JP3657089B2 - プラズマ処理方法および装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体や液晶表示素子(LCD)製造に用いられるドライエッチング装置、スパッタ装置、CVD装置などのプラズマ処理方法および装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体製造装置におけるシリコン基板のプラズマ処理装置において、しばしば基板の温度制御の伝熱手段として、静電吸着方式の電極が用いられる。
【0003】
図4は従来のドライエッチング装置を示す。
図4において、1は真空容器、2は真空排気ポンプ、3は下面にガス吹出し口を有する上部電極で、上部にガス供給口4を有し、アース5に接続されている。
【0004】
6は被処理基板であるシリコンウエハ、7は下部電極であり、絶縁板8に載置されており、端子9を通じてコンデンサ10、高周波電源11につながっている。
【0005】
下部電極7の内部の上部には、静電チャック12が設けられている。静電チャック12は端子13,14を通じて直流電源15に接続されている。
下部電極7の外周には絶縁リング16があり、その上面は下部電極7のシリコンウエハの6の載置面よりも0.3mm程低く設定されている。また下部電極7の内部には冷却水路17があり冷却水が循環している。
【0006】
以上のように構成されたドライエッチング装置において、以下その動作について説明する。
まず、シリコンウエハ6を下部電極7の上に載せ、直流電源15により静電チャック12に直流電圧を印加し静電力を発生させて下部電極7にシリコンウエハ6を吸着させる。
【0007】
次いで、真空ポンプ2で真空容器1の空気を排気し、ガス供給口4から微量のエッチングガスを導入しつつ、高周波電源11により高周波を印加して下部電極7と上部電極3の間にプラズマを作り、シリコンウエハ6をエッチングする。
【0008】
プラズマは高温なのでエッチングの間にシリコンウエハ6を同時に加熱する。シリコンウエハ6と下部電極7は、静電力により密着しており、シリコンウエハ6の熱は、冷却水路17の冷却水により冷却された下部電極7に伝わり放熱されて、シリコンウエハ6がプラズマの熱で過熱してレジストが変質しエッチング不良になるのを防止している。またシリコンウエハ6の温度を一定に保ってエッチング特性を良好にしている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の静電吸着方式の電極を用いたプラズマ処理装置では、絶縁リング16と被処理基板であるシリコンウエハ6との間の0.3mmほどの隙間18からプラズマが回り込み、被処理基板の裏面や電極がエッチングされていた。
【0010】
その結果、エッチングされた微粒子が被処理基板のエッチング面に飛散し、エッチングの不良を起こしていた。また下部電極7のプラズマに対する絶縁が破壊され電極の寿命を短くしていた。
【0011】
本発明は上記問題点に鑑み、エッチング不良が少なく、電極の寿命が長いプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために本発明のプラズマ処理装置は、被処理基板を載置し、被処理基板を吸着する直流電圧供給手段を有する電極の外周に載置される絶縁リングの高さが電極の被処理基板載置面よりも高いことを特徴とする。
【0013】
この発明によれば、電極の寿命が長く、エッチング不良が少ないプラズマ処理装置が得られる。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載のプラズマ処理方法は、真空容器内にガスを導入しつつ排気し、前記真空容器内に配置された電極に高周波電力を印加することで、前記電極の上に配設された被処理基板をプラズマ処理するに際し、前記電極の外周部に設けた絶縁リングの高さを前記電極の被処理基板載置面よりも高く、かつ被処理基板の外形寸法は前記電極の外形寸法よりも大きく、前記被処理基板を前記電極に吸着させた状態で前記被処理基板をプラズマ処理することを特徴とする。
本発明の請求項2に記載のプラズマ処理装置は、真空容器内に設けられ被処理基板が載置される電極と、前記電極の外周部に設けられた絶縁リングと、前記電極に高周波電力を印加する高周波電源とを有し、前記電極の外周部に設けられた絶縁リングの高さは前記電極の被処理基板載置面よりも高く、かつ被処理基板の外形寸法は前記電極の外形寸法よりも大きく、前記被処理基板を前記電極に吸着させた状態で前記被処理基板をプラズマ処理することを特徴とする。
【0015】
本発明の請求項3に記載のプラズマ処理装置は、請求項2において、被処理基板を載置する電極と絶縁リングとの高さの差が被処理基板の厚みの1/2以下であることを特徴とする。
【0016】
以下、本発明の各実施の形態を図1と図2に基づいて説明する。
なお、従来例を示す図4と同一の作用を成すものには同一の符号を付けて説明する。
【0017】
(実施の形態1)
図1と図2は本発明の(実施の形態1)のプラズマ処理装置を示す。
下部電極7と絶縁リング16の関係が従来例を示す図4とは次のように異なっている。
【0018】
この(実施の形態1)の下部電極7はシリコンウエハ6よりも径が小さく、下部電極7の外周に設けられた絶縁リング16の上面16aは、下部電極7の上面7aよりも高く設定されており、下部電極7の外周部から絶縁リング16がほぼ垂直に立ち上がる段部19が形成されている。段部19の寸法はシリコンウエハ6の厚みの(1/2)以下が適当である。
【0019】
具体的には、シリコンウエハ6の大きさがφ200mmで厚みが0.725mmの場合に、上面16aと上面7aとの段差は0.3mm程に設定した。
このように構成したため、まずφ200mmシリコンウエハ6を図2の(a)に示すように下部電極7の上に載せ、直流電源15により静電チャック12に直流電圧を印加し静電力を発生させて、図2の(b)に示すように下部電極7にφ200シリコンウエハ6を吸着させる。
【0020】
すると、シリコンウエハ6の外周部は平板・円板の微少たわみ理論から導き出される曲面に撓む。このとき、φ200シリコンウエハ6の外周部は静電力により絶縁リング16に押さえ付けられている。
【0021】
この状態で、真空ポンプ2で真空容器1の空気を排気し、ガス供給口4から微量のエッチングガスを導入しつつ、高周波電源11により高周波を印加して下部電極7と上部電極3の間にプラズマを作り、シリコンウエハ6をエッチングする。
【0022】
したがって、シリコンウエハ6の外周部は静電力により絶縁リング16に押さえ付けられ、シリコンウエハ6の裏面、および下部電極7はプラズマにさらされることがなくなる。
【0023】
(実施の形態2)
図3は本発明の(実施の形態2)の要部2を示す。
(実施の形態1)で絶縁リング16と下部電極7との段部は、下部電極7の外周部から絶縁リング16がほぼ垂直に立ち上がる段部19で形成したが、この(実施の形態2)では、下部電極7の外周部から絶縁リング16が曲面で次第に立ち上がっている。この曲面は、平板・円板の微少たわみ理論から導き出される。
【0024】
このように構成したため、静電チャック12を運転して下部電極7にシリコンウエハ6を静電させると、絶縁リング16のφ200シリコンウエハ6の接触面は、下部電極7の外径を支点とし、φ200シリコンウエハ6が外径に所定の荷重を受け0.3mm撓んだときの曲面であるので、被処理基板の裏面と絶縁リングとの隙間は極小になり、プラズマが回り込む空間がほとんどなくなる。
【0025】
なお、上記の各実施の形態では、絶縁リング16のシリコンウエハとの接触面を水平面、あるいは曲面で構成した例で説明したが、テーパ面で構成しても同様に実施可能である。又、絶縁リングを下部電極の外周に固定した例で説明したが、絶縁リングを上下動させる駆動手段や絶縁リングを弾性体で支持する手段を設けても同様に実施可能である。
【0026】
また、この装置は、ドライエッチング装置のみならず、スパッタ装置やCVD装置においても同様に実施可能である。
上記の各実施の形態において、段部19の寸法を0.3mm程に設定したが、これは被処理基板の材質の弾性と厚さ、および被処理基板面内のエッチング特性に応じて決定されるもので、被処理基板がシリコンウエハやガラス基板の場合には、被処理基板の厚みの1/2以下が適当であった。
【0027】
【発明の効果】
以上のように本発明のプラズマ処理装置によると、被処理基板を載置する電極の外周の絶縁リングが、電極の被処理基板載置面よりも高いので、被処理基板は電極、絶縁リングの両方に接触し、電極はプラズマにさらされず、被処理基板のエッチング不良が低減され、電極の寿命も長くすることができ、良好なプラズマ処理を長期にわたって安定して処理できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の(実施の形態1)のプラズマエッチング装置の断面図
【図2】同実施の形態の要部の静電吸着の前後の状態の拡大図
【図3】本発明の(実施の形態2)のプラズマエッチング装置の要部のエッチング状態の拡大図
【図4】従来のプラズマエッチング装置の断面図
【符号の説明】
1 真空容器
6 シリコンウエハ
7 下部電極
7a 下部電極の上面
16 絶縁リング
16a 絶縁リングの上面
19 段部
Claims (3)
- 真空容器内にガスを導入しつつ排気し、前記真空容器内に配置された電極に高周波電力を印加することで、前記電極の上に配設された被処理基板をプラズマ処理するに際し、
前記電極の外周部に設けた絶縁リングの高さを前記電極の被処理基板載置面よりも高く、かつ被処理基板の外形寸法は前記電極の外形寸法よりも大きく、前記被処理基板を前記電極に吸着させた状態で前記被処理基板をプラズマ処理する
プラズマ処理方法。 - 真空容器内に設けられ被処理基板が載置される電極と、
前記電極の外周部に設けられた絶縁リングと、
前記電極に高周波電力を印加する高周波電源と
を有し、前記電極の外周部に設けられた絶縁リングの高さは前記電極の被処理基板載置面よりも高く、かつ被処理基板の外形寸法は前記電極の外形寸法よりも大きく、前記被処理基板を前記電極に吸着させた状態で前記被処理基板をプラズマ処理する
プラズマ処理装置。 - 被処理基板を載置する電極と絶縁リングとの高さの差が被処理基板の厚みの1/2以下であることを特徴とする
請求項2記載のプラズマ処理装置。
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