JP3809239B2 - 寸法測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定物の被測定面に、例えば曲率半径の小なる曲面に形成した測定子を先端に備えてなるシャフトを進退可能に形成して測定子を接触させて寸法を測定する装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、測定子を被測定物に接触させて寸法(長さ、厚さ、表面形状等)を測定する装置としては、測定子の変位量を検出する検出機構部に圧縮コイルばねを設けて、測定子を被測定物に押圧する構成のものが使用されている。しかしこのような構成の装置においては、圧縮コイルばねの弾性力によって測定子を被測定物に押圧するため、圧縮コイルばねの変位が大になると測定圧も大になる。このため、被測定物が変形し易いようなものでは、測定誤差が発生し易い。一方測定圧を減少させるために圧縮コイルばねのばね定数を小にすると、測定子が被測定物に忠実に接触しない場合があり、測定誤差が発生するという問題点がある。
【0003】
また上記のようなばね式のものにおいては、ばね定数が一定であることにより、測定力(押圧力)を簡単に調整することができないため、測定子の移動方向が重力に沿う方向であると、測定子および/または移動手段の自重により測定力が変化するという問題点がある。
【0004】
上記のようなばね式のものの欠点を解決するために、駆動手段を介して測定子を直線的に移動させる方式の寸法測定装置が提案されている。例えばモータによってボールねじを回転させて測定子を直線移動させるもの、ボイスコイルモータによって測定子を被測定物に押圧するようにしたもの、あるいは測定子の支持部材を圧縮空気により直線的に駆動するように構成したもの等が提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の測定子を直線的に駆動する手段を使用した装置においては、下記のような問題点がある。まずボールねじを使用するものにおいては、ボールねじ構成部材の相互間に間隙が存在するため、測定子に振れが発生し、高精度の測定が行えないと共に、測定子の移動速度が遅いため、測定時間が長くなるという問題点がある。
【0006】
次に測定子の直線駆動手段としてボイスコイルモータを使用するものにおいては、可動子(コイル)のストロークを長く形成することができず(20〜30mmが限度)、従って測定子のストロークも当然に小となり、測定範囲が狭いという欠点がある。一方上記ストロークを長くするためには、ヨークおよび永久磁石を含む磁気回路部を長くする必要があり、装置全体が大型化するという問題点がある。
【0007】
また圧縮空気により直線駆動するものにおいては、測定子の移動距離を厳密に制御することが困難であるため、高精度の測定ができないのみならず、測定圧力の制御もまた困難であるという問題点がある。
【0008】
更に上記従来の寸法測定装置においては、測定子の移動方向が重力に沿う方向、すなわち垂直方向に近づくと、測定圧に測定子および/または駆動手段の自重が加算されるため、測定圧が変動するのみならず、測定子を所定位置に保持できなくなることもあり、寸法測定装置としての機能が低く、使いにくいものであるという問題点も併存する。
【0009】
本発明は、上記従来技術に存在する問題点を解決し、小型かつ軽量であり、高精度の測定を行い得ると共に、測定子を所定位置に確実に保持し得る寸法測定装置を提供することを課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明においては、被測定物と接触する測定子を先端に備えてなる円柱状のシャフトと、このシャフトを前記被測定物に対して軸線方向に進退可能に移動させる移動手段と、前記測定子の移動位置を検出する検出手段とを有し、移動手段と検出手段とがケースの内部に収容された寸法測定装置において、
移動手段を、対向して配設された一対のヨークと少なくとも一方のヨークの対向内面に固着されかつ長手方向に沿ってN極とS極とが交互に現れるように形成された複数個の永久磁石とを有する固定子と、多相コイルを備えかつこの多相コイルが前記永久磁石の表面に沿って移動するように形成された可動子と、磁性材料からなり前記可動子を支持するように形成されかつ可動子と同方向に移動するように案内される保持部材と、前記保持部材に接続されかつ前記可動子の移動方向と逆方向に移動可能な部材に固着された質量調整部材とによって構成し、
