JP3766132B2 - 表示パネル - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アライメントマークをそれぞれ有する一対の基板部材を位置合わせして貼合わせて構成される液晶表示パネルなどの表示パネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一対の基板部材を位置合わせして貼合わせて構成される表示パネルとしては、たとえば液晶表示パネルが挙げられる。たとえば透過型のマトリクス表示を行う液晶表示パネルを構成する一対の基板部材のうちのいずれか一方基板部材は、透光性基板の一方表面上にコモン電極とされる透明電極が形成され、当該透明電極を覆って配向膜が形成されて構成される。他方基板部材は、透光性基板の一方表面上にセグメント電極とされる透明電極が形成され、当該透明電極を覆って配向膜が形成されて構成される。
【０００３】
各基板部材の透明電極は、互いに平行で等間隔に設けられる帯状電極であり、各基板部材の透明電極同士が互いに直交するようにして、かつ基板部材同士が所定の間隙を開けて、さらに透明電極が形成された透光性基板側が内方側となるようにして、基板部材が貼合わせられる。基板部材同士の間隙には、液晶材料が注入されて液晶層が形成される。
【０００４】
表示パネルは、予め設定されるマトリクス状の絵素領域を基準として各部材が形成される。各基板部材の透明電極が互いに重なる矩形領域が絵素領域であり、このような絵素領域を予め設定して、透光性基板上に各部材が所定の領域に形成される。基板部材の貼合わせに位置ずれが生じると、表示品位を著しく損なうこととなり、液晶表示パネルの歩留りが低下する。このような不都合を低減するために、一方基板部材と他方基板部材とがアライメントマークをそれぞれ有するようにし、互いのアライメントマークを用いて基板の貼合わせを高い位置精度で行うようにした技術がある。
【０００５】
図９は、実開昭６０−１１０８２６号公報に開示された従来技術のアライメントマークを示す図である。図９（Ａ）は一方の基板に設けられるアライメントマークを構成する円状部材５１と輪状部材５２とを示す平面図であり、図９（Ｂ）は他方基板に設けられるアライメントマークを構成する輪状部材５３を示す平面図であり、図９（Ｃ）は２つの基板を貼合わせたときの状態を示す平面図である。
【０００６】
当該公報に記載された技術によれば、２つの基板のうちの少なくともいずれか一方基板には、図９（Ａ）に斜線を付して示されるような、円状部材５１と、当該円状部材５１の外側に配置される輪状部材５２とが設けられる。他方基板には、図９（Ｂ）に斜線を付して示されるような、輪状部材５３が設けられる。あるいは他方基板には、図９（Ａ）に示されるのと同様な２重構造の部材５１，５２が設けられても構わない。円状および輪状部材５１〜５３は、円状部材５１はその直径、輪状部材５２，５３は外周および内周によって形成される円の直径が、互いに異なる長さに選ばれており、図９（Ｃ）に示されるように貼合わせたときに複数の円が重なって観察される。各円の中心軸が一致するように基板を位置合わせすることによって、高い位置精度での基板の貼合わせを行っている。
【０００７】
図１０は、特開平５−３４６５６２号公報に開示された従来技術のアライメントマーク５４，５５を示す平面図である。当該公報に記載された技術によれば、一方の基板には斜線を付して示す第１のアライメントマーク５４が、他方の基板には第２のアライメントマーク５５がそれぞれ設けられる。アライメントマーク５４は複数のＴ字状部材で構成され、アライメントマーク５５は複数の逆Ｔ字状部材で構成されている。そして、１つのアライメントマーク５５に対して両隣りに配置されるアライメントマーク５４との隙間が一定寸法である箇所と、一定寸法で段階的にずれている箇所とを作り、一定寸法の箇所に目盛り「０」を付している。さらに、ずれ量に応じて、目盛り「１」、「２」、…を付している。２つの基板の貼合わせ時において、目盛り「０」が付されたアライメントマーク５５と両隣りのアライメントマーク５４との隙間が均等となるようにして、高い位置精度での基板の貼合わせを行っている。
【０００８】
図１１は、特開平１−１０２５１８号公報に開示された従来技術のアライメントマーク５６，５７を示す図である。図１１（Ａ）は、一方基板５８に設けられるアライメントマーク５６を示す平面図である。図１１（Ｂ）は、他方基板５９に設けられるアライメントマーク５７を示す平面図である。当該公報に記載された技術によれば、一方基板５８の中央部の両端部に形成された複数の十字状部材で構成されるアライメントマーク５６と、他方基板５９の中央部の両端部に形成された１つの十字状部材で構成されるアライメントマーク５７とに基づいて大まかに位置合わせをして基板を仮に貼合わせ、基板の位置ずれを以降の修正工程で修正するようにしている。このとき、アライメントマーク５６，５７を画像として読取り、得られた画像データからアライメントマーク５６，５７のずれ量を算出し、算出したずれ量に基づいて、いずれか一方の基板を移動するようにしている。
【０００９】
図１２は、一般的なノギス６１の構成を示す図である。ノギス６１は、主尺目盛り６４が付された一方部材６２と、副尺（バーニヤや遊尺ともいう）目盛り６５が付された他方部材６３とを有し、一方部材６２の突出部６２ａと他方部材６３の突出部６３ａとの間に長さを測定しようとする検出部材を挟んで、主尺目盛り６４と副尺目盛り６５とから長さを読取って測定している。副尺目盛り６５は、主尺目盛り６４の１目盛り間をさらに細かく読取るためのものであり、主尺目盛り６４と副尺目盛り６５とは対向して配置され、主尺目盛り６４をｎ個とすると、（ｎ−１）個の目盛りに相当する長さをｎ等分した目盛りが副尺目盛り６５として付され、これによって主尺目盛り６４の１目盛りの１／ｎまで読取ることができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
前記３つの公報に開示された従来技術によれば、アライメントマークを用いて高い位置精度で基板を貼合わせることができるけれども、この従来技術では１組ずつ個別的に調整して貼合わせるようにしており、製造効率は比較的低い。大量生産を行う場合には、最初の貼合わせ時に厳密な調整を行い、以降の貼合わせ時には最初に調整したのと同じようにして、たとえば基板が載置されるテーブルを移動するようにして、効率よく作成することができるけれども、時間の経過に伴う前記テーブルの移動機構を構成する部品の消耗、貼合わせる基板を構成する部材のロットの違い、あるいは製造環境の違いなどによって、位置ずれが生じるおそれがある。たとえば、ロット毎のずれ量、時間帯毎のずれ量、日々または月々のずれ量、部材の作成に用いられる製造装置毎のずれ量などを把握することができれば、そのような違いに応じて自動的に前記テーブルの移動量を調整することができ、効率よく高い位置精度で基板を貼合わせることができる。
【００１１】
このためには、位置ずれ量を求める必要があるけれども、実開昭６０−１１０８２６号公報および特開平１−１０２５１８号公報では、アライメントマーク自身で位置ずれ量を読取るようには構成されておらず、前記ずれ量を求めるには何らかの測定装置が必要となる。特開平１−１０２５１８号公報では、大掛かりな撮影装置や画像処理装置が必要となる。また、特開平５−３４６５６２号公報では、目盛りの形状が複雑で、ずれ量が読取りにくいという欠点がある。
【００１２】
本発明の目的は、貼合わせられた基板部材の位置ずれ量を簡単に、素早くかつ正確に求めることができる表示パネルを提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、一対の矩形状の基板部材間に表示媒体を挟持して構成される表示パネルにおいて、
前記一対の基板部材のうちのいずれか一方基板部材は、一方アライメントマークを備えるとともに、４つの角部にそれぞれ主尺目盛りを備え、
他方基板部材は、前記一方アライメントマークと位置合わせされる他方アライメントマークを備えるとともに、一対の基板部材を重ねたときに前記主尺目盛りと平行に配置され、当該主尺目盛りとによって貼合わせ後の基板部材の位置ずれ量を測定する副尺目盛りを４つの角部にそれぞれ備え、
前記一方アライメントマークおよび前記他方アライメントマークは、前記主尺目盛りおよび前記副尺目盛りとは異なる位置であって、４つの角部とは異なる位置に設けられており、
前記主尺目盛りは、互いに平行に配置される多数の帯状部材からなり、多数の帯状部材は、基準となる１つの帯状部材と、該基準帯状部材を挟んで互いに反対方向に向かってピッチ１０μｍで配置される複数の帯状部材とからなり、
前記副尺目盛りは、互いに平行に配置される１１個の帯状部材からなり、１１個の帯状部材は、基準となる帯状部材と、該基準帯状部材から一方向に向かってピッチ９μｍで配置される１０個の帯状部材とからなり、
主尺目盛りの基準帯状部材と副尺目盛りの基準帯状部材とが一致しているときは、位置ずれが生じていないと判断し、
主尺目盛りの基準帯状部材と副尺目盛りの基準帯状部材とが一致しておらず、他の帯状部材どうしが一致しているときは、主尺目盛りの基準帯状部材から副尺目盛りの基準帯状部材に向かう方向に位置ずれが生じていると判断し、主尺目盛りの帯状部材と一致している副尺目盛りの帯状部材の副尺目盛り内での位置に基づいてずれ量を判断することを特徴とする表示パネルである。
本発明に従えば、一方アライメントマークと主尺目盛りとを備える一方基板部材と、他方アライメントマークと副尺目盛りとを備える他方基板部材とは、一方および他方アライメントマークを位置合わせして貼合わせられている。主尺目盛りおよび副尺目盛りによって、貼合わせ後の位置ずれの方向と量とを測定することができる。一方および他方アライメントマークが共に予め定められる位置である前記主尺目盛りおよび前記副尺目盛りとは異なる位置であって、４つの角部とは異なる位置に正確に形成され、主尺および副尺も共に予め定められる位置に正確に形成されているとすると、前記主尺目盛りおよび副尺目盛りによって求められた位置ずれは、基板部材の貼合わせの位置合わせ精度が低いことによって生じるものであると判断できる。たとえば所定の基板貼合わせ装置を用いた場合では、当該装置の位置合わせ精度が低いと判断できる。このような判断結果は大掛かりな測定装置を用いずに求められ、この結果を用いて以降の基板部材の貼合わせ時において基板部材の移動量を補正すると、高い位置合わせ精度で基板部材を貼合わせることができる。貼合わせた基板部材間に表示媒体が挟持されて表示パネルが構成されており、高い位置合わせ精度で貼合わせられた表示パネルでは高い表示品位が得られ、良品率が向上する。
また、主尺目盛りおよび副尺目盛りは、４組備えられているので、１組の場合に比べて精度良く位置ずれの方向と量とを測定することができる。さらに、４組の主尺目盛りおよび副尺目盛りは、矩形状の基板部材の４つの角部にそれぞれ備えられているので、基板部材の４つの角部のそれぞれの位置ずれの方向と量や、基板部材の４辺のそれぞれの位置ずれの方向と量を測定することができ、基板部材全体としての位置ずれの方向と量を容易に把握することができる。
さらに、本発明の表示パネルでは、主尺目盛りおよび副尺目盛りを用いて測定した位置ずれの方向と量を、当該表示パネルのランク分けに用いることができる。そして、ランク分けされた表示パネルを、各ランクに応じた用途に用いることができる。
【００１４】
また本発明は、４つの角部にそれぞれ備えられた４組の主尺および副尺目盛りは、隣り合う２組の主尺および副尺目盛り間で、目盛りの配置方向が互いに直交するように配置されることを特徴とする。
本発明に従えば、隣り合う２組の主尺および副尺目盛り間で、目盛りの配置方向が互いに直交するように配置されるので、主尺および副尺目盛りの配置方向が互いに直交する２方向になる。これによって、２方向の基板部材の位置ずれ量を容易に測定することができる。また、２組の主尺および副尺目盛りで一方向の位置ずれ量を測定するので、１組の場合に比べて精度良く位置ずれ量を測定することができる。さらに、隣り合う２組の主尺および副尺目盛り間で目盛りの配置方向が互いに直交するように配置したことによって、同一方向の位置ずれ量を測定する２組の主尺および副尺目盛りは対角位置に配置されることになるので、隣り合う２組の主尺および副尺目盛りで一方向の位置ずれ量を測定する場合に比べて、偏ることなくバランスよく位置ずれ量を測定することができる。この結果を用いれば、一対の基板部材の貼合わせの際に、２方向において高い精度で位置合わせを行うことができる。
