JP3806802B2 - Robot hand drive device - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロボットハンドの駆動装置、詳しくは、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ用ガラス基板等薄型基板を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、スカラロボットなど、薄型基板を保持して移動可能なハンドを有するロボットにおいて、図１７に示すような、ハンド６をハンド長手方向と一致する水平軸３１回りに回転させる反転機構３２を備えたタイプのロボットが知られている。
【０００３】
そして、従来の反転機構３２を備えたロボットは、図１７に示すようにアーム４、５を前方へ伸ばした状態でハンド６を反転させたり、あるいは、図１８に示すようにハンド６を第１アーム５から十分に離れた高い位置に設定することによって、ハンド６を反転させる際に薄型基板８がアーム４、５と干渉しないような対策が講じられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の場合、フットプリント（ロボットの公称旋回範囲）が拡大するという問題があり、また、後者の場合、基板パスラインが上昇するという問題があった。また、両者共、ダブルアーム式のロボットへの適用が困難であった。
【０００５】
本発明は上記のような従来のロボットの問題点を解決し、フットプリントの縮小化を図るとともに基板パスラインの上昇を防止し、さらにダブルアーム式ロボットに対しても容易に適用可能にすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明によるロボットハンドの駆動装置は、薄型基板を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置であって、ハンド長手方向と直交する水平軸回りに前記ロボットハンドを回転させる反転機構を備え、前記薄型基板を保持しているロボットハンドを前記反転機構によって回転させる間、前記薄型基板の中心位置をハンド長手方向において定位置に維持するよう前記ロボットハンドのハンド長手方向における位置を制御することを特徴とする。
【０００８】
ここで、前記水平軸にギャバックラッシュ抑制機構が配設される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１は、一実施形態に係るロボットハンドの駆動装置が組み込まれたシングルアーム式スカラロボットの側面図、図２は、同スカラロボットの平面図、図３は同スカラロボットの正面図を示す。
【００１１】
図１〜図３において、スカラロボット１は、機台２と胴体部３と第２アーム４と第１アーム５とハンド６とハンド６の反転機構７とを備える。
【００１２】
ハンド６は、従来公知のスカラロボットのハンドと同様、胴体部３の昇降動作及び旋回動作を基に昇降及び旋回し、また、第２アーム４及び第１アーム５の屈伸動作によって水平面上の直線軌道上を移動する。ハンド６は、本実施形態の場合、真空吸着式ハンドであり、図１に実線で示したハンド６の上面６ａ側でガラス基板８を吸着保持することができる。
【００１３】
ハンド６の反転機構７の構成を図４〜図７に示す。図４は、反転機構７の正面から見た断面図、図５は、反転機構７のハウジング内部の構成を示す平面図、図６は、反転機構７の側面から見た断面図、図７は、ギヤバックラッシュ抑制機構の説明図をそれぞれ示す。
【００１４】
図４〜図７において、ハンド６の元部６ｂには、ハンド６の直線軌道（長手方向）と直交する水平軸（反転軸）９が固着されている。水平軸９は、ハウジング１０に配設された軸受部１１、１２によって回転自在に保持されており、水平軸９の一端にウオームホイール１３が固着されている。ウオームホイール１３は、ハンド６の直線軌道と平行に配置されたウオーム軸１４と噛合しており、ウオーム軸１４はプーリ１５に固着されている。ハウジング１０の内部にはモータ１６が配設されている。モータ１６の出力軸にはプーリ１７が固着されており、このプーリ１７と上記プーリ１５との間にタイミングベルト１８が掛け渡されている。
【００１５】
ハンド６が図１に実線で示す定常状態に維持されているときにモータ１６が所定の期間正転すると、動力伝達機構（プーリ１７、タイミングベルト１８、プーリ１５、ウオーム軸１４及びウオームホイール１３）を介して水平軸９が正転し、ハンド６は図１に二点鎖線で示す反転状態へと変わる。また、ハンド６が反転状態にあるときにモータ１６を所定の期間逆転させると、動力伝達機構１７、１８、１５、１４、１３を介して水平軸９が逆転し、ハンド６は定常状態に復帰する。ところで、ハンド６は、回転時（反転時及び復帰時）に図７（Ａ）に示すような鉛直状態付近を通過することになるが、この鉛直状態付近の通過時に、ギヤ装置１４、１３のバックラッシュによりハンド６にがたつきが発生するおそれがある。このため、ギヤバックラッシュ抑制機構を設けることが好ましい。図４に示すコイルばね４１は、第１のギヤバックラッシュ抑制機構を構成する。コイルばね４１は、水平軸９に外嵌されており、水平軸９が反転方向へ回転するときこの回転方向と反対方向の力を水平軸９に対して加えるよう構成され、バックラッシュを防止する。図７（Ｂ）、（Ｃ）は、第２のギヤバックラッシュ抑制機構の構成を概念的に示す。