検出手段を、前記固定子に固定されかつ前記可動子の移動方向に沿ってN極とS極とが交互に現れるように形成されたリニアスケールと、前記保持部材に設けられ前記リニアスケールの磁極を検出する磁気センサとによって構成し、前記質量調整部材を、前記シャフトと平行に配置された2本のガイドシャフトに夫々ローラを介して係合させ、
前記固定子の被測定物側に、前記シャフトの外周面を円環状の支持軸に回転可能に設けられた複数個のローラを介して押圧支持するように形成された軸受部材を設ける、という技術的手段を採用した。
【0011】
本発明において、リニアスケールの一端を長手方向不拘束状態に固定することができる。
また上記の発明において、質量調整部材を、銅合金からなるベース板上に、銅合金、鉛および重金属等からなる少なくとも2種のバランスウエイトを固着して形成し、前記ベース板に回転可能に支持された2個のローラを前記ガイドシャフトの一方に係合させ、前記ベース板に回転可能に支持された1個のローラを前記ガイドシャフトの他方に係合させると共に、前記ケース内に無端状のワイヤを回動自在に支持することにより前記可動子の移動方向と逆方向に移動可能な部材を形成し、無端状のワイヤに前記ベース板を固着して構成することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の実施の形態を示す説明図であり、(a)は左側面、(b)は一部省略正面を示す。図2は図1(b)におけるA−A線拡大断面図、図3は本発明の実施の形態における要部構成部材を示す分解斜視図である。
【0014】
図1ないし図3において、1は測定子であり、例えば鋼球からなり、円柱状に形成されたシャフト2の先端に固着されて、被測定物(図示せず)と接触する。次に3は移動手段であるリニアモータであり、前記シャフト2を被測定物に対して軸線方向に進退可能に移動させ得るように構成する。4は検出手段であり、リニアモータ3と長手方向に平行に設けられ、測定子1の移動位置を検出するものである。なおリニアモータ3および検出手段4は後述するように構成され、例えば鉄板のような磁性材料により、中空角筒状に形成したケース5内に収容される。
【0015】
次にリニアモータ3は固定子6と可動子7とによって構成される。まず固定子6は、例えば帯状の鉄板により形成され、かつ所定の間隔を介して対向配設されたヨーク8,9と、ヨーク8の対向内面に固着された複数個の永久磁石10とを有する。ヨーク8,9は各々長手方向両端部において、例えば止めねじ(図示せず)を介してベース11に固着されている。
【0016】
上記永久磁石10は、例えば角板状に形成され、厚さ方向に着磁されると共に、ヨーク8の長手方向に沿ってN極とS極とが交互に現れるように配設される。このような磁気回路の構造によれば、センターヨークがなく、かつ磁気空隙内で磁束が複数の閉ループを構成し、磁路の一部に磁束が集中しないため、長いストロークであってもそのストローク全体に亘って均一な磁束密度が得られるという利点がある。
【0017】
なお永久磁石10としては、公知の永久磁石を使用できるが、装置の小型・軽量化のために希土類磁石を使用することが好ましく、特にR−Fe−B系磁石(RはPr,Nd等を含む希土類元素の1種以上)を使用することがより好ましい。またR−Fe−B系磁石の具体的組成および製造方法は、例えば特公昭61−34242号公報に記載されたものでもよいが、最大エネルギー積が35MGOe以上の磁気特性を有するような組成および製造方法を選定することが望ましい。
【0018】
次に可動子7は、コイル基板12上に固着された複数個の偏平コイル13からなる多相コイル14を有し、この多相コイル14は正弦波状の電流を供給する駆動回路(図示せず)に接続されている。この場合コイルの相数をnとすると、永久磁石10の磁極ピッチ(相隣るN極とS極との間隔)の1/nの幅で、図2において紙面と直交する面内で巻回されているn個の偏平コイル13をコイル幅だけずらし、かつ相互の偏平コイル13の中央部が重ならないように配置することにより多相コイル14が形成される。なおコイルの相数が多くなる程力率が低下するので、入力電流の増加を防ぐためには2相または3相のコイルとすることが望ましい。例えば3相コイルとする場合には、夫々の相をすべて直列接続とすると共に、夫々の相間をY形結線とすればよい。
【0019】
