JP3706955B2

JP3706955B2 - 露光方法

Info

Publication number: JP3706955B2
Application number: JP32355096A
Authority: JP
Inventors: 敏裕小島; 典彦原
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1996-11-19
Filing date: 1996-11-19
Publication date: 2005-10-19
Anticipated expiration: 2016-11-19
Also published as: JPH10149978A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は露光方法に関し、例えば前処理装置を介して露光装置に感光基板をロツト単位で搬入する露光方法に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば液晶パネルを製造する露光装置は、当該露光装置に搬入される感光基板（以下これをプレートと呼ぶ）に対して予め感光剤塗布等の前処理を行う前処理装置(CD:Coater Developer) を有する。この前処理装置に対してプレートをロツト単位で１枚ずつ搬入して順次前処理を施した後、当該前処理が完了したプレートから順番に露光装置側に受け渡される。
【０００３】
このようにロツト単位で前処理装置から露光装置に搬入される複数枚のプレートに対して、同一ロツトでは同一露光処理データに基づく露光が行われるようになされている。この露光処理データとしては、使用するレチクルの番号、露光量等がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、かかる露光装置においては、前処理装置から露光装置側に受け渡されるプレートのロツトが換わる度に露光処理データが当該新たなロツトに対応したデータに換わることになる。この場合、前処理装置から露光装置側に受け渡されるプレートのロツトが換わつたとき、前処理装置から露光装置側に当該新たなロツトに関する露光処理データを送信する。露光装置は当該露光処理データに基づいて新たなロツトの露光処理データに基づいてレチクル（マスク）の準備等を開始することになる。
【０００５】
レチクルの準備としては、複数のレチクルが収納されたレチクルライブラリから番号指定されたレチクルを取り出し、当該レチクルに対して異物、きず等の検査を行つた後、これをレチクルチエンジヤを介してレチクルホルダに載置するといつた複数の工程を有する。
【０００６】
従つて前処理装置から露光装置側に受け渡されるプレートのロツトが換わつたときはじめて露光装置側でレチクル準備等の露光準備を開始すると、当該露光準備に長時間を費やすことによつて新たなロツトのプレートに対して露光処理が開始されるタイミングが遅れる問題があつた。
【０００７】
また、例えば露光装置側においてオペレータが複数のロツトに対する異なる露光処理の順番をその露光処理データを表す番号に対応させて予め登録しておく方法が考えられている。この場合、新たなロツトが前処理装置から露光装置側に搬入される度に予め登録されているジヨブ番号順に、当該ロツトに対する露光処理が選択されて実行される。
【０００８】
この場合、前処理装置において処理すべきロツトに対して処理が中止されると、当該前処理装置から露光装置側に受け渡されるロツトと、予め露光装置側で登録されていたジヨブ番号とにずれが生じ、この結果新たなロツトに対して目的とする露光処理データで露光処理できないという問題があつた。
【０００９】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、露光装置側における露光準備時間を短縮化し得るとともに、前処理装置から露光装置に搬入される基板のロツトと、当該ロツトに対する露光処理とを確実に一致させることができる露光方法を提案しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため本発明においては、露光前の処理を行う前処理装置にロツト単位の基板を順次搬送し、前処理装置で処理を施した基板を露光装置にて露光する露光方法において、ロツト単位の最初の基板が前処理装置に搬送されたときに、ロツト単位の露光に関する情報を露光装置に送出する第１ステツプと、ロツト単位の最初の基板が前処理装置から露光装置に搬送されたときに、ロツト単位の露光に関する情報を再度露光装置に送出する第２ステツプと、第１ステツプで送出された露光に関する情報と、第２ステツプで送出された露光に関する情報とが一致したときに露光を行う第３ステツプとを備える。