【００１５】
また本発明は、前記他方基板部材は、
０から１０までの数字が順次増加するように配列されてなり、前記副尺目盛りに近接して配置される第１数値群部材と、
前記第１数値群部材の数字の増加する方向を示すように配置される第１矢符部材と、
前記第１数値群部材の数字の増加方向とは逆方向に０から１０までの数字が順次増加するように配列されてなり、前記副尺目盛りに近接して配置される第２数値群部材と、
前記第２数値群部材の数字の増加する方向を示すように配置される第２矢符部材とを含むことを特徴とする。
本発明に従えば、前記第１数値群部材、第１矢符部材、第２数値群部材および第２矢符部材によって、基板部材の位置ずれ量および方向が目視で容易に判断できる。
【００１６】
また本発明は、前記一対の基板部材は、それぞれが絶縁性基板と当該絶縁性基板の前記表示媒体側に配置される表示電極とを含んで構成され、
前記一対の基板部材のうちの少なくともいずれか一方は、透光性を有し、
前記主尺目盛りおよび一方アライメントマークは、前記一方基板部材を構成する絶縁性基板の前記表示媒体側の表示に寄与しない領域に配置されるとともに、前記一方基板部材を構成する表示電極と同じ材料からなり、
前記副尺目盛りおよび他方アライメントマークは、前記他方基板部材を構成する絶縁性基板の前記表示媒体側の表示に寄与しない領域に配置されるとともに、前記他方基板部材を構成する表示電極と同じ材料からなることを特徴とする。
本発明に従えば、前記表示パネルは表示媒体としてたとえば液晶を用い、電圧を印加して液晶分子の配向方向を制御して、入射光を透過／遮断して表示を行う。このために一対の基板部材はともに、絶縁性基板と該絶縁性基板の前記表示媒体側に配置される表示電極とを備えて構成され、少なくとも一方の基板部材は、透光性を有する。前記主尺目盛りおよび一方アライメントマークは、一方基板部材を構成する絶縁性基板の表示媒体側であって、表示に寄与しない領域に配置されるとともに、一方基板部材を構成する表示電極と同じ材料からなる。前記副尺目盛りおよび他方アライメントマークは、他方基板部材を構成する絶縁性基板の表示媒体側であって、表示に寄与しない領域に配置されるとともに、他方基板部材を構成する表示電極と同じ材料からなる。このような構成の表示パネルでは、一方および他方アライメントマークを位置合わせして貼合わせられ、主尺目盛りおよび副尺目盛りによって、貼合わせ後の基板部材の位置ずれ量を大掛かりな測定装置を用いずに求めることができ、この結果を用いて以降の基板の貼合わせ位置を補正して、高い位置合わせ精度で基板を貼合わせると、表示品質の高い表示パネルを作成することができる。また、アライメントマークおよび目盛りは表示電極と同じ材料からなり、たとえばフォトリソグラフィ法や印刷法などのパターニング法によって同時に作成することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の一形態である表示パネルの一方基板部材１と他方基板部材２とを示す平面図である。図１（Ａ）は一方基板部材１を示し、図１（Ｂ）は他方基板部材２を示す。表示パネルは、一方および他方基板部材１，２を貼合わせて構成され、一方基板部材１はコモン側の基板であり、他方基板部材２はセグメント側の基板である。表示パネルがたとえば光透過型の液晶表示パネルで実現される場合、一方および他方基板部材１，２はガラスなどで実現される透光性基板３，６をそれぞれ備える。一方基板部材１を構成する透光性基板３の一方表面側には、少なくとも一方アライメントマーク９と、主尺目盛り４ａ〜４ｄ（以下、総称するときには参照符４を用いる）と、図示しないコモン電極と配向膜とが配置される。他方基板部材２を構成する透光性基板６の一方表面側には、少なくとも他方アライメントマーク１０と、副尺目盛り７ａ〜７ｄ（以下、総称するときには参照符７を用いる）と、図示しないセグメント電極と配向膜とが配置される。
【００２１】
透光性基板３の、たとえば長手方向に平行な一方端部３ａ側と、当該一方端部３ａに対向する他方端部３ｃ側との、前記長手方向の長さのほぼ中央部にそれぞれ一方アライメントマーク９が配置される。他方アライメントマーク１０についても同様に、透光性基板６の、たとえば長手方向に平行な一方端部６ａ側と、当該一方端部６ａに対向する他方端部６ｃ側との、前記長手方向の長さのほぼ中央部にそれぞれ配置される。
【００２２】
一方アライメントマーク９は、斜線を付して示す円状部材４１と、当該円状部材４１の外側に配置される輪状部材４２とで構成され、他方アライメントマーク１０は斜線を付して示す輪状部材４３で構成される。各部材４１〜４３は、円状部材４１はその直径、輪状部材４２，４３は外周および内周によって形成される円の直径が、互いに異なる長さに選ばれており、一方および他方基板部材１，２を貼合わせたときには、複数の円が重なって観察される。したがって、複数の円の中心軸が一致するように基板部材１，２を位置合わせして貼合わせている。
【００２３】
なお、一対のアライメントマーク９，１０の形状は、本形態で説明したような形状に限るものではなく、既に公知の形状のアライメントマークを形成し、位置合わせして貼合わせるようにしても構わない。
【００２４】
主尺目盛り４は、矩形の透光性基板３の４つの角部にそれぞれ配置される。１角部に配置される主尺目盛り４ａの目盛りの配列方向８ａ、すなわち目盛りを構成する後述するような帯状部材の長手方向に直交する方向８ａは、透光性基板３の一方端部３ａに平行に選ばれる。他の角部に配置される主尺目盛り４ｂ，４ｃ，４ｄの目盛りの配列方向８ｂ，８ｃ，８ｄは、それぞれ透光性基板３の端部３ｂ，３ｃ，３ｄに平行に選ばれる。したがって、１角部に配置される主尺目盛り４ａ〜４ｄの目盛りの配列方向８ａ〜８ｄ（以下、総称するときには参照符８Ａを用いる）は、隣接する２つの主尺目盛りの配列方向と直交するように配置される。たとえば主尺目盛り４ａでは、主尺目盛り４ａの配列方向８ａと、隣接する２つの主尺目盛り４ｂ，４ｄの配列方向８ｂ，８ｄとは直交する。他の主尺目盛り４ｂ〜４ｄについても同様の位置関係で配置される。
【００２５】
副尺目盛り７は、主尺目盛り４と同じようにして配置される。すなわち副尺目盛り７は、矩形の透光性基板６の４つの角部にそれぞれ配置される。１角部に配置される副尺目盛り７ａの目盛りの配列方向８ｅ、すなわち目盛りを構成する後述するような帯状部材の長手方向に直交する方向８ｅは、透光性基板６の一方端部６ａに平行に選ばれる。他の角部に配置される副尺目盛り７ｂ，７ｃ，７ｄの目盛りの配列方向８ｆ，８ｇ，８ｈは、それぞれ透光性基板６の端部６ｂ，６ｃ，６ｄに平行に選ばれる。したがって、１角部に配置される副尺目盛り７ａ〜７ｄの目盛りの配列方向８ｅ〜８ｈ（以下、総称するときには参照符８Ｂを用いる）は、隣接する２つの副尺目盛りの配列方向と直交するように配置される。たとえば副尺目盛り７ａでは、副尺目盛り７ａの配列方向８ｅと、隣接する２つの副尺目盛り７ｂ，７ｄの配列方向８ｆ，８ｈとは直交する。他の副尺目盛り７ｂ〜７ｄについても同様の位置関係で配置される。
【００２６】
基板部材１，２を重ね合わせたときには、前記配列方向８ａ，８ｃと配列方向８ｅ，８ｇとが平行に、配列方向８ｂ，８ｄと配列方向８ｆ，８ｈとが平行になるように構成される。
【００２７】
一方基板部材１と他方基板部材２とを貼合わせて構成される表示パネルの中央部には、矩形の表示領域５が設定される。この表示領域５内に絵素が、たとえば複数個マトリクス状に設定される。一方基板部材１の一方アライメントマーク９および主尺目盛り４は、前記表示領域５以外の領域に配置され、他方基板部材２の他方アライメントマーク１０および副尺目盛り７も表示領域５以外の領域に配置される。このような領域に配置して、一対のアライメントマーク９，１０と主尺および副尺目盛り４，７とが、実際の表示に悪影響を及ぼさないようにしている。
【００２８】
なお、マトリクス表示を行うときには、複数の絵素がマトリクス状に設定されるけれども、たとえば特定の形状のみの表示を行うセグメント表示を行うときには、絵素は前記特定の形状に設定される。そしてセグメント側の基板には前記特定の形状のセグメント電極が形成され、コモン側の基板にはたとえば全面にコモン電極が形成される。
【００２９】
図２は、前記一方基板部材１と他方基板部材２とを用いた表示パネルの一例である液晶表示パネル１１の構成を示す断面図である。液晶表示パネル１１は、一方基板部材１、他方基板部材２、シール材層２１、スペーサ２２および液晶層２３を含んで構成される。一方基板部材１は、透光性基板３、主尺目盛り４、一方アライメントマーク９、下地膜１２、カラーフィルタ１３、オーバコート膜１４、透明電極１５および配向膜１６を含んで構成される。
【００３０】
たとえばガラスで実現される透光性基板３の一方表面は下地膜１２で覆われている。下地膜１２上にはカラーフィルタ１３が配置されている。カラーフィルタ１３は、絵素に対応して公知の予め定められる関係でマトリクス状に配置される赤フィルタ１３Ｒ、緑フィルタ１３Ｇおよび青フィルタ１３Ｂと、これらの間に配置される黒フィルタ１３ＢＬとを含んで構成される。カラーフィルタ１３は、前述した表示領域５に設けられている。カラーフィルタ１３が形成された下地膜１２上はオーバコート膜１４で覆われている。オーバコート膜１４上にはコモン電極である透明電極１５と、前記主尺目盛り４と、図示しない一方アライメントマーク９とが配置されている。主尺目盛り４および一方アライメントマーク９は、図１（Ａ）で説明したような位置に配置される。透明電極１５は、たとえば互いに平行な帯状に設けられている。透明電極１５、主尺目盛り４および一方アライメントマーク９が形成されたオーバコート膜１４上には、少なくとも透明電極１５、主尺目盛り４および一方アライメントマーク９を覆う前記表示領域５に配向膜１６が配置されている。
【００３１】
他方基板部材２は、透光性基板６、副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０、下地膜１７、透明電極１８、トップコート膜１９および配向膜２０を含んで構成される。たとえばガラスで実現される透光性基板６の一方表面は下地膜１７で覆われている。下地膜１７上にはセグメント電極である透明電極１８と、前記副尺目盛り７と、図示しない他方アライメントマーク１０とが配置されている。副尺目盛り７および他方アライメントマーク１０は、図１（Ｂ）で説明したような位置に配置されている。透明電極１８は、たとえば互いに平行な帯状に設けられている。透明電極１８、副尺目盛り７および他方アライメントマーク１０が形成された下地膜１７上には、少なくとも透明電極１８、副尺目盛り７およびアライメントマーク１０を覆う前記表示領域５にトップコート膜１９が配置されている。トップコート膜１９上には配向膜２０が配置されている。
【００３２】
一方基板部材１と他方基板部材２とは、透光性基板３の透明電極１５側表面である前記一方表面と、透光性基板６の透明電極１８側表面である前記一方表面とが内側となるようにして互いに対向して配置される。このとき、帯状の透明電極１５，１８が互いに直交するように配置される。透明電極１５と透明電極１８とが対向する矩形領域が絵素領域である。一方基板部材１と他方基板部材２との周囲はシール材層２１によって封止される。一方基板部材１と他方基板部材２との間の間隙は、スペーサ２２によって規制され、基板部材１，２およびシール材層２１によって囲まれる空間には液晶層２３が設けられている。
【００３３】
透明電極１５，１８間に印加する電圧が、液晶層２３の液晶分子への配向膜１６，２０による規制力が崩れる予め定められるしきい値を越えるレベルであれば、液晶分子は電界の方向に沿って基板部材１，２に対してほぼ垂直に配向する。たとえば基板部材１の液晶層２３とは反対側に配置される一方偏光板によって振動方向が規制された入射光は、液晶分子の配向に沿って液晶層２３を通過するので、振動方向はねじれない。基板部材１側の前記一方偏光板と光の透過軸が平行になるようにして他方基板部材２側に他方偏光板を配置すると、液晶層２３を通過した光は他方偏光板を通過するので、明るい白色（カラー）表示が実現できる。
【００３４】
一方、電極１５，１８間に印加する電圧が前記予め定められるしきい値に満たないレベルであれば、入射光は配向膜１６，２０による規制力によってたとえば基板部材１，２間で９０°ねじれるように配向した液晶分子に沿って、９０°ねじれて液晶層２３を通過する。この光は他方基板部材２側に配置された他方偏光板によって遮断されるので、暗い黒色表示が実現できる。複数の絵素のこのような表示状態を組合わせることによって、たとえば文字などの様々な形状のキャラクター表示を行うことができる。なお、液晶分子のねじれ角は９０°（ＴＮ型）に限らず、それ以上のＳＴＮ型であってもかまわない。
