KR100444268B1 - 평면배열형 수광 소자를 이용한 광 측정 장치 및 방법 - Google Patents

평면배열형 수광 소자를 이용한 광 측정 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

여기에 개시된 광 측정 장치 및 방법은, 도파로어레이에서 출력되는 광의 크기, 형상, 세기, 중심점, 평행도 그리고 발산각 등과 같은 광의 물리적 특성을 정밀구동기구에 의존하지 않고 반도체 공정으로 제작된 다수의 수광 소자 픽셀이 2차원으로 배열된 평면배열형 수광 소자를 사용하여 도파로에서 출력되는 광의 크기, 형상, 세기, 중심점, 평행도 그리고 발산각 등과 같은 광의 물리적 특성을 정확하게 측정한다. 즉, 어레이형 도파로의 일단에서 일정 시간 간격을 두고 각 도파로에 순차적으로 광을 입력하고, 도파로의 타단에서 출력되어서 수광 소자에 도달한 광의 정보를 분석하여 광의 물리적인 성질을 산출한다.

Description

평면배열형 수광 소자를 이용한 광 측정 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING BEAM USING ARRAY TYPE PHOTO DEVICES}
본 발명은 파장분할다중(Wavelength Division Multiplexing : WDM) 광통신에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 어레이형 광 도파로로부터 출력되는 광속의 특성을 측정하는 방법에 관한 것이다.
파장분할다중(WDM)은 여러 개의 정보를 각기 다른 파장의 빛에 담아 한 가닥의 광신호로 한꺼번에 전송하는 원리의 신기술이며, 사용하는 파장 수만큼 전송속도가 배가되는 효과가 있다. 파장분할다중을 실현하기 위해서는 각기 다른 파장의 빛을 사용하여 신호화할 수 있는 다채널 어레이형 광원이 필요하다.
AWG(Arrayed Waveguide Grating) 소자, 어레이형 가변 광감쇄기, 광섬유 어레이 등은 다수의 광 도파로들이 병렬로 형성된 부품들의 예이다. 이들 병렬형(또는 어레이형) 도파로는 통상적으로 복수의 도파로들이 일정한 간격을 사이에 두고 형성되며 각 도파로에서는 균일한 광속(beam) 특성 및 형상이 나오도록 설계된다. 그러나, 제조상의 오차 등에 의해 실제 광속의 형상 및 각 광속간의 간격등이 달라지게 되는데, 이러한 현상은 고도의 정밀 작업을 요구하는 어레이 광소자 모듈의 제작에 있어서 광결합 효율이나 광 신호 특성은 물론 생산 수율을 떨어뜨리는 요인이 되므로 모듈 제작 공정 개선 및 품질관리 측면에서 도파로 어레이를 통해 출력되는 광속에 대한 정확한 측정은 매우 중요하게 된다.
일반적인 병렬 광속 측정 장치는, 복수의 도파로들이 일정한 간격을 두고 설치된 도파로 어레이의 각 도파로들로 광원을 입력한다. 그런 후 각 정밀 스테이지를 2차원으로(즉, x축 및 y 축으로) 이동시키면서 각 도파로들로부터의 광속 출력이 최대일 때 각 도파로에서 방출되는 광속 간의 거리와 광속의 균일도, 광량 등의 정보 등을 측정한다. 그러나, 이러한 광속 측정 장치는 도파로들로부터 방출된 광속을 받아들이는 렌즈의 수차뿐만 아니라 스테이지의 정밀도에 따라서 그 결과가 크게 달라질 수 있다.
최근에는 수 나노미터(nanometer) 급의 해상도를 갖는 스테이지가 개발되었으나, 최대 이동 범위가 불과 수백 마이크로미터(micrometer) 정도로 제한되며, 이동 거리를 늘릴 경우 해상도가 떨어지게 되므로 레이저 간섭 거리계를 부착하는 등 장치의 구성이 복잡하게 된다.
또한, 고해상도 스테이지나 레이저 간섭 거리계 등을 구비한 측정 장치는 매우 고가일 뿐만 아니라 주변 환경의 청정도를 일정 수준 이상 유지해야 하고, 장치의 부피가 크며, 지속적인 사용에 따른 내구성 또한 제한되는 단점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 어레이형 광 도파로들에서 방출되는 광속의 형상 및 광속간의 균일도를 정확하게 측정할 수 있는 광 측정 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 레이저 간섭 거리계와 같은 별도의 장치를 사용하지 않고도 어레이형 도파로들에서 방출되는 광속의 형상 및 광속간의 간격 등을 정확하게 측정할 수 있는 광 측정 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광 측정 장치의 구성을 보여주는 도면;
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 병렬 광속의 형상 측정하기 위한 장치를 보여주는 도면;
도 3은 평면배열형 수광 소자를 이동시켜서 도파로 어레이로부터 출력되는 광속의 발산 각도를 계산하는 방법을 도식화한 것;
도 4는 도파로 어레이로부터 출력되는 광속이 수광 소자의 면적을 벗어날 때 수광 소자(30)의 이동 방향 및 이동 거리를 보여주는 도면; 그리고
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광속 측정 방법의 제어 수순을 보여주는 플로우차트이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
100 : 광 스위치 110 : 도파로 어레이
120 : x축 이동기 130 : 수광 소자
140 : z축 이동기 150 : 컨트롤러
160 : 메모리 170 : 디지털 신호 처리기
180 : LCD 패널
(구성)
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 광 측정 장치는: 일정 간격을 두고 병렬로 배열된 복수의 도파로들을 포함하는 도파로 어레이, 상기 도파로들을 하나씩 순차적으로 선택하고, 상기 선택된 도파로로 광을 제공하는 광 스위치, 상기 선택된 도파로로부터 출력되는 광을 수광하는 수광 소자 그리고 상기 수광 소자에 감광된 결과를 분석하는 광 처리기를 포함한다.