【００１１】
本発明においては、基板が前処理装置に搬入されるとき当該基板の露光に関する情報を露光装置に予め登録しておき、当該基板が露光装置に搬入されるとき再び露光装置に当該基板についての露光に関する情報を送出して一致するか否かを判断することにより、予約登録されたロツトの基板であるか否かを確実に判別し得る。
また、基板が前処理装置に搬入されたときに露光装置側に送出される露光情報に基づいて露光装置側の露光準備が開始されるので、当該前処理装置から当該基板が露光装置側に受け渡されるときには、すでに露光準備の全て又は一部が完了していることになる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。
【００１３】
図１において１０は全体として液晶パネルを製造する露光処理システムを示し、複数のキヤリア１２、１３及び１４には、角形のガラスプレートＰ１〜Ｐ３（以下プレートという）がロツト単位で収納されている。各キヤリア１２、１３及び１４に収納されているプレートＰ１〜Ｐ３は、各キヤリアごとに１つのロツトを構成する。例えば第１のキヤリア１２に収納されている複数のプレートＰ１は第１ロツトのプレートであり、第２のキヤリア１３に収納されている複数のプレートＰ２は第２ロツトのプレートであり、第３のキヤリア１４に収納されている複数のプレートＰ３は第３ロツトのプレートである。
【００１４】
各キヤリア１２、１３及び１４に収納された複数のプレートＰ１、Ｐ２及びＰ３は、ロツト単位で一枚ずつ前処理装置１５に搬入される。なお、前処理装置１５は、プレートにフオトレジストを塗布する、いわゆるコータデベロツパである。例えば第１ロツトのプレートを露光処理しようとする場合、まずキヤリア１２から１ロツト分の複数プレートＰ１を順次前処理装置１５に搬入する。
【００１５】
ここで図２は露光処理システム１０における露光処理手順を示し、ステツプＳＰ１においてキヤリア１２から第１ロツトのプレートＰ１の先頭プレートが前処理装置１５に搬入されるとともに、このとき搬入されたプレートＰ１のロツト番号、前処理の内容を指示するジヨブ番号等がオペレータによつて入力装置１６から入力される。
【００１６】
因みに前処理装置１５は、予め各ジヨブ番号に応じた前処理の内容をオペレータによつて入力及び記憶している。従つてステツプＳＰ１においてオペレータが当該ジヨブ番号を入力すると、前処理装置１５は当該ジヨブ番号に応じた処理を第１ロツトの各プレートＰ１に実行する。
【００１７】
またこのとき、入力されたジヨブ番号は、図３に示す予約データＤ_APとして直ちに露光装置１１の制御部１７に送信される。この予約データＤ_APは、データの始まりを表す開始コードＳＴＸ、予約データ全体の長さを表すデータ、当該データが予約データ、確認データ又はキヤンセルデータのいずれかであるかを特定するコマンドコード、ロツトに対応させた処理内容を番号で表すジヨブデータ、当該データ列の誤りを訂正するためのチエツクサム、及びデータ列の終了を表す終了コードＥＴＸによつて構成される。
【００１８】
このように前処理装置１５から露光装置１１の制御部１７に予約データＤ_APが送信されると、制御部１７は予約データＤ_APが正しく受信された場合に図４に示すような応答データＤ_ASを前処理装置１５に返送する。応答データＤ_ASは、データの始まりを表す開始コードＳＴＸ、応答データ全体の長さを表すデータ、受信したデータ（すなわちロツトに対応させた処理内容を番号で表すジヨブデータ）、当該データが応答データであることを表す応答コード、当該データ列の誤りを訂正するためのチエツクサム、及びデータ列の終了を表す終了コードＥＴＸによつて構成される。従つて前処理装置１５は、予約データＤ_APを送信後、当該予約データＤ_APに応じた応答データＤ_ASを受信することにより、予約データＤ_APが露光装置１１の制御部１７において正しく受信されたことを確認し得る。
【００１９】
ここで図５に示すように、制御部１７は当該予約データＤ_APによつて指定されたジヨブ番号を登録表ＥＮＴに登録する。この登録は前処理装置１５に新たなロツトの先頭プレートが投入される度に当該ロツトの投入順に行われる。かくして図２に示す処理手順のステツプＳＰ２において、制御部１７が前処理装置１５内に搬入されたロツト順にそのジヨブ番号を登録すると、当該制御部１７は現在露光処理中のロツトに続くロツトのジヨブ番号を当該登録表ＥＮＴから読み出し、当該ジヨブ番号に対応した露光処理内容を、ハードデイスク等でなる記憶装置１８内に予め格納されているジヨブデータテーブルＪＤＴから読み出す。