次に可動子7のコイル基板12には、通電すべきコイルを選定し、かつ電流の方向を切り換えるために、前記永久磁石10の磁極位置を検出すべきn個(nはコイルの相数)の例えばホール素子のような位置検出素子15が設けられ、例えば同期式ACサーボモータで使用されるものと同様の構成の制御回路(図示せず)を介して、前記駆動回路に接続されている。図2および図3においては位置検出素子15が1個のみ設けられたものが示されているが、夫々の位置検出素子15は、磁極の配列方向に沿ってかつ理論的にはコイルピッチの1/nの間隔を介してコイル基板12に固着される。
【0020】
また可動子7を構成するコイル基板12の下方には、例えば鉄鋼材料のような強磁性材料からなる保持部材16が固着されると共に、この保持部材16はベース11を構成する支持枠17上に固着されたレール18に沿って摺動するリニアガイド19上に設けられている。なおシャフト2の後端は保持部材16と固着されると共に、シャフト2はベース11の端部の軸受部20内に設けられかつ後述するように構成された軸受部材21によって摺動可能に支持されている。
【0021】
次に22は質量調整部材であり、後述するように形成され、支持枠17内に設けられた2本のガイドシャフト23を介して長手方向移動可能に介装されている。24はワイヤであり、支持枠17に設けられたガイドローラ25に巻回され、その中間部が前記質量調整部材22と固着されると共に、両端部は前記保持部材16に接続されたアーム26に接続される。従って可動子7が所定方向に移動すると、ワイヤ24の回動により、質量調整部材22は可動子の移動方向とは逆方向に移動するので、前記測定子1の移動方向が垂直方向に近い場合であっても、測定子1を所定の位置に静止保持することができるのである。
【0022】
検出手段4は、ベース11を構成する支持枠17上にスケールプレート28を介して設けられたリニアスケール29と、可動子7を構成する保持部材16にリニアスケール29と近接対向して設けられた磁気センサ30とによって構成される。リニアスケール29は、例えば異方性フェライト磁石材料によって帯板状に形成されると共に、その長手方向、すなわち可動子7の移動方向に沿って、その表面にN極とS極とが例えば数μmの微小間隔で現れるように着磁されて形成される。磁気センサ30は前記保持部材16の底面に適宜の結合手段を介して支持されたFPC31の先端に形成されている。
【0023】
なおスケールプレート28は、例えば鉄鋼材料によって形成されて、支持枠17上に止めねじ等によって固着される。リニアスケール29は一方の端部をスケールプレート28に例えば接着剤を介して固着されるが、他方の端部は例えば後述するように形成された保持ばね32を介して、長手方向不拘束状態に固定する。このような構成により、スケールプレート28とリニアスケール29との構成材料の相違による熱膨張差を吸収することができる。
【0024】
磁気センサ30としては、検出手段4から例えば2相のエンコーダ信号を得るために磁気抵抗素子(MR素子)が使用される。このMR素子は磁界を加えるとその電気抵抗が変化する性質を利用するものであり、例えばNi−Fe系またはNi−Co系の強磁性材料を使用して作製することができる。なおこの磁気センサ30とリニアモータ3を構成する磁気回路部(固定子6)との間には、強磁性材料からなる保持部材16が介在しているので、磁気センサ30を永久磁石10の磁束に対して磁気的にシールドすることができるのである。
【0025】
図4は図3における軸受部材21を示す説明図であり、(a)は左側面、(b)は要部縦断面、(c)は右側面を示す。図4において、41は本体であり、例えば鉄鋼材料やアルミニウム合金により中空円筒状に形成すると共に、軸線と平行に例えば3個のスリット42を設ける。なお本体41は前記図3に示す軸受部20内に同軸的に嵌装可能に形成される。次に43は支持軸であり、例えばばね鋼により横断面形状を円形に、かつ全体をC字状の円環状に形成し、この支持軸43に例えば3個のローラ44を回転可能に介装させる。
【0026】
なおローラ44は本体41に設けられたスリット42内に収容され、かつローラ44の外周面がシャフト2の外周面に当接し、シャフト2を軸線方向移動可能に支持するように形成する。45は止めねじであり、本体41に螺合され、支持軸43の外周面の近傍にその先端部が当接するように設けられる。46はねじ穴であり、軸受部材21を例えば図3に示す軸受部20内に同軸的に嵌装するためのものである。
【0027】
