JP3816821B2 - 高周波用パワーモジュール基板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、ヒートシンク板とリング状枠体、及び外部接続端子を有し、半導体素子を実装してなる高周波用パワーモジュール基板及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
高周波用パッケージは、例えば、移動体通信の基地局等に用いるシリコンや、ガリウム砒素電界効果トランジスタ等の高周波、高出力用の半導体素子を実装するのに用いられる。この高周波用パッケージは、半導体素子を実装するためのキャビティ部が、半導体素子の高周波の領域での電気特性を悪化させないために、略長方形状をした高放熱特性を有する金属板上に形成された半導体素子実装領域をセラミック製のリング状枠体で囲繞するように接合して形成されている。そして、高周波用パッケージは、半導体素子が実装された後、リング状枠体上に接合される蓋体でキャビティ部を気密に封止するようになっている。また、高周波信号は、リング状枠体上と蓋体との間に接合された外部接続端子を介して入出力されるようになっている。
【0003】
この高周波用パッケージは、セラミック製のリング状枠体と、半導体素子からの発熱を効率よく放熱するための放熱用の金属板からなるヒートシンク板との接合において、セラミックとヒートシンク板の熱膨張係数を近似させて応力の発生を少なくし、パッケージに発生する反りを回避することで、半導体素子の実装不良の発生を防止している。
【0004】
図4(A)、(B)に従来の高周波用パッケージ50の一例を示す。セラミックと熱膨張係数が近似し、しかも放熱特性が比較的よいCu−W(ポーラス状のタングステンに銅を含浸させたもの)からなるヒートシンク板51には、セラミック製のリング状枠体52が、その裏面側に形成されたメタライズパターンを介してヒートシンク板51にAgろう53でろう付け接合されている。更に、リング状枠体52には、表面側に形成されたメタライズパターン(図示せず)を介して外部と接続するための金属部材からなる外部接続端子54がAgろう53でろう付け接合されている。ヒートシンク板51、リング状枠体52、及び外部接続端子54には、ろう付け接合された後、金属表面にNiめっき、及びAuめっきが施されて高周波用パッケージ50を形成している。略長方形状をしたヒートシンク板51の長手方向の両端部には、固定部材に固定するための固定用切り欠き部55が設けられている。
【0005】
図5に示すように、この高周波用パッケージ50には、半導体素子56がリング状枠体52の内側のヒートシンク板51上にダイボンドされ、半導体素子56と外部接続端子54とをボンディングワイヤ57で接続した後、樹脂や、セラミックや、金属等からなる蓋体58を用いてリング状枠体52の上部と外部接続端子54を間に挟みながら樹脂接着剤59で接着して気密に封止を行い、高周波用パワーモジュール基板60を形成している。この高周波用パワーモジュール基板60は、固定部材に固定用切り欠き部55でねじ止め等を行って固定される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したような従来の高周波用パワーモジュール基板及びその製造方法は、次のような問題がある。
(1)半導体素子の高周波化が進む中において、高周波の領域で電気特性を悪化させないために更なる高放熱化の要求が強い。そこで、ヒートシンク板にCu−W(熱伝導率が220W/mK程度)からなる金属板に代わって熱伝導率が高く、安価なCu(熱伝導率が390W/mK)板やCu合金板等のCu系金属板を使用するすることが考えられる。しかしながら、ヒートシンク板とセラミック製のリング状枠体をAgろうからなる高温ろう材で接合するときの熱膨張係数のミスマッチングから接合面で応力が発生し、高周波用パッケージに大きな反りが発生する。この反りによって、半導体素子が実装できない場合が発生している。また、半導体素子が実装できたとしても、高周波用パワーモジュール基板を固定部材に固定するときに曲げが発生して、半導体素子を破壊する場合が発生している。
【0007】
(2)移動体通信の基地局等に用いられる高周波用パワーモジュール基板は、低コストの要求が高い。しかしながら、ヒートシンク板に比較的高価なCu−Wからなる金属板を用いる場合においては、低コスト化に限界が生じている。