【００３５】
図３は、前記液晶表示パネル１１の製造方法を説明するための工程図である。工程ａ１〜ａ６で一方基板部材１が作成され、工程ａ８〜ａ１２で他方基板部材２が作成される。基板部材１，２の少なくとも一方表面には、下地膜１２，１７が既にそれぞれ形成されているものとする。下地膜１２，１７は、透光性基板３，６からの液晶層２３への不純物の拡散を防止するために設けられるアルカリ防止膜などである。たとえば透光性基板３，６としてソーダガラスなどのソーダ成分が比較的多いガラス基板を使用する場合に、液晶層２３にソーダ成分が拡散することを防ぐために設けられ、たとえばＳｉＯ2膜などの無機質被膜をスパッタリング法で蒸着して作成され、バリアコート膜などとも称される。市販のガラス基板の中には、このような膜が既に設けられているものもある。なお、このような透光性基板３，６から液晶層２３への不純物の拡散を考慮する必要のない場合には、下地膜１２，１７はなくてもかまわない。
【００３６】
工程ａ１では、透光性基板３の下地膜１２上にカラーフィルタ１３が形成される。カラーフィルタ１３は、染色法、電着法、印刷法および着色高分子法などの公知の方法で作成される。
【００３７】
図４は、所定の被加工基板２５上にフォトレジスト膜をパターン形成するフォトリソグラフィ法を説明するための図である。被加工基板２５の一方表面全面にフォトレジスト材料膜２６が成膜される。マスク２７は、ガラス基板２８上に予め定められるパターンの遮光膜２９が形成されて構成される。光源３１からの光３２は、光源３１のレンズ収差などによって拡散光線となるかもしれない光３２をレンズ３０で平行な光３３に変換される。当該光３３は、フォトレジスト材料膜２６と所定の長さＬ１の間隔をあけて配置されるマスク２７を介してフォトレジスト材料膜２６に照射される。たとえば、フォトレジスト材料膜２６の光が照射された部分が硬化し、他の部分が除去されて、硬化したフォトレジスト材料膜２６で実現されるフォトレジスト膜が作成される。このような膜のパターンニングは、印刷法を用いて所望のパターンに印刷するようにしても実現可能であるけれども、印刷法はフォトリソグラフィ法と比較して精度が低いので、高精細なパターンニングには不向きである。
【００３８】
このようなフォトリソグラフィ法や印刷法によってパターン形成されたフォトレジスト膜を所定の色、たとえば赤の染料で染色して赤フィルタ１３Ｒを作成した後、マスク２７を変更した同様のフォトリソグラフィ法によって他の所定の領域にパターン形成されたフォトレジスト膜を、たとえば緑の染料で染色して緑フィルタ１３Ｇを作成し、さらに同様にして、他の所定の領域にパターン形成されたフォトレジスト膜を青の染料で染色して青フィルタ１３Ｂを作成し、残りの領域にパターン形成されたフォトレジスト膜を黒の染料で染色して黒フィルタ１３ＢＬを作成し、このように段階的に各色フィルタを作成して、カラーフィルタ１３が完成する。フォトリソグラフィ法を採用して形成されるカラーフィルタ１３の各色フィルタは基準となる予め設定される絵素に対してたとえば±１０μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００３９】
工程ａ２では、カラーフィルタ１３が形成された下地膜１２上にオーバコート膜１４が形成される。オーバコート膜１４は、カラーフィルタ１３の平滑性を向上させるために、およびカラーフィルタ１３を保護するために設けられ、たとえばアクリル系の樹脂やポリイミド系の樹脂などがスピンコート法によってカラーフィルタ１３を覆う下地膜１２全面に塗布されて形成される。
【００４０】
工程ａ３では、オーバコート１４上の全面に透明電極１５、主尺目盛り４および一方アライメントマーク９を形成するための透明導電膜が形成される。たとえばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜が形成される。他にＩＴ（インジウム錫）膜やＮＥＳＡ膜であってもかまわない。
【００４１】
工程ａ４では、前記透明導電膜がパターンニングされて、透明電極１５、主尺目盛り４および一方アライメントマーク９が形成される。このパターンニングは、図４で説明したようなフォトレジスト膜を透明導電膜上に作成し、当該膜をマスクとして露出している透明導電膜をエッチングし、さらに残存するフォトレジスト膜を除去することによって行われる。前記マスク２７として、主尺目盛り４、一方アライメントマーク９および透明電極１５のパターンを有するものが用いられる他は、カラーフィルタ１３の作成時に説明したのと同様にしてフォトレジスト膜が形成される。また印刷法によってマスクを形成してもかまわない。フォトリソグラフィ法を採用して形成される主尺目盛り４、一方アライメントマーク９および透明電極１５は基準となる絵素に対して、たとえば±１０μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００４２】
工程ａ５では、主尺目盛り４、一方アライメントマーク９および透明電極１５が形成されたオーバコート膜１４上に、少なくとも主尺目盛り４、一方アライメントマーク９および透明電極１５を覆う表示領域５に、配向膜１６となる樹脂膜が形成される。たとえばポリイミド系の樹脂がオフセット印刷法によって所望の領域に成膜される。
【００４３】
工程ａ６では、前記樹脂膜の表面に、たとえばラビング処理などの方法で配向処理が施される。このようにして、前記樹脂膜から成る配向膜１６が作成される。配向膜１６は、基準となる絵素に対してたとえば±３００μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００４４】
以上のようにして一方基板部材１が完成する。なお、一方基板部材１と他方基板部材２とを貼合わせるにあたって、工程ａ７では、配向膜１６側の表面にシール材層２１がパターン形成される。たとえばスクリーン印刷法によって一方基板部材１の周囲に一部分が開口して４００ｍｍの幅で形成され、基準となる絵素に対して、たとえば±２００μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００４５】
工程ａ８では、透光性基板６の下地膜１７上の全面に、副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０および透明電極１８を形成するための透明導電膜が形成される。これは、前述した工程ａ３と同様にして作成される。
【００４６】
工程ａ９では、前記透明導電膜がパターンニングされて、副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０および透明電極１８が形成される。この透明導電膜のパターンニングは、前記工程ａ４と同様にして行われる。フォトリソグラフィ法を採用して形成された副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０および透明電極１８は、基準となる絵素に対して、たとえば±１０μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００４７】
工程ａ１０では、副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０および透明電極１８が形成された下地膜１７上に、少なくとも副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０および透明電極１８を覆う表示領域５にトップコート膜１９が形成される。一方基板部材１と他方基板部材２とを貼合わせる際に、これらの間に導電性を有する異物が介在すると、配向膜１６，２０を突き破って透明電極１５，１８が導通してしまうおそれがある。このような不都合を防止するためにトップコート膜１９が形成される。当該トップコート膜１９は、たとえばＳｉＯ2とＴｉＯ2との混合物質で実現され、その形成には３００℃前後の焼成が必要である。一方基板部材１側のカラーフィルタ１３は３００℃程度の温度に対する耐熱性が弱いので、他方基板部材２側のみに設けられる。
【００４８】
工程ａ１１では、トップコート膜１９上に少なくともトップコート膜１９を覆って配向膜２０となる樹脂膜が形成される。この樹脂膜は、前記工程ａ５と同様にして作成される。
【００４９】
工程ａ１２では、前記樹脂膜の表面に配向処理が施されて配向膜２０が作成される。この配向処理は、前記工程ａ６と同様にして行われる。作成された配向膜２０は、基準となる絵素に対してたとえば±３００μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００５０】
以上のようにして他方基板部材２が完成する。なお、一方基板部材１と他方基板部材２とを貼合わせるにあたって、工程ａ１３では、配向膜２０の表面にスペーサ２２が散布される。
【００５１】
工程ａ１４では、基板部材１，２が貼合わせられる。図５は、基板の貼合わせ時に用いられる基板貼合わせ装置３５の簡単な構成を示す図である。基板部材１，２は、基板貼合わせ装置３５が備える一対のテーブル３６，３７にそれぞれ支持されて所定の操作によって貼合わされる。テーブル３６，３７はテーブル制御部３８の制御によって、互いに直交するＸ−Ｙ方向に移動可能に構成される。この貼合わせ時には、前記一対のアライメントマーク９，１０を用いて基板部材１，２が位置合わせされる。貼合わせは適切なレベルで基板部材１，２を加圧しながら、加熱するまたは紫外線を照射するなどによってシール材層２１を硬化させて行われる。このようにしてスペーサ２２の直径によって規制される厚さの空間を有するセルが作成される。
【００５２】
工程ａ１５では、前記セルが分別される。このとき、主尺目盛り４および副尺目盛り７を用いて位置ずれ量や方向が測定される。位置ずれの程度によってランク分けをし、各ランクに応じた用途にセルが用いられる。この測定は、連続して作製するための搬送経路上の所定の位置に顕微鏡を固定して行うことができる。
【００５３】
なお、セルへの液晶材料の注入は、セル作成後のどの時点で行ってもかまわないけれども、位置ずれの程度によってはいかなる用途にも適さない可能性があり、工程ａ１５の後に行うようにすることによって、このような実用できないセルを取除くことができ、液晶を無駄に使用することがなくなるので、製造コストの低減を図ることができる。
【００５４】
図６は、一方基板部材１が有する主尺目盛り４を拡大して示す平面図である。主尺目盛り４に加えて、目盛りに対応付けて数値群部材８３と、その単位部材８４とが付されている。このような数値群部材８３および単位部材８４は、主尺目盛り４と同様にして同時にパターン形成することができる。１単位の主尺目盛り４について説明すると、主尺目盛り４は１１個の帯状部材７１〜８１で構成される。帯状部材７１〜８１は、長手方向の長さの異なる３種類のものから成り、互いに平行に配置される最も長い帯状部材７１，７２間に他の帯状部材７３〜８１が等間隔で互いに平行に配置される。また、次に長い帯状部材７３は、帯状部材７１，７２の間の中央に配置される。このようにして帯状部材７１，７２間が１０等分されている。隣接する１単位の主尺目盛り４とは、帯状部材７１および帯状部材７２が共用されている。
【００５５】
数値群部材８３は、最も長い帯状部材７１，７２に対応付けて付されている。図示される場合、帯状部材７１を基準として「０」が付され、帯状部材７２には「１００」が付されている。「１００」が付された帯状部材７２とは反対側には「−１００」，「−２００」…が付されている。また、数値群部材８３に近接して単位部材８４が付されている。この場合、帯状部材７１，７２のピッチＬ２は「１００μｍ」であることを表している。また１目盛りのピッチ、たとえば帯状部材７１，７４のピッチは１０μｍである。
【００５６】
図７は、他方基板部材２が有する副尺目盛り７を拡大して示す平面図である。副尺目盛り７に加えて、目盛りに対応付けて数値群部材１０３，１０５と、矢符部材１０４，１０６と、単位部材１０７とが付されている。このような数値群部材１０３，１０５、矢符部材１０４，１０６および単位部材１０７は副尺目盛り７と同様にして同時にパターン形成することができる。副尺目盛り７は、１１個の帯状部材９１〜１０１で構成される。帯状部材９１〜１０１は、前記主尺目盛り４の帯状部材７１〜８１と同様にして構成され、長手方向の長さの異なる３種類のものから成り、互いに平行に配置される最も長い帯状部材９１，９２間に他の帯状部材９４〜１０１が等間隔で互いに平行に配置される。また次に長い帯状部材９３は、帯状部材９１，９２の間の中央に配置される。このようにして、帯状部材９１，９２間が１０等分されている。なお副尺目盛り７に関しては、１１個の帯状部材９１〜９２のみで構成される。
