JP3706601B2 - 流量制御装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体の流量制御を行うための流量制御弁を備えた流量制御装置に関するもので、特に、流量制御弁の開度を検出するための線形可変差動変圧器を備えた流量制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
流体の流量を制御するために流量制御弁が設けられるが、この流量制御弁の開度を検出するために、従来は、ポジショントランスミッタ等が使用されている。開度検出に使用されるポジショントランスミッタは、流量制御弁の開閉を行う弁シリンダの上下運動を回転運動に変換し、この回転運動によって磁気コイルに流れる電流値が変動し、変動した電流値を計測することによって、弁シリンダの位置を検出する。
【0003】
しかしながら、ポジショントランスミッタを使用した場合、弁シリンダの上下運動を回転運動に変換して位置計測を行うため、実測値が弁シリンダの位置に対して線形的な値でなく、弁開度検出の精度が良くない。又、このような回転運動を行うために、回転軸や軸受などの摺動部が摩耗するため、設置当初の回転角度と変化し、その精度が悪化するという問題がある。
【0004】
このような問題を解消するために、弁シリンダの上下運動を直接測定することで弁シリンダの位置を検出する線形可変差動変圧器(LVDT)が用いられる。このLVDTを備えた流量制御装置の内部構成を、図5に示す。図5において、流量制御弁1に設けられる弁シリンダ1aに対して、二つのLVDT100a,100bが設置される。このとき、LVDT100aが、弁シリンダ1aと連動する鉄心104aと鉄心104aの周囲に巻回された一次コイル101a及び二次コイル102a,103aとによって構成され、又、LVDT100bが、弁シリンダ1aと連動する鉄心104bと鉄心104bの周囲に巻回された一次コイル101b及び二次コイル102b,103bとによって構成される。
【0005】
LVDT100aにおいて、巻線が逆方向となる二次コイル102a,103aが直列に接続され、この二次コイル102a,103aの直列回路の両端に発生する電圧がサーボコントローラ105aに入力される。このとき、一次コイル101aには、サーボコントローラ105aより交流電圧が与えられ、この一次コイル101aによって発生する磁界に応じて、二次コイル102a,103aに誘導電圧が発生する。
【0006】
そして、二次コイル102a,103a内を鉄心104aが移動するため、二次コイル102a,103aそれぞれのインダクタンスが鉄心104aの位置に応じて変化する。よって、巻線が逆方向となるため、二次コイル102a,103aそれぞれに発生する電圧が互いに打ち消し合い、差動電圧としてサーボコントローラ105aに入力される。尚、LVDT100bにおいても、LVDT100aと同一の動作を行うため、サーボコントローラ105a,105bには、LVDT100a,100bより同一の差動電圧が入力される。
【0007】
このように構成することによって、LVDT100a,100bより発生した差動電圧は、弁シリンダ1aの位置を線形的に表した値となり、その検出値による弁シリンダ1aの位置測定精度が良くなる。又、サーボコントローラ105a,105bにおいて、LVDT100a,100bそれぞれから与えられる差動電圧をCPU5より与えられる流量制御弁1の開度を指定する指令信号と比較するとともに、それぞれの比較結果を監視し、その監視結果よりスイッチSWaの切換を行う。
【0008】
このスイッチSWaは、流量制御弁1の開度を調整するサーボ弁4に対する制御信号をサーボコントローラ105a,105bのいずれより与えるか選択するためのスイッチであり、サーボコントローラ105a,105bそれぞれの監視結果によって切り換えられる。即ち、サーボコントローラ105a,105bの比較結果が異なり、サーボコントローラ105a,105bのうちいずれかが故障したと推測されたとき、故障していないと推測されたサーボコントローラからの制御信号をサーボ弁4に与えるように切換制御が行われる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図5のようにLVDTが設置された場合、例えば、一次コイルが断線してコイルに電流が流れなくなったとき、二次コイルに電流が誘導されないので、二次コイルに電流が流れず、鉄心が中央に位置したときと同等の差動電圧がサーボコントローラに与えられ、サーボ弁4を誤って駆動させてしまうことがある。このように、LVDTの故障状態によっては、正常範囲となる差動電圧がサーボコントローラに与えられることがあるので、流量制御弁1を誤った方向に誤動作させることがある。
【0010】
よって、図5のように、LVDT100a,100bを利用した2系統のフィードバック制御を行い、LVDTが正常な動作を行っている系統を利用してフィードバック制御を行うようにしても、実際には正常に動作せず、誤動作している場合がある。特に、ガスタービンなどに用いられる燃焼器の燃料制御を行う流量制御弁においては、誤動作させることによって、燃焼器内へ流入する燃料の量を過渡にして、燃焼器内の温度が危険な温度となり、燃焼器を壊してしまうことがある。
【0011】
尚、このような問題に対して、特開2001−291182号公報のような制御装置が提案されているが、当該公報においては、二次コイルそれぞれに発生する電圧の加算値を確認することで異常を確認しており、二次コイルそれぞれの電圧を確認するものではない。
【0012】
このような問題を鑑みて、本発明は、流量制御弁の開度を検出する線形可変変圧器の異常を確認することができる流量制御装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の流量制御装置は、流体の流量制御を行う流量制御弁と、該流量制御弁の弁シリンダと同一方向に移動するコアを備えるとともに前記弁シリンダの位置を検出する第1及び第2線形可変差動変圧器と、前記第1及び第2線形可変差動変圧器それぞれからの検出信号に基づいて前記流量制御弁の開度を制御する制御信号を生成する第1及び第2サーボコントローラと、前記第1及び第2サーボコントローラそれぞれから出力される制御信号を選択して流量制御弁に与えるスイッチと、を備えた流量制御装置において、前記第1及び第2線形可変差動変圧器それぞれが、前記コアと、交流電圧が与えられる一次コイルと、一次コイルの励磁電圧によって誘導電圧が発生するとともに並列に接続された2つの第1及び第2二次コイルと、を備え、前記第1及び第2サーボコントローラが、前記一次コイルに発生する交流電圧を整流平滑化する第1整流平滑化回路と、前記第1二次コイルに発生する交流電圧を整流平滑化する第2整流平滑化回路と、前記第2二次コイルに発生する交流電圧を整流平滑化する第3整流平滑化回路と、前記第1整流平滑化回路から出力される直流電圧が、第1直流電圧V1以上第2直流電圧V2以下となる正常な動作範囲にあるときLowを出力し、正常な動作範囲外となるときHiを出力する第1比較回路と、前記第2及び第3整流平滑化回路それぞれから出力される直流電圧が第3直流電圧V3(但し、0<V3<V1)以上第4直流電圧V4(但し、V4>V2)以下となる正常な動作範囲にあるときLowを出力し、正常な動作範囲外となるときHiを出力する第2及び第3比較回路と、前記第1〜第3比較回路からの出力が入力されるOR回路と、を備え、前記第1サーボコントローラが、前記第1線形可変差動変圧器内の一次コイル及び第1二次コイル及び第2二次コイルそれぞれに発生する電圧を監視するとともに、前記第2サーボコントローラが、前記第2線形可変差動変圧器内の一次コイル及び第1二次コイル及び第2二次コイルそれぞれに発生する電圧を監視し、前記第1サーボコントローラからの制御信号が前記スイッチによって選択されているとき、前記第1サーボコントローラ内の前記OR回路の出力がHiとなり、前記第1線形可変差動変圧器内の一次コイル及び第1二次コイル及び第2二次コイルのうち少なくとも一つが正常な動作範囲外の電圧を出力したことを確認すると、前記第1サーボコントローラを待機状態として、前記スイッチによる前記第1サーボコントローラからの制御信号の選択を停止するとともに、前記第2サーボコントローラ内の前記OR回路の出力がLowであれば、前記第2サーボコントローラからの制御信号が選択されるように前記スイッチを切り換え、又、前記第2サーボコントローラからの制御信号が前記スイッチによって選択されているとき、前記第2サーボコントローラ内の前記OR回路の出力がHiとなり、前記第2線形可変差動変圧器内の一次コイル及び第1二次コイル及び第2二次コイルのうち少なくとも一つが正常な動作範囲外の電圧を出力したことを確認すると、前記第2サーボコントローラを待機状態として、前記スイッチによる前記第2サーボコントローラからの制御信号の選択を停止するとともに、前記第1サーボコントローラ内の前記OR回路の出力がLowであれば、前記第1サーボコントローラからの制御信号が選択されるように前記スイッチを切り換えることを特徴とする。
【0014】
このようにすることで、前記一次コイル及び前記第1及び第2二次コイルそれぞれに発生する電圧を監視して、前記一次コイル及び前記第1及び第2二次コイルのいずれか一つにおいて、短絡又は断線が発生したとき、短絡又は断線したコイルの電圧が動作範囲外となることを確認することができる。そして、このように動作範囲外となる線形可変差動変圧器に基づくフィードバック制御を停止し、他方の線形可変差動変圧器に基づくフィードバック制御を行うようにする。このとき、動作範囲となる電圧範囲が0Vよりも高い電圧であるものとする。
【0016】
又、前記第1及び第2サーボコントローラが、前記第2及び第3整流平滑回路それぞれから出力される直流電圧の差分値を求める減算回路を備え、該減算回路で求められた差分値により前記流量制御弁の開度を検出する。更に、このとき、前記第1及び第2サーボコントローラが、前記流量制御弁の開度を指定する指令信号と前記減算回路で求められた差分値とを比較した値に基づいて、前記制御信号を生成する制御信号生成回路を備える。
【0017】
又、前記第1及び第2サーボコントローラ内の前記OR回路の出力がともにHiとなるとき、前記第1及び第2サーボコントローラの動作を停止するとともに、前記流量制御弁に供給されている非常遮断油を抜いて弁を閉じるようにすることで、前記第1及び第2可変差動変圧器の動作がともに異常となるとき、前記流量制御弁を瞬間的に停止させて、安全な状態で前記流量制御装置を用いたシステムを停止させることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。尚、本実施形態では、ガスタービンの燃焼器に供給する燃料供給量を制御する流量制御装置を例に挙げて説明する。図1は、ガスタービンと流量制御装置との関係を示すブロック図である。又、図2は、流量制御装置の各部の関係を示すブロック図である。
【0019】
図1のように、燃料の供給量が流量制御弁1によって制御されて、燃焼器6に供給されると、燃焼器6によって燃焼された燃焼ガスがガスタービン7を回転させる。又、流量制御弁1の開度が後述するLVDT2a,2bで検出されると、検出値が制御装置3内のサーボコントローラ3a,3bに与えられ、この検出値に基づいてサーボ弁4を駆動することによって、流量制御弁1の開度が制御される。
【0020】
図2の流量制御装置は、燃料供給量を設定する流量制御弁1と、流量制御弁1の開度を検出するLVDT2a,2bと、LVDT2a,2bからの検出値が与えられるサーボコントローラ3a,3bと、流量制御弁の開度を制御するサーボ弁4と、サーボコントローラ3a,3bに流量制御弁1の開度を指定する指令信号を送出するCPU5と、サーボ弁4への制御信号を選択するスイッチSWとから構成される。尚、サーボコントローラ3a,3b及びCPU5及びスイッチSWによって制御装置3が構成される。
【0021】
又、LVDT2aが、流量制御弁1の弁シリンダ1aと連動する鉄心21aを巻回する一次コイル22a及び二次コイル23a,24aによって構成されるとともに、LVDT2bが、流量制御弁1の弁シリンダ1aと連動する鉄心21bを巻回する一次コイル22b及び二次コイル23b,24bによって構成される。尚、鉄心21a,21bは、図3に示すように、弁シリンダ1aに対して支持部11を介して設置され、弁シリンダ1aの上下運動に連動して、鉄心21a,21bも上下に移動する。
【0022】
更に、サーボコントローラ3a,3bの構成を、図4に示す。尚、サーボコントローラ3a,3bは、同一の構成であるので、サーボコントローラ3aを代表して説明する。
【0023】
サーボコントローラ3aは、一次コイル22aに高周波電流を与える発振器31と、一次コイル22a及び二次コイル23a,24aそれぞれにおける交流電圧を整流する整流回路D1〜D3と、整流回路D1〜D3で整流された電圧を平滑化する平滑コンデンサC1〜C3と、平滑コンデンサC1〜C3によって平滑化されて得られた直流電圧を増幅するアンプG1〜G3と、アンプG1〜G3からの出力を正常動作範囲内か否か比較する比較回路32a〜32cと、比較回路32a〜32cからの信号を遅延させる遅延回路33a〜33cと、アンプG2,G3からの出力電圧の差分を求める減算回路34と、減算回路34からの出力とCPU5からの指令信号との差分を求める減算回路35と、減算回路35からの出力より制御信号を生成する制御信号生成回路36と、遅延回路33a〜33cからの出力とサーボコントローラ3aの異常を示す信号とが入力されるOR回路37と、OR回路37からの出力と他方のサーボコントローラ3b内のOR回路37からの出力が入力されてスイッチSWの切換制御を行うスイッチ制御回路38とを備える。
【0024】
このように構成されるLVDT2a,2b及びサーボコントローラ3a,3bの動作について、LVDT2a及びサーボコントローラ3aを代表して以下に説明する。発振器31より高周波電流が一次コイル22aに与えられると、この一次コイル22aに発生する励磁電圧に誘導されて二次コイル23a,24aに交流電圧が発生する。尚、このとき、鉄心21aの位置に応じて、二次コイル23a,24aに発生する交流電圧の電圧値が変わり、鉄心21aの中心が二次コイル23a,24aの接続部に位置するとき、二次コイル23a,24aのインダクタンスと等しくなるため、二次コイル23a,24aに発生する交流電圧が等しくなる。
【0025】
一次コイル22aの励磁電圧が整流回路D1及び平滑コンデンサC1によって直流電圧に変換されてアンプG1に与えられるとともに、二次コイル23aの誘導電圧が整流回路D2及び平滑コンデンサC2によって、又、二次コイル24aの誘導電圧が整流回路D3及び平滑コンデンサC3によって、それぞれ直流電圧に変換されてアンプG2,G3に与えられる。アンプG1〜G3で増幅された直流電圧は、比較回路32a〜32cに与えられ、所定の電圧範囲内にあるか否かが確認される。尚、比較回路32aで比較される電圧範囲がVa以上Vb以下であるとともに、比較回路32b,32cで比較される電圧範囲がVc以上Vd以下(0<Vc<Va、Vd>Vb)である。このVa以上Vb以下の電圧範囲及びVc以上Vd以下の電圧範囲を、以下、正常電圧範囲とする。
【0026】
そして、比較回路32a〜32cにおいて、アンプG1〜G3からの出力電圧が正常電圧範囲内となる場合は正常であるとしてその出力をLowとし、又、アンプG1〜G3からの出力電圧が正常電圧範囲外となる場合は異常であるとしてその出力をHiとする。この比較回路32a〜32cからの出力が、遅延回路33a〜33cで所定時間分遅延された後、OR回路37に入力される。
【0027】
即ち、一次コイル22aで短絡が発生したとき、一次コイル22aにおける励磁電圧が0Vとなるため、アンプG1の出力が0Vとなり、比較回路32aにおいて異常であることが確認されて、遅延回路33aの出力がHiとされる。又、一次コイル22aで断線が発生したとき、一次コイル22aが励磁されないため、二次コイル23a,24aも電磁誘導されないので、アンプG1〜G3の出力が0Vとなり、比較回路32a〜32cにおいて異常であることが確認されて、遅延回路33a〜33cの出力がHiとされる。
【0028】
又、二次コイル23aにおいて短絡又は断線が発生した場合、二次コイル23aには誘導電圧が発生しないので、アンプG2の出力が0Vとなり、比較回路32bにおいて異常であることが確認されて、遅延回路33bの出力がHiとされる。又、二次コイル24aにおいて短絡又は断線が発生した場合も同様に、二次コイル24aには誘導電圧が発生しないので、アンプG3の出力が0Vとなり、比較回路32cにおいて異常であることが確認されて、遅延回路33cの出力がHiとされる。
【0029】
更に、アンプG2,G3からの出力は、減算回路34に与えられて、アンプG2からの出力よりアンプG3からの出力が減算される。この減算回路34で求められた値が、LVDT2aによる流量制御弁1の開度の検出値として、減算回路35に送出される。そして、減算回路35において、CPU5より与えられる指令信号の値より減算回路34からの出力が減算されて、流量制御弁1の開度制御を行うためのパラメータとなる値が得られる。
【0030】
その後、減算回路35からの出力が制御信号生成回路36に与えられ、制御信号生成回路36において、減算回路35からの出力に基づいて、微分成分及び積分成分が付加されたPIDフィードバック制御用の制御信号が生成される。この制御信号は、スイッチSWを介してサーボ弁4に与えられ、流量制御弁1の開度がCPU5による指令信号で指示される値に近づくように制御される。
【0031】
又、OR回路37には、上述の遅延回路33a〜33cの出力とサーボコントローラ3aの異常を示す信号とが入力される。尚、サーボコントローラ3aの異常を示す信号は、サーボコントローラ3aが異常となったときにHiとなり、サーボコントローラ3aが正常に動作しているときはLowである。よって、遅延回路33a〜33cの出力及びサーボコントローラ3aの異常を示す信号のいずれかがHiとなったとき、Hiの信号をOR回路37より出力される。即ち、一次コイル22a、二次コイル23a,24a、サーボコントローラ3aのいずれかに異常が発生すると、OR回路37よりHiとなる信号が出力される。