【0008】
(3)蓋体を樹脂で接合する高周波用パワーモジュール基板は、樹脂から発生する水分及びキャビティ部内の空気中の水分がキャビティ部に含まれた状態で気密封止される。この状態で環境試験等を行った時に、キャビティ部内で露結し、そこに電圧が掛けられると、ヒートシンク板とリング状枠体、及びリング状枠体と外部接続端子の接合に使用したAgろうのAgがイオン化し、Agが析出して樹枝状に成長し、セラミック製のリング状枠体の内部側壁に樹枝状晶(デントライト)が発生することが考えられる。これにより、外部接続端子とヒートシンク板が短絡を起こす場合がある。
【0009】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、安価で高放熱特性を有するヒートシンク板が使用でき、反りやデントライトの発生を防止する高周波用パワーモジュール基板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
【0011】
前記目的に沿う本発明に係る高周波用パワーモジュール基板は、ヒートシンク板とリング状枠体、及び外部接続端子を有し、半導体素子を実装して気密に封止する蓋体を有する高周波用パワーモジュール基板において、ヒートシンク板が高放熱特性を有するCu又はCu系金属板からなり、リング状枠体が電気絶縁性を有する樹脂又はセラミックの絶縁体からなり、ヒートシンク板とリング状枠体で形成するキャビティ部には半導体素子がダイアタッチ材を用いて実装され、しかも、上面側に外部接続端子が樹脂、ろう材、ガラス、又は半田からなる接合部材を介して接合されているリング状枠体の下面側とヒートシンク板が樹脂、半田、又はガラスからなる半導体素子を実装する時の接合温度未満、及び接合部材の接合温度未満の320℃を下まわる接合温度を有する低融点接合材で接合されており、蓋体でキャビティ部が気密に封止されている。これにより、ヒートシンク板が安価なCu又はCu系金属板からなり、高周波用パワーモジュール基板を安価にすることができる。また、ヒートシンク板とリング状枠体との接合に低温度で接合できる低融点接合材を用いているので、熱膨張係数の差により発生する応力の影響を受けることが少なく、反りの発生を防止することができる。更に、ヒートシンク板とリング状枠体との接合にAgろうを用いないので、デントライトの発生を防止することができる。
【0012】
前記目的に沿う本発明に係る高周波用パワーモジュール基板の製造方法は、高放熱特性を有するCu又はCu系金属板からなるヒートシンク板と絶縁体からなるリング状枠体で形成するキャビティ部に半導体素子を接合し、金属板からなる外部接続端子で電気的に接続する高周波用パワーモジュール基板の製造方法において、リング状枠体が樹脂又はセラミックからなり、リング状枠体の上面に外部接続端子を樹脂、ろう材、ガラス、又は半田からなる接合部材で接合する第1工程と、ヒートシンク板のキャビティ部を形成する部分に、ダイアタッチ材を用いて半導体素子をダイボンドする第2工程と、ヒートシンク板にダイボンドされた半導体素子を囲繞するように、ヒートシンク板にリング状枠体の下面を樹脂、半田、又はガラスからなる320℃未満の接合温度を有する低融点接合材を介して当接して接合する第3工程と、半導体素子と外部接続端子をボンディングワイヤで接続する第4工程と、キャビティ部を蓋体で接合して半導体素子を気密に封止する第5工程を有する。これにより、ヒートシンク板に安価なCu又はCu系金属板を用いて、高周波用パワーモジュール基板を安価に製造することができる。また、ヒートシンク板とリング状枠体との接合に低温度で接合できる低融点接合材を用いて接合するので、熱膨張係数の差から発生する応力の影響を受けることが少なく、反りの発生を防止することができる高周波用パワーモジュール基板を製造することができる。更に、ヒートシンク板とリング状枠体との接合にAgろうを用いることなく製造しているので、デントライトの発生を防止することができる高周波用パワーモジュール基板を製造することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。
ここに、図1(A)、(B)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る高周波用パワーモジュール基板を構成する高周波用パッケージの平面図、正面図、図2(A)、(B)はそれぞれ同高周波用パワーモジュール基板の平面図、A−A’線拡大縦断面図、図3(A)〜(E)はそれぞれ同高周波用パワーモジュール基板の製造方法の説明図である。
【0014】
図1(A)、(B)に示すように、本発明の一実施の形態に係る高周波用パワーモジュール基板を構成する高周波用パッケージ10は、略長方形状からなり、高放熱特性を有するCu又はCu合金等のCu系金属板で形成されるヒートシンク板11と、絶縁体からなり、電気絶縁性を有する樹脂又はセラミックのリング状枠体12を有している。ヒートシンク板11の長手方向中央部表面とリング状枠体12は、エポキシ等の樹脂、Pb−Sn系等の半田、又は低融点のガラスからなる低融点接合材13で接合されている。低融点接合材13が半田からなる場合には、リング状枠体12のヒートシンク板11との接合面にメタライズパターンが形成されて、このメタライズパターンを介してリング状枠体12とヒートシンク板11が接合されている。
【0015】
なお、リング状枠体12の上面には、鉄系や、銅系等の薄い金属板からなるリードフレーム形状の外部接続端子14が、樹脂、ろう材、ガラス、又は半田等の接合部材15を介して接合されていてもよい。また、ヒートシンク板11には、略長方形状の長手方向の両端部に、この高周波用パッケージ10を固定するための固定用切り欠き部16が設けられており、外部の固定部材にねじ止め等を行うために使用される。そして、この高周波用パッケージ10の金属表面には、Niめっき及びAuめっきが施されている。この高周波用パッケージ10には、ヒートシンク板11とリング状枠体12の接合に用いた低融点接合材13の接合時の温度より低い温度の接合材、例えば、Agペースト(接合温度は約150℃)等を用いることで半導体素子を接合することができる。
【0016】
次いで、図2(A)、(B)に示すように、本発明の一実施の形態に係る高周波用パワーモジュール基板20は、ヒートシンク板11と、リング状枠体12、及び外部接続端子14を有し、キャビティ部21に半導体素子22を実装して有し、キャビティ部21内を気密に封止する蓋体24を有している。
【0017】
このヒートシンク板11は、略長方形状からなり、高放熱特性を有するCu又はCu合金等のCu系金属板で形成されている。また、リング状枠体12は、電気絶縁性を有する樹脂又はセラミックからなる絶縁体で形成されている。そして、ヒートシンク板11とリング状枠体12を接合して形成するキャビティ部21のヒートシンク板11の上に、半導体素子22が、例えば、Au−Snろうからなるダイアタッチ材23を介してダイボンドされている。リング状枠体12の上面側には、Fe系や、Cu系等の薄い金属板からなるリードフレーム形状の外部接続端子14が、例えば、エポキシ等の樹脂、Agろう材等のろう材、低融点や高融点のガラス、又はPb−Sn半田等の半田からなる低融点や高融点の接合部材15を介して接合されている。また、リング状枠体12の下面側には、ヒートシンク板11がエポキシ等の樹脂、Pb−Sn半田等の半田、又は低融点のガラスからなる低融点接合材13を介して接合されている。蓋体24は、樹脂や、セラミックや、金属部材等を用いて外形寸法がリング状枠体12と実質的に同じ大きさからなり、例えば、箱型に形成されている。そして、蓋体24は、キャビティ部21に実装されている半導体素子22を気密に保つために、リング状枠体12や、外部接続端子14の上面側にエポキシ等の樹脂接着剤25を介して被せられて接合され、キャビティ部21内の半導体素子22を気密に封止している。
【0018】
なお、半導体素子22と外部接続端子14との接続はボンディングワイヤ26で接続されている。また、ヒートシンク板11には、略長方形状の長手方向の両端部に、高周波用パワーモジュール基板20を固定部材に固定するための固定用切り欠き部16が設けられており、固定部材にねじ止め等で固定するのに使用される。
【0019】
次いで、図3(A)〜(E)を参照しながら本発明の一実施の形態に係る高周波用パワーモジュール基板20の製造方法を説明する。
図3(A)に示すように、樹脂又はセラミックからなるリング状枠体12の上面には、エポキシ等の樹脂、Au−Snろう材等のろう材、低融点や、高融点からなるガラス、又はPb−Sn系等の半田からなる接合部材15で外部接続端子14が接合されている。なお、このリング状枠体12は、絶縁性の樹脂を額縁状に成形して形成したり、又はアルミナ(Al2 O3 )等のセラミック粉末を額縁状にプレスして成形したり、あるいはシート状のセラミックグリーンシートを成形して複数枚を重ね合わせて積層して額縁状に成形したりして形成している。また、外部接続端子14は、Fe系や、Cu系等の薄い金属板を打ち抜き金型等を用いてリードフレーム形状に打ち抜いて形成している。
【0020】
次いで、図3(B)に示すように、Cu又はCu系金属板からなる高放熱特性を有するヒートシンク板11とリング状枠体12を接合させたらキャビティ部21(図3(C)参照)を形成する部分に、半導体素子22をAu−Snろう(接合温度は約320℃)や、Au−Siろう(接合温度は約400℃)等のダイアタッチ材23を用いてダイボンドしている。
【0021】
次いで、図3(C)に示すように、ヒートシンク板11上にダイアタッチ材23を介してダイボンドされた半導体素子22を、外部接続端子14が接合部材15で接合されているリング状枠体12の貫通孔の内側壁27で囲繞するようにして、ヒートシンク板11にリング状枠体12の下面を、エポキシ等の樹脂、低融点のガラス、又はPb−Sn系等の半田からなる低融点接合材13を介して当接して接合している。これにより、ヒートシンク板11とリング状枠体12で囲まれた内部には、キャビティ部21が形成される。低融点接合材13を用いてキャビティ部21を形成することができるのは、キャビティ部21を形成する前に低融点接合材13の接合温度より高い接合温度のダイアタッチ材23を用いて半導体素子22を接合しているからである。従って、キャビティ部21を形成するのにAgろうを用いなくてもよいので、デントライトの発生を防止することができる。
【0022】
次いで、図3(D)に示すように、ヒートシンク板11上に接合された半導体素子22のボンディングパッド(図示せず)と外部接続端子14の端部とをボンディングワイヤ26で接続している。これにより、高周波信号は、リング状枠体12上と蓋体24(図3(E)参照)との間に接合された外部接続端子14を介して半導体素子22との間で入出力させることができる。
【0023】
次いで、図3(E)に示すように、半導体素子22が実装されているキャビティ部21には、半導体素子22を気密に保つために、蓋体24がリング状枠体12と外部接続端子14の上面側にエポキシ等の樹脂接着剤25を介して被せられて接合され、キャビティ部21内の半導体素子22が気密に封止されている。蓋体24は、樹脂や、セラミックや、金属部材等からなり、外形寸法がリング状枠体12と実質的に同じ大きさで、例えば、箱型に形成されている。
【0024】
【発明の効果】
【0025】
請求項1記載の高周波用パワーモジュール基板は、ヒートシンク板が高放熱特性を有するCu又はCu系金属板からなり、リング状枠体が電気絶縁性を有する樹脂又はセラミックの絶縁体からなり、ヒートシンク板とリング状枠体で形成するキャビティ部には半導体素子がダイアタッチ材を用いて実装され、しかも、上面側に外部接続端子が樹脂、ろう材、ガラス、又は半田からなる接合部材を介して接合されているリング状枠体の下面側とヒートシンク板が樹脂、半田、又はガラスからなる半導体素子を実装する時の接合温度未満、及び接合部材の接合温度未満の320℃を下まわる接合温度を有する低融点接合材で接合されており、蓋体でキャビティ部が気密に封止されているので、ヒートシンク板が安価であり、高周波用パワーモジュール基板を安価にすることができる。また、ヒートシンク板とリング状枠体との接合温度が低く、熱膨張係数の差の影響を受けることが少なくて反りの発生を防止することができる。更に、ヒートシンク板とリング状枠体との接合にAgろうを用いないので、デントライトの発生を防止することができる。
【0026】
