JP3717937B2 - 多重半導体ダイを搭載したパッケージ - Google Patents
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Description
本発明は、半導体実装技術の分野に関する。さらに詳細には、本発明は、単一の封止体内に2つ以上の半導体ダイを組み込んだパッケージに関する。
発明の背景
半導体基板上に組み込まれた電子回路は、一般的にそれぞれの集積回路(IC)デバイスに適したパッケージに収容されている。一般的な半導体パッケージは、ICを印刷回路板上に配置された外部回路と接続するリードフレームを備えている。標準的なリードフレームは集積回路ダイの寸法よりも大きく、ダイ上のボンディングパッド領域をリードフレームの延出部分すなわち「フィンガ」にワイヤボンディング接続できるようにしている。ダイ上のICをリードフレームにワイヤボンディング接続した後、そのアセンブリは通常はプラスチックまたは他のパッケージ材内に封止される。リードフレームフィンガに接続された端子がパッケージ材から外へ延出して、他の電子部材との接続点になっている。
半導体業界の一貫した目標は、回路密度を最高にすることである。回路密度を向上させる従来の方法の一例として、単一パッケージ内に多数の半導体ダイを搭載するものがあった。例えば、マルチチップ半導体パッケージが、米国特許第5,012,323号及び第5,019,893号に開示されている。しかし、従来のマルチチップパッケージに伴う問題は、それらが特別仕様のカスタムパッケージを使用する必要があるか、あるいは一緒に収容できる半導体ダイに寸法の制約が課されることである。また、従来の二重ダイ半導体パッケージは、単一のリードフレームに接続することができるように、これらのICをつなぐカスタムボンディングが必須であることが多い。このため、従来の努力にもかかわらず、得られるパッケージ構造は、特定のダイ寸法、または特定のボンディングパッド形状に使用が限定され、高コストになることが多かった。
従来の多重ダイパッケージに伴うもうひとつの問題点は、多くの構造が、データ及びコードの機密保護を適切に確保するという問題に対応できていないことである。最近の半導体デバイスは、時間、金銭及び人力の投資が非常に大きいため、集積回路の極めて重要な、または極秘の機能部分へのアクセスを防止する新しい方法を開発することがメーカ間で非常に高い関心を集めている。この関心から、外部侵入を防止する十分な保護機構を含む半導体パッケージに対する要望がますます高まってきた。
例えば、今日では多くの設計者が、マイクロプロセッサまたはコントローラ(または何らかの他の機構)を追加の不揮発性フラッシュメモリ(例えば8Mバイト)と共に単一パッケージ内に一体に組み込んで機密保護を行うことを望んでいる。一般的な応用例は、制御プロセッサがアクセスまたは実行する専有コードを記憶するフラッシュメモリを備えるものである。当然ながら、そのようなコードは秘密にされなければならない。この形式のシステムでは、コードまたはプログラムにマイクロプロセッサまたはコントローラを介してのみアドレスできるようにすることが望ましい。従来の実装技術に伴う問題は、半導体デバイス内、半導体デバイス上、またはこれら両方に記憶された情報への外部侵入者からのアクセスを禁止できないことであった。
従って、必要とされるものは、上述のような従来の技術の欠点を解決するとともに、単一リードフレームパッケージに多重半導体ダイを搭載することによって回路密度を向上させた半導体パッケージである。さらに、パッケージは機能的に重要な回路に外部侵入者がアクセスできないようにする必要があり、また重要なアルゴリズム、コードまたはプログラムを違法コピー者または競争相手から隠しておく必要がある。
以下から明らかになるように、本発明は、標準的な実装処理の流れに加える変化を比較的小さくしながら、様々な既存の半導体チップを同一リードフレーム上に組み込むことができるようにする多重ダイ半導体パッケージである。本発明はまた、ICのボンディングパッド経路指定の変更も不要とする。低い製造コストでより高い実装密度を提供することによって、効率が向上する。本発明の多重半導体ダイパッケージは、隠れた集積回路機能を探り出すことを防止するために、強力な暗号化/解読システムを実現することができる。
発明の概要
本発明は、2つ以上の半導体ダイを搭載したパッケージである。本発明のパッケージは、IC密度を大きく向上させると共に、様々な寸法の半導体ダイを収容することができる。
1実施例では、本発明の半導体パッケージは、矩形のパドルと、パドル付近まで延出した多数のリードフィンガとを含むリードフレームを備えている。フレキシブル(「フレックス」)回路がパドルの両面に接着されている。次に、第1半導体ダイをパドルの下面に接着して、フレキシブル回路にワイヤボンディング接続する。次に、リードフレームを裏返して、パドルの反対表面すなわち上表面に取り付けた第2半導体ダイについて同じ作業を繰り返す。配線を使用して、第1及び第2半導体ダイ上の集積回路をフレキシブル回路及びリードフレームのリードフィンガに電気的に接続する。いずれの場合も、半導体ダイは、その裏側をフレックス回路に載置してパドルの対向表面に当てて取り付けられる。他の実施例では、半導体ダイの表側を下側にして取り付けることもできる。すなわち、集積回路をフレックス回路に対向させてそれに当てて取り付ける。
