JP3778959B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】
この発明は、液晶用角型ガラス基板や半導体ウエハなどの基板(以下、単に「基板」という)を基板支持手段に支持しながら、加熱処理、冷却処理や回転塗布処理などの所定の処理を施す基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5は、従来の基板処理装置の一例を示す正面断面図である。この装置は、例えば基板の上に塗布されたレジストを乾燥固化する目的で使用される加熱装置である。この装置では、チャンバ1の中にプレート2が設けられている。このプレート2では、その上面で基板載置が可能となっており、また下面には基板4を加熱するためのヒータ3が取り付けられている。さらに、プレート2の上面には多数の吸着孔2aが開口しており、吸引ユニットと気体供給ユニットの2系統に接続されている。
【0003】
吸引ユニットは、吸着孔2aの内部の気体を吸引し、その圧力を減圧することにより、基板4をプレート2の上面に吸着固定させる目的で設置され、真空配管6と、この真空配管6に介挿されるバルブ7と、真空配管6に接続される吸引ポンプ15とを備えている。一方、気体供給ユニットは、吸着孔2aに例えば窒素ガスなどの気体を圧送することにより、プレート2の上面からの基板4の剥離を促す目的で設置されており、気体供給配管8と、この気体供給配管8に介挿されるバルブ9およびフィルタ10と、気体供給配管8に接続される窒素ガス供給源16とを備えている。フィルタ10は、気体に含まれる微粒子を除去することにより、この微粒子による基板4の汚染を防止する機能を果たす。
【0004】
チャンバ1には、処理前の基板4を搬入するための搬入口11と、処理後の基板4を搬出するための搬出口12とが形成されている。また、搬入口11の上方に位置するチャンバ1の外表面に、空気イオン化装置部13が設置されている。
【0005】
以上のように構成されるこの基板加熱装置は、以下のように動作する。すなわち、処理前の基板4が図示しない搬送装置により搬入口11より搬入され、プレート2の上面に載置されると、バルブ7を開くことにより、吸着孔2aの内部が減圧され基板4がプレート2に吸着固定される。このとき、バルブ9は閉塞されている。この状態でヒータ3の熱によって基板4に加熱処理が施される。加熱処理が終了すると、バルブ7を閉塞し、バルブ9を開放する。その結果、基板4への吸引作用が停止し、逆に窒素ガスが吸着孔2aから吐出される。このため、基板4がプレート2の上面から容易に剥離される。この処理済みの基板4は、搬送装置により搬出口12から装置の外部へ取り出され、後続の工程へと搬送される。
【0006】
処理済みの基板4がプレート2の上面から剥離されるときには、いわゆる剥離帯電が発生する。この剥離帯電は、基板4への微粒子の付着を促すので、基板4の汚染をもたらすとともに、それぞれ少しずつ帯電された基板がカセット内などで多数集合させられた時に静電気が大きくなってスパークし、基板上に形成された素子が破壊されてしまうこともある。上述の空気イオン化装置部13は、この剥離帯電を抑える目的で設置されている。すなわち、基板4が搬入口11からチャンバ1の内部へ搬入されるときに、空気イオン化装置部13が動作して、空気イオン化装置部13の本体部の下面に配列する電極13aに高電圧が印加される。その結果、電極13aの近辺の空気がイオン化され、このイオン化空気が搬入されつつある基板4の上面に降り注ぐ。このことによって、基板4の剥離帯電が抑制される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の基板処理装置では、以上のように空気イオン化装置部13がチャンバ1の外部に設置されているため、空気イオン化装置部13から基板4までの距離が長くなり、イオン化空気を基板4に確実に供給することができず、その結果、基板4の剥離帯電を防止する効果が十分には得られないという問題点があった。
【0008】
なお、上記問題はレジストを乾燥固化する加熱装置にのみ生じるものではなく、基板を冷却する冷却装置や基板上にレジストなどの塗布液を回転塗布する回転塗布装置などの基板処理装置全般で生じる問題である。
【0009】
この発明は、上記課題を解決するためになされたもので、基板の剥離帯電をより効果的に防止することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
【0011】
