JP3787341B2 - テトラメチルアンモニア水酸化物(tmah)を含むフォトレジストの現像液におけるリサイクル方法およびそのシステム - Google Patents
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Description
A1’ 波長210nmにおけるTMAH濃度が既知である回収現像液の吸収値
A2’ 波長220nmにおけるTMAH濃度が既知である回収現像液の吸収値
A3’ 波長210nmにおける標準のTMAH現像液の吸収値
A4’ 波長220nmにおける標準のTMAH現像液の吸収値
S302〜S310 プロセスのステップ
S502〜S516 プロセスのステップ
600 フォトレジスト現像システム
602 排出パイプライン
604 廃液タンク
606 仕切り弁
610 リサイクルパイプライン
612 リサイクルタンク
620 UV分光計
622 希釈器
624 コンピューター
630 調節タンク
632 調節仕切り弁
634 調節パイプライン
640 現像液タンク
642 パイプライン
644 新品液仕切り弁
Claims (18)
- テトラメチルアンモニア水酸化物(以下場合によりTMAHと略す)を含むフォトレジストの現像液におけるTMAH濃度を、分光計による所定波長の吸収値により特定し、回収した現像液を再生する現像液のリサイクル方法であって、
波長220nmと250nmの間で、2以上のm個の波長を選択するステップと、
前記m個の波長における回収現像液の吸収値Y1からYmと、波長210nmにおける吸収値A1とをそれぞれ測定するステップと、
Y1からYmをn次多項式Y=C 1 X n +…+C n X+C n+1 にインプットして、
波長−吸収値の関係(Xは波長、nは正の整数、C1からC n+1 は前記関係式の係数)を得るステップと、
前記波長−吸収値の関係式に波長210nmをインプットして吸収値Y210を得るステップと、
前記A1と前記Y210間の差を計算し、前記現像液中のTMAH濃度の吸収値であるA3を得るステップと、
波長210nmにおけるTMAH濃度の吸収検量線にA3をインプットして対応するTMAH濃度を得るステップ、
再使用に対応するTMAH濃度に基づいて前記回収現像液にTMAHを添加するステップ、
を含むことを特徴とする現像液のリサイクル方法。 - 前記m個の波長は、5nmまたは10nmの間隔で選ばれる請求項1に記載の現像液のリサイクル方法。
- 前記m個の波長は、220nm、225nm、230nm、235nm、240nm、245nm、および250nmの7個の波長である請求項2に記載する現像液のリサイクル方法。
- 前記n次多項式は、2次から5次多項式である請求項1〜請求項3いずれかに記載の現像液のリサイクル方法。
- 前記n次多項式は、Y=C1X3+C2X2+C3X+C4の3次多項式である請求項4に記載の現像液のリサイクル方法。
- 波長210nmにおける回収現像液の吸収値A1が1.2を超える場合に前記回収現像液を希釈するステップと、
希釈した回収現像液について、前記m個の波長における回収現像液の吸収値Y1からYmと、波長210nmにおける吸収値A1とをそれぞれ再測定するステップと、を更に含む請求項1〜請求項5いずれかに記載の現像液のリサイクル方法。 - TMAHを含むフォトレジストの現像液におけるTMAH濃度を、分光計による所定波長の吸収値により特定し、回収した現像液を再生する現像液のリサイクル方法であって、
波長210nmと220nmとにおける回収現像液の吸収値A1とA2とを測定するステップと、
A3=A1−A2×Coによって前記回収現像液中のTMAH濃度の吸収値であるA3を計算するステップ(CoはCo=(A1’−A3’)/A2’により得られる比例率、A1’及びA2’は波長210nmと220nmとにおけるTMAH濃度が既知である回収現像液の吸収値、A3’は波長210nmにおけるTMAH濃度が既知である標準吸収値)と、
波長210nmでのTMAH濃度の吸収検量線にA3をインプットして対応するTMAH濃度を得るステップと、
再使用に対応するTMAH濃度に基づいて前記回収現像液にTMAHを添加するステップと、
を含む現像液のリサイクル方法。 - 波長210nmにおける回収現像液の吸収値A1が1.2を上回る場合に前記回収現像液を希釈するステップと、
希釈した回収現像液について、波長210nmと220nmとにおける回収現像液の吸収値A1とA2とを再測定するステップと、
を更に含む請求項7に記載の現像液のリサイクル方法。 - TMAHを含むフォトレジストの現像液におけるTMAH濃度を、分光計による所定波長の吸収値により特定し、回収した現像液を再生する現像液のリサイクルシステムであって、
リサイクルパイプラインを経由してフォトレジスト現像システムから回収した現像液を収集するリサイクルタンクと、
高濃度のTMAH液を収容し、調節パイプラインによって前記リサイクルタンクに接続される調節タンクと、
前記リサイクルタンクに接続され、前記回収現像液の吸収値を測定するための分光計と、
前記分光計と前記調節パイプラインに接続され、分光計から測定された吸収値にしたがって前記リサイクルタンクにおけるTMAH濃度を計算するようにプログラムがされており、算出されたTMAH濃度にしたがって要求されるTMAH濃度を達成するために、前記調節パイプラインから前記リサイクルタンクへ高濃度TMAH液を輸送する処理装置と、を備え、
前記処理装置は、
波長220nmと250nmの間で、2以上のm個の波長を選択するステップと、
前記m個の波長における回収現像液の吸収値Y1からYmと、波長210nmにおける吸収値A1とをそれぞれ測定するステップと、
Y1からYmをn次多項式Y=C 1 X n +…+C n X+C n+1 にインプットして、
波長−吸収値の関係(Xは波長、nは正の整数、C1からC n+1 は前記関係式の係数)を得るステップと、
前記波長−吸収値の関係式に波長210nmをインプットして吸収値Y210を得るステップと、
前記A1と前記Y210間の差を計算し、前記現像液中のTMAH濃度の吸収値であるA3を得るステップと、
前記リサイクルタンクに対応するTMAH濃度を生成するために波長210nmにおけるTMAH濃度の吸収検量線にA3をインプットして対応するTMAH濃度を得るステップと、をプログラムに基づいて計算し、当該計算結果に基づく処理方法を実行できることを特徴とする現像液のリサイクルシステム。 - 前記処理装置は、コンピューターである請求項9に記載の現像液のリサイクルシステム。
- 前記m個の波長は、5nmまたは10nmの間隔で選ばれる請求項又は請求項10に記載の現像液のリサイクルシステム。
- 前記m個の波長は220nm、225nm、230nm、235nm、240nm、245nm、および250nmの7個の波長である請求項11に記載の現像液のリサイクルシステム。
- 前記n次多項式は、2次から5次多項式である請求項9〜請求項12いずれかに記載の現像液のリサイクルシステム。
- 前記n次多項式は、Y=C1X3+C2X2+C3X+C4の3次多項式である請求項13に記載の現像液のリサイクルシステム。
- 波長210nmにおける回収現像液の吸収値A1が1.2を上回る場合に、前記回収した現像液を希釈するための希釈器を更に含む請求項9〜請求項14いずれかに記載の現像液のリサイクルシステム。
- TMAHを含むフォトレジストの現像液におけるTMAH濃度を、分光計による所定波長の吸収値により特定し、回収した現像液を再生する現像液のリサイクルシステムであって、
リサイクルパイプラインを経由してフォトレジスト現像システムから回収した現像液を収集するリサイクルタンクと、
高濃度のTMAHを収容し、調節パイプラインによって前記リサイクルタンクに接続される調節タンクと、
前記リサイクルタンクに接続され、前記回収現像液の吸収値を測定するための分光計と、
前記分光計と前記調節パイプラインに接続され、分光計から測定された吸収値にしたがって前記リサイクルタンクにおけるTMAH濃度を計算するようにプログラムがされており、算出されたTMAH濃度にしたがって要求されるTMAH濃度を達成するために、前記調節パイプラインから前記リサイクルタンクへ高濃度TMAHの量を輸送する処理装置とを備え、
前記処理装置は、
波長210nmと220nmとにおける回収現像液の吸収値A1とA2とを測定するステップと、
A3=A1−A2×Coによって前記回収現像液中のTMAH濃度の吸収値であるA3を計算するステップ(CoはCo=(A1’−A3’)/A2’により得られる比例率、A1’及びA2’は波長210nmと220nmとにおけるTMAH濃度が既知である回収現像液の吸収値、A3’は波長210nmにおけるTMAH濃度が既知である標準吸収値)と、
前記リサイクルタンクに対応するTMAH濃度を生成するために、波長210nmでのTMAH濃度の吸収検量線にA3をインプットして対応するTMAH濃度を得るステップと、をプログラムに基づいて計算し、当該計算結果に基づく処理方法を実行できることを特徴とする現像液のリサイクルシステム。 - 前記処理装置は、コンピューターである請求項16に記載の現像液のリサイクルシステム。
- 波長210nmにおける回収現像液の吸収値A1が1.2を上回る場合に、前記回収現像液を希釈するための希釈器を更に含む請求項16又は請求項17に記載の現像液のリサイクルシステム。
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