JP3761060B2 - 導波型光デバイス及びこれを用いた光源及び光学装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はコヒーレント光源を応用した、光情報処理、光応用計測制御分野に使用されるレーザ光源及び光学システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
光情報記録、再生装置ではより短波長の光源を用いることで高密度化が実現できる。例えば従来より普及しているコンパクトディスク装置では780nmの近赤外光を用いるのに対し、より高密度の情報再生を実現したデジタルバーサタイルディスク(DVD)では650nmの赤色半導体レーザが用いられている。またさらに高密度な次世代光ディスク装置を実現するため、さらに短波長な青色レーザ光源の開発が盛んに行われている。例えば、小型かつ安定な青色レーザ光源として非線形光学物質を用いた波長変換素子が開発されている。
【0003】
図14は、2次高調波発生素子[second harmonic generation](以下SHG素子と略す)を用いた青色光源の一例の概略図である。まず図14に沿って、SHG光源について説明する。
【0004】
光学材料基板114上にはプロトン交換法によって幅約3ミクロン、深さ約2ミクロンの高屈折率領域が形成され、光導波路[optical waveguide]115として働く。半導体レーザ111から出射された波長850nmの赤外光はSHG素子117の入射側端面139に集光され、SHG素子117上の光導波路115内を伝搬して基本波導波光[fundamental guided wave]となる。
【0005】
光学材料基板114のニオブ酸リチウム結晶は、大きな非線形光学定数を持ち、基本波の電界から波長が2分の1に変換された波長425nmの高調波導波光が励起される。
【0006】
また、基本波と高調波の伝搬定数差を補償するために導波路115上には周期的に分極反転[domain inversion]領域116が形成され、導波路115全域にわたって励起される高調波はコヒーレントに足し合わされて、導波路115の出射側端面138から出射される。
【0007】
ここで、基本波と高調波の伝搬定数差を正確に補償するためには、基本波の波長を正確に一定に保つ必要があり、半導体レーザ111は温度等による波長変動が極めて小さいDBRレーザが用いられる。DBRレーザは波長変動が小さいばかりでなく、単一波長で発振するためコヒーレンス[coherency]が高くかつRINノイズ[relative intensity noise]が低いという特長を併せ持つ。
【0008】
次に図15に示したSHG素子117を用いた青色光源光ディスクピックアップの概略図に沿ってその動作の様子を説明する。SHG素子117から出射された高調波青色光はコリメートレンズ113、偏光分離ビームスプリッタ120、4分の1波長板121、対物レンズ122を通過して光ディスク124上に集光される。
【0009】
光ディスク124によって変調された光は偏光分離ビームスプリッタ120で反射され、集光レンズ123によって光検出器125に導かれ再生信号を得る。
【0010】
このとき、SHG素子117からは紙面に平行な直線偏光[linearlypolarized light]が出射されるが、4分の1波長板121を往復して紙面に垂直な偏光となり、光ディスク124からの反射光は偏光ビームスプリッタ120で全て反射され光源側には戻らない構成となっている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術の項で光ディスクからの反射光が偏光ビームスプリッタで反射され光源側に戻らない構成を述べたが、現実の光ディスク124の基材が複屈折性[birefringence]を持つため、ディスクで発生した不要偏光成分が偏光ビームスプリッタ120を通過して光源側に戻る。
【0012】
光ディスク124の再生中には、対物レンズ122は光ディスク124上に正確に焦点を合わせるように位置制御されるため、SHG素子117の出射側端面138と光ディスク124とは共焦点光学系[confocal optical system]を形成し、光ディスク124からの反射光は正確にSHG素子117の光導波路115の出射側端面138に集光される。
【0013】
このように反射光が光源に帰還される課題は半導体レーザを光源とする光学系の戻り光誘起雑音として、従来よりこれを回避する様々な技術が提案されている。
【0014】
例えば半導体レーザを高周波信号で変調することで複数の縦モードを生じさたり、半導体レーザに自励発振を起こさせて同じく複数の縦モード発振を実現する方法である。
【0015】
また、光通信の分野では半導体レーザからの光を光ファイバに集光する際両者の間に磁気光学効果を用いた光アイソレータを挿入するのが一般的である。
【0016】
あるいは光ファイバや光導波路の入射側端面を斜めに研磨して反射光を斜めに反射させ、半導体レーザに戻らないようにする方法が特開平5−323404号公報に開示されている。
【0017】
これらの技術は半導体レーザの光源内部に帰還される戻り光による戻り光誘起雑音を低減するものである。
【0018】
我々は図15に示した導波型SHG素子117を用いた光ピックアップの再生実験を行い、従来の戻り光誘起雑音とは異なるメカニズムで発生するノイズを見出した。
【0019】
すなわち、光導波路115の出射側端面138に集光された戻り光が導波路115の出射側端面138で反射されて、導波路115の内部から出射される光と干渉して生じる干渉ノイズである。
【0020】
この干渉効果によって光ディスク124側からは光源の出力光パワーが変化するように見え、光ディスク124の再生信号が低周波ノイズで変調されて信号劣化となる。
【0021】
半導体レーザでの戻り光誘起雑音(モードホップノイズ)が半導体レーザ111の内部の光と入射側端面139で反射された戻り光との相互作用で発生するのに対して、上述の干渉ノイズは光源からの出射光と出射側端面138で反射される戻り光との干渉によって発生する点が異なる。
【0022】
また、さらに詳細な検討によって、外部光学系(コリメートレンズ113)からの戻り光の一部は導波型光デバイスの導波路115内に再度導波光として励起され、導波路115の入射側端面139で反射されて同様に干渉ノイズの原因となることを発見した。
【0023】
以上述べたように、導波型光デバイスを用いた光学系には2種の異なるノイズ、すなわち、光源から出射された光が反射されて光源の出射側端面138に戻り、光源外部の光学系で干渉を起こす低周波の干渉ノイズと、半導体レーザ111の内部に起因するモードホップノイズが存在する。
【0024】
後者のモードホップノイズを低減する方法は種々の技術が提案されているが、前者の光源外部での干渉ノイズは今まで注目されたことがなく、これを根本的に解決する方法は提案されていない。
【0025】
本発明の目的は、光源外部での干渉ノイズを低減することにある。
【0026】
本発明の他の目的は、光ディスクからの戻り光が存在するような場合にも、戻り光の影響を受けることなく低ノイズで光ディスクを再生することができる導波型光デバイス、これを用いた光源および光学装置を提供することにある。
【0027】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る導波型光デバイスは、光学材料基板と、前記光学材料基板に形成された導波路とを含む導波型光デバイスにおいて、前記光学材料基板と前記導波路とは2次高調波発生素子を形成し、前記導波路は、長手方向軸と、前記長手方向軸に垂直な面に対して直角からずれた角度に形成される出射側端面と、前記長手方向軸に垂直な面に対して直角からずれた角度に形成される入射側端面とを有し、該出射側端面の前記角度は、外部光学系からの戻り光が該出射側端面にて反射される際に該導波路からの出射光と干渉することを防ぐように設定され、該入射側端面の前記角度は、外部光学系からの戻り光が該出射側端面から該導波路内に入射して該入射側端面にて反射される際に、該導波路内に入射されないように設定され、前記入射側端面に、前記戻り光である高調波の反射率を低減する反射防止膜が形成されており、そのことにより上記目的が達成される。
【0039】
本発明に係る光学装置は、本発明に係る導波型光デバイスと、前記導波路からの出射光を被観測物体上に集光する集光光学系とを含み、前記導波型光デバイスと被観測物体とは、共焦点の関係にあるように配置され、そのことにより上記目的が達成される。
【0040】
前記出射側端面に垂直な面と前記導波路とのなす角θと前記導波路の実効屈折率nと前記集光光学系の前記導波路の出射側の実質的な開口数NAとが、NA≦sin(θ×n)なる関係を満足してもよい。
【0041】
前記被観測物体は、光ディスクを含んでもよい。
【0042】