請求項1の発明は、上記目的を達成するため、基板をその裏面中央部より支持する基板支持手段と、基板の外縁部を保持しながら、前記基板支持手段の外周部で上下方向に昇降自在な基板昇降手段と、前記基板昇降手段を上下方向に駆動する昇降駆動手段と、前記基板昇降手段に固定されたノズルと、前記ノズルに接続され、前記基板支持手段に支持された前記基板と、前記基板支持手段との間に向けて前記ノズルからイオン化された気体を噴出するイオン化気体供給手段と、を備えている。
【0012】
請求項2の発明は、導体物質で構成される前記ノズルを非接地状態に維持している。
【0013】
請求項3の発明は、前記ノズルを絶縁物質で構成している。
【0014】
【作用】
【0015】
請求項1の発明では、基板昇降手段に固定されたノズルから、イオン化された気体が基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出され、その基板が電気的に中和される。これによって、当該基板の剥離帯電が防止される。
【0016】
請求項2の発明では、ノズルが導体物質で構成され、しかも非接地状態に維持されているため、イオン化気体供給手段からのイオン化気体が当該ノズルを通過する間に中和されることなく、当該ノズルから基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出される。そのため、電気的な基板の中和処理が効果的に行われる。
【0017】
請求項3の発明では、ノズルが絶縁物質で構成されたことで、ノズルを非接地状態に維持することなく、イオン化気体供給手段からのイオン化気体が効率良く基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出され、電気的な基板の中和処理が効果的に行われる。
【0018】
【実施例】
図1は、この発明にかかる基板処理装置の一実施例を示す図である。この装置は、以下に説明するように基板を加熱する加熱装置である。
【0019】
この基板処理装置では、同図に示すように、面発熱ヒータ22の上面に金属製のプレート24が配置される一方、下面にヒータ押え板26が配置されており、このプレート24で基板Wを支持しながら、面発熱ヒータ22からの熱を基板Wに与えるように構成されている。
【0020】
また、面発熱ヒータ22,プレート24およびヒータ押え板26には複数の貫通孔28が設けられており、これら貫通孔28に押上ピン30が挿通されるとともに、シリンダなどの駆動部32によって押上ピン30を上下方向に昇降させるように構成されている。したがって、押上ピン30を上昇端まで上昇させると、押上ピン30がプレート24から突出し、基板Wの保持が可能となる。また、それらの押上ピン30の先端部に基板Wを保持した後、装置全体を制御する制御部34からの指令に応じて駆動部32が作動し、押上ピン30を下降させることにより基板Wをプレート24に載置することができる。逆に、熱処理完了後に押上ピン30を上昇させることにより、プレート24から処理済の基板Wを上方向に離間させることができる。
【0021】
図示を省略しているが、従来例(図5)と同様に、プレート24の上面に多数の吸着孔が開口しており、吸引ユニットと気体供給ユニットの2系統に接続されて、吸引ユニットによる基板Wのプレート24への吸着固定および気体供給ユニットによるプレート24からの基板Wの剥離促進が可能となっている。
【0022】
さらに、プレート24の外周部に近接して、2つのノズル36がそれぞれ対向しながら固定配置されている。これらのノズル36は絶縁材料、例えばテフロン(トリフルオロエチレンのDu Pont社の商標)で構成されている。各ノズル36にはイオナイザー38が接続されており、制御部34からの制御信号に応じて窒素ガス供給源40からの窒素ガスをイオン化した後、そのイオン化気体(イオン化窒素ガス)IGをプレート24とそれに支持された基板Wと間に噴出する。このように、ノズル36を絶縁材料により構成することで、次のような効果が得られる。すなわち、イオン化気体IGがノズル36を介して噴出する際、ノズル36が導電性材料により構成されていると、イオン化気体IGがノズル36を通過する間に中和されてしまい、イオン化気体IGによる基板Wの剥離帯電防止効果が低減されてしまうのに対し、ノズル36を絶縁材料で構成することで当該問題を解消することができる。
【0023】
なお、ノズル36を導電性材料で構成した場合であっても、非接地状態で所定位置に固定することで、ノズル36が電気的にういた状態となり、上記問題の発生は防止される。したがって、ノズル36を導電性材料で構成するときには、ノズル36を非接地状態に維持すればよい。
【0024】
また、ノズル36については、必ずしも固定する必要はなく、可動自在で必要に応じてプレート24に近接して、プレート24と基板Wとの間にイオン化気体IGを噴出可能にしてもよい。
【0025】
次に、上記のように構成された装置の動作について説明する。当該装置により基板Wに加熱処理を施す場合、まず押上ピン30を上昇させ、その先端部をプレート24の上面から突出させる(図1の2点鎖線:搬入・搬出位置)。そして、押上ピン30の先端部に基板搬送機構(図示省略)により被処理基板Wを載置する。
【0026】
それに続いて、駆動部32を作動させ、基板Wを保持した状態のままで押上ピン30を降下させて、基板Wをプレート24上に載置する。このとき、押上ピン30の降下開始と同時にイオナイザー38を作動させてノズル36からイオン化気体IGを一定時間の間、噴出させる。このため、例えば搬送されてきた基板Wが帯電していたとしても、イオン化気体IGの供給により基板Wを電気的に中和することができる。
【0027】
上記のようにして基板Wがプレート24に支持されると、吸引ユニットを作動させて、基板Wをプレート24への吸着固定した後、面発熱ヒータ22に通電する。これにより、面発熱ヒータ22からの熱がプレート24を介して基板Wに与えられ、熱処理が行われる。
【0028】
この熱処理が完了すると、吸引ユニットによる基板Wの吸着保持を解除した後、駆動部32を駆動して押上ピン30の上昇移動を開始し、図2に示すように、基板Wをプレート24から剥離する。このとき、気体供給ユニットにより、プレート24から上方に向けて窒素ガスなどの気体Gを圧送してプレート24の上面からの基板Wの剥離を促進させる。また同時に、イオナイザー38を作動させてノズル36からイオン化気体IGをプレート24と基板Wとの間に供給する。これにより、イオン化気体IGが基板Wに供給され、熱処理中に発生した静電気などを電気的に中和することができる。しかも、プレート24と基板Wとの間にイオン化気体IGを供給することで、基板Wのプレート24からの剥離をより一層促進することができる。
【0029】
そして、押上ピン30が上方端まで移動し、基板Wが搬入・搬出位置に戻る(図1の2点鎖線)と、イオナイザー38を停止させて、ノズル36からのイオン化気体IGの噴出を停止させる。その後、基板搬送機構によって、熱処理済みの基板Wを次の処理ステーションに搬送する。
【0030】
図3は、この発明にかかる基板処理装置の他の実施例を示す図である。この実施例にかかる装置では、プレート24上に基板Wよりも小さな平面サイズのサブプレート42が載置されており、このサブプレート42で基板Wの裏面中央部を支持しながら、面発熱ヒータ22からの熱がプレート24およびサブプレート42を介して当該基板Wに与えられるようになっている。
【0031】
また、先に説明した実施例(図1)では貫通孔28を挿通された押上ピン30により基板Wを保持しているが、この実施例では面発熱ヒータ22,プレート24,ヒータ押え板26およびサブプレート42の外周部に基板昇降手段たるアーム44が設けられ、このアーム44の上端部からほぼ水平方向に伸びる基板保持部44aによって基板Wの裏面外縁部を保持可能となっている。また、このアーム44にはシリンダなどの駆動部32が接続されており、駆動部32の動作によりアーム44が上下方向に移動し、基板保持部44aで基板Wを保持しながら当該基板Wを昇降可能となっている。なお、ここでは基板保持部44aは基板Wの裏面外縁部を保持するようにしているが、サブプレート42と干渉しないように基板Wの外縁部を保持すれば、基板Wの外側部を保持するようにしてもよい。
【0032】
さらに、この実施例では、固定配置されたノズル36の代わりに、イオナイザー38から伸びる可撓性チューブの先端部をノズル形状に仕上げてなるノズル36′が基板保持部44aに取り付けられ、サブプレート42側にイオン化気体IGを噴出可能となっている。
【0033】
なお、その他の構成は先に説明した実施例(図1)と同一であるため、以下、同一符号を付して構成の説明を省略する。
【0034】
次に、上記のように構成された装置の動作について説明する。まず、アーム44を上昇させ、基板保持部44aを基板搬送機構との間での基板の受渡可能な位置(搬入・搬出位置)に位置決めする(図3の2点鎖線置)。そして、基板保持部44a上に基板搬送機構により被処理基板Wを載置する。
【0035】
それに続いて、駆動部32を作動させ、基板Wを保持した状態のままでアーム44を降下させて、基板Wをサブプレート42上に載置する。このとき、先の実施例と同様に、アーム44の降下開始と同時にイオナイザー38を作動させてノズル36′の先端からイオン化気体IGを基板Wに一定時間の間、噴出させて基板Wを電気的に中和する。
【0036】
上記のようにして基板Wがサブプレート42に支持されると、吸引ユニットを作動させて、基板Wをサブプレート42への吸着固定した後、面発熱ヒータ22に通電して、面発熱ヒータ22からの熱を基板Wに与えて、熱処理を行う。
【0037】
この熱処理が完了すると、吸引ユニットによる基板Wの吸着保持を解除した後、駆動部32を駆動してアーム44を上昇させるとともに、イオナイザー38を作動させてノズル36′からイオン化気体IGをサブプレート42と基板Wとの間に供給して、熱処理中に発生した静電気などを電気的に中和する。なお、この実施例においても、気体供給ユニットにより気体Gの基板Wの裏面側に吐出されてサブプレート42からの基板Wの剥離が促進されるが、ノズル36′からのイオン化気体IGの噴出により剥離がより一層促進される。
【0038】
そして、アーム44が上方端まで移動し、基板Wが搬入・搬出位置に戻る(図3の2点鎖線)と、イオナイザー38を停止させた後、基板搬送機構によって、熱処理済みの基板Wを次の処理ステーションに搬送する。
【0039】
なお、上記実施例では、基板Wを加熱する基板処理装置について説明したが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではなく、基板を冷却する装置や所定の塗布液を基板上に回転塗布する装置などにも適用することができる。例えば基板Wをスピンチャック46上で吸着保持した状態でα方向に回転させて基板Wの表面にレジストなどを塗布する装置(図4)では、スピンチャック46の外周部にノズル36を配置し、スピンチャック46上の基板Wとスピンチャック46との間にイオン化気体IGを噴出することで、上記実施例と同様に、回転塗布処理中に発生した静電気などを電気的に中和することができ、基板Wの剥離帯電をより効果的に防止することができる。また、当該装置においても、スピンチャック46上の基板Wの裏面側に向けてに窒素ガスを吐出して剥離を促進するようにしているが、イオン化気体IGを基板Wとスピンチャック46との間に供給することで当該剥離より一層効果的に行うことができる。
【0040】
【発明の効果】
【0041】
請求項1の発明によれば、基板昇降手段に固定されたノズルから、イオン化された気体を基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出するようにしているので、その基板が電気的に中和され、剥離帯電を防止することができる。
【0042】
請求項2の発明によれば、ノズルを導体物質で構成し、しかも非接地状態に維持されているため、イオン化気体供給手段からのイオン化気体を、当該ノズルを通過する間に中和されることなく、当該ノズルから基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出することができ、電気的な基板の中和処理を効果的に行うことができる。
【0043】
請求項3の発明によれば、ノズルを絶縁物質で構成しているため、ノズルを非接地状態に維持するために特別の構成を設けることなく、イオン化気体供給手段からのイオン化気体を効率良く基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出して、電気的な基板の中和処理を効果的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明にかかる基板処理装置の一実施例を示す図である。
【図2】図1の基板処理装置の動作を示す図である。
【図3】この発明にかかる基板処理装置の他の実施例を示す図である。
【図4】この発明にかかる基板処理装置の別の実施例を示す図である。
【図5】従来の基板処理装置を示す図である。
【符号の説明】
24 プレート(基板支持手段)
30 押上ピン
32 駆動部
36,36′ ノズル
38 イオナイザー(イオン化気体供給手段)
42 サブプレート(基板支持手段)
44 アーム
44a 基板保持部
【産業上の利用分野】
この発明は、液晶用角型ガラス基板や半導体ウエハなどの基板(以下、単に「基板」という)を基板支持手段に支持しながら、加熱処理、冷却処理や回転塗布処理などの所定の処理を施す基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5は、従来の基板処理装置の一例を示す正面断面図である。この装置は、例えば基板の上に塗布されたレジストを乾燥固化する目的で使用される加熱装置である。この装置では、チャンバ1の中にプレート2が設けられている。このプレート2では、その上面で基板載置が可能となっており、また下面には基板4を加熱するためのヒータ3が取り付けられている。さらに、プレート2の上面には多数の吸着孔2aが開口しており、吸引ユニットと気体供給ユニットの2系統に接続されている。
【0003】
吸引ユニットは、吸着孔2aの内部の気体を吸引し、その圧力を減圧することにより、基板4をプレート2の上面に吸着固定させる目的で設置され、真空配管6と、この真空配管6に介挿されるバルブ7と、真空配管6に接続される吸引ポンプ15とを備えている。一方、気体供給ユニットは、吸着孔2aに例えば窒素ガスなどの気体を圧送することにより、プレート2の上面からの基板4の剥離を促す目的で設置されており、気体供給配管8と、この気体供給配管8に介挿されるバルブ9およびフィルタ10と、気体供給配管8に接続される窒素ガス供給源16とを備えている。フィルタ10は、気体に含まれる微粒子を除去することにより、この微粒子による基板4の汚染を防止する機能を果たす。
【0004】
チャンバ1には、処理前の基板4を搬入するための搬入口11と、処理後の基板4を搬出するための搬出口12とが形成されている。また、搬入口11の上方に位置するチャンバ1の外表面に、空気イオン化装置部13が設置されている。
【0005】
以上のように構成されるこの基板加熱装置は、以下のように動作する。すなわち、処理前の基板4が図示しない搬送装置により搬入口11より搬入され、プレート2の上面に載置されると、バルブ7を開くことにより、吸着孔2aの内部が減圧され基板4がプレート2に吸着固定される。このとき、バルブ9は閉塞されている。この状態でヒータ3の熱によって基板4に加熱処理が施される。加熱処理が終了すると、バルブ7を閉塞し、バルブ9を開放する。その結果、基板4への吸引作用が停止し、逆に窒素ガスが吸着孔2aから吐出される。このため、基板4がプレート2の上面から容易に剥離される。この処理済みの基板4は、搬送装置により搬出口12から装置の外部へ取り出され、後続の工程へと搬送される。
【0006】
処理済みの基板4がプレート2の上面から剥離されるときには、いわゆる剥離帯電が発生する。この剥離帯電は、基板4への微粒子の付着を促すので、基板4の汚染をもたらすとともに、それぞれ少しずつ帯電された基板がカセット内などで多数集合させられた時に静電気が大きくなってスパークし、基板上に形成された素子が破壊されてしまうこともある。上述の空気イオン化装置部13は、この剥離帯電を抑える目的で設置されている。すなわち、基板4が搬入口11からチャンバ1の内部へ搬入されるときに、空気イオン化装置部13が動作して、空気イオン化装置部13の本体部の下面に配列する電極13aに高電圧が印加される。その結果、電極13aの近辺の空気がイオン化され、このイオン化空気が搬入されつつある基板4の上面に降り注ぐ。このことによって、基板4の剥離帯電が抑制される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の基板処理装置では、以上のように空気イオン化装置部13がチャンバ1の外部に設置されているため、空気イオン化装置部13から基板4までの距離が長くなり、イオン化空気を基板4に確実に供給することができず、その結果、基板4の剥離帯電を防止する効果が十分には得られないという問題点があった。
【0008】
なお、上記問題はレジストを乾燥固化する加熱装置にのみ生じるものではなく、基板を冷却する冷却装置や基板上にレジストなどの塗布液を回転塗布する回転塗布装置などの基板処理装置全般で生じる問題である。
【0009】
この発明は、上記課題を解決するためになされたもので、基板の剥離帯電をより効果的に防止することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
【0011】
請求項1の発明は、上記目的を達成するため、基板をその裏面中央部より支持する基板支持手段と、基板の外縁部を保持しながら、前記基板支持手段の外周部で上下方向に昇降自在な基板昇降手段と、前記基板昇降手段を上下方向に駆動する昇降駆動手段と、前記基板昇降手段に固定されたノズルと、前記ノズルに接続され、前記基板支持手段に支持された前記基板と、前記基板支持手段との間に向けて前記ノズルからイオン化された気体を噴出するイオン化気体供給手段と、を備えている。
【0012】
請求項2の発明は、導体物質で構成される前記ノズルを非接地状態に維持している。
【0013】
請求項3の発明は、前記ノズルを絶縁物質で構成している。
【0014】
【作用】
【0015】
請求項1の発明では、基板昇降手段に固定されたノズルから、イオン化された気体が基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出され、その基板が電気的に中和される。これによって、当該基板の剥離帯電が防止される。
【0016】
請求項2の発明では、ノズルが導体物質で構成され、しかも非接地状態に維持されているため、イオン化気体供給手段からのイオン化気体が当該ノズルを通過する間に中和されることなく、当該ノズルから基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出される。そのため、電気的な基板の中和処理が効果的に行われる。
【0017】
請求項3の発明では、ノズルが絶縁物質で構成されたことで、ノズルを非接地状態に維持することなく、イオン化気体供給手段からのイオン化気体が効率良く基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出され、電気的な基板の中和処理が効果的に行われる。
【0018】
【実施例】
図1は、この発明にかかる基板処理装置の一実施例を示す図である。この装置は、以下に説明するように基板を加熱する加熱装置である。
【0019】
この基板処理装置では、同図に示すように、面発熱ヒータ22の上面に金属製のプレート24が配置される一方、下面にヒータ押え板26が配置されており、このプレート24で基板Wを支持しながら、面発熱ヒータ22からの熱を基板Wに与えるように構成されている。
【0020】
また、面発熱ヒータ22,プレート24およびヒータ押え板26には複数の貫通孔28が設けられており、これら貫通孔28に押上ピン30が挿通されるとともに、シリンダなどの駆動部32によって押上ピン30を上下方向に昇降させるように構成されている。したがって、押上ピン30を上昇端まで上昇させると、押上ピン30がプレート24から突出し、基板Wの保持が可能となる。また、それらの押上ピン30の先端部に基板Wを保持した後、装置全体を制御する制御部34からの指令に応じて駆動部32が作動し、押上ピン30を下降させることにより基板Wをプレート24に載置することができる。逆に、熱処理完了後に押上ピン30を上昇させることにより、プレート24から処理済の基板Wを上方向に離間させることができる。
【0021】
図示を省略しているが、従来例(図5)と同様に、プレート24の上面に多数の吸着孔が開口しており、吸引ユニットと気体供給ユニットの2系統に接続されて、吸引ユニットによる基板Wのプレート24への吸着固定および気体供給ユニットによるプレート24からの基板Wの剥離促進が可能となっている。
【0022】
さらに、プレート24の外周部に近接して、2つのノズル36がそれぞれ対向しながら固定配置されている。これらのノズル36は絶縁材料、例えばテフロン(トリフルオロエチレンのDu Pont社の商標)で構成されている。各ノズル36にはイオナイザー38が接続されており、制御部34からの制御信号に応じて窒素ガス供給源40からの窒素ガスをイオン化した後、そのイオン化気体(イオン化窒素ガス)IGをプレート24とそれに支持された基板Wと間に噴出する。このように、ノズル36を絶縁材料により構成することで、次のような効果が得られる。すなわち、イオン化気体IGがノズル36を介して噴出する際、ノズル36が導電性材料により構成されていると、イオン化気体IGがノズル36を通過する間に中和されてしまい、イオン化気体IGによる基板Wの剥離帯電防止効果が低減されてしまうのに対し、ノズル36を絶縁材料で構成することで当該問題を解消することができる。
【0023】
なお、ノズル36を導電性材料で構成した場合であっても、非接地状態で所定位置に固定することで、ノズル36が電気的にういた状態となり、上記問題の発生は防止される。したがって、ノズル36を導電性材料で構成するときには、ノズル36を非接地状態に維持すればよい。
【0024】
また、ノズル36については、必ずしも固定する必要はなく、可動自在で必要に応じてプレート24に近接して、プレート24と基板Wとの間にイオン化気体IGを噴出可能にしてもよい。
【0025】
次に、上記のように構成された装置の動作について説明する。当該装置により基板Wに加熱処理を施す場合、まず押上ピン30を上昇させ、その先端部をプレート24の上面から突出させる(図1の2点鎖線:搬入・搬出位置)。そして、押上ピン30の先端部に基板搬送機構(図示省略)により被処理基板Wを載置する。