上記の構成により、止めねじ45を本体41に螺合させることにより、支持軸43を所定の位置に固定することができると共に、支持軸43の直径寸法を調整してローラ44が確実にシャフト2の外周面と当接し、かつシャフト2を本体41と同軸的に保持することができる。
【0028】
図5は図3における保持ばね32を示す説明図であり、(a)は平面、(b)は側面を示す。図5において、保持ばね32は例えばばね用リン青銅(C5210)からなる板材により、先端にU字状の保持部47を設けて形成する。48は取付穴である。なお保持部47の内法寸法は、前記図2および図3に示すリニアスケール29の幅寸法と実質的に同一に形成する。
【0029】
上記構成により、保持ばね32を図3に示すようにスケールプレート28に取り付ければ、保持部47がリニアスケール29の端部を長手方向不拘束状態に固定することができるのである。
【0030】
図6は図3における質量調整部材22を示す説明図であり、(a)は平面、(b)は底面、(c)は(a)におけるB矢視を示す。図6において、51はベース板であり、例えば銅合金からなる板材により、擬似台形状に形成する。次に52〜54は夫々バランスウエイトであり、夫々銅合金、鉛および重金属によって板状に形成し、ベース板51の上面に、例えば接着剤を介して固着する。なおバランスウエイト54を形成する重金属としては、オスミウム、イリジウム、白金、タングステン、金等の比重5.0 以上(特に10以上)の金属(価格の点からタングステン合金が好ましい)を使用できる。
【0031】
次に55はローラであり、ベース板51の長辺側にピン56を介して回転可能に設ける。なおベース板51の短辺側には、後述するように形成してなるローラ57を位置調整可能かつ回転可能に設ける。58は支持部材、59はピン、60は取付ねじ、61は貫通穴、62は溝である。
【0032】
図7は図6における支持部材58その他を示す説明図であり、(a)は平面、(b)は正面を示し、同一部分は前記図6と同一の参照符号で示す。図7において支持部材58は、例えば銅合金により略L字形に形成され、ピン59を介してローラ57を回転可能に支持するように形成される。63は取付穴である。
【0033】
上記構成の支持部材58は、前記図6に示されるように、ローラ57を貫通穴61からベース板51の上方に臨ませて取付ねじ60によってベース板に取り付けられる。そして図6におけるローラ55,57を前記図2に示す2本のガイドシャフト23に係合させることにより質量調整部材22を介装する。この場合、支持部材58を若干外方に揺動させて固定することにより、ローラ55,57とガイドシャフト23との係合状態を調整することができる。
【0034】
上記の構成により、図2に示すように組み立てた後、複数個の偏平コイル13に選択的に正弦波駆動電流を供給し、かつ電流の向きを切り換えることにより、可動子7、シャフト2および測定子1(図1参照)を紙面と直交する方向に直線移動させることができる。すなわち偏平コイル13の巻線方向は永久磁石10の磁束と直交しているので、可動子7にはフレミングの左手の法則に基づいて、紙面の表から裏若しくは裏から表の方向の推力が付与され、前記測定子1を直線移動させることができるのである。
【0035】
図8および図9は各々本発明の実施の形態および従来のものにおける測定子の位置と摺動抵抗との関係を示す図である。この場合、従来のものとしては、先端に測定子を有するシャフトは、シャフトの外面と軸受部材の内面との間に多数の鋼球を転動可能に介装させたボールスプライン若しくはリニアブッシュ構造によって支持されるものとした。また摺動抵抗は、荷重変換器によりシャフトを軸線方向に押すことによって測定した。
【0036】
図8から明らかなように、本発明の実施の形態においては、測定子1を先端に備えたシャフト2を、図4に示すように複数個のローラ44により確実に当接保持する構成の軸受部材21によって支持する構成としたことにより、摺動抵抗の変動およびバラツキを極めて小なる範囲内に抑制することができる。これに対して図9に示すように、従来のものにおいては、摺動抵抗の変動およびバラツキが大であり、シャフトの直線移動状態が極めて不安定であることがわかる。特に測定子の位置によって局部的に摺動抵抗のピーク値が頻繁に現れるため、寸法測定装置としての操作性が低いことが示されている。
【0037】
次に本発明の実施の形態における被測定物の寸法や表面状態の測定例について記述する。
【0038】
【実施例】
(実施例1)