【００５７】
数値群部材１０３，１０５は、帯状部材９１〜１０１の全てに個別的に順番に付される「０」〜「１０」までの数値群であり、第１数値群部材１０３は図７紙面中で右から順番に０から１０と付されている。また第２数値群部材１０５は反対に図７紙面中で左から順番に０から１０と付されている。
【００５８】
第１矢符部材１０４は、第１数値群部材１０３の「１０」の「９」とは反対側に、図７紙面中で左向きに付され、第２矢符部材１０６は第２数値群部材１０５の「１０」の「９」とは反対側に、図７紙面中で右向きに付される。また、数値群部材１０３，１０５に近接して単位部材１０７が付される。帯状部材９１，９２のピッチＬ３は、Ｌ２＝１００μｍとすると、９０μｍに選ばれ、副尺目盛り７は９０μｍを帯状部材９１〜１０１によって１０等分したものである。
【００５９】
図８は、基板部材１，２を貼合わせた後に、主尺および副尺目盛り４，７を用いて位置ずれ量を測定する方法を説明するための図である。図８（Ａ）は位置ずれが生じていないときを示し、図８（Ｂ）および図８（Ｃ）は位置ずれが生じているときを示す。また、主尺目盛り４を有する一方基板部材１を基準に副尺目盛り７を有する他方基板部材２の位置ずれ量を測定する方法を説明する。
【００６０】
まず、主尺目盛り４の帯状部材７１〜８１と副尺目盛り７の帯状部材９１〜１０１との重なる地点を探す。図８（Ａ）のように帯状部材７１と帯状部材９１とが重なって一致しており、帯状部材８１と帯状部材９２とが重なって一致している場合、位置ずれが生じていないと判断される。図８（Ｂ）のように、副尺目盛り７の帯状部材９１が、主尺目盛り４の「０」〜「−１００」が付された目盛り内にあり、帯状部材７４と帯状部材９５とが重なって一致している場合、副尺目盛り７を有する他方基板部材２が８μｍだけ図８紙面中で左方向に位置ずれしていると判断される。このような位置ずれ量および位置ずれの方向は、第１数値群部材１０３と第１矢符部材１０４とによって容易に読取れる。図８（Ｃ）のように、副尺目盛り７の帯状部材９１が、主尺目盛り４の「０」〜「１００」が付された目盛り内にあり、帯状部材７６と帯状部材９６とが重なって一致している場合、他方基板部材２は３μｍだけ図８紙面中で右方向に位置ずれしていると判断される。この判断は、第２数値群部材１０５と第２矢符部材１０６とによって容易に判断される。
【００６１】
このような位置ずれの量は、目盛りを付すことによって長さを読取るために他の測定装置を用いずに目視で容易に読取ることができる。また、副尺目盛り７近傍に第１および第２数値群部材１０３，１０５と、第１および第２矢符部材１０４，１０６とを設けることによって、位置ずれ量および位置ずれ方向を容易に読取ることができる。
【００６２】
なお、工程ａ１５で測定された位置ずれを利用して、セルのランク分けという後工程へのフィードバックを行う以外に、たとえば以下のようにして前工程へのフィードバックを行うことも可能である。すなわち、連続して作製されるときに平均して、たとえば３μｍの位置ずれが生じているときには、基板貼合わせ装置３５のテーブル３６，３７の移動機構に問題があると判断できる。このため、工程ａ１４での移動量の調整が必要となる。また、ある時点から位置ずれが生じているときには、主尺目盛り４あるいは副尺目盛り７を透明電極１５，１８と同時にパターン形成するために用いたマスクがその時点で変更されたかどうか、露光時間（光量）などの露光条件が変更されたかどうか、あるいはフォトレジスト材料の膜厚や材質が変更されたかどうかなどを確認し、このような位置ずれが生じる要因を明らかにすることができる。また、たとえば時間の経過とともに位置ずれ量が変化するときには、露光機の運転開始直後は被加工基板の温度が低く、形成されるパターン膜の寸法が比較的小さいなどの位置ずれ量が変化する要因を明らかにすることができる。
【００６３】
このように、ロット毎の位置ずれ、１日における時刻、日々あるいは月々などの時間経過による位置ずれ、装置毎の位置ずれなどを知ることによって、位置ずれが生じる要因を明らかにすることができ、このような位置ずれが生じる要因が発生するときに事前に基板貼合わせ装置３５のテーブル３６，３７の移動量および方向を調整することによって、位置合わせ精度の高い液晶表示パネル１１を効率よく得ることができる。
【００６４】
また、本発明の実施の他の形態として、前記一対の基板部材１，２のうちのいずれか一方基板部材を主尺目盛り４と副尺目盛り７とを含んで構成する例が挙げられる。たとえば一方基板部材１が有する場合、パターン形成される透明電極１５と同時に主尺目盛り４を形成し、次に透明電極１５上にパターン形成される配向膜１６と同時に副尺目盛り７を形成する。これによって、透明電極１５に対する配向膜１６の位置ずれ量および方向を評価することができる。このような評価を、図３で説明した工程ａ５または工程ａ６終了後に行うことによって、この時点で一方基板部材１のランク分けや、配向膜１６のための樹脂膜のパターン形成工程へのフィードバックを行うことができる。
【００６５】
主尺目盛り４を透光性基板３，６上にパターン形成される第１の膜と同時に形成し、その上に積層してパターン形成される第２以降の膜と同時に副尺目盛り７を形成すればよく、第１のパターン膜上に複数のパターン膜が設けられる場合には、第２以降の各膜と同時にそれぞれ副尺目盛り７を形成するようにしてもかまわない。前記一方基板部材１の場合では、カラーフィルタ１３と同時に主尺目盛り４を形成し、透明電極１５、配向膜１６、さらにシール材層２１と同時に副尺目盛り７をそれぞれ形成してもかまわない。
【００６６】
このような構成は、液晶表示パネルに用いられる基板部材に限るものではなく、複数のパターン形成される膜を積層して有する基板部材であれば、どのような基板部材であっても上述したような主尺目盛り４と副尺目盛り７とを設けることができ、同様の効果が得られる。
【００６７】
また、上述した２つの形態を組合わせて実現することもできる。すなわち、一方基板部材１は主尺目盛り４を有し、他方基板部材２は、複数のパターン形成される膜と同時にそれぞれ形成される副尺目盛り７を有するようにして構成する。これによって、一方基板部材１に対する他方基板部材２の各パターン膜の位置ずれ量や方向を評価することができる。
【００６８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、一方および他方アライメントマークを位置合わせして一方および他方基板部材を貼合わせた後に、基板部材の位置ずれ量を大掛かりな測定装置を用いずに測定することができる主尺目盛りおよび副尺目盛りを設けるようにしたので、測定した位置ずれ量によって基板部材の貼合わせの位置精度を評価することができる。この結果を用いて一対の基板部材の貼合わせ位置を補正すると、高い位置合わせ精度で基板を貼合わせることができる。このようにして作成された表示パネルは、高い表示品位が得られ、歩留りが向上する。また、主尺目盛りおよび副尺目盛りは４組備えられているので、精度良く位置ずれ量を測定することができ、さらに、基板部材の４つの角部のそれぞれの位置ずれ量や、基板部材の４辺のそれぞれの位置ずれ量を測定することができ、基板部材全体としての位置ずれ量を容易に把握することができる。また本発明では、主尺目盛りおよび副尺目盛りを用いて測定した位置ずれ量を、表示パネルのランク分けに用いることができ、さらにランク分けされた表示パネルを、各ランクに応じた用途に用いることができる。
【００６９】
また本発明によれば、２方向への基板部材の位置ずれ量を容易に測定することができる。また、対角位置に配置された２組の主尺および副尺目盛りで一方向の位置ずれ量を測定するので、１組の場合に比べて精度良く位置ずれ量を測定することができ、さらに、隣り合う２組の主尺および副尺目盛りで一方向の位置ずれ量を測定する場合に比べて、偏ることなくバランスよく位置ずれ量を測定することができる。この結果を用いれば、一対の基板部材の貼合わせの際に、２方向において高い精度の位置合わせを行うことができ、これによって高い表示品位の表示パネルを効率良く得ることができる。
【００７０】
また本発明によれば、第１数値群部材、第１矢符部材、第２数値群部材および第２矢符部材を設けることによって、基板部材の詳しい位置ずれ量および方向が目視で容易に判断できる。
【００７１】
また本発明によれば、一対の基板部材はともに表示電極を備え、アライメントマークおよび目盛りは表示電極と同じ材料からなるようにしたので、たとえばフォトリソグラフィ法や印刷法などのパターニング法によって、アライメントマーク、目盛りおよび表示電極を同時に作成することができる。パターニング法としてフォトリソグラフィ法を採用することによって、高精細な加工が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態である表示パネルの一方基板部材１と他方基板部材２とを示す平面図である。
【図２】前記基板部材１，２を用いた表示パネルの一例である液晶表示パネル１１の構成を示す断面図である。
【図３】前記液晶表示パネル１１の製造方法を説明するための工程図である。
【図４】所定の被加工基板２５上にフォトレジスト膜をパターン形成するフォトリソグラフィ法を説明するための図である。
【図５】基板の貼合わせ時に用いられる基板貼合わせ装置３５の簡単な構成を示す図である。
【図６】一方基板部材１が有する主尺目盛り４を拡大して示す平面図である。
【図７】他方基板部材２が有する副尺目盛り７を拡大して示す平面図である。
【図８】主尺目盛り４と副尺目盛り７とを用いて位置ずれ量を測定する方法を説明するための図である。
【図９】従来技術であるアライメントマークを示す図である。
【図１０】他の従来技術であるアライメントマーク５４，５５を示す平面図である。
【図１１】さらに他の従来技術であるアライメントマーク５６，５７を示す図である。
【図１２】一般的なノギス６１の構成を示す図である。
【符号の説明】
１ 一方基板部材
２ 他方基板部材
３，６ 透光性基板
４，４ａ〜４ｄ 主尺目盛り
７，７ａ〜７ｄ 副尺目盛り
８，８ａ〜８ｈ 目盛りの配列方向
９，１０ アライメントマーク
１１ 液晶表示パネル
１５，１８ 透明電極
３５ 基板貼合わせ装置
３６，３７ テーブル
３８ テーブル制御部
４１ 円状部材
４２，４３ 輪状部材
７１〜８１，９１〜１０１ 帯状部材
８３ 数値群部材
８４，１０７ 単位部材
１０３ 第１数値群部材
１０４ 第１矢符部材
１０５ 第２数値群部材
１０６ 第２矢符部材
【発明の属する技術分野】
本発明は、アライメントマークをそれぞれ有する一対の基板部材を位置合わせして貼合わせて構成される液晶表示パネルなどの表示パネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一対の基板部材を位置合わせして貼合わせて構成される表示パネルとしては、たとえば液晶表示パネルが挙げられる。たとえば透過型のマトリクス表示を行う液晶表示パネルを構成する一対の基板部材のうちのいずれか一方基板部材は、透光性基板の一方表面上にコモン電極とされる透明電極が形成され、当該透明電極を覆って配向膜が形成されて構成される。他方基板部材は、透光性基板の一方表面上にセグメント電極とされる透明電極が形成され、当該透明電極を覆って配向膜が形成されて構成される。
【０００３】
各基板部材の透明電極は、互いに平行で等間隔に設けられる帯状電極であり、各基板部材の透明電極同士が互いに直交するようにして、かつ基板部材同士が所定の間隙を開けて、さらに透明電極が形成された透光性基板側が内方側となるようにして、基板部材が貼合わせられる。基板部材同士の間隙には、液晶材料が注入されて液晶層が形成される。
【０００４】
表示パネルは、予め設定されるマトリクス状の絵素領域を基準として各部材が形成される。各基板部材の透明電極が互いに重なる矩形領域が絵素領域であり、このような絵素領域を予め設定して、透光性基板上に各部材が所定の領域に形成される。基板部材の貼合わせに位置ずれが生じると、表示品位を著しく損なうこととなり、液晶表示パネルの歩留りが低下する。このような不都合を低減するために、一方基板部材と他方基板部材とがアライメントマークをそれぞれ有するようにし、互いのアライメントマークを用いて基板の貼合わせを高い位置精度で行うようにした技術がある。
【０００５】
図９は、実開昭６０−１１０８２６号公報に開示された従来技術のアライメントマークを示す図である。図９（Ａ）は一方の基板に設けられるアライメントマークを構成する円状部材５１と輪状部材５２とを示す平面図であり、図９（Ｂ）は他方基板に設けられるアライメントマークを構成する輪状部材５３を示す平面図であり、図９（Ｃ）は２つの基板を貼合わせたときの状態を示す平面図である。
【０００６】
当該公報に記載された技術によれば、２つの基板のうちの少なくともいずれか一方基板には、図９（Ａ）に斜線を付して示されるような、円状部材５１と、当該円状部材５１の外側に配置される輪状部材５２とが設けられる。他方基板には、図９（Ｂ）に斜線を付して示されるような、輪状部材５３が設けられる。あるいは他方基板には、図９（Ａ）に示されるのと同様な２重構造の部材５１，５２が設けられても構わない。円状および輪状部材５１〜５３は、円状部材５１はその直径、輪状部材５２，５３は外周および内周によって形成される円の直径が、互いに異なる長さに選ばれており、図９（Ｃ）に示されるように貼合わせたときに複数の円が重なって観察される。各円の中心軸が一致するように基板を位置合わせすることによって、高い位置精度での基板の貼合わせを行っている。
【０００７】
図１０は、特開平５−３４６５６２号公報に開示された従来技術のアライメントマーク５４，５５を示す平面図である。当該公報に記載された技術によれば、一方の基板には斜線を付して示す第１のアライメントマーク５４が、他方の基板には第２のアライメントマーク５５がそれぞれ設けられる。アライメントマーク５４は複数のＴ字状部材で構成され、アライメントマーク５５は複数の逆Ｔ字状部材で構成されている。そして、１つのアライメントマーク５５に対して両隣りに配置されるアライメントマーク５４との隙間が一定寸法である箇所と、一定寸法で段階的にずれている箇所とを作り、一定寸法の箇所に目盛り「０」を付している。さらに、ずれ量に応じて、目盛り「１」、「２」、…を付している。２つの基板の貼合わせ時において、目盛り「０」が付されたアライメントマーク５５と両隣りのアライメントマーク５４との隙間が均等となるようにして、高い位置精度での基板の貼合わせを行っている。
【０００８】
図１１は、特開平１−１０２５１８号公報に開示された従来技術のアライメントマーク５６，５７を示す図である。図１１（Ａ）は、一方基板５８に設けられるアライメントマーク５６を示す平面図である。図１１（Ｂ）は、他方基板５９に設けられるアライメントマーク５７を示す平面図である。当該公報に記載された技術によれば、一方基板５８の中央部の両端部に形成された複数の十字状部材で構成されるアライメントマーク５６と、他方基板５９の中央部の両端部に形成された１つの十字状部材で構成されるアライメントマーク５７とに基づいて大まかに位置合わせをして基板を仮に貼合わせ、基板の位置ずれを以降の修正工程で修正するようにしている。このとき、アライメントマーク５６，５７を画像として読取り、得られた画像データからアライメントマーク５６，５７のずれ量を算出し、算出したずれ量に基づいて、いずれか一方の基板を移動するようにしている。
【０００９】
図１２は、一般的なノギス６１の構成を示す図である。ノギス６１は、主尺目盛り６４が付された一方部材６２と、副尺（バーニヤや遊尺ともいう）目盛り６５が付された他方部材６３とを有し、一方部材６２の突出部６２ａと他方部材６３の突出部６３ａとの間に長さを測定しようとする検出部材を挟んで、主尺目盛り６４と副尺目盛り６５とから長さを読取って測定している。副尺目盛り６５は、主尺目盛り６４の１目盛り間をさらに細かく読取るためのものであり、主尺目盛り６４と副尺目盛り６５とは対向して配置され、主尺目盛り６４をｎ個とすると、（ｎ−１）個の目盛りに相当する長さをｎ等分した目盛りが副尺目盛り６５として付され、これによって主尺目盛り６４の１目盛りの１／ｎまで読取ることができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
前記３つの公報に開示された従来技術によれば、アライメントマークを用いて高い位置精度で基板を貼合わせることができるけれども、この従来技術では１組ずつ個別的に調整して貼合わせるようにしており、製造効率は比較的低い。大量生産を行う場合には、最初の貼合わせ時に厳密な調整を行い、以降の貼合わせ時には最初に調整したのと同じようにして、たとえば基板が載置されるテーブルを移動するようにして、効率よく作成することができるけれども、時間の経過に伴う前記テーブルの移動機構を構成する部品の消耗、貼合わせる基板を構成する部材のロットの違い、あるいは製造環境の違いなどによって、位置ずれが生じるおそれがある。たとえば、ロット毎のずれ量、時間帯毎のずれ量、日々または月々のずれ量、部材の作成に用いられる製造装置毎のずれ量などを把握することができれば、そのような違いに応じて自動的に前記テーブルの移動量を調整することができ、効率よく高い位置精度で基板を貼合わせることができる。
【００１１】
このためには、位置ずれ量を求める必要があるけれども、実開昭６０−１１０８２６号公報および特開平１−１０２５１８号公報では、アライメントマーク自身で位置ずれ量を読取るようには構成されておらず、前記ずれ量を求めるには何らかの測定装置が必要となる。特開平１−１０２５１８号公報では、大掛かりな撮影装置や画像処理装置が必要となる。また、特開平５−３４６５６２号公報では、目盛りの形状が複雑で、ずれ量が読取りにくいという欠点がある。
【００１２】
本発明の目的は、貼合わせられた基板部材の位置ずれ量を簡単に、素早くかつ正確に求めることができる表示パネルを提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、一対の矩形状の基板部材間に表示媒体を挟持して構成される表示パネルにおいて、
前記一対の基板部材のうちのいずれか一方基板部材は、一方アライメントマークを備えるとともに、４つの角部にそれぞれ主尺目盛りを備え、
他方基板部材は、前記一方アライメントマークと位置合わせされる他方アライメントマークを備えるとともに、一対の基板部材を重ねたときに前記主尺目盛りと平行に配置され、当該主尺目盛りとによって貼合わせ後の基板部材の位置ずれ量を測定する副尺目盛りを４つの角部にそれぞれ備え、
前記一方アライメントマークおよび前記他方アライメントマークは、前記主尺目盛りおよび前記副尺目盛りとは異なる位置であって、４つの角部とは異なる位置に設けられており、
前記主尺目盛りは、互いに平行に配置される多数の帯状部材からなり、多数の帯状部材は、基準となる１つの帯状部材と、該基準帯状部材を挟んで互いに反対方向に向かってピッチ１０μｍで配置される複数の帯状部材とからなり、
前記副尺目盛りは、互いに平行に配置される１１個の帯状部材からなり、１１個の帯状部材は、基準となる帯状部材と、該基準帯状部材から一方向に向かってピッチ９μｍで配置される１０個の帯状部材とからなり、
主尺目盛りの基準帯状部材と副尺目盛りの基準帯状部材とが一致しているときは、位置ずれが生じていないと判断し、
主尺目盛りの基準帯状部材と副尺目盛りの基準帯状部材とが一致しておらず、他の帯状部材どうしが一致しているときは、主尺目盛りの基準帯状部材から副尺目盛りの基準帯状部材に向かう方向に位置ずれが生じていると判断し、主尺目盛りの帯状部材と一致している副尺目盛りの帯状部材の副尺目盛り内での位置に基づいてずれ量を判断することを特徴とする表示パネルである。
本発明に従えば、一方アライメントマークと主尺目盛りとを備える一方基板部材と、他方アライメントマークと副尺目盛りとを備える他方基板部材とは、一方および他方アライメントマークを位置合わせして貼合わせられている。主尺目盛りおよび副尺目盛りによって、貼合わせ後の位置ずれの方向と量とを測定することができる。一方および他方アライメントマークが共に予め定められる位置である前記主尺目盛りおよび前記副尺目盛りとは異なる位置であって、４つの角部とは異なる位置に正確に形成され、主尺および副尺も共に予め定められる位置に正確に形成されているとすると、前記主尺目盛りおよび副尺目盛りによって求められた位置ずれは、基板部材の貼合わせの位置合わせ精度が低いことによって生じるものであると判断できる。たとえば所定の基板貼合わせ装置を用いた場合では、当該装置の位置合わせ精度が低いと判断できる。このような判断結果は大掛かりな測定装置を用いずに求められ、この結果を用いて以降の基板部材の貼合わせ時において基板部材の移動量を補正すると、高い位置合わせ精度で基板部材を貼合わせることができる。貼合わせた基板部材間に表示媒体が挟持されて表示パネルが構成されており、高い位置合わせ精度で貼合わせられた表示パネルでは高い表示品位が得られ、良品率が向上する。
また、主尺目盛りおよび副尺目盛りは、４組備えられているので、１組の場合に比べて精度良く位置ずれの方向と量とを測定することができる。さらに、４組の主尺目盛りおよび副尺目盛りは、矩形状の基板部材の４つの角部にそれぞれ備えられているので、基板部材の４つの角部のそれぞれの位置ずれの方向と量や、基板部材の４辺のそれぞれの位置ずれの方向と量を測定することができ、基板部材全体としての位置ずれの方向と量を容易に把握することができる。
さらに、本発明の表示パネルでは、主尺目盛りおよび副尺目盛りを用いて測定した位置ずれの方向と量を、当該表示パネルのランク分けに用いることができる。そして、ランク分けされた表示パネルを、各ランクに応じた用途に用いることができる。
【００１４】
また本発明は、４つの角部にそれぞれ備えられた４組の主尺および副尺目盛りは、隣り合う２組の主尺および副尺目盛り間で、目盛りの配置方向が互いに直交するように配置されることを特徴とする。
本発明に従えば、隣り合う２組の主尺および副尺目盛り間で、目盛りの配置方向が互いに直交するように配置されるので、主尺および副尺目盛りの配置方向が互いに直交する２方向になる。これによって、２方向の基板部材の位置ずれ量を容易に測定することができる。また、２組の主尺および副尺目盛りで一方向の位置ずれ量を測定するので、１組の場合に比べて精度良く位置ずれ量を測定することができる。さらに、隣り合う２組の主尺および副尺目盛り間で目盛りの配置方向が互いに直交するように配置したことによって、同一方向の位置ずれ量を測定する２組の主尺および副尺目盛りは対角位置に配置されることになるので、隣り合う２組の主尺および副尺目盛りで一方向の位置ずれ量を測定する場合に比べて、偏ることなくバランスよく位置ずれ量を測定することができる。この結果を用いれば、一対の基板部材の貼合わせの際に、２方向において高い精度で位置合わせを行うことができる。
【００１５】
また本発明は、前記他方基板部材は、
０から１０までの数字が順次増加するように配列されてなり、前記副尺目盛りに近接して配置される第１数値群部材と、
前記第１数値群部材の数字の増加する方向を示すように配置される第１矢符部材と、
前記第１数値群部材の数字の増加方向とは逆方向に０から１０までの数字が順次増加するように配列されてなり、前記副尺目盛りに近接して配置される第２数値群部材と、
前記第２数値群部材の数字の増加する方向を示すように配置される第２矢符部材とを含むことを特徴とする。
本発明に従えば、前記第１数値群部材、第１矢符部材、第２数値群部材および第２矢符部材によって、基板部材の位置ずれ量および方向が目視で容易に判断できる。
【００１６】
また本発明は、前記一対の基板部材は、それぞれが絶縁性基板と当該絶縁性基板の前記表示媒体側に配置される表示電極とを含んで構成され、
前記一対の基板部材のうちの少なくともいずれか一方は、透光性を有し、
前記主尺目盛りおよび一方アライメントマークは、前記一方基板部材を構成する絶縁性基板の前記表示媒体側の表示に寄与しない領域に配置されるとともに、前記一方基板部材を構成する表示電極と同じ材料からなり、
前記副尺目盛りおよび他方アライメントマークは、前記他方基板部材を構成する絶縁性基板の前記表示媒体側の表示に寄与しない領域に配置されるとともに、前記他方基板部材を構成する表示電極と同じ材料からなることを特徴とする。
