JP3789097B2 - 被検査物の外周検査方法および外周検査装置 - Google Patents
被検査物の外周検査方法および外周検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3789097B2 JP3789097B2 JP2002044187A JP2002044187A JP3789097B2 JP 3789097 B2 JP3789097 B2 JP 3789097B2 JP 2002044187 A JP2002044187 A JP 2002044187A JP 2002044187 A JP2002044187 A JP 2002044187A JP 3789097 B2 JP3789097 B2 JP 3789097B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- inspection object
- half mirror
- inspection
- outer peripheral
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、被検査物の外周検査方法およびその装置に関し、より詳細には、円筒状の形態を有する被検査物の外周面の傷や汚れやなどの欠陥を光学的に検出測定する探傷技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ベアリングの外輪のような円筒状の形態をした被検査物の外周面に生じた傷やさび、汚れなどの欠陥を検出するための外周検査装置は、被検査物Wの外側に円錐形状の鏡面Mを有する反射体aを配設するとともに、この鏡面Mの上方に光源bとカメラcとを配設してなり、上記光源bから同軸落射照明により上記鏡面Mに光を当てて該鏡面Mで反射した光を上記被検査物の外周面Waに照射するとともに、被検査物の外周面Waで反射した光を上記鏡面Mで再び反射させてカメラcで撮像し、該カメラcで撮像した画像を判定装置dに入力して被検査物Wの外周面Waの欠陥検出を行っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の外周検査装置では、光源bとカメラcとが共に鏡面Mの上方に配置され、同じ鏡面Mを用いて被検査物外周面Waへの光の照射とカメラcへの反射光の入射が行われているため、光源bとカメラcの位置の微妙な調節が必要であり、かかる調節作業が煩雑であるという問題もあった。
【0006】
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、被検査物外周面の欠陥検査を容易かつ正確に行い得る被検査物の外周検査方法および外周検査装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る被検査物の外周検査方法は、円筒状の被検査物の外周に光の透過率αが0<α≦5パーセントのハーフミラーを配置して当該ハーフミラーを透過させて上記被検査物の外周面に光を照射し、上記被検査物の外周面で反射した反射光を前記ハーフミラーで反射させてイメージセンサに受光させ、これにより被検査物の外周面の状態を上記イメージセンサに撮影させ、この撮影された画像を基に上記被検査物の外周面の欠陥検査を行うことを特徴とする。
【0008】
また、本発明に係る被検査物の外周検査装置は、円筒状の被検査物の外周面の欠陥検査を行うための装置であって、上記被検査物の外側に配される光源と、該光源と上記被検査物との間に配設され、上記光源から照射される光を透過させて被検査物の外周面に照射させるとともに、上記被検査物からの反射光をセンサ手段に向けて反射させるハーフミラー手段と、上記ハーフミラー手段で反射された上記反射光を受光して被検査物の外周面の状態を撮影するセンサ手段と、上記センサ手段で撮影された被検査物外周面の画像から被検査物外周面の欠陥の有無を判別する判別手段とを備えてなり、上記ハーフミラー手段の光の透過率αが0<α≦5パーセントに設定されていることを特徴とする。
【0009】
本発明においては、被検査物の外周面の欠陥検出にあたり、光源からの光をハーフミラーを透過させて被検査物の外周面に照射することにより該ハーフミラー自体を照明として機能させる一方、この照明により照らし出された被検査物外周面の状態をハーフミラーに写して、このハーフミラーに写った映像をセンサ手段(イメージセンサ)で受光させる。つまり、上記ハーフミラーを照明用の発光体と撮像用の反射鏡とに兼用する。
【0010】
そして、上記ハーフミラーとしては、光の透過率αが0<α≦5パーセントの範囲内にあるハーフミラーが使用される。これは、本発明においては、ハーフミラーは、光源からの光を透過させて被検査物外周面に光を照射する役割(照明としての役割)と、被検査物外周面からの反射光をセンサ手段(イメージセンサ)に向けて反射させる役割(反射鏡としての役割)とを有するが、反射鏡としての役割を重視させることにより、センサ手段(イメージセンサ)で良好な画像の撮像を可能にするためである。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る被検査物の外周検査方法および外周検査装置に基づいて詳細に説明する。
【0012】
実施形態1
図1は、本発明に係る外周検査装置の概略構成の一例を示している。この外周検査装置1は、たとえばベアリングの外輪のような円筒状の被検査物Wの外周面Waの欠陥検査を行うための装置であって、上記被検査物Wの径方向外側に配される光源2と、この光源2と上記被検査物Wとの間に配設されるハーフミラー(ハーフミラー手段)3と、上記ハーフミラー3で反射された光を受光するセンサ手段4と、上記センサ手段4の検出結果から被検査物外周面Waの欠陥の有無を判別する判別手段5とを主要部として備えている。
【0013】
なお、図1において符号7で示すのは、上記被検査物Wを図1に示す所定の検査位置に保持するためのワーク保持装置であって、図示しないワーク供給装置やワーク排出装置と連係して動作し、ワーク供給装置から搬入される被検査物Wを上記所定の検査位置に保持して後述する欠陥検査を行わせた後、ワーク排出装置を介して検査済みの被検査物Wを排出するように構成される。
【0014】
光源2は、上記被検査物Wの外周全領域に光を照射するように被検査物Wの径方向外側に環状に配設された環状光源であって、具体的には、たとえば発光ダイオードや光ファイバなどの発光源を、上記被検査物Wの外周面Waと同心状に該被検査物外周面Waの全周にわたって多数環状配置することにより構成される。また、このように環状配置される光源2の軸方向寸法(図1の紙面上下方向の寸法)は、少なくとも上記被検査物Wの軸方向寸法と同一か、もしくは当該軸方向寸法より長く設定され、被検査物外周面Waの全体を照明可能とされる。
【0015】
ハーフミラー3は、上記光源2と上記被検査物Wとの間に配設されて、上記光源2から照射される光を透過させて被検査物外周面Waに照射させるとともに、上記被検査物外周面Waで反射した反射光Lrをセンサ手段4に向けて反射させる鏡面maを有するハーフミラーであって、図示のように、上記被検査物外周面Waの外周全領域からの反射光Lrを上記センサ手段4に向けて反射可能なように、上記被検査物Wの径方向外側に円錐形状の鏡面maが形成された環状ハーフミラーの形態とされている。
【0016】
ここで、このハーフミラー3としては、光の透過率が低いハーフミラーを用いるのが好ましい。
【0017】
なお、この点に関し本願出願人が実験したところでは、上記ハーフミラー3はその光の透過率αを極めて低く(具体的には0<α≦5パーセントの範囲内に)設定するのが最適であることが判明した。
【0018】
すなわち、このハーフミラー3は、上述したように、光源2からの光を透過させて被検査物外周面Waに光を照射する役割(照明としての役割)と、被検査物外周面Waからの反射光Lrをセンサ手段4に向けて反射させる役割(反射鏡としての役割)とを有するが、そもそもこの外観検査装置1はハーフミラー3で反射した反射光Lrを基に被検査物外周面Waの欠陥検査を行うことが目的であることから、前者の役割より後者の役割の方が重視される。
【0019】
そのため、本実施形態ではかかるハーフミラー3の反射鏡としての役割を重視して、ハーフミラー3での光の反射率を高めて(換言すれば、光の透過率αを低くして)センサ手段4での受光を優先する構成を採用した。なお、光の透過率αを低くしたことに伴って、光源2から照射された光がハーフミラー3で遮られ、その結果、照明としての役割が低下するが、この点については光源2の光量を増加することにより解消可能であり、またそのことが実験により確認されたので、本実施形態では、上記ハーフミラー3として光の透過率αが0<α≦5パーセントの範囲内にあるハーフミラーを採用することとした。
【0020】
なお、本実施形態では、図1に示すように、上記光源2と上記ハーフミラー3との間には、光源2からの光を拡散させてハレーションを防止する拡散板(光拡散手段)6が設けられている。この拡散板6は、図示のように、上記光源2やハーフミラー3と同様に上記被検査物Wと同心状に環状配置されており、具体的には、たとえばすりガラスなどで構成される。
【0021】
センサ手段4は、上記ハーフミラー3で反射された上記反射光Lrを受光するための光センサであって、具体的には上記反射光Lrを基に被検査物外周面Waの画像を検出するイメージセンサの形態とされる。
【0022】
より詳細には、本実施形態では上記センサ手段4としてCCDカメラ41が用いられる。このCCDカメラ41は、図示のようにレンズ41aと、カメラ本体4bとからなり、該レンズ41aは上記検査位置にある被検査物Wと同軸上に配設され、CCDカメラ41において上記鏡面maの全体が撮像可能とされている。つまり、光源2からの光により照らし出され、上記鏡面maに写る被検査物外周面Waの全景の映像が、上記CCDカメラ41によって撮影可能とされている。
【0023】
判別手段5は、上記センサ手段4の検出結果に基づいて被検査物外周面Waの欠陥の有無を判別する装置であって、本実施形態では上記センサ手段4としてCCDカメラ41が用いられているので、該CCDカメラ41で撮影された画像から被検査物外周面Waの欠陥を検出するように構成される。
【0024】
具体的には、この判別手段5は、上記CCDカメラ41によって撮影された被検査物外周面Waの画像を所定の走査パターンに従って走査し(CCDカメラ41で撮影される被検査物外周面Waの画像はドーナツのような中抜きの円環状の画像として現れるので、たとえばこの円環状の画像を径方向や周方向に走査するなどして)、被検査物外周面Waの欠陥を検出する。
【0025】
なお、この判別手段5による被検査物外周面Waの欠陥検出は、上記CCDカメラ41で撮影した画像を所定のしきい値で二値化して白黒画素信号とし、この白黒画素信号を基に欠陥の有無を検出したり、あるいはパターンマッチングにより欠陥の有無を検出するなど適宜設計変更可能である。
【0026】
そこで、このように構成されてなる外観検査装置1の作用について図2に基づいて詳細に説明する。
【0027】
本発明に係る外観検査装置1では、被検査物外周面Waの欠陥検出にあたり、まず上記光源2を点灯させる。これにより、光源2から放射された光L1 は、図示しない拡散板6で拡散されてハーフミラー3に導かれ、該ハーフミラー3を透過して被検査物外周面Waに照射される。
【0028】
ここでハーフミラー3は、上述したようにその透過率αが極めて低く設定されているので、このハーフミラー3を透過する透過光L2 の光量は、ハーフミラー3に入射する光L1 の光量よりも大幅に低下する。そのため、上記光源2としては、予めこのようなハーフミラー3による光量低下を見越して、被検査物外周面Waの照明に必要な光量の出力が可能な光源が採用される。
【0029】
このようにして、被検査物外周面Waに透過光L2 が照射されると、被検査物外周面Waで反射した反射光Lrによりハーフミラー3に被検査物外周面Waの映像が写し出され、このハーフミラー3に写った映像が上記CCDカメラ41によって撮影される。
【0030】
つまり、上記ハーフミラー3の表面に形成される円錐形状の鏡面maは、被検査物外周面Waからの反射光Lrを上記CCDカメラ41のレンズ41aに向けて反射させるのに適した傾斜角度をもった円錐形状とされる。
【0031】
そして、上記CCDカメラ41で被検査物外周面Waの映像が撮影されると、その撮影された画像を基に上記判別手段5において被検査物外周面Waの欠陥検出が行われる。なお、この欠陥検出の結果は、たとえば図示しないCRTなどのディスプレイ装置に表示したり、あるいは、ワーク排出装置と連係させて欠陥検出の結果がNGの被検査物Wを選別排出するなどされる。
【0032】
このように、本発明に係る被検査物の外観検査装置1では、光源2からの光L1 をハーフミラー3を透過させて被検査物外周面Waに照射することにより該ハーフミラー3を照明として用いる一方、この照明により照らし出された被検査物外周面Waの状態をハーフミラー3に写して、その映像をセンサ手段4で受光して欠陥検査を行うので、光源2からの光L1 がセンサ手段4で反射光Lrを受光する妨げとならず、両者の位置関係の設定が容易になる。
【0033】
実施形態2
次に、本発明に係る被検査物の外観検査装置の他の実施形態について図3に基づいて説明する。
【0034】
図3は光源2の改変例を示しており、本実施形態では上記光源2が、発光体21と、該発光体21からの光を反射させて上記光拡散板6に照射する反射体22とで構成される。なお、光源2以外の構成は上記実施形態1に示す外観検査装置1と同様であるので、構成が共通する部分には同一の符号を付して説明を省略する。
【0035】
すなわち、上記発光体21はいわゆる落射照明を行う照明具であって、多数の発光ダイオードや光ファイバなどの発光源を、上記拡散板6の外側上方位置に下向きにリング状に配設することにより構成される。
【0036】
一方、反射体22は、上記拡散板6の外側であって上記発光体21の下方に位置して、発光体21からの落射照明を上記拡散板6に向けて反射する鏡であって、図3に示すように、受けた光をほぼ全反射する円錐形状の鏡面mbを有して構成される。
【0037】
本実施形態では上記光源2をこのように構成することにより、発光体21から照射された光が上記発光体21の鏡面mbによって反射されて拡散板6、ハーフミラー3を介して被検査物外周面Waに照射され、その反射光Lrがハーフミラー3の鏡面maを介して図外のセンサ手段4に受光され、上記実施形態1と同様に判別手段5において被検査物外周面Waの欠陥検出が行われる。
【0038】
このように、本実施形態に示す外観検査装置によれば、発光体21からの光を反射体22で反射させて上記光拡散板6に照射する構成を採用することにより、発光体21の配設位置を被検査物Wの径方向位置から外すことができるので、発光体21の照明に係る配線などが被検査物Wの径方向に出ることがなく、外観検査装置をコンパクトに構成することが可能となる。
【0039】
実施形態3
次に、本発明に係る被検査物の外観検査装置の第3の実施形態について図4に基づいて説明する。
【0040】
この第3の実施形態は、上記光源2およびハーフミラー3の形態の改変例であって、具体的には図4に示すように、上記光源2が、上記被検査物Wの軸方向の線状領域Eに光を照射する線状光源2′の形態とされるとともに、上記ハーフミラー3は、上記被検査物Wの線状領域Eからの反射光Lrを上記センサ手段4に反射可能なように、上記線状領域Eに対応する線状ハーフミラー3′の形態とされる。
【0041】
また、これら光源2およびハーフミラー3の形態の改変に伴い、上記線状光源2′および上記線状ハーフミラー3′の双方または上記被検査物Wの少なくともいずれか一方を、上記被検査物Wの軸線まわりに回転させる回転駆動手段8を備えて構成される。
【0042】
すなわち、上記線上光源2′は、図4に示すように被検査物Wの周方向について上記線状領域Eに対応する所定の幅寸法をもった光源であり、本実施形態では上記実施形態2に示すのと同様に図外の発光体と反射体22′とから構成される。そして、この発光体から照射された光が反射体22′で反射され、拡散板6′を介して線状ハーフミラー3′に入射するように構成されている。
【0043】
なお、本実施形態においては、光源2が上述したように被検査物Wの線状領域Eに光を照射する線状光源2′の形態とされることに伴い、上記発光体、反射体22′および拡散板6′は、いずれもこの線状領域Eに対応する寸法形状に設定されている(図4参照)。
【0044】
線状ハーフミラー3′も上記実施形態1および実施形態2と同様に、上記光源2′と上記被検査物Wとの間に配設され、光源2′から照射される光を透過させて被検査物外周面Waに照射させるとともに、上記被検査物外周面Waで反射した反射光Lrをセンサ手段4に向けて反射させる鏡面maを有するハーフミラーで構成されるが、本実施形態では、図示のように、上記被検査物外周面Waの線状領域Eに対応する寸法形状に設定されている(図4参照)。また、この線状ハーフミラー3′も上記実施形態1と同様に光の透過率αが低いハーフミラーで構成される。
【0045】
上記回転駆動手段8は、上記線状光源2′および上記線状ハーフミラー3′の双方または上記被検査物Wの少なくともいずれか一方を、上記被検査物Wの軸線まわりに回転させるための動力源であって、本実施形態では、この回転駆動手段8はワーク保持装置7を回転駆動するように構成される。
【0046】
なお、本実施形態では、光源2やハーフミラー3等が被検査物Wの線状領域Eに対して光を照射等するように構成されるので、上記センサ手段4としてはこの線状領域Eの反射光Lrの受光が可能なラインイメージセンサが好適に採用される。
【0047】
このように構成された外観検査装置1′においては、線状光源2′から照射される光が、反射体22′の鏡面mbで反射され、拡散板6′、線状ハーフミラー3′を介して被検査物外周面Waの線状領域Eに照射され、該線状領域Eで反射した反射光Lrが線状ハーフミラー3′の鏡面maで反射されてラインイメージセンサ(図示せず)に入力され、該ラインイメージセンサにおいて該線状領域Eの映像が撮影される。そして、この映像に基づいて図示しない判別手段が上記線状領域Eの欠陥検査を行う。
【0048】
この線状領域Eにおける欠陥検査が完了すると、次に上記回転駆動手段8がワーク保持装置7を回転駆動して検査対象となる領域を変更して、上記同様の処理によって新たに設定された線状領域Eについての欠陥検査を行う。以後、このようにして被検査物外周面Waの全周にわたってこの工程を繰り返すことにより、被検査物Wの全周にわたる欠陥検査が行われる。
【0049】
このように、本発明の第3の実施形態に示す外観検査装置1′では、回転駆動手段8によって欠陥検査を行う線状領域Eの位置を順次ずらしながら欠陥検査を行うことにより、被検査物外周面Waの全周にわたって欠陥検査を行うことができるので、光源2やハーフミラー3の構成を簡略化することができる。
【0050】
なお、上述した実施形態はあくまでも本発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこれに限定されることなくその発明の範囲内で種々の設計変更が可能である。
【0051】
たとえば、上述した実施形態では、ハーフミラー3として図示されるような薄板状のハーフミラーが採用されたが、たとえばガラスなどの透明体のブロックに円錐形状の穴を穿ち、その穴の表面に上記鏡面maを形成するように構成することも可能である。
【0052】
また、上述した第2の実施形態では、発光体21を拡散板6の外側上方に配設した場合を示したが、この発光体21は被検査物Wの径方向延長線上を外して配設されていればよく、たとえば拡散板6の外側下方に配設されていてもよい。
【0053】
また、同様に上述した実施形態では、発光体21から照射された光の向きを反射体22でほぼ90°変更するように構成したが、発光体21から照射された光を90°以外の角度で(たとえば鋭角的に)反射するように構成することも可能である。
【0054】
また、上述した第3の実施形態では、回転駆動手段8がワーク保持装置7を回転駆動する構成を採用したが、この回転駆動手段8は、上記線状光源2′、拡散板6′および上記線状ハーフミラー3′を同時に上記被検査物Wの軸線まわりに回転駆動するように構成してもよい。
【0055】
さらに、上述した実施形態では、上記ハーフミラー3(3′)として光の透過率αが0<α≦5パーセントの範囲のハーフミラーを用いたが、使用するハーフミラーの光の透過率は適宜設計変更可能である。
【0056】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、円筒状の被検査物の外周に、ハーフミラーを透過させて光を照射し、上記被検査物の外周面で反射した反射光を上記ハーフミラーで反射させてこれをセンサ手段(イメージセンサ)で受光して被検査物の外周面の状態を撮影し、この撮影された画像を基に上記被検査物の外周面の欠陥検査を行うにあたり、上記ハーフミラーには、照明としての役割よりも反射鏡としての役割を重視して、光の透過率αが0<α≦5パーセントのハーフミラーが用いられているので、被検査物外周面の欠陥検査を正確に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る被検査物の外観検査装置の概略構成の一例を示す説明図である。
【図2】 同外観検査装置における光の照射および反射の状態を示す斜視図である。
【図3】 同外観検査装置の他の実施形態を示す説明図である。
【図4】 同外観検査装置の第3の実施形態を示す説明図である。
Claims (6)
- 円筒状の被検査物の外周に光の透過率αが0<α≦5パーセントのハーフミラーを配置して当該ハーフミラーを透過させて前記被検査物の外周面に光を照射し、前記被検査物の外周面で反射した反射光を前記ハーフミラーで反射させてイメージセンサに受光させ、これにより被検査物の外周面の状態を前記イメージセンサに撮影させ、この撮影された画像を基に前記被検査物の外周面の欠陥検査を行うことを特徴とする被検査物の外周検査方法。
- 円筒状の被検査物の外周面の欠陥検査を行うための装置であって、
前記被検査物の外側に配される光源と、
該光源と前記被検査物との間に配設され、前記光源から照射される光を透過させて被検査物の外周面に照射させるとともに、前記被検査物からの反射光をセンサ手段に向けて反射させるハーフミラー手段と、
前記ハーフミラー手段で反射された前記反射光を受光して被検査物の外周面の状態を撮影するセンサ手段と、
前記センサ手段で撮影された被検査物外周面の画像から被検査物外周面の欠陥の有無を判別する判別手段とを備えてなり、
前記ハーフミラー手段の光の透過率αが0<α≦5パーセントに設定されている
ことを特徴とする被検査物の外周検査装置。 - 前記光源と前記ハーフミラー手段との間に、光源からの光を拡散させる光拡散手段が設けられている
ことを特徴とする請求項2に記載の被検査物の外周検査装置。 - 前記光源が、光を放射する発光体と、該発光体からの光を反射させて前記光拡散手段に照射する反射体とを備えてなる
ことを特徴とする請求項3に記載の被検査物の外周検査装置。 - 前記光源は、前記被検査物の外周全領域に光を照射するように前記被検査物の外側に環状に配設された環状光源の形態とされ、
前記ハーフミラー手段は、前記被検査物の外周全領域からの反射光を前記センサ手段に反射可能なように前記被検査物の外側に環状に配された環状ハーフミラーの形態とされる
ことを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか一に記載の被検査物の外周検査装置。 - 前記光源は、前記被検査物の軸方向の線状領域に光を照射する線状光源の形態とされるとともに、前記ハーフミラー手段は、前記被検査物の線状領域からの反射光を前記センサ手段に反射可能なように前記線状領域に対応する線状ハーフミラーの形態とされてなり、
前記線状光源および前記線状ハーフミラーの双方または前記被検査物の少なくともいずれか一方を、前記被検査物の軸線まわりに回転させる回転駆動手段を備えている
ことを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか一に記載の被検査物の外周検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002044187A JP3789097B2 (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 被検査物の外周検査方法および外周検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002044187A JP3789097B2 (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 被検査物の外周検査方法および外周検査装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003240728A JP2003240728A (ja) | 2003-08-27 |
JP2003240728A5 JP2003240728A5 (ja) | 2004-12-09 |
JP3789097B2 true JP3789097B2 (ja) | 2006-06-21 |
Family
ID=27783672
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002044187A Expired - Fee Related JP3789097B2 (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 被検査物の外周検査方法および外周検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3789097B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG157977A1 (en) * | 2008-06-23 | 2010-01-29 | Semiconductor Tech & Instr Inc | System and method for inspection of semiconductor packages |
JP6489540B2 (ja) * | 2014-02-27 | 2019-03-27 | 株式会社NejiLaw | 撮像システム、照明手段 |
US9759670B2 (en) * | 2014-12-23 | 2017-09-12 | Mitutoyo Corporation | Bore imaging system |
JP2017009542A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | 株式会社NejiLaw | 撮像システム |
JP6834174B2 (ja) * | 2016-05-13 | 2021-02-24 | 株式会社ジェイテクト | 外観検査方法および外観検査装置 |
CN114061481A (zh) * | 2020-08-04 | 2022-02-18 | 广东博智林机器人有限公司 | 一种光源组件及检测装置 |
-
2002
- 2002-02-21 JP JP2002044187A patent/JP3789097B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003240728A (ja) | 2003-08-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8532364B2 (en) | Apparatus and method for detecting defects in wafer manufacturing | |
TWI442016B (zh) | A light source for illumination and a pattern inspection device using it | |
JPH01314955A (ja) | 透光性容器の検査方法 | |
JP2007064801A (ja) | 照明装置及びこれを備えた外観検査装置 | |
KR960014919A (ko) | 광학적검사방법 및 광학적 검사장치 | |
JPH1090198A (ja) | 欠陥を検出するための方法および照射装置 | |
JP2019045470A (ja) | 外観検査装置及びその方法 | |
JP5481484B2 (ja) | 3次元物体を2次元平面画像に光学的に変換する装置および方法 | |
CN110736752A (zh) | 一种表面缺陷检测的光照方式、光照结构及检测装置 | |
JP2003329606A (ja) | 内面検査装置 | |
JP2005531000A (ja) | 機械視覚システムのためのパターン化された照明方法および装置 | |
JP3789097B2 (ja) | 被検査物の外周検査方法および外周検査装置 | |
JP5726628B2 (ja) | 透明体ボトルの外観検査装置及び外観検査方法 | |
KR20160121716A (ko) | 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치 | |
JP3153476B2 (ja) | 外観検査装置 | |
TW202400992A (zh) | 環狀製品外觀檢查裝置 | |
JP5507970B2 (ja) | 管の外観検査装置 | |
JP2008064656A (ja) | 周縁検査装置 | |
JP2821460B2 (ja) | 透明基板の傷検査装置 | |
JP3054227B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
JP2005195332A (ja) | 円環状物品の外観検査装置 | |
JP2009222629A (ja) | 被検物端面検査装置 | |
JP3095820B2 (ja) | 表面状態検出装置 | |
JPH06160065A (ja) | 欠け検査装置 | |
JPH1062359A (ja) | 欠陥検査方法およびその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050607 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050805 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060228 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060327 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090407 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120407 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120407 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120407 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130407 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130407 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140407 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |