JP3799680B2 - 洗浄方法 - Google Patents
洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3799680B2 JP3799680B2 JP24858096A JP24858096A JP3799680B2 JP 3799680 B2 JP3799680 B2 JP 3799680B2 JP 24858096 A JP24858096 A JP 24858096A JP 24858096 A JP24858096 A JP 24858096A JP 3799680 B2 JP3799680 B2 JP 3799680B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- rinse
- solvent
- bath
- hydrofluorocarbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、精密機械工業、光学機械工業、電子工業、プラスチック工業などにおいて、オイル類、油脂類、グリース、フラックス、手垢などが付着した金属、ガラス、プラスチックなどの部品、製品などの洗浄に有用な洗浄方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
オゾン層を保護する目的で、フロン113、トリクロロエタンなどの塩素を含む汎用溶媒の生産および使用が世界的に禁止されたため、その代替洗浄方法の研究開発が盛んになされている。例えば、水や水溶性の溶媒を水とともに用いて洗浄を行う方法や、炭化水素あるいは規制外の塩素系やフッ素系の溶媒を用いる方法などが開発されている。
【0003】
そのなかで、洗浄溶剤として洗浄作用を有する炭化水素類と、リンス洗浄溶剤として低沸点・不燃性で乾燥性の良いパーフルオロカーボン(PFC)やハイドロクロロフルオロカーボン(HCFC)、ハイドロフルオロカーボン(HFC)などのフッ素化溶媒とを用いるコ・ソルベントシステムが種々提案されている。
【0004】
例えば、特開平4−272194号公報には、被洗浄物を炭化水素系溶剤で洗浄し、PFCでリンス洗浄する方法が開示され、また、特開平7−197092号公報には、洗浄溶剤として炭化水素類を用い、リンス洗浄溶剤として1,1,2,3−テトラフルオロプロパンや1,1,1,2,2,3,4,5,5,5−デカフルオロペンタンなどの鎖状HFCを用いる洗浄方法が開示されている。しかしながら、これらの方法では、PFCや鎖状HFCなどのフッ素化溶媒が炭化水素類の溶解度が低いために、リンス洗浄浴がすぐに炭化水素類とフッ素化溶媒とに二層分離しリンス洗浄溶剤表面に炭化水素層が形成され、被洗浄物品を浸漬し引き上げる時に炭化水素が再付着するという欠点を有している。
【0005】
また、WO 95/05448号公報には、炭化水素類で洗浄し、次いでリンス洗浄溶剤としてC4〜C5の環状HFCを用い25℃でリンス洗浄する方法が開示されている。しかしながら、同号公報には、リンス洗浄温度が低く、リンス洗浄層を均一に管理するとの思想は示されていない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らは、上記の事情に鑑み鋭意検討を行った結果、(1)リンス洗浄浴に特定の環状ハイドロフルオロカーボンを供給して、リンス洗浄浴内における炭化水素濃度の上昇を抑え、リンス洗浄浴が相分離を起さないよう均一に維持することにより被洗浄物をリンス洗浄槽から引き上げる時に炭化水素が再付着することを防止できること、さらに(2)リンス洗浄浴の温度を高めに設定することによって、さらに容易にリンス洗浄浴を均一に管理しやすくなり、リンス洗浄効率が大巾に向上することを見いだし、本発明を完成するに至った。従って、本発明の目的は、被洗浄物品をリンス洗浄浴に浸漬し、引上げる時に炭化水素洗浄溶剤が再付着することを防止し、リンス効果の高い洗浄方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
かくして、本発明によれば、被洗浄物を炭化水素を主成分とする洗浄溶剤と接触させ、次いで該炭化水素が付着した被洗浄物をフッ素化溶媒を主成分とするリンス洗浄浴に浸漬してリンス洗浄することからなる洗浄方法において、フッ素化溶媒としての1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタン、または、1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタンと1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタンとの混合物(以下、「HFCP系ハイドロフルオロカーボン」ということがある)をリンス洗浄浴へ供給して、リンス洗浄浴が相分離を起さないよう均一に保持することを特徴とする被洗浄物の洗浄方法が提供される。
【0008】
【発明の実施の形態】
被洗浄物
本発明の洗浄方法は、汚染物質が付着した物品(被洗浄物)を清浄化させるのに広く用いられる。
【0009】
