JP3659445B2 - 顕微鏡用透明加温器具 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、上面に載置される観察対象物、培養容器などを加温するための顕微鏡用透明加温器具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、家畜の改良、増殖などの目的で人工授精が行われている。また、不妊症対策などの目的より、人類にも人工授精が行われて来ている。このような人工授精に際して、予め輸送される***の活力や性状を顕微鏡で検査してその適性を確認する必要がある。そして、動物の種類によっても異なるが、一般的に***は、３７〜３８℃にて至適活性を有するため、検査もこの温度にて行うことが好ましい。
このような目的より、例えば、特開昭６２−１３５８０３号公報に示すような顕微鏡観察用加温装置を本発明者は提案している。この加温装置は、ヒーターステージと、その加温手段を有している。そして、ヒーターステージは、上下の透明なガラス板の間に透明な導電膜を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
最近では、倒立顕微鏡が普及して来ている。倒立顕微鏡では、レンズ部分がステージの下方に設けられているため、ステージの中央が貫通口となっていることが好ましい。このように貫通口があることにより、倒立顕微鏡の倍率レンズの確認が容易となる。このため、顕微鏡透明加温プレートのほぼ中央にも貫通口を設けることが必要となっていた。
しかし、本発明者が検討したところ、プレートの厚さが十分に薄くできれば、このような開口を設ける必要がないことがわかった。しかし、プレートを薄くすると強度面での問題も生じる。
そこで、本発明の目的は、加温プレートを十分に薄くでき、中央に開口部を有しなくても、倒立顕微鏡のステージに固定した場合に倍率レンズの回転に障害となることがなく、かつ、十分な強度を有することができる顕微鏡用透明加温器具を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するものは、透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明硬化薄膜とを有する透明発熱用プレートを備える顕微鏡用透明加温器具である。
そして、前記透明板は、該透明板の他方の面に形成された非発熱用透明導電性薄膜と、該非発熱用透明導電性薄膜と接触するアース線と、前記非発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明硬化薄膜を有していることが好ましい。そして、前記非発熱用透明導電性薄膜は、前記透明板の他方の面のほぼ全体を被覆するものであることが好ましい。
【０００６】
また、上記目的を達成するものは、紫外線透過性透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記紫外線透過性透明板の前記発熱用透明導電性薄膜形成面に形成された発熱用透明導電性薄膜非形成部と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明硬化薄膜とを有する透明発熱用プレートを備える顕微鏡用透明加温器具である。
【０００７】
そして、前記紫外線透過性透明板は、該紫外線透過性透明板の他方の面に形成された非発熱用透明導電性薄膜と、該紫外線透過性透明板の前記非発熱用透明導電性薄膜形成面であって、前記発熱用透明導電性薄膜非形成部に対応する位置に形成され非発熱用透明導電性薄膜非形成部と、該非発熱用透明導電性薄膜と接触するアース線と、前記非発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明薄膜を有していることが好ましい。さらに、前記第二の透明薄膜は、前記非発熱用透明導電性薄膜非形成部を実質的に被覆していないものであってもよい。また、前記第二の透明薄膜は、実質的に紫外線透過性を有するとともに、前記非発熱用透明導電性薄膜非形成部を被覆しているものであってもよい。
【０００８】
そして、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する前記透明薄膜は、前記電極を被覆していてもよい。また、前記電極が設けられた透明板の周縁部には、全周にわたり発熱用透明導電性薄膜が設けられていない部分を有し、さらに、前記電極も前記透明板の周縁より若干内側に設けられていることが好ましい。さらに、前記透明発熱用プレートの厚さは、１ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
そこで、本発明の顕微鏡用透明加温器具について、図面を用いて説明する。
本発明の透明加温器具を顕微鏡用透明加温器具に応用した実施例を用いて説明する。顕微鏡用透明加温器具は、言い換えれば、顕微鏡用試料支持板である。
図１は、本発明の一実施例の顕微鏡用透明加温器具の斜視図であり、図２は、本発明の一実施例の顕微鏡用透明加温器具の正面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。図４は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図であり、図５は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【００１４】
この実施例の顕微鏡用透明加温器具１は、図１および図２に示すように、透明発熱用プレート２と、この透明発熱用プレート２を収納する環状ハウジング３とを備えている。
透明発熱用プレート２は、透明板５と、透明板５の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、発熱用透明導電性薄膜７を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜８を有している。
そして、顕微鏡用透明加温器具１は、透明発熱用プレート２の裏面に固定された温度センサ１４を備えている。
【００１５】
この実施例では、透明板５は、円形であり、透明板５の一方の面、言い換えれば、透明板５の裏面の周縁部を除く全面に、図３に示すように、発熱用透明導電性薄膜７が設けられている。透明板５には、その円形形状に対応するように、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが設けられている。透明板５には、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分が形成されている。また、温度センサ１４は、この電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分に対応する位置に取り付けられている。
【００１６】
透明板５としては、ガラス板、合成樹脂製板であり、透明かつ絶縁性板状物が使用される。合成樹脂板としては、透明性と絶縁性を有するものであれば特に制限はないが、アクリル板、ポリカーボネート板、スチレン板などの透明性の高いものが好ましく、さらに、硬質のものが好適である。なお、透明板５としては、透明性が高いこと、熱伝導率があまり高くないことより、ガラス板が好適である。ガラスとしては、ソーダライムシリケートガラス、アルミノシリケートガラス、硼珪酸塩ガラス、リチウムアルミノシリケートガラスなどのアルカリ含有ガラス、低アルカリ含有ガラス、無アルカリ含有ガラス、石英ガラスなどが用いられる。透明板５としては厚さが、０．８ｍｍ以下、特には、０．２〜０．６ｍｍのものを用いることが好ましい。透明発熱用プレート２としては、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍｍとすることが好ましい。
透明板５の形状は、上述した円形のものに限られない。なお、円形とは、真円形、楕円形、長方円形などを含むものである。四角形、六角形などの多角形であってもよい。また、電極１０ａ，１０ｂの大きさは、透明板５の全周の４分の１より大きくても、逆に小さくてもよい。
【００１７】
発熱用透明導電性薄膜７は、導電性金属薄膜により形成されており、導電性金属薄膜としては、通電により発熱する性質を有するものが使用される。具体的には、酸化スズ、ＳｉＯ ２ −インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を透明板５の内面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などを利用することができる。
【００１８】
電極１０ａ，１０ｂとしては、銅、銀などの導電性の高い金属薄膜を接着したもの、もしくは、透明板５の所定部位に、銅、銀などの導電性の高い金属を、例えば、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより、薄膜状に付着させたものにより形成されている。そして、電極１０ａ，１０ｂのそれぞれには導電線１２ａ，１２ｂが、接続されており、これら導電線１２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４は、使用時には、後述する温度制御器３１と電気的に接続される。
【００１９】
透明板５は、その周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜７が設けられていない部分を有している。電極１０ａ，１０ｂも透明発熱用プレート２の周縁より離間した内側、言い換えれば、透明板５の周縁部より所定距離内側となる位置に設けられている。このように、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜７が、透明板５の周縁より内側となるように、言い換えれば、透明板５の周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜および電極の両者が存在しない部分が形成されているため、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜７より生じた電磁波が、透明板５の上方に飛ぶことを抑制する。これにより、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜７より、もし電磁波（ノイズ）が発生しても、透明板５の上に載置される観察対象物に影響を与えることを防止する。透明板５の端部と発熱用透明導電性薄膜７および電極１０ａ，１０ｂの端部との距離は、０．５〜１０ｍｍ程度が好ましい。特に、１〜５ｍｍが好ましい。
【００２０】
そして、透明板５の底面には、発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜８を有している。透明薄膜８は、実質的に絶縁性を有するものにより形成されている。この実施例では、透明薄膜８は、電極１０ａ，１０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない透明板５の周縁部も被覆している。透明板５の底面がこのような透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくいとともに、透明発熱用プレート２が、例えば、１ｍｍ以下という薄いものであっても、十分な強度を有する。
【００２１】
透明薄膜８としては、透明硬化薄膜が用いられている。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複合物を主成分とするものが好適である。特に、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜のそれぞれの単体物より形成されていることが好ましい。 また、シリコン系ハードコート剤と呼ばれるものも使用できる。シリコン系ハードコート剤は、オルガノアルコキシシランの加水分解縮合物が加熱によりシラノール基同士が反応して高度な架橋体を形成することを利用するものである。形成される薄膜は、酸化珪素（ＳｉＯ２）の編み目構造の一部に有機基（例えば、アルキル基、具体的には、メチル基、エチル基）が取り込まれた形のものとなる。
【００２２】
透明硬化薄膜８は、上記のような材料を用いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、さらには、デッピング法、コート法（例えば、スプレー法、ロール法、スピンナー法）により付着させた後硬化させることにより形成される。硬化は、加熱法、プラズマ法、常温放置などにより行われる。透明硬化薄膜８としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
【００２３】
透明硬化薄膜としては、具体的には、以下のような方法により形成することができる。例えば、透明導電性薄膜７を形成したガラス板に、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３を、３００°Ｃ、アルゴン雰囲気中、真空度＝５．０×１０−１Ｐａ、印加高周波電力５００Ｗの条件下で、スパッタリングすることにより、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３からなる透明硬化薄膜を形成することができる。また、テトラエトキシシラン重合体、ポリシルセスキオキサン等のオルガノアルコキシシランの加水分解縮合物のを所定量エタノールなどの有機溶媒に溶解した溶液を、透明導電性薄膜７を形成したガラス板に、スプレー法、ロール法、スピンナー法などにより、厚さ約０．１〜１０μｍ程度に塗布し、約５０°Ｃで１０分間乾燥させた後、約３５０〜４５０°Ｃで所定時間焼成することにより、多少の有機基を含むものの、実質的にＳｉＯの架橋硬化膜を形成することができる。
【００２４】
透明硬化薄膜は、上記のような実質的に無機材料からなるものが好ましいが、透明樹脂により形成してもよい。透明硬化性樹脂としては、メラミン系樹脂、グアナミン系樹脂、アミノ樹脂、硬化型アクリル樹脂、イソシアネート硬化型アクリル樹脂、熱硬化性スチレン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂などが使用できる。
【００２５】
ハウジング３は、図１、図２および図３に示すように、中央に設けられた開口２１と、この開口２１を取り囲むように設けられた透明発熱用プレート載置部２２と、電極１０ａ，１０ｂおよび温度センサ１４と接続された接続線を通すための開口部１８を有している。
温度センサ１４は、透明発熱用プレート２の底面に接触するように設けられている。なお、センサ１４は、透明発熱用プレート２内に設けてもよい。さらには、温度センサ１４は、透明発熱用プレート２の表面に設けてもよい。温度センサ１４としては、温度検知可能なものであれば特に制限はないが、熱電対、サーミスタなどが好適である。
【００２６】
電極１０ａ，１０ｂに接続された導電線１２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４に接続された信号線は束ねられて１本のコード１６となって、ハウジング３の小口１８より外部に延びている。そして、このコード１６の端部には、コネクタ２５が取り付けられている。このコネクタ２５は、後述する温度制御器との接続端子を形成している。
【００２７】
そして、この実施例の顕微鏡用透明加温器具は、上記のようにハウジング３が、導電線１２ａ，１２ｂをハウジング３の外部に導出するための開口部１８を有し、開口部１８より導出される導電線１２ａ，１２ｂを任意の形状に保持できる形状付け用部材２０を有している。具体的には、開口部１８内に一端が設けられ外方に延びるチューブ１９を備え、このチューブ１９内に導電線１２ａ，１２ｂを含むコード１６が貫通している。そして、このチューブ１９内には、一端がハウジング３の開口部１８内に固定もしくは離脱防止用の係止部２０ａを備え、コード１６と平行に延びる金属線２０（例えば、針金）が収納されている。金属線２０としては、手で曲げることができる程度の易塑性変形性を有するものが用いられている。金属線は、一本でも複数本設けてもよい。一本の場合には、例えば、線径が、２〜７ｍｍ程度の針金が好適であり、複数本設ける場合には、１〜５ｍｍ程度の針金が好適に使用される。なお、形状付け用部材は、金属線に限られるものではなく、上記チューブ１９内に収納可能な程度の幅の金属板を用いてもよい。さらに、形状付け用部材は、上述のような形態のものに限定されるものではない。例えば、上記のようなチューブを用いる場合には、チューブの外面もしくはコード１６の外面（チューブとコード１６の間となる）に塑性変形可能な金属線もしくは金属板を巻き付けたものであってもよい。また、チューブを用いない場合には、コード１６の外面に塑性変形可能な金属線もしくは金属板を巻き付けたものであってもよい。金属線もしくは金属板の形成材料としては、ステンレス、銅などが使用される。
【００２８】
そして、この顕微鏡用透明加温器具１は、顕微鏡ステージに組み込まれて使用される。顕微鏡用透明加温器具１と温度制御器３１により、温度制御装置が構成されている。図１１は、本発明の透明加温装置に使用される温度制御器のブロック図である。温度制御器３１は、図１１に示すように、透明加温器具（顕微鏡用試料支持板）１のコネクター２５と接続可能なコネクター３２と、透明加温器具１の温度センサ１４により検知されたアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバーター３３と、このコンバーター３３からの信号が入力される温度制御部３５と、温度制御部３５より出力される透明発熱用プレート２の実測温度を表示する測定温度表示部３６と、設定温度を入力する設定温度入力部３７と、設定温度入力部より入力された設定温度を表示する設定温度表示部３９とを有している。そして、温度制御部３５は、温度制御器３１のコネクター３２および透明加温器具１のコネクター２５を介して、発熱用透明導電性薄膜７と接触する電極１０ａ，１０ｂと電気的に接続されており、発熱用透明導電性薄膜７の温度調整機能を有している。そして、設定温度入力部３７は、入力スイッチ３７ａを、また、測定温度表示部３６は、表示窓３６ａを、設定温度表示部３９も表示窓３９ａを備えている。温度制御部３５は、設定温度と測定温度とを比較する比較機能と、この比較機能による比較結果に基づき、発熱用透明導電性薄膜への電力供給状態を調整する温度調整機能（言い換えれば、電力供給調整機能）を有している。温度調整機能（電力供給調整機能）としては、印加電圧を調整する機能、負荷電流を調整する機能、通電のＯＮ／ＯＦＦ状態を調整する機能などのいずれでもよい。
【００２９】
温度制御部は、具体的には、検知された測定温度が、設定温度入力部により入力された設定温度より低い場合には、通電をＯＮし、逆に、検知された測定温度が、設定温度入力部により入力された設定温度より高い場合には、通電をＯＦＦするように制御する。また、温度制御は、ＯＮ／ＯＦＦ制御でない場合には、検知された測定温度が、設定温度入力部により入力された設定温度より低い場合には、電圧または電流を高くするように制御し、逆に、検知された測定温度が、設定温度入力部により入力された設定温度より高い場合には、電圧また電流を低くするか、一時的に通電を中止し、測定温度が設定温度と等しい場合には、与えている電圧また電流を維持することにより行われる。
【００３０】
次に、図４に示す実施例の顕微鏡用透明加温器具４０について説明する。
この実施例の透明加温器具４０の基本構成は、図１ないし図３に示した透明加温器具１と同じである。相違は、透明発熱用プレート４２の構造である。この透明加温器具４０では、透明発熱用プレート４２の透明薄膜４８は、透明樹脂フィルムにより形成されている。透明樹脂フィルムとしては、膜厚が０．０５〜０．２ｍｍ程度のものが用いられる。透明樹脂フィルムとしては、実質的に絶縁性を有するものにより形成されている。具体的には、ポリエステルフィルム（具体的には、ポリエチレンテレフタレートフィルム）、ポリカーボネートフィルム、ポリオレフィンフィルム（例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム）、ポリビニリデンフィルム（具体的には、ポリフッ化ビニリデンフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルムなどが使用できる。強度および膜厚の均一性より、樹脂フィルムは、延伸されていることが好ましい。延伸樹脂フィルムとしては、一軸延伸フィルムでも、二軸延伸フィルムでもよいが、強度の点より、二軸延伸フィルムが特に好適である。
【００３１】
そして、この透明薄膜４８を形成する透明樹脂フィルムは、透明板５の底面に形成された発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆している。この実施例では、透明薄膜４８は、電極１０ａ，１０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない透明板５の周縁部も被覆している。
透明薄膜４８は、透明板５の底面に、接着剤により固着されている。作図上、図４の接着剤層４９が厚いが、透明薄膜４８を透明板５の底面に接着できればよく、実際には薄い層となる。接着剤としては、実質的に絶縁性を有するものが用いられる。接着剤しては、ホットメルト系接着剤、ＲＴＶシリコン系接着剤、ＬＴＶシリコン系接着剤などが使用できる。
この実施例の透明加温器具４０におけるその他の構造は、上述した透明加温器具１と同じである。この透明加温器具４０に用いられている透明発熱用プレート４２としても、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍｍとすることが好ましい。
【００３２】
次に、図５に示す実施例の顕微鏡用透明加温器具５０について説明する。
この実施例の透明加温器具５０の基本構成は、図１ないし図３に示した透明加温器具１と同じである。相違は、透明発熱用プレート５２の構造である。
この透明発熱用プレート５２では、透明板５は、透明板５の他方の面（表面、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない面）に形成された非発熱用透明導電性薄膜９と、非発熱用透明導電性薄膜９と接触するアース線１９と、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明薄膜１１が形成されている。
【００３３】
非発熱用透明導電性薄膜９は、発熱用透明導電性薄膜７の周縁に対応する部分を越え、透明板５の全面を被覆している。透明板５の全面を被覆している。また、非発熱用透明導電性薄膜９としては、上述した発熱用透明導電性薄膜と同じものであってもい。しかし、非発熱用透明導電性薄膜９は、通電により発熱させることを目的とするものでないので、発熱用透明導電性薄膜より抵抗値がより低いものであってもよい。
非発熱用透明導電性薄膜９としては、具体的には、金、銅、酸化スズ、ＳｉＯ２−インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を透明板５の表面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより行うことができる。
そして、非発熱用透明導電性薄膜９には、アース線１９が接続されている。透明板５の表面（上面）に当接し、非発熱用透明導電性薄膜９に到達した電磁波はアース線に流れ消失する。
【００３４】
さらに、透明板５には、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する第二の透明薄膜１１が形成されている。透明薄膜としては、上述した透明加温器具１において用いた透明硬化薄膜８と同じものが好適に利用できる。具体的には、透明薄膜１１としては、透明硬化薄膜が用いられている。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複合物を主成分とするものが好適である。特に、好ましくは、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜のそれぞれの単体物より形成されていることが好ましい。
【００３５】
また、シリコン系ハードコート剤と呼ばれるものも使用できる。シリコン系ハードコート剤は、オルガノアルコキシシランの加水分解縮合物が加熱によりシラノール基同士が反応して高度な架橋体を形成することを利用するものである。形成される薄膜は、酸化珪素（ＳｉＯ２）の編み目構造の一部に有機基（例えば、アルキル基、具体的には、メチル基、エチル基）が取り込まれた形のものとなる。 透明硬化薄膜１１は、上記のような材料を用いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、さらには、デッピング法、コート法（例えば、スプレー法、ロール法、スピンナー法）により付着させた後硬化させることにより形成される。硬化は、加熱法、プラズマ法、常温放置などにより行われる。透明硬化薄膜８としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
【００３６】
なお、透明硬化薄膜１１と、第二の透明硬化薄膜１１は、形成材料が異なっていてもよい。例えば、透明硬化薄膜８を、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３のいずれかにより形成し、第二の透明硬化薄膜１１は、透明硬化薄膜８の形成に用いられた以外のもの、さらには、上述のシリコン系ハードコート剤により形成してもよい。第二の透明硬化薄膜１１としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
このような透明硬化薄膜１１を設けても、透明発熱用プレート５２の肉厚はそれほど増加することはない。透明板５は、表裏両面が透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくく、透明発熱用プレート５２の強度も高い。この透明加温器具５０に用いられている透明発熱用プレート５２としても、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍｍとすることが好ましい。また、このように、透明板５の表面側にも透明硬化薄膜を設ける場合には、透明板５として、より薄いもの、例えば、上述した透明加温器具１に用いられた透明板５より薄いものを用いることもできる。
【００３７】
この実施例の透明加温器具におけるその他の構造は、上述した透明加温器具１と同じである。
次に、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具６０について説明する。
図６は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の正面図であり、図７は、図６のＢ−Ｂ線断面図である。図８は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図であり、図９および図１０は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【００３８】
この実施例の顕微鏡用透明加温器具６０は、紫外線透過性透明板６５と、透明板６５の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、紫外線透過性透明板６５の発熱用透明導電性薄膜形成面に形成された発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａと、発熱用透明導電性薄膜７を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜８とを有する透明発熱用プレート６２を備えている。
顕微鏡用透明加温器具６０は、透明発熱用プレート６２と、この透明発熱用プレートを収納する環状ハウジング３と、透明発熱用プレート６２の裏面に固定された温度センサ１４を備えている。
【００３９】
この実施例では、紫外線透過性透明板６５は、円形であり、紫外線透過性透明板６５の一方の面、言い換えれば、透明板６５の裏面の周縁部と中央部を除く全面に発熱用透明導電性薄膜７が設けられている。紫外線透過性透明板６５には、その円形形状に対応するように、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが設けられている。紫外線透過性透明板６５には、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分が形成されている。また、温度センサ１４は、この電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分に対応する位置に取り付けられている。
【００４０】
紫外線透過性透明板６５としては、紫外線透過性を有するガラス板、合成樹脂製板であり、透明かつ絶縁性板状物が使用される。具体的には、石英ガラスが好適である。透明板６５としては厚さが、０．８ｍｍ以下、特には、０．２〜０．６ｍｍのものを用いることが好ましい。透明発熱用プレート６２としては、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍｍとすることが好ましい。
透明板６５の形状は、上述した円形のものに限られない。なお、円形とは、真円形、楕円形、長方円形などを含むものである。四角形、六角形などの多角形であってもよい。また、電極１０ａ，１０ｂの大きさは、透明板６５の全周の４分の１より大きくても、逆に小さくてもよい。
【００４１】
発熱用透明導電性薄膜７は、導電性金属薄膜により形成されており、導電性金属薄膜としては、通電により発熱する性質を有するものが使用される。具体的には、酸化スズ、ＳｉＯ ２ −インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を紫外線透過性透明板６５の内面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより行うことができる。
【００４２】
電極１０ａ，１０ｂとしては、銅、銀などの導電性の高い金属薄膜を接着したもの、もしくは、透明板６５の所定部位に、銅、銀などの導電性の高い金属を、例えば、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより、薄膜状に付着させたものにより形成されている。そして、電極１０ａ，１０ｂのそれぞれには導電線１２ａ，１２ｂが、接続されており、これら導電線１２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４は、使用時には、温度制御器と電気的に接続される。
【００４３】
紫外線透過性透明板６５は、使用時に顕微鏡の倍率レンズが位置する部分、具体的には、この実施例では、透明板６５の中央部に発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａが設けられている。このように、使用時に顕微鏡の倍率レンズが位置する部分となる中央部を、発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａとすることにより、蛍光顕微鏡を用いても、発熱用透明導電性薄膜が存在しないため、発熱用透明導電性薄膜に起因する紫外線の吸収もしくは散乱がない。発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａは、例えば、非形成部７ａとなる部分をマスキングした状態にて、上述のような発熱用透明導電性薄膜を作製することにより、また、非形成部７ａ部分を含むように発熱用透明導電性薄膜を形成した後、非形成部７ａとなる部分の導電性薄膜を機械的もしくは化学的方法により除去することにより形成することができる。上述したマスキング法によることが好ましい。
【００４４】
また、透明板６５の周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜７が設けられていない部分も形成されている。電極１０ａ，１０ｂも透明発熱用プレート６２の周縁より離間した内側、言い換えれば、紫外線透過性透明板６５の周縁部より所定距離内側となる位置に設けられている。このように、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜が、透明板６５の周縁より内側となるように、言い換えれば、透明板６５の周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜および電極の両者が存在しない部分が形成されているため、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜より生じた電磁波が、紫外線透過性透明板６５の上方に飛ぶことを抑制する。これにより、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜より、もし電磁波（ノイズ）が発生しても、紫外線透過性透明板６５の上に載置される観察対象物に影響を与えることを防止する。紫外線透過性透明板６５の端部と発熱用透明導電性薄膜７および電極１０ａ，１０ｂの端部との距離は、０．５〜１０ｍｍ程度が好ましい。特に、１〜５ｍｍが好ましい。
【００４５】
そして、紫外線透過性透明板６５の底面には、発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜８を有している。透明薄膜８は、実質的に絶縁性を有するものにより形成されている。この実施例では、透明薄膜８は、電極１０ａ，１０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない紫外線透過性透明板６５の周縁部も被覆している。
透明薄膜８としては、上述した透明加温器具１において用いたものが好適に使用できる。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複合物を主成分とするものが好適である。特に、好ましくは、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜のそれぞれの単体物より形成されていることが好ましい。
【００４６】
また、シリコン系ハードコート剤と呼ばれるものも使用できる。シリコン系ハードコート剤は、オルガノアルコキシシランの加水分解縮合物が加熱によりシラノール基同士が反応して高度な架橋体を形成することを利用するものである。形成される薄膜は、酸化珪素（ＳｉＯ２）の編み目構造の一部に有機基（例えば、アルキル基、具体的には、メチル基、エチル基）が取り込まれた形のものとなる。紫外線透過性透明板６５の底面がこのような透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくいとともに、透明発熱用プレート６２が、例えば、１ｍｍ以下という薄いものであっても、十分な強度を有する。
【００４７】
透明硬化薄膜８は、上記のような材料を用いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、さらには、デッピング法、コート法（例えば、スプレー法、ロール法、スピンナー法）により付着させた後硬化させることにより形成される。硬化は、加熱法、プラズマ法、常温放置などにより行われる。透明硬化薄膜８としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
この実施例では、透明硬化薄膜８は、透明板６５の発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａ部分を被覆しないものとなっている。このようにすることにより、透明硬化薄膜８に起因する紫外線の吸収、散乱を防止できる。
しかし、透明硬化薄膜８として、紫外線透過性の高いもの、言い換えれば、紫外線透過性透明硬化薄膜を用いる場合には、図８に示すように、透明硬化薄膜８が、透明板６５の発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａ部分も被覆するものとしてもよい。このようにすることにより、透明加温プレートの中央部での物性の低下がなくなる。紫外線透過性透明硬化薄膜は、例えば、酸化珪素（ＳｉＯ２）のみにより薄膜を形成することにより作製できる。
【００４８】
ハウジング３は、図１、図２および図３に示すように、中央に設けられた開口２１と、この開口２１を取り囲むように設けられた透明発熱用プレート載置部２２と、電極１０ａ，１０ｂおよび温度センサ１４と接続された接続線を通すための開口部１８を有している。
温度センサ１４は、透明発熱用プレート６２の底面に接触するように設けられている。なお、センサ１４は、透明発熱用プレート６２内に設けてもよい。さらには、温度センサ１４は、透明発熱用プレートの表面に設けてもよい。温度センサ１４としては、温度検知可能なものであれば特に制限はないが、熱電対、サーミスタなどが好適である。
電極１０ａ，１０ｂに接続された導電線１２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４に接続された信号線は束ねられて１本のコード１６となって、ハウジング３の小口１８より外部に延びている。そして、このコード１６の端部には、コネクタ２５が取り付けられている。このコネクタ２５は、後述する温度制御器との接続端子を形成している。
【００４９】
そして、この実施例の顕微鏡用透明加温器具は、上記のようにハウジング３が、導電線１２ａ，１２ｂをハウジング３の外部に導出するための開口部１８を有し、開口部１８より導出される導電線１２ａ，１２ｂを任意の形状に保持できる形状付け用部材２０を有している。具体的には、開口部１８内に一端が設けられ外方に延びるチューブ１９を備え、このチューブ１９内に導電線１２ａ，１２ｂを含むコードが貫通している。そして、このチューブ１９内には、一端がハウジング３の開口部１８内に固定もしくは離脱防止用の係止部２０ａを備え、コードと平行に延びる金属線２０（例えば、針金）が収納されている。金属線２０としては、手で曲げることができる程度の易塑性変形性を有するものが用いられている。
この実施例の透明加温器具におけるその他の構造は、上述した透明加温器具１と同じである。
そして、この顕微鏡用透明加温器具１は、顕微鏡ステージに組み込まれて使用される。顕微鏡用透明加温器具１と上述した温度制御器３１により、温度制御装置が構成される。
【００５０】
次に、図９に示す実施例の顕微鏡用透明加温器具９０について説明する。
この実施例の透明加温器具９０の基本構成は、図６および図７に示した透明加温器具６０と同じである。相違は、透明発熱用プレート９２の構造である。
この透明発熱用プレート９２では、紫外線透過性透明板６５は、透明板６５の他方の面（表面、発熱用透明導電性薄膜が形成されていない面）に形成された非発熱用透明導電性薄膜１１と、透明板６５の非発熱用透明導電性薄膜形成面であって、発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａに対応する位置に形成され非発熱用透明導電性薄膜非形成部９ａと、非発熱用透明導電性薄膜９と接触するアース線１９と、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明薄膜１１を有している。
【００５１】
非発熱用透明導電性薄膜９は、紫外線透過性透明板６５の中央部を除く全面を被覆している。また、非発熱用透明導電性薄膜としては、上述した発熱用透明導電性薄膜と同じものであってもい。しかし、非発熱用透明導電性薄膜９は、通電により発熱させることを目的とするものでないので、発熱用透明導電性薄膜より抵抗値がより低いものであってもよい。
非発熱用透明導電性薄膜９としては、具体的には、金、銅、酸化スズ、ＳｉＯ ２ −インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を紫外線透過性透明板６５の表面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより行うことができる。
【００５２】
また、紫外線透過性透明板６５は、使用時に顕微鏡の倍率レンズが位置する部分、具体的には、発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａに対応する位置に、非発熱用透明導電性薄膜非形成部９ａが設けられている。このように、使用時に顕微鏡の倍率レンズが位置する部分となる発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａに対応する位置（中央部）を、導電性薄膜非形成部９ａとすることにより、蛍光顕微鏡を用いても、発熱用透明導電性薄膜が存在しないため、発熱用透明導電性薄膜に起因する紫外線の吸収もしくは散乱がない。発熱用透明導電性薄膜非形成部９ａは、例えば、非形成部９ａとなる部分をマスキングした状態にて、上述のような発熱用透明導電性薄膜を作製することにより、また、非形成部９ａ部分を含むように発熱用透明導電性薄膜を形成した後、非形成部９ａとなる部分の導電性薄膜を機械的もしくは化学的方法により除去することにより形成することができる。上述したマスキング法によることが好ましい。
そして、非発熱用透明導電性薄膜９には、アース線１９が接続されている。透明板６５の表面（上面）に当接し、非発熱用透明導電性薄膜９に到達した電磁波はアース線に流れ消失する。
【００５３】
さらに、紫外線透過性透明板６５には、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する第二の透明薄膜１１が形成されている。透明薄膜としては、上述した透明加温器具１もしくは透明加温器具６０において説明した透明硬化薄膜８と同じものが好適に利用できる。具体的には、透明薄膜１１としては、透明硬化薄膜が用いられている。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複合物を主成分とするものが好適である。特に、好ましくは、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜のそれぞれの単体物より形成されていることが好ましい。
また、シリコン系ハードコート剤と呼ばれるものも使用できる。シリコン系ハードコート剤は、オルガノアルコキシシランの加水分解縮合物が加熱によりシラノール基同士が反応して高度な架橋体を形成することを利用するものである。形成される薄膜は、酸化珪素（ＳｉＯ２）の編み目構造の一部に有機基（例えば、アルキル基、具体的には、メチル基、エチル基）が取り込まれた形のものとなる。
【００５４】
透明硬化薄膜１１は、上記のような材料を用いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、さらには、デッピング法、コート法（例えば、スプレー法、ロール法、スピンナー法）により付着させた後硬化させることにより形成される。硬化は、加熱法、プラズマ法、常温放置などにより行われる。透明硬化薄膜８としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
【００５５】
なお、透明硬化薄膜１１と、第二の透明硬化薄膜１１は、形成材料が異なっていてもよい。例えば、透明硬化薄膜８を、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３のいずれかにより形成し、第二の透明硬化薄膜１１は、透明硬化薄膜８の形成に用いられた以外のもの、さらには、上述のシリコン系ハードコート剤により形成してもよい。第二の透明硬化薄膜１１８としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
このような透明硬化薄膜１１を設けても、透明発熱用プレート５２の肉厚はそれほど増加することはない。透明板６５は、表裏両面ともに透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくくなるとともに、透明発熱用プレート５２の強度がより高いものとなる。この透明加温器具５０に用いられている透明発熱用プレート５２としても、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍｍとすることが好ましい。また、このように、透明板６５の表面側にも透明硬化薄膜を設ける場合には、透明板６５として、より薄いもの、例えば、上述した透明加温器具１に用いられた透明板６５より薄いものを用いることもできる。
【００５６】
この実施例では、透明硬化薄膜１１は、透明板６５の非発熱用透明導電性薄膜非形成部９ａ部分を被覆しないものとなっている。このようにすることにより、透明硬化薄膜１１に起因する紫外線の吸収、散乱を防止できる。
しかし、図１０に示すように、透明硬化薄膜８、１１として、紫外線透過性の高いもの、言い換えれば、紫外線透過性透明硬化薄膜を用いる場合には、透明硬化薄膜１１が、透明板６５の発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａ、１１ａ部分も被覆するものとしてもよい。このようにすることにより、透明加温プレートの中央部での物性の低下がなくなる。紫外線透過性透明硬化薄膜は、例えば、酸化珪素（ＳｉＯ２）のみにより薄膜を形成することにより作成できる。
この実施例の透明加温器具におけるその他の構造は、上述した透明加温器具６０と同じである。
【００５７】
なお、上述した実施例のものは、顕微鏡用透明加温器具であるが、顕微鏡ではなく、肉眼により観察するための観察用透明加温器具とすることもできる。構成はすべて同じである。観察用透明加温器具としては、動物、植物などの細胞、微生物（細菌、酵母、カビ）、樹脂のガラス転移点、軟化点もしくは融点などが考えられる。
【００５８】
次に、図１２ないし図１４の本発明の顕微鏡用透明加温器具について説明する。
図１２は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図であり、図１３は、図１２のＣ−Ｃ線断面図であり、図１４は、図１２のＤ−Ｄ線断面図である。図１５は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
この実施例の顕微鏡用透明加温器具１００は、図１２および図１３に示すように、透明発熱用プレート１０２と、この透明発熱用プレート１０２を収納する環状ハウジング３とを備えている。ハウジング３は、透明発熱用プレート１０２の周縁部を保持している。
【００５９】
具体的には、図１２ないし図１４に示すように、この実施例の透明発熱用プレート１０２は、透明板５と、この透明板５の一方の面（裏面）に形成された第１の発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、発熱用透明導電性薄膜７を被覆する実質的に絶縁性を有する第１の透明薄膜８を有し、さらに、透明板５の他方の面（表面）に形成された第２の発熱用透明導電性薄膜２７と、この第２の発熱用透明導電性薄膜２７と接触し向かい合う一対の第２の発熱用電極３０ａ，３０ｂと、発熱用透明導電性薄膜２７を被覆する実質的に絶縁性を有する第２の透明薄膜２８を有している。
【００６０】
このため、透明加温プレートの形状が、円形であっても、また、透明加温プレートの中央部が発熱用透明導電性薄膜非形成部となっていても、さらには、貫通口が設けられていても、プレートの形態に影響される事なく、観察に使用される透明加温プレートの中央付近をほぼ均一な温度に加温することができる。
なお、透明発熱用プレート１０２の形態は、このようなものに限られるものではない。例えば、図１５に示すように、透明発熱用プレートは、透明板５と、この透明板５の一方の面に形成された第１の発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、発熱用透明導電性薄膜７を被覆する実質的に絶縁性を有する第１の透明薄膜８を有し、さらに、透明板５の第１の透明薄膜８を被覆する第２の発熱用透明導電性薄膜２７と、この第２の発熱用透明導電性薄膜２７と接触し向かい合う一対の発熱用電極３０ａ，３０ｂと、発熱用透明導電性薄膜２７を被覆する実質的に絶縁性を有する第２の透明薄膜２８を有するものであってもよい。
【００６１】
この顕微鏡用透明加温器具１００の基本構成は、上述した顕微鏡用透明加温器具１と同じであり、相違は、透明板の表面側に第２の発熱用透明導電性薄膜２７と、この第２の発熱用透明導電性薄膜２７と接触し向かい合う一対の発熱用電極３０ａ，３０ｂと、発熱用透明導電性薄膜２７を被覆する実質的に絶縁性を有する第２の透明薄膜２８を有している点である。同一部分について、同じ符号を付し、上述の説明を参照する。
そして、顕微鏡用透明加温器具１００は、透明発熱用プレート１０２の裏面に固定された温度センサ１４を備えている。
そして、向かい合う一対の第２の発熱用電極３０ａ，３０ｂの中心線は、図１２に示すように、向かい合うの透明板用電極１０ａ，１０ｂの中心線とほぼ直交するように設けられている。
【００６２】
この実施例では、透明板５は、円形であり、裏面の周縁部を除くほぼ全面に発熱用透明導電性薄膜７が設けられている。透明板５には、その円形形状に対応するように、全周のほぼ４分の１より若干短い長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが設けられている。また、透明板５には、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分が形成されている。また、温度センサ１４は、この電極が存在しない部分に取り付けられている。また、透明板５の表面にも、表面の周縁部を除くほぼ全面に発熱用透明導電性薄膜７が設けられており、さらに、その円形形状に対応するように、全周のほぼ４分の１より若干短い長さの円弧で向かい合う２つの電極３０ａ，３０ｂが設けられている。透明板５の表面側にも、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極が存在しない部分が形成されている。
【００６３】
図１２に示すように、透明板５に設けた電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂが実質的に重ならないように両電極は形成されている。これにより、電極１０ａ，１０ｂの中心線は、電極３０ａ，３０ｂの中心線とプレート中央部にてほぼ直交している。ほぼ直交するとは、９０°で直交するものに限られず、８０〜１１０°程度で交差するものを含んでいる。
【００６４】
透明板の形状は、上述した円形のものに限られない。なお、円形とは、真円形、楕円形、長方円形などを含むものである。四角形、六角形などの多角形であってもよい。また、電極の形状は、設けられた電極１０ａ，１０ｂ、３０ａ，３０ｂのすべてが同じ大きさであることが好ましいが、これに限らず、例えば、透明板５の裏面側に設けられる電極１０ａ，１０ｂを全周の４分の１より大きく（具体的には、全周の３分の１）形成し、第２の電極３０ａ，３０ｂを全周の４分の１より小さく（具体的には、全周の６分の１）してもよい。設けられた電極１０ａ，１０ｂ、３０ａ，３０ｂにより、透明発熱用プレートの全周が包囲されるものに限られず、例えば、透明板５に設けられる電極１０ａ，１０ｂを全周の５分の１程度とし、第２透明板の電極３０ａ，３０ｂも全周の５分の１程度とし、かつ両電極の中心線がほぼ直交するように形成してもよい。これにより、透明発熱用プレートの周縁部に加温されない部分が形成されるが、透明発熱用プレートの中央部分は良好な加温状態を得ることができる。また、電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂは、相互に通電しないので、端部部分が重なるように配置してもよい。さらに、電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂの形態は、上述した円弧状のものに限られず、例えば、図１６に示すように、直線状ものとしてもよい。この場合においても、電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂは、相互に通電しないので、端部部分が重なるように配置してもよく、また、逆に、電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂの端部部分が重ならないように配置してもよく。
【００６５】
透明板５は、その周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜７，２７が設けられていない部分を有している。電極１０ａ，１０ｂ、および電極３０ａ，３０ｂも透明発熱用プレート２の周縁より離間した内側、言い換えれば、透明板５の周縁部より所定距離内側となる位置に設けられている。このように、発熱用透明導電性薄膜７、２７、電極１０ａ，１０ｂ、３０ａ，３０ｂが、透明板５の周縁より内側となるように、言い換えれば、透明板５の周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜および電極の両者が存在しない部分が形成されているため、電極および発熱用透明導電性薄膜より生じた電磁波が、透明板５の上方に飛ぶことを抑制する。これにより、電極および発熱用透明導電性薄膜より、もし電磁波（ノイズ）が発生しても、透明板５の上に載置される観察対象物に影響を与えることを防止する。透明板５の端部と発熱用透明導電性薄膜７、２７および電極１０ａ，１０ｂの端部との距離は、０．５〜１０ｍｍ程度が好ましい。特に、１〜５ｍｍが好ましい。
【００６６】
そして、透明板５は、裏面側に形成された発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜８および表面側に形成された発熱用透明導電性薄膜２７の全体を被覆する透明薄膜２８を有している。透明薄膜８，２８は、実質的に絶縁性を有するものにより形成されている。この実施例では、透明薄膜８は、電極１０ａ，１０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない透明板５の周縁部も被覆している。透明板５の裏面（底面）がこのような透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくい。同様に、この実施例では、透明薄膜２８は、電極３０ａ，３０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜２７が形成されていない透明板５の周縁部も被覆している。透明板５の表面（上面）もこのような透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくい。また、透明薄膜を有することにより、透明発熱用プレート２が、例えば、１ｍｍ以下という薄いものであっても、十分な強度を有する。また、透明薄膜としては、上述した透明硬化薄膜が好適である。
【００６７】
また、透明板として、紫外線透過性のものを用いて、図６から図１０に示し、上述した実施例のように、透明板５の中央部（透明発熱用プレート１０２の中央部）に発熱用透明導電性薄膜７、２７が設けられていない部分（発熱用透明導電性薄膜非形成部）を設けたものとしてもよい。
この場合、発熱用透明導電性薄膜非形成部には、上述したように、透明薄膜（特に、透明硬化薄膜）も設けないものとするか、透明薄膜（特に、透明硬化薄膜）を紫外線透過性材料により形成することが好ましい。
透明板、発熱用透明導電性薄膜、発熱用電極、透明薄膜（透明硬化薄膜）、ハウジング、センサなどとしては、上述したものと同じである。
【００６８】
次に、図１７および図１８の本発明の顕微鏡用透明加温器具について説明する。
図１７は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図であり、図１８は、図１７のＥ−Ｅ線断面図である。
この実施例の顕微鏡用透明加温器具１１０は、図１７および図１８に示すように、透明発熱用プレート１０２と、この透明発熱用プレート１１２を収納する環状ハウジング３とを備えている。
この顕微鏡用透明加温器具１１０は、図１２ないし図１４に示し、上述した顕微鏡用透明加温器具１００と同じであり、相違は、透明板が多角形（四角形、特に正方形）となっており、かつ、中央部に円形の貫通口１１１が設けられている点のみである。また、この実施例の顕微鏡用透明加温器具１１０においても、基本構成は、上述した顕微鏡用透明加温器具１とも同じである。よって、同一部分は、同じ符号を付し、上述の説明を参照する。
【００６９】
この顕微鏡用透明加温器具１１０の透明発熱用プレート１１２においても、透明発熱用プレート１１２は、透明板５と、この透明板５に形成された第１の発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、第２の発熱用透明導電性薄膜２７と、この第２の発熱用透明導電性薄膜２７と接触し向かい合う一対の発熱用電極３０ａ，３０ｂと、発熱用透明導電性薄膜２７を被覆する実質的に絶縁性を有する第２の透明薄膜２８を有している。そして、向かい合う一対の第２の発熱用電極３０ａ，３０ｂの中心線は、図１７に示すように、向かい合うの透明板用電極１０ａ，１０ｂの中心線とほぼ直交するように設けられている。
【００７０】
図１７に示すように、透明板５に設けた電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂが実質的に重ならないように両電極は形成されている。これにより、電極１０ａ，１０ｂの中心線は、電極３０ａ，３０ｂの中心線とプレート中央部にてほぼ直交している。ほぼ直交するとは、９０°で直交するものに限られず、８０〜１１０°程度で交差するものを含んでいる。
このため、透明加温プレート１１２の中央部に貫通口１１１が形成されていてもこれに影響される事なく、観察に使用される透明加温プレートの中央付近をほぼ均一な温度に加温することができる。
【００７１】
透明板５としては、正方形のものが用いられているが、これに限られるものではなく、長方形であってもよい。また、透明板の中央の貫通口の大きさは、５〜３０ｍｍ程度のものが好適である。そして、貫通口１１１の内表面では、透明板５に形成された発熱用透明導電性薄膜７の端面および発熱用透明導電性薄膜２７は、透明薄膜（透明硬化薄膜）８，２８により、被覆されている。さらに、透明板５の貫通口の内側面も透明薄膜により、（図示するものでは、透明薄膜８，２８がそれぞれ半分ずつ）被覆されており、透明薄膜（透明硬化薄膜）８，２８は、透明板５の貫通口の内周面の中央付近にて接合した状態となっている。発熱用透明導電性薄膜の端面が透明薄膜により被覆されているので、発熱用透明導電性薄膜より生じた電磁波が、透明板５の上方に飛ぶことを抑制する。また、透明加温プレートの中央部の貫通口の周縁部を補強している。
透明板、発熱用透明導電性薄膜、発熱用電極、透明薄膜（透明硬化薄膜）、ハウジング、センサなどとしては、上述したものと同じである。
【００７２】
次に、図１９および図２０に示す本発明の透明加温器具について説明する。
図１９は、本発明の高温用透明加温器具の平面図であり、図２０は、図１９のＦ−Ｆ線断面図である。
この高温用透明加温器具は、耐熱性透明板５と、透明板５の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１２５，１２６と、発熱用電極１２５，１２６のそれぞれに固着された通電線１２７，１２８とを有する透明発熱用プレート１２２を備える。透明発熱用プレート１２２は、通電による加温可能領域１２３と通電による加温不能領域１２４を有し、一対の発熱用電極１２５，１２６のそれぞれは、一端が前記加温可能領域１２３に位置し、他端１２５ａ，１２６ａが加温不能領域１２４に位置し、通電線１２７，１２８は、加温不能領域に位置する部分（１２５ａ，１２６ａ部分）において電極１２５，１２６と固着されている。
【００７３】
このため、透明加温器具を通電し、加熱させても、通電線１２７，１２８と電極１２５，１２６と固着部分は直接発熱せず、伝熱による加温のみであるため、発熱領域に比べて温度が低く、通電線１２７，１２８を電極１２５，１２６に固着するために用いられた導電性接着剤が溶融することがない。
この透明加温器具１２０の基本構成は、上述した顕微鏡用透明加温器具１と同じであり、相違は、透明板５として耐熱性のものを用いている点と、透明発熱用プレート１２２が通電による加温不能領域１２４を有し、一対の発熱用電極１２５，１２６のそれぞれは、通電線１２７，１２８と加温不能領域に位置する部分（１２５ａ，１２６ａ部分）において接続されている点のみである。
この実施例の透明加温器具１２０では、透明発熱用プレート１２２は、発熱用透明導電性薄膜形成部１２３と、発熱用透明導電性薄膜非形成部１２４を有し、発熱用透明導電性薄膜形成部により加温可能領域が形成され、発熱用透明導電性薄膜非形成部により加温不能領域が形成されている。
【００７４】
透明板５の一方の面（下面、裏面）の中央部にのみ発熱用透明導電性薄膜７が設けられている。そして、電極１２５，１２６が発熱用透明導電性薄膜７の周縁部に設けられている。また、電極１２５，１２６は、透明板５の発熱用透明導電性薄膜非形成部１２４内に延び、透明板５の周縁部に至る延長部１２５ａ，１２６ａを有している。そして、延長部１２５ａ，１２６ａの端部付近に、通電線１２７，１２８が導電性接着剤により固定されている。
なお、このような形態のものに限られるものではない。例えば、透明発熱用プレートは、透明板の一方の面のほぼ全面に発熱用透明導電性薄膜が設け、かつ、電極１２５，１２６がプレートの端部より所定距離中央に寄った位置に設け、さらに、電極の他端部１２５ａ，１２６ａがプレートの周縁部付近に位置するようにしたものでもよい。つまり、図１９において、電極１２５，１２６の形態は同じとし、発熱用透明導電性薄膜を透明板のほぼ全面に設けてもよい。このように全面に設けても、実質的に加温されるのは向かい合う電極１２５，１２６間（加温可能領域）であり、加温不能領域に位置する電極の他端部１２５ａ，１２６ａの端部は加温されない。
【００７５】
耐熱性透明板としては、耐熱性ガラス板、耐熱性透明樹脂板が使用できる。耐熱性ガラス板としては、石英ガラスなどのシリカガラス板、高ケイ酸ガラス板、硼珪酸塩ガラス板などが使用できる。透明板５としては厚さが、０．３〜５ｍｍ程度のものが使用される。
透明板５の形状は、図示する四角形のものに限定されるものではなく、円形、（真円形、楕円形、長方円形）、六角形などの多角形であってもよい。
発熱用透明導電性薄膜７は、導電性金属薄膜により形成されており、導電性金属薄膜としては、通電により発熱する性質を有するものが使用される。具体的には、酸化スズ、ＳｉＯ ２ −インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を透明板５の内面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などを利用することができる。特に、この透明器具では、８０°Ｃ以上に加熱可能であることが好ましく、特に、１００°Ｃ以上、さらには、２００°Ｃ以上の高温に加熱可能であることが好ましい。このため導電性金属薄膜は上述した透明加温器具１より高抵抗となっている。このような高抵抗（高発熱性）導電性金属薄膜は、抵抗値が高い導電性金属を用いること、もしくは、各種添加剤を加えて薄膜の抵抗値を高くすること、導電性金属薄膜を極めて薄いものとすることなどにより作製できる。
【００７６】
電極１２５，１２６としては、銅、銀などの導電性の高い金属薄膜を接着したもの、もしくは、透明板５の所定部位に、銅、銀などの導電性の高い金属を、例えば、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより、薄膜状に付着させたものにより形成されている。そして、電極１２５，１２６のそれぞれには導電線１２７，１２８が、接続されており、これら導電線１２７，１２８および温度センサ１４は、使用時には、上述した後述する温度制御器３１と電気的に接続される。
【００７７】
そして、透明板５の底面には、少なくとも発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜８を有している。透明薄膜８は、実質的に絶縁性を有するものにより形成されている。この実施例では、透明薄膜８は、電極１２５，１２６の全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない透明板５の周縁部も被覆している。透明板５の底面がこのような透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくいとともに、透明発熱用プレート２が、例えば、１ｍｍ以下という薄いものであっても、十分な強度を有する。
【００７８】
透明薄膜８としては、透明硬化薄膜、特に、耐熱性透明硬化薄膜が用いられている。耐熱性透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複合物を主成分とするものが好適である。特に、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜のそれぞれの単体物より形成されていることが好ましい。
透明硬化薄膜としては、具体的には、以下のような方法により形成することができる。例えば、透明導電性薄膜７を形成したガラス板に、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３を、３００°Ｃ、アルゴン雰囲気中、真空度＝５．０×１０−１Ｐａ、印加高周波電力５００Ｗの条件下で、スパッタリングすることにより、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３からなる透明硬化薄膜を形成することができる。
【００７９】
ハウジング３は、図１９および図２０に示すように、中央に設けられた開口と、この開口を取り囲むように設けられた透明発熱用プレート載置部と、導電線１２７，１２８および温度センサ１４と接続された接続線を通すための開口部を有している。
温度センサ１４は、透明発熱用プレート１２２の底面に接触するように設けられている。なお、温度センサ１４は、透明発熱用プレートの内部に設けてもよい。さらには、温度センサ１４は、透明発熱用プレート２の表面に設けてもよい。温度センサ１４としては、温度検知可能なものであれば特に制限はないが、熱電対、サーミスタなどが好適である。
【００８０】
電極１２５，１２６に接続された導電線１２７，１２８および温度センサ１４に接続された信号線は束ねられて１本のコード１６となって、ハウジング３の小口１８より外部に延びている。そして、このコード１６の端部には、コネクタ（図示せず）が取り付けられている。このコネクタは、後述する温度制御器との接続端子を形成している。
また、ハウジング３の透明発熱用プレート載置部と透明発熱用プレート１２２間には、円盤状の断熱材１３４が設けられており、また、透明発熱用プレートの側面とハウジング３の内面間には、リング状の断熱材１３５が設けられている。これら断熱材により、透明発熱用プレートの熱のハウジング３への伝達を少なくしている。断熱材としては、グラスウール、炭素繊維、石綿などで形成されたものが使用できる。
【００８１】
さらに、ハウジング３としては、ある程度の耐熱性を有するもので形成されている。具体的には、耐熱性樹脂もしくは金属により形成されている。そして、この加温器具では、透明板が発熱することにより、ハウジング３内の空間も加熱され、空間内の空気が膨張し内圧が上昇する。ハウジング３には、この内圧上昇を逃がすための開口１３７ａ，１３７ｂが形成されている。開口１３７ａ，１３７ｂは、ハウジング３の側面に設けられており、ハウジング３の内面、透明板５、断熱材１３４，１３５により形成される環状空間を外部と連通させている。
【００８２】
また、透明発熱用プレート１２２としては、図２１に示すように、透明板５の他方の面（表面、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない面）に形成された非発熱用透明導電性薄膜９と、非発熱用透明導電性薄膜９と接触するアース線１９と、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明薄膜１１が形成されたものとしてもよい。
非発熱用透明導電性薄膜９は、発熱用透明導電性薄膜７の周縁に対応する部分を越え、透明板５の全面を被覆している。また、非発熱用透明導電性薄膜９としては、上述した発熱用透明導電性薄膜と同じものであってもよい。しかし、非発熱用透明導電性薄膜９は、通電により発熱させることを目的とするものでないので、発熱用透明導電性薄膜より抵抗値がより低いものであってもよい。
非発熱用透明導電性薄膜９としては、具体的には、金、銅、酸化スズ、ＳｉＯ２−インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を透明板５の表面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより行うことができる。
【００８３】
そして、非発熱用透明導電性薄膜９には、アース線１９が接続されている。透明板５の表面（上面）に当接し、非発熱用透明導電性薄膜９に到達した電磁波はアース線に流れ消失する。
さらに、透明板５には、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する第二の透明薄膜１１が形成されている。透明薄膜としては、上述した透明加温器具１において用いた透明硬化薄膜８と同じものが好適に利用できる。 このような透明硬化薄膜１１を設けることにより、透明板５は、表裏両面が透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくく、透明発熱用プレートの強度も高くなる。
【００８４】
【発明の効果】
本発明の顕微鏡用透明加温器具は、透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜とを有する透明発熱用プレートを備えている。このため、加温プレートを十分に薄くでき、中央に開口部を有しなくても、倒立顕微鏡のステージに固定した場合に倍率レンズの回転に障害となることがなく、かつ、透明薄膜を有するため十分な強度も有する。
【００８５】
また、本発明の顕微鏡用透明加温器具は、紫外線透過性透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記紫外線透過性透明板の前記発熱用透明導電性薄膜形成面に形成された発熱用透明導電性薄膜非形成部と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜とを有する透明発熱用プレートを備えている。このため、加温プレートを十分に薄くでき、中央に開口部を有しなくても、倒立顕微鏡のステージに固定した場合に倍率レンズの回転に障害となることがなく、かつ、透明薄膜を有するため十分な強度も有する。さらに、蛍光顕微鏡に用いても、紫外線の吸収もしくは反射が少ないため、観察を容易かつ確実なものとできる。
【００８６】
また、本発明の顕微鏡用透明加温器具は、透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記発熱用電極のそれぞれに固着された導電線とを有する透明発熱用プレートと、該透明発熱プレートの周縁部を保持するハウジングとを備える透明加温器具であって、該ハウジングは、前記導電線をハウジングの外部に導出するための開口部を有し、前記透明加温器具は、該開口部より導出される導電線を任意の形状に保持できる形状付け用部材を有している。このため、透明加温器具のコードを顕微鏡の倍率レンズなどにからまないような任意の形状とすることおよびその状態の保持ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は、本発明の一実施例の顕微鏡用透明加温器具の斜視図である。
【図２】 図２は、本発明の一実施例の顕微鏡用透明加温器具の正面図である。
【図３】 図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】 図４は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図５】 図５は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図６】 図６は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の正面図である。
【図７】 図７は、図６のＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】 図８は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図９】 図９は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図１０】 図１０は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図１１】 図１１は、本発明の透明加温装置に使用される温度制御器の一例のブロック図である。
【図１２】 図１２は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図である。
【図１３】 図１３は、図１２のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１４】 図１４は、図１２のＤ−Ｄ線断面図である。
【図１５】 図１５は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図１６】 図１６は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図である。
【図１７】 図１７は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図である。
【図１８】 図１８は、図１７のＥ−Ｅ線断面図である。
【図１９】 図１９は、本発明の高温用透明加温器具の平面図である。
【図２０】 図２０は、図１９のＦ−Ｆ線断面図である。
【図２１】 図２１は、本発明の他の実施例の高温用透明加温器具の断面図である。
【符号の説明】
１ 顕微鏡用透明加温器具
２ 透明発熱用プレート
３ 環状ハウジング
５ 透明板
７ 発熱用透明導電性薄膜
８ 透明薄膜
１０ａ，１０ｂ 発熱用電極
【発明の属する技術分野】
本発明は、上面に載置される観察対象物、培養容器などを加温するための顕微鏡用透明加温器具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、家畜の改良、増殖などの目的で人工授精が行われている。また、不妊症対策などの目的より、人類にも人工授精が行われて来ている。このような人工授精に際して、予め輸送される***の活力や性状を顕微鏡で検査してその適性を確認する必要がある。そして、動物の種類によっても異なるが、一般的に***は、３７〜３８℃にて至適活性を有するため、検査もこの温度にて行うことが好ましい。
このような目的より、例えば、特開昭６２−１３５８０３号公報に示すような顕微鏡観察用加温装置を本発明者は提案している。この加温装置は、ヒーターステージと、その加温手段を有している。そして、ヒーターステージは、上下の透明なガラス板の間に透明な導電膜を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
最近では、倒立顕微鏡が普及して来ている。倒立顕微鏡では、レンズ部分がステージの下方に設けられているため、ステージの中央が貫通口となっていることが好ましい。このように貫通口があることにより、倒立顕微鏡の倍率レンズの確認が容易となる。このため、顕微鏡透明加温プレートのほぼ中央にも貫通口を設けることが必要となっていた。
しかし、本発明者が検討したところ、プレートの厚さが十分に薄くできれば、このような開口を設ける必要がないことがわかった。しかし、プレートを薄くすると強度面での問題も生じる。
そこで、本発明の目的は、加温プレートを十分に薄くでき、中央に開口部を有しなくても、倒立顕微鏡のステージに固定した場合に倍率レンズの回転に障害となることがなく、かつ、十分な強度を有することができる顕微鏡用透明加温器具を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するものは、透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明硬化薄膜とを有する透明発熱用プレートを備える顕微鏡用透明加温器具である。
そして、前記透明板は、該透明板の他方の面に形成された非発熱用透明導電性薄膜と、該非発熱用透明導電性薄膜と接触するアース線と、前記非発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明硬化薄膜を有していることが好ましい。そして、前記非発熱用透明導電性薄膜は、前記透明板の他方の面のほぼ全体を被覆するものであることが好ましい。
【０００６】
また、上記目的を達成するものは、紫外線透過性透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記紫外線透過性透明板の前記発熱用透明導電性薄膜形成面に形成された発熱用透明導電性薄膜非形成部と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明硬化薄膜とを有する透明発熱用プレートを備える顕微鏡用透明加温器具である。
【０００７】
そして、前記紫外線透過性透明板は、該紫外線透過性透明板の他方の面に形成された非発熱用透明導電性薄膜と、該紫外線透過性透明板の前記非発熱用透明導電性薄膜形成面であって、前記発熱用透明導電性薄膜非形成部に対応する位置に形成され非発熱用透明導電性薄膜非形成部と、該非発熱用透明導電性薄膜と接触するアース線と、前記非発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明薄膜を有していることが好ましい。さらに、前記第二の透明薄膜は、前記非発熱用透明導電性薄膜非形成部を実質的に被覆していないものであってもよい。また、前記第二の透明薄膜は、実質的に紫外線透過性を有するとともに、前記非発熱用透明導電性薄膜非形成部を被覆しているものであってもよい。
【０００８】
そして、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する前記透明薄膜は、前記電極を被覆していてもよい。また、前記電極が設けられた透明板の周縁部には、全周にわたり発熱用透明導電性薄膜が設けられていない部分を有し、さらに、前記電極も前記透明板の周縁より若干内側に設けられていることが好ましい。さらに、前記透明発熱用プレートの厚さは、１ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
そこで、本発明の顕微鏡用透明加温器具について、図面を用いて説明する。
本発明の透明加温器具を顕微鏡用透明加温器具に応用した実施例を用いて説明する。顕微鏡用透明加温器具は、言い換えれば、顕微鏡用試料支持板である。
図１は、本発明の一実施例の顕微鏡用透明加温器具の斜視図であり、図２は、本発明の一実施例の顕微鏡用透明加温器具の正面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。図４は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図であり、図５は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【００１４】
この実施例の顕微鏡用透明加温器具１は、図１および図２に示すように、透明発熱用プレート２と、この透明発熱用プレート２を収納する環状ハウジング３とを備えている。
透明発熱用プレート２は、透明板５と、透明板５の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、発熱用透明導電性薄膜７を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜８を有している。
そして、顕微鏡用透明加温器具１は、透明発熱用プレート２の裏面に固定された温度センサ１４を備えている。
【００１５】
この実施例では、透明板５は、円形であり、透明板５の一方の面、言い換えれば、透明板５の裏面の周縁部を除く全面に、図３に示すように、発熱用透明導電性薄膜７が設けられている。透明板５には、その円形形状に対応するように、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが設けられている。透明板５には、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分が形成されている。また、温度センサ１４は、この電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分に対応する位置に取り付けられている。
【００１６】
透明板５としては、ガラス板、合成樹脂製板であり、透明かつ絶縁性板状物が使用される。合成樹脂板としては、透明性と絶縁性を有するものであれば特に制限はないが、アクリル板、ポリカーボネート板、スチレン板などの透明性の高いものが好ましく、さらに、硬質のものが好適である。なお、透明板５としては、透明性が高いこと、熱伝導率があまり高くないことより、ガラス板が好適である。ガラスとしては、ソーダライムシリケートガラス、アルミノシリケートガラス、硼珪酸塩ガラス、リチウムアルミノシリケートガラスなどのアルカリ含有ガラス、低アルカリ含有ガラス、無アルカリ含有ガラス、石英ガラスなどが用いられる。透明板５としては厚さが、０．８ｍｍ以下、特には、０．２〜０．６ｍｍのものを用いることが好ましい。透明発熱用プレート２としては、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍｍとすることが好ましい。
透明板５の形状は、上述した円形のものに限られない。なお、円形とは、真円形、楕円形、長方円形などを含むものである。四角形、六角形などの多角形であってもよい。また、電極１０ａ，１０ｂの大きさは、透明板５の全周の４分の１より大きくても、逆に小さくてもよい。
【００１７】
発熱用透明導電性薄膜７は、導電性金属薄膜により形成されており、導電性金属薄膜としては、通電により発熱する性質を有するものが使用される。具体的には、酸化スズ、ＳｉＯ ２ −インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を透明板５の内面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などを利用することができる。
【００１８】
電極１０ａ，１０ｂとしては、銅、銀などの導電性の高い金属薄膜を接着したもの、もしくは、透明板５の所定部位に、銅、銀などの導電性の高い金属を、例えば、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより、薄膜状に付着させたものにより形成されている。そして、電極１０ａ，１０ｂのそれぞれには導電線１２ａ，１２ｂが、接続されており、これら導電線１２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４は、使用時には、後述する温度制御器３１と電気的に接続される。
【００１９】
透明板５は、その周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜７が設けられていない部分を有している。電極１０ａ，１０ｂも透明発熱用プレート２の周縁より離間した内側、言い換えれば、透明板５の周縁部より所定距離内側となる位置に設けられている。このように、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜７が、透明板５の周縁より内側となるように、言い換えれば、透明板５の周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜および電極の両者が存在しない部分が形成されているため、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜７より生じた電磁波が、透明板５の上方に飛ぶことを抑制する。これにより、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜７より、もし電磁波（ノイズ）が発生しても、透明板５の上に載置される観察対象物に影響を与えることを防止する。透明板５の端部と発熱用透明導電性薄膜７および電極１０ａ，１０ｂの端部との距離は、０．５〜１０ｍｍ程度が好ましい。特に、１〜５ｍｍが好ましい。
【００２０】
そして、透明板５の底面には、発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜８を有している。透明薄膜８は、実質的に絶縁性を有するものにより形成されている。この実施例では、透明薄膜８は、電極１０ａ，１０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない透明板５の周縁部も被覆している。透明板５の底面がこのような透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくいとともに、透明発熱用プレート２が、例えば、１ｍｍ以下という薄いものであっても、十分な強度を有する。
【００２１】
透明薄膜８としては、透明硬化薄膜が用いられている。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複合物を主成分とするものが好適である。特に、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜のそれぞれの単体物より形成されていることが好ましい。 また、シリコン系ハードコート剤と呼ばれるものも使用できる。シリコン系ハードコート剤は、オルガノアルコキシシランの加水分解縮合物が加熱によりシラノール基同士が反応して高度な架橋体を形成することを利用するものである。形成される薄膜は、酸化珪素（ＳｉＯ２）の編み目構造の一部に有機基（例えば、アルキル基、具体的には、メチル基、エチル基）が取り込まれた形のものとなる。
【００２２】
透明硬化薄膜８は、上記のような材料を用いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、さらには、デッピング法、コート法（例えば、スプレー法、ロール法、スピンナー法）により付着させた後硬化させることにより形成される。硬化は、加熱法、プラズマ法、常温放置などにより行われる。透明硬化薄膜８としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
【００２３】
透明硬化薄膜としては、具体的には、以下のような方法により形成することができる。例えば、透明導電性薄膜７を形成したガラス板に、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３を、３００°Ｃ、アルゴン雰囲気中、真空度＝５．０×１０−１Ｐａ、印加高周波電力５００Ｗの条件下で、スパッタリングすることにより、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３からなる透明硬化薄膜を形成することができる。また、テトラエトキシシラン重合体、ポリシルセスキオキサン等のオルガノアルコキシシランの加水分解縮合物のを所定量エタノールなどの有機溶媒に溶解した溶液を、透明導電性薄膜７を形成したガラス板に、スプレー法、ロール法、スピンナー法などにより、厚さ約０．１〜１０μｍ程度に塗布し、約５０°Ｃで１０分間乾燥させた後、約３５０〜４５０°Ｃで所定時間焼成することにより、多少の有機基を含むものの、実質的にＳｉＯの架橋硬化膜を形成することができる。
【００２４】
透明硬化薄膜は、上記のような実質的に無機材料からなるものが好ましいが、透明樹脂により形成してもよい。透明硬化性樹脂としては、メラミン系樹脂、グアナミン系樹脂、アミノ樹脂、硬化型アクリル樹脂、イソシアネート硬化型アクリル樹脂、熱硬化性スチレン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂などが使用できる。
【００２５】
ハウジング３は、図１、図２および図３に示すように、中央に設けられた開口２１と、この開口２１を取り囲むように設けられた透明発熱用プレート載置部２２と、電極１０ａ，１０ｂおよび温度センサ１４と接続された接続線を通すための開口部１８を有している。
温度センサ１４は、透明発熱用プレート２の底面に接触するように設けられている。なお、センサ１４は、透明発熱用プレート２内に設けてもよい。さらには、温度センサ１４は、透明発熱用プレート２の表面に設けてもよい。温度センサ１４としては、温度検知可能なものであれば特に制限はないが、熱電対、サーミスタなどが好適である。
【００２６】
電極１０ａ，１０ｂに接続された導電線１２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４に接続された信号線は束ねられて１本のコード１６となって、ハウジング３の小口１８より外部に延びている。そして、このコード１６の端部には、コネクタ２５が取り付けられている。このコネクタ２５は、後述する温度制御器との接続端子を形成している。
【００２７】
そして、この実施例の顕微鏡用透明加温器具は、上記のようにハウジング３が、導電線１２ａ，１２ｂをハウジング３の外部に導出するための開口部１８を有し、開口部１８より導出される導電線１２ａ，１２ｂを任意の形状に保持できる形状付け用部材２０を有している。具体的には、開口部１８内に一端が設けられ外方に延びるチューブ１９を備え、このチューブ１９内に導電線１２ａ，１２ｂを含むコード１６が貫通している。そして、このチューブ１９内には、一端がハウジング３の開口部１８内に固定もしくは離脱防止用の係止部２０ａを備え、コード１６と平行に延びる金属線２０（例えば、針金）が収納されている。金属線２０としては、手で曲げることができる程度の易塑性変形性を有するものが用いられている。金属線は、一本でも複数本設けてもよい。一本の場合には、例えば、線径が、２〜７ｍｍ程度の針金が好適であり、複数本設ける場合には、１〜５ｍｍ程度の針金が好適に使用される。なお、形状付け用部材は、金属線に限られるものではなく、上記チューブ１９内に収納可能な程度の幅の金属板を用いてもよい。さらに、形状付け用部材は、上述のような形態のものに限定されるものではない。例えば、上記のようなチューブを用いる場合には、チューブの外面もしくはコード１６の外面（チューブとコード１６の間となる）に塑性変形可能な金属線もしくは金属板を巻き付けたものであってもよい。また、チューブを用いない場合には、コード１６の外面に塑性変形可能な金属線もしくは金属板を巻き付けたものであってもよい。金属線もしくは金属板の形成材料としては、ステンレス、銅などが使用される。
【００２８】
そして、この顕微鏡用透明加温器具１は、顕微鏡ステージに組み込まれて使用される。顕微鏡用透明加温器具１と温度制御器３１により、温度制御装置が構成されている。図１１は、本発明の透明加温装置に使用される温度制御器のブロック図である。温度制御器３１は、図１１に示すように、透明加温器具（顕微鏡用試料支持板）１のコネクター２５と接続可能なコネクター３２と、透明加温器具１の温度センサ１４により検知されたアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバーター３３と、このコンバーター３３からの信号が入力される温度制御部３５と、温度制御部３５より出力される透明発熱用プレート２の実測温度を表示する測定温度表示部３６と、設定温度を入力する設定温度入力部３７と、設定温度入力部より入力された設定温度を表示する設定温度表示部３９とを有している。そして、温度制御部３５は、温度制御器３１のコネクター３２および透明加温器具１のコネクター２５を介して、発熱用透明導電性薄膜７と接触する電極１０ａ，１０ｂと電気的に接続されており、発熱用透明導電性薄膜７の温度調整機能を有している。そして、設定温度入力部３７は、入力スイッチ３７ａを、また、測定温度表示部３６は、表示窓３６ａを、設定温度表示部３９も表示窓３９ａを備えている。温度制御部３５は、設定温度と測定温度とを比較する比較機能と、この比較機能による比較結果に基づき、発熱用透明導電性薄膜への電力供給状態を調整する温度調整機能（言い換えれば、電力供給調整機能）を有している。温度調整機能（電力供給調整機能）としては、印加電圧を調整する機能、負荷電流を調整する機能、通電のＯＮ／ＯＦＦ状態を調整する機能などのいずれでもよい。
【００２９】
温度制御部は、具体的には、検知された測定温度が、設定温度入力部により入力された設定温度より低い場合には、通電をＯＮし、逆に、検知された測定温度が、設定温度入力部により入力された設定温度より高い場合には、通電をＯＦＦするように制御する。また、温度制御は、ＯＮ／ＯＦＦ制御でない場合には、検知された測定温度が、設定温度入力部により入力された設定温度より低い場合には、電圧または電流を高くするように制御し、逆に、検知された測定温度が、設定温度入力部により入力された設定温度より高い場合には、電圧また電流を低くするか、一時的に通電を中止し、測定温度が設定温度と等しい場合には、与えている電圧また電流を維持することにより行われる。
【００３０】
次に、図４に示す実施例の顕微鏡用透明加温器具４０について説明する。
この実施例の透明加温器具４０の基本構成は、図１ないし図３に示した透明加温器具１と同じである。相違は、透明発熱用プレート４２の構造である。この透明加温器具４０では、透明発熱用プレート４２の透明薄膜４８は、透明樹脂フィルムにより形成されている。透明樹脂フィルムとしては、膜厚が０．０５〜０．２ｍｍ程度のものが用いられる。透明樹脂フィルムとしては、実質的に絶縁性を有するものにより形成されている。具体的には、ポリエステルフィルム（具体的には、ポリエチレンテレフタレートフィルム）、ポリカーボネートフィルム、ポリオレフィンフィルム（例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム）、ポリビニリデンフィルム（具体的には、ポリフッ化ビニリデンフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルムなどが使用できる。強度および膜厚の均一性より、樹脂フィルムは、延伸されていることが好ましい。延伸樹脂フィルムとしては、一軸延伸フィルムでも、二軸延伸フィルムでもよいが、強度の点より、二軸延伸フィルムが特に好適である。
【００３１】
そして、この透明薄膜４８を形成する透明樹脂フィルムは、透明板５の底面に形成された発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆している。この実施例では、透明薄膜４８は、電極１０ａ，１０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない透明板５の周縁部も被覆している。
透明薄膜４８は、透明板５の底面に、接着剤により固着されている。作図上、図４の接着剤層４９が厚いが、透明薄膜４８を透明板５の底面に接着できればよく、実際には薄い層となる。接着剤としては、実質的に絶縁性を有するものが用いられる。接着剤しては、ホットメルト系接着剤、ＲＴＶシリコン系接着剤、ＬＴＶシリコン系接着剤などが使用できる。
この実施例の透明加温器具４０におけるその他の構造は、上述した透明加温器具１と同じである。この透明加温器具４０に用いられている透明発熱用プレート４２としても、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍｍとすることが好ましい。
【００３２】
次に、図５に示す実施例の顕微鏡用透明加温器具５０について説明する。
この実施例の透明加温器具５０の基本構成は、図１ないし図３に示した透明加温器具１と同じである。相違は、透明発熱用プレート５２の構造である。
この透明発熱用プレート５２では、透明板５は、透明板５の他方の面（表面、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない面）に形成された非発熱用透明導電性薄膜９と、非発熱用透明導電性薄膜９と接触するアース線１９と、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明薄膜１１が形成されている。
【００３３】
非発熱用透明導電性薄膜９は、発熱用透明導電性薄膜７の周縁に対応する部分を越え、透明板５の全面を被覆している。透明板５の全面を被覆している。また、非発熱用透明導電性薄膜９としては、上述した発熱用透明導電性薄膜と同じものであってもい。しかし、非発熱用透明導電性薄膜９は、通電により発熱させることを目的とするものでないので、発熱用透明導電性薄膜より抵抗値がより低いものであってもよい。
非発熱用透明導電性薄膜９としては、具体的には、金、銅、酸化スズ、ＳｉＯ２−インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を透明板５の表面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより行うことができる。
そして、非発熱用透明導電性薄膜９には、アース線１９が接続されている。透明板５の表面（上面）に当接し、非発熱用透明導電性薄膜９に到達した電磁波はアース線に流れ消失する。
【００３４】
さらに、透明板５には、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する第二の透明薄膜１１が形成されている。透明薄膜としては、上述した透明加温器具１において用いた透明硬化薄膜８と同じものが好適に利用できる。具体的には、透明薄膜１１としては、透明硬化薄膜が用いられている。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複合物を主成分とするものが好適である。特に、好ましくは、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜のそれぞれの単体物より形成されていることが好ましい。
【００３５】
また、シリコン系ハードコート剤と呼ばれるものも使用できる。シリコン系ハードコート剤は、オルガノアルコキシシランの加水分解縮合物が加熱によりシラノール基同士が反応して高度な架橋体を形成することを利用するものである。形成される薄膜は、酸化珪素（ＳｉＯ２）の編み目構造の一部に有機基（例えば、アルキル基、具体的には、メチル基、エチル基）が取り込まれた形のものとなる。 透明硬化薄膜１１は、上記のような材料を用いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、さらには、デッピング法、コート法（例えば、スプレー法、ロール法、スピンナー法）により付着させた後硬化させることにより形成される。硬化は、加熱法、プラズマ法、常温放置などにより行われる。透明硬化薄膜８としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
【００３６】
なお、透明硬化薄膜１１と、第二の透明硬化薄膜１１は、形成材料が異なっていてもよい。例えば、透明硬化薄膜８を、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３のいずれかにより形成し、第二の透明硬化薄膜１１は、透明硬化薄膜８の形成に用いられた以外のもの、さらには、上述のシリコン系ハードコート剤により形成してもよい。第二の透明硬化薄膜１１としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
このような透明硬化薄膜１１を設けても、透明発熱用プレート５２の肉厚はそれほど増加することはない。透明板５は、表裏両面が透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくく、透明発熱用プレート５２の強度も高い。この透明加温器具５０に用いられている透明発熱用プレート５２としても、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍｍとすることが好ましい。また、このように、透明板５の表面側にも透明硬化薄膜を設ける場合には、透明板５として、より薄いもの、例えば、上述した透明加温器具１に用いられた透明板５より薄いものを用いることもできる。
【００３７】
この実施例の透明加温器具におけるその他の構造は、上述した透明加温器具１と同じである。
次に、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具６０について説明する。
図６は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の正面図であり、図７は、図６のＢ−Ｂ線断面図である。図８は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図であり、図９および図１０は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【００３８】
この実施例の顕微鏡用透明加温器具６０は、紫外線透過性透明板６５と、透明板６５の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、紫外線透過性透明板６５の発熱用透明導電性薄膜形成面に形成された発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａと、発熱用透明導電性薄膜７を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜８とを有する透明発熱用プレート６２を備えている。
顕微鏡用透明加温器具６０は、透明発熱用プレート６２と、この透明発熱用プレートを収納する環状ハウジング３と、透明発熱用プレート６２の裏面に固定された温度センサ１４を備えている。
【００３９】
この実施例では、紫外線透過性透明板６５は、円形であり、紫外線透過性透明板６５の一方の面、言い換えれば、透明板６５の裏面の周縁部と中央部を除く全面に発熱用透明導電性薄膜７が設けられている。紫外線透過性透明板６５には、その円形形状に対応するように、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが設けられている。紫外線透過性透明板６５には、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分が形成されている。また、温度センサ１４は、この電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分に対応する位置に取り付けられている。
【００４０】
紫外線透過性透明板６５としては、紫外線透過性を有するガラス板、合成樹脂製板であり、透明かつ絶縁性板状物が使用される。具体的には、石英ガラスが好適である。透明板６５としては厚さが、０．８ｍｍ以下、特には、０．２〜０．６ｍｍのものを用いることが好ましい。透明発熱用プレート６２としては、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍｍとすることが好ましい。
透明板６５の形状は、上述した円形のものに限られない。なお、円形とは、真円形、楕円形、長方円形などを含むものである。四角形、六角形などの多角形であってもよい。また、電極１０ａ，１０ｂの大きさは、透明板６５の全周の４分の１より大きくても、逆に小さくてもよい。
【００４１】
発熱用透明導電性薄膜７は、導電性金属薄膜により形成されており、導電性金属薄膜としては、通電により発熱する性質を有するものが使用される。具体的には、酸化スズ、ＳｉＯ ２ −インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を紫外線透過性透明板６５の内面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより行うことができる。
【００４２】
電極１０ａ，１０ｂとしては、銅、銀などの導電性の高い金属薄膜を接着したもの、もしくは、透明板６５の所定部位に、銅、銀などの導電性の高い金属を、例えば、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより、薄膜状に付着させたものにより形成されている。そして、電極１０ａ，１０ｂのそれぞれには導電線１２ａ，１２ｂが、接続されており、これら導電線１２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４は、使用時には、温度制御器と電気的に接続される。
【００４３】
紫外線透過性透明板６５は、使用時に顕微鏡の倍率レンズが位置する部分、具体的には、この実施例では、透明板６５の中央部に発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａが設けられている。このように、使用時に顕微鏡の倍率レンズが位置する部分となる中央部を、発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａとすることにより、蛍光顕微鏡を用いても、発熱用透明導電性薄膜が存在しないため、発熱用透明導電性薄膜に起因する紫外線の吸収もしくは散乱がない。発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａは、例えば、非形成部７ａとなる部分をマスキングした状態にて、上述のような発熱用透明導電性薄膜を作製することにより、また、非形成部７ａ部分を含むように発熱用透明導電性薄膜を形成した後、非形成部７ａとなる部分の導電性薄膜を機械的もしくは化学的方法により除去することにより形成することができる。上述したマスキング法によることが好ましい。
【００４４】
また、透明板６５の周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜７が設けられていない部分も形成されている。電極１０ａ，１０ｂも透明発熱用プレート６２の周縁より離間した内側、言い換えれば、紫外線透過性透明板６５の周縁部より所定距離内側となる位置に設けられている。このように、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜が、透明板６５の周縁より内側となるように、言い換えれば、透明板６５の周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜および電極の両者が存在しない部分が形成されているため、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜より生じた電磁波が、紫外線透過性透明板６５の上方に飛ぶことを抑制する。これにより、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜より、もし電磁波（ノイズ）が発生しても、紫外線透過性透明板６５の上に載置される観察対象物に影響を与えることを防止する。紫外線透過性透明板６５の端部と発熱用透明導電性薄膜７および電極１０ａ，１０ｂの端部との距離は、０．５〜１０ｍｍ程度が好ましい。特に、１〜５ｍｍが好ましい。
【００４５】
そして、紫外線透過性透明板６５の底面には、発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜８を有している。透明薄膜８は、実質的に絶縁性を有するものにより形成されている。この実施例では、透明薄膜８は、電極１０ａ，１０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない紫外線透過性透明板６５の周縁部も被覆している。
透明薄膜８としては、上述した透明加温器具１において用いたものが好適に使用できる。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複合物を主成分とするものが好適である。特に、好ましくは、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜のそれぞれの単体物より形成されていることが好ましい。
【００４６】
また、シリコン系ハードコート剤と呼ばれるものも使用できる。シリコン系ハードコート剤は、オルガノアルコキシシランの加水分解縮合物が加熱によりシラノール基同士が反応して高度な架橋体を形成することを利用するものである。形成される薄膜は、酸化珪素（ＳｉＯ２）の編み目構造の一部に有機基（例えば、アルキル基、具体的には、メチル基、エチル基）が取り込まれた形のものとなる。紫外線透過性透明板６５の底面がこのような透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくいとともに、透明発熱用プレート６２が、例えば、１ｍｍ以下という薄いものであっても、十分な強度を有する。
【００４７】
透明硬化薄膜８は、上記のような材料を用いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、さらには、デッピング法、コート法（例えば、スプレー法、ロール法、スピンナー法）により付着させた後硬化させることにより形成される。硬化は、加熱法、プラズマ法、常温放置などにより行われる。透明硬化薄膜８としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
この実施例では、透明硬化薄膜８は、透明板６５の発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａ部分を被覆しないものとなっている。このようにすることにより、透明硬化薄膜８に起因する紫外線の吸収、散乱を防止できる。
しかし、透明硬化薄膜８として、紫外線透過性の高いもの、言い換えれば、紫外線透過性透明硬化薄膜を用いる場合には、図８に示すように、透明硬化薄膜８が、透明板６５の発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａ部分も被覆するものとしてもよい。このようにすることにより、透明加温プレートの中央部での物性の低下がなくなる。紫外線透過性透明硬化薄膜は、例えば、酸化珪素（ＳｉＯ２）のみにより薄膜を形成することにより作製できる。
【００４８】
ハウジング３は、図１、図２および図３に示すように、中央に設けられた開口２１と、この開口２１を取り囲むように設けられた透明発熱用プレート載置部２２と、電極１０ａ，１０ｂおよび温度センサ１４と接続された接続線を通すための開口部１８を有している。
温度センサ１４は、透明発熱用プレート６２の底面に接触するように設けられている。なお、センサ１４は、透明発熱用プレート６２内に設けてもよい。さらには、温度センサ１４は、透明発熱用プレートの表面に設けてもよい。温度センサ１４としては、温度検知可能なものであれば特に制限はないが、熱電対、サーミスタなどが好適である。
電極１０ａ，１０ｂに接続された導電線１２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４に接続された信号線は束ねられて１本のコード１６となって、ハウジング３の小口１８より外部に延びている。そして、このコード１６の端部には、コネクタ２５が取り付けられている。このコネクタ２５は、後述する温度制御器との接続端子を形成している。
【００４９】
そして、この実施例の顕微鏡用透明加温器具は、上記のようにハウジング３が、導電線１２ａ，１２ｂをハウジング３の外部に導出するための開口部１８を有し、開口部１８より導出される導電線１２ａ，１２ｂを任意の形状に保持できる形状付け用部材２０を有している。具体的には、開口部１８内に一端が設けられ外方に延びるチューブ１９を備え、このチューブ１９内に導電線１２ａ，１２ｂを含むコードが貫通している。そして、このチューブ１９内には、一端がハウジング３の開口部１８内に固定もしくは離脱防止用の係止部２０ａを備え、コードと平行に延びる金属線２０（例えば、針金）が収納されている。金属線２０としては、手で曲げることができる程度の易塑性変形性を有するものが用いられている。
この実施例の透明加温器具におけるその他の構造は、上述した透明加温器具１と同じである。
そして、この顕微鏡用透明加温器具１は、顕微鏡ステージに組み込まれて使用される。顕微鏡用透明加温器具１と上述した温度制御器３１により、温度制御装置が構成される。
【００５０】
次に、図９に示す実施例の顕微鏡用透明加温器具９０について説明する。
この実施例の透明加温器具９０の基本構成は、図６および図７に示した透明加温器具６０と同じである。相違は、透明発熱用プレート９２の構造である。
この透明発熱用プレート９２では、紫外線透過性透明板６５は、透明板６５の他方の面（表面、発熱用透明導電性薄膜が形成されていない面）に形成された非発熱用透明導電性薄膜１１と、透明板６５の非発熱用透明導電性薄膜形成面であって、発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａに対応する位置に形成され非発熱用透明導電性薄膜非形成部９ａと、非発熱用透明導電性薄膜９と接触するアース線１９と、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明薄膜１１を有している。
【００５１】
非発熱用透明導電性薄膜９は、紫外線透過性透明板６５の中央部を除く全面を被覆している。また、非発熱用透明導電性薄膜としては、上述した発熱用透明導電性薄膜と同じものであってもい。しかし、非発熱用透明導電性薄膜９は、通電により発熱させることを目的とするものでないので、発熱用透明導電性薄膜より抵抗値がより低いものであってもよい。
非発熱用透明導電性薄膜９としては、具体的には、金、銅、酸化スズ、ＳｉＯ ２ −インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を紫外線透過性透明板６５の表面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより行うことができる。
【００５２】
また、紫外線透過性透明板６５は、使用時に顕微鏡の倍率レンズが位置する部分、具体的には、発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａに対応する位置に、非発熱用透明導電性薄膜非形成部９ａが設けられている。このように、使用時に顕微鏡の倍率レンズが位置する部分となる発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａに対応する位置（中央部）を、導電性薄膜非形成部９ａとすることにより、蛍光顕微鏡を用いても、発熱用透明導電性薄膜が存在しないため、発熱用透明導電性薄膜に起因する紫外線の吸収もしくは散乱がない。発熱用透明導電性薄膜非形成部９ａは、例えば、非形成部９ａとなる部分をマスキングした状態にて、上述のような発熱用透明導電性薄膜を作製することにより、また、非形成部９ａ部分を含むように発熱用透明導電性薄膜を形成した後、非形成部９ａとなる部分の導電性薄膜を機械的もしくは化学的方法により除去することにより形成することができる。上述したマスキング法によることが好ましい。
そして、非発熱用透明導電性薄膜９には、アース線１９が接続されている。透明板６５の表面（上面）に当接し、非発熱用透明導電性薄膜９に到達した電磁波はアース線に流れ消失する。
【００５３】
さらに、紫外線透過性透明板６５には、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する第二の透明薄膜１１が形成されている。透明薄膜としては、上述した透明加温器具１もしくは透明加温器具６０において説明した透明硬化薄膜８と同じものが好適に利用できる。具体的には、透明薄膜１１としては、透明硬化薄膜が用いられている。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複合物を主成分とするものが好適である。特に、好ましくは、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜のそれぞれの単体物より形成されていることが好ましい。
また、シリコン系ハードコート剤と呼ばれるものも使用できる。シリコン系ハードコート剤は、オルガノアルコキシシランの加水分解縮合物が加熱によりシラノール基同士が反応して高度な架橋体を形成することを利用するものである。形成される薄膜は、酸化珪素（ＳｉＯ２）の編み目構造の一部に有機基（例えば、アルキル基、具体的には、メチル基、エチル基）が取り込まれた形のものとなる。
【００５４】
透明硬化薄膜１１は、上記のような材料を用いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、さらには、デッピング法、コート法（例えば、スプレー法、ロール法、スピンナー法）により付着させた後硬化させることにより形成される。硬化は、加熱法、プラズマ法、常温放置などにより行われる。透明硬化薄膜８としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
【００５５】
なお、透明硬化薄膜１１と、第二の透明硬化薄膜１１は、形成材料が異なっていてもよい。例えば、透明硬化薄膜８を、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３のいずれかにより形成し、第二の透明硬化薄膜１１は、透明硬化薄膜８の形成に用いられた以外のもの、さらには、上述のシリコン系ハードコート剤により形成してもよい。第二の透明硬化薄膜１１８としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
このような透明硬化薄膜１１を設けても、透明発熱用プレート５２の肉厚はそれほど増加することはない。透明板６５は、表裏両面ともに透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくくなるとともに、透明発熱用プレート５２の強度がより高いものとなる。この透明加温器具５０に用いられている透明発熱用プレート５２としても、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍｍとすることが好ましい。また、このように、透明板６５の表面側にも透明硬化薄膜を設ける場合には、透明板６５として、より薄いもの、例えば、上述した透明加温器具１に用いられた透明板６５より薄いものを用いることもできる。
【００５６】
この実施例では、透明硬化薄膜１１は、透明板６５の非発熱用透明導電性薄膜非形成部９ａ部分を被覆しないものとなっている。このようにすることにより、透明硬化薄膜１１に起因する紫外線の吸収、散乱を防止できる。
しかし、図１０に示すように、透明硬化薄膜８、１１として、紫外線透過性の高いもの、言い換えれば、紫外線透過性透明硬化薄膜を用いる場合には、透明硬化薄膜１１が、透明板６５の発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａ、１１ａ部分も被覆するものとしてもよい。このようにすることにより、透明加温プレートの中央部での物性の低下がなくなる。紫外線透過性透明硬化薄膜は、例えば、酸化珪素（ＳｉＯ２）のみにより薄膜を形成することにより作成できる。
この実施例の透明加温器具におけるその他の構造は、上述した透明加温器具６０と同じである。
【００５７】
なお、上述した実施例のものは、顕微鏡用透明加温器具であるが、顕微鏡ではなく、肉眼により観察するための観察用透明加温器具とすることもできる。構成はすべて同じである。観察用透明加温器具としては、動物、植物などの細胞、微生物（細菌、酵母、カビ）、樹脂のガラス転移点、軟化点もしくは融点などが考えられる。
【００５８】
次に、図１２ないし図１４の本発明の顕微鏡用透明加温器具について説明する。
図１２は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図であり、図１３は、図１２のＣ−Ｃ線断面図であり、図１４は、図１２のＤ−Ｄ線断面図である。図１５は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
この実施例の顕微鏡用透明加温器具１００は、図１２および図１３に示すように、透明発熱用プレート１０２と、この透明発熱用プレート１０２を収納する環状ハウジング３とを備えている。ハウジング３は、透明発熱用プレート１０２の周縁部を保持している。
【００５９】
具体的には、図１２ないし図１４に示すように、この実施例の透明発熱用プレート１０２は、透明板５と、この透明板５の一方の面（裏面）に形成された第１の発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、発熱用透明導電性薄膜７を被覆する実質的に絶縁性を有する第１の透明薄膜８を有し、さらに、透明板５の他方の面（表面）に形成された第２の発熱用透明導電性薄膜２７と、この第２の発熱用透明導電性薄膜２７と接触し向かい合う一対の第２の発熱用電極３０ａ，３０ｂと、発熱用透明導電性薄膜２７を被覆する実質的に絶縁性を有する第２の透明薄膜２８を有している。
【００６０】
このため、透明加温プレートの形状が、円形であっても、また、透明加温プレートの中央部が発熱用透明導電性薄膜非形成部となっていても、さらには、貫通口が設けられていても、プレートの形態に影響される事なく、観察に使用される透明加温プレートの中央付近をほぼ均一な温度に加温することができる。
なお、透明発熱用プレート１０２の形態は、このようなものに限られるものではない。例えば、図１５に示すように、透明発熱用プレートは、透明板５と、この透明板５の一方の面に形成された第１の発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、発熱用透明導電性薄膜７を被覆する実質的に絶縁性を有する第１の透明薄膜８を有し、さらに、透明板５の第１の透明薄膜８を被覆する第２の発熱用透明導電性薄膜２７と、この第２の発熱用透明導電性薄膜２７と接触し向かい合う一対の発熱用電極３０ａ，３０ｂと、発熱用透明導電性薄膜２７を被覆する実質的に絶縁性を有する第２の透明薄膜２８を有するものであってもよい。
【００６１】
この顕微鏡用透明加温器具１００の基本構成は、上述した顕微鏡用透明加温器具１と同じであり、相違は、透明板の表面側に第２の発熱用透明導電性薄膜２７と、この第２の発熱用透明導電性薄膜２７と接触し向かい合う一対の発熱用電極３０ａ，３０ｂと、発熱用透明導電性薄膜２７を被覆する実質的に絶縁性を有する第２の透明薄膜２８を有している点である。同一部分について、同じ符号を付し、上述の説明を参照する。
そして、顕微鏡用透明加温器具１００は、透明発熱用プレート１０２の裏面に固定された温度センサ１４を備えている。
そして、向かい合う一対の第２の発熱用電極３０ａ，３０ｂの中心線は、図１２に示すように、向かい合うの透明板用電極１０ａ，１０ｂの中心線とほぼ直交するように設けられている。
【００６２】
この実施例では、透明板５は、円形であり、裏面の周縁部を除くほぼ全面に発熱用透明導電性薄膜７が設けられている。透明板５には、その円形形状に対応するように、全周のほぼ４分の１より若干短い長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが設けられている。また、透明板５には、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分が形成されている。また、温度センサ１４は、この電極が存在しない部分に取り付けられている。また、透明板５の表面にも、表面の周縁部を除くほぼ全面に発熱用透明導電性薄膜７が設けられており、さらに、その円形形状に対応するように、全周のほぼ４分の１より若干短い長さの円弧で向かい合う２つの電極３０ａ，３０ｂが設けられている。透明板５の表面側にも、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電極が存在しない部分が形成されている。
【００６３】
図１２に示すように、透明板５に設けた電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂが実質的に重ならないように両電極は形成されている。これにより、電極１０ａ，１０ｂの中心線は、電極３０ａ，３０ｂの中心線とプレート中央部にてほぼ直交している。ほぼ直交するとは、９０°で直交するものに限られず、８０〜１１０°程度で交差するものを含んでいる。
【００６４】
透明板の形状は、上述した円形のものに限られない。なお、円形とは、真円形、楕円形、長方円形などを含むものである。四角形、六角形などの多角形であってもよい。また、電極の形状は、設けられた電極１０ａ，１０ｂ、３０ａ，３０ｂのすべてが同じ大きさであることが好ましいが、これに限らず、例えば、透明板５の裏面側に設けられる電極１０ａ，１０ｂを全周の４分の１より大きく（具体的には、全周の３分の１）形成し、第２の電極３０ａ，３０ｂを全周の４分の１より小さく（具体的には、全周の６分の１）してもよい。設けられた電極１０ａ，１０ｂ、３０ａ，３０ｂにより、透明発熱用プレートの全周が包囲されるものに限られず、例えば、透明板５に設けられる電極１０ａ，１０ｂを全周の５分の１程度とし、第２透明板の電極３０ａ，３０ｂも全周の５分の１程度とし、かつ両電極の中心線がほぼ直交するように形成してもよい。これにより、透明発熱用プレートの周縁部に加温されない部分が形成されるが、透明発熱用プレートの中央部分は良好な加温状態を得ることができる。また、電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂは、相互に通電しないので、端部部分が重なるように配置してもよい。さらに、電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂの形態は、上述した円弧状のものに限られず、例えば、図１６に示すように、直線状ものとしてもよい。この場合においても、電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂは、相互に通電しないので、端部部分が重なるように配置してもよく、また、逆に、電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂの端部部分が重ならないように配置してもよく。
【００６５】
透明板５は、その周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜７，２７が設けられていない部分を有している。電極１０ａ，１０ｂ、および電極３０ａ，３０ｂも透明発熱用プレート２の周縁より離間した内側、言い換えれば、透明板５の周縁部より所定距離内側となる位置に設けられている。このように、発熱用透明導電性薄膜７、２７、電極１０ａ，１０ｂ、３０ａ，３０ｂが、透明板５の周縁より内側となるように、言い換えれば、透明板５の周縁部の全周にわたり発熱用透明導電性薄膜および電極の両者が存在しない部分が形成されているため、電極および発熱用透明導電性薄膜より生じた電磁波が、透明板５の上方に飛ぶことを抑制する。これにより、電極および発熱用透明導電性薄膜より、もし電磁波（ノイズ）が発生しても、透明板５の上に載置される観察対象物に影響を与えることを防止する。透明板５の端部と発熱用透明導電性薄膜７、２７および電極１０ａ，１０ｂの端部との距離は、０．５〜１０ｍｍ程度が好ましい。特に、１〜５ｍｍが好ましい。
【００６６】
そして、透明板５は、裏面側に形成された発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜８および表面側に形成された発熱用透明導電性薄膜２７の全体を被覆する透明薄膜２８を有している。透明薄膜８，２８は、実質的に絶縁性を有するものにより形成されている。この実施例では、透明薄膜８は、電極１０ａ，１０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない透明板５の周縁部も被覆している。透明板５の裏面（底面）がこのような透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくい。同様に、この実施例では、透明薄膜２８は、電極３０ａ，３０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜２７が形成されていない透明板５の周縁部も被覆している。透明板５の表面（上面）もこのような透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくい。また、透明薄膜を有することにより、透明発熱用プレート２が、例えば、１ｍｍ以下という薄いものであっても、十分な強度を有する。また、透明薄膜としては、上述した透明硬化薄膜が好適である。
【００６７】
また、透明板として、紫外線透過性のものを用いて、図６から図１０に示し、上述した実施例のように、透明板５の中央部（透明発熱用プレート１０２の中央部）に発熱用透明導電性薄膜７、２７が設けられていない部分（発熱用透明導電性薄膜非形成部）を設けたものとしてもよい。
この場合、発熱用透明導電性薄膜非形成部には、上述したように、透明薄膜（特に、透明硬化薄膜）も設けないものとするか、透明薄膜（特に、透明硬化薄膜）を紫外線透過性材料により形成することが好ましい。
透明板、発熱用透明導電性薄膜、発熱用電極、透明薄膜（透明硬化薄膜）、ハウジング、センサなどとしては、上述したものと同じである。
【００６８】
次に、図１７および図１８の本発明の顕微鏡用透明加温器具について説明する。
図１７は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図であり、図１８は、図１７のＥ−Ｅ線断面図である。
この実施例の顕微鏡用透明加温器具１１０は、図１７および図１８に示すように、透明発熱用プレート１０２と、この透明発熱用プレート１１２を収納する環状ハウジング３とを備えている。
この顕微鏡用透明加温器具１１０は、図１２ないし図１４に示し、上述した顕微鏡用透明加温器具１００と同じであり、相違は、透明板が多角形（四角形、特に正方形）となっており、かつ、中央部に円形の貫通口１１１が設けられている点のみである。また、この実施例の顕微鏡用透明加温器具１１０においても、基本構成は、上述した顕微鏡用透明加温器具１とも同じである。よって、同一部分は、同じ符号を付し、上述の説明を参照する。
【００６９】
この顕微鏡用透明加温器具１１０の透明発熱用プレート１１２においても、透明発熱用プレート１１２は、透明板５と、この透明板５に形成された第１の発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、第２の発熱用透明導電性薄膜２７と、この第２の発熱用透明導電性薄膜２７と接触し向かい合う一対の発熱用電極３０ａ，３０ｂと、発熱用透明導電性薄膜２７を被覆する実質的に絶縁性を有する第２の透明薄膜２８を有している。そして、向かい合う一対の第２の発熱用電極３０ａ，３０ｂの中心線は、図１７に示すように、向かい合うの透明板用電極１０ａ，１０ｂの中心線とほぼ直交するように設けられている。
【００７０】
図１７に示すように、透明板５に設けた電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂが実質的に重ならないように両電極は形成されている。これにより、電極１０ａ，１０ｂの中心線は、電極３０ａ，３０ｂの中心線とプレート中央部にてほぼ直交している。ほぼ直交するとは、９０°で直交するものに限られず、８０〜１１０°程度で交差するものを含んでいる。
このため、透明加温プレート１１２の中央部に貫通口１１１が形成されていてもこれに影響される事なく、観察に使用される透明加温プレートの中央付近をほぼ均一な温度に加温することができる。
【００７１】
透明板５としては、正方形のものが用いられているが、これに限られるものではなく、長方形であってもよい。また、透明板の中央の貫通口の大きさは、５〜３０ｍｍ程度のものが好適である。そして、貫通口１１１の内表面では、透明板５に形成された発熱用透明導電性薄膜７の端面および発熱用透明導電性薄膜２７は、透明薄膜（透明硬化薄膜）８，２８により、被覆されている。さらに、透明板５の貫通口の内側面も透明薄膜により、（図示するものでは、透明薄膜８，２８がそれぞれ半分ずつ）被覆されており、透明薄膜（透明硬化薄膜）８，２８は、透明板５の貫通口の内周面の中央付近にて接合した状態となっている。発熱用透明導電性薄膜の端面が透明薄膜により被覆されているので、発熱用透明導電性薄膜より生じた電磁波が、透明板５の上方に飛ぶことを抑制する。また、透明加温プレートの中央部の貫通口の周縁部を補強している。
透明板、発熱用透明導電性薄膜、発熱用電極、透明薄膜（透明硬化薄膜）、ハウジング、センサなどとしては、上述したものと同じである。
【００７２】
次に、図１９および図２０に示す本発明の透明加温器具について説明する。
図１９は、本発明の高温用透明加温器具の平面図であり、図２０は、図１９のＦ−Ｆ線断面図である。
この高温用透明加温器具は、耐熱性透明板５と、透明板５の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１２５，１２６と、発熱用電極１２５，１２６のそれぞれに固着された通電線１２７，１２８とを有する透明発熱用プレート１２２を備える。透明発熱用プレート１２２は、通電による加温可能領域１２３と通電による加温不能領域１２４を有し、一対の発熱用電極１２５，１２６のそれぞれは、一端が前記加温可能領域１２３に位置し、他端１２５ａ，１２６ａが加温不能領域１２４に位置し、通電線１２７，１２８は、加温不能領域に位置する部分（１２５ａ，１２６ａ部分）において電極１２５，１２６と固着されている。
【００７３】
このため、透明加温器具を通電し、加熱させても、通電線１２７，１２８と電極１２５，１２６と固着部分は直接発熱せず、伝熱による加温のみであるため、発熱領域に比べて温度が低く、通電線１２７，１２８を電極１２５，１２６に固着するために用いられた導電性接着剤が溶融することがない。
この透明加温器具１２０の基本構成は、上述した顕微鏡用透明加温器具１と同じであり、相違は、透明板５として耐熱性のものを用いている点と、透明発熱用プレート１２２が通電による加温不能領域１２４を有し、一対の発熱用電極１２５，１２６のそれぞれは、通電線１２７，１２８と加温不能領域に位置する部分（１２５ａ，１２６ａ部分）において接続されている点のみである。
この実施例の透明加温器具１２０では、透明発熱用プレート１２２は、発熱用透明導電性薄膜形成部１２３と、発熱用透明導電性薄膜非形成部１２４を有し、発熱用透明導電性薄膜形成部により加温可能領域が形成され、発熱用透明導電性薄膜非形成部により加温不能領域が形成されている。
【００７４】
透明板５の一方の面（下面、裏面）の中央部にのみ発熱用透明導電性薄膜７が設けられている。そして、電極１２５，１２６が発熱用透明導電性薄膜７の周縁部に設けられている。また、電極１２５，１２６は、透明板５の発熱用透明導電性薄膜非形成部１２４内に延び、透明板５の周縁部に至る延長部１２５ａ，１２６ａを有している。そして、延長部１２５ａ，１２６ａの端部付近に、通電線１２７，１２８が導電性接着剤により固定されている。
なお、このような形態のものに限られるものではない。例えば、透明発熱用プレートは、透明板の一方の面のほぼ全面に発熱用透明導電性薄膜が設け、かつ、電極１２５，１２６がプレートの端部より所定距離中央に寄った位置に設け、さらに、電極の他端部１２５ａ，１２６ａがプレートの周縁部付近に位置するようにしたものでもよい。つまり、図１９において、電極１２５，１２６の形態は同じとし、発熱用透明導電性薄膜を透明板のほぼ全面に設けてもよい。このように全面に設けても、実質的に加温されるのは向かい合う電極１２５，１２６間（加温可能領域）であり、加温不能領域に位置する電極の他端部１２５ａ，１２６ａの端部は加温されない。
【００７５】
耐熱性透明板としては、耐熱性ガラス板、耐熱性透明樹脂板が使用できる。耐熱性ガラス板としては、石英ガラスなどのシリカガラス板、高ケイ酸ガラス板、硼珪酸塩ガラス板などが使用できる。透明板５としては厚さが、０．３〜５ｍｍ程度のものが使用される。
透明板５の形状は、図示する四角形のものに限定されるものではなく、円形、（真円形、楕円形、長方円形）、六角形などの多角形であってもよい。
発熱用透明導電性薄膜７は、導電性金属薄膜により形成されており、導電性金属薄膜としては、通電により発熱する性質を有するものが使用される。具体的には、酸化スズ、ＳｉＯ ２ −インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を透明板５の内面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などを利用することができる。特に、この透明器具では、８０°Ｃ以上に加熱可能であることが好ましく、特に、１００°Ｃ以上、さらには、２００°Ｃ以上の高温に加熱可能であることが好ましい。このため導電性金属薄膜は上述した透明加温器具１より高抵抗となっている。このような高抵抗（高発熱性）導電性金属薄膜は、抵抗値が高い導電性金属を用いること、もしくは、各種添加剤を加えて薄膜の抵抗値を高くすること、導電性金属薄膜を極めて薄いものとすることなどにより作製できる。
【００７６】
電極１２５，１２６としては、銅、銀などの導電性の高い金属薄膜を接着したもの、もしくは、透明板５の所定部位に、銅、銀などの導電性の高い金属を、例えば、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより、薄膜状に付着させたものにより形成されている。そして、電極１２５，１２６のそれぞれには導電線１２７，１２８が、接続されており、これら導電線１２７，１２８および温度センサ１４は、使用時には、上述した後述する温度制御器３１と電気的に接続される。
【００７７】
そして、透明板５の底面には、少なくとも発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜８を有している。透明薄膜８は、実質的に絶縁性を有するものにより形成されている。この実施例では、透明薄膜８は、電極１２５，１２６の全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない透明板５の周縁部も被覆している。透明板５の底面がこのような透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくいとともに、透明発熱用プレート２が、例えば、１ｍｍ以下という薄いものであっても、十分な強度を有する。
【００７８】
透明薄膜８としては、透明硬化薄膜、特に、耐熱性透明硬化薄膜が用いられている。耐熱性透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複合物を主成分とするものが好適である。特に、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）膜、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）膜、酸化珪素（ＳｉＯ２）膜のそれぞれの単体物より形成されていることが好ましい。
透明硬化薄膜としては、具体的には、以下のような方法により形成することができる。例えば、透明導電性薄膜７を形成したガラス板に、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３を、３００°Ｃ、アルゴン雰囲気中、真空度＝５．０×１０−１Ｐａ、印加高周波電力５００Ｗの条件下で、スパッタリングすることにより、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、もしくはＡｌ２Ｏ３からなる透明硬化薄膜を形成することができる。
【００７９】
ハウジング３は、図１９および図２０に示すように、中央に設けられた開口と、この開口を取り囲むように設けられた透明発熱用プレート載置部と、導電線１２７，１２８および温度センサ１４と接続された接続線を通すための開口部を有している。
温度センサ１４は、透明発熱用プレート１２２の底面に接触するように設けられている。なお、温度センサ１４は、透明発熱用プレートの内部に設けてもよい。さらには、温度センサ１４は、透明発熱用プレート２の表面に設けてもよい。温度センサ１４としては、温度検知可能なものであれば特に制限はないが、熱電対、サーミスタなどが好適である。
【００８０】
電極１２５，１２６に接続された導電線１２７，１２８および温度センサ１４に接続された信号線は束ねられて１本のコード１６となって、ハウジング３の小口１８より外部に延びている。そして、このコード１６の端部には、コネクタ（図示せず）が取り付けられている。このコネクタは、後述する温度制御器との接続端子を形成している。
また、ハウジング３の透明発熱用プレート載置部と透明発熱用プレート１２２間には、円盤状の断熱材１３４が設けられており、また、透明発熱用プレートの側面とハウジング３の内面間には、リング状の断熱材１３５が設けられている。これら断熱材により、透明発熱用プレートの熱のハウジング３への伝達を少なくしている。断熱材としては、グラスウール、炭素繊維、石綿などで形成されたものが使用できる。
【００８１】
さらに、ハウジング３としては、ある程度の耐熱性を有するもので形成されている。具体的には、耐熱性樹脂もしくは金属により形成されている。そして、この加温器具では、透明板が発熱することにより、ハウジング３内の空間も加熱され、空間内の空気が膨張し内圧が上昇する。ハウジング３には、この内圧上昇を逃がすための開口１３７ａ，１３７ｂが形成されている。開口１３７ａ，１３７ｂは、ハウジング３の側面に設けられており、ハウジング３の内面、透明板５、断熱材１３４，１３５により形成される環状空間を外部と連通させている。
【００８２】
また、透明発熱用プレート１２２としては、図２１に示すように、透明板５の他方の面（表面、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない面）に形成された非発熱用透明導電性薄膜９と、非発熱用透明導電性薄膜９と接触するアース線１９と、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明薄膜１１が形成されたものとしてもよい。
非発熱用透明導電性薄膜９は、発熱用透明導電性薄膜７の周縁に対応する部分を越え、透明板５の全面を被覆している。また、非発熱用透明導電性薄膜９としては、上述した発熱用透明導電性薄膜と同じものであってもよい。しかし、非発熱用透明導電性薄膜９は、通電により発熱させることを目的とするものでないので、発熱用透明導電性薄膜より抵抗値がより低いものであってもよい。
非発熱用透明導電性薄膜９としては、具体的には、金、銅、酸化スズ、ＳｉＯ２−インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を透明板５の表面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより行うことができる。
【００８３】
そして、非発熱用透明導電性薄膜９には、アース線１９が接続されている。透明板５の表面（上面）に当接し、非発熱用透明導電性薄膜９に到達した電磁波はアース線に流れ消失する。
さらに、透明板５には、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する第二の透明薄膜１１が形成されている。透明薄膜としては、上述した透明加温器具１において用いた透明硬化薄膜８と同じものが好適に利用できる。 このような透明硬化薄膜１１を設けることにより、透明板５は、表裏両面が透明硬化薄膜により保護されるため、傷が付きにくく、透明発熱用プレートの強度も高くなる。
【００８４】
【発明の効果】
本発明の顕微鏡用透明加温器具は、透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜とを有する透明発熱用プレートを備えている。このため、加温プレートを十分に薄くでき、中央に開口部を有しなくても、倒立顕微鏡のステージに固定した場合に倍率レンズの回転に障害となることがなく、かつ、透明薄膜を有するため十分な強度も有する。
【００８５】
また、本発明の顕微鏡用透明加温器具は、紫外線透過性透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記紫外線透過性透明板の前記発熱用透明導電性薄膜形成面に形成された発熱用透明導電性薄膜非形成部と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜とを有する透明発熱用プレートを備えている。このため、加温プレートを十分に薄くでき、中央に開口部を有しなくても、倒立顕微鏡のステージに固定した場合に倍率レンズの回転に障害となることがなく、かつ、透明薄膜を有するため十分な強度も有する。さらに、蛍光顕微鏡に用いても、紫外線の吸収もしくは反射が少ないため、観察を容易かつ確実なものとできる。
【００８６】
また、本発明の顕微鏡用透明加温器具は、透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記発熱用電極のそれぞれに固着された導電線とを有する透明発熱用プレートと、該透明発熱プレートの周縁部を保持するハウジングとを備える透明加温器具であって、該ハウジングは、前記導電線をハウジングの外部に導出するための開口部を有し、前記透明加温器具は、該開口部より導出される導電線を任意の形状に保持できる形状付け用部材を有している。このため、透明加温器具のコードを顕微鏡の倍率レンズなどにからまないような任意の形状とすることおよびその状態の保持ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は、本発明の一実施例の顕微鏡用透明加温器具の斜視図である。
【図２】 図２は、本発明の一実施例の顕微鏡用透明加温器具の正面図である。
【図３】 図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】 図４は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図５】 図５は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図６】 図６は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の正面図である。
【図７】 図７は、図６のＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】 図８は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図９】 図９は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図１０】 図１０は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図１１】 図１１は、本発明の透明加温装置に使用される温度制御器の一例のブロック図である。
【図１２】 図１２は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図である。
【図１３】 図１３は、図１２のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１４】 図１４は、図１２のＤ−Ｄ線断面図である。
【図１５】 図１５は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。
【図１６】 図１６は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図である。
【図１７】 図１７は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図である。
【図１８】 図１８は、図１７のＥ−Ｅ線断面図である。
【図１９】 図１９は、本発明の高温用透明加温器具の平面図である。
【図２０】 図２０は、図１９のＦ−Ｆ線断面図である。
【図２１】 図２１は、本発明の他の実施例の高温用透明加温器具の断面図である。
【符号の説明】
１ 顕微鏡用透明加温器具
２ 透明発熱用プレート
３ 環状ハウジング
５ 透明板
７ 発熱用透明導電性薄膜
８ 透明薄膜
１０ａ，１０ｂ 発熱用電極
Claims (17)
- 透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明硬化薄膜とを有する透明発熱用プレートを備えることを特徴とする顕微鏡用透明加温器具。
- 前記透明板は、該透明板の他方の面に形成された非発熱用透明導電性薄膜と、該非発熱用透明導電性薄膜と接触するアース線と、前記非発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明硬化薄膜を有している請求項１に記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 前記非発熱用透明導電性薄膜は、前記透明板の他方の面のほぼ全体を被覆するものである請求項２に記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 紫外線透過性透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記紫外線透過性透明板の前記発熱用透明導電性薄膜形成面に形成された発熱用透明導電性薄膜非形成部と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明硬化薄膜とを有する透明発熱用プレートを備えることを特徴とする顕微鏡用透明加温器具。
- 前記透明硬化薄膜は、前記発熱用透明導電性薄膜非形成部を被覆していない請求項４に記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 前記透明硬化薄膜は、紫外線透過性が高いものであるとともに、前記発熱用透明導電性薄膜非形成部を被覆している請求項４に記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 前記紫外線透過性透明板は、該紫外線透過性透明板の他方の面に形成された非発熱用透明導電性薄膜と、該紫外線透過性透明板の前記非発熱用透明導電性薄膜形成面であって、前記発熱用透明導電性薄膜非形成部に対応する位置に形成された非発熱用透明導電性薄膜非形成部と、該非発熱用透明導電性薄膜と接触するアース線と、前記非発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明硬化薄膜を有している請求項４に記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 前記第二の透明硬化薄膜は、前記非発熱用透明導電性薄膜非形成部を実質的に被覆していない請求項７に記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 前記第二の透明硬化薄膜は、実質的に紫外線透過性を有するとともに、前記非発熱用透明導電性薄膜非形成部を被覆している請求項７に記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する前記透明硬化薄膜は、前記電極を被覆している請求項１ないし９のいずれかに記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 前記電極が設けられた透明板の周縁部には、全周にわたり発熱用透明導電性薄膜が設けられていない部分を有し、さらに、前記電極も前記透明板の周縁より若干内側に設けられている請求項１ないし１０のいずれかに記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 前記透明発熱用プレートの厚さは、１ｍｍ以下である請求項１ないし１１のいずれかに記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 前記透明発熱用プレートの厚さは、０．２〜０．６ｍｍである請求項１２に記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 前記透明硬化薄膜は、酸化ジルコニウム膜、アルミナ膜、酸化珪素膜、炭化チタン膜の単体物もしくはそれらの複合物を主成分とするものまたはシリコン系ハードコート剤からなるものである請求項１ないし１３のいずれかに記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 前記顕微鏡用透明加温器具は、前記透明発熱用プレートの裏面に設けられた温度センサを備えている請求項１ないし１４のいずれかに記載の顕微鏡用透明加温器具。
- 請求項１５に記載の顕微鏡用透明加温器具と、該顕微鏡用透明加温器具の前記発熱用電極のそれぞれに接続された導電線および前記温度センサと電気的に接続される温度制御器とからなることを特徴とする顕微鏡用温度制御装置。
- 前記温度制御器は、設定温度と前記温度センサを用いた測定温度とを比較する比較機能と、この比較機能による比較結果に基づき、発熱用透明導電性薄膜への電力供給状態を調整する温度調整機能を有している請求項１６に記載の顕微鏡用温度制御装置。
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