【００２０】
このようにしてジヨブデータテーブルＪＤＴから露光処理内容データが読み出されると、制御部１７は露光処理内容データによつて指定されたレチクルをレチクルライブラリ２０から搬出し、これを異物検査装置２１に搬入する。異物検査装置２１は搬入されたレチクルの異物又はきず等を検査し、当該検査に合格したレチクルをレチクルチエンジヤ２２に送出する。因みに、異物検査装置２１において異物が検出された場合は、所定の表示装置（図示せず）にエラー表示される。
【００２１】
かかる予約データＤ_APによるジヨブ番号の登録は、新たなロツトの先頭プレートが前処理装置１５に投入される度に行われ、当該登録の度に新たなロツトに対応するレチクルが準備される。
【００２２】
このようにして前処理装置１５に新たなロツトの先頭プレートが投入されると、当該ロツトのプレートＰに対して前処理装置１５において感光剤塗布等の各ロツトに対応した前処理がそのロツト番号に対応したジヨブ番号の管理のもとで実行されるとともに、当該前処理中にそのロツトに対応したレチクルの準備が開始される。
【００２３】
ここで図６はプレートの受渡し状態を示し、前処理装置１５にキヤリア１３から第１ロツトに続く第２ロツトのプレートＰ２が１枚ずつ順次搬入されると、当該前処理装置１５は、搬入されたプレートに対して順次流れ作業で感光剤の塗布等の露光前処理を行う。このとき前処理装置１５内では常に１０〜１５枚程度のプレートに対して流れ作業によつて前処理が施される。前処理装置１５にキヤリア１２から第２ロツトのプレートＰ２の搬入を開始する際、オペレータが当該プレートのロツト番号及びこれに対応するジヨブ番号等を当該前処理装置１５に設けられた制御部（図示せず）に入力すると、当該前処理装置の制御部は、当該入力情報に基づいて第２ロツトのプレートＰ２をキヤリア１３から搬入開始する。
【００２４】
このとき前処理装置１５内部において既に前処理が実行中の第１ロツトのプレートの枚数に基づき、第２ロツトの先頭プレートＰ２が搬入開始された後、当該先頭プレートＰ２が前処理を終了して前処理装置１５から露光装置１１側に送出開始されるタイミングを得ることができる。
【００２５】
前処理装置１５内においてレジスト塗布等の前処理が実行されたプレートは前処理が終了した順に順次露光装置１１側に送出される。このとき各プレートが露光装置１１側に送出されるごとに、図７（Ａ）に示すような送出信号ＳＥＮＤが前処理装置１５の制御部（図示せず）から露光装置１１の制御部１７に送出される。ここで第１ロツトのプレートＰ１が送出された後、第２ロツトのプレートＰ２が送出される間においては、図７（Ａ）に示すようなロツトエンド信号ＬＥが送信されることにより、露光装置１１の制御部１７において、露光装置１１に搬入されたプレートのロツトが第１ロツトから第２ロツトに切換わることを検出し得る。
【００２６】
このロツトエンド信号ＬＥは、例えば第１ロツトのプレートＰ１を収納するキヤリア１２内の全てのプレートＰ１が前処理装置１５側に搬出されると、当該キヤリア１２内のプレートＰ１が無くなつたことを前処理装置１５が検出することによつて、キヤリア１２によつて搬入された第１ロツトのプレートＰ１の枚数を当該前処理装置１５が検出し、当該前処理装置１５の制御部においてプレートの処理枚数を管理することにより、当該前処理装置１５に搬入された第１ロツトのプレートＰ１が全て前処理を終了して露光装置１１側に送出された後、当該第１ロツトの送出が完了したことを表す信号として送出される。
【００２７】
従つて図７（Ａ）の時点ｔ４において第１ロツトの最後のプレートが露光装置１１側に送出されると、これに続く時点ｔ５においてロツトエンド信号ＬＥが露光装置１１の制御部１７に送出されることにより、当該制御部１７は、第１ロツトのプレートＰ１の露光装置１１側への搬入が完了したことを検出し、これに続いて登録されている第２ロツトに対応するジヨブ番号を用いて、記憶装置１８から当該ジヨブ番号に対応した露光処理データを読み出す。制御部１７はこの第２ロツトに対応した露光処理データに基づいて第１ロツトに続く第２ロツトの露光準備を行う。但し、当該ロツトエンド信号ＬＥが制御部１７において受信されるタイミングにおいては、第２ロツトに対応するレチクルは当該第２ロツトに対応する予約データＤ_APに基づいて既にレチクルチエンジヤ２２に準備されている。
【００２８】
かかる処理は、図２の処理手順のステツプＳＰ３において実行され、続くステツプＳＰ４において、第１ロツトに続いて前処理装置１５から露光装置１１に搬出されるロツトが第２ロツトであることを表す確認データＤ_VF（図３）を、前処理装置１５での処理データに基づいて生成し、露光装置１１の制御部１７に送信する。制御部１７は当該確認信号Ｄ_VFを受信することにより、予め受信している第２ロツトの予約データＤ_APと当該確認データＤ_VFとを比較し、比較結果が一致しているとき図２のステツプＳＰ５において肯定結果を得、続くステツプＳＰ６に移つて第２ロツトの搬入を許可する。
これにより前処理装置１５から第１ロツトに続いて第２ロツトが搬入され、当該第２ロツトに対応した露光処理データに基づいて、光源２８、投影光学系２６を調整して露光処理が実行される。
【００２９】
これに対してステツプＳＰ５において否定結果が得られると、このことは予約データＤ_APと確認データＤ_VFとが異なつていることを表しており、このとき露光装置１１の制御部１７は、新たなロツトの搬入を禁止する。これにより、予め予約データＤ_APによつて露光準備されていたロツトと異なるロツトの搬入、及び、これに対する異なつた露光処理の実行が未然に防止される。
【００３０】
因みに、第１ロツトに続いてキヤリア１３から前処理装置１５に対して第２ロツトのプレートＰ２が搬入され、これに応じて当該第２ロツトの予約データＤ_APが前処理装置１５から露光装置１１の制御部１７に送信された後、当該第２ロツトの処理がキヤンセルされて第３ロツトが搬入されるような場合、図７（Ｂ）に示すように、第１ロツトのロツトエンド信号ＬＥに続いて空ロツトエンド信号ＥＬＥを制御部１７に送出することにより、当該制御部１７において第２ロツトがキヤンセルされたことを確認し得、直ちに第３ロツトに対応した露光装置１１の準備に取りかかる。但し、当該タイミングにおいては、第２ロツトに使用するレチクルに続いて第３ロツトに続くレチクルが異物検査を終えてレチクルチエンジに準備されている。
【００３１】
以上の構成において、露光装置１１の制御部１７は、前処理装置１５に第２ロツトの先頭プレートが搬入された時点で当該第２ロツトに関するデータ（ロツト番号、ジヨブ番号等）を予約データＤ_APとして受信する。これにより制御部１７は当該予約データＤ_APによつて指定された露光処理データに基づいて使用されるレチクルを準備する。
【００３２】
そして前処理装置１５において当該第２ロツトの前に処理されている第１ロツトの処理が完了すると、ロツトエンド信号ＬＥが制御部１７に送出されることにより、当該制御部１７において第２ロツトの予約データＤ_APによつて登録されているジヨブ番号に基づいてその露光処理データを記憶装置１８から読出し、当該第２ロツトに対応した露光の準備を開始する。このとき予約データＤ_APに基づいてすでにレチクルライブラリ２０から当該第２ロツトに使用されるレチクルがレチクルチエンジヤ２２に搬入されており、当該レチクルを直ちにレチクルホルダ２５にセツトすることができる。
【００３３】
このようにして使用するレチクルのセツト及び露光量調整等の準備がなされるとともに、当該第２ロツトを示す確認データＤ_VFが制御部１７に送出されることにより、予約データＤ_APによつて予約されたロツトと同一ロツトであることが確認されると、当該第２ロツトのプレートが前処理装置１５から露光装置１１のステージ２７に搬入許可され、搬入が開始される。
これにより、予約データによつて準備された露光処理が予約データによつて予約指定されている第２ロツトに対して確実に実行される。
【００３４】
以上の構成によれば、予め予約データＤ_APによつて露光処理データを予約することにより、準備に時間のかかるレチクルの準備をそのロツトが露光装置１１に搬入される前に完了させることができる。特に液晶パネルを製造する露光装置においては、プレートＰ上に複数のレチクルパターンを継ぎ露光することにより、複数のレチクルを準備する必要がある。従つて予約データＤ_APによるレチクルの準備作業により、プレートが露光装置１１に搬入された後露光処理を開始するまでの時間を格段的に短縮することができる。
【００３５】
また予約データＤ_APによつて露光装置１１側の露光準備が完了したロツトのプレートが、当該露光装置１１側に搬入される際に、再び確認データＤ_VFとして当該ロツトの内容を表すデータを露光装置１１の制御部１７に送信して、露光装置１１に搬入されるロツトを確認することにより、予約されたロツトに対して確実に対応する露光処理を実行することができる。
【００３６】
なお上述の実施例においては、前処理装置１５に搬入されたロツトをキヤンセルする場合に空ロツトエンド信号ＥＬＥを送信する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えばキヤンセルされたロツトの情報を図３について上述したキヤンセルコマンドを用いて制御部１７に送信することにより、制御部１７において当該キヤンセル情報に基づいて登録を抹消するようにしても良い。
【００３７】
また上述の実施例においては、前処理装置１５内の処理データに基づいて確認データＤ_VFを生成し、これを露光装置１１の制御部１７に送信する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、確認データＤ_VFに代えて、そのロツト情報をバーコード等で記録したダミープレートを各ロツトの先頭プレートとして前処理装置１５を介して露光装置１１に搬入し、露光装置１１の搬入部に設けられたバーコードリーダによつて当該ロツト情報を確認データとして読み込むようにしても良い。
【００３８】
また上述の実施例においては、液晶パネルを製造する露光装置に本発明を適用した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、ウエハ上に回路パターンを露光するような露光装置にも適用することができる。
【００３９】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、前処理装置に基板が搬入されたとき当該基板のロツトに関する情報を予め予約データとして露光装置に送出して露光準備を行い、当該基板が前処理装置での処理を完了したとき、再び当該基板のロツト情報を露光装置に確認データとして送出し、予約データと確認データとが一致したとき露光処理を実行することにより、予約されたロツトの基板に対して、当該ロツトに対応した露光処理を確実に行うことができるとともに、予約データによる予約に基づいて露光準備を行うことができることにより、基板が露光装置内に搬入された後、直ちに露光を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による露光方法を適用する露光装置の一実施例を示すブロツク図である。
【図２】本発明による露光処理手順を示すフローチヤートである。
【図３】予約データ及び確認データの構成を示す略線図である。
【図４】応答データの構成を示す略線図である。
【図５】予約データの登録の説明に供する略線図である。
【図６】基板の受渡しの説明に供する略線図である。
【図７】送出信号（ＳＥＮＤ信号）を示す信号波形図である。
【符号の説明】
１０……露光処理システム、１１……露光装置、１２、１３、１４……キヤリア、１５……前処理装置、１７……制御部、１８……記憶装置、２０……レチクルライブラリ、２１……異物検査装置、２２……レチクルチエンジヤ、２５……レチクルホルダ、２６……投影光学系、２７……ステージ、Ｐ、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３……プレート。

Claims

露光前の処理を行う前処理装置にロツト単位の基板を順次搬送し、前記前処理装置で前記処理を施した前記基板を露光装置にて露光する露光方法において、
前記ロツト単位の最初の基板が前記前処理装置に搬送されたときに、前記ロツト単位の露光に関する情報を前記露光装置に送出する第１ステツプと、
前記ロツト単位の最初の基板が前記前処理装置から前記露光装置に搬送されたときに、前記ロツト単位の露光に関する情報を再度前記露光装置に送出する第２ステツプと、
前記第１ステツプで送出された前記露光に関する情報と、前記第２ステツプで送出された前記露光に関する情報とが一致したときに前記露光を行う第３ステツプと
を含むことを特徴とする露光方法。
前記露光装置は、前記第１ステツプで送出された前記露光に関する情報に応じて、パターンが形成されたマスクを所定の位置に設定する
ことを特徴とする請求項１記載の露光方法。
前記前処理装置は、前記基板に感光剤を塗布する装置である
ことを特徴とする請求項１または請求項２記載の露光方法。
前記露光に関する情報は、使用するマスクの情報と露光量の情報とを少なくとも含んでいる
ことを特徴とする請求項１又は請求項２若しくは請求項３記載の露光方法。