被洗浄物としては、格別な限定はなく、例えば、精密機械工業、金属加工工業、光学機械工業、電子工業、プラスチック工業などにおける金属、セラミックス、ガラス、プラスチック、エラストマーなどの部品、半製品および完製品などが用いられ、具体的には、バンパー、ギアー、ミッション部品、ラジエーター部品などの自動車部品、プリント基板、リードフレーム、モーター部品、コンデンサーなどの電子電気部品、ベアリング、ギア、時計部品、カメラ部品などの精密機械部品、印刷機械、印刷ロール、圧延製品、建設機械、大型重機部品などの大型機械部品、食器類などの生活製品など、多種多彩の例をあげることができる。
【0010】
汚染物質の種類としては、例えば、切削油、焼き入れ油、圧延油、潤滑油、機械油、プレス加工油、打ち抜き油、引き抜き油、組立油、線引き油などのオイル類、グリース類、ワックス類、接着剤、油脂類、成型時の離型剤、手垢、ハンダ付け後のフラックス、レジスト、ソルダーペーストなどの様々なものがあげられる。
【0011】
(1)洗浄工程
本発明の洗浄方法においては、先ず第1の工程として、被洗浄物を炭化水素溶媒を主成分とする洗浄溶剤で洗浄する。
【0012】
炭化水素溶媒としては、例えば、鎖状飽和、鎖状不飽和、環状飽和、環状不飽和などの脂肪族炭化水素類や芳香族炭化水素類などが挙げられ、これらの中でも、脂肪族炭化水素類が好ましく、特に鎖状飽和、環状不飽和などの脂肪族炭化水素が特に好ましい。また、炭化水素の炭素数は、洗浄用途に応じて適宜選択されればよいが、通常5〜30個、好ましくは8〜20個、より好ましくは8〜13個である。
【0013】
かかる炭化水素としては、例えば、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、イソオクタン、ノナン、デカン、イソデカン、ウンデカン、ドデカン、イソドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペンタデカン、ヘキサデカン、ヘプタデカン、オクタデカン、イソオクタデカンなどの鎖状飽和の脂肪族炭化水素類;シクロペンタン、メチルシクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、シクロデカン、メチルシクロデカン、シクロドデカン、デカリン、ノルボルナンなどの環状飽和の炭化水素類;ヘプテン、ヘプタジエン、オクテン、オクタジエン、ノネン、ノナジエン、デセン、デカジエン、ウンデセン、ドデセン、ドデカジエン、トリデセン、トリデカジエン、テトラデセン、テトラデカジエン、オクタデセン、オクタデカジエン、イソプレンの2量体などの鎖状不飽和の炭化水素類;α−ピネン、β−ピネン、γ−テルピネン、δ−3−カレン、リモネン、ジペンテン、テルピレンなどのテルペン類などの環状不飽和の炭化水素類;およびトルエンなどの芳香族炭化水素類が挙げられる。これらの中でも、オクタン、イソオクタン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、リモネン、ジペンテンなどが好ましい。これらの炭化水素類は、それぞれ単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。また、市販されている炭化水素系洗浄剤として、例えば、ノルマルパラフィンシリーズ、アイソゾールシリーズ、アイソランシリーズ(以上、日本石油化学社製)、0〜5号ソルベント、テクリーンシリーズ(以上、日本石油社製)、NSクリーンシリーズ(日鉱石油化学社製)などを用いることができる。
【0014】
本発明で使用される炭化水素溶媒を主成分とする洗浄溶剤は、これらの炭化水素類のみでもよいし、または、切削油、潤滑油、機械油、プレス加工油などに常用されるように、炭化水素をベースにして各種添加剤を加えたものでも良い。
【0015】
洗浄方法としては、被洗浄物と上記洗浄溶剤とを接触させればよく、通常の洗浄方法を採用できる。具体的には、例えば、手拭き、浸漬、スプレー、シャワーなどの方法を挙げることができ、特に浸漬方法が好適に用いられる。浸漬による処理に際しては、超音波振動、揺動、攪拌、ブラッシングなどの物理的な手段を併用してもよい。洗浄溶剤の温度は、被洗浄物の性状に応じて適宜選択されればよいが、通常室温以上沸点までの範囲、好ましくは40℃以上沸点までの範囲、より好ましくは50℃以上沸点までの範囲である。
【0016】
(2)リンス洗浄工程
本発明においては、上記洗浄工程の後に、洗浄溶剤が付着した被洗浄物をリンス洗浄溶剤と接触させてリンス洗浄するが、リンス洗浄溶剤の浴が均一であることを特徴とする。リンス洗浄浴は、均一状態である時にリンス洗浄効率が格段に改善される。
【0017】
すなわち、一般にフッ素化溶媒の炭化水素類の溶解度は高くないため、被洗浄物から落とされた炭化水素とリンス洗浄溶剤としてのフッ素化溶媒が二層分離し、比重の軽い炭化水素類がリンス洗浄浴の表面上層に層分離される。そうすると、被洗浄物を浸漬し引き上げる時に炭化水素が再付着するため、リンス洗浄効率が大幅に下がる原因となる。
【0018】
本発明は、(1)リンス洗浄槽にリンス洗浄溶剤の供給手段を設けて、リンス洗浄浴中にHFCP系ハイドロフルオロカーボンを供給し、(2)リンス洗浄浴における炭化水素濃度の上昇を緩和させ、(3)リンス洗浄浴が相分離を起さぬよう均一に維持することにより上記の欠点を解消している。
