JP3789750B2 - アクティブ除振装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は除振台テーブルに軸受に回転体磁気軸受装置を用いて機械装置を搭載したアクティブ除振装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
振動を極度に嫌う電子顕微鏡、半導体製造装置等の機械装置は、空気ばね、又はゴムを用いた受動制御型の除振装置に代わり、除振台テーブルの重量の大部分を弾性バネで支持すると共に、電磁アクチュエータの制御で振動を除去するように構成されたアクティブ除振装置がある。図1はこの種のアクティブ除振装置の概略構成を示す図である。アクティブ除振装置10は、除振台ベース11と除振台テーブル12を具備し、除振台テーブル12は除振台ベース11上に設置された空気バネ等の弾性バネ13で支持されている。除振台ベース11と除振台テーブル12の間には電磁アクチュエータ14が配置され、該電磁アクチュエータ14をアクティブ除振制御装置15で制御して振動を除去するようになっている。なお、16は除振台テーブル12の振動を検出する振動センサである。
【0003】
図2はアクティブ除振制御装置15の構成例を示す図である。アクティブ除振制御装置15は振動検出手段15−1、位置検出手段15−2、除振制御演算手段15−3及び駆動制御部15−4を具備する。振動検出手段15−1は振動センサ16の水平方向の振動を検出する水平方向振動センサ16a及び鉛直方向の振動を検出する鉛直方向振動センサ16bの出力信号から除振台テーブル12の振動を検出し、その検出信号を除振制御演算手段15−3に出力する。位置検出手段15−2は除振台テーブルの変位を検出する変位センサ17(電磁アクチュエータ14内に内蔵)の出力信号から除振台テーブル12の位置を検出しその検出信号を除振制御演算手段15−3に出力する。
【0004】
除振制御演算手段15−3は振動検出手段15−1及び位置検出手段15−2の検出信号から除振台テーブル12の振動を除去するための位置制御信号を得るための除振制御演算を行い、除振制御信号を駆動制御部15−4を介して電磁アクチュエータ14に出力する。ここで水平方向振動センサ16a、鉛直方向振動センサ16b及び振動検出手段15−1を通るループL1を絶対系フィードバックループといい、変位センサ17及び位置検出手段15−2を通るループL2を相対系フィードバックループという。
【0005】
また、このようなアクティブ除振装置10の除振台テーブル12に搭載される機械装置は、高真空を必要とする電子顕微鏡等の半導体検査装置や半導体製造装置であり、半導体ウエハの加工処理や製造過程において真空ポンプで真空にし、且つ振動の除去を必要とする。高真空を発生するための手段として、例えば回転体の軸受に磁気軸受装置を用いたターボ分子ポンプがある。
【0006】
図3は従来の回転体磁気軸受制御装置の構成例を示す図である。回転体磁気軸受制御装置20は回転体変位検出手段21、回転***相補償回路22及び回転体磁気軸受制御出力手段23を具備する。回転体変位検出手段21は回転体磁気軸受30の回転体31の変位を検出する回転体変位センサ32の変位検出出力から回転体31の変位を検出する。該変位検出信号は回転***相補償回路22で位相補償及び増幅され、回転体磁気軸受制御出力手段23に出力され、該回転体磁気軸受制御出力手段23から回転体磁気軸受30を構成する鉛直方向磁気コイル33及び水平方向磁気コイル34に駆動電流を通電する。これを相対系フィードバックループLと言う。
【0007】
上記アクティブ除振装置の除振台テーブル上に回転体の軸受に磁気軸受装置を用いた機械装置を搭載する場合は、除振台テーブルの振動を除去する為に必要な各所に高性能の加速度センサを設置する必要があり、価格が高価となり、取り扱い上に問題があった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、簡単な構成で且つ除振台テーブルに取り付ける高性能の振動センサの少なくとも一部を削除できる安価なアクティブ除振装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため請求項1に記載の発明は、軸受に回転体磁気軸受装置を用いる機械装置と、該機械装置の回転体磁気軸受装置を搭載する除振台テーブルと、該除振台テーブルを支持する弾性バネと、該除振台テーブルを電磁石によって振動制御する電磁アクチュエータと、該除振台テーブル上の振動を検出する第1振動検出手段と、該除振台テーブルの変位を検出する変位センサと、該第1振動検出手段の第1振動検出出力と該変位センサの変位検出出力により除振台テーブルの振動を除去する制御信号を得るための除振制御演算を行う除振制御手段を具備し、該除振制御手段で電磁アクチュエータを制御して振動を除去するように構成したアクティブ除振装置において、回転体磁気軸受装置の変位検出出力又は回転体磁気軸受駆動電流のフィードバックループ信号を除振制御手段に第2振動検出出力として入力し、該除振制御手段は該第2振動検出出力と第1振動検出出力とを振動検出出力として除振制御演算を行うことを特徴とする。
【0010】
上記のように回転体磁気軸受装置の変位検出出力又は回転体磁気軸受駆動電流のフィードバックループ信号を除振制御手段に第2振動検出出力として入力し、該除振制御手段は該第2振動検出出力と第1振動検出出力とを振動検出出力として除振制御演算を行なうので、少なくとも除振台テーブルの例えば水平方向の振動を検出する振動センサを削除することができる。
【0011】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のアクティブ除振装置において、回転体磁気軸受装置の変位検出出力又は該回転体磁気軸受駆動電流のフィードバックループ信号をローパスフィルタとハイパスフィルタを介して前記第2振動検出出力とすることを特徴とする。
【0012】
上記のように回転体磁気軸受装置の変位検出出力又は該回転体磁気軸受駆動電流のフィードバックループ信号をローパスフィルタを通すことにより積分し回転体磁気軸受の特有の成分を除去し、ハイパスフィルタを通すことにより微分し直流成分を除去し加速度センサに類似した第2振動検出手段で水平方向の振動を検出する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて説明する。図4及び図5は本発明に係るアクティブ除振装置を用いる装置の構成例を示す図で、図4は全体構成を、図5は一部構成をそれぞれ示す。10はアクティブ除振装置であり、該アクティブ除振装置10は除振台設置床41面上に設けられた機械装置架台42上に設置されている。アクティブ除振装置10上には機械装置43が搭載されている。該機械装置43は図5に示すように、例えばターボ分子ポンプ等の回転機械装置44を具備し、該回転機械装置44は後に詳述するような回転体主軸が磁気軸受で浮上支持されるようになっている。
【0014】
図6はアクティブ除振装置10の電磁アクチュエータ14の構成例を示す図で、電磁アクチュエータ14は可動部14−1と固定部14−2を具備し、固定部14−2には水平方向磁気コイル(ラジアル磁気コイル)14−3及び鉛直方向磁気コイル(アキシャル磁気コイル)14−4が設けられ、更に水平方向変位センサ17a及び鉛直方向変位センサ17bからなる変位センサ17が設けられている。可動部14−1は除振台テーブル12に固定され、固定部14−2は除振台ベース11に固定される。電磁アクチュエータ14の水平方向磁気コイル14−3及び鉛直方向磁気コイル14−4は後に詳述するアクティブ除振制御装置15’により制御され、除振台テーブル12の振動を除去するようになっている。
【0015】
図7は回転機械装置(ここではターボ分子ポンプを示す)44の断面構成を示す図である。回転機械装置は回転体(回転翼)31を具備し、該回転体31の主軸31aは鉛直方向磁気コイル(アキシャル磁気コイル)33及び水平方向磁気コイル(ラジアル磁気コイル)34を具備する回転体磁気軸受30により浮上支持されている。鉛直方向磁気コイル33及び水平方向磁気コイル34が設けられた静止体35は図5に示すように除振台テーブル12に搭載された機械装置43のケーシング43aに固定されている。また、静止体35には回転体31の変位を検出する水平方向変位センサ(ラジアル変位センサ)32a及び鉛直方向変位センサ(アキシャル変位センサ)32bを具備する回転体変位センサ32(図8参照)が設けられている。回転体磁気軸受30の鉛直方向磁気コイル33及び水平方向磁気コイル34は後に詳述するように回転体磁気軸受制御装置20により駆動制御され、回転体31を所定位置に浮上支持するようになっている。なお図7において、36は回転駆動用モータコイルである。
【0016】
図8は回転体磁気軸受制御装置20及びアクティブ除振制御装置15’の構成例を示す図である。回転体磁気軸受制御装置20は図3と同様、回転体変位検出手段21、回転***相補償回路22及び回転体磁気軸受制御出力手段23を具備する。回転体変位検出手段21は回転体磁気軸受30の回転体31の変位を検出する回転体変位センサ32(図7の水平方向変位センサ32a、鉛直方向変位センサ32b)の変位検出出力から回転体31の変位(水位方向変位、鉛直方向変位)を検出する。該変位検出信号は回転***相補償回路22で位相補償及び増幅され、回転体磁気軸受制御出力手段23に出力され、該回転体磁気軸受制御出力手段23から回転体磁気軸受30を構成する鉛直方向磁気コイル33及び水平方向磁気コイル34に駆動電流を通電する。
【0017】
アクティブ除振制御装置15’は第1の振動検出手段15’−1、第2の振動検出手段15’−2、位置検出手段15’−3、除振制御演算手段15’−4及び駆動制御部15’−5を具備する。回転体磁気軸受制御装置20の水平方向磁気コイル34に通電される電流は、水平方向電流検出器18で検出され、ローパスフィルタ・ハイパスフィルタ19を通して積分・微分され、アクティブ除振制御装置15’の第2の振動検出手段15’−2に出力される。該第2の振動検出手段15’−2はこの検出電流より、水平方向の振動を検出しその検出出力を除振制御演算手段15’−4に出力する。
【0018】
第1の振動検出手段15’−1は鉛直方向振動センサ16bの出力から鉛直方向の振動を検出しその検出出力を除振制御演算手段15’−4に出力する。また、位置検出手段15’−3は変位センサ17から除振台テーブル12の位置を検出し、その検出出力を除振制御演算手段15’−4に出力する。
【0019】
除振制御演算手段15’−4は第1の振動検出手段15’−1、第2の振動検出手段15’−2及び位置検出手段15’−3の検出信号から除振台テーブル12の振動を除去するための除振制御信号を得るための除振制御演算を行い、除振制御信号を駆動制御部15’−5を介して電磁アクチュエータ14の水平方向磁気コイル14−3及び鉛直方向磁気コイル14−4(図6参照)に駆動制御電流を通電し除振台テーブルの振動を除去する。
【0020】
図9は回転体磁気軸受制御装置20の回転体の変位検出例を示す図である。回転体31が機械的中心に位置している場合は、X軸方向における回転体31と変位センサ32a(+X)との間隔Gap(+)及び回転体31と変位センサ32a(−X)との間隔Gap(−)が等しくなる。この時、回転体変位検出手段21のX軸方向検出出力は0電位となり、回転体31が変位センサ32a(+X)側に寄れば間隔Gap(+)と間隔Gap(−)の差に比例した変位検出信号が得られる。変位センサ32a(+Y)と変位センサ32a(−Y)を有するY軸方向も同様である。また、図示は省略するが鉛直方向の変位を検出する場合も同様である。
【0021】
回転体変位検出手段21から回転***相補償回路22で増幅された駆動電流指令値は、回転体31のアンバランスも含まれるが、一般に磁気軸受で支持されている回転体の回転速度は400Hz以上であり、上記アンバランスの周波数成分も同等値となる。また、回転体の固有振動数も回転速度以上に設定されているので、アクティブ除振装置10を制御する周波数帯域100Hz以下とは干渉しない。
【0022】
水平方向磁気コイルに流れる電流は駆動電流指令値と回転体を磁気軸受支持する為のバイアス電流が加算された総合的制御電流であるので、その電流値を水平方向電流検出器18で検出し、ローパスフィルタ・ハイパスフィルタ19の100Hz(回転体の場合は40Hz)のローパスフィルタ部で積分することで、回転体磁気軸受30の特有の成分を除去する。そして直流成分を除去するためにハイパスフィルタ部で微分し、加速度センサに類似した第2の振動検出手段で水平方向の振動を検出することができる。
【0023】
第2の振動検出手段15’−2は、第1の振動検出手段より周波数特性が狭いが、過大振動の有無の補助手段としても使用することができる。微振動の場合は第1の振動検出手段15’−1で制御し、且つ制御範囲を逸脱した過大振動の場合は第2の振動検出手段15’−2で振動抑制或いは制御する。
【0024】
なお、上記例では回転体磁気軸受30の水平方向磁気コイル34に流れる電流を水平方向電流検出器18で検出して水平方向の振動を検出する場合を示しているが、これに限定されるものではなく、例えば鉛直方向磁気コイル33に流れる電流を検出し、鉛直方向の振動を検出するように構成し、除振台テーブル12に設けられる振動センサ16の鉛直方向振動センサ16bを省略するようにしてもよい。また、鉛直方向磁気コイル33と水平方向磁気コイル34に流れる電流を検出し、水平方向振動センサ16a及び鉛直方向振動センサ16bを具備する振動センサ16を省略してもよい。
【0025】
また、回転体磁気軸受30の回転体変位センサ32の水平方向変位センサ32a及び鉛直方向変位センサ32bの検出出力のいずれか一方又は双方を図示しない振動検出手段に導き、その振動検出出力を除振制御演算手段15’−4に出力し、除振台テーブル12に設けた水平方向振動センサ16a及び鉛直方向振動センサ16bのいずれか一方又は双方を省略してもよい。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように各請求項に記載の発明によれば下記のような優れた効果が得られる。
【0027】
請求項1に記載の発明によれば、回転体磁気軸受装置の変位検出出力又は回転体磁気軸受駆動電流のフィードバックループ信号を除振制御手段に第2振動検出出力として入力し、該除振制御手段は該第2振動検出出力と第1振動検出出力とを振動検出出力として除振制御演算を行なうので、簡単な構成で除振台テーブルに取り付ける高性能の除振センサの少なくとも一部を削除することができる。
【0028】
請求項2に記載の発明によれば、回転体磁気軸受装置の変位検出出力又は該回転体磁気軸受駆動電流のフィードバックループ信号をローパスフィルタを通すことにより積分し回転体磁気軸受の特有の成分を除去し、ハイパスフィルタを通すことにより微分し直流成分を除去し加速度センサに類似した第2振動検出手段で水平方向の振動を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】アクティブ除振装置の概略構成例を示す図である。
【図2】アクティブ除振制御装置の構成を示す図である。
【図3】従来の回転体磁気軸受制御装置の構成例を示す図である。
【図4】本発明に係るアクティブ除振装置を用いる装置構成例を示す図である。
【図5】図4に示す装置の一部構成を示す図である。
【図6】本発明に係るアクティブ除振装置の電磁アクチュエータの構成例を示す図である。
【図7】本発明に係るアクティブ除振装置に搭載する回転機械装置の構成例を示す図である。
【図8】本発明に係るアクティブ除振装置の制御装置の構成例を示す図である。
【図9】回転体磁気軸受制御装置の回転体の変位検出例を示す図である。
【符号の説明】
10 アクティブ除振装置
11 除振台ベース
12 除振台テーブル
13 弾性バネ
14 電磁アクチュエータ
14−1 可動部
14−2 固定部
14−3 水平方向磁気コイル
14−4 鉛直方向磁気コイル
15’ アクティブ除振制御装置
15’−1 第1の振動検出手段
15’−2 第2の振動検出手段
15’−3 位置検出手段
15’−4 除振制御演算手段
15’−5 駆動制御部
16 振動センサ
17 変位センサ
18 水平方向電流検出器
19 ローパスフィルタ・ハイパスフィルタ
20 回転体磁気軸受制御装置
21 回転体変位検出手段
22 回転***相補償回路
23 回転体磁気軸受制御出力手段
30 回転体磁気軸受
31 回転体
32 回転体変位センサ
33 鉛直方向磁気コイル
34 水平方向磁気コイル
35 静止体
36 回転駆動用モータコイル
41 除振台設置床
42 機械装置架台
43 機械装置
44 回転機械装置
Claims (2)
- 軸受に回転体磁気軸受装置を用いる機械装置と、該機械装置の回転体磁気軸受装置を搭載する除振台テーブルと、該除振台テーブルを支持する弾性バネと、該除振台テーブルを電磁石によって振動制御する電磁アクチュエータと、該除振台テーブル上の振動を検出する第1振動検出手段と、該除振台テーブルの変位を検出する変位センサと、該第1振動検出手段の第1振動検出出力と該変位センサの変位検出出力により除振台テーブルの振動を除去する制御信号を得るための除振制御演算を行う除振制御手段を具備し、該除振制御手段で前記電磁アクチュエータを制御して振動を除去するように構成したアクティブ除振装置において、
前記回転体磁気軸受装置の変位検出出力又は回転体磁気軸受駆動電流のフィードバックループ信号を前記除振制御手段に第2振動検出出力として入力し、該除振制御手段は該第2振動検出出力と前記第1振動検出出力とを振動検出出力として前記除振制御演算を行うことを特徴とするアクティブ除振装置。 - 請求項1に記載のアクティブ除振装置において、
前記回転体磁気軸受装置の変位検出出力又は該回転体磁気軸受駆動電流のフィードバックループ信号をローパスフィルタとハイパスフィルタを介して前記第2振動検出出力とすることを特徴とするアクティブ除振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000387121A JP3789750B2 (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | アクティブ除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000387121A JP3789750B2 (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | アクティブ除振装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002188679A JP2002188679A (ja) | 2002-07-05 |
JP3789750B2 true JP3789750B2 (ja) | 2006-06-28 |
Family
ID=18854112
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000387121A Expired - Fee Related JP3789750B2 (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | アクティブ除振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3789750B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4493484B2 (ja) * | 2004-11-29 | 2010-06-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | アクティブ除振方法及び装置 |
-
2000
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002188679A (ja) | 2002-07-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051025 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051117 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20051117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060328 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060329 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090407 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100407 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |