JP3711804B2 - 回路板の製造方法及びマスクフィルム用取付孔穿設装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路板の製造方法、及びこの回路板の製造方法において使用することができるマスクフィルム用取付穴穿設装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、多層プリント配線板の内層材等として使用される回路板をアディティブ法やサブトラクティブ法にて製造するにあたっては、基材にメッキレジストやエッチングレジスト等のレジスト層を形成するにあたり、銅張積層板等の基材の表面に熱硬化性樹脂を設け、露光マスクを介して露光した後、現像することによりレジスト層を形成していた。
【0003】
このような回路板の製造に用いる露光マスクを作製するにあたっては、例えば図11のように、ポリエチレン製等のマスクフィルム1′にマスクパターン2を描画し、このマスクパターンを基準にしてマスクフィルム1′に所望のフィルム形状の外周形状に相当するケガキ線21をけがいて、このケガキ線21に沿ってマスクフィルム1′をカッター等にて切断し、この切断端面を基準にしてマスクフィルム1′に取付孔4′を形成していた。そしてこのマスクフィルム1′を、取付ピンが形成されたフィルム取付枠に、取付孔4′に取付ピンを挿通させることにより取付けて、露光マスクを構成していた。そしてこのようにして構成された露光マスクを基材に対して位置合わせした状態で基材を露光していたものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のようにして露光マスクを構成すると、マスクフィルムにケガキ線をけがく工程、マスクフィルムを切断する工程及び取付孔を穿設する工程における精度誤差が累積して、取付孔の位置精度の誤差が大きくなるものであった。そのため、この取付孔にてマスクフィルムを取付枠に取付けることにより露光マスクを構成すると、露光マスクにおけるマスクパターンの配置位置の誤差も大きくなるものであり、このような露光マスクを基材に対して位置合わせして基材を露光すると基材に形成されるレジスト層の形成精度が悪化し、最終的に基材に形成される回路の形成精度が悪化するものであった。この回路の形成精度の悪化は、特に基材の両面に回路形成を行う場合に、基材の一面側に配置する露光マスクに基材の他面側に配置する露光マスクを位置合わせする必要があり、基材に対する回路の位置ずれの原因となって、問題となるものであった。
【0005】
本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、露光マスクにおけるマスクパターンの位置精度を向上して露光により形成されるレジスト層の形成精度を向上し、基材に形成される回路の形成精度を向上することができる回路板の製造方法、及びこの回路板の製造方法において用いることができるマスクフィルム用取付孔穿設装置を提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に係る回路板の製造方法は、基材Bにアディティブ法又はサブトラクティブ法を施して回路形成を行うにあたり、感光性材料が設けられた基材Bを露光現像してレジスト形成を行う回路板の製造方法において、マスクフィルム1にマスクパターン2と基準マーク3を描画し、基準マーク3を基準にしてマスクフィルム1に取付孔4を穿設し、フィルム取付枠5に形成された取付ピン7に取付孔4を挿通させることによりマスクフィルム1をフィルム取付枠5に取付けて露光マスクAを構成し、感光性材料が設けられた基材Bの回路形成面側に露光マスクAを配置し、露光マスクAを介して基材Bを露光することを特徴とするものである。
【0007】
また請求項2の発明は、請求項1の構成に加えて、マスクフィルム1のマスクパターン2及び基準マーク3が描画されていない領域に遮光部6を形成することを特徴とするものである。
【0008】
また本発明の請求項3に係るマスクフィルム1用取付孔穿設装置は、マスクフィルム1が載置される作業台9と、作業台9上に載置されたマスクフィルム1に形成された基準マーク3を検知する検知手段と、検知手段によって検知された基準マーク3の画像14を表示する表示手段と、作業台9上に載置されたマスクフィルム1に取付孔4を穿設する穿設手段とを具備して成ることを特徴とするものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【0010】
マスクフィルム1は図4に示すように、ポリエチレンフィルム等のフィルムにマスクパターン2及び基準マーク3を描画することにより作製される。マスクパターン2及び基準マーク3の描画はレーザプロッタ等にて行うことができる。
【0011】
ここで基準マーク3は、マスクパターン2と同時に描画されるものであり、また基準マーク3の描画位置は、マスクパターン2の描画位置を基準にして設定される。具体的には、例えばCAD等を用いて設計したマスクパターン2のデータと、このマスクパターン2の配置位置に対する基準マーク3のデータをXY座標軸系で規定したデータを元にレーザプロッタを数値制御し、マスクパターン2及び基準マーク3を描画するものである。
【0012】
基準マーク3はマスクフィルム1上のマスクパターン2が形成されていない領域に少なくとも二個形成される。例えば基準マーク3を平面視矩形状に形成されたマスクフィルム1の四個の隅部のうち、対向する一対の各隅部付近に形成することができ、このとき基準マーク3はマスクフィルム1の中心を通る直線上に形成されると共にこのマスクフィルム1の中心からそれぞれ等距離の位置に形成される。
【0013】
このマスクフィルム1には、図5に示すように、基準マーク3の位置を基準にして、マスクパターン2が形成されていない領域に、複数個(図示の例では二個)の取付孔4が穿設される。
【0014】
このようにして形成されたマスクフィルム1は、図1に概略的に示すように、画像検出器10により検出され、画像検出装置12にて構成された基準マーク3の画像を基準にして所定の配置位置に配置し、この状態で穿設用ツール13によって取付孔4が穿設される。そしてこの取付孔4にフィルム取付枠5の取付ピン7を挿通させることによりマスクフィルム1をフィルム取付枠5に取付けて、露光マスクAを構成するものである。以下、具体的に説明する。
【0015】
マスクフィルム1に取付孔4を穿設するためのマスクフィルム用取付孔穿設装置(以下、「穿設装置」と略称することがある。)を図2に示す。この穿設装置にはマスクフィルム1が配置される作業台9が配設されている。またこの基準マーク3を検知する検知手段として、作業台9の上方に、各基準マーク3ごとにCCDカメラ等のような、検出対象の画像14を所定階調の濃淡度で認識する画像検出器10が配設されており、図示の例では一対の画像検出器10a,10bが配設されている。また各画像検出器10a,10bにて所定階調の濃淡度で検出された検出結果を所定の閾値で二値化処理することにより画像14を構成する画像認識装置12が配設されている。また、画像認識装置12にて構成された画像14を表示するモニタ11が配設されている。このモニタ11は、各画像検出器10a、10bごとに配設され、本実施形態では二個のモニタ11a,11bが配設されている。また作業台9に配置されたマスクフィルム1に取付孔4を穿設するための一対の円柱形状のパンチ13aを具備する穿設用ツール13が配設されている。ここでパンチ13aは、各画像検出器10a,10bの視野内に設定された各基準点17を結ぶ線分18の中点を通ると共に一対のパンチ13aを結ぶ直線20と直交する基準線19の両側に、基準線19からそれぞれ等距離の位置に配設されている。このパンチ13a,13a間の間隔は例えば350mmとし、各パンチ13aの直径は5mmとする。またモニタ11には、画像検出器10の視野内に設定された基準点17を示すための基準線が表示される。すなわち、モニタ11に縦線20aと横線20bとからなる十字状の基準線が表示され、この縦線20aと横線20bの交点にて各画像検出器10a,10bの視野内に設定された各基準点17が示される。この基準点17は、作業台9上にマスクフィルム1が所定の配置位置に配置された状態における基準マーク3の中心の配置位置に設定される。
【0016】
このようにして構成される穿設装置を用いてマスクフィルム1に取付孔4を穿設するにあたっては、まず作業者はモニタ11を目視しながら各基準マーク3が対応する各画像検出器10a,10bの視野内に配置されるようにマスクフィルム1を作業台9上に配置する。そしてモニタ11にて基準線と基準マーク3との位置関係を目視しながら作業台9上におけるマスクフィルム1の配置位置を手動にて調節し、各基準マーク3の中心が対応する各画像検出器10a,10bの視野内における各基準点17に配置されるようにするものである。
【0017】
また、マスクフィルム1が延びるなどして基準マーク3の配置位置に誤差が生じている場合は、基準マーク3の配置位置と基準点17との間の配置関係を所定の規則に則って調整することにより、マスクフィルム1を所定の位置に配置する。すなわち、例えば各モニタ11に表示された各基準マーク3の中心の配置位置が双方とも縦線20aに対して外側に配置されると共に横線20bに対して外側に配置され、あるいは各基準マーク3の中心の配置位置が双方とも縦線20aに対して内側に配置されると共に横線20bに対して内側に配置されるようにし、このときの基準マーク3の中心の配置位置が各縦線20a及び横線20bから等距離の位置に配置されるようにするものである。このようにすると、マスクフィルム1の基準マーク3同士を結ぶ線分と基準点17同士を結ぶ線分とが一致すると共にその中点同士が一致するようにマスクフィルム1のマスクパターン2が所定の位置に配置されるものであり、作業台9上にマスクフィルム1のマスクパターン2の配置位置を、基準マーク3を基準にして常に所定の位置に配置することができる。
【0018】
そして、上記のように作業台9上にマスクフィルム1を、マスクパターン2が所定の配置位置に配置されるように配置したら、穿設用ツール13を操作してパンチ13aにてマスクフィルム1に取付孔4を穿設する。
【0019】
このようにしてマスクフィルム1に取付孔4を形成すると取付孔4は、マスクパターン2に対して所定の位置関係になるように形成され、取付孔4の形成位置精度が高いものであり、後述するように露光工程における基材Bに対するマスクパターン2の露光器に対する配置位置の位置精度を向上することができ、基材Bに対する回路の形成精度を向上することができるものである。特に基材Bの表裏両面を露光するために表面用及び裏面用のマスクフィルム1をそれぞれ形成する場合に、各マスクフィルム1におけるマスクパターン2に対する取付孔4の配置関係を精度良く揃えることができ、後述するように基材Bの表裏両面を露光する場合、基材Bの表裏両面にマスクパターン2を配置する場合の表裏のマスクパターン2の位置合わせを正確に行うことができ、基材Bの表裏に形成される回路の基材に対する位置ずれを減ずることができるものである。
【0020】
また、上記の穿設装置を、マスクフィルム1の配置位置の位置合わせを自動制御にて行うことができるように構成することもできる。この場合、作業台9は、水平面上の直交するXY両軸方向に作業台9を移動させるアクチュエータ機構等を備えたXYテーブルとして形成される。また画像検出器10にて検出された基準マーク3の画像14から基準マーク3の位置ずれを検出し、その検出結果に基づいて数値制御によりアクチュエータ機構を制御して作業台9を移動させる制御部を設けるものである。具体的な制御方法を例示すると、まず作業者はモニタ11を目視しながら基準マーク3が画像検出器10の視野内に配置されるようにマスクフィルム1を作業台9上に配置する。画像認識装置12にて構成された基準マーク3の画像14は制御部に入力され、このとき制御部は、この基準マーク3の画像14と、予め制御部に入力されているマスクフィルム1のパターン形状とを照会して、マスクパターン2の中心の配置位置を導出する。次に、制御部は、二つのマスクパターン2の配置位置を元にして作業台9をスライド移動させ、マスクフィルム1を所定の位置に配置する。このとき制御部は、例えば作業台9上にXY直交座標軸を設定し、一方の基準マーク3を検知する画像検出器10aの視野内の基準点17を原点とするこの基準マーク3の中心の座標(x1、y1)と、他方の基準マーク3を検知する画像検出器10bの視野内の基準点17を原点とするこの基準マーク3の中心の座標(x2、y2)を導出し、この座標から、作業台9のスライドをX軸方向に(x1+x2)/2、Y軸方向に(y1+y2)/2移動させるものである。このようにすると、マスクフィルム1の基準マーク10同士を結ぶ線分の中点が、基準点17同士を結ぶ線分の中点に配置され、マスクフィルム1のマスクパターン2が所定の位置に配置される。
【0021】
そして、上記のように作業台9上にマスクフィルム1を、マスクパターン2が所定の配置位置に配置されるように配置したら、穿設用ツール13を操作してパンチ13aにてマスクフィルム1に取付孔4を穿設する。
【0022】
このようにマスクフィルム1の配置位置の位置合わせを自動制御にて行うと、取付孔4は、自動制御にてマスクパターン2に対して所定の位置関係になるように形成され、取付孔4の形成位置精度が高いものであり、しかも取付孔4の穿設工程における作業効率が高いものである。
【0023】
図7にフィルム取付枠5を示す。このフィルム取付枠5は、外枠5aと内板5bにて構成されている。
【0024】
外枠5aはその内側に形成される開口を囲む矩形状の枠として形成されており、金属にて形成されている。内板5bは、露光工程において用いられる光線を透過させる材質にて形成されるものであり、アクリル板なガラス板等の透明の板材等にて構成することができる。この内板5bは外枠5aの内側の開口を塞ぐように配設される。ここで内板5bは、マスクフィルム1と略同一の平面視形状を有する矩形状に形成されており、その一面にはマスクフィルム1の取付孔4に対応する一対の取付ピン7が一体に突設されると共に、この内板5bの一面側に開口する排気溝5cが凹設されている。この排気溝5cはマスクフィルム1を内板5bに配置した状態におけるマスクパターン2の配置位置を取囲むように形成されており、またこの排気溝5cと外枠5aの外側方とを連通する導入溝5dが形成されている。
【0025】
フィルム取付枠5にマスクフィルム1を取付けることにより露光マスクAを形成するにあたっては、図8、9に示すように、まずマスクフィルム1の取付孔4にフィルム取付枠5の取付ピン7を挿通させて、マスクフィルム1をフィルム取付枠5の内板5bの一面に配置する。この状態で導入溝5dを通じて排気溝5c内の空気を吸引することによりマスクフィルム1と内板5bとの間の空気を排気してマスクフィルム1と内板5bとを密着させる。更にマスクフィルム1と外枠5aとが隣接する部分にテープ8を貼着することによりマスクフィルム1をフィルム取付枠5に固定する。
【0026】
このようにして構成される露光マスクAにおいては、マスクフィルム1におけるマスクパターン2の形成位置と取付孔4の形成位置が所定の位置関係で精度良く形成されているため、フィルム取付枠5の取付ピン7に対するマスクパターン2の配置位置も、所定の位置関係で精度良く配置される。すなわち、露光マスクAの所定の位置にマスクパターン2が精度良く配置されるものである。
【0027】
銅張積層板等のような絶縁層の外側に導体層を設けた基材Bにアディティブ法やサブトラクティブ法を施して回路形成を行い、多層プリント配線板製造用の内層板等の回路板を形成する場合は、上記のように構成される露光マスクAを用いて感光性材料が設けられた基材Bを露光した後、現像することにより、基材Bにメッキレジストやエッチングレジストを形成することができる。
【0028】
基材Bに設けた感光性材料を露光するにあたっては、例えば図3に示すようにして行うことができる。すなわち紫外線照射装置等の露光器を備えた露光装置15に長尺の銅張積層板を繰出し、所定の配置状態に配置する。ここで基材Bの回路形成面には、紫外線硬化性樹脂からなるドライフィルムを貼着するなどして、感光性材料を設けておく。一方、露光マスクAを基材Bの回路形成面側に配置し、露光装置15に備えられているメカクランプ等のクランプ16にて固定する。このとき露光マスクAは、一対の取付ピン7を結ぶ直線と基材Bが繰出される方向とが平行となるように、基材Bに対して所定の位置に配置される。
【0029】
ここで基材Bの両面に回路を形成する場合は、図10に示すように、基材Bの両面にそれぞれ露光マスクAを配置するものである。この場合は、各露光マスクAは、一方の露光マスクAにおける取付ピン7の形成位置と、他方の露光マスクAにおける取付ピン7の形成位置とを位置合わせして配置するものである。このとき上述のように、両面に配置される各露光マスクAでは、マスクフィルム1におけるマスクパターン2に対する取付孔4の形成位置が精度良く揃っているので、表裏のマスクフィルム1の各マスクパターン2が互いに位置ずれなく配置されることとなり、基材Bの表裏における露光を位置ずれなく行うことができ、基材Bの表裏に形成される回路同士の位置ずれ防止することができるものである。
【0030】
そしてこの状態で露光器から露光マスクAを介して基材Bの回路形成面に紫外線等を照射することにより、基材Bの感光性材料を露光する。露光が終了したら、基材Bを一定量繰出して基材Bの露光に供する領域を更新し、繰返し露光を行うものである。
【0031】
ここで、マスクフィルム1の両端の、マスクパターン2が形成されていない領域に、図6に示すように、マスクパターン2及び基準マーク3を描画する際に同時に遮光部6をレーザプロッタにて描画しておくことにより、この遮光部6において露光器から照射される紫外線等が透過しないようにし、更に露光マスクAを基材Bに対して配置する際に基材Bの繰出し方向、すなわち基材Bの長尺方向に沿った両端に、この遮光部6を配置するようにすると、感光性材料の露光の際に紫外線等がマスクパターン2よりも基材Bの繰出し方向の前方側及び後方側において基材Bに照射されることを防ぐことができる。露光の際に基材Bの繰出し方向の前方側及び後方側に紫外線が照射されると、その部分には回路を形成することができなくなるが、遮光部6を形成したマスクフィルム1を用いるとこの回路形成不能な領域が発生することを防ぐことができ、基材B上の領域を無駄なく使用して回路形成を行うことができるものであり、一定量の基材Bを使用して作製される回路板の量を増大させることができるものである。
【0032】
この露光工程を経た基材Bは、炭酸ソーダ等からなる現像液にて処理するなどして現像し、レジストを形成する。
【0033】
次に、回路をサブトラクティブ法にて形成する場合は、このレジストをエッチングレジストとして用い、レジストの非形成部分の導体層をエッチング処理にて除去した後、レジストを剥離する。そして更に基材Bを所望の寸法に切断することにより回路板が得られる。
【0034】
また、回路をアディティブ法にて形成する場合はこのレジストをメッキレジストとして用い、レジストの非形成部分に電解メッキ法等により導体層を形成した後、レジストを剥離する。そして回路形成面にソフトエッチング処理を施して、回路を形成する。更に基材Bを所望の寸法に切断することにより回路板が得られる。
【0035】
このように本発明における回路板の製造方法では、回路形成のためのエッチングレジストやめっきレジストを形成するにあたっての露光処理を行うにあたり、基材Bに対してマスクパターン2を精度良く配置することができ、回路形成精度を向上することができるものである。
【0036】
【発明の効果】
上記のように本発明の請求項1に係る回路板の製造方法は、基材にアディティブ法又はサブトラクティブ法を施して回路形成を行うにあたり、感光性材料が設けられた基材を露光現像してレジスト形成を行う回路板の製造方法において、マスクフィルムにマスクパターンと基準マークを描画し、基準マークを基準にしてマスクフィルムに取付孔を穿設し、フィルム取付枠に形成された取付ピンに取付孔を挿通させることによりマスクフィルムをフィルム取付枠に取付けて露光マスクを構成し、感光性材料が設けられた基材の回路形成面側に露光マスクを配置し、露光マスクを介して基材を露光するものであり、露光マスクにおけるマスクフィルムの配置位置の位置精度を向上することができ、基材に回路形成用のエッチングレジストやめっきレジストを露光・現像工程によって形成するにあたり、このレジストの形成精度を向上することができるものである。従って、回路の形成精度を向上することができるものである。
【0037】
また請求項2の発明は、請求項1の構成に加えて、マスクフィルムのマスクパターン及び基準マークが描画されていない領域に遮光部を形成するものであり、露光マスクを介して基材を露光するにあたって、基材上のレジストを形成しない領域が露光されることを遮光部によって防止することができ、特に長尺の基材にその長尺方向に沿って回路を形成する場合に、基材上の回路形成領域の長尺方向の両端に回路形成不能な領域が発生することを防ぐことができ、基材上の領域を無駄なく使用して回路形成を行うことができるものである。
【0038】
また本発明の請求項3に係るマスクフィルム用取付孔穿設装置は、マスクフィルムが載置される作業台と、作業台上に載置されたマスクフィルムに形成された基準マークを検知する検知手段と、検知手段のによって検知された基準マークの画像を表示する表示手段と、作業台上に載置されたマスクフィルムに取付孔を穿設する穿設手段とを具備するものであり、表示手段に表示された基準マークを基準にして作業台上の所定の位置にマスクフィルムを配置し、この状態で穿設手段にてマスクフィルムに取付孔を穿設することができ、マスクフィルムに形成された基準マークに対して取付孔を所定の配置関係で位置精度良く形成することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る回路板の製造方法の一例を示す概念図である。
【図2】本発明に係るマスクフィルム用取付孔穿設装置の概略を示すものであり、(a)は作業台、画像検出装置及び穿設用ツールを示す平面図、(b)は一対の表示モニタを示す正面図である。
【図3】露光工程における基材と露光マスクの配置関係を示す概略の平面図である。
【図4】マスクフィルムの一例を示す平面図である。
【図5】同上のマスクフィルムの取付孔が形成された状態を示す平面図である。
【図6】マスクフィルムの他例を示す平面図である。
【図7】フィルム取付枠の一例を示す平面図である。
【図8】露光マスクの一例を示す平面図である。
【図9】同上の露光マスクを示す断面図である。
【図10】基材の両面に露光マスクを配置した状態を示す断面図である。
【図11】従来技術を示す平面図である。
【符号の説明】
A 露光マスク
B 基材
1 マスクフィルム
2 マスクパターン
3 基準マーク
4 取付孔
5 フィルム取付枠
6 遮光部
7 取付ピン
Claims (3)
- 基材にアディティブ法又はサブトラクティブ法を施して回路形成を行うにあたり、感光性材料が設けられた基材を露光現像してレジスト形成を行う回路板の製造方法において、マスクフィルムにマスクパターンと基準マークを描画し、基準マークを基準にしてマスクフィルムに取付孔を穿設し、フィルム取付枠に形成された取付ピンに取付孔を挿通させることによりマスクフィルムをフィルム取付枠に取付けて露光マスクを構成し、感光性材料が設けられた基材の回路形成面側に露光マスクを配置し、露光マスクを介して基材を露光することを特徴とする回路板の製造方法。
- マスクフィルムのマスクパターン及び基準マークが描画されていない領域に遮光部を形成することを特徴とする請求項1に記載の回路板の製造方法。
- マスクフィルムが載置される作業台と、作業台上に載置されたマスクフィルムに形成された基準マークを検知する検知手段と、検知手段によって検知された基準マークの画像を表示する表示手段と、作業台上に載置されたマスクフィルムに取付孔を穿設する穿設手段とを具備して成ることを特徴とするマスクフィルム用取付孔穿設装置。
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