本発明に係る他の導波型光デバイスは、光学材料基板と、前記光学材料基板に形成された導波路とを含む導波型光デバイスにおいて、前記導波路から第1方向に出射され外部物体により前記出射側端面へ反射された光が前記出射側端面で前記第1方向と異なる第2方向に出射され、そのことにより上記目的が達成される。
【0043】
前記光学材料基板と前記導波路とは2次高調波発生素子を形成してもよい。
【0044】
本発明のある局面に従えば、出射側を斜めに形成するという簡単な構成によって戻り光の影響を効果的に低減することができるという作用を奏する。
【0045】
入射側、出射側とも導波路に対して斜めに形成された導波型光デバイスでは両端面での反射が低減され、ほぼ完全に戻り光の干渉の影響を除去でき、また、入射側端面を斜めに形成していることにより、光導波路の入射側端面での反射による半導体レーザへの戻り光も抑えられ、半導体レーザのモードホップノイズ低減の効果も併せ持つという作用を有する。
【0046】
光学材料基板の入射側端面と出射側端面が略平行に形成されることを特長とした導波型光デバイスは、作りやすいという効果を奏する。
【0047】
本発明の他の局面に従えば、光源のコリメート光学系は導波型光デバイスからの出射光分布の中心に配置されるので、半導体レーザ光源への戻り光を低減できるという作用を奏する。
【0048】
本発明のさらに他の局面に従えば、光学装置は、外部光学系からの戻り光が導波路端面で反射されて出射光と干渉することを防ぎ、干渉ノイズのない安定な光源を提供し、入射側端面も斜めに形成することで、外部光学系からの戻り光が導波路の入射側端面まで戻って反射することを防止するのみならず、半導体レーザ光源への戻り光を低減するという作用を有する。
【0049】
【発明の実施の形態】
本明細書では、「出射側端面」とは特に断らない限り、光学材料基板の表面と光が出射する導波路の表面との双方を含む。光学材料基板は、導波路の出射側端面とは異なる出射側端面を持ち得る。光学材料基板と導波路とは、同一平面内に出射側端面を持ち得る。
【0050】
「入射側端面」とは特に断らない限り、光学材料基板の表面と光が光源から入射する導波路の表面との双方を含む。光学材料基板は、導波路の入射側端面とは異なる入射側端面を持ち得る。光学材料基板と導波路とは、同一平面内に入射側端面を持ち得る。
【0051】
「出射光」とは、導波路から出射する光を意味する。
【0052】
(実施の形態1)
図1に本発明の導波型光デバイス10を用いた光学装置100の概略構成図を示す。本発明の導波型光デバイスはSHG素子に限ったものではないが、図1の例では導波型素子に赤外光を青色光に変換するSHG素子を用いた例を示している。
【0053】
光学装置100は、光源装置101と集光光学系102とを含む。光源装置101は、光源としての半導体レーザ11と集光レンズ12と導波型光デバイス10とコリメートレンズ13とを含む。集光光学系102は、偏光ビームスプリッタ20と4分の1波長板21と対物レンズ22とを含む。
【0054】
導波型光デバイス10は、光学材料基板14と光学材料基板14に形成される光導波路15とを含む。以下に述べる実施の形態では、 光学材料基板14と光導波路15とを含むSHG素子を例に挙げて説明するが本発明はこれに限定されない。本発明では、光学材料基板および光導波路として他のタイプの素子が使用され得る。
【0055】
半導体レーザ11からは波長850nmの光が出射され、SHG素子17上に形成された光導波路15を伝搬する間に波長が2分の1に変換された青色光が発生し、出射側端面38から波長425nmの青色光が出射される。
【0056】
SHG素子17からの出射光30はコリメートレンズ13、偏光ビームスプリッタ20を通過し、対物レンズ22で光ディスク24上に集光される。
【0057】
光ディスク24からの反射光は偏光ビームスプリッタ20で反射されて光検出器25に導かれるが、光ディスク24の基材が複屈折性を持つ場合には不要な偏光成分は偏光ビームスプリッタ20を通過してSHG素子17に戻る。
【0058】
ここで対物レンズ22は光ディスク24上に正確に集光するように位置制御されるため、SHG素子17の出射側端面38と光ディスク24とは共焦点系をなし、光学系からの戻り光31は、出射側端面38に集光される。
【0059】
図1に示した本発明の導波型デバイスの特徴は、出射側端面38が、出射側端面38に垂直な面50が光導波路15の長手方向軸Aに対して斜めの角度θを有するように形成されていることである。即ち、出射側端面38は、光導波路15の長手方向軸Aに垂直な面に対して斜めの角度θを有する。本明細書では、このような出射側端面と光導波路との位置関係を光導波路に対して斜めに形成されると表現する。
【0060】
光導波路15からの出射光30は、出射側端面38に垂直な面50に対して出射角θ1なる角度で出射される。このときの出射角θ1はスネルの法則により、
θ1=n×sinθ (式1)
なる式で表され、光導波路の屈折率nと、光導波路と出射側端面とのなす角θで規定される。
【0061】
このように、光導波路15からの出射光が光導波路15に対して斜めに出射されるため、SHG素子17と光ピックアップ光学系(コリメートレンズ13、偏光ビームスプリッタ20、対物レンズ22)とは図1のように斜めに配置される。このため、光学系からの戻り光31の端面反射光32は、出射光30と2×θ1の角度ずれが生じ、端面反射光32はコリメートレンズ13にとらえられず出射光30との干渉が回避される。
【0062】
図1から分かるように、コリメートレンズ13は光導波路15に対して斜めの方向に配置されているが、これはスネルの法則によって規定される角度に出射される出射光30の分布中心にコリメートレンズ13を置く配置になっている。
【0063】
コリメートレンズ13を光導波路15に対して直角に配置する構成に比べて、光学系からの戻り光31と端面反射光32のなす角がより大きくなる配置となっているので、出射光30を最も効率よく利用することができる。
【0064】
図1での光導波路15と出射側端面38とのなす角度θは特に限定せずとも干渉ノイズの低減に効果を持つが、出射光30の出射角θ1と光ピックアップ光学系103の光源側NA(開口数)を
NA<sin(θ×n) (式2)
なる条件に設定することで出射光30と端面反射光32とを完全に分離し、出射光30と端面反射光32との干渉を完全になくすことができる。
【0065】
ここで光ピックアップ光学系103の光源側NAは単にコリメートレンズ13のNAを指すものではない。例えば図1の光ピックアップ光学系103では、コリメートレンズ13は対物レンズ22より大きな有効径を持ち、光ピックアップ光学系103の有効ビーム径は対物レンズ22の有効径で規定される。
【0066】
この場合には、端面反射光32の影響が完全に除去される条件を表す(式1)でのNAは、光ピックアップ光学系103の有効ビーム径、すなわち対物レンズ22の有効径rとコリメートレンズ13の焦点距離fから
NA=sin(r/f) (式3)
なる式でNAが表される。このNAに対して(式1)が成立する範囲に光導波路15と出射側端面38とのなす角度θを設定すればよい。
【0067】
例えば、DVDやCDの一般的な光ピックアップ光学系では、有効ビーム半径2mm、コリメートレンズの焦点距離fが15mm程度であり、屈折率2.2のニオブ酸リチウム導波路を用いた場合には、光導波路15と出射側端面38とのなす角度θは、3.5度以上に設定すればよい。角度の上限は全反射臨界角で定まるが、角度が大きくなるに従って端面透過率の角度依存性が大きくなるため、光導波路15と出射側端面38とのなす角度θは20度程度以下に設定するのが現実的である。
【0068】
また、図2には、さらに出射側端面の傾斜角度を小さくした構成の光デバイスの一例を示す。導波型光デバイス10Aは、SHG素子17Aを含む。 SHG素子17Aは、プロトン交換導波路15Aを含む。 SHG素子17Aの出射側端面38Aに垂直な面51は、図1の出射側端面38よりも、プロトン交換導波路15Aの長手方向軸Aに対して小さい角度を有する。
【0069】
導波型光デバイス10Aとして、プロトン交換導波路15Aを用いた場合には、光導波路15Aからの出射光30Aの遠視野像は、図3に示すように垂直方向に広く水平方向に狭い楕円形状を持つことが多い。
【0070】
図3は、図2の断面3−3での出射光30Aの断面図である。図3に示すように、遠視野像の高さhは、その幅dよりも大きい。
【0071】
このような場合には、出射光30Aの遠視野像形状に合わせたアパーチャプレート37Aを挿入して、光量を大きくロスすることなく光学系の水平方向のNAを小さくする事ができる。
【0072】
図4Aは、図2の断面4A−4Aでのアパーチャプレート37Aの断面図である。図4Aに示すように、アパーチャプレート37Aのアパーチャの高さhは、その幅dよりも大きい。アパーチャプレート37Aは、図3の出射光30Aの遠視野像に適合する。このようにアパーチャプレート37Aを用いると、光ピックアップ光学系の幅d方向(図3)のNAを小さくする事ができる。
【0073】
図2では完全に反射光の干渉を除去できる角度θは、アパーチャプレート37Aのアパーチャの幅dを用いて
NA= sin{(d/2)/f} (式4)
で表されるNAに対して(式1)を満足すればよく、出射側端面38Aの傾斜角θを図1に示す構造での傾斜角よりも小さくすることができる。
【0074】
代表的なプロトン交換導波路では、遠視野像の垂直方向の広がり(図3に示す高さh)が水平方向の広がり(図3に示す幅d)の2倍程度である。この場合には、出射側端面38Aの傾斜角θは、(式2)に対応する値の2分の1にできる。上述した光ピックアップの具体例に適用すると、傾斜角θは1.8度以上になる。実際にはレンズや光源の設置位置誤差等を考慮して傾斜角θは2度以上に設定するのが妥当である。傾斜角θの上限は、20度程度以下に設定するのが現実的である。傾斜角θの上限は全反射臨界角で定まるが、角度が大きくなるに従って端面透過率の角度依存性が大きくなるからである。
【0075】
図2は、光導波路15Aからの遠視野像形状が垂直方向(図3に示す高さh)に広い場合の例を示しているが、光導波路15Aの構造によって遠視野像形状が水平方向(図3に示す幅d)に広い場合には、その遠視野像形状に合わせて水平方向(図3に示す幅d)に長い形状のアパーチャプレートを挿入すればよい。
【0076】
またアパーチャ形状も楕円形状に限らず、図4Bおよび図4Cに示すように、長方形(37B)や、帯状形状(37C)など垂直、水平方向の広がりが異なる形状であればよい。
【0077】
導波路端面を斜めに形成して導波光の端面反射を防止する技術は、例えば特開昭61−22311号号公報などに公開されている。これは、ファイバ端面を斜めに構成することで導波光の端面反射を防止する効果を持つ。それに対し、本発明の導波型光デバイスの特徴は、上述のように外部光学系からの反射光が導波路端面で再反射される際に角度を持って反射されることで導波路からの出射光との干渉を防ぐことにあり、導波光の反射を防ぐ技術とは構成、効果とも異なる技術である。
【0078】
図2は、導波型光デバイス10Aの平面図を示す。軸Aは、プロトン交換導波路15Aを貫通する。面Bは、長手方向軸Aに垂直である。軸Cは、紙面に交差し、長手方向軸Aに垂直である。出射側端面38Aは、面Bと非並行であって、かつ軸Cと交わらないように形成される。図1に示す出射側端面38も同様に形成される。
【0079】
図1、2では出射側端面38、38Aを水平方向で傾斜させる例を図示しているが、図5に示す、垂直方向に出射側端面38Bを傾斜させた導波型光デバイス10Bでも同様に端面反射光32と出射光30との干渉を回避することができる。
【0080】
図5を参照して、軸Dは、紙面に交差し、長手方向軸Aに垂直である。出射側端面38Bは、面Bと非並行であって、かつ軸Dと交わらないように形成される。
【0081】
出射側端面が導波路に対して斜めに形成された構成は、図1、図2および図5に示すように出射側端面全体を斜めに研磨することで容易に実現できるほか、図6に示すように、基板の導波路端面部分38Cのみを斜めに形成する構成でも同様の効果が得られる。
【0082】
図6の構成を実現する製造方法としては、ダイシングによる方法がある。例えば、面荒さ#6000のブレードを用いれば、光学研磨に近い断面が形成できる。光導波路15Cの幅15w以上の幅38w、例えば10μm程度の切り込みを光導波路15Cの表面近傍に形成することで、光導波路出射端面38Cの形成が可能となる。また、ダイシングを10μm程度しか行わないことで、鏡面加工が容易になり、ブレードの消耗も少なく、歩留まりの高い加工が容易になる。
【0083】
以上、出射側端面を斜めに形成することで光学系からの反射光の影響による干渉ノイズが低減される光デバイスについて説明した。以上のように出射側端面を斜めに形成することのみによっても戻り光の影響を低減することができるが、より完全に干渉ノイズを低減するためには入射側端面での反射を考慮する必要がある。
【0084】
すなわち、図1でSHG素子17内に点線で示すように、光学系からの戻り光31の一部は光導波路15内に入射して入射側端面39で反射されて導波ビーム反射光33となり、出射側端面38から出射される。この光は、出射側端面38を斜めに形成しても除去することはできず、出射光30と干渉してノイズの原因となる。
【0085】
(実施の形態2)
入射側端面での反射を低減する導波型光デバイスの一例を図7に示す。図7の導波型光デバイス10Dでは、光導波路15DのSHG素子17Dの入射側端面39Dも光導波路15Dに対して斜めに形成されている。
【0086】
このときの光学系からの戻り光が光導波路15Dに入射し、入射側端面39Dで反射されて導波路15Dと異なる方向に進行する導波ビーム反射光33Dとなる。導波ビーム反射光33Dは、導波路15Dに入射せず拡散しつつ導波型光デバイス10D内に放射され、出射側端面38Dに到達しない。
【0087】
図5の例のように、入射側端面39D、出射側端面38Dとも導波路15Dに対して斜めに形成された導波型光デバイス10Dでは入射側端面39Dおよび出射側端面38Dの両端面での反射が低減され、ほぼ完全に戻り光31と出射光30との干渉の影響を除去できる。
【0088】
また、入射側端面39Dを斜めに形成していることにより、光導波路15Dの入射側端面39Dでの反射による半導体レーザ11への戻り光も抑えられ、半導体レーザ11のモードホップノイズ低減の効果も併せ持つ。
【0089】
(実施の形態3)
また、入射側端面および出射側端面の双方を斜めに形成した導波型光デバイスでは、両端面を平行に形成することによって、デバイスの生産性低下を防ぐという効果が生じる。
【0090】
導波型光デバイスは通常大面積の材料基板上に多数の導波路を一括して作製した後切断され、端面を平滑にする研磨行程を経る。
【0091】
図8Aは、導波型光デバイス10Hの光学材料基板14上での配置を表す。図8Aのように、入射側端面と出射側端面とを平行に形成する導波型光デバイス10Hは、光学材料基板14に無駄なスペースを生じることなく密に導波型光デバイス10Hを配置できるとともに、一列分のデバイス全ての切断、研磨を一度に処理できるという効果を持つ。
【0092】
すなわち、最初に導波路端面の切断線48に沿って一括して切断し、比較的長い時間を必要とする研磨行程は、切断線48に沿って切断された1列分の導波型光デバイス10Hを一括して行ったのちに、導波路側面を切断線47に沿って切断する。
【0093】
図8Bに示すように、入射側端面と出射側端面とが平行でない場合には、基板14A上の個々の導波型光デバイス10Jの導波路端面の切断線が切断線が一致しない。
【0094】
このため、個々の導波型光デバイス10Jを導波路端面の切断線に沿って一括して切断できないので、切断線に沿って切断された1列分の導波型光デバイス10Jを一括して研磨することができない。
【0095】
この結果、導波型光デバイス10Jを個別に研磨せざるを得なくなり、端面を直角に形成した導波型光デバイスに比べて著しく生産性が低下する問題が生じる。
【0096】
入射側端面と出射側端面とを平行に形成することで、端面を斜めに形成する構成でも生産性の低下を防ぐことができる。
【0097】
次に入射側端面での反射を低減する他の構成の例を実施の形態4〜6(図9〜図11)に示す。これらの例は導波型光デバイスに2次高調波発生素子を用い、デバイスの入射側からは長波長の基本波を入射し、出射側からはより短波長の高調波を出射するデバイスに特に有効なものである。
【0098】
(実施の形態4)
図9は、導波型光デバイス10Eの入射側端面39E上に高調波に対する反射防止膜34を形成している。通常のSHG素子では入射側端面39Eには、基本波の半導体レーザへの戻り光を防止するために基本波に対する反射防止膜を装荷するのが普通であるが、図9のSHG素子17Eでは入射側端面39Eを光導波路15Eに対して斜めに形成することで半導体レーザへの戻り光が防止されているため、基本波の反射率を低減する必要がない。
【0099】
一方光ピックアップ光学系側(コリメートレンズ13側)からの高調波の戻り光31Eに対しては入射側端面39Eを斜めに形成する構造でも反射率は完全にはなくならないため、入射側端面39Eに高調波に対する反射防止膜34を形成してさらに反射率を低下させることができる。
【0100】
反射防止膜34は、入射側端面39Eから離れた位置に形成してもよい。
【0101】
(実施の形態5)
図10は、高調波吸収素子35によって光学系側(コリメートレンズ13側)からの戻り光31Fを低減する構成の導波型光デバイス10Fの概略構成である。高調波吸収素子35は、導波型光デバイス10FのSHG素子17Fの入射側端面39Fの近傍の導波路15F上に設けられる。
【0102】
基本波61Fに860nmの近赤外光を、高調波に425nmの青色光を用いる場合には、高調波吸収素子35として、例えば酸化チタン、セレン化亜鉛、リン化ガリウム、アモルファスシリコンなどの物質を用いることができる。これらの物質は赤外領域に対して透明で、青色光を吸収する分光特性を持ち、スパッタリングなどの技術によって導波路15F上に薄膜の形で装荷することができる。
【0103】
基本波に赤色光を、高調波に紫外光を用いるなど、上記の例と異なる波長を用いるデバイスに対しては高調波吸収素子35として他の物質を用いることになる。
【0104】
(実施の形態6)
また図11は、グレーティング36を用いて光学系側(コリメートレンズ13側)からの戻り光31Gを回折、散乱させることで干渉を防ぐ構成の導波型光デバイス10Gの概略構成を示す。
【0105】
導波型光デバイス10Gの入射側端面39G付近に短周期のグレーティング36が形成されており、その周期Λは、基本波の真空中での波長λ1、導波路の実効屈折率nを用いて、
λ/(4×n)<Λ<λ/(2×n) (式5)
なる範囲に値に設定することで高調波のみを回折させ、基本波を回折しない構成となっている。
【0106】
このときの高調波、基本波に対するベクトルダイアグラムを、それぞれ図12、図13に示す。図12に示すベクトルダイアグラム上には、高調波導波光の波数ベクトル40、グレーティングの波数ベクトル42、空気中への回折光の波数ベクトル43および基板中への回折光の波数ベクトル44がそれぞれ表示される。
【0107】
図13に示すベクトルダイアグラム上には、基本波導波光の波数ベクトル41およびグレーティングの波数ベクトル42がそれぞれ表示される。各ベクトルの方向は伝搬方向に、各ベクトルの大きさは波数に対応する。
【0108】
グレーティングによって導波光が回折される際の回折光の方向をベクトルダイアグラムによって求める手順は以下の如くである。空気中、基板中での放射光の波長は一意に決まっているため、放射光(空気中への回折光および基板中への回折光)の波数ベクトルは図12の半円R1,R2上および図13の半円R3,R4上に終端を持つ。
【0109】
また、導波光がグレーティングによって基板中への回折光や空気中への回折光となるためには、放射光(空気中への回折光および基板中への回折光)の波数ベクトルと導波光の波数ベクトル40との間の差の水平方向成分がグレーティングの波数ベクトル42と一致するときに限られる。このため、放射光(空気中への回折光および基板中への回折光)の波数ベクトルは図12,13の点線で示した直線DL1、DL2上に終端を持つ。
【0110】
すなわち図12に示した高調波導波光の回折においては、半円の円弧R1、R2と点線DL1との交点43A、44Aの方向に放射光(空気中への回折光および基板中への回折光)が生じることになる。
【0111】
ここで図13では点線DL2と半円R3、R4とが交点を持たないため、基本波導波光は放射光とならず、ロスなくグレーティング領域を伝搬する。
【0112】
このように、(式5)の関係を満たすような周期を持つグレーティングを用いることによっても入射側端面での戻り光反射を低減できる。
【0113】
以上、導波型光デバイスにSHG素子を用いた例を挙げて本発明の実施例を説明したが、本発明に係る導波型光デバイスは特にSHG素子に限らない。例えば高速変調素子や位相シフタ、周波数シフタ、偏光制御素子など、導波型光デバイスとして様々な機能、構成のものが考えられるが、こうした導波型光デバイスとコヒーレント光源を用いた光学系全てに本発明の導波型光デバイスを応用可能である。
【0114】
ただし、SHG素子を用いた光源では半導体レーザとして可干渉性の高い半導体レーザを用いて可干渉性の高い高調波を発生することが多いため、逆に干渉ノイズも発生しやすく、本発明の導波型光デバイスと組み合わせることで特に効果的に干渉ノイズを低減することができる。
【0115】
また共焦点光学系として光ピックアップ光学系を例示して説明したが、レーザ走査顕微鏡やレーザプリンタなど、他のコヒーレント光学系にも適用可能であることは言うまでもない。
【0116】
ただし、光ピックアップ光学系では、被測定物の光ディスクが高い反射率を持つこと、常に光ディスク上に光を集光するように対物レンズが位置制御されて共焦点系を保つこと、光ディスクが上下に運動するため干渉条件が刻々変化し、干渉ノイズを生じやすいことなどから、本発明の導波型光デバイスは光ディスクピックアップに、特に有効となる。
【0117】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の導波型光デバイスは、導波路の出射側端面を斜めに形成することによって、外部光学系からの戻り光が導波路端面で反射されて出射光と干渉することを防ぎ、干渉ノイズのない安定な光源を提供する。
【0118】
また、入射側端面も斜めに形成することで、外部光学系からの戻り光が導波路の入射側端面まで戻って反射することを防止するのみならず、半導体レーザ光源への戻り光を低減する効果を併せ持つ。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る導波型光デバイスを用いた光学装置の概略構成図。
【図2】本発明の実施の形態1に係る導波型光デバイスの概略構成図。
【図3】本発明の実施の形態1に係る光源装置からの光の遠視野像の断面図。
【図4A】本発明の実施の形態1に係る導波型光デバイスのアパーチャプレートの概略構成図。
【図4B】本発明の実施の形態1に係る導波型光デバイスの他のアパーチャプレートの概略構成図。
【図4C】本発明の実施の形態1に係る導波型光デバイスのさらに他のアパーチャプレートの概略構成図。
【図5】本発明の実施の形態1に係る他の導波型光デバイスの概略構成図。
【図6】本発明の実施の形態1に係るさらに他の導波型光デバイスの概略構成図。
【図7】本発明の実施の形態2に係る導導波型光デバイスの概略構成図。
【図8A】本発明の実施の形態3に係る導導波型光デバイスの光学材料基板上での配置図。
【図8B】本発明の実施の形態3に係る導導波型光デバイスの光学材料基板上での配置図。
【図9】本発明の実施の形態4に係る導導波型光デバイスの概略構成図。
【図10】本発明の実施の形態5に係る導導波型光デバイスの概略構成図。
【図11】本発明の実施の形態6に係る導導波型光デバイスの概略構成図。
【図12】本発明の実施の形態6に係る導導波型光デバイスのグレーティング上での高調波に対する波数ベクトルダイアグラムを示す図。
【図13】本発明の実施の形態6に係る本発明の導導波型光デバイスのグレーティング上での基本波に対する波数ベクトルダイアグラムを示す図。
【図14】従来の2次高調波発生素子の導波型光デバイスの概略構成図。
【図15】従来の導波型光デバイスを用いた光ディスクピックアップ光学系の概略構成図。
【符号の説明】
10 導波型光デバイス
11 半導体レーザ
13 コリメートレンズ
14 光学材料基板
15 光導波路
Claims (5)
- 光学材料基板と、
前記光学材料基板に形成された導波路とを含む導波型光デバイスにおいて、
前記光学材料基板と前記導波路とは2次高調波発生素子を形成し、
前記導波路は、長手方向軸と、前記長手方向軸に垂直な面に対して直角からずれた角度に形成される出射側端面と、前記長手方向軸に垂直な面に対して直角からずれた角度に形成される入射側端面とを有し、
該出射側端面の前記角度は、外部光学系からの戻り光が該出射側端面にて反射される際に該導波路からの出射光と干渉することを防ぐように設定され、
該入射側端面の前記角度は、外部光学系からの戻り光が該出射側端面から該導波路内に入射して該入射側端面にて反射される際に、該導波路内に入射されないように設定され、
前記入射側端面に、前記戻り光である高調波の反射率を低減する反射防止膜が形成されている、導波型光デバイス。 - 請求項1に記載の導波型光デバイスと、
前記導波路からの出射光を実質的に平行にするコリメートレンズとを含む光源であって、
前記コリメートレンズは、前記導波路からの前記出射光の分布の中心に配置される光源。 - 請求項1に記載の導波型光デバイスと、
前記導波路からの出射光を被観測物体上に集光する集光光学系とを含み、
前記導波型光デバイスと被観測物体とは、共焦点の関係にあるように配置される光学装置。 - 前記出射側端面に垂直な面と前記導波路とのなす角θと前記導波路の実効屈折率nと前記集光光学系の前記導波路の出射側の実質的な開口数NAとが、
NA≦sin(θ×n)
なる関係を満足する、請求項3記載の光学装置。 - 前記被観測物体は、光ディスクを含む、請求項3記載の光学装置。
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-
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