図10は本発明の第1実施例における測定状態を示す説明図であり、同一部分は前記図1と同一の参照符号で示す。図10において、Sは基盤であり、被測定物Wが載置されており、被測定物Wの上方に前記構成の寸法測定装置Mを直立状態で保持する。この状態において被測定物Wの高さ寸法h若しくは段差を測定するには、シャフト2を介して測定子1を基盤Sおよび被測定物Wの上面まで移動させて、移動量L0 およびL1 を検出し、両者の差(L0 −L1 )を算出すれば上記高さ寸法hが得られる。
【0039】
この場合の移動量L0 ,L1 は、前記図2および図3におけるリニアスケール29上の移動量を磁気センサ30によって検出される。なお複数個の被測定物Wを測定する場合において、寸法測定装置Mを所定位置に固定しておけば、移動量L0 が一定となり、測定子1をその都度基盤Sまで移動させる必要はない。
【0040】
(実施例2)
図11は本発明の第2実施例における測定状態を示す説明図であり、同一部分は前記図10と同一の参照符号で示す。図11において、まずシャフト2を下方に移動させて測定子1を被測定物Wの表面に当接させた後、寸法測定装置Mを水平方向に移動させ、測定子1を被測定物Wの表面に追従して移動させることにより、被測定物Wの表面の形状を測定することができる。
【0041】
(実施例3)
図12は本発明の第3実施例における測定状態を示す説明図であり、同一部分は前記図10および図11と同一の参照符号で示す。図12において、S1 は基準ゲージであり、基盤S上の高さ寸法h0 に形成されている。まず測定子1を基準ゲージS1 の上面に当接させて電気的信号処理回路(図示せず)により、磁気センサ30(図2および図3参照)をリニアスケール29の特定の位置に原点を形成する。
【0042】
次に測定子1を被測定物Wに当接させて、測定子1の上記原点からの移動量(h0 −h1 )を測定することにより、被測定物Wの高さ寸法h1 を測定することができる。なお上記原点の形成は、基準ゲージS1 によることなく、上記リニアスケール29上に絶対位置として形成するようにしてもよい。
【0043】
上記のように、本発明によれば、測定子1を多極多相型のリニアモータによって移動させる構成であるため、駆動手段であるモータ部の体積がボイスコイルモータと同一であっても、3倍以上のストロークが得られる。すなわち、例えばストロークが30mmのボイスコイルモータを、それと同一の体積のリニアモータに代えることにより、そのストロークは100mm以上になるのである。従って測定子1の移動位置の何れの位置においても一定の測定圧力が得られ、被測定物Wの性状に影響されず、その寸法を正確に測定することができるのである。
【0044】
次に測定子1を駆動するための可動子3には、質量調整部材22が接続されかつ可動子3と相対移動可能に構成されているため、測定子1の移動方向が垂直方向であっても可動子3が所定位置に保持される。従って可動子3への通電を停止した場合においても、測定子1を所定位置に確実に保持することができるのである。
【0045】
また可動子3の移動位置を検出する磁気センサ30は、リニアモータの磁気回路からの漏洩磁束に起因するノイズの発生がないように磁性材料からなる保持部材16によって保護されているため、高精度の測定を行うことができる。
【0046】
更にリニアモータを構成するヨーク8,9をベース11と一体化した構成であるため、装置の剛性を高め得ると共に、構成部材を磁性材料からなるケース5内に収容した構成とすることにより、外部へのおよび外部からの漏洩磁束を遮蔽することができ、装置使用の自由度を大にできる。
【0047】
なお検出手段4を構成するリニアスケール29は、スケールプレート28に一方の端部のみを接着剤等によって固着されるが、他方の端部は例えば保持ばね32を介して長手方向不拘束状態に固定されているため、両者の構成材料の相違によるいわゆるバイメタル効果に起因する反り等の変形が防止され、磁気センサ30とリニアスケール29との間隙を極めて小にすることができ、検出精度を向上させ得る。
【0048】
上記の発明の実施の形態においては、ヨーク8の内面にのみ永久磁石10を固着した例について記述したが、対向する他のヨーク9の内面にも永久磁石10を固着した構成としてもよい。またリニアスケール29はスケールプレート28を介することなくベース11若しくは支持枠17に直接固定してもよい。なおリニアスケール29の一方の端を固着する手段としては、接着剤以外の機械的固着手段を使用することができる。更にシャフト2の先端に固着する測定子1としては、鋼球以外のものでもよく、また形状として球形以外の曲率半径が小なる曲面を有するものとすることができる。