このギヤバックラッシュ抑制機構は、互いに対向配置された一対の板ばね１９、２０の間に、水平軸９と一体となって回転するロータ部２１を配して構成される。ロータ部２１は両端に板ばね１９、２０と当接可能なローラ２２、２３を備える。ロータ部２１は、ハンド６が定常状態にあるときは図７（Ｂ）に示すように二つのローラ２２、２３が一対の板ばね１９、２０から離れた状態にあり、ハンド６の回転時、ハンド６が定常状態から９０°回転する前において一対の板ばね１９、２０と当接を開始して板ばね１９、２０を弾性変形させ、ハンド６が９０°回転したとき図７（Ｃ）に示すように一対の板ばね１９、２０から十分大きな弾性復帰力（押圧力）を受けるよう動作する。これにより、バックラッシュを防止できハンド６にがたつきが発生しなくなる。上述した第１、第２のギヤバックラッシュ抑制機構は、いずれか一方のみ装備するようにしてもよいし、両方装備するようにしてもよい。
【００１６】
ハンド６の回転時、水平軸９が直線軌道上の定位置を維持しながらハンド６を回転させること、換言すると、第１アーム５及び第２アーム４を一切動かさないでハンド６のみを回転させることを積極的に除外するものではないが、ハンド６の回転時にガラス基板８が受ける風圧を考慮すると、水平軸９の直線軌道上の位置を変えながらハンド６を回転させること、換言すると、第１アーム５及び第２アーム４を動かしながらハンド６を回転させることの方が好ましい。この場合、図８に示すように、ガラス基板８の中心位置を直線軌道方向において定位置に維持するよう、第１アーム５及び第２アーム４の動作を制御する、換言すると、ハンド６の直線軌道方向における位置を制御するようにする。なお、このような制御は、図示しない制御回路による演算処理に基づいて行われる。
【００１７】
次に、上記のように構成されたスカラロボット１の一連の動作例を図９〜図１４に基づいて説明する。
【００１８】
まず、図９（Ａ）、（Ｂ）に示すように、カセット２４内からガラス基板８を取り出すため、スカラロボット１をカセット２４に正対させる。次に、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示すように、取り出したいガラス基板８の真下までハンド６を前進させ、ハンド６を上昇させてハンド６の上面６ａにガラス基板８を載せるとともに吸着する。次に、図１１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ハンド６を図９（Ａ）、（Ｂ）と同じ位置まで後退させる。次に、反転機構７によりハンド６を反転させる。この反転の間、上述したように、ガラス基板８の中心位置を直線軌道方向において定位置に維持するよう、第１アーム５及び第２アーム４の動作が制御される、換言すると、ハンド６の直線軌道方向における位置が制御される。図１２（Ａ）、（Ｂ）は、この反転時、ガラス基板８が鉛直状態となったときのスカラロボット１の形態を示し、図１３（Ａ）、（Ｂ）は、ハンド６が反転終了したときのスカラロボット１の形態を示している。なお、この反転終了時のハンド６は、ガラス基板８への吸着力のみによってガラス基板８を保持している。その後、図１４に示すように、ハンド６を前進させ載置台２５の上にガラス基板８を載せる。
【００１９】
以上説明したように、本実施形態に係るロボットハンド６の駆動装置は、薄型基板（ガラス基板８）を保持して移動可能なロボットハンド６の駆動装置であって、直線軌道（ハンド長手方向）と直交する水平軸９回りにロボットハンド６を回転させる反転機構７を備える。本実施形態によると、ロボット１のアーム４、５を屈状態にしたままでハンド６を反転させても薄型基板８とアーム４、５との干渉が発生しないため、フットプリントが縮小される。また、ハンド６をアーム４、５から近い高さ位置に設定しておいても、薄型基板８とアーム４、５との干渉を招くことなくハンド６を反転させることができるため、基板パスラインの上昇を防止することができる。
【００２０】
また、本実施形態は、薄型基板８を保持しているロボットハンド６を反転機構７によって回転させる間、薄型基板８の中心位置を直線軌道方向（ハンド長手方向）において定位置に維持するようロボットハンド６の直線軌道方向（ハンド長手方向）における位置を制御する。このため、ハンド６の回転時に薄型基板８が受ける風圧を減少させることができ、ハンド６の回転速度の増大を図ることができる。
【００２１】
また、ギヤバックラッシュ抑制機構（一対の板ばね１９、２０、ロータ部２１、ローラ２２、２３、コイルばね４１）を設けることにより、ハンド６が鉛直状態付近を通過するときのギヤ装置１４、１３のバックラッシュによるハンド６のがたつきを防止することができる。
【００２２】
なお、上記実施形態はガラス基板８を搬送するロボットについて説明したが、ガラス基板８の代わりに半導体ウエハなど、その他の薄型基板を搬送するロボットにも容易に適用できることは言うまでもない。また、多関節ロボットにも適用可能である。
【００２３】
図１５（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の他の実施形態を示し、本実施形態は、従来公知のダブルアーム仕様のスカラロボット２６の上側のハンド２７に反転機構７を設けたものである。反転機構７は上述した実施形態と同様に構成され動作する。
【００２４】
また、図１６（Ａ）、（Ｂ）は、さらに他の実施形態を示し、本実施形態は、従来公知のダブルアーム仕様の直動型ロボット２８の上側のハンド２９に反転機構７を設けたものである。反転機構７は上述した実施形態と同様に構成され動作する。