【0019】
HFCP系ハイドロフルオロカーボンの純度は、洗浄剤として使用される炭化水素が相分離を起さない範囲のものであれば格別限定されることはなく、炭化水素洗浄剤およびHFCP系ハイドロフルオロカーボンの種類、およびリンス洗浄温度などの条件により適宜選択される。HFCP系ハイドロフルオロカーボンとしては、通常は、その濃度が80重量%以上、好ましくは90重量%以上、より好ましくは95重量%以上のものが用いられる。
【0020】
HFCP系ハイドロフルオロカーボンは、炭化水素類の溶解度が高い。特に、高温時の炭化水素の溶解度が高く、リンス洗浄浴を均一に保持し易く、且つ低温時に炭化水素と層分離するので、層分離による回収が容易に行える点で最適である。
【0021】
【0022】
本発明に使用するリンス洗浄溶剤としては、上記HFCP系ハイドロフルオロカーボンのみが用いられるか、または上記HFCP系ハイドロフルオロカーボンとその他の有機溶剤が組み合せられて用いられる。その他の有機溶剤としては、通常のリンス洗浄溶媒として用いられているものを用いることができ、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコールなどの低級アルコール類、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン類;およびジメチルエーテル、ジエチルエーテルなどのエーテル類、酢酸ビニルなどのエステル類などを挙げることができる。これらのその他の有機溶剤は、それぞれ単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができ、その使用量は、本発明の効果を損なわれない範囲で適宜選択されればよく、通常リンス洗浄溶剤全量の40重量%以下、好ましくは20重量%以下、好ましくは10重量%以下である。
【0023】
リンス洗浄方法としては、洗浄後の洗浄溶剤が付着した被洗浄物を上記リンス洗浄浴に浸漬する方法が用いられる。浸漬に際しては、超音波振動、揺動、攪拌、ブラッシングなどの物理的な手段を併用してもよい。リンス洗浄浴の温度は、被洗浄物の性状に応じて適宜選択すればよいが、均一に保持するためにある程度高めに設定するのがよい。例えば、リンス洗浄浴の温度Tが、bp≧T≧3/5bp[式中、bpはフッ素化溶媒の沸点(単位:℃)]という高めの範囲内に保持することが好ましい。
【0024】
(3)HFCP系ハイドロフルオロカーボンの供給
リンス洗浄槽にはリンス洗浄溶剤の供給手段を設けて、リンス洗浄浴にHFCP系ハイドロフルオロカーボンを連続的または間欠的に供給しつつ、リンス洗浄浴が相分離を起さないよう、リンス洗浄浴中の炭化水素濃度を一定値以下に抑制してリンス洗浄を行う。リンス洗浄溶媒の供給手段としては、格別な制限はなく、一般に用いられるものが使用できる。供給するHFCP系ハイドロフルオロカーボンは、フレッシュなものでもよいが、経済的には、リンス洗浄浴の一部を取り出し、炭化水素とHFCP系ハイドロフルオロカーボンとに分離後、回収されるHFCP系ハイドロフルオロカーボンの一部を用いるのが好適である。
【0025】
また、リンス洗浄浴中の炭化水素濃度を検知する手段を設け、該検知手段により連続的または間欠的に炭化水素濃度を検知し、リンス洗浄浴中の炭化水素濃度が均一溶解範囲に保持されるように供給手段からのHFCP系ハイドロフルオロカーボンの供給速度と排出速度を制御することが好ましい。この際、HFCP系ハイドロフルオロカーボンの供給速度のみを制御し、その排出はリンス洗浄槽から自由にオーバーフローさせる方式を採ることもできる。炭化水素濃度の検知手段としては、一般のものを用いればよく、例えば、ガスクロマトグラフィーや液体クロマトグラフィーなどが用いられる。
【0026】
(4)リンス洗浄溶剤の分離
本発明においては、上記(2)工程のリンス洗浄浴の一部を取り出し、炭化水素層とHFCP系ハイドロフルオロカーボンとに分離し、HFCP系ハイドロフルオロカーボンのみを回収し、上記(3)で述べたようにリンス洗浄浴に供給し、または後記する(5)の蒸気洗浄用溶剤として使用することができる。
【0027】
リンス洗浄溶剤を炭化水素とHFCP系ハイドロフルオロカーボンとに分離する方法としては、常法に従って行うことができる。例えば、蒸留分離や二層分離の方法が用いられる。特に二層分離法が好適である。
【0028】
HFCP系ハイドロフルオロカーボンは、高温では炭化水素に対し高い溶解性を示すが、低温にすると鎖状HFCやPFCと同様に炭化水素を殆ど溶解させない性質をもっている。従って、二層分離の操作は、低温で行うのが好ましく、リンス洗浄浴温度の通常10℃以下、好ましくは20℃以下、より好ましくは30℃以下の温度で行うのが好適である。二層分離操作時の下限温度は、炭化水素またはHFCP系ハイドロフルオロカーボンの融点以上であることが好ましい。リンス洗浄溶剤を冷却する方法については、特に制限はなく、室温下に放置する、冷媒により冷却する、HFCP系ハイドロフルオロカーボンの一部を蒸発させ、蒸発熱により冷却するなどのいずれの方法を用いることもできる。冷却速度も制限はないが、効率の点や自然蒸発による洗浄液の損失を防ぐために、外部から冷却する、減圧により蒸発させるなどの積極的な冷却法が推奨される。
【0029】
一方、二層分離で回収されたHFCP系ハイドロフルオロカーボンは、そのまま、または必要により蒸留、濾過、活性炭処理、乾燥などの処理をおこなった後に、前記(2)工程のリンス洗浄溶剤として、または後記する(5)工程の蒸気洗浄用溶剤として使用することができる。
【0030】
(5)蒸気洗浄工程
蒸気洗浄は、常法に従って行うことができる。蒸気洗浄用溶剤としては、特に限定はなく、一般の蒸気洗浄で使用される蒸気洗浄用溶剤を格別な限定もなく用いることができる。本発明においては、特に、(4)工程で回収されるHFCP系ハイドロフルオロカーボンが高純度なため蒸気洗浄溶剤として用い、さらに蒸気洗浄後に(2)工程のリンス洗浄溶剤として循環させることができる。
【0031】
以下には、本発明で使用する洗浄装置の一例を示した図1に基づいて本発明を説明する。油、ワックス、フラックスなどの汚染物質の付着した被洗浄物は、第1洗浄槽1に入れた炭化水素を主成分とする洗浄溶剤の浴に浸漬され、ここで被洗浄物の表面に付着した汚染物質を除去する。第1洗浄槽1に入れられた洗浄溶剤は、洗浄力の向上のため必要に応じて、加熱装置9で加温したり、超音波発振装置10により超音波をあてることができる。
【0032】
次ぎに、第1洗浄槽1で充分な洗浄効果が得られない場合は、第2洗浄槽2で洗浄することができる。第2洗浄槽2においても、第1洗浄槽同様に、必要に応じて、加温や超音波洗浄を加えることができる。図1R>1では、洗浄槽が二槽設けられた例を示したが、槽数に格別な限定はなく、必要に応じて1槽または2槽以上を組み合わせて用いることができる。
【0033】
洗浄が終了し洗浄溶剤(炭化水素)が付着した被洗浄物は、次ぎにリンス洗浄槽3に入れたHFCP系ハイドロフルオロカーボンその他のフッ素化溶媒を主成分とするリンス洗浄溶剤の浴に浸漬される。ここでは、リンス洗浄力向上のために、必要に応じて、超音波発振装置10により超音波洗浄を併用したり、また、シャワー洗浄や揺動洗浄などを併用することもできる。
【0034】
ここで、被洗浄物表面に付着している炭化水素は被洗浄物表面から分離し、HFCP系ハイドロフルオロカーボンとの比重差により浮上する。浮上した炭化水素は、循環ポンプ10の流れやその他の追加されるリンス洗浄溶剤の流れによりオーバーフローし分離槽4へ移送される。
【0035】
また、本発明において、リンス洗浄浴の主成分となるHFCP系ハイドロフルオロカーボンは高温域で優れた炭化水素の溶解性を示すので、加熱装置9で加温することはリンス洗浄効果を格段に向上させるので好ましい。また、リンス洗浄浴中の炭化水素濃度は検知手段15によって検知され、循環ポンプ11または12よりフレッシュなHFCP系ハイドロフルオロカーボンが供給されることにより、リンス洗浄槽3内のリンス洗浄浴が相分離を起さぬよう均一状態に維持することができる。それにより、炭化水素層が上層に形成されず、被洗浄物を取り出すときに、上層の炭化水素が再付着するという従来装置の今までの最大な欠点をも解決できる。オーバーフローされるリンス洗浄溶剤は、上記同様分離槽4に移送される。
【0036】
分離槽4では、比重差により上層の炭化水素層6と下層のHFCP系ハイドロフルオロカーボン層7に分離する。下層となるHFCP系ハイドロフルオロカーボンが炭化水素を溶解する性質および炭化水素がHFCP系ハイドロフルオロカーボンを溶解する性質が温度変化により大幅に影響され、低温域ではいずれの溶解性も著しく低下する。そのため、分離槽4の温度は低くすることにより、回収されるHFCP系ハイドロフルオロカーボンの純度を高め、さらに炭化水素層へのHFCP系ハイドロフルオロカーボンの混入を大幅に低減することができる。従って、二層分離の操作は、リンス洗浄槽3内のリンス洗浄浴の温度の通常10℃以下、好ましくは20℃以下、より好ましくは30℃以下の温度で行われる。
【0037】
二層分離された下層のHFCP系ハイドロフルオロカーボン層7は循環ポンプ11によってリンス洗浄槽3へ、また循環ポンプ12より蒸気洗浄槽5に循環される。
【0038】
蒸気洗浄は、高度な洗浄度が要求されたり、HFCP系ハイドロフルオロカーボンの消耗量を低減する場合に用いられる。この場合、循環ポンプ12より回収されたHFCP系ハイドロフルオロカーボンが蒸気洗浄槽5に移送され、加熱装置9で加熱され蒸気ゾーン8を形成する。また、リンス洗浄槽3から引き上げられた被洗浄物は、HFCP系ハイドロフルオロカーボンの蒸気ゾーン8中で、蒸気洗浄される。蒸気洗浄に使用されたHFCP系ハイドロフルオロカーボンは、次にリンス洗浄槽3へ凝縮手段またはオーバーフローによって移送され使用される。
【0039】
図1は、本発明の洗浄方法の実施に用いる装置一例を示したもので、個々の洗浄方法、リンス洗浄方法、二層分離方法、蒸気洗浄方法などの詳細は特に上記の態様に限定されるものではない。本発明においては、他の一般的方法を用いることができる。また洗浄やリンスの回数も必要に応じて、増減することができる。