【0049】
【発明の効果】
本発明は以上記述のような構成および作用であるから、小型、軽量かつ低コストとすることができると共に、例えば測定子のストロークが100mmのような大寸法の測定においても、繰り返し精度±1μm、絶対精度±5μmのような高精度が得られる。また測定子の駆動を停止しても、質量調整部材によって測定子を所定の位置に確実に保持することができるため、測定方向の如何に拘らず寸法測定ができるという効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示す説明図であり、(a)は左側面、(b)は一部省略正面を示す。
【図2】図1(b)におけるA−A線拡大断面図である。
【図3】本発明の実施の形態における要部構成部材を示す分解斜視図である。
【図4】図3における軸受部材21を示す説明図であり、(a)は左側面、(b)は要部縦断面、(c)は右側面を示す。
【図5】図3における保持ばね32を示す説明図であり、(a)は平面、(b)は側面を示す。
【図6】図3における質量調整部材22を示す説明図であり、(a)は平面、(b)は底面、(c)は(a)におけるB矢視を示す。
【図7】図6における支持部材58その他を示す説明図であり、(a)は平面、(b)は正面を示す。
【図8】本発明の実施の形態における測定子の位置と摺動抵抗との関係を示す図である。
【図9】従来のものにおける測定子の位置と摺動抵抗との関係を示す図である。
【図10】本発明の第1実施例における測定状態を示す説明図である。
【図11】本発明の第2実施例における測定状態を示す説明図である。
【図12】本発明の第3実施例における測定状態を示す説明図である。
【符号の説明】
1 測定子
2 シャフト
4 検出手段
6 固定子
7 可動子
Claims (3)
- 被測定物と接触する測定子を先端に備えてなる円柱状のシャフトと、このシャフトを前記被測定物に対して軸線方向に進退可能に移動させる移動手段と、前記測定子の移動位置を検出する検出手段とを有し、移動手段と検出手段とがケースの内部に収容された寸法測定装置において、
移動手段を、対向して配設された一対のヨークと少なくとも一方のヨークの対向内面に固着されかつ長手方向に沿ってN極とS極とが交互に現れるように形成された複数個の永久磁石とを有する固定子と、多相コイルを備えかつこの多相コイルが前記永久磁石の表面に沿って移動するように形成された可動子と、磁性材料からなり前記可動子を支持するように形成されかつ可動子と同方向に移動するように案内される保持部材と、前記保持部材に接続されかつ前記可動子の移動方向と逆方向に移動可能な部材に固着された質量調整部材とによって構成し、
検出手段を、前記固定子に固定されかつ前記可動子の移動方向に沿ってN極とS極とが交互に現れるように形成されたリニアスケールと、前記保持部材に設けられ前記リニアスケールの磁極を検出する磁気センサとによって構成し、前記質量調整部材を、前記シャフトと平行に配置された2本のガイドシャフトに夫々ローラを介して係合させ、
前記固定子の被測定物側に、前記シャフトの外周面を円環状の支持軸に回転可能に設けられた複数個のローラを介して押圧支持するように形成された軸受部材を設けたことを特徴とする寸法測定装置。 - リニアスケールの一端を長手方向不拘束状態に固定したことを特徴とする請求項1記載の寸法測定装置。
- 質量調整部材を、銅合金からなるベース板上に、銅合金、鉛および重金属等からなる少なくとも2種のバランスウエイトを固着して形成し、前記ベース板に回転可能に支持された2個のローラを前記ガイドシャフトの一方に係合させ、前記ベース板に回転可能に支持された1個のローラを前記ガイドシャフトの他方に係合させると共に、前記ケース内に無端状のワイヤを回動自在に支持することにより前記可動子の移動方向と逆方向に移動可能な部材を形成し、無端状のワイヤに前記ベース板を固着したことを特徴とする請求項1若しくは2記載の寸法測定装置。
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JP00591597A JP3809239B2 (ja) | 1997-01-17 | 1997-01-17 | 寸法測定装置 |
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