本発明に従えば、前記表示パネルは表示媒体としてたとえば液晶を用い、電圧を印加して液晶分子の配向方向を制御して、入射光を透過／遮断して表示を行う。このために一対の基板部材はともに、絶縁性基板と該絶縁性基板の前記表示媒体側に配置される表示電極とを備えて構成され、少なくとも一方の基板部材は、透光性を有する。前記主尺目盛りおよび一方アライメントマークは、一方基板部材を構成する絶縁性基板の表示媒体側であって、表示に寄与しない領域に配置されるとともに、一方基板部材を構成する表示電極と同じ材料からなる。前記副尺目盛りおよび他方アライメントマークは、他方基板部材を構成する絶縁性基板の表示媒体側であって、表示に寄与しない領域に配置されるとともに、他方基板部材を構成する表示電極と同じ材料からなる。このような構成の表示パネルでは、一方および他方アライメントマークを位置合わせして貼合わせられ、主尺目盛りおよび副尺目盛りによって、貼合わせ後の基板部材の位置ずれ量を大掛かりな測定装置を用いずに求めることができ、この結果を用いて以降の基板の貼合わせ位置を補正して、高い位置合わせ精度で基板を貼合わせると、表示品質の高い表示パネルを作成することができる。また、アライメントマークおよび目盛りは表示電極と同じ材料からなり、たとえばフォトリソグラフィ法や印刷法などのパターニング法によって同時に作成することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の一形態である表示パネルの一方基板部材１と他方基板部材２とを示す平面図である。図１（Ａ）は一方基板部材１を示し、図１（Ｂ）は他方基板部材２を示す。表示パネルは、一方および他方基板部材１，２を貼合わせて構成され、一方基板部材１はコモン側の基板であり、他方基板部材２はセグメント側の基板である。表示パネルがたとえば光透過型の液晶表示パネルで実現される場合、一方および他方基板部材１，２はガラスなどで実現される透光性基板３，６をそれぞれ備える。一方基板部材１を構成する透光性基板３の一方表面側には、少なくとも一方アライメントマーク９と、主尺目盛り４ａ〜４ｄ（以下、総称するときには参照符４を用いる）と、図示しないコモン電極と配向膜とが配置される。他方基板部材２を構成する透光性基板６の一方表面側には、少なくとも他方アライメントマーク１０と、副尺目盛り７ａ〜７ｄ（以下、総称するときには参照符７を用いる）と、図示しないセグメント電極と配向膜とが配置される。
【００２１】
透光性基板３の、たとえば長手方向に平行な一方端部３ａ側と、当該一方端部３ａに対向する他方端部３ｃ側との、前記長手方向の長さのほぼ中央部にそれぞれ一方アライメントマーク９が配置される。他方アライメントマーク１０についても同様に、透光性基板６の、たとえば長手方向に平行な一方端部６ａ側と、当該一方端部６ａに対向する他方端部６ｃ側との、前記長手方向の長さのほぼ中央部にそれぞれ配置される。
【００２２】
一方アライメントマーク９は、斜線を付して示す円状部材４１と、当該円状部材４１の外側に配置される輪状部材４２とで構成され、他方アライメントマーク１０は斜線を付して示す輪状部材４３で構成される。各部材４１〜４３は、円状部材４１はその直径、輪状部材４２，４３は外周および内周によって形成される円の直径が、互いに異なる長さに選ばれており、一方および他方基板部材１，２を貼合わせたときには、複数の円が重なって観察される。したがって、複数の円の中心軸が一致するように基板部材１，２を位置合わせして貼合わせている。
【００２３】
なお、一対のアライメントマーク９，１０の形状は、本形態で説明したような形状に限るものではなく、既に公知の形状のアライメントマークを形成し、位置合わせして貼合わせるようにしても構わない。
【００２４】
主尺目盛り４は、矩形の透光性基板３の４つの角部にそれぞれ配置される。１角部に配置される主尺目盛り４ａの目盛りの配列方向８ａ、すなわち目盛りを構成する後述するような帯状部材の長手方向に直交する方向８ａは、透光性基板３の一方端部３ａに平行に選ばれる。他の角部に配置される主尺目盛り４ｂ，４ｃ，４ｄの目盛りの配列方向８ｂ，８ｃ，８ｄは、それぞれ透光性基板３の端部３ｂ，３ｃ，３ｄに平行に選ばれる。したがって、１角部に配置される主尺目盛り４ａ〜４ｄの目盛りの配列方向８ａ〜８ｄ（以下、総称するときには参照符８Ａを用いる）は、隣接する２つの主尺目盛りの配列方向と直交するように配置される。たとえば主尺目盛り４ａでは、主尺目盛り４ａの配列方向８ａと、隣接する２つの主尺目盛り４ｂ，４ｄの配列方向８ｂ，８ｄとは直交する。他の主尺目盛り４ｂ〜４ｄについても同様の位置関係で配置される。
【００２５】
副尺目盛り７は、主尺目盛り４と同じようにして配置される。すなわち副尺目盛り７は、矩形の透光性基板６の４つの角部にそれぞれ配置される。１角部に配置される副尺目盛り７ａの目盛りの配列方向８ｅ、すなわち目盛りを構成する後述するような帯状部材の長手方向に直交する方向８ｅは、透光性基板６の一方端部６ａに平行に選ばれる。他の角部に配置される副尺目盛り７ｂ，７ｃ，７ｄの目盛りの配列方向８ｆ，８ｇ，８ｈは、それぞれ透光性基板６の端部６ｂ，６ｃ，６ｄに平行に選ばれる。したがって、１角部に配置される副尺目盛り７ａ〜７ｄの目盛りの配列方向８ｅ〜８ｈ（以下、総称するときには参照符８Ｂを用いる）は、隣接する２つの副尺目盛りの配列方向と直交するように配置される。たとえば副尺目盛り７ａでは、副尺目盛り７ａの配列方向８ｅと、隣接する２つの副尺目盛り７ｂ，７ｄの配列方向８ｆ，８ｈとは直交する。他の副尺目盛り７ｂ〜７ｄについても同様の位置関係で配置される。
【００２６】
基板部材１，２を重ね合わせたときには、前記配列方向８ａ，８ｃと配列方向８ｅ，８ｇとが平行に、配列方向８ｂ，８ｄと配列方向８ｆ，８ｈとが平行になるように構成される。
【００２７】
一方基板部材１と他方基板部材２とを貼合わせて構成される表示パネルの中央部には、矩形の表示領域５が設定される。この表示領域５内に絵素が、たとえば複数個マトリクス状に設定される。一方基板部材１の一方アライメントマーク９および主尺目盛り４は、前記表示領域５以外の領域に配置され、他方基板部材２の他方アライメントマーク１０および副尺目盛り７も表示領域５以外の領域に配置される。このような領域に配置して、一対のアライメントマーク９，１０と主尺および副尺目盛り４，７とが、実際の表示に悪影響を及ぼさないようにしている。
【００２８】
なお、マトリクス表示を行うときには、複数の絵素がマトリクス状に設定されるけれども、たとえば特定の形状のみの表示を行うセグメント表示を行うときには、絵素は前記特定の形状に設定される。そしてセグメント側の基板には前記特定の形状のセグメント電極が形成され、コモン側の基板にはたとえば全面にコモン電極が形成される。
【００２９】
図２は、前記一方基板部材１と他方基板部材２とを用いた表示パネルの一例である液晶表示パネル１１の構成を示す断面図である。液晶表示パネル１１は、一方基板部材１、他方基板部材２、シール材層２１、スペーサ２２および液晶層２３を含んで構成される。一方基板部材１は、透光性基板３、主尺目盛り４、一方アライメントマーク９、下地膜１２、カラーフィルタ１３、オーバコート膜１４、透明電極１５および配向膜１６を含んで構成される。
【００３０】
たとえばガラスで実現される透光性基板３の一方表面は下地膜１２で覆われている。下地膜１２上にはカラーフィルタ１３が配置されている。カラーフィルタ１３は、絵素に対応して公知の予め定められる関係でマトリクス状に配置される赤フィルタ１３Ｒ、緑フィルタ１３Ｇおよび青フィルタ１３Ｂと、これらの間に配置される黒フィルタ１３ＢＬとを含んで構成される。カラーフィルタ１３は、前述した表示領域５に設けられている。カラーフィルタ１３が形成された下地膜１２上はオーバコート膜１４で覆われている。オーバコート膜１４上にはコモン電極である透明電極１５と、前記主尺目盛り４と、図示しない一方アライメントマーク９とが配置されている。主尺目盛り４および一方アライメントマーク９は、図１（Ａ）で説明したような位置に配置される。透明電極１５は、たとえば互いに平行な帯状に設けられている。透明電極１５、主尺目盛り４および一方アライメントマーク９が形成されたオーバコート膜１４上には、少なくとも透明電極１５、主尺目盛り４および一方アライメントマーク９を覆う前記表示領域５に配向膜１６が配置されている。
【００３１】
他方基板部材２は、透光性基板６、副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０、下地膜１７、透明電極１８、トップコート膜１９および配向膜２０を含んで構成される。たとえばガラスで実現される透光性基板６の一方表面は下地膜１７で覆われている。下地膜１７上にはセグメント電極である透明電極１８と、前記副尺目盛り７と、図示しない他方アライメントマーク１０とが配置されている。副尺目盛り７および他方アライメントマーク１０は、図１（Ｂ）で説明したような位置に配置されている。透明電極１８は、たとえば互いに平行な帯状に設けられている。透明電極１８、副尺目盛り７および他方アライメントマーク１０が形成された下地膜１７上には、少なくとも透明電極１８、副尺目盛り７およびアライメントマーク１０を覆う前記表示領域５にトップコート膜１９が配置されている。トップコート膜１９上には配向膜２０が配置されている。
【００３２】
一方基板部材１と他方基板部材２とは、透光性基板３の透明電極１５側表面である前記一方表面と、透光性基板６の透明電極１８側表面である前記一方表面とが内側となるようにして互いに対向して配置される。このとき、帯状の透明電極１５，１８が互いに直交するように配置される。透明電極１５と透明電極１８とが対向する矩形領域が絵素領域である。一方基板部材１と他方基板部材２との周囲はシール材層２１によって封止される。一方基板部材１と他方基板部材２との間の間隙は、スペーサ２２によって規制され、基板部材１，２およびシール材層２１によって囲まれる空間には液晶層２３が設けられている。
【００３３】
透明電極１５，１８間に印加する電圧が、液晶層２３の液晶分子への配向膜１６，２０による規制力が崩れる予め定められるしきい値を越えるレベルであれば、液晶分子は電界の方向に沿って基板部材１，２に対してほぼ垂直に配向する。たとえば基板部材１の液晶層２３とは反対側に配置される一方偏光板によって振動方向が規制された入射光は、液晶分子の配向に沿って液晶層２３を通過するので、振動方向はねじれない。基板部材１側の前記一方偏光板と光の透過軸が平行になるようにして他方基板部材２側に他方偏光板を配置すると、液晶層２３を通過した光は他方偏光板を通過するので、明るい白色（カラー）表示が実現できる。
【００３４】
一方、電極１５，１８間に印加する電圧が前記予め定められるしきい値に満たないレベルであれば、入射光は配向膜１６，２０による規制力によってたとえば基板部材１，２間で９０°ねじれるように配向した液晶分子に沿って、９０°ねじれて液晶層２３を通過する。この光は他方基板部材２側に配置された他方偏光板によって遮断されるので、暗い黒色表示が実現できる。複数の絵素のこのような表示状態を組合わせることによって、たとえば文字などの様々な形状のキャラクター表示を行うことができる。なお、液晶分子のねじれ角は９０°（ＴＮ型）に限らず、それ以上のＳＴＮ型であってもかまわない。
【００３５】
図３は、前記液晶表示パネル１１の製造方法を説明するための工程図である。工程ａ１〜ａ６で一方基板部材１が作成され、工程ａ８〜ａ１２で他方基板部材２が作成される。基板部材１，２の少なくとも一方表面には、下地膜１２，１７が既にそれぞれ形成されているものとする。下地膜１２，１７は、透光性基板３，６からの液晶層２３への不純物の拡散を防止するために設けられるアルカリ防止膜などである。たとえば透光性基板３，６としてソーダガラスなどのソーダ成分が比較的多いガラス基板を使用する場合に、液晶層２３にソーダ成分が拡散することを防ぐために設けられ、たとえばＳｉＯ2膜などの無機質被膜をスパッタリング法で蒸着して作成され、バリアコート膜などとも称される。市販のガラス基板の中には、このような膜が既に設けられているものもある。なお、このような透光性基板３，６から液晶層２３への不純物の拡散を考慮する必要のない場合には、下地膜１２，１７はなくてもかまわない。
【００３６】
工程ａ１では、透光性基板３の下地膜１２上にカラーフィルタ１３が形成される。カラーフィルタ１３は、染色法、電着法、印刷法および着色高分子法などの公知の方法で作成される。
【００３７】
図４は、所定の被加工基板２５上にフォトレジスト膜をパターン形成するフォトリソグラフィ法を説明するための図である。被加工基板２５の一方表面全面にフォトレジスト材料膜２６が成膜される。マスク２７は、ガラス基板２８上に予め定められるパターンの遮光膜２９が形成されて構成される。光源３１からの光３２は、光源３１のレンズ収差などによって拡散光線となるかもしれない光３２をレンズ３０で平行な光３３に変換される。当該光３３は、フォトレジスト材料膜２６と所定の長さＬ１の間隔をあけて配置されるマスク２７を介してフォトレジスト材料膜２６に照射される。たとえば、フォトレジスト材料膜２６の光が照射された部分が硬化し、他の部分が除去されて、硬化したフォトレジスト材料膜２６で実現されるフォトレジスト膜が作成される。このような膜のパターンニングは、印刷法を用いて所望のパターンに印刷するようにしても実現可能であるけれども、印刷法はフォトリソグラフィ法と比較して精度が低いので、高精細なパターンニングには不向きである。
【００３８】
このようなフォトリソグラフィ法や印刷法によってパターン形成されたフォトレジスト膜を所定の色、たとえば赤の染料で染色して赤フィルタ１３Ｒを作成した後、マスク２７を変更した同様のフォトリソグラフィ法によって他の所定の領域にパターン形成されたフォトレジスト膜を、たとえば緑の染料で染色して緑フィルタ１３Ｇを作成し、さらに同様にして、他の所定の領域にパターン形成されたフォトレジスト膜を青の染料で染色して青フィルタ１３Ｂを作成し、残りの領域にパターン形成されたフォトレジスト膜を黒の染料で染色して黒フィルタ１３ＢＬを作成し、このように段階的に各色フィルタを作成して、カラーフィルタ１３が完成する。フォトリソグラフィ法を採用して形成されるカラーフィルタ１３の各色フィルタは基準となる予め設定される絵素に対してたとえば±１０μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００３９】
工程ａ２では、カラーフィルタ１３が形成された下地膜１２上にオーバコート膜１４が形成される。オーバコート膜１４は、カラーフィルタ１３の平滑性を向上させるために、およびカラーフィルタ１３を保護するために設けられ、たとえばアクリル系の樹脂やポリイミド系の樹脂などがスピンコート法によってカラーフィルタ１３を覆う下地膜１２全面に塗布されて形成される。
【００４０】
工程ａ３では、オーバコート１４上の全面に透明電極１５、主尺目盛り４および一方アライメントマーク９を形成するための透明導電膜が形成される。たとえばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜が形成される。他にＩＴ（インジウム錫）膜やＮＥＳＡ膜であってもかまわない。
【００４１】
工程ａ４では、前記透明導電膜がパターンニングされて、透明電極１５、主尺目盛り４および一方アライメントマーク９が形成される。このパターンニングは、図４で説明したようなフォトレジスト膜を透明導電膜上に作成し、当該膜をマスクとして露出している透明導電膜をエッチングし、さらに残存するフォトレジスト膜を除去することによって行われる。前記マスク２７として、主尺目盛り４、一方アライメントマーク９および透明電極１５のパターンを有するものが用いられる他は、カラーフィルタ１３の作成時に説明したのと同様にしてフォトレジスト膜が形成される。また印刷法によってマスクを形成してもかまわない。フォトリソグラフィ法を採用して形成される主尺目盛り４、一方アライメントマーク９および透明電極１５は基準となる絵素に対して、たとえば±１０μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００４２】
工程ａ５では、主尺目盛り４、一方アライメントマーク９および透明電極１５が形成されたオーバコート膜１４上に、少なくとも主尺目盛り４、一方アライメントマーク９および透明電極１５を覆う表示領域５に、配向膜１６となる樹脂膜が形成される。たとえばポリイミド系の樹脂がオフセット印刷法によって所望の領域に成膜される。
【００４３】
工程ａ６では、前記樹脂膜の表面に、たとえばラビング処理などの方法で配向処理が施される。このようにして、前記樹脂膜から成る配向膜１６が作成される。配向膜１６は、基準となる絵素に対してたとえば±３００μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００４４】
以上のようにして一方基板部材１が完成する。なお、一方基板部材１と他方基板部材２とを貼合わせるにあたって、工程ａ７では、配向膜１６側の表面にシール材層２１がパターン形成される。たとえばスクリーン印刷法によって一方基板部材１の周囲に一部分が開口して４００ｍｍの幅で形成され、基準となる絵素に対して、たとえば±２００μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００４５】
工程ａ８では、透光性基板６の下地膜１７上の全面に、副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０および透明電極１８を形成するための透明導電膜が形成される。これは、前述した工程ａ３と同様にして作成される。
【００４６】
工程ａ９では、前記透明導電膜がパターンニングされて、副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０および透明電極１８が形成される。この透明導電膜のパターンニングは、前記工程ａ４と同様にして行われる。フォトリソグラフィ法を採用して形成された副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０および透明電極１８は、基準となる絵素に対して、たとえば±１０μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００４７】
工程ａ１０では、副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０および透明電極１８が形成された下地膜１７上に、少なくとも副尺目盛り７、他方アライメントマーク１０および透明電極１８を覆う表示領域５にトップコート膜１９が形成される。一方基板部材１と他方基板部材２とを貼合わせる際に、これらの間に導電性を有する異物が介在すると、配向膜１６，２０を突き破って透明電極１５，１８が導通してしまうおそれがある。このような不都合を防止するためにトップコート膜１９が形成される。当該トップコート膜１９は、たとえばＳｉＯ2とＴｉＯ2との混合物質で実現され、その形成には３００℃前後の焼成が必要である。一方基板部材１側のカラーフィルタ１３は３００℃程度の温度に対する耐熱性が弱いので、他方基板部材２側のみに設けられる。
【００４８】
工程ａ１１では、トップコート膜１９上に少なくともトップコート膜１９を覆って配向膜２０となる樹脂膜が形成される。この樹脂膜は、前記工程ａ５と同様にして作成される。
【００４９】
工程ａ１２では、前記樹脂膜の表面に配向処理が施されて配向膜２０が作成される。この配向処理は、前記工程ａ６と同様にして行われる。作成された配向膜２０は、基準となる絵素に対してたとえば±３００μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。
【００５０】
以上のようにして他方基板部材２が完成する。なお、一方基板部材１と他方基板部材２とを貼合わせるにあたって、工程ａ１３では、配向膜２０の表面にスペーサ２２が散布される。
【００５１】
工程ａ１４では、基板部材１，２が貼合わせられる。図５は、基板の貼合わせ時に用いられる基板貼合わせ装置３５の簡単な構成を示す図である。基板部材１，２は、基板貼合わせ装置３５が備える一対のテーブル３６，３７にそれぞれ支持されて所定の操作によって貼合わされる。テーブル３６，３７はテーブル制御部３８の制御によって、互いに直交するＸ−Ｙ方向に移動可能に構成される。この貼合わせ時には、前記一対のアライメントマーク９，１０を用いて基板部材１，２が位置合わせされる。貼合わせは適切なレベルで基板部材１，２を加圧しながら、加熱するまたは紫外線を照射するなどによってシール材層２１を硬化させて行われる。このようにしてスペーサ２２の直径によって規制される厚さの空間を有するセルが作成される。
【００５２】
工程ａ１５では、前記セルが分別される。このとき、主尺目盛り４および副尺目盛り７を用いて位置ずれ量や方向が測定される。位置ずれの程度によってランク分けをし、各ランクに応じた用途にセルが用いられる。この測定は、連続して作製するための搬送経路上の所定の位置に顕微鏡を固定して行うことができる。
【００５３】
なお、セルへの液晶材料の注入は、セル作成後のどの時点で行ってもかまわないけれども、位置ずれの程度によってはいかなる用途にも適さない可能性があり、工程ａ１５の後に行うようにすることによって、このような実用できないセルを取除くことができ、液晶を無駄に使用することがなくなるので、製造コストの低減を図ることができる。
【００５４】
図６は、一方基板部材１が有する主尺目盛り４を拡大して示す平面図である。主尺目盛り４に加えて、目盛りに対応付けて数値群部材８３と、その単位部材８４とが付されている。このような数値群部材８３および単位部材８４は、主尺目盛り４と同様にして同時にパターン形成することができる。１単位の主尺目盛り４について説明すると、主尺目盛り４は１１個の帯状部材７１〜８１で構成される。帯状部材７１〜８１は、長手方向の長さの異なる３種類のものから成り、互いに平行に配置される最も長い帯状部材７１，７２間に他の帯状部材７３〜８１が等間隔で互いに平行に配置される。また、次に長い帯状部材７３は、帯状部材７１，７２の間の中央に配置される。このようにして帯状部材７１，７２間が１０等分されている。隣接する１単位の主尺目盛り４とは、帯状部材７１および帯状部材７２が共用されている。
【００５５】
数値群部材８３は、最も長い帯状部材７１，７２に対応付けて付されている。図示される場合、帯状部材７１を基準として「０」が付され、帯状部材７２には「１００」が付されている。「１００」が付された帯状部材７２とは反対側には「−１００」，「−２００」…が付されている。また、数値群部材８３に近接して単位部材８４が付されている。この場合、帯状部材７１，７２のピッチＬ２は「１００μｍ」であることを表している。また１目盛りのピッチ、たとえば帯状部材７１，７４のピッチは１０μｍである。
【００５６】
図７は、他方基板部材２が有する副尺目盛り７を拡大して示す平面図である。副尺目盛り７に加えて、目盛りに対応付けて数値群部材１０３，１０５と、矢符部材１０４，１０６と、単位部材１０７とが付されている。このような数値群部材１０３，１０５、矢符部材１０４，１０６および単位部材１０７は副尺目盛り７と同様にして同時にパターン形成することができる。副尺目盛り７は、１１個の帯状部材９１〜１０１で構成される。帯状部材９１〜１０１は、前記主尺目盛り４の帯状部材７１〜８１と同様にして構成され、長手方向の長さの異なる３種類のものから成り、互いに平行に配置される最も長い帯状部材９１，９２間に他の帯状部材９４〜１０１が等間隔で互いに平行に配置される。また次に長い帯状部材９３は、帯状部材９１，９２の間の中央に配置される。このようにして、帯状部材９１，９２間が１０等分されている。なお副尺目盛り７に関しては、１１個の帯状部材９１〜９２のみで構成される。
【００５７】
数値群部材１０３，１０５は、帯状部材９１〜１０１の全てに個別的に順番に付される「０」〜「１０」までの数値群であり、第１数値群部材１０３は図７紙面中で右から順番に０から１０と付されている。また第２数値群部材１０５は反対に図７紙面中で左から順番に０から１０と付されている。
【００５８】
第１矢符部材１０４は、第１数値群部材１０３の「１０」の「９」とは反対側に、図７紙面中で左向きに付され、第２矢符部材１０６は第２数値群部材１０５の「１０」の「９」とは反対側に、図７紙面中で右向きに付される。また、数値群部材１０３，１０５に近接して単位部材１０７が付される。帯状部材９１，９２のピッチＬ３は、Ｌ２＝１００μｍとすると、９０μｍに選ばれ、副尺目盛り７は９０μｍを帯状部材９１〜１０１によって１０等分したものである。
【００５９】
図８は、基板部材１，２を貼合わせた後に、主尺および副尺目盛り４，７を用いて位置ずれ量を測定する方法を説明するための図である。図８（Ａ）は位置ずれが生じていないときを示し、図８（Ｂ）および図８（Ｃ）は位置ずれが生じているときを示す。また、主尺目盛り４を有する一方基板部材１を基準に副尺目盛り７を有する他方基板部材２の位置ずれ量を測定する方法を説明する。
【００６０】
まず、主尺目盛り４の帯状部材７１〜８１と副尺目盛り７の帯状部材９１〜１０１との重なる地点を探す。図８（Ａ）のように帯状部材７１と帯状部材９１とが重なって一致しており、帯状部材８１と帯状部材９２とが重なって一致している場合、位置ずれが生じていないと判断される。図８（Ｂ）のように、副尺目盛り７の帯状部材９１が、主尺目盛り４の「０」〜「−１００」が付された目盛り内にあり、帯状部材７４と帯状部材９５とが重なって一致している場合、副尺目盛り７を有する他方基板部材２が８μｍだけ図８紙面中で左方向に位置ずれしていると判断される。このような位置ずれ量および位置ずれの方向は、第１数値群部材１０３と第１矢符部材１０４とによって容易に読取れる。図８（Ｃ）のように、副尺目盛り７の帯状部材９１が、主尺目盛り４の「０」〜「１００」が付された目盛り内にあり、帯状部材７６と帯状部材９６とが重なって一致している場合、他方基板部材２は３μｍだけ図８紙面中で右方向に位置ずれしていると判断される。この判断は、第２数値群部材１０５と第２矢符部材１０６とによって容易に判断される。
【００６１】
このような位置ずれの量は、目盛りを付すことによって長さを読取るために他の測定装置を用いずに目視で容易に読取ることができる。また、副尺目盛り７近傍に第１および第２数値群部材１０３，１０５と、第１および第２矢符部材１０４，１０６とを設けることによって、位置ずれ量および位置ずれ方向を容易に読取ることができる。
【００６２】
なお、工程ａ１５で測定された位置ずれを利用して、セルのランク分けという後工程へのフィードバックを行う以外に、たとえば以下のようにして前工程へのフィードバックを行うことも可能である。すなわち、連続して作製されるときに平均して、たとえば３μｍの位置ずれが生じているときには、基板貼合わせ装置３５のテーブル３６，３７の移動機構に問題があると判断できる。このため、工程ａ１４での移動量の調整が必要となる。また、ある時点から位置ずれが生じているときには、主尺目盛り４あるいは副尺目盛り７を透明電極１５，１８と同時にパターン形成するために用いたマスクがその時点で変更されたかどうか、露光時間（光量）などの露光条件が変更されたかどうか、あるいはフォトレジスト材料の膜厚や材質が変更されたかどうかなどを確認し、このような位置ずれが生じる要因を明らかにすることができる。また、たとえば時間の経過とともに位置ずれ量が変化するときには、露光機の運転開始直後は被加工基板の温度が低く、形成されるパターン膜の寸法が比較的小さいなどの位置ずれ量が変化する要因を明らかにすることができる。
【００６３】
このように、ロット毎の位置ずれ、１日における時刻、日々あるいは月々などの時間経過による位置ずれ、装置毎の位置ずれなどを知ることによって、位置ずれが生じる要因を明らかにすることができ、このような位置ずれが生じる要因が発生するときに事前に基板貼合わせ装置３５のテーブル３６，３７の移動量および方向を調整することによって、位置合わせ精度の高い液晶表示パネル１１を効率よく得ることができる。
【００６４】
また、本発明の実施の他の形態として、前記一対の基板部材１，２のうちのいずれか一方基板部材を主尺目盛り４と副尺目盛り７とを含んで構成する例が挙げられる。たとえば一方基板部材１が有する場合、パターン形成される透明電極１５と同時に主尺目盛り４を形成し、次に透明電極１５上にパターン形成される配向膜１６と同時に副尺目盛り７を形成する。これによって、透明電極１５に対する配向膜１６の位置ずれ量および方向を評価することができる。このような評価を、図３で説明した工程ａ５または工程ａ６終了後に行うことによって、この時点で一方基板部材１のランク分けや、配向膜１６のための樹脂膜のパターン形成工程へのフィードバックを行うことができる。
【００６５】
主尺目盛り４を透光性基板３，６上にパターン形成される第１の膜と同時に形成し、その上に積層してパターン形成される第２以降の膜と同時に副尺目盛り７を形成すればよく、第１のパターン膜上に複数のパターン膜が設けられる場合には、第２以降の各膜と同時にそれぞれ副尺目盛り７を形成するようにしてもかまわない。前記一方基板部材１の場合では、カラーフィルタ１３と同時に主尺目盛り４を形成し、透明電極１５、配向膜１６、さらにシール材層２１と同時に副尺目盛り７をそれぞれ形成してもかまわない。
【００６６】
このような構成は、液晶表示パネルに用いられる基板部材に限るものではなく、複数のパターン形成される膜を積層して有する基板部材であれば、どのような基板部材であっても上述したような主尺目盛り４と副尺目盛り７とを設けることができ、同様の効果が得られる。
【００６７】
また、上述した２つの形態を組合わせて実現することもできる。すなわち、一方基板部材１は主尺目盛り４を有し、他方基板部材２は、複数のパターン形成される膜と同時にそれぞれ形成される副尺目盛り７を有するようにして構成する。これによって、一方基板部材１に対する他方基板部材２の各パターン膜の位置ずれ量や方向を評価することができる。
【００６８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、一方および他方アライメントマークを位置合わせして一方および他方基板部材を貼合わせた後に、基板部材の位置ずれ量を大掛かりな測定装置を用いずに測定することができる主尺目盛りおよび副尺目盛りを設けるようにしたので、測定した位置ずれ量によって基板部材の貼合わせの位置精度を評価することができる。この結果を用いて一対の基板部材の貼合わせ位置を補正すると、高い位置合わせ精度で基板を貼合わせることができる。このようにして作成された表示パネルは、高い表示品位が得られ、歩留りが向上する。また、主尺目盛りおよび副尺目盛りは４組備えられているので、精度良く位置ずれ量を測定することができ、さらに、基板部材の４つの角部のそれぞれの位置ずれ量や、基板部材の４辺のそれぞれの位置ずれ量を測定することができ、基板部材全体としての位置ずれ量を容易に把握することができる。また本発明では、主尺目盛りおよび副尺目盛りを用いて測定した位置ずれ量を、表示パネルのランク分けに用いることができ、さらにランク分けされた表示パネルを、各ランクに応じた用途に用いることができる。
【００６９】
また本発明によれば、２方向への基板部材の位置ずれ量を容易に測定することができる。また、対角位置に配置された２組の主尺および副尺目盛りで一方向の位置ずれ量を測定するので、１組の場合に比べて精度良く位置ずれ量を測定することができ、さらに、隣り合う２組の主尺および副尺目盛りで一方向の位置ずれ量を測定する場合に比べて、偏ることなくバランスよく位置ずれ量を測定することができる。この結果を用いれば、一対の基板部材の貼合わせの際に、２方向において高い精度の位置合わせを行うことができ、これによって高い表示品位の表示パネルを効率良く得ることができる。
【００７０】
また本発明によれば、第１数値群部材、第１矢符部材、第２数値群部材および第２矢符部材を設けることによって、基板部材の詳しい位置ずれ量および方向が目視で容易に判断できる。
【００７１】
また本発明によれば、一対の基板部材はともに表示電極を備え、アライメントマークおよび目盛りは表示電極と同じ材料からなるようにしたので、たとえばフォトリソグラフィ法や印刷法などのパターニング法によって、アライメントマーク、目盛りおよび表示電極を同時に作成することができる。パターニング法としてフォトリソグラフィ法を採用することによって、高精細な加工が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態である表示パネルの一方基板部材１と他方基板部材２とを示す平面図である。
【図２】前記基板部材１，２を用いた表示パネルの一例である液晶表示パネル１１の構成を示す断面図である。
【図３】前記液晶表示パネル１１の製造方法を説明するための工程図である。
【図４】所定の被加工基板２５上にフォトレジスト膜をパターン形成するフォトリソグラフィ法を説明するための図である。
【図５】基板の貼合わせ時に用いられる基板貼合わせ装置３５の簡単な構成を示す図である。
【図６】一方基板部材１が有する主尺目盛り４を拡大して示す平面図である。
【図７】他方基板部材２が有する副尺目盛り７を拡大して示す平面図である。
【図８】主尺目盛り４と副尺目盛り７とを用いて位置ずれ量を測定する方法を説明するための図である。
【図９】従来技術であるアライメントマークを示す図である。
【図１０】他の従来技術であるアライメントマーク５４，５５を示す平面図である。
【図１１】さらに他の従来技術であるアライメントマーク５６，５７を示す図である。
【図１２】一般的なノギス６１の構成を示す図である。
【符号の説明】
１ 一方基板部材
２ 他方基板部材
３，６ 透光性基板
４，４ａ〜４ｄ 主尺目盛り
７，７ａ〜７ｄ 副尺目盛り
８，８ａ〜８ｈ 目盛りの配列方向
９，１０ アライメントマーク
１１ 液晶表示パネル
１５，１８ 透明電極
３５ 基板貼合わせ装置
３６，３７ テーブル
３８ テーブル制御部
４１ 円状部材
４２，４３ 輪状部材
７１〜８１，９１〜１０１ 帯状部材
８３ 数値群部材
８４，１０７ 単位部材
１０３ 第１数値群部材
１０４ 第１矢符部材
１０５ 第２数値群部材
１０６ 第２矢符部材
Claims (4)
- 一対の矩形状の基板部材間に表示媒体を挟持して構成される表示パネルにおいて、
前記一対の基板部材のうちのいずれか一方基板部材は、一方アライメントマークを備えるとともに、４つの角部にそれぞれ主尺目盛りを備え、
他方基板部材は、前記一方アライメントマークと位置合わせされる他方アライメントマークを備えるとともに、一対の基板部材を重ねたときに前記主尺目盛りと平行に配置され、当該主尺目盛りとによって貼合わせ後の基板部材の位置ずれ量を測定する副尺目盛りを４つの角部にそれぞれ備え、
前記一方アライメントマークおよび前記他方アライメントマークは、前記主尺目盛りおよび前記副尺目盛りとは異なる位置であって、４つの角部とは異なる位置に設けられており、
前記主尺目盛りは、互いに平行に配置される多数の帯状部材からなり、多数の帯状部材は、基準となる１つの帯状部材と、該基準帯状部材を挟んで互いに反対方向に向かってピッチ１０μｍで配置される複数の帯状部材とからなり、
前記副尺目盛りは、互いに平行に配置される１１個の帯状部材からなり、１１個の帯状部材は、基準となる帯状部材と、該基準帯状部材から一方向に向かってピッチ９μｍで配置される１０個の帯状部材とからなり、
主尺目盛りの基準帯状部材と副尺目盛りの基準帯状部材とが一致しているときは、位置ずれが生じていないと判断し、
主尺目盛りの基準帯状部材と副尺目盛りの基準帯状部材とが一致しておらず、他の帯状部材どうしが一致しているときは、主尺目盛りの基準帯状部材から副尺目盛りの基準帯状部材に向かう方向に位置ずれが生じていると判断し、主尺目盛りの帯状部材と一致している副尺目盛りの帯状部材の副尺目盛り内での位置に基づいてずれ量を判断することを特徴とする表示パネル。 - ４つの角部にそれぞれ備えられた４組の主尺および副尺目盛りは、隣り合う２組の主尺および副尺目盛り間で、目盛りの配置方向が互いに直交するように配置されることを特徴とする請求項１記載の表示パネル。
- 前記他方基板部材は、
０から１０までの数字が順次増加するように配列されてなり、前記副尺目盛りに近接して配置される第１数値群部材と、
前記第１数値群部材の数字の増加する方向を示すように配置される第１矢符部材と、
前記第１数値群部材の数字の増加方向とは逆方向に０から１０までの数字が順次増加するように配列されてなり、前記副尺目盛りに近接して配置される第２数値群部材と、
前記第２数値群部材の数字の増加する方向を示すように配置される第２矢符部材とを含むことを特徴とする請求項１記載の表示パネル。 - 前記一対の基板部材は、それぞれが絶縁性基板と当該絶縁性基板の前記表示媒体側に配置される表示電極とを含んで構成され、
前記一対の基板部材のうちの少なくともいずれか一方は、透光性を有し、
前記主尺目盛りおよび一方アライメントマークは、前記一方基板部材を構成する絶縁性基板の前記表示媒体側の表示に寄与しない領域に配置されるとともに、前記一方基板部材を構成する表示電極と同じ材料からなり、
前記副尺目盛りおよび他方アライメントマークは、前記他方基板部材を構成する絶縁性基板の前記表示媒体側の表示に寄与しない領域に配置されるとともに、前記他方基板部材を構成する表示電極と同じ材料からなることを特徴とする請求項１記載の表示パネル。
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