【0040】
【実施例】
本発明を実施例により具体的に説明する。ただし、本発明は実施例によって範囲を規定されるものではない。
【0041】
実施例1〜5
図1に示すように、加熱装置9および超音波発振装置10を装備した二槽式の洗浄機(洗浄槽1、洗浄槽2)に、NSクリーン110(C10の炭化水素系洗浄剤;日鉱石油化学社製)を仕込み、洗浄浴とし、また、加熱装置9および超音波発振装置10を装備したリンス洗浄槽3に、1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタン(OFCPA、沸点79℃)80重量%とNSクリーン110、20重量%との均一混合溶液を仕込んでリンス洗浄浴とし、さらに冷却管13を装備した蒸気洗浄装置(蒸気洗浄槽5)に、分離槽4で回収したHFCP系ハイドロフルオロカーボンを移送し加熱装置9で加熱させて蒸気ゾーン8を発生させた。なお、分離槽4の温度は、20℃にコントロールした。
【0042】
繰返し洗浄を行う際に、単位時間当り洗浄槽2からリンス洗浄槽3へ持込まれるNSクリーン110(重量は炭化水素濃度検知手段15=ガスクロマトグラフィーによって測定される濃度上昇分から算出)の量の5倍(重量)の液をポンプ14によってリンス洗浄槽3から分離槽4へ送給し、かつ、ポンプおよびポンプ12によって、それぞれ、リンス洗浄槽3へのNSクリーン110導入量の2倍(重量)のOFCPAをリンス洗浄槽3および蒸気洗浄槽5へ送液した。このようにしてリンス洗浄浴中のNSクリーン110の濃度を常に20重量%に維持した。1,1,1−トリクロロエタンに表1記載の汚染物質を25重量%溶解し、さらにトレーサーとしてズダン染料を0.1重量%を添加した液に、表1記載の物品を浸漬して、該物品に汚染物質を付着させて被洗浄物を調製した。付着量は、浸漬前後の重量差から求めた。
【0043】
次いで、手動にて被洗浄物を洗浄槽1、洗浄槽2、リンス洗浄槽3、蒸気洗浄槽5の順に下記の操作を繰返し、被洗浄物の洗浄試験を行った。
(1)洗浄槽1:50℃とし、被洗浄物を浸漬し3分間超音波をかけた。
(2)洗浄槽2:50℃とし、被洗浄物を浸漬し1分間超音波をかけた。
(3)リンス洗浄槽3:50℃とし、被洗浄物を浸漬し1分間超音波をかけた。
(4)蒸気洗浄槽5:回収1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタン(OFCPA)の沸点80℃の蒸気洗浄槽5の蒸気ゾーン8に2分間入れた。8分間の間隔をおき、20回洗浄を繰返した。
【0044】
洗浄試験後の被洗浄物の評価は、下記方法にしたがって行い、それらの20回目の結果を表1に示した。
(1)汚染物質の残存量洗浄した被洗浄物を、精製した1,1,1−トリクロロエタンの一定量で処理し、残留している汚染物質と染料を抽出し、550nmの波長でズダンの赤色を吸光測定し、検量線から残存量を求めた。残存量を前記測定した付着量で割って残存率(%)として表示した。
【0045】
(2)目視評価洗浄した被洗浄物を観察し、下記基準で評価した。
○:全くしみが見られなかった。
△:僅かにしみが見られた。
×:ハッキリとしたしみが見られた。
【0046】
(3)臭い評価洗浄した被洗浄物の臭いを嗅ぎ、下記基準で評価した。
○:全くオイル臭が感じられなかった。
△:僅かにオイル臭を感じた。
×:ハッキリとしたオイル臭を感じた。
【0047】
比較例1
リンス洗浄溶剤を鎖状ハイドロフルオロカーボンである1,1,1,2,2,3,4,5,5,5−デカフルオロペンタン(DFPA;沸点=55℃)に代えた他は実施例1と同様に洗浄試験を行い、その結果を表1に示した。
【0048】
比較例2
リンス洗浄剤をパーフルオロカーボンであるパーフルオロヘキサン(PFHX;沸点=56℃)に代えた他は実施例1と同様に洗浄試験を行い、その結果を表2に示した。
【0049】
【表1】
【0050】
【表2】
【0051】
*1:リンス洗浄溶剤が、均一か、または上層に炭化水素層が生じ二層分離しているかを観察した。
表1および2より、本発明例(実施例1〜5)は、汚染物質の残存量評価、目視評価および臭い評価の結果はいずれも良好であって、繰返し使用を行っても十分に高いリンス洗浄効果が維持されることがわかる。それとは対照的に、リンス洗浄溶剤として鎖状のハイドロフルオロカーボンを用い、リンス洗浄浴が二層に分離した場合(比較例1)は、汚染物質残存量および臭いの評価に劣り、リンス洗浄力が極端に低下することがわかる。これは、実施例ではリンス洗浄溶剤が均一であるのに対して、比較例1では、炭化水素層の上層が生じているために、被洗浄物を引き上げる時に炭化水素が再付着するためと考えられる。また、リンス洗浄溶剤としてパーフルオロカーボンを用い、リンス洗浄浴が二層に分離した場合(比較例2)も、汚染物質残存量および臭いの評価に劣り、リンス洗浄力が極端に低下していることがわかる。
【0052】
参考例1〜6(分離槽4における環状ハイドロフルオロカーボンの回収)