바람직한 실시예에서, 상기 광 처리기는, 상기 수광 소자에 감광된 결과를 받아들이는 컨트롤러 그리고 상기 컨트롤러를 통해 상기 수광 소자에 감광된 결과를 받아들여서 상기 선택된 도파로로부터 출력되는 광의 크기, 중심점 및 세기를 측정하고, 측정 결과를 출력하는 디지털 신호 처리기를 포함한다. 상기 광 스위치는 선택 신호에 응답해서 상기 도파로들 중 하나를 선택하고, 상기 컨트롤러는 상기 선택 신호를 발생한다.
상기 광 처리기는, 제 1 제어 신호에 응답해서 상기 수광 소자를 상기 도파로 어레이로부터 출력되는 상기 광속의 진행 방향으로 미리 설정된 거리만큼 이동시키는 제 1 이동기를 더 포함하며, 상기 컨트롤러는, 상기 수광 소자에 감광된 결과가 수신된 후 상기 제 1 제어 신호를 발생한다.
상기 디지털 신호 처리기는, 상기 수광 소자가 상기 제 1 이동기에 의해 이동되기 전에 상기 디지털 신호 처리로부터 출력되는 상기 측정 결과와 상기 수광소자가 상기 제 1 이동기에 의해 이동된 후 상기 디지털 신호 처리로부터 출력되는 상기 측정 결과로부터 상기 선택된 도파로로부터 출력되는 광의 발산각을 측정한다.
상기 광 처리기는, 제 2 제어 신호에 응답해서 상기 수광 소자를 상기 도파로 어레이와 평행하게 소정 거리만큼 이동시키는 제 2 이동기를 더 포함하며, 상기 컨트롤러는, 상기 도파로 어레이로부터 출력되는 광속의 수가 많아서 일부 출력 광속의 위치가 상기 수광 소자의 수광면적을 벗어날 때, 상기 디지털 신호 처리기로부터 상기 복수의 도파로들 중 일군의 도파로들에 대한 상기 측정 결과가 출력 된 후, 상기 제 2 제어 신호를 발생한다.
이 실시예에서, 상기 제 2 이동기에 의해서 상기 수광 소자가 이동되는 거리는, 상기 일군의 도파로들 중 적어도 하나가 타군의 도파로들에 포함되도록 설정된다. 또는 상기 제 2 이동기에 의해서 상기 수광 소자가 이동되는 거리는, 상기 일군의 도파로들 중 마지막 두 개의 도파로들이 상기 타군의 도파로들에 포함되도록 설정된다.
상기 디지털 신호 처리기는, 상기 제 2 이동기에 의해서 상기 수광 소자가 이동되기 전에 상기 일군 및 타군의 도파로들에 모두 포함되는 도파로들에 대한 상기 측정 결과들과 상기 제 2 이동기에 의해서 상기 수광 소자가 이동된 후 상기 일군 및 타군의 도파로들에 모두 포함되는 도파로들에 대한 상기 측정 결과들의 차를 이용하여 상기 타군의 도파로들에 대한 측정 결과를 보정한다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 일정 간격을 두고 병렬로 배열된 복수의 도파로들을 포함하는 도파로 어레이의 상기 각 도파로들로부터 방출되는 광을 측정하는 방법은: 상기 복수의 도파로들 중 하나를 선택하는 제 1 단계, 광을 상기 선택된 도파로로 입력하는 제 2 단계, 상기 선택된 도파로로부터 출력되어서 제 1 위치의 수광 소자에 감광된 결과를 분석하는 제 3 단계 그리고 상기 제 1 내지 제 3 단계들은 상기 도파로들 전체에 대한 상기 광 분석이 완료될 때까지 반복적으로 수행하는 제 4 단계를 포함한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 3 단계는, 상기 수광 소자를 상기 제 1 위치로부터 상기 광속의 진행 방향으로 소정 거리 떨어진 제 2 위치로 이동시키는 제 5 단계, 상기 제 2 위치의 상기 수광 소자에 감광된 결과로부터 상기 선택된 도파로부터 출력되는 광의 크기, 중심점 및 세기를 측정을 측정하는 제 6 단계, 그리고 상기 제 1 위치의 상기 수광 소자에 감광된 결과와 상기 제 2 위치의 상기 수광 소자에 감광된 결과로부터 상기 선택된 도파로부터 출력되는 광의 발산각 및 광의 중심점을 측정하는 제 7 단계를 더 포함한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 도파로 어레이로부터 출력되는 광속의 위치가 상기 수광 소자의 수광면적을 벗어날 때, 상기 도파로 어레이의 일군의 도파로들에 대한 상기 제 1 내지 제 3 단계들을 반복적으로 수행하는 단계, 상기 수광 소자를 상기 도파로 어레이와 평행하게 소정 거리 이동시키는 단계 그리고 타군의 도파로들에 대한 상기 제 1 내지 제 3 단계들을 반복적으로 수행하는 단계를 포함한다.
(실시예)
본 발명은 반도체 공정으로 제작된 다수의 수광 소자 픽셀(Pixel:배열형성에 기본이 되는 단위 수광소자)을 2차원으로 배열한 평면배열형 수광 소자를 사용하여 도파로 어레이에서 방출된 광속의 특성을 측정할 수 있는 장치 및 방법을 제공한다. 즉, 본 발명에서는 어레이형 도파로의 일단에서 각 도파로로 일정 시간 간격을 두고 순차적으로 광을 입력하고, 도파로의 반대쪽에서 출력되는 광을 일정거리에 위치한 평면배열형 수광 소자에서 화상으로 받아 평명배열형 수광 소자의 각 픽셀에 입력된 광량을 분석하여 광속의 세기, 크기, 형상 등 물리적인 성질을 산출함으로써 정밀 구동에 의하지 아니하면서 도파로에서 방사되는 광속의 특성을 측정한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광 측정 장치의 구성을 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 광 측정 장치는, 광 스위치(100), 도파로 어레이(110), x축 이동기(120), 수광 소자(130), z축 이동기(140), 컨트롤러(150), 메모리(160), 디지털 신호 처리기(Digital Signal Processor : DSP)(170) 그리고 LCD(Liquid Crystal Display) 패널(180)을 포함한다.
도 2는 도 1에 도시된 도파로 어레이(110)로부터 출력되는 광속이 수광 소자(130)에 도달하는 것을 예시적으로 보여주는 도면이다. 도 2를 참조하면, 도파로 어레이(110)는 일정 간격을 두고 병렬로 배열된 복수의 도파로들을 포함한다. 예컨대, 도파로들 사이의 간격은 250um 또는 127um 이다.
광 스위치(100)는 컨트롤러(150)의 제어에 응답하여 도파로들 중 어느 하나를 선택하고, 선택된 도파로로 광원으로부터의 광을 제공한다. 도파로 어레이(20)의 각 도파로들에 순차적으로 광을 입력하기 위한 방법은 다양하다. 예컨대, 각각의 도파로 입력부에 광원을 연결하고 이들 각 광원을 소정의 시간 간격을 두고 순서대로 발광하게 한다. 다른 방법은, 한 개의 광원과 어레이 광 도파로 사이에 1×N 광 스위칭 소자를 삽입하여 광 도파로 어레이(110)에 순차적으로 광원을 입력하는 것이다. 또다른 방법은 한 개의 광원을 한 개의 광 도파로에 입력한 후, 이 광원을 도파로 어레이(110)의 배열 방향과 평행하게 일정 간격으로 이동하여 다음 도파로에 광속을 입력하는 것이다. 통상의 지식을 가진 자들은 도파로에 광원을 입력하기 위해서 여기에 개시된 방법들 뿐만 아니라 다양한 방법으로 실시할 수 있을 것이다.
수광 소자(130)는 격자 형태로 배열된 다수의 픽셀들(132)을 포함한다. 분석의 정확도를 증가시키기 위해서는 수광 소자(130)에 입사되는 광의 면적을 가능한 한 크게 하여야 한다. 즉, 수광 소자(130)에 입사된 광이 영향을 주는 픽셀의 수가 많아지도록 한다. 도파로에서 대기 중으로 방출된 광속은 일정각도로 퍼져 나오므로 수광 소자(130)의 전체 수광면적을 넘지 않는 범위에서 수광 소자(130)를 측정 대상 도파로 어레이(120)로부터 가능한 한 멀리 위치시키는 것이 바람직하다.
도파로 어레이(110)의 도파로들로부터 동시에 광속이 방출되면, 어느 한 도파로에서 방출되어 수광 소자(130)에 입사된 광속의 면적이 인접 도파로의 광속 면적과 중첩되므로 평면 배열형 수광 소자(130)의 각 픽셀에 입력되는 광량이 달라져서 개별 광속에 대한 특성의 분석이 어려워진다. 이를 해결하기 위해서 본 발명의 광 스위치(100)는, 각 도파로들이 수광 소자(130)의 반응시간(통상 수 나노 초~수십 나노 초)보다 긴 시간동안 광을 일정시간 간격(수십 나노 초~수백 나노 초)으로 순차적으로 방출해서 측정을 위한 일정 단위시간동안 1개 도파로에서 방출된 광만이 수광 소자(130)의 각 픽셀에 입력될 수 있도록, 도파로들을 스위칭한다.
컨트롤러(150)는 수광 소자(130)의 각 픽셀(132)에 감광된 정보를 받아들인다. 디지털 신호 처리기(170)는 컨트롤러(150)를 통해 수광 소자(130)의 각 픽셀(132)에 감광된 정보를 받아들여서 선택된 도파로로부터 출력되는 광의 크기, 중심점, 세기, 발산각 및 평행도 등을 측정한다. 디지털 신호 처리기(170)는 측정된 결과를 컨트롤러(150)로 출력한다.
컨트롤러(150)는 디지털 신호 처리기(170)로부터의 측정 결과를 메모리(160)에 저장하고, LCD 패널(180)에 디스플레이한다. 또한, 컨트롤러(150)는 x축 이동기(120)와 z축 이동기(140)를 제어하기 위한 제어 신호들을 발생한다.
x축 이동기(120)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 수광 소자(130)를 도파로 어레이(100)와 평행하게(즉, x축 방향으로) 이동시킨다. z축 이동기(140)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 수광 소자(130)를 도파로 어레이(110)로부터 출력되는 광의 진행 방향으로(즉, z축 방향으로) 이동시킨다. x축 이동기(120)와 z축 이동기(140)의 구체적인 동작은 추후 상세히 설명한다.
계속해서 도 1 및 도 2에 도시된 광 측정 장치의 바람직한 동작 예를 도 5a 및 도 5b에 도시된 플로우차트들을 참조하여 설명한다. 이 실시예에서 도파로 어레이(20)에 포함된 도파로들의 수 즉, N은 8이다. 도 5a 및 도 5b에서, K는 도파로 어레이(110)에 포함된 8 개의 도파로들 중 광 스위치(100)에 의해 선택된 도파로의 인덱스(index)이고, I는 도파로 어레이(130)로부터 출력되는 광속의 크기와 수광 소자(130)의 면적과의 관계에 따라 수광 소자(130)를 이동시키기 위해 사용되는 인덱스이다.
먼저, 도 5a를 참조하면, 단계 S200에서 컨트롤러(150)는 도파로 어레이(110)의 첫번째 도파로를 선택하고, 내부 카운터들의 카운트 값들(K, I)을 각각 1로 설정한다. 단계 S201에서 컨트롤러(150)는 카운트 값(K)이 도파로 어레이(20)에 포함된 도파로들 수(N)보다 큰 지를 판별한다. 현재, 카운트 값(K)은 1이므로 도파로 어레이(20)에 포함된 도파로들 수(N)보다 작다. 따라서, 그 제어는 단계 S202로 진행한다.
단계 S202에서 컨트롤러(150)는 도파로 어레이(110)의 선택된 도파로로 광이 입력되도록 광 스위치(100)를 제어한다. 선택된 도파로에 대응하는 광 스위치(100)가 켜짐에 따라 선택된 도파로로부터 출력되는 광은 수광 소자(130)의 소정 영역에 감광된다.
단계 S203에서 컨트롤러(150)는 수광 소자(130)의 각 픽셀들(132)에 감광된 정보를 받아들인다. 분석의 정밀도를 높이기 위해서, 선택된 도파로로부터 출력되어서 수광 소자(130)에 감광된 정보를 획득하는 과정을 반복적으로 수행하고, 획득된 정보들의 평균값을 선택된 도파로로부터 출력되는 광의 정보로 취할 수 있다.
단계 S204에서 컨트롤러(150)는 수광 소자(130)로부터 획득된 이미지 정보를디지털 신호 처리기(170)로 제공한다. 디지털 신호 처리기(170)는 컨트롤러(150)로부터의 이미지 정보를 필터링한다. 단계 S205에서 디지털 신호 처리기(170)는 이미지의 중심점을 계산하고, 선택된 도파로로부터 출력된 광속의 세기, 크기 및 형상 등을 산출한다.
단계 S216에서, 도파로 어레이(110)로부터 출력되는 광속의 발산 각도 및 광속들간의 평행도를 측정하기 위해, 컨트롤러(150)는 z축 이동기(140)를 제어해서 수광 소자(130)를 이동시킨다. 도 3은 평면배열형 수광 소자(130)를 이동시켜서 도파로 어레이(20)로부터 출력되는 광속의 발산 각도를 계산하는 방법을 도식화한 것이다.
도 3 및 도 5a를 참조하면, 앞서 설명한 단계 S203 및 단계 S204에서 디지털 신호 처리기(170)는 도파로 어레이(110)로부터 일정 거리만큼 떨어진 제 1 위치(P1)에 위치한 수광 소자(30)로부터 수신된 정보에서 광의 반경(R1)을 측정한다. 그리고, 단계 S206에서 z축 이동기(140)에 의해 수광 소자(130)가 광속 방향으로 평행하게 소정 거리(D)만큼 떨어진 제 2 위치(P2)로 이동된 후, 단계 S207 내지 단계 S209에서 디지털 신호 처리기(170)는 광의 반경(R2)을 다시 측정한다. 광의 발산 각도(θ)는 수학식 1과 같다.