【００２５】
図１５及び図１６から明らかなように、本発明は、ダブルアーム式ロボット２６、２８に対しても容易に適用可能である。
【００２６】
【発明の効果】
本発明によると、ハンドを反転させる際、フットプリントの縮小化を図ることができるとともに基板パスラインの上昇を防止することができる。また、ダブルアーム式ロボットに対しても容易に適用可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るロボットハンドの駆動装置が組み込まれたシングルアーム式スカラロボットの側面図である。
【図２】同スカラロボットの平面図である。
【図３】同スカラロボットの正面図である。
【図４】反転機構の正面から見た断面図である。
【図５】反転機構のハウジング内部の構成を示す平面図である。
【図６】反転機構の側面から見た断面図である。
【図７】ギヤバックラッシュ抑制機構の説明図である。
【図８】ハンド反転時のガラス基板の状態変位図である。
【図９】スカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図１０】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図１１】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図１２】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図１３】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図１４】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図である。
【図１５】本発明の他の実施形態に係るダブルアーム仕様のスカラロボットの斜視図及び正面図である。
【図１６】本発明のさらに他の実施形態に係るダブルアーム仕様の直動型ロボットの斜視図及び正面図である。
【図１７】従来のスカラロボットの反転機構の問題点を示す斜視図である。
【図１８】同じく従来のスカラロボットの反転機構の問題点を示す側面図である。
【符号の説明】
４、５ アーム
６ ハンド（ロボットハンド）
７ 反転機構
８ ガラス基板（薄型基板）
９ 水平軸
１９、２０ 一対の板ばね（ギヤバックラッシュ抑制機構）
２１ ロータ部（ギヤバックラッシュ抑制機構）
２２、２３ ローラ（ギヤバックラッシュ抑制機構）
４１ コイルばね[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a robot hand drive device, and more particularly to a robot hand drive device that is movable while holding a thin substrate such as a semiconductor wafer, a liquid crystal display, or a glass substrate for a plasma display.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, a robot having a movable hand holding a thin substrate, such as a SCARA robot, includes a reversing mechanism 32 for rotating the hand 6 about a horizontal axis 31 that coincides with the longitudinal direction of the hand as shown in FIG. There are known types of robots.
[0003]
Then, the robot equipped with the conventional reversing mechanism 32 reverses the hand 6 with the arms 4 and 5 extended forward as shown in FIG. 17, or the hand 6 as the first as shown in FIG. By setting the position sufficiently high from the arm 5, measures are taken so that the thin substrate 8 does not interfere with the arms 4 and 5 when the hand 6 is reversed.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the former case, there is a problem that the footprint (nominal turning range of the robot) is expanded, and in the latter case, there is a problem that the substrate pass line is raised. Moreover, both of them are difficult to apply to a double arm type robot.