【0032】
そして、このOR回路37からの出力が異常検知信号S1としてスイッチ制御回路38に与えられるとともに、サーボコントローラ3b内のOR回路37からの出力が異常検知信号S2としてスイッチ制御回路38に与えられる。尚、この異常検知信号S1,S2は、サーボコントローラ3b内のスイッチ制御回路38にも与えられる。又、このサーボコントローラ3a内のスイッチ制御回路38は、サーボコントローラ3aによってサーボ弁4が制御されており、サーボコントローラ3bが待機状態とされているときにONとなり、逆に、サーボコントローラ3bによってサーボ弁4が制御されており、サーボコントローラ3aが待機状態とされているとき、OFFとなる。
【0033】
そして、サーボコントローラ3aによってサーボ弁4が制御され、スイッチ制御回路38がONであるとき、異常検知信号S1がLowであるときは、スイッチ制御回路38によるスイッチSWを接点aに接続したままとして、サーボコントローラ3aの制御信号生成回路36からの制御信号をサーボ弁4に与える。又、異常検知信号S1がHiとなると、異常検知信号S2がLowであるときは、スイッチSWを接点bに接続して、サーボコントローラ3bの制御信号生成回路36からの制御信号をサーボ弁4に与えるようにする。このとき、サーボコントローラ3b内のスイッチ制御回路38にも信号を与えてONとするとともに、サーボコントローラ3aのスイッチ制御回路38をOFFとする。
【0034】
又、異常検知信号S1がHiとなったときに、異常検知信号S2もHiである場合は、スイッチSWを接点cに接続して、サーボコントローラ3a,3bからの制御信号がサーボ弁4に与えられないようにし、流量制御弁1の制御動作を停止するとともに、流量制御弁1が危険な方向に開かないようにする。このとき、流量制御弁1においては、非常遮断油が抜かれることによって、流量制御弁1を瞬間的に閉じる。
【0035】
更に、サーボコントローラ3aが待機状態であり、スイッチ制御回路38がOFFである場合において、異常検出信号S2がHiとなるとともに異常検出信号S1がLowであるとき、サーボコントローラ3b内のスイッチ制御回路38によって、サーボコントローラ3a内のスイッチ制御回路38に信号が与えられて、サーボコントローラ3a内のスイッチ制御回路38がONとなるとともに、サーボコントローラ3aからの制御信号がサーボ弁4に与えられる。
【0036】
このように、本実施形態によると、流量制御のフィードバック制御系にLVDT及びサーボコントローラを2系統設置し、いずれかに異常が発生したとき、正常に動作している1系統を利用して、流量制御のフィードバック制御を行う。又、両系統に異常が発生した場合は、サーボ弁へ制御信号を与えるための信号線を切断するとともに、流量制御弁の非常遮断油を抜くことで、燃料供給を停止させる。よって、図1のように、本発明の流量制御装置をガスタービンの燃焼器へ供給する燃料の流量制御に利用した場合、燃焼器への燃料供給を安全に監視することができる。
【0037】
尚、本実施形態においては、ガスタービンシステムにおける燃料の流量制御を行うための流量制御装置として説明したが、ガスタービンシステムのみの適用に限らず、ガスタービン以外のシステムへの適用を行っても構わない。
【0038】
【発明の効果】
本発明によると、線形可変差動変圧器を構成する一次コイル及び第1及び第2二次コイルそれぞれにおいて発生する電圧をサーボコントローラで監視することによって、線形可変差動変圧器が正常に動作しているか否かを確認するので、容易に且つ確実に線形可変差動変圧器の状態を確認することができる。よって、この線形可変差動変圧器及びサーボコントローラによるフィードバック制御系を2系統使用することで、正常に動作している系統を利用して流量制御を行うことができ、この流量制御装置を利用するシステムを安全に運営することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の流量制御装置を備えたガスタービンシステムの構成を示すブロック図。
【図2】 本発明の流量制御装置の構成を示すブロック図。
【図3】 図2の流量制御弁と鉄心との関係を示す概略構成図。
【図4】 図2のサーボコントローラの内部構成を示すブロック図。
【図5】 従来の流量制御装置の構成を示すブロック図。
【符号の説明】
1 流量制御弁
2a,2b LVDT
3 制御装置
3a,3b サーボコントローラ
4 サーボ弁
5 CPU
6 燃焼器
7 ガスタービン