또한, 각 도파로들로부터 출력되는 광속들간의 평행도를 구하는 방법은 발산 각도를 구하는 방법과 유사하다. 즉, 수광 소자(130)가 제 1 위치(P1)에 위치했을 때 디지털 신호 처리기(170)가 수광 소자(130)에 감광된 정보로부터 N(N은 정수)개 도파로 각각에서 출력된 광속의 중심점을 측정하고, 수광 소자(130)가 제 2 위치(P2)에 위치했을 때 디지털 처리기(170)가 수광 소자(130)에 감광된 정보로부터 다시한번 각 광속의 중심점을 측정한다. 그리고 제 1 위치(P1)에서 광속들의 중심점들 사이의 거리(D₁i)(i=1,2,…,N-1)와 위치(P2)에서 광속들의 중심점들 사이의 거리(D2i)를 계산한다. 위치들(P1) 및 (P2) 각각에서 측정한 거리들(D1i) 및 (D2i)의 차(D1i - D2i)를 이용한 간단한 수식으로 광속들간의 평행도를 계산할 수 있다. 디지털 신호 처리기(170)는 선택된 도파로로부터 출력되는 광의 특성 즉, 크기, 형상, 중심점, 세기, 발산각 및 평행도 등의 측정 결과를 컨트롤러(150)로 출력한다.
단계 S210에서 컨트롤러(150)는 디지털 신호 처리기(170)로부터 측정 결과가 수신되면 수광 소자(130)가 초기 위치인 제 1 위치(P1)로 이동되도록 z축 이동기(140)를 제어한다.
단계 S211에서 컨트롤러(150)는 디지털 신호 처리기(170)로부터 수신된 측정 결과를 메모리(160)에 저장한다.
단계 S212에서 컨트롤러(150)는, 도파로 어레이(110)의 다음 도파로를 선택하기 위해, 내부 카운터들의 카운트 값들(K, I)을 각각 1 만큼 증가시킨다.
한편, 도파로 어레이로부터 출력되는 광속의 위치가 수광 소자의 수광면적을 벗어날 때에는 특별한 처리가 요구된다. 예컨대, 수광 소자(130)가 도파로 어레이(110)로부터 출력되는 광속 가운데 최대 수신가능한 광의 수에 대응하는 도파로의 수(A)가 8개이고, 도파로 어레이(110)에 구비된 도파로들의 수(N)가 16개일 때, 16 개의 도파로들 각각으로부터 출력되는 광의 특성을 측정하기 위한 방법은 다음과 같다.
도 4는 도파로 어레이(110)로부터 출력되는 광속이 수광 소자(130)의 면적을 벗어날 때 수광 소자(130)의 이동 방향 및 이동 거리를 보여주는 도면이다. 도 5b는 도 5a에 연이은 제어 수순을 보여주고 있으며, 특히 도파로 어레이로부터 출력되는 광속의 위치가 수광 소자의 면적을 벗어날 때의 제어 수순을 보여주는 도면이다.
도 4 및 도 5b를 참조하면, 단계 S230에서, 컨트롤러(150)는 카운트 값(I)(I=1,2,…,N)이 미리 설정된 값(A)보다 큰 지를 판별한다. 이 실시예에서, 미리 설정된 값(A)는 8이므로, 카운트 값(I)가 1부터 8까지일 때 그 제어는 단계 S201로 진행하고, 카운트 값(I)가 9,즉 A보다 클때 그 제어는 단계 S231로 진행한다.
단계 S231에서 컨트롤러(150)는 수광 소자(130)가 도파로의 배열방향과 평행하게 (8 ×도파로 간격)만큼 이동되도록 x축 이동기(120)를 제어한다. 그리고 나서, 9번째 도파로부터 16번째 도파로까지 각 광속의 특성을 측정한다. 이와 같은 방법에 의하면, 도파로 어레이(110)로부터 출력되는 광속의 크기가 수광 소자(130)의 면적보다 크더라도 도파로 어레이(110)의 모든 도파로들에 대한 광속의 특성을 측정할 수 있다. 다만 이렇게 8 개의 도파로들의 크기만큼 수광 소자(130)를 이동시키는 경우, 앞서 측정한 1번째 도파로부터 8번째 도파로까지의 광속의 위치 정보와 9번째 도파로부터 16번째 도파로까지의 광속의 위치 정보를 연결시키기 위하여 1번째부터 8번째까지의 도파로들 중 일부 도파로들을 9번째부터 16번째 사이의 도파로들과 함께 측정하는 것이 바람직하다. 즉, 도파로 어레이(20)의 1번째 내지 8번째 도파로들에 평행하게 위치했던 수광 소자(130)는 ((8 - 2)×도파로 간격)만큼 이동된다. 따라서, 수광 소자(130)는 도파로 어레이(110)의 7번째 내지 14번째 도파로들에 평행하게 위치된다.
그리고, 단계 S232에서 내부 카운터의 인덱스(K)는 2만큼 감소되고, 다른 내부 카운터의 카운트 값(I)은 1로 설정된다. 따라서, 선택된 도파로의 인덱스(K)는 (9 - 2) 즉, 7이 된다. 앞선 예에서, 도파로 어레이(110)에 구비된 도파로가 모두 16개이면, 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 주기 동안에는 1번째 내지 8번째 도파로들로부터 출력되는 광속의 특성이 측정되고, 제 2 주기동안에는 7번째 내지 14번째 도파로들로부터 출력되는 광의 특성이 측정되며 그리고 제 3 주기동안에는 13번째 내지 16번째 도파로들로부터 출력되는 광의 특성이 측정된다.
이와 같이, 7번째 및 8번째 도파로들로부터 출력되는 광속들은 수광 소자(130)가 이동되기 전과 이동된 후에 반복적으로 측정된다. 디지털 신호 처리기(170)는, 수광 소자(130)가 이동되기 전에 7번째 및 8번째 도파로들로부터 출력되는 광들의 특성과 수광 소자(130)가 이동되고 나서 7번째 및 8번째 도파로들로부터 출력되는 광들의 특성의 차를 이용하여 9번째 내지 14번째 도파로들로부터 출력되는 광속의 특성을 보정할 수 있다.
마찬가지로, 13번째 및 14번째 도파로들로부터 출력되는 광들은 수광 소자(30)가 이동되기 전과 이동된 후에 반복적으로 측정된다. 디지털 신호 처리기(170)는, 수광 소자(30)가 이동되기 전에 13번째 및 14번째 도파로들로부터 출력되는 광들의 특성과 수광 소자(30)가 이동되고 나서 13번째 및 14번째 도파로들로부터 출력되는 광들의 특성의 차를 이용하여 15번째 및 16번째 도파로들로부터 출력되는 광들의 특성을 보정할 수 있다.
상술한 바와 같은 과정이 완료되면 그 제어는 단계 S201로 리턴한다. 단계 S201에서, 도파로 어레이(20)에 구비된 N 개의 도파로들 전체에 대한 측정이 완료되면 그 제어는 단계 S220로 진행한다. 단계 S220에서 컨트롤러(150)는 측정된 결과를 LCD 패널(180)로 출력하고, 모든 제어를 종료한다.
예시적인 바람직한 실시예를 이용하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명의 범위는 개시된 실시예들에 한정되지 않는다는 것이 잘 이해될 것이다. 오히려, 본 발명의 범위에는 다양한 변형 예들 및 그 유사한 구성들을 모두 포함될 수 있도록 하려는 것이다. 따라서, 청구범위는 그러한 변형 예들 및 그 유사한 구성들 모두를 포함하는 것으로 가능한한 폭넓게 해석되어야 한다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 레이저 간섭거리계나 고배율 광학 장치가 부착된 정밀구동 스테이지와 같은 별도의 장치들을 사용하지 않고 어레이형 도파로로부터 출력되는 광의 크기, 형상, 세기, 중심점, 평행도 그리고 발산각 등과 같은 광의 물리적 특성을 측정할 수 있다. 즉, 광 검출 장치에 의해 측정된 결과는 광 검출 장치에 구비된 각 장치들의 정밀도에 의한 오차에 영향을 받지 않으므로 어레이형 도파로로부터 출력되는 광의 물리적 특성을 정확하게 측정할 수 있다.

Claims (19)

  1. 소정의 간격을 두고 병렬로 배열된 복수의 도파로들을 포함하는 도파로 어레이;
    상기 도파로들을 하나씩 순차적으로 선택하고, 상기 선택된 도파로로 광을 제공하는 광 스위치;
    격자형태로 배열된 다수의 픽셀로 구성되며 상기 선택된 도파로로부터 출력되는 광을 수광하는 수광소자; 및
    상기 수광소자의 각각의 픽셀에 감광된 결과를 기초로 광의 중심점을 포함하는 측정결과를 출력하는 광 처리기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 처리기는,
    상기 수광 소자에 감광된 결과를 받아들이는 컨트롤러; 그리고
    상기 컨트롤러를 통해 상기 수광 소자에 감광된 결과를 받아들여서 상기 선택된 도파로로부터 출력되는 광의 크기, 중심점 및 세기를 측정하고, 측정 결과를 출력하는 디지털 신호 처리기를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 측정 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 광 스위치는 선택 신호에 응답해서 상기 도파로들 중 하나를 선택하고,상기 컨트롤러는 상기 선택 신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 광 측정 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 광 처리기는,
    제 1 제어 신호에 응답해서 상기 수광 소자를 상기 도파로 어레이로부터 출력되는 상기 광속의 진행 방향으로 미리 설정된 거리만큼 이동시키는 제 1 이동기를 더 포함하되;
    상기 컨트롤러는, 상기 수광 소자에 감광된 결과가 수신된 후 상기 제 1 제어 신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 광 측정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 디지털 신호 처리기는,
    상기 수광 소자가 상기 제 1 이동기에 의해 이동되기 전에 상기 디지털 신호 처리기로부터 출력되는 상기 측정 결과와 상기 수광 소자가 상기 제 1 이동기에 의해 이동된 후 상기 디지털 신호 처리기로부터 출력되는 상기 측정 결과로부터 상기 선택된 도파로로부터 출력되는 광의 발산각을 측정하는 것을 특징으로 하는 광 측정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 광 처리기는,
    제 2 제어 신호에 응답해서 상기 수광 소자를 상기 도파로 어레이와 평행하게 소정 거리만큼 이동시키는 제 2 이동기를 더 포함하되;
    상기 컨트롤러는,
    상기 도파로 어레이로부터 출력되는 광속의 위치가 상기 수광 소자의 수광면적을 벗어날 때, 상기 디지털 신호 처리기로부터 상기 복수의 도파로들 중 일군의 도파로들에 대한 상기 측정 결과가 출력 된 후, 상기 제 2 제어 신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 광 측정 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 2 이동기에 의해서 상기 수광 소자가 이동되는 거리는, 상기 일군의 도파로들 중 적어도 하나가 타군의 도파로들에 포함되도록 설정되는 것을 특징으로 하는 광 측정 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 2 이동기에 의해서 상기 수광 소자가 이동되는 거리는, 상기 일군의 도파로들 중 두 개의 도파로들이 상기 타군의 도파로들에 포함되도록 설정되는 것을 특징으로 하는 광 측정 장치.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 디지털 신호 처리기는,
    상기 제 2 이동기에 의해서 상기 수광 소자가 이동되기 전에 상기 일군 및 타군의 도파로들에 모두 포함되는 도파로들에 대한 상기 측정 결과들과 상기 제 2 이동기에 의해서 상기 수광 소자가 이동된 후 상기 일군 및 타군의 도파로들에 모두 포함되는 도파로들에 대한 상기 측정 결과들의 차를 이용하여 상기 타군의 도파로들에 대한 측정 결과를 보정하는 것을 특징으로 하는 광 측정 장치.
  10. 격자형태로 배열된 다수의 픽셀로 구성된 수광소자에 의해 도파로 어레이에 소정의 간격을 두고 병렬로 배열된 복수의 도파로 중에서 선택된 도파로로부터 방출되는 광을 측정하는 방법에 있어서,
    (a) 상기 복수의 도파로 중에서 하나의 도파로를 선택하는 단계;
    (b) 광을 상기 선택된 도파로에 입력하는 단계; 및
    (c)상기 선택된 도파로로부터 출력되는 광이 상기 수광소자의 각각의 픽셀에 감광된 결과를 기초로 광의 중심점을 포함하는 측정결과를 출력하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 측정 방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 (c)단계는 상기 선택된 도파로로부터 출력되어 제1위치에서의 상기 수광소자에 감광된 결과로부터 상기 선택된 도파로로부터 출력되는 광의 크기, 중심점 및 세기를 측정하는 것을 특징으로 하는 광 측정 방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 (c)단계는 상기 선택된 도파로로부터 출력되어 상기 제1위치에서의 상기 수광소자에 감광된 결과를 다수 회 수신하고, 상기 수신된 다수의 결과들에 대한 평균값을 산출하여 상기 선택된 도파로로부터 출력되는 광의 크기, 중심점 및 세기를 측정하는 것을 특징으로 하는 광 측정 방법.
  13. 제 10항에 있어서,
    (d) 상기 수광 소자를 상기 제1위치로부터 상기 광속의 진행 방향으로 소정 거리 떨어진 제2위치로 이동시키는 단계; 및
    (e) 상기 제2위치에서의 상기 수광소자에 감광된 결과로부터 상기 선택된 도파로부터 출력되는 광의 크기, 중심점, 및 세기를 측정을 측정하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 측정 방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    (f) 상기 제1위치에서의 상기 수광소자에 감광된 결과와 상기 제2위치에서의 상기 수광소자에 감광된 결과로부터 상기 선택된 도파로부터 출력되는 광의 발산각 및 광의 중심점을 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 측정 방법.
  15. 제 13항에 있어서,
    상기 선택된 도파로로부터 출력되어 상기 제2위치에서의 상기 수광소자에 감광된 결과를 다수 회 수신하고, 상기 수신된 다수의 결과들에 대한 평균값을 산출하여 상기 선택된 도파로로부터 출력되는 광의 크기, 중심점 및 세기를 측정하는 것을 특징으로 하는 광 측정 방법.
  16. 제 10항에 있어서,
    (g) 상기 도파로 어레이로부터 출력되는 광속의 위치가 상기 수광소자의 수광면적을 벗어나는 지를 판별하는 단계;
    (h) 상기 도파로 어레이로부터 출력되는 광속의 위치가 상기 수광소자의 수광면적을 벗어나면, 상기 도파로 어레이의 일군의 도파로들에 대해 상기 (a)단계 내지 (c)단계를 반복적으로 수행하는 단계;
    (i) 상기 수광소자를 상기 도파로 어레이와 평행하게 소정 거리 이동시키는 단계; 및
    (j) 타군의 도파로들에 대한 상기 (a)단계 내지 (c)단계를 반복적으로 수행하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 측정 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 (i)단계에서 상기 일군의 도파로들 중 적어도 하나가 상기 타군의 도파로들에 포함되도록 상기 수광소자를 이동시키는 것을 특징으로 하는 광 측정 방법.
  18. 제 16항에 있어서,
    상기 (i)단계에서 상기 일군의 도파로들 중 두 개의 도파로들이 상기 타군의 도파로들에 포함되도록 상기 수광소자를 이동시키는 것을 특징으로 하는 광 측정 방법.
  19. 제 17항 또는 제 18항에 있어서,
    (k) 상기 (i)단계의 수행전에 상기 일군 및 타군의 도파로들에 모두 포함되는 도파로들로부터 출력되어 상기 수광소자에 감광된 결과들과 상기 (i)다계의 수행후에 상기 일군 및 타군의 도파로들에 모두 포함되는 도파로들로부터 출력되어 상기 수광소자에 감광된 결과들의 차를 이용하여 상기 타군의 도파로들로부터 출력되어 상기 수광소자에 감광된 결과들을 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 측정 방법.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2945637B1 (fr) * 2009-05-18 2012-08-03 Univ Rennes Procede et systeme d'observation de modes transverses d'un guide optique.
US9755738B2 (en) * 2013-03-20 2017-09-05 Nistica, Inc. Crosstalk suppression in a multi-photodetector optical channel monitor
US9632391B2 (en) 2013-03-20 2017-04-25 Nistica, Inc. Wavelength selective switch employing a LCoS device and having reduced crosstalk
CN112955784A (zh) * 2018-09-14 2021-06-11 纽约市哥伦比亚大学理事会 基于光学开关阵列的光束方向控制与接收方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57175930A (en) * 1981-04-24 1982-10-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Pyroelectric type linear array light detector
JPS63175882U (ko) * 1987-04-30 1988-11-15
JPH06202012A (ja) * 1992-12-28 1994-07-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 光スイッチ及び光スイッチング方法
JPH06235845A (ja) * 1993-02-12 1994-08-23 Sumitomo Electric Ind Ltd 光コネクタのコア位置測定装置
JPH07294380A (ja) * 1994-04-25 1995-11-10 Furukawa Electric Co Ltd:The 光部品の光損失測定方法
JPH09257645A (ja) * 1996-03-26 1997-10-03 Olympus Optical Co Ltd 光学性能評価装置の照明装置
KR19990016219A (ko) * 1997-08-13 1999-03-05 윤종용 다채널용 광증폭기의 이득 측정장치
KR100227259B1 (ko) * 1995-08-22 1999-11-01 구라우치 노리타카 광축조심방법, 광축조심장치, 광학소자의 검사방법, 광학소자의 검사장치, 광학모듈의 제조방법 및 광학모듈의 제조장치
KR100274806B1 (ko) * 1998-05-26 2001-01-15 윤종용 파장분할다중화 광섬유증폭기의 특성 측정 장치 및 방법
KR20020021085A (ko) * 1999-04-09 2002-03-18 알프레드 엘. 미첼슨 광섬유의 특성 측정 장치
KR100385563B1 (ko) * 2000-12-01 2003-05-27 한국과학기술원 구동수단을 갖는 분광 광도계와 광도 측정방법

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4760257A (en) * 1986-08-22 1988-07-26 Hughes Aircraft Company Apparatus for measuring properties of a laser emission
US5239598A (en) * 1987-11-20 1993-08-24 The Secretary Of State For Defence In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern Ireland Electro-optic waveguide device
JPH0448228A (ja) 1990-06-18 1992-02-18 Ando Electric Co Ltd 波長測定機能をもつ光パワーメータ
JP4056143B2 (ja) 1997-09-18 2008-03-05 Ｈｏｙａ株式会社 光ファイバ固定用部材、光ファイバアレイ、光導波路モジュールおよび光ファイバ固定用部材の寸法精度の測定方法
JP2001007007A (ja) 1999-06-23 2001-01-12 Ushio Sogo Gijutsu Kenkyusho:Kk 半導体露光用エキシマレーザ光のための波長モニタ装置
US6753958B2 (en) * 2001-03-22 2004-06-22 Metrophotonics Inc. Resolution enhanced optical spectrometer having a fixed number of photodetector elements

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57175930A (en) * 1981-04-24 1982-10-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Pyroelectric type linear array light detector
JPS63175882U (ko) * 1987-04-30 1988-11-15
JPH06202012A (ja) * 1992-12-28 1994-07-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 光スイッチ及び光スイッチング方法
JPH06235845A (ja) * 1993-02-12 1994-08-23 Sumitomo Electric Ind Ltd 光コネクタのコア位置測定装置
JPH07294380A (ja) * 1994-04-25 1995-11-10 Furukawa Electric Co Ltd:The 光部品の光損失測定方法
KR100227259B1 (ko) * 1995-08-22 1999-11-01 구라우치 노리타카 광축조심방법, 광축조심장치, 광학소자의 검사방법, 광학소자의 검사장치, 광학모듈의 제조방법 및 광학모듈의 제조장치
JPH09257645A (ja) * 1996-03-26 1997-10-03 Olympus Optical Co Ltd 光学性能評価装置の照明装置
KR19990016219A (ko) * 1997-08-13 1999-03-05 윤종용 다채널용 광증폭기의 이득 측정장치
KR100274806B1 (ko) * 1998-05-26 2001-01-15 윤종용 파장분할다중화 광섬유증폭기의 특성 측정 장치 및 방법
KR20020021085A (ko) * 1999-04-09 2002-03-18 알프레드 엘. 미첼슨 광섬유의 특성 측정 장치
KR100385563B1 (ko) * 2000-12-01 2003-05-27 한국과학기술원 구동수단을 갖는 분광 광도계와 광도 측정방법

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US20050163507A1 (en) 2005-07-28
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US7181101B2 (en) 2007-02-20
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KR20030093786A (ko) 2003-12-11

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