[0005]
The present invention solves the problems of the conventional robot as described above, reduces the footprint, prevents the substrate pass line from rising, and can be easily applied to a double-arm robot. With the goal.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
A robot hand drive device according to the present invention is a robot hand drive device that is movable while holding a thin substrate, and includes a reversing mechanism that rotates the robot hand around a horizontal axis perpendicular to the longitudinal direction of the hand , While the robot hand holding the thin substrate is rotated by the reversing mechanism, the position of the robot hand in the hand longitudinal direction is controlled so as to maintain the center position of the thin substrate at a fixed position in the hand longitudinal direction. And
[0008]
Here, a backlash suppression mechanism is disposed on the horizontal axis.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0010]
FIG. 1 is a side view of a single-arm SCARA robot incorporating a robot hand drive device according to an embodiment, FIG. 2 is a plan view of the SCARA robot, and FIG. 3 is a front view of the SCARA robot.
[0011]
1 to 3, the SCARA robot 1 includes a machine base 2, a body part 3, a second arm 4, a first arm 5, a hand 6, and a reversing mechanism 7 for the hand 6.
[0012]
The hand 6 moves up and down and turns based on the raising and lowering operation and the turning operation of the body part 3 as well as the hand of a conventionally known SCARA robot, and the straight line on the horizontal plane by the bending and extending operations of the second arm 4 and the first arm 5. Move in orbit. In this embodiment, the hand 6 is a vacuum suction type hand, and can hold the glass substrate 8 by suction on the upper surface 6a side of the hand 6 shown by a solid line in FIG.
[0013]
The structure of the reversing mechanism 7 of the hand 6 is shown in FIGS. 4 is a cross-sectional view as seen from the front of the reversing mechanism 7, FIG. 5 is a plan view showing the internal structure of the housing of the reversing mechanism 7, FIG. 6 is a cross-sectional view as seen from the side of the reversing mechanism 7, and FIG. The explanatory view of a gear backlash suppression mechanism is shown, respectively.
[0014]
4 to 7, a horizontal axis (reversal axis) 9 orthogonal to the linear track (longitudinal direction) of the hand 6 is fixed to the base portion 6 b of the hand 6. The horizontal shaft 9 is rotatably held by bearings 11 and 12 disposed in the housing 10, and a worm wheel 13 is fixed to one end of the horizontal shaft 9. The worm wheel 13 meshes with a worm shaft 14 arranged in parallel with the straight track of the hand 6, and the worm shaft 14 is fixed to a pulley 15. A motor 16 is disposed inside the housing 10. A pulley 17 is fixed to the output shaft of the motor 16, and a timing belt 18 is stretched between the pulley 17 and the pulley 15.
[0015]
When the motor 16 rotates forward for a predetermined period while the hand 6 is maintained in a steady state indicated by a solid line in FIG. 1, a power transmission mechanism (pulley 17, timing belt 18, pulley 15, worm shaft 14 and worm wheel 13). , The horizontal axis 9 rotates forward, and the hand 6 changes to an inverted state indicated by a two-dot chain line in FIG. Further, when the motor 16 is reversed for a predetermined period while the hand 6 is in the reverse state, the horizontal shaft 9 is reversely rotated via the power transmission mechanisms 17, 18, 15, 14, and 13, and the hand 6 returns to the steady state. To do. By the way, the hand 6 passes through the vicinity of the vertical state as shown in FIG. 7A when rotating (reversing and returning). There is a possibility that the hand 6 may rattle due to backlash. For this reason, it is preferable to provide a gear backlash suppression mechanism. A coil spring 41 shown in FIG. 4 constitutes a first gear backlash suppressing mechanism. The coil spring 41 is externally fitted to the horizontal shaft 9, and is configured to apply a force in the opposite direction to the horizontal shaft 9 when the horizontal shaft 9 rotates in the reverse direction, thereby preventing backlash. . 7B and 7C conceptually show the configuration of the second gear backlash suppression mechanism. This gear backlash suppression mechanism is configured by arranging a rotor portion 21 that rotates integrally with the horizontal shaft 9 between a pair of leaf springs 19 and 20 arranged to face each other. The rotor unit 21 includes rollers 22 and 23 that can come into contact with the leaf springs 19 and 20 at both ends. When the hand 6 is in a steady state, the rotor portion 21 is in a state where the two rollers 22 and 23 are separated from the pair of leaf springs 19 and 20 as shown in FIG. Before the hand 6 rotates 90 ° from the steady state, the contact with the pair of leaf springs 19 and 20 is started to elastically deform the leaf springs 19 and 20, and when the hand 6 rotates 90 °, FIG. As shown, it operates to receive a sufficiently large elastic restoring force (pressing force) from the pair of leaf springs 19 and 20. As a result, backlash can be prevented and the hand 6 does not rattle. Only one or both of the first and second gear backlash suppression mechanisms described above may be provided.
[0016]
When the hand 6 is rotated, the hand 6 is rotated while the horizontal axis 9 is maintained at a fixed position on the straight track, in other words, only the hand 6 is rotated without moving the first arm 5 and the second arm 4 at all. However, considering the wind pressure received by the glass substrate 8 when the hand 6 is rotated, the hand 6 is rotated while changing the position of the horizontal axis 9 on the straight track, in other words, It is preferable to rotate the hand 6 while moving the first arm 5 and the second arm 4. In this case, as shown in FIG. 8, the operations of the first arm 5 and the second arm 4 are controlled so that the center position of the glass substrate 8 is maintained at a fixed position in the linear trajectory direction. The position in the orbit direction is controlled. Such control is performed based on arithmetic processing by a control circuit (not shown).
[0017]
Next, a series of operation examples of the SCARA robot 1 configured as described above will be described with reference to FIGS.
[0018]
First, as shown in FIGS. 9A and 9B, the SCARA robot 1 is directly opposed to the cassette 24 in order to take out the glass substrate 8 from the cassette 24. Next, as shown in FIGS. 10A and 10B, the hand 6 is advanced to just below the glass substrate 8 to be taken out, the hand 6 is raised, and the glass substrate 8 is placed on the upper surface 6a of the hand 6 and adsorbed. To do. Next, as shown in FIGS. 11A and 11B, the hand 6 is retracted to the same position as in FIGS. 9A and 9B. Next, the hand 6 is reversed by the reversing mechanism 7. During this reversal, as described above, the operations of the first arm 5 and the second arm 4 are controlled so as to maintain the center position of the glass substrate 8 at a fixed position in the linear trajectory direction. The position in the linear trajectory direction is controlled. FIGS. 12A and 12B show the configuration of the SCARA robot 1 when the glass substrate 8 is in a vertical state at the time of reversal, and FIGS. 13A and 13B show the hand 6 having been reversed. The form of the SCARA robot 1 is shown. The hand 6 at the end of the reversal holds the glass substrate 8 only by the adsorption force to the glass substrate 8. Thereafter, as shown in FIG. 14, the hand 6 is advanced to place the glass substrate 8 on the mounting table 25.
[0019]
As described above, the driving device for the robot hand 6 according to the present embodiment is a driving device for the robot hand 6 that can move while holding a thin substrate (glass substrate 8), and is a linear track (longitudinal direction of the hand). Is provided with a reversing mechanism 7 for rotating the robot hand 6 about a horizontal axis 9 orthogonal to the axis. According to this embodiment, since the interference between the thin substrate 8 and the arms 4 and 5 does not occur even if the hand 6 is reversed while keeping the arms 4 and 5 of the robot 1 bent, the footprint is reduced. Further, even if the hand 6 is set at a height position close to the arms 4 and 5, the hand 6 can be reversed without causing interference between the thin substrate 8 and the arms 4 and 5. Can be prevented from rising.
[0020]
In the present embodiment, the robot hand 6 holding the thin substrate 8 is rotated by the reversing mechanism 7 so that the center position of the thin substrate 8 is maintained at a fixed position in the linear trajectory direction (hand longitudinal direction). The position of the hand 6 in the linear trajectory direction (hand longitudinal direction) is controlled. For this reason, the wind pressure which the thin board | substrate 8 receives at the time of rotation of the hand 6 can be decreased, and the increase in the rotational speed of the hand 6 can be aimed at.
[0021]
Further, by providing a gear backlash suppression mechanism (a pair of leaf springs 19 and 20, rotor portion 21, rollers 22 and 23, coil spring 41), the gear devices 14 and 13 when the hand 6 passes near the vertical state. The backlash of the hand 6 due to backlash can be prevented.