表3記載の炭化水素10gと表3記載の環状ハイドロフルオロカーボン100mlとの混合物(参考例1〜6)を、200mlのマグネット攪拌子を入れたフラスコに仕込み、攪拌しながら徐々に昇温し75℃まで温め、均一溶液を得た。次に、この均一溶液を図1の分離槽4(20℃)に移送したところ、溶液に白濁が生じ始め、まもなく完全に二層分離した。この下層をガスクロマトグラフィーにより分析したところ、全ての環状ハイドロフルオロカーボン層は高純度であり、使用した環状ハイドロフルオロカーボンがほぼ完全に精製回収されることがわかった。
【0053】
参考例7〜10
表3記載の炭化水素50gと1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタン(OFCPA)50gとの混合物(参考例7〜10)に代えた他は参考例1と同様に行ったところ、これらの組み合せは75℃では任意の割合で相溶し、20℃では二層分離し、表3記載の純度で回収されることが判った。
【0054】
【表3】
【0055】
参考例11(環状ハイドロフルオロカーボンの溶解度特性)
10ミリリットルのバイアル瓶に5ミリリットルの1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタン(OFCPA)と5ミリリットルのNSクリーン230を入れ蓋をした。次にバイアル瓶をよく攪拌してから、表4記載の温度に2時間放置し、各成分の溶解度をガスクロマトグラフィーで測定した。それらの結果を表4に示す。
【0056】
【表4】
【0057】
参考例12(鎖状ハイドロフルオロカーボンの溶解度特性)
1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタン(OFCPA)の代わりに1,1,1,2,2,3,4,5,5,5−デカフルオロペンタン(DFPA)を用いた他は参考例11と同様に行い溶解度を測定した。その結果を表5に示す。
【0058】
【表5】
【0059】
参考例13(パーフルオロカーボンの溶解度特性)
1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタン(OFCPA)の代わりにパーフルオロ−n−ヘプタン(PFHP)を用いた他は参考例11と同様に行い溶解度を測定した。その結果を表6に示す。
【0060】
【表6】
【0061】
表4〜6の結果より、下記のことがわかる。
(1)HFCP系ハイドロフルオロカーボンは、鎖状ハイドロカーボンやパーフルオロカーボンに比べて、高温で高い炭化水素の溶解性を示すため、炭化水素洗浄浴に続くリンス浴を均一にすることができ、効率的にしみや臭いのない清浄な洗浄を実施できることがわかる。また、低温では炭化水素が低い溶解性を示すため、低温で回収される炭化水素層への混入が極端に少ないことがわかる。そのため、HFCP系ハイドロフルオロカーボンは、リンス洗浄浴を均一に保持する本発明の洗浄方法のリンス洗浄溶剤として適していることがわかる。
【0062】
(2)鎖状ハイドロフルオロカーボンは、高温にしても炭化水素の溶解性がそれほど上昇せず、洗浄力が充分でないことがわかる。また、20℃で二層分離される炭化水素中に多量に高価な鎖状ハイドロフルオロカーボンが逃げ込むため経済的でない。
(3)パーフルオロカーボンは、炭化水素の溶解性に劣る。
【0063】
(発明の好ましい実施態様)
本発明の洗浄方法、すなわち、被洗浄物を炭化水素を主成分とする洗浄溶剤と接触させ、次いで該炭化水素が付着した被洗浄物をフッ素化溶媒を主成分とするリンス洗浄浴に浸漬してリンス洗浄することからなる洗浄方法において、フッ素化溶媒としての1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタン、または、1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタンと1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタンとの混合物をリンス洗浄浴へ供給して、リンス洗浄浴が相分離を起さないよう均一に保持することを特徴とする被洗浄物の洗浄方法の好ましい実施態様をまとめると以下のとおりである。
【0064】
1.洗浄溶剤の主成分である炭化水素が脂肪族炭化水素、より好ましくは鎖状飽和脂肪族炭化水素および環状不飽和脂肪族炭化水素の中から選ばれた少くとも一種である。
【0065】
2.リンス洗浄浴の温度Tをbp≧T≧3/5bp[式中、bpはフッ素化溶媒の沸点(単位:℃)]の範囲に保持する。
3.リンス洗浄浴中の炭化水素濃度を検知して、その検出濃度に基づいて、リンス洗浄浴中の炭化水素濃度が均一溶解範囲に保持されるように、リンス洗浄浴へのHFCP系ハイドロフルオロカーボンの供給量を制御する。
4.リンス洗浄の後に、被洗浄物を蒸気洗浄する。
【0066】
5.リンス洗浄浴の一部を取り出し、炭化水素とHFCP系ハイドロフルオロカーボンとに分離し、回収されるHFCP系ハイドロフルオロカーボンをリンス洗浄浴への供給用および/または蒸気洗浄用の溶媒の少くとも一部として使用する。
6.前記6項の炭化水素とHFCP系ハイドロフルオロカーボンとの分離を二層分離、より好ましくはリンス洗浄浴温度より10℃以上低い温度で二層分離することにより行う。
【0067】
【発明の効果】