請求項2記載の高周波用パワーモジュール基板の製造方法は、リング状枠体が樹脂又はセラミックからなり、リング状枠体の上面に外部接続端子を樹脂、ろう材、ガラス、又は半田からなる接合部材で接合する第1工程と、ヒートシンク板のキャビティ部を形成する部分に、ダイアタッチ材を用いて半導体素子をダイボンドする第2工程と、ヒートシンク板にダイボンドされた半導体素子を囲繞するように、ヒートシンク板にリング状枠体の下面を樹脂、半田、又はガラスからなる320℃未満の接合温度を有する低融点接合材を介して当接して接合する第3工程と、半導体素子と外部接続端子をボンディングワイヤで接続する第4工程と、キャビティ部を蓋体で接合して半導体素子を気密に封止する第5工程を有するので、ヒートシンク板に安価なCu又はCu系金属板を用いて、高周波用パワーモジュール基板を安価に製造することができる。また、ヒートシンク板とリング状枠体との接合に低温度で接合できる低融点接合材を用いて接合し、熱膨張係数の差から発生する応力の影響を受けることが少なく、反りの発生を防止することができる高周波用パワーモジュール基板を製造することができる。更に、ヒートシンク板とリング状枠体との接合にAgろうを用いることなく製造して、デントライトの発生を防止することができる高周波用パワーモジュール基板を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (A)、(B)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る高周波用パワーモジュール基板を構成する高周波用パッケージの平面図、正面図である。
【図2】 (A)、(B)はそれぞれ同高周波用パワーモジュール基板の平面図、A−A’線拡大縦断面図である。
【図3】 (A)〜(E)はそれぞれ同高周波用パワーモジュール基板の製造方法の説明図である。
【図4】 (A)、(B)はそれぞれ従来の高周波用パッケージの平面図、正面図である。
【図5】 従来の高周波用パワーモジュール基板の説明図である。
【符号の説明】
10:高周波用パッケージ、11:ヒートシンク板、12:リング状枠体、13:低融点接合材、14:外部接続端子、15:接合部材、16:固定用切り欠き部、20:高周波用パワーモジュール基板、21:キャビティ部、22:半導体素子、23:ダイアタッチ材、24:蓋体、25:樹脂接着剤、26:ボンディングワイヤ、27:内側壁
Claims (2)
- ヒートシンク板とリング状枠体、及び外部接続端子を有し、半導体素子を実装して気密に封止する蓋体を有する高周波用パワーモジュール基板において、
前記ヒートシンク板が高放熱特性を有するCu又はCu系金属板からなり、前記リング状枠体が電気絶縁性を有する樹脂又はセラミックの絶縁体からなり、前記ヒートシンク板と前記リング状枠体で形成するキャビティ部には前記半導体素子がダイアタッチ材を用いて実装され、しかも、上面側に前記外部接続端子が樹脂、ろう材、ガラス、又は半田からなる接合部材を介して接合されている前記リング状枠体の下面側と前記ヒートシンク板が樹脂、半田、又はガラスからなる前記半導体素子を実装する時の接合温度未満、及び前記接合部材の接合温度未満の320℃を下まわる接合温度を有する低融点接合材で接合されており、前記蓋体で前記キャビティ部が気密に封止されていることを特徴とする高周波用パワーモジュール基板。 - 高放熱特性を有するCu又はCu系金属板からなるヒートシンク板と絶縁体からなるリング状枠体で形成するキャビティ部に半導体素子を接合し、金属板からなる外部接続端子で電気的に接続する高周波用パワーモジュール基板の製造方法において、
前記リング状枠体が樹脂又はセラミックからなり、該リング状枠体の上面に前記外部接続端子を樹脂、ろう材、ガラス、又は半田からなる接合部材で接合する第1工程と、
前記ヒートシンク板の前記キャビティ部を形成する部分に、ダイアタッチ材を用いて前記半導体素子をダイボンドする第2工程と、
前記ヒートシンク板にダイボンドされた前記半導体素子を囲繞するように、前記ヒートシンク板に前記リング状枠体の下面を樹脂、半田、又はガラスからなる320℃未満の接合温度を有する低融点接合材を介して当接して接合する第3工程と、
前記半導体素子と前記外部接続端子をボンディングワイヤで接続する第4工程と、
前記キャビティ部を蓋体で接合して前記半導体素子を気密に封止する第5工程を有することを特徴とする高周波用パワーモジュール基板の製造方法。
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