【0026】
それに続いて、駆動部32を作動させ、基板Wを保持した状態のままで押上ピン30を降下させて、基板Wをプレート24上に載置する。このとき、押上ピン30の降下開始と同時にイオナイザー38を作動させてノズル36からイオン化気体IGを一定時間の間、噴出させる。このため、例えば搬送されてきた基板Wが帯電していたとしても、イオン化気体IGの供給により基板Wを電気的に中和することができる。
【0027】
上記のようにして基板Wがプレート24に支持されると、吸引ユニットを作動させて、基板Wをプレート24への吸着固定した後、面発熱ヒータ22に通電する。これにより、面発熱ヒータ22からの熱がプレート24を介して基板Wに与えられ、熱処理が行われる。
【0028】
この熱処理が完了すると、吸引ユニットによる基板Wの吸着保持を解除した後、駆動部32を駆動して押上ピン30の上昇移動を開始し、図2に示すように、基板Wをプレート24から剥離する。このとき、気体供給ユニットにより、プレート24から上方に向けて窒素ガスなどの気体Gを圧送してプレート24の上面からの基板Wの剥離を促進させる。また同時に、イオナイザー38を作動させてノズル36からイオン化気体IGをプレート24と基板Wとの間に供給する。これにより、イオン化気体IGが基板Wに供給され、熱処理中に発生した静電気などを電気的に中和することができる。しかも、プレート24と基板Wとの間にイオン化気体IGを供給することで、基板Wのプレート24からの剥離をより一層促進することができる。
【0029】
そして、押上ピン30が上方端まで移動し、基板Wが搬入・搬出位置に戻る(図1の2点鎖線)と、イオナイザー38を停止させて、ノズル36からのイオン化気体IGの噴出を停止させる。その後、基板搬送機構によって、熱処理済みの基板Wを次の処理ステーションに搬送する。
【0030】
図3は、この発明にかかる基板処理装置の他の実施例を示す図である。この実施例にかかる装置では、プレート24上に基板Wよりも小さな平面サイズのサブプレート42が載置されており、このサブプレート42で基板Wの裏面中央部を支持しながら、面発熱ヒータ22からの熱がプレート24およびサブプレート42を介して当該基板Wに与えられるようになっている。
【0031】
また、先に説明した実施例(図1)では貫通孔28を挿通された押上ピン30により基板Wを保持しているが、この実施例では面発熱ヒータ22,プレート24,ヒータ押え板26およびサブプレート42の外周部に基板昇降手段たるアーム44が設けられ、このアーム44の上端部からほぼ水平方向に伸びる基板保持部44aによって基板Wの裏面外縁部を保持可能となっている。また、このアーム44にはシリンダなどの駆動部32が接続されており、駆動部32の動作によりアーム44が上下方向に移動し、基板保持部44aで基板Wを保持しながら当該基板Wを昇降可能となっている。なお、ここでは基板保持部44aは基板Wの裏面外縁部を保持するようにしているが、サブプレート42と干渉しないように基板Wの外縁部を保持すれば、基板Wの外側部を保持するようにしてもよい。
【0032】
さらに、この実施例では、固定配置されたノズル36の代わりに、イオナイザー38から伸びる可撓性チューブの先端部をノズル形状に仕上げてなるノズル36′が基板保持部44aに取り付けられ、サブプレート42側にイオン化気体IGを噴出可能となっている。
【0033】
なお、その他の構成は先に説明した実施例(図1)と同一であるため、以下、同一符号を付して構成の説明を省略する。
【0034】
次に、上記のように構成された装置の動作について説明する。まず、アーム44を上昇させ、基板保持部44aを基板搬送機構との間での基板の受渡可能な位置(搬入・搬出位置)に位置決めする(図3の2点鎖線置)。そして、基板保持部44a上に基板搬送機構により被処理基板Wを載置する。
【0035】
それに続いて、駆動部32を作動させ、基板Wを保持した状態のままでアーム44を降下させて、基板Wをサブプレート42上に載置する。このとき、先の実施例と同様に、アーム44の降下開始と同時にイオナイザー38を作動させてノズル36′の先端からイオン化気体IGを基板Wに一定時間の間、噴出させて基板Wを電気的に中和する。
【0036】
上記のようにして基板Wがサブプレート42に支持されると、吸引ユニットを作動させて、基板Wをサブプレート42への吸着固定した後、面発熱ヒータ22に通電して、面発熱ヒータ22からの熱を基板Wに与えて、熱処理を行う。
【0037】
この熱処理が完了すると、吸引ユニットによる基板Wの吸着保持を解除した後、駆動部32を駆動してアーム44を上昇させるとともに、イオナイザー38を作動させてノズル36′からイオン化気体IGをサブプレート42と基板Wとの間に供給して、熱処理中に発生した静電気などを電気的に中和する。なお、この実施例においても、気体供給ユニットにより気体Gの基板Wの裏面側に吐出されてサブプレート42からの基板Wの剥離が促進されるが、ノズル36′からのイオン化気体IGの噴出により剥離がより一層促進される。
【0038】
そして、アーム44が上方端まで移動し、基板Wが搬入・搬出位置に戻る(図3の2点鎖線)と、イオナイザー38を停止させた後、基板搬送機構によって、熱処理済みの基板Wを次の処理ステーションに搬送する。
【0039】
なお、上記実施例では、基板Wを加熱する基板処理装置について説明したが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではなく、基板を冷却する装置や所定の塗布液を基板上に回転塗布する装置などにも適用することができる。例えば基板Wをスピンチャック46上で吸着保持した状態でα方向に回転させて基板Wの表面にレジストなどを塗布する装置(図4)では、スピンチャック46の外周部にノズル36を配置し、スピンチャック46上の基板Wとスピンチャック46との間にイオン化気体IGを噴出することで、上記実施例と同様に、回転塗布処理中に発生した静電気などを電気的に中和することができ、基板Wの剥離帯電をより効果的に防止することができる。また、当該装置においても、スピンチャック46上の基板Wの裏面側に向けてに窒素ガスを吐出して剥離を促進するようにしているが、イオン化気体IGを基板Wとスピンチャック46との間に供給することで当該剥離より一層効果的に行うことができる。
【0040】
【発明の効果】
【0041】
請求項1の発明によれば、基板昇降手段に固定されたノズルから、イオン化された気体を基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出するようにしているので、その基板が電気的に中和され、剥離帯電を防止することができる。
【0042】
請求項2の発明によれば、ノズルを導体物質で構成し、しかも非接地状態に維持されているため、イオン化気体供給手段からのイオン化気体を、当該ノズルを通過する間に中和されることなく、当該ノズルから基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出することができ、電気的な基板の中和処理を効果的に行うことができる。
【0043】
請求項3の発明によれば、ノズルを絶縁物質で構成しているため、ノズルを非接地状態に維持するために特別の構成を設けることなく、イオン化気体供給手段からのイオン化気体を効率良く基板支持手段に支持された基板と当該基板支持手段との間に向けて噴出して、電気的な基板の中和処理を効果的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明にかかる基板処理装置の一実施例を示す図である。
【図2】図1の基板処理装置の動作を示す図である。
【図3】この発明にかかる基板処理装置の他の実施例を示す図である。
【図4】この発明にかかる基板処理装置の別の実施例を示す図である。
【図5】従来の基板処理装置を示す図である。
【符号の説明】
24 プレート(基板支持手段)
30 押上ピン
32 駆動部
36,36′ ノズル
38 イオナイザー(イオン化気体供給手段)
42 サブプレート(基板支持手段)
44 アーム
44a 基板保持部
Claims (3)
- 基板をその裏面中央部より支持する基板支持手段と、
基板の外縁部を保持しながら、前記基板支持手段の外周部で上下方向に昇降自在な基板昇降手段と、
前記基板昇降手段を上下方向に駆動する昇降駆動手段と、
前記基板昇降手段に固定されたノズルと、
前記ノズルに接続され、前記基板支持手段に支持された前記基板と、前記基板支持手段との間に向けて前記ノズルからイオン化された気体を噴出するイオン化気体供給手段と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記ノズルが導体物質で構成されており、しかも非接地状態に維持された請求項1記載の基板処理装置。
- 前記ノズルが絶縁物質で構成された請求項1記載の基板処理装置。
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