本発明に従えば、特に、汚れた物品を炭化水素系洗浄溶剤で洗浄し、次にリンス洗浄および蒸気洗浄、乾燥用としてフッ素系溶剤を用いる、いわゆるコ・ソルベントシステムが有利に採用される。本発明においては、さらに低温下での二層比重分離装置を設け、さらに本発明に基づいたHFCP系ハイドロフルオロカーボンの回収を行い、回収されたHFCP系ハイドフルオロカーボンを再びリンス洗浄浴に導入することによって、完全なリサイクルシステムが構築できる。これにより、安価でランニングコストも低い洗浄を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の洗浄方法で使用する洗浄装置の一例の概略を示す断面図である。
【符号の説明】
1 第1洗浄槽
2 第2洗浄槽
3 リンス洗浄槽
4 分離槽
5 蒸気洗浄槽
6 炭化水素層
7 HFCP系ハイドロフルオロカーボン層
8 蒸気ゾーン
9 加熱装置
10 超音波発振装置
11 循環ポンプ
12 循環ポンプ
13 冷却管
14 リンス液移送ポンプ
15 炭化水素濃度検知手段
Claims (3)
- 被洗浄物を炭化水素を主成分とする洗浄溶剤と接触させ、次いで該炭化水素が付着した被洗浄物をフッ素化溶媒を主成分とするリンス洗浄浴に浸漬してリンス洗浄することからなる洗浄方法において、フッ素化溶媒としての1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタン、または、1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタンと1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタンとの混合物をリンス洗浄浴へ供給して、リンス洗浄浴が相分離を起さないよう均一に保持することを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。
- リンス洗浄浴の一部を取り出し、炭化水素と、1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタン、または、1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタンと1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタンとの混合物とに分離後、回収される1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタン、または、回収される1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタンと1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタンとの混合物をリンス洗浄浴への供給用および/または蒸気洗浄用の少なくとも一部として使用する請求項1に記載の洗浄方法。
- 炭化水素と、1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタン、または、1,1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロシクロペンタンと1,1,2,2,3,3,4,5−オクタフルオロシクロペンタンとの混合物との分離を二層分離で行う請求項2に記載の洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24858096A JP3799680B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24858096A JP3799680B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1071372A JPH1071372A (ja) | 1998-03-17 |
JP3799680B2 true JP3799680B2 (ja) | 2006-07-19 |
Family
ID=17180248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24858096A Expired - Fee Related JP3799680B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3799680B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998051651A1 (fr) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Nippon Zeon Co., Ltd. | Hydrocarbures fluores, detergents, procede detergent, fluides a base de polymeres et procede de formation de films polymeres |
JP4959397B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2012-06-20 | 株式会社デンソー | 被処理物の洗浄乾燥方法及び洗浄乾燥装置 |