[0022]
In the above embodiment, the robot for transporting the glass substrate 8 has been described. Needless to say, the robot can be easily applied to a robot for transporting other thin substrates such as a semiconductor wafer instead of the glass substrate 8. It can also be applied to articulated robots.
[0023]
FIGS. 15A and 15B show another embodiment of the present invention. In this embodiment, a reversing mechanism 7 is provided on an upper hand 27 of a conventionally known double-arm type SCARA robot 26. is there. The reversing mechanism 7 is configured and operates in the same manner as in the above-described embodiment.
[0024]
FIGS. 16A and 16B show still another embodiment. In this embodiment, the reversing mechanism 7 is provided on the upper hand 29 of a conventionally known double-arm specification linear motion robot 28. FIG. Is. The reversing mechanism 7 is configured and operates in the same manner as in the above-described embodiment.
[0025]
As is apparent from FIGS. 15 and 16, the present invention can be easily applied to the double-arm robots 26 and 28.
[0026]
【The invention's effect】
According to the present invention, when the hand is reversed, the footprint can be reduced and the rise of the substrate pass line can be prevented. Further, it can be easily applied to a double arm type robot.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view of a single-arm SCARA robot incorporating a robot hand drive device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of the SCARA robot.
FIG. 3 is a front view of the SCARA robot.
FIG. 4 is a cross-sectional view seen from the front of the reversing mechanism.
FIG. 5 is a plan view showing the configuration inside the housing of the reversing mechanism.
FIG. 6 is a cross-sectional view seen from the side of the reversing mechanism.
FIG. 7 is an explanatory diagram of a gear backlash suppressing mechanism.
FIG. 8 is a state displacement diagram of the glass substrate when the hand is reversed.
FIG. 9 is a perspective view and a side view showing a series of operation examples of the SCARA robot.
FIG. 10 is a perspective view and a side view showing a series of operation examples of the SCARA robot.
FIG. 11 is a perspective view and a side view showing a series of operation examples of the SCARA robot.
FIG. 12 is a perspective view and a side view showing a series of operation examples of the SCARA robot.
FIG. 13 is a perspective view and a side view showing a series of operation examples of the SCARA robot.
FIG. 14 is a perspective view showing a series of operation examples of the SCARA robot.
FIGS. 15A and 15B are a perspective view and a front view of a SCARA robot of a double arm specification according to another embodiment of the present invention.
FIGS. 16A and 16B are a perspective view and a front view of a double-armed direct acting robot according to still another embodiment of the present invention. FIGS.
FIG. 17 is a perspective view showing a problem of a reversing mechanism of a conventional SCARA robot.
FIG. 18 is a side view showing a problem of the reversing mechanism of the conventional SCARA robot.
[Explanation of symbols]
4, 5 arm 6 hand (robot hand)
7 Inversion mechanism 8 Glass substrate (thin substrate)
9 Horizontal shafts 19, 20 A pair of leaf springs (gear backlash suppression mechanism)
21 Rotor (gear backlash suppression mechanism)
22, 23 Roller (Gear backlash suppression mechanism)
41 Coil spring

Claims (2)

薄型基板を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置であって、
ハンド長手方向と直交する水平軸回りに前記ロボットハンドを回転させる反転機構を備え、
前記薄型基板を保持しているロボットハンドを前記反転機構によって回転させる間、前記薄型基板の中心位置をハンド長手方向において定位置に維持するよう前記ロボットハンドのハンド長手方向における位置を制御する
ことを特徴とするロボットハンドの駆動装置。A robot hand drive device that can move while holding a thin substrate,
A reversing mechanism for rotating the robot hand about a horizontal axis perpendicular to the longitudinal direction of the hand ,
Controlling the position of the robot hand in the longitudinal direction of the hand so that the center position of the thin substrate is maintained at a fixed position in the longitudinal direction of the hand while the robot hand holding the thin substrate is rotated by the reversing mechanism. A robot hand drive device. 前記水平軸にギヤバックラッシュ抑制機構が配設されることを特徴とする請求項１記載のロボットハンドの駆動装置。The robot hand drive device according to claim 1, wherein a gear backlash suppression mechanism is disposed on the horizontal axis .
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