最後に、リードフレームをプラスチックまたは他の適当な材料内に封止する。半導体ダイをケーシング材内に封止する前に、ポリマーセキュリティコーティングを加え硬化させて半導体ダイを覆ってもよい。
上側チップがプロセッサまたはコントローラデバイスを含み、下側チップがメモリ(例えばフラッシュメモリ)を含む応用例では、本発明によって特別な利点が得られる。そのような場合、本発明のパッケージは、隠れた機能を探り出すのを防止する一方で、最高密度の大形フラッシュメモリアレイに結合されたコントローラが多目的に暗号化/解読スキームを実行できるようにする。データを暗号化するためのプログラム、コードまたはアルゴリズムを下側のメモリチップに記憶し、上側の制御半導体チップを介してのみアドレス指定されるようにすることができる。そのようなシステムは、下側チップへの直接的メモリアクセスを禁止して、小型の単一リードフレームパッケージにおいて強力なデータ機密保持システムを与える。
【図面の簡単な説明】
本発明は、以下の詳細な説明及び添付の図面から十分に理解されるであろうが、それらは本発明をここに示した特定の実施例に制限するためのものではなく、ただ説明を行って理解を得るためのものである。
第1図は、本発明の半導体パッケージの1実施例の部分斜視図である。
第2図は、第1図に示されている実施例の側部断面図である。
第3図は、本発明の別の実施例の側部断面図である。
第4図は、本発明のさらに別の実施例の側部断面図である。
第5図は、本発明のさらに別の実施例の側部断面図である。
詳細な説明
以下の説明において、本発明の完全な理解を得るため、多重半導体ダイを搭載したパッケージの特定の詳細を説明する。しかし、これらの特定の詳細が本発明を実施するために必ずしも必要でないことは、当前記分野の専門家には明らかであろう。本発明を不必要に曖昧にしないため、他の例では、公知の方法、材料、処理技術等を詳細に説明しない。
第1図を参照すると、本発明の多重半導体ダイパッケージの1実施例の部分斜視図が示されている。パッケージは、ダイ取り付けパドル20及び前記パドル20付近まで延出しているがそれに接触しない複数のリードフィンガ21を含むリードフレームを備えている。リードフレームは、従来の実装技術に従って標準通りに構成され、ダイパドル20はリードフレームの中心に配置され、1箇所または複数箇所で固定された矩形のプラットフォームである。第1図の実施例では、パドル20及びリードフィンガ21は同一の基本平面上に位置して、同一材料で形成されている。
第1図をさらに参照すると、実質的にウェハ状の薄い矩形立体を含む第1半導体ダイ22が示されており、その上表面23に集積回路が形成されている。ダイ22の下側すなわち裏表面24は、フレキシブル接続回路27に取り付けられている。図面からわかるように、パドル20は、フレキシブル回路27及び半導体ダイ22よりも大きい。
本発明の1実施例によれば、フレキシブル(「フレックス」)回路27はパドル20の上下の主表面に接着される。例えば、フレックス回路27は通常は接着剤で上側主表面に接着され、パドルの側部に巻き付けられてから、パドル20の下側主表面に接着される。パドルの上下の主表面は実質的に互いに平行であると共に、側面に対して直角であることがわかる。
フレックス回路27は、様々な方法を用いてパドル20に接着することができる。例えば、フレックス回路27に接着層を設けることによって、パドル表面に直接取り付けることができるようにしてもよい。あるいは、従来の接着剤を用いてフレックス回路27を接着してもよい。ポリイミド接着剤を用いてフレキシブル回路27をパドル20の表面に密着状態に当てて取り付けることによって、パドル20とフレックス回路27との間に気泡が形成されないようにすることができる。
フレックス回路27は、複数組のボンディングパッド28に接続された複数の接続部で構成されている。第1図は、パドル20の上表面に半導体ダイ22用のダイ取り付け領域を形成するようにフレックス回路27の周囲に配置された1組のボンディングパッド28を示している。同様に、別組のボンディングパッド28が、パドル20の下表面に取り付けられた第2半導体ダイ用の第2ダイ取り付け領域を形成するように配置されている(第2図を参照)。
フレックス回路27の接続線をすべて、パドル20の側部全体に延在する可撓性絶縁材料内に埋め込むことによって、パドル20の上表面に配置された第1組のボンディングパッド28とパドル20の下表面に配置された第2組のボンディングパッド28との間を電気的に接続するようにしてもよい。一般的に、フレックス回路27は厚さ0.0015インチ程度であり、リードフィンガ21をパドル20の一方側から分離させている空間に容易にはめ込まれる。
半導体ダイ22の前表面上には、一般的にダイの外周に沿ってに分散された複数の入出力(I/O)ボンディングパッド25を含む集積回路が形成されている。一実施例によれば、一般的に金またはアルミニウムからなる極細のワイヤ31を用いて、I/Oボンディングパッド25をボンディングパッド28及びリードフィンガ21の両方またはいずれか一方に電気的に接続している。
第2図は、第1図のパッケージの切断線30−30’に沿った側部断面図である。図面からわかるように、第2図は、パドル20の上面に対してフレックス回路27上に取り付けられた半導体ダイ22を示している。フレックス回路27は、パドル20の側部35に巻き付けられており、第2半導体ダイ23用のもうひとつのダイ取り付け領域を形成する第2組のボンディングパッド28を備えている。半導体ダイ23は、パドル20の下側主表面に対して取り付けられている。
半導体ダイ22及び23をフレックス回路絶縁材料に取り付けるかわりに、変更例として、ダイ取り付け領域をフレックス回路27から取り除き、対応するダイをはめ込むのに十分な大きさの開口を形成する。そのような実施例が第5図に示されており、半導体ダイ22及び23が開口29内においてパドル20に対して直接取り付けられている。フレックス回路27は依然としてパドル20に積層されているが、フレックス回路の材料がダイをパドルから断熱していないので、熱伝導性が向上する。このため、この変更例は電力損失が大きいICに特に適している。
第2図の実施例では、集積回路が半導体ダイ22及び23の外表面に形成されている。各ダイは、回路を備えていない裏面を有している。本発明によれば、半導体ダイ22及び23の裏面は、パドル20の上下の主表面に積層されたフレックス回路27に対して取り付けられている。言い換えると、半導体ダイ22及び23の表面に形成された集積回路は露出して、ワイヤボンディングが可能である。それぞれのダイの様々なI/Oボンディングパッド25からフレックス回路27上のボンディングパッド28へワイヤ31を介して接続される。本発明に従った製造処理中に、様々なワイヤボンディング方法を用いることができることを理解されたい。
変更実施例では、公知の「フリップチップ」取り付け法を用いて一方または両方のダイをフレックス回路に対してフェースダウンで取り付けることができる。例えば、第4図は、「フリップチップ」式にダイ22及び23をフレックス回路27に当ててフェースダウン取り付けを行った構造を示している。フリップチップ取り付けでは、集積回路のボンディングパッド25上にはんだバンプ41を形成する。フレックス回路27は、ダイをフレックス回路基板に当ててフェースダウン取り付けを行った時、はんだバンプ41がフレックス回路のボンディングパッド28(または同様な金属接続点)と整合するように形成されている。それにより、ダイ22及び23のそれぞれの表面が、パドル20の上下表面に積層されたフレックス回路の部分と隣接する。
このように、フリップチップ取り付けは、集積回路をフレックス回路に接続するためのワイヤボンディングをなくすことができる。もちろん、ワイヤ31はフレックス回路27を(例えば付加的なボンディングパッド28を介して)フレームのリードフィンガ21に接続するためにやはり必要である。
再び第2図を参照すると、その実施例に示されているパッケージの製造に有益な方法の一例は、以下の工程を含むであろう。まず、フレックス回路27をパドル20に接着した後、裏側ダイ(半導体ダイ23)をパドル20の下表面にフレックス回路27のダイ取り付け領域上で接着する。ダイ23は、通常のエポキシ樹脂を用いて取り付けることができる。次に、ワイヤ31をダイ23上に形成された集積回路のI/Oパッド25とフレックス回路27上の対応するボンディングパッド28に接合する。フレックス回路27上のボンディングパッド28は、元来それぞれの半導体ダイに適した形状になっている。
暗号化システムにおいて本発明の半導体パッケージを実現する場合、半導体ダイ22及び23間の接続部の数が最大になり、ダイ22からリードフィンガ21への接続部の数が最小になる。例えば、ダイ22及び23間の高感度アドレス及びデータ線接続は、ボンディングパッド25からボンディングパッド28へワイヤボンディングを介して行われるが、フィンガ21には接続されない。ダイ22の場合のパッド25からパッド28及びリードフィンガ21へのワイヤ接続は、電源線及び基本I/O信号に限定される。
パッド28組間の接続経路の設計は、通常、集積回路のI/Oボンディングパッド25の位置決め及び経路パターンの規定を伴う従来の方法に較べて比較的単純で低コストの作業である。本発明の好都合な特徴の1つは、ダイ上に形成されるICに変更を加える必要がないことであり、唯一の実質的な必要事項は、十分なダイ取り付け領域を準備できるように、フレックス回路27のボンディングパッド28をダイ23の縁部より外側に分散させることである。さらに、半導体ダイ23をリードフィンガ21に接続するためにワイヤ31をまったく使用していないことに注意されたい。言い換えると、半導体ダイ23はフレックス回路27に接続されているだけである。本発明のこの特徴は、データセキュリティ計画を好都合に実現できるようにする。
ダイ23をフレックス回路27に取り付けてワイヤボンディングを行った後、リードフレームを裏返して、同じ処理を半導体ダイ22に対して繰り返す。作業の唯一の違いは、ワイヤ31を用いてダイ22の集積回路をフレックス回路27及びリードフィンガ21の両方に接続することである。例えば、ダイ22上のボンディングパッド25の一部はリードフィンガ21だけに接続され、他のものはフレックス回路27のパッド28だけに接続され、さらに別のものはパッド28及びフィンガ21の両方に接続されるようにすることができる。すべてのワイヤボンディングを完了した後、半導体ダイ、パドル及びフィードフィンガは、一般的にプラスチックから成る実装材50内に封止される。部材を封止するために使用される処理工程は公知であり、実装業界では標準的である。
最大限に侵入防止を行うため、封止処理の前にセキュリティコーティング40を塗布することによって半導体ダイの両方を覆う。本発明のこの特徴が第2図に示されており、セキュリティコーティング40は、集積回路の物理的改ざんを防止するためにダイを包み込む材料からなる絶縁保護コーティングである。1つの実施例では、ポリマーカプセルがセキュリティコーティング40として使用される。理想的には、使用材料は可視光線または他の透過性放射線、例えばX線を透過しないようにする。セキュリティコーティング40の目的は、パッケージ内に収容されている集積回路を物理的に保護することである。従って、セキュリティコーティング40として使用される材料はいずれも、半導体ダイの表面に付着する性質を備え、コーティング40を貫通しようとすると、その内部の集積回路も相当に破壊されてしまうようにする必要がある。
前述したように、本発明は、暗号化/解読システムを実行するための優れたパッケージを提供している。本発明のパッケージはまた、相補機能を備えた2つ以上のダイを同一リードフレーム内に組み込むのに最適である。例えば、第2図の半導体ダイ22は、マイクロプロセッサまたはマイクロコントローラデバイスを含む一方、半導体ダイ23は不揮発性メモリを含むことができる。半導体ダイ23はフレックス回路27のパッド28に接続されているだけであるため、半導体ダイ22の集積回路を通してのみそれにアクセスできる。これによって、侵入者が半導体ダイ23に記憶されているデータ、プログラム、コードまたはアルゴリズムにアクセスするのを実質的に不可能にすることができる暗号化/解読技術を考案する際に大きなフレキシビリティを与えることができる。さらに、セキュリティコーティング40の使用と組み合わせて半導体ダイ22及び23を背面取り付けにすることによって、複製を意図する者がいずれかの半導体ダイと探る目的でパッケージに物理的に侵入することが非常に困難になる。このため、本発明は、最大限のデータ機密保護を必要とする特別な用途に最適である。さらに、様々な素子またはダイを収容するためにはフレックス回路27を変更するだけでよいので、本発明は様々な半導体デバイス及びパッケージ形式に使用できるように容易に適応させることができる。
次に第3図を参照すると、本発明の多重ダイパッケージの別の実施例の断面図が示されている。第3図では、1つの半導体ダイ22が、フレックス回路27の、パドル20の上側主表面に積層された部分に対して取り付けられている。2つの半導体ダイ23及び33が、フレックス回路27の、パドル20の下側主表面に積層された部分に対して取り付けられている。第3図の実施例の場合のフレックス回路ボンディング、ダイ取り付け及びワイヤボンディングの各作業は、第1図及び第2図に関連して説明されているものと同じである。
本発明に従って単一パッケージ内に搭載できるチップの数に関する唯一の制限は、パドル20が個々のダイを収容できる十分な大きさでなければならないことであることは、当該分野の専門家であれば理解できるであろう。3つ以上の半導体ダイをパドル20に対して取り付ける場合、それぞれのダイ用に個別のダイ取り付け領域を形成できるように配置されたボンディングパッド28組をフレックス回路27に設ける必要がある。半導体ダイの相対寸法には厳密な制限がまったくないことに注意することが重要である。すなわち、半導体ダイ22は、半導体ダイ23よりも大きくても小さくてもよく(第2図)、半導体ダイ22は半導体ダイ23及び33を合計したもの(第3図)よりも大きくても小さくてもよい。
上記説明を読めば、当前記分野の通常の技量を有する者には本発明の多くの変更及び変形が明らかになるであろうが、説明のために示されている特定の実施例は何等制限を加えるものではないことを理解されたい。従って、図面の詳細に関する説明は、請求の範囲を制限するためのものではなく、請求の範囲は本発明の本質であると見なされる特徴だけを記載している。
Claims (5)
- 複数のリードフィンガと、側部及びほぼ平行な第1及び第2主表面を備えた本体を有するパドルとを含むリードフレームと、
前記パドルの第1及び第2主表面の積層されるとともに該パドルの側部に巻き付けられ、前記第1主表面上に配置された第1組の接続部と前記第2主表面上に配置された第2組の接続部とを備えた複数の接続部が埋め込まれているフレキシブル回路と、
各々が集積回路が形成された表面と裏面とを備えて、その裏面がそれぞれ前記パドルの第1主表面及び第2主表面上に直接接着されている第1及び第2半導体ダイと、
前記第1半導体ダイの集積回路を前記第1組の接続部及びリードフィンガに電気的に接続する第1組の接続手段と、
前記第2半導体ダイの集積回路を前記第2組の接続部に電気的に接続する第2組の接続手段と、
前記半導体ダイを封止するケーシングと、
から構成され、
前記第1半導体ダイの集積回路は、前記第1組の接続手段、前記リードフィンガを介して外部回路に接続されるとともに、前記第1組の接続手段、前記フレキシブル回路の接続部および前記第2組の接続手段を介して前記第2半導体ダイの集積回路に接続されるよう構成され、かつ
前記第2半導体ダイの集積回路は、前記第2組の接続手段、前記フレキシブル回路の接続部および前記第1組の接続手段を介して前記第1半導体ダイの集積回路に接続されるよう構成され、さらに
前記パドル及び第1及び第2半導体ダイの各々は互いに関連する横寸法を備えており、且つこのパドルの横寸法は前記第1及び第2半導体ダイのいずれの横寸法よりも大きいことを特徴とする半導体パッケージ。 - 複数のリードフィンガと、側部及びほぼ平行な第1及び第2主表面を備えた本体を有するパドルとを含むリードフレームと、
前記パドルの第1及び第2主表面に積層されるとともに該パドルの側部に巻き付けられ、前記第1主表面上に配置された第1組の接続部と前記第2主表面上に配置された第2組の接続部とを備えた複数の接続部が埋め込まれているフレキシブル回路と、
各々が集積回路が形成された表面と裏面とを備えて、その裏面がそれぞれパドルの第1主表面及び第2主表面上の前記フレキシブル回路に接着されている第1及び第2半導体ダイと、
前記第1半導体ダイの集積回路を前記第1組の接続部及びリードフィンガに電気的に接続する第1組の接続手段と、
前記第2半導体ダイの集積回路を前記第2組の接続部に電気的に接続する第2組の接続手段と、
前記半導体ダイを封止するケーシングと、
から構成され、
前記第1半導体ダイの集積回路は、前記第1組の接続手段、前記リードフィンガを介して外部回路に接続されるとともに、前記第1組の接続手段、前記フレキシブル回路の接続部および前記第2組の接続手段を介して前記第2半導体ダイの集積回路に接続されるよう構成され、かつ
前記第2半導体ダイの集積回路は、前記第2組の接続手段、前記フレキシブル回路の接続部および前記第1組の接続手段を介して前記第1半導体ダイの集積回路に接続されるよう構成され、さらに
前記パドル及び第1及び第2半導体ダイの各々は互いに関連する横寸法を備えており、且つこのパドルの横寸法は前記第1及び第2半導体ダイのいずれの横寸法よりも大きいことを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項1または2記載の半導体パッケージにおいて、
前記第1組及び第2組の接続手段がワイヤボンディングであることを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項1または2記載の半導体パッケージにおいて、
電源信号と基本I/O信号が前記第1半導体ダイの集積回路とリードフィンガとの間で転送され、アドレス及びデータ信号が前記第1半導体ダイの集積回路と第2半導体ダイの集積回路との間で転送されることを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項1または2記載の半導体パッケージにおいて、
前記第1半導体ダイの集積回路がコントローラデバイスであり、前記第2半導体ダイの集積回路が、前記コントローラデバイスのためのプログラム、コード及びアルゴリズムの少なくとも一つを記憶するメモリデバイスであることを特徴とする半導体パッケージ。
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Families Citing this family (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0137826B1 (ko) * | 1994-11-15 | 1998-04-28 | 문정환 | 반도체 디바이스 패키지 방법 및 디바이스 패키지 |
US7037426B2 (en) * | 2000-05-04 | 2006-05-02 | Zenon Environmental Inc. | Immersed membrane apparatus |
US5677567A (en) * | 1996-06-17 | 1997-10-14 | Micron Technology, Inc. | Leads between chips assembly |
US6037661A (en) * | 1996-12-20 | 2000-03-14 | International Business Machines | Multichip module |
US6054764A (en) * | 1996-12-20 | 2000-04-25 | Texas Instruments Incorporated | Integrated circuit with tightly coupled passive components |
JP3545200B2 (ja) * | 1997-04-17 | 2004-07-21 | シャープ株式会社 | 半導体装置 |
JP3359846B2 (ja) * | 1997-07-18 | 2002-12-24 | シャープ株式会社 | 半導体装置 |
US5990549A (en) * | 1998-02-06 | 1999-11-23 | Intel Corporation | Thermal bus bar design for an electronic cartridge |
JP3077668B2 (ja) * | 1998-05-01 | 2000-08-14 | 日本電気株式会社 | 半導体装置、半導体装置用リードフレームおよびその製造方法 |
GB2341482B (en) * | 1998-07-30 | 2003-07-09 | Bookham Technology Ltd | Lead frame attachment for integrated optoelectronic waveguide device |
SG88741A1 (en) * | 1998-09-16 | 2002-05-21 | Texas Instr Singapore Pte Ltd | Multichip assembly semiconductor |
US6049465A (en) * | 1998-09-25 | 2000-04-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | Signal carrying means including a carrier substrate and wire bonds for carrying signals between the cache and logic circuitry of a microprocessor |
JP3886659B2 (ja) * | 1999-01-13 | 2007-02-28 | 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP3847997B2 (ja) | 1999-01-22 | 2006-11-22 | 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及び両面mcpチップ |
US6890798B2 (en) | 1999-06-08 | 2005-05-10 | Intel Corporation | Stacked chip packaging |
US6229219B1 (en) * | 2000-03-29 | 2001-05-08 | Advanced Micro Devices, Inc. | Flip chip package compatible with multiple die footprints and method of assembling the same |
US6560117B2 (en) | 2000-06-28 | 2003-05-06 | Micron Technology, Inc. | Packaged microelectronic die assemblies and methods of manufacture |
US6552910B1 (en) | 2000-06-28 | 2003-04-22 | Micron Technology, Inc. | Stacked-die assemblies with a plurality of microelectronic devices and methods of manufacture |
US6525413B1 (en) * | 2000-07-12 | 2003-02-25 | Micron Technology, Inc. | Die to die connection method and assemblies and packages including dice so connected |
US7298031B1 (en) * | 2000-08-09 | 2007-11-20 | Micron Technology, Inc. | Multiple substrate microelectronic devices and methods of manufacture |
US6607937B1 (en) * | 2000-08-23 | 2003-08-19 | Micron Technology, Inc. | Stacked microelectronic dies and methods for stacking microelectronic dies |
US6858922B2 (en) * | 2001-01-19 | 2005-02-22 | International Rectifier Corporation | Back-to-back connected power semiconductor device package |
US20040080056A1 (en) * | 2001-03-30 | 2004-04-29 | Lim David Chong Sook | Packaging system for die-up connection of a die-down oriented integrated circuit |
US6891257B2 (en) * | 2001-03-30 | 2005-05-10 | Fairchild Semiconductor Corporation | Packaging system for die-up connection of a die-down oriented integrated circuit |
US7573136B2 (en) * | 2002-06-27 | 2009-08-11 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor device assemblies and packages including multiple semiconductor device components |
US6906415B2 (en) * | 2002-06-27 | 2005-06-14 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor device assemblies and packages including multiple semiconductor devices and methods |
US7132311B2 (en) * | 2002-07-26 | 2006-11-07 | Intel Corporation | Encapsulation of a stack of semiconductor dice |
JP3846437B2 (ja) * | 2003-03-17 | 2006-11-15 | 株式会社日立製作所 | 自動車用コントロールユニット |
US7057116B2 (en) * | 2003-06-02 | 2006-06-06 | Intel Corporation | Selective reference plane bridge(s) on folded package |
TW200501358A (en) * | 2003-06-20 | 2005-01-01 | Macronix Int Co Ltd | Stacking dual-chip packaging structure |
US7368320B2 (en) * | 2003-08-29 | 2008-05-06 | Micron Technology, Inc. | Method of fabricating a two die semiconductor assembly |
US8468337B2 (en) * | 2004-03-02 | 2013-06-18 | International Business Machines Corporation | Secure data transfer over a network |
US7564976B2 (en) * | 2004-03-02 | 2009-07-21 | International Business Machines Corporation | System and method for performing security operations on network data |
US20050245062A1 (en) * | 2004-04-29 | 2005-11-03 | Jeff Kingsbury | Single row bond pad arrangement |
US7816182B2 (en) * | 2004-11-30 | 2010-10-19 | Stmicroelectronics Asia Pacific Pte. Ltd. | Simplified multichip packaging and package design |
TWI262564B (en) * | 2005-04-29 | 2006-09-21 | Holtek Semiconductor Inc | Multi-functional chip construction |
KR100631959B1 (ko) * | 2005-09-07 | 2006-10-04 | 주식회사 하이닉스반도체 | 적층형 반도체 패키지 및 그 제조방법 |
US7816778B2 (en) * | 2007-02-20 | 2010-10-19 | Micron Technology, Inc. | Packaged IC device comprising an embedded flex circuit on leadframe, and methods of making same |
JP2009038142A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Elpida Memory Inc | 半導体積層パッケージ |
JP2009295959A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-12-17 | Panasonic Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
CN102906874B (zh) * | 2010-05-21 | 2015-11-25 | 三菱电机株式会社 | 功率半导体模块 |
TWI406376B (zh) * | 2010-06-15 | 2013-08-21 | Powertech Technology Inc | 晶片封裝構造 |
US8951847B2 (en) | 2012-01-18 | 2015-02-10 | Intersil Americas LLC | Package leadframe for dual side assembly |
KR101718321B1 (ko) * | 2014-12-23 | 2017-03-21 | 인텔 코포레이션 | 패키지 온 패키지 제품을 위한 와이어 리드를 포함하는 적층 패키지 어셈블리, 컴퓨팅 디바이스 및 집적 패키지 설계 방법 |
US11328984B2 (en) * | 2017-12-29 | 2022-05-10 | Texas Instruments Incorporated | Multi-die integrated circuit packages and methods of manufacturing the same |
US11088055B2 (en) * | 2018-12-14 | 2021-08-10 | Texas Instruments Incorporated | Package with dies mounted on opposing surfaces of a leadframe |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63107149A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-12 | Hitachi Ltd | マルチチツプモジユ−ル |
JPS63244654A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-12 | Toshiba Corp | 樹脂封止型集積回路装置 |
FR2619959B1 (fr) * | 1987-08-31 | 1991-06-14 | Thomson Semiconducteurs | Circuit de detection de lumiere |
JP2522524B2 (ja) * | 1988-08-06 | 1996-08-07 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
JPH02105446A (ja) * | 1988-10-13 | 1990-04-18 | Nec Corp | 混成集積回路 |
JPH02201948A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-10 | Toshiba Corp | 半導体装置パッケージ |
JPH03105952A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-02 | Nec Kyushu Ltd | 表面実装型半導体装置 |
US5012323A (en) * | 1989-11-20 | 1991-04-30 | Micron Technology, Inc. | Double-die semiconductor package having a back-bonded die and a face-bonded die interconnected on a single leadframe |
US5019893A (en) * | 1990-03-01 | 1991-05-28 | Motorola, Inc. | Single package, multiple, electrically isolated power semiconductor devices |
JPH0439955A (ja) * | 1990-06-05 | 1992-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JPH0449650A (ja) * | 1990-06-19 | 1992-02-19 | Oki Electric Ind Co Ltd | モールドパッケージ型ハイブリッドic |
US5053992A (en) * | 1990-10-04 | 1991-10-01 | General Instrument Corporation | Prevention of inspection of secret data stored in encapsulated integrated circuit chip |
JP2593956B2 (ja) * | 1990-10-18 | 1997-03-26 | シャープ株式会社 | 絶縁ゲート型電界効果トランジスタの高しきい値電圧化方法 |
JPH04155856A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-05-28 | Hitachi Ltd | 混成集積回路装置およびその製造方法 |
JPH0536893A (ja) * | 1991-08-02 | 1993-02-12 | Nec Corp | 混成集積回路 |
JPH05136303A (ja) * | 1991-11-08 | 1993-06-01 | Nec Corp | 電子デバイス用ヒートシンク |
JP2843464B2 (ja) * | 1992-09-01 | 1999-01-06 | シャープ株式会社 | 固体撮像装置 |
US5615475A (en) * | 1995-01-30 | 1997-04-01 | Staktek Corporation | Method of manufacturing an integrated package having a pair of die on a common lead frame |
-
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