検出センサ６５Ｃを備えている。位置検出センサ６５Ｃは単数であってもよいし、複数であってもよい。本実施例では第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを第１の入力側導波路構成部分１５Ａに対して所定の初期位置にセットするために第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの双方にマーク（図示せず）が付されており、これらのマークを位置検出センサ６５Ｃで一致させることで初期位置を設定するようになっている。初期位置設定後の移動に伴う位置検出は、ステッピングモータ６５Ａに供給される駆動パルスの数によって行うようになっている。
【０１３１】
図８および図９は、制御部による波長補正制御の流れの概要を表わしたものである。まず図７に示した移動機構制御部９５は、この図に示した位置検出センサ６５Ｃの検出出力を監視しながらステッピングモータ駆動回路６５Ｂに制御信号を送り、マークの検出によって第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを初期位置にセットする（ステップＳ２０１）。この状態でＣＰＵ８７は第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nから出力されるパワー検出信号７２1〜７２Nをデータ入出力部９４から受け取ることで、アレイ導波路回折格子６１の出力導波路１３1〜１３Nの全部についての中心波長λ0の測定を行う（ステップＳ２０２）。
【０１３２】
中心波長λ0の測定が終了したら、その平均値（あるいは任意の光パワーメータ６３Xに代表される１つの値）と目標とする波長λgとを基にして、ＣＰＵ８７はテーブル格納部９１に予め格納している対応テーブル（図示せず）からスラブ変位量を読み出す（ステップＳ２０３）。なお、対応テーブルは、実際に測定した値等を用いて各種の中心波長λ0と波長λgの組み合わせに対してスラブ変位量を対応づけたものである。
【０１３３】
スラブ変位量が求められたら、移動機構制御部９５はこのスラブ変位量に相当する移動量となるように第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを移動させる（ステップＳ２０４）。この移動後の位置を基準位置と呼ぶことにする。すでに説明したように基準位置は最終的に設定される位置に比較的近い位置となる。第２の入力側導波路構成部分１５Ｂが基準位置にセットされたら、ＣＰＵ８７は波長制御信号６８によって可変波長光源５２の出力する光５３を波長λsに設定する（ステップＳ２０５）。可変波長光源５２から出力される光５３の波長λの確認および波長λsへの制御は波長計５８を用いて行うことができる。
【０１３４】
短波長側の波長λsへの設定が行われたら、移動機構制御部９５は、移動制御信号７１によって移動機構６５を制御し、基準位置を中心にスペクトラムの全半値幅Ｗ以上の波長幅に相当する距離で第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを移動させる。そして、この移動に伴うステッピングモータ６５Ａの駆動パルスの数としての位置情報と対応付けながら第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nから得られた全チャネルのパワー検出信号７２を作業用メモリ９０に格納する（ステップＳ２０６）。第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの位置のスキャン動作は基準位置を中心にたとえば所定量だけ短い波長から同じく所定量だけ長い波長間で行われるので、ステップＳ２０４で基準位置に移動する制御を行う代わりにスキャン開始位置にいきなり移動してからスキャンを開始するようにすることもできる。
【０１３５】
以上のようにして短波長側の波長λsについての測定が終了したら、今度は可変波長光源５２の出力する光５３が長波長側の波長λlに設定される（ステップＳ２０７）。そして同様に、移動機構制御部９５は、移動制御信号７１によって移動機構６５を制御し、基準位置を中心にスペクトラムの全半値幅Ｗ以上の波長幅に相当する距離で第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを移動させる。そして、この移動に伴うステッピングモータ６５Ａの駆動パルスの数としての位置情報と対応付けながら第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nから得られた全チャネルのパワー検出信号７２を作業用メモリ９０に格納する（ステップＳ２０８）。
【０１３６】
ただし、このステップＳ２０８のスキャンはステップＳ２０６で行われたと同一の幅で行う必要はない。図５で説明したように波長λsと波長λlの両者の光量が等しい移動位置を求めればよいので、装置によってはその値が出力導波路１３1〜１３Nの全チャネルで確定するか否かを逐次監視して、全チャネルで確定した時点でスキャンを終了させることができる。
【０１３７】
このようにして波長λlについての測定が終了したら、ＣＰＵ８７は第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nでから得られた全チャネルの測定データを作業用メモリ９０から読み出す（図９ステップＳ２０９）。そして、それぞれの出力導波路１３1〜１３Nについて波長λsと波長λlの両者の光量が等しくなる移動位置を算出する（ステップＳ２１０）。ＣＰＵ８７はこれらのデータから出力導波路１３1〜１３N全体についての移動位置を算出する（ステップＳ２１１）。この算出は、各チャネルについての算出結果の単純な平均値であってもよいし、出力導波路１３1〜１３Nの利用度から重み付けを行って基準位置からの最適な移動位置が算出されてもよい。また、バラツキのある測定結果が混入していた場合は、これらを除いた後で基準位置からの最適な移動位置を算出することも可能である。装置によってはこれとは反対に、最悪の値を示しているチャネルで所望の特性が得られるように移動位置を調整することも有効である。
【０１３８】
なお、本実施例では出力導波路１３1〜１３Nの全チャネルに対して測定が行われるので、これらの測定結果をチェックすることで測定の対象となったアレイ導波路回折格子６１の特性の良否を判別することも可能である。したがって、あるチャネルについての出力導波路１３1〜１３Nの移動位置の算出結果が所定の許容範囲を越えたり、測定が不良とされたアレイ導波路回折格子６１については、これ以降の処理を継続せずに、エラー表示を行って製品化の対象から除外するようにしてもよい。
【０１３９】
ステップＳ２１１で移動位置が求められたら、移動機構制御部９５はＣＰＵ８７の指示に基づいて基準位置から算出された位置まで第２の入力側導波路構成部分１５Ｂを移動させる（ステップＳ２１２）。これらの移動制御はステッピングモータ６５Ａに与える駆動パルスの数を基にして行うが、移動機構の減速比を適切に設定しておくことにより、十分な精度で位置決めが可能である。位置決めが終了したら第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの位置関係を固定する（ステップＳ２１３）。装置によってはこれらを接着剤で貼り合わせる工程がこの部分で実施されてもよいし、テープ等を使用して仮の固定が実施されるものであってもよい。
【０１４０】
なお、以上説明した第１の実施例では入力側スラブ導波路を光軸に対してほぼ直交する方向に切断した第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの位置関係を調整することでアレイ導波路回折格子の中心波長の補正を行うことにしたが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、入力側スラブ導波路の切断の角度は光軸に対して直交方向に限る必要はなく、任意の角度で切断することが可能である。また、切断するスラブ導波路はチャネル導波路アレイに接続された入力側の導波路である必要はない。スラブ導波路を組み込んだ光学部品でスラブ導波路の接合される位置の調整によって光学的な特性が変化するものであればよい。
【０１４１】
また第１の実施例では可変波長光源を使用してスラブ導波路の接合位置を求めることにしたが、２つの特定波長の光を個別に出力するものであってもよい。更に実施例では光パワーメータ６３を出力導波路１３1〜１３Nの全チャネル数だけ用意してこれら全チャネルの処理を一度に行ったが、これよりも少ない数の光パワーメータ６３を用意してチャネルを切り替えながら測定を繰り返すようにしてもよい。
【０１４２】
更に本実施例では図８のステップＳ２０６とステップＳ２０８で短波長側と長波長側にそれぞれ波長を設定して測定を行ったが、２種類の光を時分割で入力しながらスラブ導波路の接合すべき位置を移動させて測定を行うようにしてもよい。これにより、１回のスキャン（移動）で測定を行うことが可能になる。これを次に変形例として簡単に説明する。
【０１４３】
＜第１の実施例の変形例＞
【０１４４】
図１０は第１の実施例の変形例による波長補正装置の構成を表わしたものである。図１０で図１と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。
【０１４５】
この変形例の波長補正装置３５１は、第１の実施例で説明した補正の目標となる波長λgを中心とした短波長側の第１の波長λsと長波長側の第２の波長λlの光を２波長光源３５２から繰り返し時分割で出射するようになっている。２波長光源３５２は２つの波長λs、λlを交互に出射するようなものであってもよいし、それぞれの波長λs、λlを別々に出射する光源とこれらを択一的に選択する選択手段を備えたようなものであってもよい。
【０１４６】
２波長光源３５２から出力される光３５３は、偏波スクランブラ（ＳＣＲ）５４に入力される。偏波スクランブラ５４から出力された周期的に切り替えられた波長λsと波長λlの光３５５は、光コネクタ５９を介してアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）６１の入力導波路１２（図１７参照）に入力されるようになっている。アレイ導波路回折格子６１は、その入力側スラブ導波路が図１７でも示したように第１の入力側導波路構成部分１５Ａと第２の入力側導波路構成部分１５Ｂに分かれている。アレイ導波路回折格子６１の第１〜第Ｎの出力導波路１３1〜１３Nは、それぞれ対応して設けられた第１〜第Ｎの光コネクタ６２1〜６２Nを介して第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nに接続されている。
【０１４７】
この変形例でもアレイ導波路回折格子６１の第１の入力側導波路構成部分１５Ａは図示しない不動部材上に固定されており、第２の入力側導波路構成部分１５Ｂは移動機構６５によって第１の入力側導波路構成部分１５Ａに対してこれらの切断方向６６に移動自在となっている。制御部３６７は２波長光源３５２が交互に時分割で出力する波長λsと波長λlの光を入力するようになっている。なお、この変形例の波長補正装置３５１では、中心波長λ0の測定を先の実施例と同一の手法あるいはこれと異なる手法で実施したアレイ導波路回折格子６１に対して補正作業を行うことにしている。同一ロットの製品について補正を行うような場合には、中心波長λ0の測定を省略して、先の製品の初期位置と同一位置を初期位置に設定するようにしてもよい。
【０１４８】
図１１は第１の実施例の図５に対応するもので、目標とする波長λgに対するスラブ移動量を示したものである。ここでは図示の都合上、第１の入力側導波路構成部分１５Ａに対する第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの移動量を大きくしているが、実際には波長λsと波長λlの切り替えの周期は第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの移動速度に対して十分短いものとなっている。
【０１４９】
たとえば相対位置Ｐ1で図１０に示した２波長光源３５２が短波長側の第１の波長λsを出力したとすると、その位置（スラブ変位量）での特性線８４と一致するレベルの光量ｌ1が光パワーメータ６３によって測定される。次にこれから僅かに位置をずらした相対位置Ｐ2で２波長光源３５２が長波長側の第２の波長λlを出力したとすると、その位置での特性線８５と一致するレベルの光量ｌ2が光パワーメータ６３によって測定される。この図で両光量ｌ1、ｌ2が一致しないのは、その相対位置が目標とする波長λgに一致しないからである。
【０１５０】
これに対して、波長λsについての特性を示した特性線８４と波長λlについての特性を示した特性線８５の交叉する位置８６（相対位置Ｐx）では、２波長光源３５２が短波長側の第１の波長λsを出力しても長波長側の第２の波長λlを出力しても光パワーメータ６３の測定する光量は等しくなる。これよりも更に第２の入力側導波路構成部分１５Ｂが移動すると、再び両者の光量に差が生じてくる。したがって、この変形例では制御部３６７が短波長側の第１の波長λsによる光量と長波長側の第２の波長λlによる光量を比較し、両者が一致する箇所を波長λgに一致する位置とすることにしている。
【０１５１】
このような変形例によれば、１回のスキャンで２つの波長λs、λlによる測定が終了する。しかも、第２の入力側導波路構成部分１５Ｂの移動（第１の入力側導波路構成部分１５Ａの移動であってもよい。）に伴って２つの波長λs、λlによる光量の差が拡大するか縮小するかをチェックすることで、両波長の中点に位置する目標とする波長λgに近づいているか遠ざかっているかを判別することができる。したがって、先の実施例のステップＳ１０２で示した光の中心波長λ0の測定あるいは初期位置の設定をある程度大まかに行うことができる。また、２つの波長λs、λlによる光量の差が大きいときには測定を大まかに行って、差が小さくなった時点で精密な測定を行うといった効率的な測定方法を採用することも可能になる。したがって、測定時間の一層の短縮や測定精度の向上を図ることができる。
【０１５２】
更にこの変形例では固定した２つの波長λs、λlを出力する２波長光源３５２を使用するので、第１の実施例の波長計（ＯＷＭ）５８が不要である。波長のフィードバックあるいは測定が不要となるからである。
【０１５３】
＜第２の実施例＞
【０１５４】
伝送するデータの大容量化と共に、光ファイバ通信システムで伝送容量の拡大が望まれており、高密度波長分割多重通信方式（Dense Wavelength Division Multiplexing：DWDM）が注目されている。ところが、通信システムを構築する際に、すべての光部品を高度な波長多重を前提とした所定の規格に適合させようとすると、部品によっては大幅なコストアップを招いたり、歩留りが悪くなるといった問題が生じる場合がある。このような問題を解消するためにインタリーバと呼ばれる部品が活用されている。
【０１５５】
図１２はインタリーバとこれを使用した信号処理装置の要部を表わしたものである。インタリーバ４０１は入力導波路４０２に入力する信号光４０３を２つの出力導波路４０４、４０５に波長ごとに振り分けて出力する光学部品である。たとえば入力導波路４０２から波長λ1、λ2、λ3、λ4……の信号光４０３が入力されたとすると、第１の出力導波路４０４からは奇数番目の波長λ1、λ3……の信号光４０６が出力される。また、第２の出力導波路４０５からは偶数番目の波長λ2、λ4……の信号光４０７が出力される。したがって、たとえばこれら分離された後の信号光４０６、４０７は多重された各信号光の波長の間隔が２倍に広がることになる。このため、後段に多重光を波長ごとに分離する光デマルチプレクサ（ＤＭＵＸ）４０８、４０９を配置するような場合には、これらの光学部品として比較的安価なものを採用することができる。
【０１５６】
ところで、インタリーバ４０１はその入力導波路４０２と第１および第２の出力導波路４０４、４０５の間に３ｄＢ（デシベル）カプラ４１１、４１２を配置している。そして、これらの３ｄＢカプラ４１１、４１２の間に光路長の異なる第１および第２の光導波路４１３、４１４を配置することで、奇数番目と偶数番目の波長の信号成分を分離することにしている。使用する信号光４０３に応じて波長の分離が良好に行われるようにするために、第１および第２の光導波路４１３、４１４の途中には第１の加熱板４１５あるいは第２の加熱板４１６が配置されている。これらの加熱板４１５、４１６を用いて熱パルスを適宜印加することでインタリーバ４０１の波長特性を変更することが可能になる。本発明の第２の実施例では、このインタリーバ４０１の効率的な波長補正を行うようにしている。
【０１５７】
図１３は、このようなインタリーバの波長を補正する波長補正装置の構成を表わしたものである。図１３で図１と同一部分には同一の符号を付しており、波長補正装置５１Ａの説明を適宜省略する。可変多重波長光源５２Ａの出力する多重光５３Ａを入力する光コネクタ５９は、入力導波路１２を介してインタリーバ４０１の入力導波路４０２と接続されている。インタリーバ４０１の２つの出力導波路４０４、４０５は、光コネクタ４３１、４３２を介してスイッチ回路４３３に接続されており、これらの一方が選択されて光デマルチプレクサ（ＤＭＵＸ）４３４に入力されるようになっている。光デマルチプレクサ４３４は図１２に示した光デマルチプレクサ４０８、４０９と同様なもので、入力された多重光を波長ごとに分離するようになっている。
【０１５８】
光デマルチプレクサ４３４の出力側にはそれぞれの波長成分の出力光量を個別に測定するための光パワーメータ４３６1〜４３６Nが配置されている。これらの光パワーメータ４３６1〜４３６Nの出力するパワー検出信号７２1〜７２Nは制御部６７Ａに時間的に並行して入力されるようになっている。制御部６７Ａは可変多重波長光源５２Ａの出力を制御する。制御部６７Ａはこの他、加熱制御部４３８の制御を行うようになっている。加熱制御部４３８は加熱板４１５、４１６を通電制御することで第１または第２の光導波路４１３、４１４の特性を変化させるようになっている。波長補正装置５１Ａによっては図１２に示した３ｄＢカプラ４１１、４１２に対する加熱制御も併せて行えるようになっている。なお、これらの加熱制御の他に紫外線を照射して特性を変化させることもできる。
【０１５９】
このような構成の波長補正装置では、補正を行おうとするインタリーバ４０１を光コネクタ５９、４３１、４３２によって装置内の入射側と出射側にそれぞれ接続する。そして、制御部６７Ａによってスイッチ回路４３３を制御して、２つの出力導波路４０４、４０５のうちの任意の一方を光デマルチプレクサ４３４に接続する。この状態で制御部６７Ａは可変多重波長光源５２Ａの出力する各波長λ1、λ2、λ3、λ4……をそれぞれの目標値よりも所定の波長Δλだけ短波長側にした波長λ1−Δλ、λ2−Δλ、λ3−Δλ、λ4−Δλ……を出力させる。そして、この状態での光パワーメータ４３６1〜４３６Nの出力するパワー検出信号７２1〜７２Nを測定し、続いて目標値よりも所定の波長Δλだけ長波長側にした波長λ1＋Δλ、λ2＋Δλ、λ3＋Δλ、λ4＋Δλ……を出力させる。この場合も同様に光パワーメータ４３６1〜４３６Nの出力するパワー検出信号７２1〜７２Nを測定する。
【０１６０】
そして、これらの２種類の波長に対する光パワーメータ４３６1〜４３６Nの出力が波長ごとに最も近似した値となるように、波長を短波長側と長波長側に交互に切り替えながら加熱制御部４３８を指示して加熱板４１５、４１６の通電制御を行わせる。以上の制御は出力導波路４０４、４０５のうちのスイッチ回路４３３によって初期的に選択された一方の導波路を基準にして行ったが、スイッチ回路４３３で出力導波路４０４、４０５を交互に切り替えて全波長に対して最も適する特性にインタリーバ４０１を調整するようにしてもよいことはもちろんである。
【０１６１】
＜第３の実施例＞
【０１６２】
図１４は本発明の第３の実施例における波長検査装置の構成を表わしたものである。図１４で図１０と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。この波長検査装置５０１は、アレイ導波路回折格子等の検査対象物５０２が仕様に合っているかどうかを検査する装置である。波長検査装置５０１は光コネクタ５９、６２に検査対象物５０２の入力側と出力側をそれぞれ接続するようになっている。検査対象物判別装置５０３はたとえばバーコードリーダによって構成されており、検査対象物５０２の個々の製造番号等の判別を行う。判別結果は制御部６７Ｂに入力されるようになっている。
【０１６３】
制御部６７Ｂは検査対象物５０２を光コネクタ５９および第１〜第Ｎの光コネクタ６２1〜６２Nに接続すると、その製造番号を検査対象物判別装置５０３で自動的に判別し、検査を開始する。検査では２波長光源３５２から基準となる波長に対して短波長側と長波長側にそれぞれ等波長だけずれた２種類の波長を交互に出力させ、それぞれの波長に対する第１〜第Ｎの光パワーメータ６３1〜６３Nの出力レベルが許容範囲内に納まっているかどうかを検査する。検査結果はディスプレイ５０４に図示しない出力導波路ごとに各波長と対応付けて表示され、また製造番号と対応付けて合否等の検査結果がプリンタ５０５にプリントアウトされる。これにより、検査対象物５０２の中心波長が仕様に合っているかとか、特性を短時間に大量に検査することができる。
【０１６４】
なお、以上説明した実施例および変形例では波長補正装置としてアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）の入力側スラブ導波路を２つの入力側導波路構成部分に分けた場合の説明を行ったが、本発明はこれに限るものではない。すなわち、出力側スラブ導波路を２つの出力側導波路構成部分に分けた場合の波長補正ついても本発明を同様に適用することができる。
【０１６５】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１、請求項３〜請求項５、請求項７、請求項８および請求項１７〜請求項１９記載の発明によれば、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定し、また、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行って、両者のレベルが等しくなる相対移動位置を一致位置判別ステップで判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしたので、補正が簡単かつ迅速に実現する。
【０１６６】
また請求項２、請求項６、請求項２０または請求項２６記載の発明によれば、第１の波長λ1と第２の波長λ2を時分割で測定するので、２つの導波路構成部分の相対位置の移動を１回で済ませることができ、更に迅速な補正を実現できる。
【０１６７】
更に請求項４または請求項２２記載の発明によれば、最終補正ステップで、複数本の出力導波路から出力されるそれぞれの光について位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了するので、光学素子全体としての中心波長λgの補正を正確に行うことができる。
【０１６８】
また請求項５または請求項２３〜請求項２５記載の発明によれば、補正の目標とする中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射側に配置された導波路構成部分に入射させ、この状態で２つの導波路構成部分の相対位置を変化させていって出力される光のレベルを測定し、また、波長λgが中点となるように第１の波長λ1に対して反対側に位置する第２の波長λ2の光を出力させ、同様の測定を行って、両者のレベルが等しくなる相対移動位置を一致位置判別手段で判別し、判別した相対移動位置となるように２つの導波路構成部分の光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了することにしたので、補正が簡単かつ迅速に実現する。
【０１６９】
更に請求項８または請求項２８記載の発明によれば、最終補正手段は、複数本の出力導波路から出力されるそれぞれの光について位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了するので、光学素子全体としての中心波長λgの補正を正確に行うことができる。
【０１７０】
また、請求項９あるいは請求項１２記載の発明によれば、所定の波長の光を出力するべき導波路の特性の補正を２種類の波長の光を使用して簡単かつ迅速に行うことができる。
【０１７１】
更に請求項請求項１５あるいは請求項１６記載の発明によれば、特定の導波路が所望の波長特性を有しているかどうかを２種類の波長の光を使用して簡単かつ迅速に行うことができる。
【０１７２】
また、請求項２９あるいは請求項３０記載のアレイ導波路回折格子は、２つの導波路構成部分で構成されたスラブ導波路を備えているので、これらの導波路構成部分を適宜選択して使用することで各種のスラブ導波路を構成することができる。また、１つのウェハから効率的にスラブ導波路を構成することができる。更に所定の関係にある２つの波長λ1、λ2の光を使用した測定によってアレイ導波路回折格子の特性を補正するようにしたので、生産性を向上させ、コストダウンを図ることが可能になる。
【０１７３】
更に請求項３１〜請求項３３記載のインタリーバによれば、所定の関係にある２つの波長λ1、λ2の光を使用した測定によってその特性を補正することができるので、生産性を向上させ、コストダウンを図ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における波長補正装置の構成を表わした概略構成図である。
【図２】本実施例による波長補正装置による測定の手順を表わした流れ図である。
【図３】中心波長λ0の測定と目標とする波長λgとの関係を表わした説明図である。
【図４】３つの波長λg、λs、λlの関係を表わした説明図である。
【図５】図２のステップＳ１０５とステップＳ１０６で行った波長λsと波長λlについてのモニタ結果を表わした特性図である。
【図６】第１の実施例で測定に使用された２つの波長λs、λlの全体的な波形を示した波形図である。
【図７】本実施例で制御部およびその周辺の構成を具体的に表わしたブロック図である。
【図８】制御部による波長補正制御の流れの概要の前半を表わした流れ図である。
【図９】制御部による波長補正制御の流れの概要の後半を表わした流れ図である。
【図１０】本発明の変形例における波長補正装置の構成の概要を表わしたブロック図である。
【図１１】この変形例で目標とする波長λgに対するスラブ移動量を示した説明図である。
【図１２】本発明の第２の実施例で補正を行う対象としてのインタリーバとこれを使用した信号処理装置の要部を表わした概略構成図である。
【図１３】第２の実施例におけるインタリーバの波長を補正する波長補正装置の構成を表わしたブロック図である。
【図１４】本発明の第３の実施例における波長検査装置の構成を表わしたブロック図である。
【図１５】従来のアレイ導波路回折格子の全体的な構成を表わした説明図である。
【図１６】従来提案されたアレイ導波路回折格子の一例を示す斜視図である。
【図１７】図１６に示した提案のアレイ導波路回折格子によるスラブ調芯の様子を表わした説明図である。
【符号の説明】
１５Ａ 第１の入力側導波路構成部分
１５Ｂ 第２の入力側導波路構成部分
５１、３５１ 波長補正装置
５２ 可変波長光源
５８ 波長計
６１ アレイ導波路回折格子
６３ 光パワーメータ
６５ 移動機構
６５Ａ ステッピングモータ
６５Ｂ ステッピングモータ駆動回路
６５Ｃ 位置検出センサ
６６ 切断方向
６７、３６７ 制御部
８４、８５ 特性線
８６ 交叉する位置
８７ ＣＰＵ
８９ プログラム格納部
９１ テーブル格納部
９５ 移動機構制御部
３５２ ２波長光源
Claims (33)
- 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgを中心として前記第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、
前記第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと前記第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、
この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように前記２つの導波路構成部分の前記光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップ
とを具備することを特徴とする波長補正方法。 - 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光とこれと対称となる第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定ステップと、
この波長時分割測定ステップで測定した各波長λ1、λ2による前記光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較ステップと、
このレベル比較ステップの比較結果が一致する位置で前記入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップ
とを具備することを特徴とする波長補正方法。 - 前記第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴とする請求項１または請求項２いずれかに記載の波長補正方法。
- 前記スラブ導波路の出力側にチャネル導波路アレイを介して他のスラブ導波路が接続されており、前記最終補正ステップでは、前記他のスラブ導波路の出力側に接続されたそれぞれの光について前記位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴とする請求項１記載の波長補正方法。
- 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgを中心として前記第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、
前記第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと前記第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、
この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように前記２つの導波路構成部分の前記光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段
とを具備することを特徴とする波長補正装置。 - 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものを構成しており、入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光とこれと対称となる第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定手段と、
この波長時分割測定ステップで測定した各波長λ1、λ2による前記光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較手段と、
このレベル比較手段の比較結果が一致する位置で前記入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正手段
とを具備することを特徴とする波長補正装置。 - 前記第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴とする請求項５または請求項６記載の波長補正装置。
- 前記スラブ導波路の出力側にチャネル導波路アレイを介して他のスラブ導波路が接続されており、前記最終補正手段は、前記他のスラブ導波路の出力側に接続されたそれぞれの光について前記位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴とする請求項５記載の波長補正装置。
- 波長特性を変更可能な特定の導波路に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光が入射したときの前記特定の導波路から出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出ステップと、
前記特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときの前記特定の導波路から出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出ステップと、
これら第１および第２の波長入射時パワー検出手段の検出する光の強さが一致するように前記特定の導波路の特性を変更させる特性変更ステップ
とを具備することを特徴とする波長補正方法。 - 前記特性変更ステップは前記特定の導波路を加熱することによりその特性を変更することを特徴とする請求項９記載の波長補正方法。
- 前記特性変更ステップは前記特定の導波路に紫外線を照射することによりその特性を変更することを特徴とする請求項９記載の波長補正方法。
- 波長特性を変更可能な特定の導波路に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1と前記特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を選択的に入射させる光入射手段と、
この光入射手段によって第１の波長λ1の光が入射したときの前記特定の導波路から出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出手段と、
前記光入射手段によって第２の波長λ2の光が入射したときの前記特定の導波路から出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出手段と、
これら第１および第２の波長入射時パワー検出手段の検出する光の強さが一致するように前記特定の導波路の特性を変更させる特性変更手段
とを具備することを特徴とする波長補正装置。 - 前記特性変更手段は前記特定の導波路を加熱することによりその特性を変更することを特徴とする請求項１２記載の波長補正装置。
- 前記特性変更手段は前記特定の導波路に紫外線を照射することによりその特性を変更することを特徴とする請求項１２記載の波長補正装置。
- 特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を特定の導波路に対して入射させたときのこれから出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出ステップと、
前記特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を前記特定の導波路に対して入射させたときのこれから出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出ステップと、
これら第１および第２の波長入射時パワー検出ステップで検出された光の強さを比較する比較ステップと、
この比較ステップの比較結果から前記特定の導波路で前記特定の波長が光の強さのピークと一致しているか否かを判別する判別ステップ
とを具備することを特徴とする波長検査方法。 - 特定の導波路に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1と前記特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を選択的に入射させる光入射手段と、
この光入射手段によって第１の波長λ1の光が入射したときの前記特定の導波路から出射される光の強さを検出する第１の波長入射時パワー検出手段と、
前記光入射手段によって第２の波長λ2の光が入射したときの前記特定の導波路から出射される光の強さを検出する第２の波長入射時パワー検出手段と、
これら第１および第２の波長入射時パワー検出手段の検出する光の強さを比較する比較手段と、
この比較手段の比較結果から前記特定の導波路で前記特定の波長が光の強さのピークと一致しているか否かを判別する判別手段
とを具備することを特徴とする波長検査装置。 - 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、
前記入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgを中心として前記第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、
前記第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと前記第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、
この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように前記２つの導波路構成部分の前記光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップ
とを具備することを特徴とする波長補正方法。 - 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、
この中心波長測定ステップで測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を前記光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正ステップと、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で前記暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgを中心として前記第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で前記暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、
前記第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと前記第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、
この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように前記２つの導波路構成部分の前記光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップ
とを具備することを特徴とする波長補正方法。 - 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに入力側導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から比較的広帯域の光を入射し、スラブ導波路に対して前記入力側導波路と反対側に接続されたチャネル導波路アレイを経て出力される光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、
この中心波長測定ステップで測定して得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を前記光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正ステップと、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で前記暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記チャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定ステップと、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgを中心として前記第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で前記暫定補正ステップで移動した後の位置を中心として前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記チャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定ステップと、
前記第１の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルと前記第２の波長使用時測定ステップで得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別ステップと、
この一致位置判別ステップで判別した相対移動位置となるように前記２つの導波路構成部分の前記光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップ
とを具備することを特徴とする波長補正方法。 - 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定ステップと、
前記入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して対称となる第１の波長λ1の光と第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定ステップと、
この波長時分割測定ステップで測定した各波長λs、λlによる前記光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較手段と、
このレベル比較手段の比較結果が一致する位置で前記入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正ステップ
とを具備することを特徴とする波長補正方法。 - 前記第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴とする請求項１７〜請求項２０いずれかに記載の波長補正方法。
- 前記チャネル導波路アレイの出力側に他のスラブ導波路を介して複数本の出力導波路が接続されており、前記最終補正ステップでは、これら複数本の出力導波路から出力されるそれぞれの光について前記位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴とする請求項１９に記載の波長補正方法。
- 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgを中心として前記第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、
前記第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと前記第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、
この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように前記２つの導波路構成部分の前記光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段
とを具備することを特徴とする波長補正装置。 - 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、
この中心波長測定手段によって得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を前記光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正手段と、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で前記暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgを中心として前記第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で前記暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、
前記第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと前記第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、
この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように前記２つの導波路構成部分の前記光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段
とを具備することを特徴とする波長補正装置。 - 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに入力側導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から比較的広帯域の光を入射し、スラブ導波路に対して前記入力側導波路と反対側に接続されたチャネル導波路アレイを経て出力される光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、
この中心波長測定手段によって得られた中心波長λ0と補正の目標とする中心波長λgとの差を求め、求められた差から中心波長λgが得られるべき相対位置まで前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を前記光軸と交叉する方向に暫定的に移動させる暫定補正手段と、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射し、この状態で前記暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記チャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第１の波長使用時測定手段と、
前記入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgを中心として前記第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射し、この状態で前記暫定補正手段によって移動した後の位置を中心として前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記チャネル導波路アレイを経て出力される光のレベルを測定する第２の波長使用時測定手段と、
前記第１の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルと前記第２の波長使用時測定手段によって得られた光のレベルが一致する相対移動位置を判別する一致位置判別手段と、
この一致位置判別手段で判別した相対移動位置となるように前記２つの導波路構成部分の前記光軸と交叉する方向における位置を固定して中心波長λgの補正行う最終補正手段
とを具備することを特徴とする波長補正装置。 - 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士をこの光軸と交叉する方向における所定の相対位置関係としての初期位置となるように対向配置して、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなるように構成した状態で、入射側に配置された導波路構成部分から所定の波長幅の光を入射し出射側に配置された導波路構成部分に接続された所定の光学部品を経た光の中心波長λ0を測定する中心波長測定手段と、
前記入射側に配置された導波路構成部分から目標となる中心波長λgに対して対称となる第１の波長λ1の光と第２の波長λ2の光を交互に周期的に入射し、この状態で前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定する波長時分割測定手段と、
この波長時分割測定ステップで測定した各波長λs、λlによる前記光学部品を経て出力される光のレベルを比較するレベル比較手段と、
このレベル比較手段の比較結果が一致する位置で前記入射側に配置された導波路構成部分と出射側に配置された導波路構成部分の位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了する最終補正手段
とを具備することを特徴とする波長補正装置。 - 前記第１の波長λ1と第２の波長λ2の間隔はスペクトラムの全半値幅であり、これらの波長の中点が波長λgであることを特徴とする請求項２３〜請求項２６いずれかに記載の波長補正装置。
- 前記チャネル導波路アレイの出力側に他のスラブ導波路を介して複数本の出力導波路が接続されており、前記最終補正手段は、これら複数本の出力導波路から出力されるそれぞれの光について前記位置関係を求める測定を行い、これらの測定結果から位置関係を固定して中心波長λgの補正を終了することを特徴とする請求項２５記載の波長補正装置。
- 光軸と交叉する所定の面と平行な面からなる端面同士を対向配置し、この配置状態でこれらの端面を１つずつ有する２つの導波路構成部分が全体として１つのスラブ導波路あるいはこれに導波路が接続されたものとなっており、第１の測定時に、入射側に配置された導波路構成部分は目標となる中心波長λgに対して所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光を入射されたとき、前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する出力される光のレベルを測定したものであり、
更に第２の測定時に、入射側に配置された導波路構成部分から前記中心波長λgを中心として前記第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光を入射したとき、前記光軸と交叉する方向に前記２つの導波路構成部分の少なくとも一方を移動させて、このときの各移動位置に対する前記２つの導波路構成部分を経て出力される光のレベルを測定したものであって、
前記第１の測定時に得られた光のレベルと前記第２の測定時に得られた光のレベルが一致する相対移動位置となるように前記２つの導波路構成部分の前記光軸と交叉する方向における位置が固定されて中心波長λgの補正が行われている
ことを特徴とするアレイ導波路回折格子。 - 前記スラブ導波路とこれ以外のスラブ導波路がチャネル導波路アレイを介して接続されていることを特徴とする請求項２９記載のアレイ導波路回折格子。
- 入力導波路と、
この入力導波路に一端を接続され入力する波長多重光を奇数番目の波長の光と偶数番目の波長の光に分離する２本の光導波路と、
これらの光導波路の少なくとも一方に対して特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光が入射したときのこの光導波路から出射される光の強さの測定とこの特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときのその光導波路から出射される光の強さの測定の測定結果が一致するようにその光導波路の特性を変更する特性補正手段
とを具備することを特徴とするインタリーバ。 - 前記特性補正手段は前記光導波路を通電によって加熱する抵抗であることを特徴とする請求項３１記載のインタリーバ。
- 入力導波路と、
この入力導波路に一端を接続され入力する波長多重光を奇数番目の波長の光と偶数番目の波長の光に分離する２本の光導波路とを備え、
これら２本の光導波路の少なくとも一方は加熱あるいは紫外線の照射によってその波長選択特性を変化させる材料で構成されており、特定の波長を中心として所定の波長だけずれた第１の波長λ1の光が前記入力導波路を介してこの光導波路に入射したときのこれから出射される光の強さの測定とこの特定の波長を中心として第１の波長λ1と対称となる第２の波長λ2の光が入射したときのこれから出射される光の強さの測定との測定結果が一致するまで前記加熱あるいは紫外線の照射が行われることでその特性が補正されている
ことを特徴とするインタリーバ。
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