JP5363225B2 (ja) * | 2009-07-16 | 2013-12-11 | Jx日鉱日石エネルギー株式会社 | 洗浄方法 |
JP5586100B2 (ja) * | 2011-10-27 | 2014-09-10 | ジャパン・フィールド株式会社 | 汚液の濾過方法及びその装置 |
JP7117616B2 (ja) * | 2018-02-02 | 2022-08-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光学ガラス素子の処理方法および光学ガラス素子 |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP24858096A patent/JP3799680B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1071372A (ja) | 1998-03-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2763270B2 (ja) | 洗浄方法、洗浄装置、洗浄組成物および蒸気乾燥組成物 | |
EP0474053B1 (en) | Cleaning process | |
KR100210135B1 (ko) | 테르펜 및 일염기성 에스테르를 사용한 불순물의 세정공정 및 그를 위한 조성물 | |
JPH06511267A (ja) | ロジンハンダ付用フラックスをテルペン及び炭化水素で除去するための組成物及び方法 | |
CN1831099B (zh) | 清洗剂组合物及清洗方法 | |
JP4767002B2 (ja) | プレ洗浄方法および洗浄装置 | |
JP3799680B2 (ja) | 洗浄方法 | |
JP2001300446A (ja) | 被洗浄物の洗浄方法 | |
JPH10192797A (ja) | 洗浄方法 | |
JP2002256295A (ja) | 洗浄方法 | |
JP3799681B2 (ja) | 洗浄方法 | |
JPH0598297A (ja) | 洗浄剤 | |
WO1997045521A1 (fr) | Procede de nettoyage d'articles | |
JP4367807B2 (ja) | 洗浄方法 | |
WO1997045522A1 (fr) | Procede de recuperation d'hydrofluorocarbures et procede de nettoyage d'articles | |
JPH11128854A (ja) | 洗浄方法および装置 | |
JPH10316598A (ja) | 弗素化炭化水素並びに洗浄剤と洗浄方法 | |
JPWO2008081804A1 (ja) | フッ素化環状不飽和炭化水素を含有する洗浄剤および洗浄方法 | |
JP4721579B2 (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
JP2009262090A (ja) | プレ洗浄に関する方法および洗浄装置 | |
JP4407636B2 (ja) | 洗浄剤組成物および洗浄方法 | |
JP2004123762A (ja) | 洗浄剤および洗浄方法 | |
RU2113921C1 (ru) | Жидкая очищающая композиция, ее вариант и способ удаления загрязнений с подложкой с использованием очищающей композиции | |
JP4135222B2 (ja) | ジャスモン酸系化合物よりなる洗浄剤およびそれを用いた洗浄法 | |
JP2001334104A (ja) | 分離方法および装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050628 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051101 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060103 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060404 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060417 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100512 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100512 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110512 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |