JP3728023B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、直流サーボモータを使用したリニアアクチュエータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
作業機器を取付けるためのシャフト、及び該シャフトを上下動させる電磁サーボ駆動部を有し、サーボコントローラにより上記電磁サーボ駆動部のコイルへの通電を制御してシャフトを所定の位置に停止させる直流サーボモータは、既に知られており、この直流サーボモータは、コイルへの通電量と通電方向とを制御することによってシャフトの停止位置を精密に位置決めできるという利点を有している。
しかしながら、上記直流サーボモータは、コイルへの通電当初に電磁サーボ駆動部に生ずる逆起電力によってシャフトの起動が遅れるという問題があり、この起動の遅れは作業の高速化の障害になる。
【0003】
また、上記シャフトに取付けた作業機器でワークを把持或いは吸着して持ち上げる場合は、シャフトの停止位置を保持する場合と異なり、コイルへの通電量が多くなって電力の消費量が増加し、特にワークの重量が大きいときは通電量の増加によってコイルの発熱量が多くなるために、コイルの冷却手段を付設しなければならないことがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする第1の課題は、直流サーボモータのシャフトが応答性よく起動するリニアアクチュエータを提供することにある。
【0005】
また、本発明が解決しようとする第2の課題は、電力の消費量が少ない上記リニアアクチュエータを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記第1の課題を解決するため、本発明のリニアアクチュエータは、作業機器を取付けるためのシャフト、及び該シャフトを上下動させる電磁サーボ駆動部を有し、サーボコントローラにより上記電磁サーボ駆動部のコイルへの通電を制御してシャフトを所定の位置に停止させる直流サーボモータと;シリンダ内を上下動するピストン及びそのロッドを有し、ピストンで区画されたシリンダ室への圧縮空気の供給により上記ロッドを下動させるエアシリンダとを備え、上記ロッドとシャフトを同一軸線上でかつ上下に配設してケース内に設置したリニアアクチュエータであって、上記サーボコントローラに、上記コイルにシャフトを下動させるための電流の通電当初に作動して、上記シリンダ室に圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段を設け、コイルへの上記通電当初にシリンダ室に供給される圧縮空気で下動するロッドが、シャフトを押圧してその下動を加速することを特徴としている。
【0007】
また、上記第1及び第2の課題を解決するため、本発明のリニアアクチュエータは、作業機器を取付けるためのシャフト、及び該シャフトを上下動させる電磁サーボ駆動部を有し、サーボコントローラにより上記電磁サーボ駆動部のコイルへの通電を制御してシャフトを所定の位置に停止させる直流サーボモータと;シリンダ内を上下動するピストン及びそのロッドを有し、ピストンで区画された一対のシリンダ室への圧縮空気の給排により上記ロッドを上下動させる複動型のエアシリンダとを備え、上記ロッドとシャフトを同一軸線上でかつ上下に配設してケース内に設置したリニアアクチュエータであって、上記ロッドとシャフトを軸方向に一体移動可能に連結し、上記一対のシリンダ室に、ソレノイドへの通電量に比例した空気圧を出力する比例電磁式圧力制御弁をそれぞれ接続し、上記サーボコントローラに、上記コイルにシャフトを下動させるための電流の通電により作動して、上記ソレノイドへの通電量の制御により一対のシリンダ室に給排する空気圧を調整すると共に上記コイルへの通電当初に上方のシリンダ室に圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段を設け、上記コイルへの通電当初に上方のシリンダ室に供給される圧縮空気により下動するロッドでシャフトを押圧してその下動を加速し、下方のシリンダ室への圧縮空気の供給により上動するロッドで下動位置にあるシャフトを引き上げることを特徴としている。
【0008】
さらに、同様の課題を解決するため、上記リニアアクチュエータにおけるロッドとシャフトを、該ロッドの上動により互いに係合する係合部を有する連結子によって相対移動可能に連結し、上記サーボコントローラに、上記コイルにシャフトを下動させるための電流の通電により作動して、一対のシリンダ室に圧縮空気を給排する圧縮空気供給手段を設け、上方のシリンダ室への圧縮空気の供給により下動するロッドでシャフトを押圧してその下動を加速し、下方のシリンダ室への圧縮空気の供給により上動するロッドで上記係合部を係合させて下動位置にあるシャフトを引き上げることを特徴としている。
【0009】
また、同様の課題を解決するため、これらのリニアアクチュエータにおけるエアシリンダの摺動部を、エアベアリングによって浮遊状態に支持したことを特徴としている。
【0010】
【作用】
ケース内に、単動型のエアシリンダと直流サーボモータの一例であるボイスコイル型アクチュエータとを、これらのロッドとシャフトを同一軸線上に配設して上下に設置する。
サーボコントローラから、ボイスコイル型アクチュエータの可動コイルに該コイルを下動させるための電流を通電すると、この電流の通電当初に、圧縮空気供給手段の一例であるコントローラが作動してエアシリンダのシリンダ室に圧縮空気を供給するので、これにより下動するロッドがシャフトを押圧してその下動を加速する。
シャフトが下動すると、その位置信号がサーボコントローラにフィードバックされ、この信号によりサーボコントローラが可動コイルへの通電量及び通電方向を制御して、シャフトを所望の停止位置に正確に停止させる。
【0011】
また、複動型のエアシリンダのロッドとボイスコイル型アクチュエータのシャフトとを一体移動可能に連結し、或いはこれらを係合部を有する連結子によって相対移動可能に連結すると、圧縮空気供給手段の作動により上側のシリンダ室に供給される圧縮空気によって下動するロッドが、シャフトを押圧してその下動を加速する。
圧縮空気供給手段により下側のシリンダ室に圧縮空気を供給するとロッドが上動し、これによりロッドが一体に連結したシャフトを引き上げ、或いはロッドの上動により係合部が係合して下動したシャフトを引き上げる。
これらの場合は、可動コイルに通電しなくても、下側のシリンダ室に供給した圧縮空気によってロッドとシャフトとが上動するために、ロッドに取付けた作業機器によって重いワークを持ち上げる場合でも消費電力が増加することがなく、したがってコイルの発熱量が多くなることもない。
【0012】
さらに、これらのエアシリンダの摺動部をエアベアリングで浮遊状態に支持して、摺動部の摺動抵抗を殆どなくしたので、圧縮空気によってロッドが速やかに下動するので、シャフトの下動を一層速やかに加速することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1及び図2は本発明の第1実施例を示し、このリニアアクチュエータ1は、ケース2及び該ケースの開口を覆うカバー3と、ケース2内の上方に設置した単動型のエアシリンダ4と、下方に設置した直流サーボモータの一例であるボイスコイル型アクチュエータ5とを備え、エアシリンダ4のロッド6とボイスコイル型アクチュエータ5のシャフト7は同一軸線上に配設されている。
上記エアシリンダ4は、ケース2に形成したシリンダ穴9及びその開口を気密に閉鎖する端板10と、シリンダ穴9を気密に往復動するピストン11及び上記ロッド6と、ピストン11で区画されたシリンダ室12及び呼吸室13と、シリンダ室12に圧縮空気を給排する給排ポート14及び呼吸室13に開口する呼吸ポート15とを備え、給排ポート14に電磁弁16が接続されている。
【0014】
この電磁弁16は、圧縮空気の供給ポートP、出力ポートA及び排出ポートRを備え、ソレノイド16aの励磁とその解除によって、出力ポートAを供給ポートPと排出ポートRとに切り換えて連通させる周知の常閉型3ポート電磁弁として構成されており、供給ポートPはエアタンク17を介して圧縮空気源18に接続されている。
上記エアシリンダ4は、ロッド6がシャフト7を押圧してその下動を加速するものであるから、ボイスコイル型アクチュエータ5に比べて小形で、ロッド6のストロークはシャフト7のストロークより短くされている。
【0015】
ボイスコイル型アクチュエータ5は、図2に示すように、センタヨーク21、その両側のボトムヨーク22,22、これらのヨークの上下両端を連結するサイドヨーク23,23(図1参照)を有する磁気枠24と、ボトムヨーク22のセンタヨーク側の面に取付けられた磁石25,25と、センタヨーク21に巻かれこれに沿って上下に移動可能な可動コイル26とを有する電磁サーボ駆動部20を備え、磁気枠24はサイドヨーク23,23を通る取付ボルト(図示省略)によってケース2の底面に取付けられている。この電磁サーボ駆動部20は、可動コイル26に直流を通電すると、フレミング左手の法則によって可動コイル26が上下動するものである。
可動コイル26には、合成樹脂等の非磁性材で形成したコイル押え28とコイルホルダ29が取付ねじ30,30によって取付けられており、コイルホルダ29に、図示を省略している適宜の手段によって金属製の移動子31が取付けられている。また、ケース2の底面には、リニアガイドレール32が取付けられており、リニアガイドレール32に沿って移動するリニアガイド33は、取付ねじ34,・・によって移動子31に取付けられている。
【0016】
ケース2における電磁サーボ駆動部20と反対側の壁面にはリニアスケール36が、移動子31の先端にはリニアスケール36の目盛を読み取って信号を出力するエンコーダ電気基板37が、それぞれ取付けられている。
上記シャフト7は大径部と小径部を有し、小径部の基端に形成した雄ねじを移動子31の貫通孔に形設した雌ねじに螺合して、段部を移動子31の上面に当接させた状態で取付けられており、軸受38により支持されてケース2外に突出する小径部の先端に、エアチャックや吸着パッド等の適宜の作業工具(図示省略)が取付けられる。
【0017】
上記ケース2の側壁には、電力及び信号用のコネクタを構成する多極コネクタ40が、ケース2の取付ボス2aには中間コネクタ41が、コイルホルダ29にはコネクタ42が、それぞれ取付ねじによって取付けられており、多極コネクタ40に電気的に接続する受電コネクタ43と中間コネクタ41、及び中間コネクタ41とコネクタ42は、いずれもフラットリボンケーブル44によって電気的に接続されている。また多極コネクタ40には、サーボコントローラ45を介して直流電源46が接続されている。
上記サーボコントローラ45は、可動コイル26に通電量(電流値)及び通電方向が制御された直流を通電するもので、これによって可動コイル26が上下動する。また、可動コイル26と一体に移動するエンコーダ電気基板37が、リニアスケール36の目盛を読み取ってシャフト7の位置信号を出力し、この信号はサーボコントローラ45にフィードバックされる。
【0018】
サーボコントローラ45には、圧縮空気供給手段を構成するコントローラ47が接続されている。このコントローラ47は、サーボコントローラ45から可動コイル26に該コイルを下動させる電流を通電した当初に作動して、ソレノイド16aを励磁してシリンダ室12に圧縮空気を供給し、ロッド6が下動してシャフト7を押圧するとソレノイド16aの励磁を解除して、シリンダ室12の空気を排出するものである。
図1中の符号48は、ロッド6及びピストン11の外周に嵌着した、Oリングよりなる摺動シールである。
【0019】
上記第1実施例は、サーボコントローラ45から可動コイル26に該コイルを上動させる方向の電流を通電すると、可動コイル26及びシャフト7が上動してエアシリンダ4のロッド6を上動させる。
サーボコントローラ45から可動コイル26に該コイルを下動させる方向の電流を通電すると、可動コイル26とシャフト7が下動を始めるとともに、この通電当初にコントローラ47が作動して電磁弁16のソレノイド16aを励磁する。これにより、エアタンク17に蓄積されている圧縮空気が電磁弁16から速やかにシリンダ室12に供給され、ピストン11及びロッド6が急速に下動してシャフト7を押圧するので、シャフト7の下動が加速される。したがって、電磁サーボ駆動20の逆起電力に抗してシャフト7が応答性よく下動する。
シャフト7が下動すると、コントローラ47によるソレノイド16aの励磁が解除されるので、シリンダ室12が外部に連通する。
【0020】
上記可動コイル26とシャフト7は、リニアガイドレール32とリニアガイド33に案内されてスムーズに上下動する。そして、移動子31に取付けたエンコーダ電気基板37がリニアスケール36の目盛を読み取って位置信号をサーボコントローラ45にフィードバックし、このフィードバック信号によりサーボコントローラ45が可動コイル26への通電量及び通電方向を制御して、シャフト7を所定の停止位置に正確に停止させる。この場合における可動コイル26への通電量は、可動コイル26とともに移動する部材の重量にバランスする力を発生させる大きさである。
サーボコントローラ45から可動コイル26に該コイルを上動させる方向の電流を通電すると、これらが上動して元の位置に復帰する。
【0021】
図3(A)は公知のボイスコイル型アクチュエータのシャフトの変位量と時間の関係を示し、(B)は上記エアシリンダ4のロッド6の変位量と時間の関係を示し、(C)はロッド6によってシャフト7を押圧したときのシャフト7の変位量と時間との関係を示している。図3中の符号aは、可動コイル26に通電したときの時間である。
(A)と(C)との対比で明らかなように、ロッド6によるシャフト7の押圧によってシャフト7を速やかに下動することができる。
【0022】
上記リニアチュエータは、シャフト7の先端に取付けたエアチャック49(図4参照)によって、ワーク(図示省略)を把持して搬送する搬送装置として使用する場合がある。
この場合は、電磁サーボ駆動部20を無負荷で上動させる場合と異なり、エアチャック49が把持したワークの重量に抗して電磁サーボ駆動部20を上動させるための電流を、可動コイル26に通電する必要があるが、ワークの重量が重いと可動コイル26への通電量が増加して消費電力が多くなり、これによって可動コイルの発熱量も多くなる。
【0023】
図4はこの問題を解決した本発明の第2実施例を示し、第2実施例のリニアアクチュエータ51は複動型のエアシリンダ52を備え、エアシリンダ52のロッド6とボイスコイル型アクチュエータ5のシャフト7は、結合ピン53によって軸方向のガタがないように一体に連結されており、ケース2から突出するシャフト7の先端にエアチャック49が取付けられている。
また、ピストン11で区画された一対のシリンダ室54a,54bに連通する給排ポート55a,55bには、比例ソレノイド57a,57bへの通電量によって出力空気圧を制御できる比例電磁式圧力制御弁56a,56bが接続されており、比例ソレノイド57a,57bへの通電量は、圧縮空気供給手段を構成するコントローラ58によって制御される。
第2実施例の他の構成は第1実施例と同じであるから、図の主要な同一の箇所に同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
【0024】
上記第2実施例は、サーボコントローラ45から可動コイル26に該コイルを下動させる電流を通電するとともに、コントローラ58によって比例電磁式圧力制御弁56aの比例ソレノイド57aに通電すると、シリンダ室54aに圧縮空気が供給されてロッド6が下動し、これに連結されたシャフト7も下動する。したがって、ロッド6によってシャフト7の下動を加速することができる。
シャフト7が所定の停止位置の近くに下動したときに、比例ソレノイド57aの通電を解除して比例ソレノイド57bに通電するとシリンダ室54bに圧縮空気が供給され、シリンダ室54bの空気圧は、コントローラ58によって下動する部材の重量にほぼバランスする作用力を発生させる空気圧に調整される。次いでサーボコントローラ45により可動コイル26への通電量及び通電方向を制御して、シャフト7を所定の停止位置に正確に停止させる。
サーボコントローラ45によって可動コイル26への通電を解除すると、シリンダ室54bに供給された空気圧の作用力によりロッド6が上動してシャフト7を引き上げる。
【0025】
上記第2実施例は、複動型のエアシリンダ52の下方のシリンダ室54bに供給する空気圧の作用力をエアチャック49等の作業機器の重量にほぼバランスさせるので、シャフト7の停止位置を保持するための可動コイル26への通電量を少なくすることができる。
また、シリンダ室54bに供給された空気圧の作用力によってシャフト7を上動させるので、エアチャック49が把持したワークの重量が重い場合でも、可動コイル26にこれらを上動させるための電流を通電する必要がないので、電力の消費が少なくかつ可動コイルの発熱量が小さい。
【0026】
上記第2実施例は、エアシリンダ52のピストン11及びロッド6の外周に摺動シール48,・・があるために、摺動シールの摺動抵抗が大きいとロッド6の下動が遅れることがある。
図5はこの問題を解決した第2実施例の変形例を示し、このリニアアクチュエータ61のエアシリンダ62は、ピストン11の外周面及び端板10のロッド6との対向面にエアベアリング63を構成する周溝が形成されており、これらの周溝は、該周溝の円周方向に等間隔で複数個開口する流路64,65によって圧縮空気源に連通している。
上記変形例の他の構成は第2実施例と同じであるから、説明は省略する。
【0027】
上記変形例は、エアシリンダ62のピストン11及びロッド6がエアベアリング63によって浮遊状態に支持されているために、摺動シール48を有するものと異なりこれらの摺動抵抗を殆どなくすことができるので、ロッド6を一層速やかに上下動させることができる。
また、エアシリンダ62の摺動抵抗が殆どないので、ロッド6とシャフト7が結合ピン53で連結されていても、シャフト7の停止位置を正確に制御することができる。
【0028】
図6は本発明の第3実施例を示し、このリニアアクチュエータ71におけるエアシリンダ52のロッド6と、ボイスコイル型アクチュエータ5のシャフト7の先端には、それぞれ連結子72が取付けられており、連結子72は、ロッド6とシャフト7に取付けるための取付部73と、これと反対側の互いに係合可能な係合部74とを備えている。
これらの連結子72,72は、ロッド6とシャフト7が図示の上動位置にあるときは取付部73と係合部74がそれぞれ当接し、ロッド6とシャフト7が下動したときは、係合部74,74の間に若干の間隙が形成されるように関係付けられている。
【0029】
エアシリンダ52のシリンダ室54a,54bに圧縮空気を給排する電磁弁76は、圧力流体の供給ポートP、出力ポートA,B及び排出ポートEA,EBを備え、ソレノイド76aの励磁により供給ポートPと出力ポートA及び出力ポートBと排出ポートEBとが連通し、ソレノイド76bの励磁により供給ポートPと出力ポートB及び出力ポートAと排出ポートEAとが連通し、これらのソレノイドの励磁が共に解除された中間停止位置において出力ポートAとBがそれぞれ排出ポートEAとEBに連通する、スプリングセンタの3位置5ポート弁として構成されており、出力ポートAとBは給排ポート55aと55bにそれぞれ連通している。そして、これらのソレノイド76a,76b励磁及び励磁解除はコントローラ77によって制御される。
第3実施例の他の構成は第1実施例と同じであるから、図の主要な同一の箇所に同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
【0030】
上記第3実施例は、電磁弁76が中間停止位置にあるときに、サーボコントローラ45から可動コイル26に該コイルを上動させる電流を通電すると、可動コイル26とシャフト7が上動し、これにより係合部74が取付部73に当接してロッド6を上動させる。
サーボコントローラ45から可動コイル26に該コイルを下動させる電流を通電すると、この通電当初にコントローラ77によりソレノイド76aが励磁されるので、シリンダ室54aに圧縮空気が供給されてロッド6が下動し、取付部73と係止部74との当接によりシャフト7が押圧されて下動が加速される。シャフト7が押圧されるとコントローラ77によるソレノイド76aの励磁が解除されて、電磁弁76が中間停止位置に復帰する。
シャフトの下動後のサーボコントローラ45によるシャフト7の停止位置の制御は第1実施例と同じであり、ロッド6とシャフト7が最も下動しても係合部74と74の間には若干の間隙がある。
【0031】
コントローラ77によってソレノイド76bを励磁すると、下方のシリンダ室54bに圧縮空気が供給されてロッド6が上動し、これによって係合部74,74が係合するので下動したシャフト7がロッド6によって引き上げられる。
したがって、シャフト7を上動させるときに可動コイル26に通電する必要がないので、エアチャック49が把持したワークの重量が重い場合であっても電力の消費が少なくかつ可動コイル26の発熱量が小さい。
第3実施例の他の作用は第1実施例と同じであるから、説明は省略する。
なお、図示を省略しているが、第3実施例におけるロッド6及びピストン11も、摺動シール48をなくしてエアベアリング63により浮遊状態に支持することができる。
【0032】
【発明の効果】
本発明のリニアアクチュエータは、直流サーボモータのコイルに該コイルを下動させるための電流を通電すると、圧縮空気供給手段が作動してシリンダ室に圧縮空気を供給するため、これによって下動するロッドが直流サーボモータのシャフトを押圧してその下動を加速するので、シャフトを速やかに下動することができる。
また、エアシリンダを複動型として、このエアシリンダによってシャフトに取付けた作業機器やワーク等を上動させるので、これらが重い場合であっても電力の消費が少なく、かつコイルの発熱量を少なくすることができる。
さらに、エアシリンダの摺動部に設けたエアベアリングによって、エアシリンダの摺動抵抗を殆どなくすことができ、これによりロッドが速やかに下動してシャフトを押圧するので、シャフトを一層速やかに下動することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1実施例の縦断正面図である。
【図2】 図1のA−A断面図である。
【図3】 (A)〜(C)はシャフトの変位量と時間の関係を示す図である。
【図4】 第2実施例の縦断正面図である。
【図5】 第2実施例の変形例の要部の縦断正面図である。
【図6】 第3実施例の縦断正面図である。
【符号の説明】
1,51,61,71 リニアアクチュエータ
2 ケース
4,52,62 エアシリンダ
5 ボイスコイル型アクチュエータ
6 ロッド
7 シャフト
11 ピストン
12,54a,54b シリンダ室
20 電磁サーボ駆動部
26 可動コイル
45 サーボコントローラ
47,58,77 コントローラ
56a,56b 比例電磁式圧力制御弁
57a,57b 比例ソレノイド
72 連結子
74 係合部
Claims (4)
- 作業機器を取付けるためのシャフト、及び該シャフトを上下動させる電磁サーボ駆動部を有し、サーボコントローラにより上記電磁サーボ駆動部のコイルへの通電を制御してシャフトを所定の位置に停止させる直流サーボモータと;シリンダ内を上下動するピストン及びそのロッドを有し、ピストンで区画されたシリンダ室への圧縮空気の供給により上記ロッドを下動させるエアシリンダとを備え、上記ロッドとシャフトを同一軸線上でかつ上下に配設してケース内に設置したリニアアクチュエータであって、
上記サーボコントローラに、上記コイルにシャフトを下動させるための電流の通電当初に作動して、上記シリンダ室に圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段を設け、
コイルへの上記通電当初にシリンダ室に供給される圧縮空気で下動するロッドが、シャフトを押圧してその下動を加速する、
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 作業機器を取付けるためのシャフト、及び該シャフトを上下動させる電磁サーボ駆動部を有し、サーボコントローラにより上記電磁サーボ駆動部のコイルへの通電を制御してシャフトを所定の位置に停止させる直流サーボモータと;シリンダ内を上下動するピストン及びそのロッドを有し、ピストンで区画された一対のシリンダ室への圧縮空気の給排により上記ロッドを上下動させる複動型のエアシリンダとを備え、上記ロッドとシャフトを同一軸線上でかつ上下に配設してケース内に設置したリニアアクチュエータであって、
上記ロッドとシャフトを軸方向に一体移動可能に連結し、
上記一対のシリンダ室に、ソレノイドへの通電量に比例した空気圧を出力する比例電磁式圧力制御弁をそれぞれ接続し、
上記サーボコントローラに、上記コイルにシャフトを下動させるための電流の通電により作動して、上記ソレノイドへの通電量の制御により一対のシリンダ室に給排する空気圧を調整すると共に上記コイルへの通電当初に上方のシリンダ室に圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段を設け、
上記コイルへの通電当初に上方のシリンダ室に供給される圧縮空気により下動するロッドでシャフトを押圧してその下動を加速し、下方のシリンダ室への圧縮空気の供給により上動するロッドで下動位置にあるシャフトを引き上げる、
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 作業機器を取付けるためのシャフト、及び該シャフトを上下動させる電磁サーボ駆動部を有し、サーボコントローラにより上記電磁サーボ駆動部のコイルへの通電を制御してシャフトを所定の位置に停止させる直流サーボモータと;シリンダ内を上下動するピストン及びそのロッドを有し、ピストンで区画された一対のシリンダ室への圧縮空気の給排により上記ロッドを上下動させる複動型のエアシリンダとを備え、上記ロッドとシャフトを同一軸線上でかつ上下に配設してケース内に設置したリニアアクチュエータであって、
上記ロッドとシャフトを、該ロッドの上動により互いに係合する係合部を有する連結子によって相対移動可能に連結し、
上記サーボコントローラに、上記コイルにシャフトを下動させるための電流の通電により作動して、一対のシリンダ室に圧縮空気を給排する圧縮空気供給手段を設け、
上方のシリンダ室への圧縮空気の供給により下動するロッドでシャフトを押圧してその下動を加速し、下方のシリンダ室への圧縮空気の供給により上動するロッドで上記係合部を係合させて下動位置にあるシャフトを引き上げる、
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。 - エアシリンダの摺動部をエアベアリングによって浮遊状態に支持した、
ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載したリニアアクチュエータ。
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