Claims (4)

  1. 流体の流量制御を行う流量制御弁と、該流量制御弁の弁シリンダと同一方向に移動するコアを備えるとともに前記弁シリンダの位置を検出する第1及び第2線形可変差動変圧器と、前記第1及び第2線形可変差動変圧器それぞれからの検出信号に基づいて前記流量制御弁の開度を制御する制御信号を生成する第1及び第2サーボコントローラと、前記第1及び第2サーボコントローラそれぞれから出力される制御信号を選択して流量制御弁に与えるスイッチと、を備えた流量制御装置において、
    前記第1及び第2線形可変差動変圧器それぞれが、
    前記コアと、
    交流電圧が与えられる一次コイルと、
    一次コイルの励磁電圧によって前記コアの位置に応じた誘導電圧が発生するとともに並列に接続される2つの第1及び第2二次コイルと、
    を備え、
    前記第1及び第2サーボコントローラが、
    前記一次コイルに発生する交流電圧を整流平滑化する第1整流平滑化回路と、
    前記第1二次コイルに発生する交流電圧を整流平滑化する第2整流平滑化回路と、
    前記第2二次コイルに発生する交流電圧を整流平滑化する第3整流平滑化回路と、
    前記第1整流平滑化回路から出力される直流電圧が、第1直流電圧V1以上第2直流電圧V2以下となる正常な動作範囲にあるときLowを出力し、正常な動作範囲外となるときHiを出力する第1比較回路と、
    前記第2及び第3整流平滑化回路それぞれから出力される直流電圧が第3直流電圧V3(但し、0<V3<V1)以上第4直流電圧V4(但し、V4>V2)以下となる正常な動作範囲にあるときLowを出力し、正常な動作範囲外となるときHiを出力する第2及び第3比較回路と、
    前記第1〜第3比較回路からの出力が入力されるOR回路と、
    を備え、
    前記第1サーボコントローラが、前記第1線形可変差動変圧器内の一次コイル及び第1二次コイル及び第2二次コイルそれぞれに発生する電圧を監視するとともに、前記第2サーボコントローラが、前記第2線形可変差動変圧器内の一次コイル及び第1二次コイル及び第2二次コイルそれぞれに発生する電圧を監視し、
    前記第1サーボコントローラからの制御信号が前記スイッチによって選択されているとき、前記第1サーボコントローラ内の前記OR回路の出力がHiとなり、前記第1線形可変差動変圧器内の一次コイル及び第1二次コイル及び第2二次コイルのうち少なくとも一つが正常な動作範囲外の電圧を出力したことを確認すると、前記第1サーボコントローラを待機状態として、前記スイッチによる前記第1サーボコントローラからの制御信号の選択を停止するとともに、前記第2サーボコントローラ内の前記OR回路の出力がLowであれば、前記第2サーボコントローラからの制御信号が選択されるように前記スイッチを切り換え、
    又、前記第2サーボコントローラからの制御信号が前記スイッチによって選択されているとき、前記第2サーボコントローラ内の前記OR回路の出力がHiとなり、前記第2線形可変差動変圧器内の一次コイル及び第1二次コイル及び第2二次コイルのうち少なくとも一つが正常な動作範囲外の電圧を出力したことを確認すると、前記第2サーボコントローラを待機状態として、前記スイッチによる前記第2サーボコントローラからの制御信号の選択を停止するとともに、前記第1サーボコントローラ内の前記OR回路の出力がLowであれば、前記第1サーボコントローラからの制御信号が選択されるように前記スイッチを切り換えることを特徴とする流量制御装置。
  2. 前記第1及び第2サーボコントローラが、前記第2及び第3整流平滑回路それぞれから出力される直流電圧の差分値を求める減算回路を備え、該減算回路で求められた差分値により前記流量制御弁の開度を検出することを特徴とする請求項1に記載の流量制御装置。
  3. 前記第1及び第2サーボコントローラが、前記流量制御弁の開度を指定する指令信号と前記減算回路で求められた差分値とを比較した値に基づいて、前記制御信号を生成する制御信号生成回路を備えることを特徴とする請求項2に記載の流量制御装置。
  4. 前記第1及び第2サーボコントローラ内の前記OR回路の出力がともにHiとなるとき、前記第1及び第2サーボコントローラの動作を停止するとともに、前記流量制御弁に供給されている非常遮断油を抜いて弁を閉じることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の流量制御装置。
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